JP2007152211A

JP2007152211A - フラッシング装置

Info

Publication number: JP2007152211A
Application number: JP2005349715A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Hanada; 敏広花田
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2005-12-02
Filing date: 2005-12-02
Publication date: 2007-06-21

Abstract

【課題】簡単な開閉弁の切り換えにより供給ラインの洗浄を容易に行うことができ、コンパクトな構成で半導体製造装置内の狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易であるフラッシング装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの供給ラインを有する装置の各々の供給ラインの最上流側に配置されるフラッシング装置であって、該フラッシング装置が、各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた主ラインと、他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた少なくとも一つの他のラインと、該主ラインの開閉弁の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通された連結ラインとを具備することを特徴とするフラッシング装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、少なくとも２つの供給ラインが流れる装置の各々の供給ラインの洗浄を行う洗浄装置に関するものである。さらに詳しくは、簡単な開閉弁の切り換えにより供給ラインの洗浄を容易に行うことができ、コンパクトな構成で半導体製造装置内の狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易であるフラッシング装置に関するものである。

従来、半導体製造工程の一工程として、フッ酸等の薬液を純水で希釈した洗浄水を用いてウェハ表面をエッチングする湿式エッチングが用いられている。これら湿式エッチングの洗浄水の濃度は高い精度をもって管理する必要があるとされている。近年では、洗浄水の濃度を、純水と薬液の流量比で管理する方法が主流となってきており、そのために、純水や薬液の流量を高い精度をもって管理する流体混合装置が適用されている。

流体混合装置として種々提案されているが、図１７に示される多系統流量制御装置及びその制御方法があった（例えば、特許文献１参照）。その構成は、複数の流体流入系統６０１をそれぞれ流量調整する複数のアクチュエータ６０２に対して、それぞれ、操作信号を出力して制御することで合流流体流量が目標流量となるように制御する流量制御装置において、前記流量制御装置は、前記複数のアクチュエータ６０２のうちの１つを除いた他のアクチュエータ６０２ｂ〜６０２ｎに流量が略一定となるように操作信号を出力し、前記複数のアクチュエータ６０２のうちの１つに合流流体流量が目標値となるように操作信号を出力するように構成したものであった。このとき、各々独立した複数の流体流入系統６０１から合流して流入する合流流体流量を制御する流量制御装置において、各流体流入系統６０１の検出流量の合算値と目標値との偏差からフィードバック演算して調節信号を出力する演算手段６０３と、前記演算手段６０３の調節信号が上下限の値となった場合に流体流入系統６０１を１系統選択すると共に、他のアクチュエータ６０２ｂ〜６０２ｎから前記選択された１系統のアクチュエータ６０２ａに切替えて前記調節信号を操作信号として出力する制御系統判定手段６０４を有するものであった。

特開２００４−１３３６４２号公報

しかしながら、前記従来の多系統流量制御装置及びその制御方法は、各流入系統６０１を定期的に洗浄する必要があるが、多系統流量制御装置にはそのための設備が設けられていない。各流入系統６０１の洗浄を行う場合は、例えば流す流体を純水などの洗浄水に変えて各流入系統６０１を洗浄したり、各流入系統６０１に外部から洗浄水を供給するラインを接続させていた。流体を洗浄水に変える場合、洗浄水に変えた後にまた制御する流体に戻す作業を行わなくてはならず、流体の交換に時間と手間がかかるという問題があった。外部から洗浄水を供給するラインを流す場合、装置の設置のための配管が多く必要となり、配管のためのスペースが多くとられて装置が大きくなるという問題や、装置の設置の作業に手間と時間がかかるという問題があった。

本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、簡単な開閉弁の切り換えにより供給ラインの洗浄を容易に行うことができ、コンパクトな構成で半導体製造装置内の狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易であるフラッシング装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明の流体制御装置の構成を図に基づいて説明すると、少なくとも２つの供給ラインを有する装置の各々の該供給ラインの最上流側に配置されるフラッシング装置であって、該フラッシング装置が、各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた主ラインと、他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた少なくとも一つの他のラインと、該主ラインの開閉弁の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通された連結ラインとを具備することを第１の特徴とする。

少なくとも２つの供給ラインを有する装置の各々の該供給ラインの最上流側に配置されるフラッシング装置であって、該フラッシング装置が、各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた主ラインと、他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた少なくとも一つの他のラインと、該主ラインの開閉弁の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通された連結ラインとを具備し、該主ラインに設けられた該開閉弁および該連結ラインに設けられた該開閉弁の上流側に接続され該供給ラインに接続せず端部に返送口が形成される返送ラインに開閉弁が設けられたことを第２の特徴とする。

また、前記開閉弁が、一つのベースブロックに配設されていることを第３の特徴とする。

また、該フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該流出口が該出口流路Ａに連通する流路から形成される主ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する他の流入口と、他の供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該他の流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該他の流出口が該出口流路Ｂに連通する流路から形成される少なくとも一つの他のラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該流入口から該流入口に連通する弁室の入口流路にそれぞれ連通する流路に分岐部が設けられ、該他の流出口から出口流路Ｂに連通する流路に他の分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該他の分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される少なくとも一つの連結ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する少なくとも一つの駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する少なくとも一つの駆動部Ｃとを具備することを第４の特徴とする。

また、前記フラッシング装置の前記弁室Ｂおよび前記弁室Ｃが、前記本体の上部と下部に略同一軸線上に配置されたことを第５の特徴とする。

また、前記フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される連結ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃとを具備することを第６の特徴とする。

また、前記フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される第一連結ラインと、弁室Ｄと、該弁室Ｄに各々が連通する入口流路Ｄおよび出口流路Ｄと、流体が流入する第三流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第三流出口とが設けられ、該第三流入口が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第三流出口が該出口流路Ｄに連通する流路が形成される第三ラインと、弁室Ｅと、該弁室Ｅに各々が連通する入口流路Ｅおよび出口流路Ｅが設けられ、該第一分岐部から入口流路Ａまたは入口流路Ｃに連通する流路に分岐部が設けられ、該第三流出口から出口流路Ｄに連通する流路に第三分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｅに連通する流路と、該第三分岐部が該出口流路Ｅに連通する流路が形成される第二連結ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室Ｄに流入する流路の開閉を行う弁体Ｄを有する駆動部Ｄと、該弁室Ｅに流入する流路の開閉を行う弁体Ｅを有する駆動部Ｅとを具備することを第７の特徴とする。

該フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される主ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する他の流入口と、他の供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該他の流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該他の流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される少なくとも一つの他のラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該流入口から該流入口に連通する弁室の入口流路にそれぞれ連通する流路に分岐部が設けられ、該他の流出口から出口流路Ｂに連通する流路に他の分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該他の分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される少なくとも一つの連結ラインと、弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｃに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する少なくとも一つの駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する少なくとも一つの駆動部Ｃと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを第８の特徴とする。

前記フラッシング装置の前記弁室Ｂおよび前記弁室Ｃが、前記本体の上部と下部に略同一軸線上に配置されたことを第９の特徴とする。

前記フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される連結ラインと、弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｃに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを第１０の特徴とする。

前記フラッシング装置が、流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される第一連結ラインと、弁室Ｄと、該弁室Ｄに各々が連通する入口流路Ｄおよび出口流路Ｄと、流体が流入する第三流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第三流出口とが設けられ、該第三流入口が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第三流出口が該出口流路Ｄに連通する流路が形成される第三ラインと、弁室Ｅと、該弁室Ｅに各々が連通する入口流路Ｅおよび出口流路Ｅが設けられ、該第一分岐部から入口流路Ａまたは入口流路Ｃに連通する流路に分岐部が設けられ、該第三流出口から出口流路Ｄに連通する流路に第三分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｅに連通する流路と、該第三分岐部が該出口流路Ｅに連通する流路が形成される第二連結ラインと、弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｅに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室Ｄに流入する流路の開閉を行う弁体Ｄを有する駆動部Ｄと、該弁室Ｅに流入する流路の開閉を行う弁体Ｅを有する駆動部Ｅと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを第１１の特徴とする。

本発明のフラッシング装置１を設けることにより、供給ライン１４、１５の各々に流体を流す通常モードと、任意の一つの供給ライン１４に流す純水を他の供給ライン１５に流してフラッシングするフラッシングモードとを、フラッシング装置１の開閉弁の操作により流路を切り換えることで容易に選択することができる。また、フラッシング装置の各開閉弁を閉止することで、各供給ライン１４、１５に流れる流体を停止させ、各供給ライン１４、１５のメンテナンス等（修理、部品交換）を行うこともできる。

本発明のフラッシング装置１が配置される装置を有する供給ラインの数は、二つ以上であれば良く特に限定されない。主に二つの供給ライン、三つの供給ラインなどが一般的に好的に用いられている。また、フラッシング装置１の流出口と供給ラインの数は同じでなくても良く、例えば多数の供給ラインの内の一部の供給ラインの各々の最上流側にフラッシング装置１を設けても良い。

また、フラッシング装置１は、図４に示すように主ラインの流入口３８から流入口３８に連通する開閉弁４３、４５の上流側の任意の位置に接続され、供給ラインに接続せず端部に返送口４２が形成される返送ラインに開閉弁４６が設けられていることが好ましい。これは、各々の供給ラインに流す流体の供給を停止するときに、主ラインの流入口３８に流入させる流体が純水などであり、流体を滞留させたくない場合に、各々の供給ラインへの流路を閉止すると同時に流入口３８から流入する流体を返送口４２から流出させ続けることができ、流体の滞留を防止してコンタミの発生や微生物が繁殖することなく水質の低下を防止できるので好適である。

本発明の各種開閉弁は、流体の流れを開放又は遮断する機能を有していれば、その構成は特に限定されるものでなく、手動によるものでも良く、エア駆動、電気駆動、磁気駆動などの自動によるものでも良い。自動の場合、各開閉弁の駆動を制御してフラッシング装置１を通常モードとフラッシングモードとを一括して切り替えられるようにしても良く、切り換え時の開閉操作が容易となるため好適である。特に返送開閉弁は、図８に示すような微小な開度を維持することができるニードル弁などの構成であることが好ましい。これは、微小な流れを調整することで、滞留防止のために流す流体を無駄に費やすことを防止できるので好適である。

また、本発明のフラッシング装置は図６乃至図１６に示すように各開閉弁を流路の形成された一つのベースブロックに配設された構成にすることが好ましい。例えば図６ではベースブロックは本体１３１である。これは、フラッシング装置１ａの流路がベースブロックである本体１３１内に形成されているため、部品点数を少なくできるので組み立てを容易に短時間で行うことができ、フラッシング装置１ａをコンパクトにして設置場所のスペースを少なくすることができ、フラッシング装置１ａ内の流路を短くできるので流体抵抗を抑えることができ、フラッシング装置１ａが一つの部材になるので設置が容易になり作業時間が短縮できるので好適である。

さらに、図１１に示すように、フラッシング装置１ｂの本体３３１の上部と下部にそれぞれ設けられた一対の弁室が、略同一軸線上に配置されることが好ましい。これは、該弁室間をそれぞれ連通する流路は貫通孔を設けるだけなので加工手間が短縮され、流路を簡単且つ非常に短く形成することができるのでフラッシング装置１ｂの流体抵抗を低く抑えることができると共に、フラッシング装置１ｂに形成される各開閉弁を無駄なく集積することができ、フラッシング装置１ｂを非常にコンパクトに形成することができるため好適である。

本発明において、主ラインの開閉弁の上流側と、他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通されてなる構成における流路の形状は特に限定されない。特にラインが三つ以上、例えば図３で示すような三ラインの場合、主ラインである第一ラインの第一開閉弁２５の上流側と第二ラインの第二開閉弁２６の下流側とが第一連結開閉弁２８を介して連通されてなり、第一開閉弁２５の上流側と第三開閉弁２７の下流側とが第二連結開閉弁２９を介して連通されてなる構成であるが、このときに第一流入口１８に対して第一開閉弁２５と第一連結開閉弁２８と第二連結開閉弁２９とがそれぞれ連通される流路が形成されるが、それぞれが連通されるのであれば流路の構成は特に限定されない。具体的に説明すると、図３では第一連結開閉弁２８は、第一流入口１８から第一開閉弁２５に連通する流路に第一分岐部２４を設けて第一分岐部から第一連結開閉弁２８に連通する流路が設けられており、第二連結開閉弁２９は、第一分岐部２４と第一連結開閉弁２８とを連通する流路に分岐部３２を設けて分岐部３２から第二連結開閉弁２９に連通する流路が設けられた構成であるが、第一流入口１８から第一開閉弁２５に連通する流路の二箇所に分岐部をそれぞれ設けて各分岐部から第一連結開閉弁２８と第二連結開閉弁２９とにそれぞれ連通する流路を設けても良く、第一流入口１８から第一開閉弁２５に連通する流路の一箇所の分岐部から第一連結開閉弁２８と第二連結開閉弁２９とにそれぞれ連通する流路を設けても良い。これはラインが三つ以上でも同じであり、図６乃至図１６のように一つのベースブロックに配設された構成の場合でも同様である。

また、本発明において返送ラインをフラッシング装置の流路に連通させる構成は、返送ラインが主ラインである第一開閉弁の第一流入口から第一流入口に連通する各開閉弁の上流側までの流路の任意の位置に連通されていれば流路の形状は特に限定されない。具体的に説明すると、図５では第一流入口５３から第一開閉弁６０に連通する流路に第一分岐部６６を設けて第一分岐部６６から第一連結開閉弁６３に連通する流路が形成され、第一分岐部６６と第一連結開閉弁６３とを連通する流路に分岐部６７を設けて分岐部６７から第二連結開閉弁６４に連通する流路が形成され、分岐部６７と第二連結開閉弁６４とを連通する流路に分岐部６８を設けて分岐部６８から返送開閉弁６５に連通する流路が形成された構成であるが、第一流入口５３から第一開閉弁６０に連通する流路に別途分岐部を設けて返送開閉弁６５に連通する流路を設けても良く、第一分岐部６６からさらに分岐する流路を設けて返送開閉弁６５に連通させても良く、第一分岐部６６と第一連結開閉弁６３とを連通する流路に別途分岐部を設けて返送開閉弁６５に連通する流路を設けても良く、分岐部６７からさらに分岐する流路を設けて返送開閉弁６５に連通させても良い。また、図６乃至図１６のように一つのベースブロックに配設された構成の場合でも同様であり、返送開閉弁６５の設置位置もベースブロックである本体のどの位置に設けても良い。

本発明のフラッシング装置１に流入する流体は、流路を流れるものであれば、水、純水、工業用水などの水、アルコール、塩酸、フッ酸、硝酸、硫酸、過酸化水素水などの薬液、飲料品、液状の食品など、特に限定されない。このうち、主ラインの流入口である第一流入口２に流入する流体は、水、純水、工業用水などが好ましく、半導体分野において純水であることがより好ましい。これは第一流入口２に流入する流体で他の供給ラインをフラッシングすることで、各供給ラインを清潔に洗浄することができ、各供給ラインを洗浄するための洗浄水を供給するラインを別途設ける必要がないため好適である。これは供給ラインの数が多くなればなるほど顕著であり、多数の供給ラインを有する装置自体をコンパクトに形成することができる。

また、本発明の実施例ではフラッシング装置１が設けられる供給ラインを有する装置は、各々の供給ラインで流体制御を行い、該供給ラインを合流させて任意の比率で流体を混合させる構成であるが、各々の供給ラインのフラッシングが必要な装置であれば供給ラインの構成は特に限定されない。

また、本発明のフラッシング装置１の各部品の材質は、樹脂製であれば塩化ビニル樹脂、ポリプロピレン（以下、ＰＰと記す）、ポリエチレンなどいずれでも良いが、特に流体に腐食性流体を用いる場合はポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと記す）、ポリビニリデンフルオロライド（以下、ＰＶＤＦと記す）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂などのフッ素樹脂であることが好ましく、フッ素樹脂製であれば腐食性流体に用いることができ、また腐食性ガスが透過しても各部品の腐食の心配がなくなるため好適である。

本発明は以上のような構造をしており、以下の優れた効果が得られる。
（１）供給ラインを有する装置にフラッシング装置を設けることで、各々の供給ラインに流体を流す通常モードと、主ラインの流入口に流す流体を他の供給ラインに流してフラッシングするフラッシングモードとを容易に選択することができる。
（２）主ラインの流入口に流す流体が水や純水などの洗浄水であれば、他のラインのフラッシングを行なうことで他のラインの洗浄ができる。
（３）フラッシング装置の主ラインの流入口から該流入口に連通する開閉弁の上流側までの流路の任意の位置に連通し、返送開閉弁を介して返送口に連通する返送ラインを設けることで、各々の供給ラインへの流路を閉止すると同時に第一流入口から流入する流体を返送口から流出させ続けることができ、流体の滞留を防止してコンタミの発生や微生物が繁殖することなく水質の低下を防止できる。
（４）フラッシング装置の各開閉弁を流路の形成された一つのベースブロックに配設することで、部品点数を少なくできるので組み立てを容易に短時間で行うことができ、フラッシング装置をコンパクトにして設置場所のスペースを少なくすることができ、フラッシング装置内の流路を短くできるので流体抵抗を抑えることができ、フラッシング装置が一つの部材になるので設置が容易になり作業時間が短縮できる。
（５）フラッシング装置の本体の上部と下部にそれぞれ設けられた一対の弁室が、略同一軸線上に配置されると、フラッシング装置の加工手間が短縮され、流路を簡単且つ非常に短く形成することができるのでフラッシング装置の流体抵抗を低く抑えることができると共に、フラッシング装置に形成される弁を無駄なく集積することができ、フラッシング装置を非常にコンパクトに形成することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面に示す実施例を参照して説明するが、本発明が本実施例に限定されないことは言うまでもない。図１は本発明のフラッシング装置の第一の実施例を模式的に示す構成図である。図２は開閉弁の縦断面図である。図３は本発明のフラッシング装置の第二の実施例を模式的に示す構成図である。図４は本発明のフラッシング装置の第三の実施例を模式的に示す構成図である。図５は本発明のフラッシング装置の第四の実施例の流路を模式的に示す構成図である。図６は本発明のフラッシング装置の第五の実施例の縦断面図である。図７は本発明のフラッシング装置の第六の実施例の縦断面図である。図８は本発明のフラッシング装置の第七の実施例の縦断面図である。図９は図８の要部拡大縦断面図である。図１０は本発明のフラッシング装置の第八の実施例の縦断面図である。図１１は本発明のフラッシング装置の第九の実施例の縦断面図である。図１２は第九の実施例の流路を模式的に示す斜視図である。図１３は本発明のフラッシング装置の第十の実施例の縦断面図である。図１４は第十の実施例の流路を模式的に示す斜視図である。図１５は本発明のフラッシング装置の第十一の実施例の縦断面図である。図１６は本発明のフラッシング装置の第十二の実施例の縦断面図である。図１７は従来の流量制御装置の構成図である。

以下、図１、図２に基づいて本発明の第一の実施例であるフラッシング装置が設置されてなる装置について説明する。

１は二つの供給ラインを有する装置の各々の供給ラインの最上流側に設置されたフラッシング装置である。フラッシング装置１の構成は以下の通りである。

フラッシング装置１は、流体が流入する第一流入口２および第二流入口３と、流体が流出する第一流出口４および第二流出口５が設けられ、第一開閉弁７、第二開閉弁８、連結開閉弁９がそれぞれ設置されている。第一流入口２に連通する流路は、第一開閉弁７の上流側にある第一分岐部６で二つの流路に分かれ、第一開閉弁７と連結開閉弁９とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また第一開閉弁７から第一流出口４へと連通する流路が形成されている。第二流入口３に連通する流路は、第二開閉弁８に連通し、第二開閉弁８から第二開閉弁８の下流側にある第二分岐部１０に連通する流路は第二分岐部１０で二つの流路に分かれ、前記連結開閉弁９と第二流出口５とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一流出口４は後記第一供給ライン１４に連通し、第二流出口５は後記第二供給ライン１５に連通している。

このとき、第一流入口２から第一開閉弁７を通って第一流出口４に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口３から第二開閉弁８を通って第二流出口５に連通して形成される流路は他のラインである第二ラインとなり、第一分岐部６から連結開閉弁９を通って第二分岐部１０に連通して形成される流路は連結ラインとなる。

ここで、第一開閉弁７、第二開閉弁８、連結開閉弁９の構成を説明する（図２参照）。各開閉弁７、８、９は同じ構成をしており、本体１０１、駆動部１０２、ピストン１０３、ダイヤフラム押さえ１０４、弁体１０５で形成される。

１０１はＰＴＦＥ製の本体であり、軸線方向上端の中央に弁室１０６と、弁室１０６と連通した入口流路１０７と出口流路１０８とを有しており、本体１０１の上面における弁室１０６の外側には環状溝１０９が設けられている。

１０２はＰＶＤＦ製の駆動部であり、内部に円筒状のシリンダ部１１０が設けられ、前記本体１０１の上部にボルト・ナット（図示せず）で固定されている。駆動部１０２の側面にはシリンダ部１１０の上側及び下側にそれぞれ連通された一対の作動流体供給口１１１、１１２が設けられている。

１０３はＰＶＤＦ製のピストンであり、駆動部１０２のシリンダ部１１０内に密封状態且つ軸線方向に上下動自在に嵌挿されており、底面中央にロッド部１１３が垂下して設けられている。

１０４はＰＶＤＦ製のダイヤフラム押さえであり、中央部にピストン１０３のロッド部１１３が貫通する貫通孔１１４を有しており、本体１０１と駆動部１０２の間に挟持されている。

１０５は弁室１０６に収容されているＰＴＦＥ製の弁体であり、ダイヤフラム押さえ１０４の貫通孔１１４を貫通し且つダイヤフラム押さえ１０４の下面から突出した前記ピストン１０３のロッド部１１３の先端に螺着されており、ピストン１０３の上下動に合わせて軸線方向に上下するようになっている。弁体１０５は外周にダイヤフラム１１５を有しており、ダイヤフラム１１５の外周縁は本体１０１の環状溝１０９内に嵌挿されており、ダイヤフラム押さえ１０４と本体１０１との間に挟持されている。

１４はフラッシング装置１の第一流出口４に連通する第一供給ラインである。第一供給ライン１４には流体の流量を計測する流量計測器１１と、流体の圧力を制御する流体制御弁１２と、流量計測器１１で測定した流量に応じて流体制御弁１２の開度を制御する制御部１３が設けられている。

１５はフラッシング装置の第二流出口に連通する第二供給ラインである。第二供給ライン１５の構成は、第一供給ライン１４と同様なので説明を省略する。

第一供給ライン１４および第二供給ライン１５の最下流側には、該供給ライン１４、１５の合流部１６を有している。

次に、本発明の第一の実施例であるフラッシング装置が設置されてなる装置の作動について説明する。

まず、各開閉弁７、８、９の作動について説明する。作動流体供給口１１２から外部より作動流体として圧縮空気が注入されると、圧縮空気の圧力でピストン１０３が押し上げられるためこれと接合されているロッド部１１３は上方へ引き上げられ、ロッド部１１３の下端部に接合された弁体１０５も上方へ引き上げられ弁は開状態となる。

一方、作動流体供給口１１１から圧縮空気が注入されると、ピストン１０３が押し下げられるのにともなって、ロッド部１１３とその下端部に接合された弁体１０５も下方へ押し下げられ、弁は閉状態となる。

次に、各開閉弁７、８、９の開閉を切り換えて、通常モードにした場合とフラッシングモードにした場合の作動について説明する。

通常モードにおいては、第一開閉弁７と第二開閉弁８を開状態とし、連結開閉弁９を閉状態とする。このとき第一ラインと第二ラインに各々独立して流体が流れるようになる。ここで第一流入口２に純水を流入させ、第二流入口３に塩酸を流入させる。第一流入口２に流入した純水は開状態の第一開閉弁７を通過して第一流出口４から第一供給ライン１４に流入する。第二流入口３に流入した塩酸は開状態の第二開閉弁８を通過して第二流出口５から第二供給ライン１５に流入する。第一供給ライン１４および第二供給ライン１５では流量が設定流量になるように制御されて合流部１６に流れる。合流部１６で純水と塩酸が混合されることにより、設定された比率で混合された混合流体が装置から流出される。

ここで第一供給ライン１４に流入した純水と、第二供給ライン１５に流入した塩酸が、それぞれフィードバック制御により設定流量に制御される作動を説明する。流量計測器１１に流入した流体は、流量計測器１１で実流量を計測された後、流体制御弁１２に流入する。流量計測器１１で計測された実流量は電気信号に変換されて制御部１３に出力され、制御部１３で任意の設定流量に対して、リアルタイムに計測された実流量との偏差から、偏差をゼロにするように流体制御弁１２を駆動させる信号を出力し、流体制御弁１２の開度を変化させる。このため、流体制御弁１２に流入した純水または塩酸は、設定流量と計測された流量の偏差がゼロに収束されるように、つまり流量が設定流量で一定値となるように流体制御弁１２で制御される。

フラッシングモードにおいては、第一開閉弁７と第二開閉弁８を閉状態とし、連結開閉弁９を開状態とする。このとき第一流入口２から連結ラインを通って第二流出口５に流れる流路が形成される。ここで第一流入口２に純水を流入させる。第一流入口２に流入した純水は、第一分岐部６、連結開閉弁９、第二分岐部１０を通過して、第二流出口５から第二供給ライン１５に流入する。純水を流し続けることにより、第二供給ライン１５は純水でフラッシングされ、第二供給ライン１５内に残っていた塩酸やその他の不純物は純水で洗浄される。

以上の作動により、フラッシング装置１を設けることで、第一、第二供給ライン１４、１５の各々に流体を流す通常モードと、第一供給ライン１４に流す純水を第二供給ライン１５に流してフラッシングするフラッシングモードとを、フラッシング装置１の各種開閉弁の操作により流路を切り換えることで容易に選択することができる。第一供給ライン１４に流す流体が水や純水などの洗浄水であれば、他のラインのフラッシングを行なうことで他のラインの洗浄を行うことができる。また、フラッシング装置１に形成された流路は単純な構成なので、フラッシング装置１を製造するための配管が必要最低限で済み、組み立て作業が短時間で行うことができる。

次に、図３に基づいて本発明の第二の実施例であるフラッシング装置が設置されてなる装置について説明する。

１７は三つの供給ラインを有する装置の各々の供給ラインの最上流側に設置されたフラッシング装置である。フラッシング装置１７の構成は以下の通りである。

フラッシング装置１７は、流体が流入する第一流入口１８、第二流入口１９および第三流入口２０と、流体が流出する第一流出口２１、第二流出口２２および第三流出口２３が設けられ、第一開閉弁２５、第二開閉弁２６、第三開閉弁２７、第一連結開閉弁２８、第二連結開閉弁２９がそれぞれ設置されている。第一流入口１８に連通する流路は、第一開閉弁２５の上流側にある第一分岐部２４で二つの流路に別れ、第一開閉弁２５と第一連結開閉弁２８とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また第一分岐部２４と第一連結開閉弁２８とを連通する流路には分岐部３２が設けられ、分岐部３２と第二連結開閉弁２９とを連通する流路が形成されている。また第一開閉弁２５から第一流出口２１へと連通する流路が形成されている。第二流入口１９に連通する流路は第二開閉弁２６に連通し、第二開閉弁２６から第二開閉弁２６の下流側にある第二分岐部３０に連通する流路は第二分岐部３０で二つの流路に分かれ、前記第一連結開閉弁２８と第二流出口２２とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第三流入口２０に連通する流路は第三開閉弁２７に連通し、第三開閉弁２７から第三開閉弁２７の下流側にある第三分岐部３１に連通する流路は第三分岐部３１で二つの流路に分かれ、前記第二連結開閉弁２９と第三流出口２３とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一流出口２１は後記第一供給ライン３３に連通し、第二流出口２２は後記第二供給ライン３４に連通し、第三流出口２３は後記第三供給ライン３５に連通している。各開閉弁の構成は第一の実施例と同様であるので説明を省略する。

このとき、第一流入口１８から第一開閉弁２５を通って第一流出口２１に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口１９から第二開閉弁２６を通って第二流出口２２に連通して形成される流路は他のラインである第二ラインとなり、第三流入口２０から第三開閉弁２７を通って第三流出口２３に連通して形成される流路は他のラインである第三ラインとなり、第一分岐部２４から第一連結開閉弁２８を通って第二分岐部３０に連通して形成される流路は第一連結ラインとなり、第一分岐部２４から分岐部３２と第二連結開閉弁２９を通って第三分岐部３１に連通して形成される流路は第二連結ラインとなる。

３３はフラッシング装置１７の第一流出口２１に連通する第一供給ライン、３４は第二流出口２２に連通する第二供給ライン、３５は第三流出口２３に連通する第三供給ラインである。該供給ライン３３、３４、３５の構成は、第一の実施例の供給ラインの構成と同様なので説明を省略する。第一供給ライン３３、第二供給ライン３４および第三供給ライン３５の最下流側には、該供給ラインの合流部３６を有している。

次に、本発明の第二の実施例であるフラッシング装置が設置されてなる装置の作動について説明する。

通常モードにおいては、第一開閉弁２５と第二開閉弁２６と第三開閉弁２７を開状態とし、第一連結開閉弁２８と第二連結開閉弁２９を閉状態とする。このとき第一ラインと第二ラインと第三ラインに各々独立して流体が流れるようになる。ここで第一流入口１８に純水を流入させ、第二流入口１９に塩酸を流入させ、第三流入口２０に過酸化水素水を流入させる。第一流入口１８に流入した純水は開状態の第一開閉弁２５を通過して第一流出口２１から第一供給ライン３３に流入し、第二流入口１９に流入した塩酸は開状態の第二開閉弁２６を通過して第二流出口２２から第二供給ライン３４に流入し、第三流入口２０に流入した過酸化水素水は開状態の第三開閉弁２７を通過して第三流出口２３から第三供給ライン３５に流入する。第一供給ライン３３、第二供給ライン３４および第三供給ライン３５では流量が設定流量になるように制御されて合流部３６に流れる。合流部３６で純水と塩酸と過酸化水素水が混合されることにより、設定された比率で混合された混合流体が装置から流出される。各供給ラインの作動は第一の実施例と同様であるので説明を省略する。

フラッシングモードにおいては、フラッシング装置１７の開閉弁の切り換えにより、第二供給ライン３４のフラッシングと第三供給ライン３５のフラッシングを選択できる。

第二供給ライン３４をフラッシングする場合、第一開閉弁２５、第二開閉弁２６、第三開閉弁２７および第二連結開閉弁２９を閉状態とし、第一連結開閉弁２８を開状態とする。このとき第一流入口１８から第一連結ラインを通って第二流出口２２に流れる流路が形成される。ここで第一流入口１８に純水を流入させる。第一流入口１８に流入した純水は、第一分岐部２４、第一連結開閉弁２８、第二分岐部３０を通過して、第二流出口２２から第二供給ライン３４に流入する。純水を流し続けることにより、第二供給ライン３４は純水でフラッシングされ、第二供給ライン３４内が洗浄される。

第三供給ライン３５をフラッシングする場合、第一開閉弁２５、第二開閉弁２６、第三開閉弁２７および第一連結開閉弁２８を閉状態とし、第二連結開閉弁２９を開状態とする。このとき第一流入口１８から第二連結ラインを通って第三流出口２３に流れる流路が形成される。ここで第一流入口１８に純水を流入させる。第一流入口１８に流入した純水は、第一分岐部２４、分岐部３２、第二連結開閉弁２９、第三分岐部３１を通過して、第三流出口２３から第三供給ライン３５に流入する。純水を流し続けることにより、第三供給ライン３５は純水でフラッシングされ、第三供給ライン３５内が洗浄される。

以上の作動により、フラッシング装置１７を設けることで、第一、第二、第三供給ライン３３、３４、３５の各々に流体を流す通常モードと、第一供給ライン３３に流す純水を第二供給ライン３４または第三供給ライン３５に流してフラッシングするフラッシングモードを、フラッシング装置１７の各種開閉弁の操作により流路を切り換えることで容易に選択することができる。また、第一供給ライン３３に流す流体が水や純水などの洗浄水であれば、フラッシングにより他のラインの洗浄を行うことができる。なお、フラッシングを行うのに充分な純水を流せるのであれば、第一連結開閉弁２８と第二連結開閉弁２９を同時に開状態にして、第二供給ライン３４と第三供給ライン３５に対して同時にフラッシングを行っても良い。

ここで、四つ以上の供給ラインを有する装置の最上流側に設置された場合のフラッシング装置について説明する。

供給ラインが四つ以上の場合、第一、第二の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通するように形成されれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。

これにより、フラッシング装置を設けることで、複数の供給ラインの各々に流体を流す場合と、第一供給ラインを流れる流体を他の供給ラインにそれぞれ流してフラッシングする場合とを、フラッシング装置の開閉弁の操作により流路を切り換えることで容易に選択することができる。これは供給ラインの数が多数であっても対応が可能であり、供給ラインが多くてもコンパクトなフラッシング装置を形成することができる。

次に、図４に基づいて本発明の第三の実施例であるフラッシング装置について説明する。

３７は二つの供給ラインを有する装置の各々の供給ラインの最上流側に設置されたフラッシング装置である。フラッシング装置３７の構成は以下の通りである。

フラッシング装置３７は、流体が流入する第一流入口３８および第二流入口３９と、流体が流出する第一流出口４０、第二流出口４１および返送口４２が設けられ、第一開閉弁４３、第二開閉弁４４、連結開閉弁４５および返送開閉弁４６がそれぞれ設置されている。第一流入口３８に連通する流路は、第一開閉弁４３の上流側にある第一分岐部４７で二つの流路に分かれ、第一開閉弁４３と連結開閉弁４５にそれぞれ連通する流路が形成されている。また第一分岐部４７と連結開閉弁４５とを連通する流路には分岐部４８が設けられ、分岐部４８と返送開閉弁４６とを連通する流路が形成されている。また第一開閉弁４３から第一流出口４０へと連通する流路が形成され、返送開閉弁４６から返送口４２に連通する流路が形成されている。第二流入口３９に連通する流路は第二開閉弁４４に連通し、第二開閉弁４４から第二開閉弁４４の下流側にある第二分岐部４９に連通する流路は第二分岐部４９で二つの流路に分かれ、前記連結開閉弁４５と第二流出口４１とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一流出口４０は第一供給ライン５０に連通し、第二流出口４１は第二供給ライン５１に連通している。各開閉弁の構成や、各供給ラインの構成は第一の実施例と同様なので説明を省略する。

このとき、第一流入口３８から第一開閉弁４３を通って第一流出口４０に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口３９から第二開閉弁４４を通って第二流出口４１に連通して形成される流路は他のラインである第二ラインとなり、第一分岐部４７から連結開閉弁４５を通って第二分岐部４９に連通して形成される流路は連結ラインとなり、第一分岐部４７から分岐部４８と返送開閉弁４６を通って返送口４２に連通して形成される流路は返送ラインとなる。

次に、本発明の第三の実施例であるフラッシング装置の作動について説明する。

第一流入口３８に純水を流入させ、第二流入口３９に塩酸を流入させた装置において、装置を停止させて全ての供給ラインに流体を流すのを止める場合、返送開閉弁４６を開状態にした後、第一開閉弁４３、第二開閉弁４４、連結開閉弁４５を閉状態とし、各供給ラインに流れる流体を止める。このとき、第二流入口３９から流入する塩酸の流れは停止されるが、第一流入口３８から流入する純水は第一分岐部４７を通って分岐部４８から返送ラインを流れ返送口４２から流出される。純水は滞留するとコンタミの発生や微生物が繁殖してしまい水質が低下するため流れを止めることができず、常に流れる状態にしておかなくてはならないので、本実施例の構成によりフラッシング装置３７の開閉弁の操作により各供給ラインに流れる流体を停止すると同時に、純水を流れた状態のままにしておくことができ、純水の水質を低下することなく維持することができる。本実施例の他の作動は第一の実施例と同様なので説明を省略する。

次に、図５に基づいて本発明の第四の実施例であるフラッシング装置について説明する。

５２は三つの供給ラインを有する装置の各々の供給ラインの最上流側に設置されたフラッシング装置である。フラッシング装置５２の構成は以下の通りである。

フラッシング装置５２は、流体が流入する第一流入口５３、第二流入口５４および第三流入口５５と、流体が流出する第一流出口５６、第二流出口５７、第三流出口５８および返送口５９が設けられ、第一開閉弁６０、第二開閉弁６１、第三開閉弁６２、第一連結開閉弁６３、第二連結開閉弁６４および返送開閉弁６５がそれぞれ設置されている。第一流入口５３に連通する流路は、第一開閉弁６０の上流側にある第一分岐部６６で二つの流路に別れ、第一開閉弁６０と第一連結開閉弁６３とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また第一分岐部６６と第一連結開閉弁６３とを連通する流路には分岐部６７が設けられ、分岐部６７と第二連結開閉弁６４とを連通する流路が形成されている。また分岐部６７と第二連結開閉弁６４とを連通する流路には分岐部６８が設けられ、分岐部６８と返送開閉弁６５とを連通する流路が形成されている。また第一開閉弁６０から第一流出口５６へと連通する流路が形成され、返送口５９から返送開閉弁６５に連通する流路が設けられている。第二流入口５４に連通する流路は第二開閉弁６１に連通し、第二開閉弁６１から第二開閉弁６１の下流側にある第二分岐部６９に連通する流路は第二分岐部６９で二つの流路に分かれ、前記第一連結開閉弁６３と第二流出口５７とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第三流入口５５に連通する流路は第三開閉弁６２に連通し、第三開閉弁６２から第三開閉弁６２の下流側にある第三分岐部７０に連通する流路は第三分岐部７０で二つの流路に分かれ、前記第二連結開閉弁６４と第三流出口５８とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一流出口５６は後記第一供給ライン７１に連通し、第二流出口５７は後記第二供給ライン７２に連通し、第三流出口５８は後記第三供給ライン７３に連通している。各開閉弁の構成や、各供給ラインの構成は第二の実施例と同様なので説明を省略する。

このとき、第一流入口５３から第一開閉弁６０を通って第一流出口５６に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口５４から第二開閉弁６１を通って第二流出口５７に連通して形成される流路は他の供給ラインである第二ラインとなり、第三流入口５５から第三開閉弁６２を通って第三流出口５８に連通して形成される流路は他の供給ラインである第三ラインとなり、第一分岐部６６から第一連結開閉弁６３を通って第二分岐部６９に連通して形成される流路は第一連結ラインとなり、第一分岐部６６から分岐部６７と第二連結開閉弁６４を通って第三分岐部７０に連通して形成される流路は第二連結ラインとなり、第一分岐部６６から分岐部６８と返送開閉弁６５を通って返送口５９に連通して形成される流路は返送ラインとなる。

次に、本発明の第四の実施例であるフラッシング装置の作動について説明する。

第一流入口５３に純水を流入させ、第二流入口５４に塩酸を流入させ、第三流入口５５に過酸化水素水を流入させた装置において、装置を停止させて全ての供給ラインに流体を流すのを止める場合、返送開閉弁６５を開状態にした後、第一開閉弁６０、第二開閉弁６１、第三開閉弁６２、第一連結開閉弁６３および第二連結開閉弁６４を閉状態とし、各供給ラインに流れる流体を止める。このとき、第二流入口５４、第三流入口５５に流入する塩酸と過酸化水素水の流れは停止されるが、第一流入口５３から流入する純水は第一分岐部６６と分岐部６７を通って分岐部６８から返送ラインを流れて返送口５９から流出される。純水は滞留するとコンタミの発生や微生物が繁殖してしまい水質が低下するため流れを止めることができず、常に流れる状態にしておかなくてはならないので、本実施例の構成によりフラッシング装置５２の開閉弁の操作により各供給ラインに流れる流体を停止すると同時に、純水を流れた状態のままにしておくことができ、純水の水質を低下することなく維持することができる。本実施例の他の作動は第二の実施例と同様なので説明を省略する。

供給ラインが四つ以上の場合、第一、第二の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、これらとは別に返送口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通し、主ラインに設けられた開閉弁および連結ラインに設けられた開閉弁の上流側に接続され供給ラインに接続せず端部に返送口が形成される返送ラインに開閉弁が設けられれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインと返送ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。これにより、多数の供給ラインにおいても、各供給ラインへの流体供給を停止する場合、返送口から主ラインに流す純水を流し続けることができるので、純水の水質を低下することなく維持することができる。

次に、図６に基づいて本発明の第五の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図６では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

１ａは第一の実施例のフラッシング装置１の各種開閉弁が流路の形成されたベースプレートに設けられた場合のフラッシング装置である。フラッシング装置１ａはベースプレートである本体１３１と、流路の開閉を行う駆動部１３２、１３３、１３４とで形成されている。その各々の構成は以下の通りである。

１３１はＰＴＦＥ製の本体である。本体１３１の上部には略すり鉢形状の弁室Ａ１３５、弁室Ｂ１３６および弁室Ｃ１３７が設けられている。弁室Ａ１３５の底面には後記弁体Ａ１５０の圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路Ａ１３８と弁室Ａ１３５に連通する出口流路Ａ１３９を有している。弁室Ｂ１３６および弁室Ｃ１３７も、弁室Ａ１３５と同様に底面に弁座が形成され、弁室Ｂ１３６にそれぞれ連通する入口流路Ｂ１４０と出口流路Ｂ１４１、弁室Ｃ１３７にそれぞれ連通する入口流路Ｃ１４２と出口流路Ｃ１４３が設けられている。

また、本体１３１の一方の側の側面には第一流入口１４４と第二流入口１４５が設けられ、他方の側の側面には第一流出口１４６と第二流出口１４７が設けられている。第一流入口１４４に連通する流路は、第一分岐部１４８で二つの流路に分かれ、入口流路Ａ１３８と入口流路Ｃ１４２とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また第一流出口１４６に連通する流路は、出口流路Ａ１３９に連通している。第二流入口１４５に連通する流路は、入口流路Ｂ１４０に連通している。第二流出口１４７に連通する流路は、第二分岐部１４９で二つの流路に分かれ、出口流路Ｂ１４１と出口流路Ｃ１４３とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また、第一流出口１４６は第一供給ライン（図示せず）に連通し、第二流出口１４７は第二供給ライン（図示せず）に連通する。

このとき、第一流入口１４４から入口流路Ａ１３８、弁室Ａ１３５、出口流路Ａ１３９を通って第一流出口１４６に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口１４５から入口流路Ｂ１４０、弁室Ｂ１３６、出口流路Ｂ１４１を通って第二流出口１４７に連通して形成される流路は他のラインである第二ラインとなり、第一分岐部１４８から入口流路Ｃ１４２、弁室Ｃ１３７、出口流路Ｃ１４３を通って第二分岐部１４９に連通して形成される流路は連結ラインとなる。

１３２、１３３、１３４はＰＶＤＦ製の駆動部Ａ、Ｂ、Ｃである。駆動部Ａ１３２、駆動部Ｂ１３３、駆動部Ｃ１３４には弁室Ａ１３５、弁室Ｂ１３６、弁室Ｃ１３７の弁座に圧接離間することで弁の開閉を行う弁体Ａ１５０、弁体Ｂ１５１、弁体Ｃ１５２が設けられている。該駆動部１３２、１３３、１３４の構成は、図２の開閉弁の駆動部１０２と同じ構成であるので説明を省略する。

次に、本発明の第五の実施例であるフラッシング装置の作動について説明する。

通常モードにおいては、弁体Ａ１５０と弁体Ｂ１５１を上方へ引き上げて弁室Ａ１３５と弁室Ｂ１３６を開状態とし、弁体Ｃ１５２を下方へ押し下げて弁室Ｃ１３７を閉状態とする（図６の状態）。このとき第一ラインと第二ラインに各々独立して流体が流れるようになる。ここで第一流入口１４４に純水を流入させ、第二流入口１４５に塩酸を流入させる。第一流入口１４４に流入した純水は入口流路Ａ１３８、弁室Ａ１３５、出口流路Ａ１３９を通過して第一流出口１４６から第一供給ライン（図示せず）に流入し、第二流入口１４５に流入した塩酸は入口流路Ｂ１４０、弁室Ｂ１３６、出口流路Ｂ１４１を通過して第二流出口１４７から第二供給ライン（図示せず）に流入する。各供給ラインの作用は第一の実施例と同様である。

フラッシングモードにおいては、弁体Ａ１５０と弁体Ｂ１５１を下方へ押し下げて弁室Ａ１３５と弁室Ｂ１３６を閉状態とし、弁体Ｃ１５２を上方へ引き上げて弁室Ｃ１３７を開状態とする。このとき第一流入口１４４から連結ラインを通って第二流出口１４７に流れる流路が形成される。ここで第一流入口１４４に純水を流入させる。第一流入口１４４に流入した純水は、第一分岐部１４８、入口流路Ｃ１４２、弁室Ｃ１３７、出口流路Ｃ１４３、第二分岐部１４９を通過して、第二流出口１４７から第二供給ライン（図示せず）に流入する。純水を流し続けることにより、第二供給ラインは純水でフラッシングされ、第二供給ライン内が洗浄される。

以上の作動により、本実施例のフラッシング装置１ａを設けることにより、第一の実施例と同様に通常モードとフラッシングモードを容易に選択できる。また、本実施例のフラッシング装置１ａはベースブロックである本体１３１に流路が形成されることにより、フラッシング装置１ａを一つの部材として設けることができるので、フラッシング装置１ａをコンパクトに形成でき、流路が短くできるので流体抵抗を抑えることができ、またフラッシング装置１ａの流路を配管などで設ける必要がないので部品点数を少なくすることができる。

次に、図７に基づいて本発明の第六の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図７では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

１７ａは第二の実施例のフラッシング装置１７の各種開閉弁が流路の形成されたベースプレートに設けられた場合のフラッシング装置である。フラッシング装置１７ａはベースプレートである本体１６１と、流路の開閉を行う駆動部１６２、１６３、１６４、１６５、１６６とで形成されている。その各々の構成は以下の通りである。

１６１はＰＴＦＥ製の本体である。本体１６１の上部には略すり鉢形状の弁室Ａ１６７、弁室Ｂ１６８、弁室Ｃ１６９、弁室Ｄ１７０、および弁室Ｅ１７１が設けられている。弁室Ａ１６７の底面には後記弁体Ａ１９２の圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路Ａ１７２と弁室Ａ１６７に連通する出口流路Ａ１７３を有している。弁室Ｂ１６８、弁室Ｃ１６９、弁室Ｄ１７０および弁室Ｅ１７１も、弁室Ａ１６７と同様に底面に弁座が形成され、弁室Ｂ１６８にそれぞれ連通する入口流路Ｂ１７４と出口流路Ｂ１７５、弁室Ｃ１６９にそれぞれ連通する入口流路Ｃ１７６と出口流路Ｃ１７７、弁室Ｄ１７０にそれぞれ連通する入口流路Ｄ１７８と出口流路Ｄ１７９、弁室Ｅ１７１にそれぞれ連通する入口流路Ｅ１８０と出口流路Ｅ１８１が設けられている。

また、本体１６１の一方の側の側面には第一流入口１８２と第二流入口１８３と第三流入口１８４が設けられ、他方の側の側面には第一流出口１８５と第二流出口１８６と第三流出口１８７が設けられている。第一流入口１８２に連通する流路は、第一分岐部１８８で二つの流路に分かれ、入口流路Ａ１７２と入口流路Ｃ１７６とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一分岐部１８８と入口流路Ｃ１７６とを連通する流路には分岐部１９１が設けられ、分岐部１９１と入口流路Ｅ１８０とを連通する流路が形成されている。第一流出口１８５に連通する流路は、出口流路Ａ１７３に連通している。第二流入口１８３に連通する流路は、入口流路Ｂ１７４に連通している。第二流出口１８６に連通する流路は、第二分岐部１８９で二つの流路に分かれ、出口流路Ｂ１７５と出口流路Ｃ１７７とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第三流入口１８４に連通する流路は、入口流路Ｄ１７８に連通している。第三流出口１８７に連通する流路は、第三分岐部１９０で二つの流路に分かれ、出口流路Ｄ１７９と出口流路Ｅ１８１とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また、第一流出口１８５は第一供給ライン（図示せず）に連通し、第二流出口１８６は第二供給ライン（図示せず）に連通し、第三流出口１８７は第三供給ライン（図示せず）に連通する。

このとき、第一流入口１８２から入口流路Ａ１７２、弁室Ａ１６７、出口流路Ａ１７３を通って第一流出口１８５に連通して形成される流路は主ラインである第一ラインとなり、第二流入口１８３から入口流路Ｂ１７４、弁室Ｂ１６８、出口流路Ｂ１７５を通って第二流出口１８６に連通して形成される流路は他のラインである第二ラインとなり、第三流入口１８４から入口流路Ｄ１７８、弁室Ｄ１７０、出口流路Ｄ１７９を通って第三流出口１８７に連通して形成される流路は他のラインである第三ラインとなり、第一分岐部１８８から入口流路Ｃ１７６、弁室Ｃ１６９、出口流路Ｃ１７７を通って第二分岐部１８９に連通して形成される流路は第一連結ラインとなり、第一分岐部１８８から分岐部１９１、入口流路Ｅ１８０、弁室Ｅ１７１、出口流路Ｅ１８１を通って第三分岐部１９０に連通して形成される流路は第二連結ラインとなる。

１６２、１６３、１６４、１６５、１６６はＰＶＤＦ製の駆動部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅである。駆動部Ａ１６２、駆動部Ｂ１６３、駆動部Ｃ１６４、駆動部Ｄ１６５、駆動部Ｅ１６６には弁室Ａ１６７、弁室Ｂ１６８、弁室Ｃ１６９、弁室Ｄ１７０、弁室Ｅ１７１の弁座に圧接離間することで弁の開閉を行う弁体Ａ１９２、弁体Ｂ１９３、弁体Ｃ１９４、弁体Ｄ１９５、弁体Ｅ１９６が設けられている。該駆動部１６２、１６３、１６４、１６５、１６６の構成は、図２の開閉弁の駆動部１０２と同じ構成であるので説明を省略する。

次に、本発明の第六の実施例であるフラッシング装置の作動について説明する。

通常モードにおいては弁体Ａ１９２と弁体Ｂ１９３と弁体Ｄ１９５を上方へ引き上げて弁室Ａ１６７と弁室Ｂ１６８と弁室Ｄ１７０を開状態とし、弁体Ｃ１９４と弁体Ｅ１９６を下方へ押し下げて弁室Ｃ１６９と弁室Ｅ１７１を閉状態とする（図７の状態）。このとき第一ラインと第二ラインと第三ラインに各々独立して流体が流れるようになる。ここで第一流入口１８２に純水を流入させ、第二流入口１８３に塩酸を流入させ、第三流入口１８４に過酸化水素水を流入させる。第一流入口１８２に流入した純水は入口流路Ａ１７２、弁室Ａ１６７、出口流路Ａ１７３を通過して第一流出口１８５から第一供給ライン（図示せず）に流入し、第二流入口１８３に流入した塩酸は入口流路Ｂ１７４、弁室Ｂ１６８、出口流路Ｂ１７５を通過して第二流出口１８６から第二供給ライン（図示せず）に流入し、第三流入口１８４に流入した過酸化水素水は入口流路Ｄ１７８、弁室Ｄ１７０、出口流路Ｄ１７９を通過して第三流出口１８７から第三供給ライン（図示せず）に流入する。各供給ラインの作用は第二の実施例と同様である。

次に、フラッシングモードにおいては、フラッシング装置１７ａの開閉弁の切り換えにより、第二供給ラインのフラッシングと第三供給ラインのフラッシングを選択できる。

第二供給ラインをフラッシングする場合、弁体Ａ１９２、弁体Ｂ１９３、弁体Ｄ１９５および弁体Ｅ１９６を下方へ押し下げて弁室Ａ１６７、弁室Ｂ１６８、弁室Ｄ１７０および弁室Ｅ１７１を閉状態とし、弁体Ｃ１９４を上方へ引き上げて弁室Ｃ１６９を開状態とする。このとき第一流入口１８２から第一連結ラインを通って第二流出口１８５に流れる流路が形成される。ここで第一流入口１８２に純水を流入させる。第一流入口１８２に流入した純水は、第一分岐部１８８、入口流路Ｃ１７６、弁室Ｃ１６９、出口流路Ｃ１７７、第二分岐部１８９を通過して、第二流出口１８６から第二供給ラインに流入する。純水を流し続けることにより、第二供給ラインは純水でフラッシングされ、第二供給ライン内が洗浄される。

第三供給ラインをフラッシングする場合、弁体Ａ１９２、弁体Ｂ１９３、弁体Ｃ１９４および弁体Ｄ１９５を下方へ押し下げて弁室Ａ１６７、弁室Ｂ１６８、弁室Ｃ１６９および弁室Ｄ１７０を閉状態とし、弁体Ｅ１９６を上方へ引き上げて弁室Ｅ１７１を開状態とする。このとき第一流入口１８２から第二連結ラインを通って第三流出口１８７に流れる流路が形成される。ここで第一流入口１８２に純水を流入させる。第一流入口１８２に流入した純水は、第一分岐部１８８、分岐部２００、入口流路Ｅ１８０、弁室Ｅ１７１、出口流路Ｅ１８１、第三分岐部１９１を通過して、第三流出口１８７から第三供給ラインに流入する。純水を流し続けることにより、第三供給ラインは流入した純水でフラッシングされ、第三供給ライン内が洗浄される。

以上の作動により、本実施例のフラッシング装置１７ａを設けることにより、第二の実施例と同様に通常モードとフラッシングモードを容易に選択できる。また、本実施例のフラッシング装置１７ａは本体１６１である一つのベースブロックに流路が形成されることにより、フラッシング装置１７ａを一つの部材として設けることができ、フラッシング装置１７ａの流路を配管などで設ける必要がないので部品点数が少なくて済み、フラッシング装置１７ａをよりコンパクトに形成でき、流路が短くできるので流体抵抗を抑えることができる。

供給ラインが四つ以上の場合、第五、第六の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通するように形成されれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。これにより、供給ラインの数が多数であっても対応が可能であり、供給ラインが多くてもコンパクトなフラッシング装置を形成することができる。

次に、図８、図９に基づいて本発明の第七の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図８では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

３７ａは第五の実施例のフラッシング装置に返送開閉弁７４および返送口７５とが設けられたフラッシング装置である。その各々の構成は以下の通りである。

７４はフラッシング装置３７ａの本体１３１ａに配設された返送開閉弁である。返送開閉弁７４は、本体１３１ａに流路が設けられ、隔膜２１６、第二ステム２１７、隔膜押さえ２１８、第一ステム２１９、第一ステム支持体２２０、ボンネット２２１で形成される。

本体１３１ａの側面には略すり鉢形状の弁室２１１が設けられ、弁室の底面には後記弁体２２２の圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路２１２と弁室２１１に連通する出口流路２１３を有している。入口流路２１２から第一流入口１４４ａに連通される流路上には入口流路Ａ１３８ａに分岐する第一分岐部１４８ａと、入口流路Ｃ１４２ａに分岐する返送分岐部２１４が設けられている。また出口流路２１３には本体１３１ａ側面に設けられた返送口７５に連通する流路が設けられている。また、本体の側面における弁室の外側には環状溝２１５が設けられている。

２１６はＰＴＦＥ製の隔膜であり、隔膜２１６の下部に接液面の中心から垂下突設された弁体２２２と、弁体２２２から径方向へ連続して形成された薄膜部２２３と、薄膜部２２３の外周に断面矩形状の環状係止部２２４とが一体的に設けられている。隔膜２１６は、環状係止部２２４を本体１３１ａの環状溝２１５に嵌合された状態で本体１３１ａと後記隔膜押さえ２１８とで挟持固定される。

２１７はＰＰ製の第二ステムである。第二ステム２１７の上部外周面には後記第一ステム２１９の雌ネジ部２２８に螺合される雄ネジ部２２５が設けられ、下部外周は六角形状に形成され、下端部には隔膜２１６が螺着により接続されている。

２１８はＰＰ製の隔膜押さえである。隔膜押さえ２１８の上部と下部には外周が六角形状の嵌合部がそれぞれ設けられており、中央部外周には鍔部２２６が設けられている。嵌合部は本体１３１ａと後記第一ステム支持体２２０に回動不能に嵌合される。隔膜押さえ２１８の内周には六角形状の貫通孔２２７が設けられている。貫通孔２２７には第二ステム２１７を挿通させ、第二ステム２１７を上下移動自在かつ回動不能に支承している。

２１９はＰＰ製の第一ステムである。第一ステム２１９の下部内周面には第二ステム２１７の雄ネジ部２２５が螺合する雌ネジ部２２８と、外周面には雄ネジ部２２９が設けられており、雄ネジ部２２９と雌ネジ部２２８のピッチ差は、雄ネジ部２２９のピッチの６分の１になるように形成されている。第一ステム２１９の下部外周には径方向に突出して設けられたストッパー部２３０が設けられ、上部にはハンドル２３１が固着されている。

２２０はＰＰ製の第一ステム支持体である。第一ステム支持体２２０の上部内周面には第一ステム２１９の雄ネジ部２２９に螺合される雌ネジ部２３２が設けられており、下部外周には後記ボンネット２２１によって固定される鍔部２３３が設けられている。

２２１はＰＰ製のボンネットである。ボンネット２２１の上部には第一ステム支持体２２０の鍔部２３３の外径より小さい内径を有する係止部２３４が設けられている。ボンネット２２１は、第一ステム支持体２２０の鍔部２３３と隔膜押さえ２１８の鍔部２２６を、係止部２３４と本体１３１ａの間で挟持した状態で本体１３１ａに螺着していることで各部品を固定することができる。第七の実施例の他の構成は第五の実施例と同様であるので説明を省略する。

次に、本発明の第七の実施例であるフラッシング装置の作動について説明する。

返送開閉弁７４の作動は、返送開閉弁７４が全閉状態において、入口流路２１２から流入してきた流体は、弁座に圧接された弁体２２２によって閉止される。

ハンドル２３１を弁が開放する方向に回動させると、ハンドル２３１の回動に伴なって第一ステム２１９が外周面の雄ネジ部２２９のピッチ分だけ上昇し、逆に第一ステム２１９の内周面の雌ネジ部２２８に螺合された第二ステム２１７は第一ステム２１９の雌ネジ部２２８のピッチ分だけ下降する。ただし、第二ステム２１７は回動不能の状態で隔膜押さえ２１８の貫通孔２２７に収容されており上下方向のみに移動可能であるため、第二ステム２１７は本体１３１ａに対して第一ステム２１９外周面の雄ネジ部２２９と内周面の雌ネジ部２２８のピッチ差分上昇する。これに伴って、第二ステム２１７と接続された隔膜２１６が上昇することで最初に本体１３１ａの弁座に圧接されていた弁体２２２が弁座から離間し、弁体２２は隔膜の上昇に伴なって上昇する。このとき返送開閉弁７４の開度に応じて流量調節が行われる。さらにハンドル２３１を開方向に回動させると第一ステム２１９の下部外周のストッパー部２３０が第一ステム支持体２２０の天井面に圧接して回動は停止され、弁は全開状態となる（図９の状態）。

また、返送開閉弁７４が全開状態からハンドル２３１を逆に閉方向に回動させた場合は、開方向に回動させた場合とは逆の作動で弁体２２２が降下し、弁体２２２が弁座と圧接して全閉状態となる。このように、本実施例の返送開閉弁７４の構成であれば、弁の開度の微調節が容易に行うことができ、微小流量の調整も容易に短時間で行うことができる。
次に、フラッシング装置３７ａの作動について説明する。

第一流入口１４４ａに純水を流入させ、第二流入口１４５ａに塩酸を流入させた装置において、装置を停止させて全ての供給ラインに流体を流すのを止める場合、返送開閉弁７４のハンドルを開方向へ動かして弁体２２２を上方へ引き上げて開状態にした後、弁体Ａ１５０ａ、弁体Ｂ１５１ａおよび弁体Ｃ１５２ａを下方へ押し下げて弁室Ａ１３５ａ、弁室Ｂ１３６ａおよび弁室Ｃ１３７ａを閉状態とし、各供給ラインに流れる流体流路を閉止させる（図８の状態）。このとき、第二流入口１４５ａから流入する塩酸の流れは停止され、第一流入口１４４ａから流入する純水は第一分岐部１４８ａ、返送分岐部２１４、入口流路２１２、弁室２１１、出口流路２１３を通過して返送口７５から流出される。本実施例の構成により、フラッシング装置５４の開閉弁の操作して各供給ラインに流れる流体を停止すると同時に、純水を流れた状態のままにしておくことができ、純水の水質を低下することなく維持することができる。また、フラッシング装置３７ａをよりコンパクトに形成でき、流路が短くできるので流体抵抗を抑えることができ、フラッシング装置３７ａの流路を配管などで設ける必要がないので部品点数を少なくすることができる。フラッシング装置３７ａのその他の作動は第五の実施例と同様であるので説明を省略する。

次に、図１０に基づいて本発明の第八の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図１０では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

５２ａは第六の実施例のフラッシング装置に返送開閉弁７６および返送口７７とが設けられたフラッシング装置である。その各々の構成は以下の通りである。

７６はフラッシング装置５２ａの本体１６１ａに配設された返送開閉弁である。返送開閉弁７６は、本体１６１ａに流路が設けられ、隔膜２１６ｘ、第二ステム２１７ｘ、隔膜押さえ２１８ｘ、第一ステム２１９ｘ、第一ステム支持体２２０ｘ、ボンネット２２１ｘで形成される。

本体１６１ａの側面には略すり鉢形状の弁室２１１ｘが設けられ、弁室の底面には後記弁体２２２ｘの圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路２１２ｘと弁室２１１ｘに連通する出口流路２１３ｘを有している。入口流路２１２ｘから第一流入口１８２ａに連通される流路上には、入り口流路Ａ１７２ａに分岐する第一分岐部１８８ａと、入口流路Ｃ１７６ａに分岐する分岐部１９１ａと、入口流路Ｅ１８０ａに分岐する返送分岐部２１４ａが設けられている。また出口流路２１３ｘには本体１６１ａ側面に設けられた返送口７７に連通する流路が設けられている。返送開閉弁７６の構成および作動は第七の実施例の返送開閉弁７４と同様なので説明を省略する。また、本実施例のフラッシング装置５２ａの他の構成は第六の実施例と同様であるので説明を省略する。

次に、フラッシング装置５２ａの作動について説明する。

第一流入口１８２ａに純水を流入させ、第二流入口１８３ａに塩酸を流入させ、第三流入口１８４ａに過酸化水素水を流入させた装置において、装置を停止させて全ての供給ラインに流体を流すのを止める場合、返送開閉弁７６のハンドルを開方向へ動かして弁体２２２ｘを上方へ引き上げて開状態にした後、弁体Ａ１９２ａ、弁体Ｂ１９３ａ、弁体Ｃ１９４ａ、弁体Ｄ１９５ａおよび弁体Ｅ１９６ａを下方へ押し下げて弁室Ａ１６７ａ、弁室Ｂ１６８ａ、弁室Ｃ１６９ａ、弁室Ｄ１７０ａおよび弁室Ｅ１７１ａを閉状態とし、各供給ラインに流れる流体流路を閉止させる（図１０の状態）。このとき、第二流入口１８３ａから流入する塩酸と、第三流入口１８４ａから流入する過酸化水素水の流れは停止され、第一流入口１８２ａから流入する純水は第一分岐部１８８ａ、返送分岐部２１４ｘ、入口流路２１２ｘ、弁室２１１ｘ、出口流路２１３ｘを通過して返送口７７から流出される。本実施例の構成により、フラッシング装置５２ａの開閉弁の操作して各供給ラインに流れる流体を停止すると同時に、純水を流れた状態のままにしておくことができ、純水の水質を低下することなく維持することができる。また、フラッシング装置５２ａをよりコンパクトに形成でき、流路が短くできるので流体抵抗を抑えることができ、フラッシング装置５２ａの流路を配管などで設ける必要がないので部品点数を少なくすることができる。フラッシング装置５２ａのその他の作動は第六の実施例と同様であるので説明を省略する。

供給ラインが四つ以上の場合、第七、第八の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、これらとは別に返送口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通し、主ラインに設けられた開閉弁および連結ラインに設けられた開閉弁の上流側に接続され供給ラインに接続せず端部に返送口が形成される返送ラインに開閉弁が設けられれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインと返送ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。これにより、多数の供給ラインにおいても、各供給ラインへの流体供給を停止する場合、返送口から主ラインに流す純水を流し続けることができるので、純水の水質を低下することなく維持することができる。

次に、図１１、図１２に基づいて本発明の第九の実施例であるフラッシング装置について説明する。

１ｂは第一の実施例のフラッシング装置１の開閉弁が流路の形成されたベースプレートに設けられた場合のフラッシング装置である。フラッシング装置１ｂはベースプレートである本体３３１と、流路の開閉を行う駆動部Ａ３３２、駆動部Ｂ３３３、駆動部Ｃ３３４とで形成されている。その各々の構成は以下の通りである。

３３１はＰＴＦＥ製の本体である。本体３３１の上部には略すり鉢形状の弁室Ａ３３５と弁室Ｂ３３６が設けられ、本体３３１の下部には弁室Ｃ３３７が設けられており、弁室Ｂ３３６と弁室Ｃ３３７は本体３３１の上部と下部に略同一軸線上に配置されるように設けられている。弁室Ａ３３５の底面には後記弁体Ａ３５０の圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路Ａ３３８と弁室Ａ３３５に連通する出口流路Ａ３３９を有している。弁室Ｂ３３６および弁室Ｃ３３７も、弁室Ａ３３５と同様に底面に弁座が形成され、弁室Ｂ３３６にそれぞれ連通する入口流路Ｂ３４０と出口流路Ｂ３４１、弁室Ｃ３３７にそれぞれ連通する入口流路Ｃ３４２と出口流路Ｃ３４３が設けられている。

また、本体３３１の一方の側の側面には第一流入口３４４と第二流入口３４５が設けられ、他方の側の側面には第一流出口３４６と第二流出口３４７が設けられている。第一流入口３４４に連通する流路は、第一分岐部３４８で二つの流路に分かれ、入口流路Ａ３３８と入口流路Ｃ３４２とにそれぞれ連通する流路が形成されている。第一流出口３４６に連通する流路は、出口流路Ａ３３９に連通している。第二流入口３４５に連通する流路は、入口流路Ｂ３４０に連通している。第二流出口３４７に連通する流路は、第二分岐部３４９で二つの流路に分かれ、出口流路Ｂ３４１と出口流路Ｃ３４３とにそれぞれ連通する流路が形成されている。また、第一流出口３４６は第一供給ライン（図示せず）に連通し、第二流出口３４７は第二供給ライン（図示せず）に連通する。

このとき、第一流入口３４４から入口流路Ａ３３８、弁室Ａ３３５、出口流路Ａ３３９を通って第一流出口３４６に連通して形成される流路を主ラインである第一ラインと称し、第二流入口３４５から入口流路Ｂ３４０、弁室Ｂ３３６、出口流路Ｂ３４１を通って第二流出口３４７に連通して形成される流路を他のラインである第二ラインと称し、第一分岐部３４８から入口流路Ｃ３４２、弁室Ｃ３３７、出口流路Ｃ３４３を通って第二分岐部３４９に連通して形成される流路を連結ラインと称する。

３３２、３３３、３３４はＰＶＤＦ製の駆動部Ａ、Ｂ、Ｃである。駆動部Ａ３３２、駆動部Ｂ３３３、駆動部Ｃ３３４には弁室Ａ３３５、弁室Ｂ３３６、弁室Ｃ３３７の弁座に圧接離間することで弁の開閉を行う弁体Ａ３５０、弁体Ｂ３５１、弁体Ｃ３５２が設けられている。該駆動部３３２、３３３、３３４の構成は第一の実施例の駆動部の構成と同様なので説明を省略する。

本実施例のフラッシング装置の作動は、第五の実施例と同様なので説明を省略する。本実施例のフラッシング装置１ｂを設けることにより、ベースブロックである本体３３１に形成される流路は非常に短く形成できるので、流体抵抗を低く抑えることができると共に、ベースプレートである本体３３１の上下に駆動部を設けることでフラッシング装置１ｂを非常にコンパクトに形成できる。

次に、図１３、図１４に基づいて本発明の第十の実施例であるフラッシング装置について説明する。

１７ｂは三つの供給ラインを有する装置の最上流側に設置されたフラッシング装置である。フラッシング装置１７ｂは、流路が形成されたベースプレートである本体３７１と、流路の開閉を行う駆動部３７２、３７３、３７４、３７５、３７６とで形成されている。その各々の構成は以下の通りである。

３７１はＰＴＦＥ製の本体である。本体３７１の上部には略すり鉢形状の弁室Ａ３７７と弁室Ｂ３７８と弁室Ｄ３８０が設けられ、本体３７１の下部には弁室C３７９と弁室Ｅ３８１が設けられ、弁室Ｂ３７８と弁室Ｃ３７９、弁室Ｄ３８０と弁室Ｅ３８１は本体３７１の上部と下部に略同一軸線上に配置されるように設けられている。弁室Ａ３７７の底面には後記弁体Ａ４０２の圧接によって流路の全閉シールを行う弁座が形成され、弁座の中心に設けられた連通口に連通する入口流路Ａ３８２と弁室Ａ３７７に連通する出口流路Ａ３８３を有している。弁室Ｂ乃至弁室Ｅも、弁室Ａ３７７と同様に底面に弁座が形成され、弁室Ｂ３７８にそれぞれ連通する入口流路Ｂ３８４と出口流路Ｂ３８５、弁室Ｃ３７９にそれぞれ連通する入口流路Ｃ３８６と出口流路Ｃ３８７、弁室Ｄ３８０にそれぞれ連通する入口流路Ｄ３８８と出口流路Ｄ３８９、弁室Ｅ３８１にそれぞれ連通する入口流路Ｅ３９０と出口流路Ｅ３９１が設けられている。

また、本体３７１の一方の側の側面には第一流入口３９２と第二流入口３９３と第三流入口３９４が設けられ、他方の側の側面には第一流出口３９５と第二流出口３９６と第三流出口３９７が設けられている。第一流入口３９５に連通する流路は、第一分岐部３９８で二つの流路に分かれ、分かれた流路の一方は入口流路Ａ３８２に連通し、他方は分岐部３９９でさらに二つの流路に分かれて入口流路Ｃ３８６と入口流路Ｅ３９０とにそれぞれ連通している。第一流出口３９５に連通する流路は、出口流路Ａ３８３に連通している。第二流入口３９３に連通する流路は、入口流路Ｂ３８４に連通している。第二流出口３９６に連通する流路は、第二分岐部４００で二つの流路に分かれ、分かれた流路は出口流路Ｂ３８５と出口流路Ｃ３８７とにそれぞれ連通している。第三流入口３９４に連通する流路は、入口流路D３８８に連通している。第三流出口３９７に連通する流路は、第三分岐部４０１で二つの流路に分かれ、分かれた流路は出口流路Ｄ３８９と出口流路Ｅ３９１とにそれぞれ連通している。また、第一流出口３９５は第一供給ライン（図示せず）に連通し、第二流出口３９６は第二供給ライン（図示せず）に連通し、第三流出口３９７は第三供給ライン（図示せず）に連通する。

このとき、第一流入口３９２から入口流路Ａ３８２、弁室Ａ３７７、出口流路Ａ３８３を通って第一流出口３９５に連通して形成される流路は主流路である第一ラインとなり、第二流入口３９３から入口流路Ｂ３８４、弁室Ｂ３７８、出口流路Ｂ３８５を通って第二流出口３９６に連通して形成される流路は第二ラインとなり、第三流入口３９４から入口流路Ｄ３８８、弁室Ｄ３８０、出口流路Ｄ３８９を通って第三流出口３９７に連通して形成される流路は第三ラインとなり、第一分岐部３９８から入口流路Ｃ３８６、弁室Ｃ３７９、出口流路Ｃ３８７を通って第二分岐部４００に連通して形成される流路は第一連結ラインとなり、第一分岐部３９８から分岐部３９９、入口流路Ｅ３９０、弁室Ｅ３８１、出口流路Ｅ３９１を通って第三分岐部４０１に連通して形成される流路は第二連結ラインとなる。

３７２、３７３、３７４、３７５、３７６はＰＶＤＦ製の駆動部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅである。駆動部Ａ３７２、駆動部Ｂ３７３、駆動部Ｃ３７４、駆動部Ｄ３７５、駆動部Ｅ３７６には弁室Ａ３７７、弁室Ｂ３７８、弁室Ｃ３７９、弁室Ｄ３８０、弁室Ｅ３８１の弁座に圧接離間することで弁の開閉を行う弁体Ａ４０２、弁体Ｂ４０３、弁体Ｃ４０４、弁体Ｄ４０５、弁体Ｅ４０６が設けられている。該駆動部３７２、３７３、３７４、３７５、３７６の構成は第一の実施例の駆動部の構成と同様なので説明を省略する。

本実施例のフラッシング装置の作動は、第六の実施例と同様なので説明を省略する。本実施例のフラッシング装置１７ｂを設けることにより、ベースブロックである本体３７１に形成される流路は非常に短く形成できるので、流体抵抗を低く抑えることができると共に、ベースプレートである本体３７１の上下に駆動部を設けることでフラッシング装置１ｂを非常にコンパクトに形成できる。

供給ラインが四つ以上の場合、第九、第十の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通するように形成されれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。本実施例では開閉弁を集積させることができるため、供給ラインの数が多数になってもフラッシング装置を非常にコンパクトにすることができる。

次に、図１５に基づいて本発明の第十一の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図１５では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

３７ｂは第九の実施例のフラッシング装置に返送開閉弁７８および返送口７９とが設けられたフラッシング装置である。返送開閉弁７８の構成と返送開閉弁７８を通って返送口７９から流体を流出するときの作動は第七の実施例と同様であるので説明を省略する。また、本実施例のフラッシング装置の通常モードとフラッシングモードの作動は第九の実施例と同様であるので説明を省略する。

次に、図１６に基づいて本発明の第十二の実施例であるフラッシング装置について説明する。なお、図１６では流路の構成がわかるように流出口に連通する流路を模式的に示している。

５２ｂは第十の実施例のフラッシング装置に返送開閉弁８０および返送口８１とが設けられたフラッシング装置である。返送開閉弁８０の構成と返送開閉弁８０を通って返送口８１から流体を流出するときの作動は第八の実施例と同様であるので説明を省略する。また、本実施例のフラッシング装置の通常モードとフラッシングモードの作動は第十の実施例と同様であるので説明を省略する。

供給ラインが四つ以上の場合、第七、第八の実施例と同様に、フラッシング装置に流入口と流出口を設け、これらとは別に返送口を設け、主ラインとなる第一ラインに、他のラインが連結ラインによって主ラインの開閉弁の上流側と他のラインの開閉弁の下流側とを連通し、主ラインに設けられた開閉弁および連結ラインに設けられた開閉弁の上流側に接続され供給ラインに接続せず端部に返送口が形成される返送ラインに開閉弁が設けられれば良い。このとき、主ラインと他のライン（連結ラインと返送ラインは除く）の合計数は供給ラインと同数に設けられる。本実施例では開閉弁を集積させることができるため、供給ラインの数が多数になってもフラッシング装置を非常にコンパクトにすることができる。

本発明のフラッシング装置の第一の実施例を模式的に示す構成図である。開閉弁の縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第二の実施例を模式的に示す構成図である。本発明のフラッシング装置の第三の実施例を模式的に示す構成図である。本発明のフラッシング装置の第四の実施例の流路を模式的に示す構成図である。本発明のフラッシング装置の第五の実施例の縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第六の実施例の縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第七の実施例の縦断面図である。図８の要部拡大縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第八の実施例の縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第九の実施例の縦断面図である。第九の実施例の流路を模式的に示す斜視図である。本発明のフラッシング装置の第十の実施例の縦断面図である。第十の実施例の流路を模式的に示す斜視図である。本発明のフラッシング装置の第十一の実施例の縦断面図である。本発明のフラッシング装置の第十二の実施例の縦断面図である。従来の流量制御装置の構成図である。

符号の説明

１フラッシング装置
２第一流入口
３第二流入口
４第一流出口
５第二流出口
６第一分岐部
７第一開閉弁
８第二開閉弁
９連結開閉弁
１０第二分岐部
１４第一供給ライン
１５第二供給ライン
１７フラッシング装置
１８第一流入口
１９第二流入口
２０第三流入口
２１第一流出口
２２第二流出口
２３第三流出口
２４第一分岐部
２５第一開閉弁
２６第二開閉弁
２７第三開閉弁
２８第一連結開閉弁
２９第二連結開閉弁
３０第二分岐部
３１第三分岐部
３２分岐部
３３第一供給ライン
３４第二供給ライン
３５第三供給ライン
３７フラッシング装置
３８第一流入口
３９第二流入口
４０第一流出口
４１第二流出口
４２返送口
４３第一開閉弁
４４第二開閉弁
４５連結開閉弁
４６返送開閉弁
４７第一分岐部
４８分岐部
４９第二分岐部
５０第一供給ライン
５１第二供給ライン
５２フラッシング装置
５３第一流入口
５４第二流入口
５５第三流入口
５６第一流出口
５７第二流出口
５８第三流出口
５９返送口
６０第一開閉弁
６１第二開閉弁
６２第三開閉弁
６３第一連結開閉弁
６４第二連結開閉弁
６５返送開閉弁
６６第一分岐部
６７分岐部
６８分岐部
６９第二分岐部
７０第三分岐部
７１第一供給ライン
７２第二供給ライン
７３第三供給ライン
７４返送開閉弁
７５返送口
７６返送開閉弁
７７返送口
７８返送開閉弁
７９返送口
８０返送開閉弁
８１返送口

Claims

少なくとも２つの供給ラインを有する装置の各々の該供給ラインの最上流側に配置されるフラッシング装置であって、
該フラッシング装置が、
各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた主ラインと、
他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた少なくとも一つの他のラインと、
該主ラインの開閉弁の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通された連結ラインとを具備することを特徴とするフラッシング装置。
少なくとも２つの供給ラインを有する装置の各々の該供給ラインの最上流側に配置されるフラッシング装置であって、
該フラッシング装置が、
各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた主ラインと、
他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁が設けられた少なくとも一つの他のラインと、
該主ラインの開閉弁の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁の下流側とが開閉弁を介して連通された連結ラインとを具備し、
該主ラインに設けられた該開閉弁および該連結ラインに設けられた該開閉弁の上流側に接続され該供給ラインに接続せず端部に返送口が形成される返送ラインに開閉弁が設けられたことを特徴とするフラッシング装置。
前記開閉弁が、一つのベースブロックに配設されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフラッシング装置。
該フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該流出口が該出口流路Ａに連通する流路から形成される主ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する他の流入口と、他の供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該他の流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該他の流出口が該出口流路Ｂに連通する流路から形成される少なくとも一つの他のラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該流入口から該流入口に連通する弁室の入口流路にそれぞれ連通する流路に分岐部が設けられ、該他の流出口から出口流路Ｂに連通する流路に他の分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該他の分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される少なくとも一つの連結ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する少なくとも一つの駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する少なくとも一つの駆動部Ｃとを具備することを特徴とする請求項３に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置の前記弁室Ｂおよび前記弁室Ｃが、前記本体の上部と下部に略同一軸線上に配置されたことを特徴とする請求項４に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される連結ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃとを具備することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される第一連結ラインと、
弁室Ｄと、該弁室Ｄに各々が連通する入口流路Ｄおよび出口流路Ｄと、流体が流入する第三流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第三流出口とが設けられ、該第三流入口が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第三流出口が該出口流路Ｄに連通する流路が形成される第三ラインと、
弁室Ｅと、該弁室Ｅに各々が連通する入口流路Ｅおよび出口流路Ｅが設けられ、該第一分岐部から入口流路Ａまたは入口流路Ｃに連通する流路に分岐部が設けられ、該第三流出口から出口流路Ｄに連通する流路に第三分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｅに連通する流路と、該第三分岐部が該出口流路Ｅに連通する流路が形成される第二連結ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室Ｄに流入する流路の開閉を行う弁体Ｄを有する駆動部Ｄと、該弁室Ｅに流入する流路の開閉を行う弁体Ｅを有する駆動部Ｅとを具備することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のフラッシング装置。
該フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される主ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する他の流入口と、他の供給ラインに連通する流出口とが設けられ、該他の流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該他の流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される少なくとも一つの他のラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該流入口から該流入口に連通する弁室の入口流路にそれぞれ連通する流路に分岐部が設けられ、該他の流出口から出口流路Ｂに連通する流路に他の分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該他の分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される少なくとも一つの連結ラインと、
弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｃに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する少なくとも一つの駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する少なくとも一つの駆動部Ｃと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを特徴とする請求項３に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置の前記弁室Ｂおよび前記弁室Ｃが、前記本体の上部と下部に略同一軸線上に配置されたことを特徴とする請求項８に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路が形成される連結ラインと、
弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｃに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを特徴とする請求項８または請求項９に記載のフラッシング装置。
前記フラッシング装置が、
流路が形成された一つのベースブロックからなる本体に、
弁室Ａと、該弁室Ａに各々が連通する入口流路Ａおよび出口流路Ａと、流体が流入する第一流入口と、前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインに連通する第一流出口とが設けられ、該第一流入口が該入口流路Ａに連通する流路と、該第一流出口が該出口流路Ａに連通する流路が形成される第一ラインと、
弁室Ｂと、該弁室Ｂに各々が連通する入口流路Ｂおよび出口流路Ｂと、流体が流入する第二流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第二流出口とが設けられ、該第二流入口が該入口流路Ｂに連通する流路と、該第二流出口が該出口流路Ｂに連通する流路が形成される第二ラインと、
弁室Ｃと、該弁室Ｃに各々が連通する入口流路Ｃおよび出口流路Ｃが設けられ、該第一流入口から入口流路Ａに連通する流路に第一分岐部が設けられ、該第二流出口から出口流路Ｂに連通する流路に第二分岐部が設けられ、該第一分岐部が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第二分岐部が該出口流路Ｃに連通する流路から形成される第一連結ラインと、
弁室Ｄと、該弁室Ｄに各々が連通する入口流路Ｄおよび出口流路Ｄと、流体が流入する第三流入口と、前記供給ラインの中の他の一つの供給ラインに連通する第三流出口とが設けられ、該第三流入口が該入口流路Ｃに連通する流路と、該第三流出口が該出口流路Ｄに連通する流路が形成される第三ラインと、
弁室Ｅと、該弁室Ｅに各々が連通する入口流路Ｅおよび出口流路Ｅが設けられ、該第一分岐部から入口流路Ａまたは入口流路Ｃに連通する流路に分岐部が設けられ、該第三流出口から出口流路Ｄに連通する流路に第三分岐部が設けられ、該分岐部が該入口流路Ｅに連通する流路と、該第三分岐部が該出口流路Ｅに連通する流路が形成される第二連結ラインと、
弁室と、該弁室に各々が連通する入口流路および出口流路と、該入口流路が第一流入口に連通される流路上に入口流路Ｅに分岐する返送分岐部が設けられ、該出口流路の端部に返送口が形成された返送ラインとを有し、
該弁室Ａに流入する流路の開閉を行う弁体Ａを有する駆動部Ａと、該弁室Ｂに流入する流路の開閉を行う弁体Ｂを有する駆動部Ｂと、該弁室Ｃに流入する流路の開閉を行う弁体Ｃを有する駆動部Ｃと、該弁室Ｄに流入する流路の開閉を行う弁体Ｄを有する駆動部Ｄと、該弁室Ｅに流入する流路の開閉を行う弁体Ｅを有する駆動部Ｅと、該弁室に流入する流路の開閉を行う弁体を有する駆動部とを具備することを特徴とする請求項８または請求項９に記載のフラッシング装置。