JP6737492B2 - バルブ及びこれを用いたマニホールドバルブ - Google Patents
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Description
11 ベースブロック
12 ハウジングブロック
13 固定ブロック
15 第2流体流路部
16 上流部開口
17 下流部開口
20 流入室
21 第1流体流入部
22 接続流路部
23 流入開口部
24 流出開口部
25 弁座部
26 弁座環状突部(弁座環状シール部)
30 弁体部
31 軸体部
32 ピストン頭部
33 ピストン空間部
34 フランジ部
35 ダイヤフラム部
40 弁部
41 当接面部
44 平坦部
45,47 小柱状部
46 弁体環状突部(弁体環状シール部)
50 駆動部
51 第1エアポート
52 第2エアポート
55 付勢ばね
80 マニホールドバルブ
1 スピンチャック
2 処理液ノズル
3 流体配管
4 流量制御弁
5 制御装置
6 流量検知部
7 演算部
8 制御部
W シリコンウエハ
Claims (5)
- 第1流体が流入する第1流体流入部が備えられた流入室と、
第2流体が上流部開口から下流部開口へ流通する第2流体流路部と、
前記流入室と前記第2流体流路部とを接続し前記第1流体を前記流入室から前記第2流体流路部側へ流通させる接続流路部と、
前記接続流路部の前記流入室側の開口部に形成された弁座部と、
前記流入室内に配置され、前記弁座部に対し当接して前記第1流体の前記第2流体流路部への流入及び流入停止を行う、ダイヤフラム部が備えられた弁体部と、
前記弁体部の前記弁座部側への当接面部に設けられ、前記接続流路部内に延長されるとともに前記接続流路部の全長より長く形成された小柱状部とを備え、
前記弁体部が前記弁座部に当接した状態において前記小柱状部の一部が前記接続流路部から前記第2流体流路部に露出する
ことを特徴とするバルブ。 - 前記第1流体流入部、前記第2流体流路部、前記流入室、前記接続流路部、及び前記弁座部が、一のベースブロックの内部に形成されている請求項1に記載のバルブ。
- 前記小柱状部が円柱形状である請求項1または2に記載のバルブ。
- 前記弁体部の進退駆動が加圧気体の流出入により行われる請求項1ないし3のいずれか1項に記載のバルブ。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のバルブの第2流体流路部を相互に複数個組み合わせてなることを特徴とするマニホールドバルブ。
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WO2024024400A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | 株式会社不二工機 | 流路切換弁 |
WO2024024399A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | 株式会社不二工機 | 流路切換弁 |
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