WO2012132788A1 - 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置 - Google Patents

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篠原　努
隆博 松田
中田　知宏
山路　道雄
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株式会社フジキン
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Definitions

  • the present invention provides, for example, a support member used in a fluid control apparatus assembled by fixing a plurality of joints (block joints) on a support member and fixing a fluid control device so as to straddle these joints.
  • the present invention relates to a fixing device that fixes a block joint (lower member) disposed between a fluid control device (upper member) and a support member, and also relates to a fluid control device including the fixing device.
  • Patent Document 1 discloses a fixing device for a lower member targeted by the present invention as shown in FIG.
  • each block joint (51) is provided with a bolt insertion hole (54) through which the joint fixing bolt (53) is inserted when the block joint (51) is attached to the support member (52).
  • the support member (52) has a screw hole (55) used for attaching the block joint (51) to the support member (52).
  • each joint (51) is connected to the large diameter portion (54a) having a diameter larger than the diameter of the bolt head (53a) and the stepped portion (54c). And a small diameter portion (54b) having a diameter intermediate between the diameter of (53a) and the diameter of the bolt shaft portion (53b).
  • a cylindrical spacer (56) having a lower end received by the support member (52) and an upper end within the large diameter portion (54a) is fitted into the small diameter portion (54b) of the bolt insertion hole (54).
  • the spacer (56) has an inner diameter larger than the diameter of the bolt shaft portion (53b) and an outer diameter smaller than the diameter of the bolt head (53a).
  • the shaft (53b) of the joint fixing bolt (53) is fitted into the spacer (56), and the head (53a) is received by the upper end surface of the spacer (56).
  • the spacer (56) regulates the tightening amount of the joint fixing bolt (53) .
  • the joint fixing bolt (53) is inserted into the bolt insertion hole (54) and the screw hole (55) of the support member (52) is inserted. Then, the spacer (56) is stretched between the head (53a) of the joint fixing bolt (53) and the support member (52) so that no further tightening is possible.
  • An annular rubber washer (57) with an outer diameter substantially equal to the diameter of the head (53a) of the joint fixing bolt (53) is fitted over the upper end of the spacer (56).
  • the rubber washer (57) is sandwiched between the head portion (53a) of the joint fixing bolt (53) and the step portion (54c) of the bolt insertion hole (54).
  • the length of the rubber washer (57) in the vertical direction is set so that a compression force is applied to the rubber washer (57) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ when the joint fixing bolt (53) is completely tightened. Therefore, both the joints (51) are urged toward the support member (52) by the rubber washer (57).
  • Patent Document 1 exemplifies a rubber washer (57) having a square cross section as an elastic member.
  • the fixing device for the lower member of Patent Document 1 when the bolt for fixing the lower member is tightened, the spacer is held between the bolt head and the support member. Since the member is biased toward the support member, each lower member does not rattle. On the other hand, by compressing and elastically deforming the elastic member, the lower member having the lower upper surface is moved away from the support member. Thus, the upper surfaces of the lower members can be flush with each other, which has the advantage that the upper member can be easily attached to the lower members. Further, the elastic member absorbs vibration, which is advantageous in that the bolt once properly tightened is prevented from loosening due to the influence of vibration or the like.
  • An object of the present invention is to provide a lower member fixing device and a fluid control device including the same, which facilitate the leveling work of making the upper surfaces of the lower members flush with each other and further enhance the vibration absorption effect of the elastic member. There is.
  • the lower member fixing device is a device for fixing a lower member with a bolt insertion hole, which is disposed between the support member and the upper member, to the support member with a bolt, and the bolt insertion hole of the lower member is a bolt.
  • a bolt insertion hole comprising a large-diameter portion having a diameter larger than the diameter of the head portion and a small-diameter portion connected to the lower portion thereof via a step portion and having an intermediate diameter between the bolt head diameter and the bolt shaft diameter.
  • a cylindrical spacer having an inner diameter larger than the diameter of the bolt shaft portion, a lower end received by the support member, and an upper end within the large diameter portion is fitted in the small diameter portion, and between the bolt head portion and the step portion.
  • the elastic member is arranged in at least one of the outer peripheral surface, the inner peripheral surface, the upper surface, and the lower surface in the vertical direction. Against the power of And it is characterized in that it notch provided outs for allowing elastic bending deformation of the sexual member.
  • the cross-sectional shape of the elastic member before the notch is formed is a square, a circle (including an oval or an ellipse), a polygon, etc., but four corners of the square (a rectangle with a long vertical direction) are cut off. An octagon is preferable.
  • the elastic member has an upper surface that contacts the lower surface of the bolt head or the flange lower surface of the spacer, a lower surface that contacts the stepped portion of the bolt insertion hole, and an outer periphery that contacts the circumferential surface of the large diameter portion of the bolt insertion hole. At least one notch for forming a recess in at least one of the upper surface, the lower surface, the outer peripheral surface, and the inner peripheral surface. It is assumed that
  • the elastic member is preferably an annular body made of rubber or synthetic resin.
  • the elastic member allows the lower member to move upward by being deformed.
  • the amount of upward movement is limited, while the elastic member is elastic.
  • the member elastically deformable the lower member can be moved upward with a small force, and the leveling operation for making the upper surfaces of the lower member flush with each other can be facilitated. Further, vibration can be absorbed by elastic deformation of the elastic member.
  • the spacer may have no flange (cylindrical body) and may have a flange at the upper end.
  • the elastic body is placed between the bottom surface of the bolt head and the step, and when the spacer has a flange, the elastic body is between the bottom surface of the spacer flange and the step. Placed in.
  • the elastic member is disposed between the lower surface of the flange provided at the upper end portion of the spacer and the step portion.
  • the cross-sectional shape of the notch is, for example, a substantially square shape, but is not limited to this, and may be a triangle or an arc.
  • the notches may be provided, for example, at two locations on the inner circumferential surface or the outer circumferential surface of the elastic member, respectively (the cross-sectional shape is substantially horizontal T-shaped).
  • the notches are provided, for example, at two locations, one at each of the upper and lower central portions of the elastic member (total cross-sectional shape is substantially I-shaped or substantially Z-shaped).
  • the cutout may be provided at only one place in the upper and lower central portions of the inner or outer peripheral surface of the elastic member (the cross-sectional shape is substantially C-shaped or substantially U-shaped).
  • the notches may be provided at three locations, one at each of the upper, lower and central portions of the inner or outer peripheral surface of the elastic member (the cross-sectional shape is substantially horizontal).
  • the notch may be provided at a total of four locations, one at each of the upper and lower central portions of the inner and outer peripheral surfaces of the elastic member and the upper and lower central portions.
  • the notches are not limited to those described above, and can be variously changed as long as the action of enabling elastic bending deformation of the elastic member with respect to the force in the vertical direction is obtained.
  • a fluid control device includes a plurality of block joints provided with fluid passages opened upward, and a plurality of fluid control devices provided with fluid passages opened downwardly leading to the fluid passages of the block joints; A plurality of seal portions interposed in abutting surfaces of the fluid passage of the block joint and the fluid passage of the fluid control device, a support member that supports the plurality of block joints, and a plurality of bolts that attach each block joint to the support member;
  • the block joint is a lower member, which is attached to the support member by any one of the lower member fixing devices described above It is characterized by being.
  • the upper and lower sides refer to the upper and lower sides of the figure, but the upper and lower sides are for convenience, and the fixing device and the fluid control device are installed on the horizontal plane in the state shown in the figure, It may be installed on a horizontal surface upside down or on a vertical surface.
  • the elastic member is an annular body made of rubber or synthetic resin, and is applied to at least one of the outer peripheral surface, the inner peripheral surface, the upper surface and the lower surface with respect to the force in the vertical direction. Since the notch is provided to enable elastic bending deformation of the elastic member, the lower member can be moved in the vertical direction with a small force compared to the case using an elastic member capable of only compressive deformation. It is possible to facilitate leveling work in which the upper surfaces of the lower members are flush with each other. In addition, when vibration is applied to the lower member, the elastic member is elastically deformed to absorb this vibration. Therefore, the vibration absorbing effect of a device (for example, a fluid control device) using the lower member fixing device of the present invention is enhanced. be able to.
  • a device for example, a fluid control device
  • FIG. 1 schematically shows an example of a fluid control device using the lower member fixing device of the present invention.
  • the fluid control device (1) is used in semiconductor manufacturing equipment and the like, and includes a plurality of block joints (lower members) (2) (3) provided with fluid passages opened upward, and block joints (2) ( 3) Multiple fluid control devices (upper members) (4) (5) (6) (7) and block joints (2) (3) A plurality of fluid passages and fluid control devices (4), (5), (6), (7) main body (4a) (5a) (6a) A seal portion (not shown), a support member (9) for supporting the plurality of block joints (2) (3), and a plurality of bolts (10 for attaching each block joint (2) (3) to the support member (9) ) And a plurality of bolts (20) for attaching the fluid control devices (4), (5), (6), and (7) to the block joints (2) and (3).
  • a spacer (12) and an elastic member (21) are used in addition to the bolt (10) when the block joint (2) (3) is fixed.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the lower member fixing device according to the present invention.
  • the lower member fixing device is configured such that the block joint (lower member) (2) is attached to the support member (9) by a bolt (10).
  • the lower member (2) has a large diameter portion (11a) having a diameter larger than the diameter of the bolt head (10a) and a step portion (11c) below this
  • a bolt insertion hole (11) comprising a small diameter portion (11b) having a diameter intermediate between the diameter of the bolt head (10a) and the diameter of the bolt shaft portion (10b).
  • the portion (11b) has an inner diameter larger than the diameter of the bolt shaft portion (10b), the lower end is received by the support member (9), and the upper end is in the large diameter portion (11a).
  • a cylindrical spacer (12) with a flange (12a) to be received is fitted, and the lower member (2) is placed downward (between the lower surface of the flange (12a) of the spacer (12) and the step portion (11c) ( support Annular elastic member that headed) urging the timber (9) (21) is interposed. Then, the lower member (2) with the bolt insertion hole (11) disposed between the support member (9) and the upper member (4) (5) (6) (7) is supported by the bolt (10). It is attached to 9).
  • the spacer (12) may have no flange (12a) .In this case, the elastic member (21) is interposed between the lower surface of the bolt head (10a) and the step (11c). Be made.
  • the lower member fixing device is characterized by the shape of the elastic member (21).
  • the elastic member (21) is an annular member made of rubber or synthetic resin, and the upper member shown in FIG. In the shape before fixing (the main body of the upper member is indicated by reference numeral (5a)), the notches (21a) and (21b) are provided at the upper and lower portions of the outer peripheral surface, so that the elastic member (21) Elastic bending deformation is possible.
  • FIG. 6 is a view for explaining the leveling function of the fixing device for the lower member, and shows the positional relationship before (FIG. 6 (a)) and after (FIG. 6 (b)) the upper member is fixed.
  • the bolt (10) fixes the spacer (12) to the support member (9), and the bolt (10) and the spacer (12) cannot move relative to the support member (9). ing.
  • the lower member (2) receives a downward force from the spacer (12) via the elastic member (E), so that the lower surface thereof contacts the support member (9). In contact, it is impossible to move. Since the elastic force of the rubber elastic member (E) is smaller than the force of the hand, by applying an upward force to the lower member (2) against this elastic force, FIG.
  • the lower member (2) can be lifted upward by hand. Therefore, when the upper surface of a certain lower member (2) is low, the lower member (2) is moved upward against the elastic force of the elastic member (E) by moving the lower member (2) upward. Fine adjustment, that is, leveling can be performed.
  • a rubber washer (57) is used as the elastic member (E), and this rubber washer (57) has a square cross section, and has a joint fixing bolt (53) 53. A space formed between the head (53a) and the step portion (54c) of the bolt insertion hole (54) is filled. Therefore, when this rubber washer (57) is used as the elastic member (E), the movable amount when the lower member (2) is moved when the upper member is fixed is limited, and the lower member (2) is moved upward. Since the elastic force (repulsive force) of the elastic member (E) is greatly increased by the movement, there is a problem that leveling work becomes difficult.
  • the elastic member (21) of the lower member fixing device according to the present invention shown in FIG. 2 has a cross-sectional shape of a substantially horizontal T-shape consisting of a vertical portion and a horizontal portion extending radially outward from the center portion thereof, and The upper and lower corners on the inner peripheral side of the vertical part are cut off.
  • the elastic member (21) has notches (21a) (21b) at the upper and lower portions of its outer peripheral surface with reference to an annular body having an octagonal shape obtained by cutting off four corners of a rectangle with a long cross section. Is supposed to be provided.
  • the elastic member (21) of the fixing device for the lower member according to the present invention has the notches (21a) and (21b), the upper and lower ends of the vertical portion are the cross-sectional areas of the notches (21a) and (21b).
  • the elastic member can be deformed by bending so that the elastic member 21 is deformed, and the shape when the elastic member 21 is deformed is as shown in FIG.
  • FIG. 3B shows a case where an elastic member (30) not provided with a notch is used for comparison.
  • the space formed between the flange (12a) and the step portion (11c) of the spacer (12) at an early stage is moved to the elastic member (30).
  • the repulsive force is increased, and it is difficult to move the lower member (2) upward thereafter. Therefore, there is a possibility that the gap (G) remains between the main body (5a) of the upper member and the lower member (2).
  • the elastic member (21) shown in FIG. 2 has no gap between the upper member body (5a) and the lower member (2) as shown in FIG. 3 (a). Since it is in a state in which it can be further elastically bent and deformed from the state, the leveling operation becomes extremely easy. Further, since it can be further elastically bent, it is advantageous in terms of vibration absorption effect as compared with the conventional case.
  • the shape of the elastic member can be variously changed.
  • the number of notches may be two, the position where the notches are provided may be changed, and the number of notches may be one or three or more.
  • FIG. 4 shows a case where the number of notches is two
  • FIG. 5 shows a case where the number of notches is one or three or more.
  • the elastic member (21) shown in FIG. 4A is the same as that shown in FIG. 2, and the elastic member (22) shown in FIG. 21)
  • Notches (21a) and (21b) are provided at two locations on the top and bottom of the outer peripheral surface, respectively, whereas two notches are provided on the top and bottom of the inner peripheral surface of the elastic member (22).
  • Notches (22a) and (22b) are provided (the cross-sectional shape is a substantially horizontal T-shape whose inside and outside are reversed).
  • the elastic member (23) shown in FIG. 4 (c) is provided with two notches (23a) and (23b), one at each of the inner peripheral surface and upper and lower central portions of the elastic member (23). It is what was done.
  • the cross-sectional shape of the notches (23a) and (23b) is substantially the same square shape as described above, whereby the elastic member (23) has a substantially I-shaped cross-sectional shape.
  • the elastic member (24) shown in FIG. 4 (d) is the same as that shown in FIG. 4 (c), and there are two in total, one at each of the upper and lower central portions of the inner and outer peripheral surfaces of the elastic member (24).
  • Notches (24a) and (24b) are provided, and the cross-sectional shape of the notches (24a) and (24b) is substantially triangular, so that the elastic member (24) has a substantially Z-shaped cross-section. It has become.
  • the elastic member (25) shown in FIG. 5 (a) has a notch (25a) provided at only one central portion at the top and bottom of the inner peripheral surface of the elastic member (25), and has a substantially C-shaped cross section. Or it becomes a substantially U shape.
  • the cross-sectional shape of the notch (25a) can be a square, a triangle, an arc, or the like.
  • a similar notch (25a) may be provided on the outer peripheral surface instead of the inner peripheral surface.
  • the elastic member (26) shown in FIG. 5 (b) has three notches (26a), (26b) and (26c), one at each of the upper, lower and central portions of the inner peripheral surface of the elastic member (26).
  • the elastic member (26) has a substantially horizontal cross section in cross section.
  • similar notches (26a) (26b) (26c) may be provided on the outer peripheral surface instead of the inner peripheral surface.
  • the notches (27a), (27b), (27c), and (27d) are the upper and lower central portions and the upper and lower surfaces of the inner and outer peripheral surfaces of the elastic member (27). There are four places, one in the center of each.
  • Each of the elastic members (21), (22), (23), (24), (25), (26), and (27) shown in FIGS. 4 and 5 is an annular body made of rubber or synthetic resin.
  • the elastic member (21) (22) (23) (24) (25) (26) (27) can be elastically bent and deformed in at least one place on the inner peripheral surface, upper surface and lower surface against the force in the vertical direction.
  • Notch (21a) (21b) (22a) (22b) (23a) (23b) (24a) (24b) (25a) (26a) (26b) (26c) (27a) (27b) (27c) (27d) is provided to facilitate the leveling work of making the upper surfaces of the lower member (2) flush with each other, and the elastic members (21) (22) (23) (24) (25 ) (26) (27) can further enhance the vibration absorption effect.
  • the lower member fixing device of the present invention is used in a fluid control device assembled by fixing a fluid control device so as to extend over a plurality of joints. It is possible to obtain a fluid control device that facilitates leveling work to be uniform and further enhances the vibration absorption effect by the elastic member.

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Abstract

　下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とするとともに、弾性部材による振動吸収効果をさらに高めた下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置を提供する。　下段部材（2）を一旦固定した後に、所要の下段部材（2）を弾性部材（21）の弾性力に抗して上方に移動させることで、複数の下段部材（2）の上面位置を微調整可能な構成とされている。 弾性部材（21）は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされ、その内周面の上部および下部に、上下方向の力に対して弾性部材（21）の弾性曲げ変形を可能とするための切欠き（21a,21b）が設けられている。

Description

下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
　この発明は、例えば、支持部材上に複数の継手（ブロック継手）を固定し、これらの継手にまたがるように流体制御機器を固定していくことにより組み立てられる流体制御装置において用いられる、支持部材と流体制御機器（上段部材）との間に配置されるブロック継手（下段部材）を支持部材に固定する固定装置に関し、また、この固定装置を備えた流体制御装置に関する。
　特許文献１には、この発明が対象とする下段部材の固定装置として、図７に示すものが開示されている。
　図７において、２つのブロック継手(51)が支持部材(52)に取り付けられ、両継手(51)にまたがって上段の流体制御機器（図示略）が取り付けられる。各ブロック継手(51)には、ブロック継手(51)の支持部材(52)への取付け時に、継手固定ボルト(53)が挿通されるボルト挿通孔(54)が設けられている。支持部材(52)には、ブロック継手(51)を支持部材(52)に取り付けるさいに使用されるねじ孔(55)があけられている。
　各継手(51)のボルト挿通孔(54)は、ボルト頭部(53a)の径より大きい径を有する大径部(54a)と、これに段部(54c)を介して連なりかつボルト頭部(53a)の径とボルト軸部(53b)の径との中間の径を有する小径部(54b)とよりなる。
　ボルト挿通孔(54)の小径部(54b)に、下端が支持部材(52)に受け止められ上端が大径部(54a)内にある円筒状スペーサ(56)が嵌め入れられている。スペーサ(56)は、ボルト軸部(53b)の径より大きい内径を有しかつボルト頭部(53a)の径よりも小さい外径を有している。このスペーサ(56)に、継手固定ボルト(53)の軸部(53b)が嵌め入れられ、同頭部(53a)がスペーサ(56)の上端面で受け止められている。スペーサ(56)は、継手固定ボルト(53)の締付量を規定するもので、継手固定ボルト(53)をボルト挿通孔(54)に挿通して支持部材(52)のねじ孔(55)にねじ込んでいくと、スペーサ(56)が継手固定ボルト(53)の頭部(53a)と支持部材(52)との間に突っ張らせられ、それ以上の締付けができないようになっている。
　スペーサ(56)の上端部には、継手固定ボルト(53)の頭部(53a)の径とほぼ等しい外径の円環状のゴムワッシャ(57) が嵌め被せられている。ゴムワッシャ(57)は、継手固定ボルト(53)の頭部(53a)とボルト挿通孔(54)の段部(54c)とにより挟まれている。ゴムワッシャ(57)の上下方向の長さは、継手固定ボルト(53)の締付完了状態において、ゴムワッシャ(57) に圧縮力がかかるように設定されている。したがって、両継手(51)はゴムワッシャ(57) によって支持部材(52)方向に付勢されている。
　このような下段部材の固定装置によると、ゴムワッシャ(57) は弾性を有しているので、これをさらに圧縮変形させることが可能であり、両継手(51)の上面が面一になっていない場合、上面が低い方の継手(51)を上方に移動させることができる。
　すなわち、各下段部材(51)を一旦固定した後に、所要の下段部材(51)を弾性部材(57)の弾性力に抗して上方に移動させることで、複数の下段部材(51)の上面位置を微調整可能な構成とされている。これにより、上段部材(51)の取付けを簡単に行うことができるとともに、下段部材(51)と上段部材との間に介在させられるすべてのシール部に適正な押圧力を掛けることができ、シール性が確保される。ここで、特許文献１には、弾性部材としては、断面が方形のゴムワッシャ(57)が例示されている。
特許第３７７４８００号公報
　上記特許文献１の下段部材の固定装置によると、下段部材を固定するためのボルトを締め付けていくと、スペーサがボルト頭部と支持部材との間に保持され、このとき、弾性部材が各下段部材を支持部材に向かって付勢するので、各下段部材はがたつかないものとなり、一方、弾性部材を圧縮弾性変形させることによって、上面が低い方の下段部材を支持部材から離れる方向に動かして、下段部材の上面同士を面一にすることができ、これにより、下段部材への上段部材の取付けが容易となるという利点を有している。また、弾性部材が振動を吸収することにより、一旦適切に締め付けられたボルトが振動などの影響を受けて緩むことを防止する点でも有利なものとなっている。
　しかしながら、断面が方形の弾性部材では、その圧縮弾性変形量が限られていることから、複数の下段部材の上面位置の微調整（レベリング）に際し、下段部材の上面同士を面一にするまで移動させにくいという問題があった。
　この発明の目的は、下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とするとともに、弾性部材による振動吸収効果をさらに高めた下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置を提供することにある。
　この発明による下段部材の固定装置は、支持部材と上段部材との間に配置されるボルト挿通孔付き下段部材をボルトにより支持部材に固定する装置であって、下段部材のボルト挿通孔が、ボルト頭部の径より大きい径を有する大径部およびこれの下方に段部を介して連なりかつボルト頭部の径とボルト軸部の径との中間の径を有する小径部よりなり、ボルト挿通孔小径部に、ボルト軸部の径より大きい内径を有しかつ下端が支持部材に受け止められ上端が大径部内にある円筒状スペーサが嵌め入れられており、ボルト頭部と段部との間に、下段部材を支持部材に向かって付勢する弾性部材が介在させられている下段部材の固定装置において、弾性部材は、その外周面、内周面、上面および下面の少なくとも１カ所に、上下方向の力に対して弾性部材の弾性曲げ変形を可能とするための切欠きが設けられていることを特徴とするものである。
　切欠きが設けられる前の弾性部材の断面形状は、方形、円形（長円形、楕円形を含む）、多角形などとされるが、方形（上下方向が長い方形）の４つの角を切り落とした８角形とすることが好ましい。これにより、弾性部材は、ボルト頭部の下面またはスペーサのフランジ下面に当接する上面と、ボルト挿通孔の段部に当接する下面と、ボルト挿通孔の大径部の円周面に当接する外周面と、スペーサの外周面に当接する内周面とを有し、上面、下面、外周面および内周面のうちの少なくとも１つの面に凹所を形成するための切欠きが少なくとも１つ設けられたものとされる。
　弾性部材は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされていることが好ましい。
　弾性部材は、変形することで下段部材の上方への移動を可能とするもので、圧縮変形のみが可能な弾性部材を使用するものでは、上方への移動可能量が限られるのに対し、弾性部材を弾性曲げ変形可能とすることで、下段部材の上方への移動を小さい力で行うことができ、下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とすることができる。また、弾性部材が弾性変形することで振動を吸収することもできる。
　スペーサは、フランジ無し（円筒体）とされることがあり、上端部にフランジが設けられていることがある。スペーサがフランジ無しの場合には、弾性体は、ボルトの頭部下面と段差との間に配置され、スペーサがフランジ有りの場合には、弾性体は、スペーサのフランジの下面と段差との間に配置される。好ましくは、弾性部材は、スペーサの上端部に設けられたフランジの下面と段差部との間に配置されているものとされる。
　切欠きの断面形状は、例えば、略方形とされるが、これに限定されるものではなく、三角形や円弧であってもよい。
　切欠きは、例えば、弾性部材の内周面または外周面の上部および下部の２カ所にそれぞれ設けられる（断面形状が略横Ｔ字形）ことがある。
　また、切欠きは、例えば、弾性部材の内周面および外周面の上下の中央部にそれぞれ１カ所ずつ計２カ所に設けられる（断面形状が略Ｉ字形または略Ｚ字形）ことがある。
　また、切欠きは、弾性部材の内周面または外周面の上下の中央部に１カ所だけ設けられる（断面形状が略Ｃ字形または略コ字形）ことがある。
　また、切欠きは、弾性部材の内周面または外周面の上部、下部および中央部にそれぞれ１カ所ずつ計３カ所に設けられる（断面形状が略横Π字形）ことがある。
　また、切欠きは、弾性部材の内周面および外周面の上下の中央部ならびに上面および下面の中央部にそれぞれ１カ所ずつ計４カ所に設けられることがある。
　切欠きは、上記のものに限定されるものではなく、上下方向の力に対して弾性部材の弾性曲げ変形を可能とするという作用が得られるものであれば、種々変更可能である。
　この発明による流体制御装置は、上方に開口した流体通路が設けられた複数のブロック継手と、ブロック継手の流体通路に通じている下方に開口した流体通路が設けられた複数の流体制御機器と、ブロック継手の流体通路と流体制御機器の流体通路との突き合わせ面に介在されている複数のシール部と、複数のブロック継手を支持する支持部材と、各ブロック継手を支持部材に取り付ける複数のボルトと、各流体制御機器をブロック継手に取り付ける複数のボルトとを備えている流体制御装置において、ブロック継手が下段部材とされて、これが上記に記載のいずれかの下段部材の固定装置によって支持部材に取り付けられていることを特徴とするものである。
　なお、この明細書において、上下は図の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なものであり、固定装置および流体制御装置は、図に示した状態で水平面に設置されるほか、上下が逆になって水平面に設置されたり、垂直面に設置されたりすることがある。
　この発明の下段部材の固定装置によると、弾性部材は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされ、その外周面、内周面、上面および下面の少なくとも１カ所に、上下方向の力に対して弾性部材の弾性曲げ変形を可能とするための切欠きが設けられているので、圧縮変形のみが可能な弾性部材を使用するものに比べて、下段部材の上下方向の移動を小さい力で行うことができ、下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とすることができる。また、下段部材に振動が加わった際、弾性部材が弾性変形することでこの振動を吸収するので、この発明の下段部材の固定装置を使用した装置（例えば流体制御装置）の振動吸収効果を高めることができる。
この発明による下段部材の固定装置が使用された流体制御装置の１実施形態を示す一部を切り欠いた側面図である。 この発明による下段部材の固定装置の要部の拡大断面図である。 図３（ａ）は、図２の状態から下段部材を上方に移動させた状態を示し、図３（ｂ）は、これに対応する従来品の状態を示している。 この発明による下段部材の固定装置で使用される弾性部材の例を示す断面図である。 この発明による下段部材の固定装置で使用される弾性部材の他の例を示す断面図である。 下段部材の固定装置のレベリング機能を説明する図である。 従来の下段部材の固定装置を示す側面断面図である。
(2)(3)　ブロック継手（下段部材）
(4)(5)(6)(7)　流体制御機器（上段部材）
(9)　 支持部材
(10)　ボルト
(10a) ボルト頭部
(11)　ボルト挿通孔
(11a) 大径部
(10b) ボルト軸部
(11b) 小径部
(11c) 段部
(12)　スペーサ
(21)(22)(23)(24)(25)(26)(27)　弾性部材
(21a)(21b)(22a)(22b)(23a)(23b)(24a)(24b)(25a)(26a)(26b)(26c)(27a)(27b)(27c)(27d)　切欠き
　この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下は、図１の上下をいうものとする。
　図１は、この発明の下段部材の固定装置が使用された流体制御装置の一例を模式的に示している。流体制御装置(1) は、半導体製造装置等において用いられるもので、上方に開口した流体通路が設けられた複数のブロック継手（下段部材）(2)(3)と、ブロック継手(2)(3)の流体通路に通じている下方に開口した流体通路が設けられた複数の流体制御機器（上段部材）(4)(5)(6)(7)と、ブロック継手(2)(3)の流体通路と流体制御機器(4)(5)(6)(7)の本体(4a)(5a)(6a)(7a)に設けられた流体通路との突き合わせ面に介在されている複数のシール部（図示略）と、複数のブロック継手(2)(3)を支持する支持部材(9)と、各ブロック継手(2)(3)を支持部材(9)に取り付ける複数のボルト(10)と、各流体制御機器(4)(5)(6)(7)をブロック継手(2)(3)に取り付ける複数のボルト(20)とを備えている。
　後述するように、ブロック継手(2)(3)の固定に際しては、ボルト(10)のほかに、スペーサ(12)および弾性部材(21)が使用されている。
　図２は、この発明による下段部材の固定装置を拡大して示すもので、下段部材の固定装置は、上記のブロック継手（下段部材）(2)をボルト(10)により支持部材(9)に固定する装置であって、同図に示すように、下段部材(2)に、ボルト頭部(10a)の径より大きい径を有する大径部(11a)およびこれの下方に段部(11c)を介して連なりかつボルト頭部(10a)の径とボルト軸部(10b)の径との中間の径を有する小径部(11b)よりなるボルト挿通孔(11)が設けられ、ボルト挿通孔小径部(11b)に、ボルト軸部(10b)の径より大きい内径を有しかつ下端が支持部材(9)に受け止められ上端が大径部(11a)内にあってボルト頭部(10a)を受け止めるフランジ(12a)付き円筒状スペーサ(12)が嵌め入れられており、スペーサ(12)のフランジ(12a)の下面と段部(11c)との間に、下段部材(2)を下方に（支持部材(9)に向かって）付勢する環状の弾性部材(21)が介在させられている。そして、支持部材(9)と上段部材(4)(5)(6)(7)との間に配置されるボルト挿通孔(11)付き下段部材(2)がボルト(10)により支持部材(9)に取り付けられている。なお、スペーサ(12)は、フランジ(12a)がないものであってもよく、この場合、弾性部材(21)は、ボルト頭部(10a)の下面と段部(11c)との間に介在させられる。
　この発明による下段部材の固定装置は、弾性部材(21)の形状に特徴があるもので、弾性部材(21)は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされるとともに、図２に示す上段部材（上段部材の本体を符号(5a)で示している）固定前の形状において、その外周面の上下部に切欠き(21a)(21b)が設けられていることにより、弾性部材(21)の弾性曲げ変形が可能とされている。
　図６は、下段部材の固定装置のレベリング機能を説明する図であり、上段部材固定前（図６（ａ））と後（図６（ｂ））との位置関係を示している。同図において、ボルト(10)はスペーサ(12)を支持部材(9)に固定しており、支持部材(9)に対して、ボルト(10)およびスペーサ(12)は、移動不可能となっている。そして、下段部材(2)は、図６（ａ）に示すように、スペーサ(12)から弾性部材(E)を介して下向きの力を受けることで、その下面が支持部材(9)に当接して、移動不可能となっている。ゴム製の弾性部材(E)の弾性力は、手の力に比べて小さいので、この弾性力に抗して下段部材(2)に上向きの力を作用させることで、図６（ｂ）に示すように、下段部材(2)を手で上方に持ち上げることができる。したがって、ある下段部材(2)の上面が低い場合には、この下段部材(2)を弾性部材(E)の弾性力に抗して上方に移動させることで、下段部材(2)の上面位置の微調整すなわちレベリングを行うことができる。
　ここで、図７に示す従来のものでは、弾性部材(E)としてゴムワッシャ(57)が使用されており、このゴムワッシャ(57)は、断面方形とされて、継手固定ボルト(53) の頭部(53a)とボルト挿通孔(54)の段部(54c)との間に形成された空間を埋めるようになされている。したがって、このゴムワッシャ(57)を弾性部材(E)として使用した場合、上段部材固定時に下段部材(2)を移動させる際の移動可能量が限られ、また、下段部材(2)を上方に移動させることによって弾性部材(E)の弾性力（反発力）が大幅に増加するので、レベリング作業が困難になるという問題がある。
　図２に示すこの発明による下段部材の固定装置の弾性部材(21)は、断面形状が垂直部およびその中央部から径方向外方にのびる水平部からなる略横Ｔ字形とされており、かつ、垂直部の内周側の上下の角部が切り落とされた形状とされている。言い換えると、弾性部材(21)は、断面形状が上下に長い長方形の４つの角を切り落とした８角形である環状体を基準として、その外周面の上部および下部に切欠き(21a)(21b)が設けられたものとされている。
　この発明による下段部材の固定装置の弾性部材(21)は、切欠き(21a)(21b)を有しているので、垂直部の上下端部がこの切欠き(21a)(21b)の断面積を小さくするように弾性曲げ変形することが可能であり、弾性部材(21)が変形したときの形状は、図３（ａ）に示すものとなる。
　図３（ｂ）には、比較のために、切欠きが設けられていない弾性部材(30)を使用した場合を示している。図３（ｂ）において、下段部材(2)を上方に移動させる際、早い段階でスペーサ(12)のフランジ(12a)と段部(11c)との間に形成された空間を弾性部材(30)が埋めることになり、反発力が大きくなって、その後の下段部材(2)の上方への移動が困難になる。したがって、上段部材の本体(5a)と下段部材(2)との間に、隙間(G)が残ったままになる可能性がある。
　これに対し、図２に示す弾性部材(21)は、図３（ａ）に示すように、上段部材の本体(5a)と下段部材(2)との間に隙間がないものとでき、この状態からさらに弾性曲げ変形可能な状態であることから、レベリング作業が極めて容易となる。また、さらに弾性曲げ変形可能であることから、従来に比べて、振動吸収効果についても有利なものとなっている。
　上記の例は１例であり、弾性部材の形状は種々変更可能である。例えば、切欠きの数は２つとして、これを設ける位置を変更してもよく、切欠きの数を１つまたは３つ以上とすることもできる。切欠きの数が２つのものを図４に示し、切欠きの数を１つまたは３つ以上としたものを図５に示している。
　図４（ａ）に示す弾性部材(21)は、図２に示したものと同じもので、図４（ｂ）に示す弾性部材(22)は、図４（ａ）のものが弾性部材(21)の外周面の上部および下部の２カ所にそれぞれ切欠き(21a)(21b)が設けられているのに対し、弾性部材(22)の内周面の上部および下部の２カ所にそれぞれ切欠き(22a)(22b)が設けられている（断面形状が内外が逆の略横Ｔ字形）ものである。
　図４（ｃ）に示す弾性部材(23)は、弾性部材(23)の内周面および外周面の上下の中央部にそれぞれ１カ所ずつ計２カ所に切欠き(23a)(23b)が設けられたものである。切欠き(23a)(23b)の断面形状は、上記と同じ略方形状とされ、これにより、弾性部材(23)は、断面形状が略Ｉ字形となっている。図４（ｄ）に示す弾性部材(24)は、図４（ｃ）のものと同様、弾性部材(24)の内周面および外周面の上下の中央部にそれぞれ１カ所ずつ計２カ所に切欠き(24a)(24b)が設けられたものであり、その切欠き(24a)(24b)の断面形状が略三角形とされることで、弾性部材(24)は、断面形状が略Ｚ字形となっている。
　図５（ａ）に示す弾性部材(25)は、切欠き(25a)が弾性部材(25)の内周面の上下の中央部に１カ所だけ設けられたもので、断面形状が略Ｃ字形または略コ字形となっている。切欠き(25a)の断面形状は、断面が方形、三角形、円弧などとすることができる。図示省略するが、同様の切欠き(25a)を内周面ではなく外周面に設けるようにしてもよい。
　図５（ｂ）に示す弾性部材(26)は、切欠き(26a)(26b)(26c)が弾性部材(26)の内周面の上部、下部および中央部にそれぞれ１カ所ずつ計３カ所に設けられたもので、弾性部材(26)は、断面形状が略横Π字形となっている。図示省略するが、同様の切欠き(26a)(26b)(26c)を内周面ではなく外周面に設けるようにしてもよい。
　図５（ｃ）に示す弾性部材(27)は、切欠き(27a)(27b)(27c)(27d)が弾性部材(27)の内周面および外周面の上下の中央部ならびに上面および下面の中央部にそれぞれ１カ所ずつ計４カ所に設けられたものである。
　図４および図５に示す弾性部材(21)(22)(23)(24)(25)(26)(27)は、いずれも、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされ、その外周面、内周面、上面および下面の少なくとも１カ所に、上下方向の力に対して弾性部材(21)(22)(23)(24)(25)(26)(27)の弾性曲げ変形を可能とするための切欠き(21a)(21b)(22a)(22b)(23a)(23b)(24a)(24b)(25a)(26a)(26b)(26c)(27a)(27b)(27c)(27d)が設けられたものとなっており、下段部材(2)の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とするとともに、弾性部材(21)(22)(23)(24)(25)(26)(27)による振動吸収効果をさらに高めることができる。
　この発明の下段部材の固定装置は、複数の継手にまたがるように流体制御機器を固定していくことにより組み立てられる流体制御装置において用いられるもので、この発明によると、下段部材の上面同士を面一にするレベリング作業を容易とするとともに、弾性部材による振動吸収効果をさらに高めた流体制御装置を得ることができる。

Claims (10)

  1. 　支持部材と上段部材との間に配置されるボルト挿通孔付き下段部材をボルトにより支持部材に固定する装置であって、下段部材のボルト挿通孔が、ボルト頭部の径より大きい径を有する大径部およびこれの下方に段部を介して連なりかつボルト頭部の径とボルト軸部の径との中間の径を有する小径部よりなり、ボルト挿通孔小径部に、ボルト軸部の径より大きい内径を有しかつ下端が支持部材に受け止められ上端が大径部内にある円筒状スペーサが嵌め入れられており、ボルト頭部と段部との間に、下段部材を支持部材に向かって付勢する弾性部材が介在させられている下段部材の固定装置において、
    　弾性部材は、その外周面、内周面、上面および下面の少なくとも１カ所に、上下方向の力に対して弾性部材の弾性曲げ変形を可能とするための切欠きが設けられていることを特徴とする下段部材の固定装置。
  2. 　弾性部材は、ゴムまたは合成樹脂からなる環状体とされていることを特徴とする請求項１の下段部材の固定装置。
  3. 　弾性部材は、スペーサの上端部に設けられたフランジの下面と段差部との間に配置されていることを特徴とする請求項１または２の下段部材の固定装置。
  4. 　切欠きが設けられる前の弾性部材の断面形状は、上下に長い長方形の４つの角を切り落とした８角形とされていることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の下段部材の固定装置。
  5. 　切欠きは、弾性部材の内周面および外周面のいずれか一方の上部および下部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに記載の下段部材の固定装置。
  6. 　切欠きは、弾性部材の内周面および外周面の上下の中央部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに下段部材の固定装置。
  7. 　切欠きは、弾性部材の内周面および外周面のいずれか一方の上下の中央部に設けられていることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに下段部材の固定装置。
  8. 　切欠きは、弾性部材の内周面および外周面のいずれか一方の上部、下部および中央部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに下段部材の固定装置。
  9. 　切欠きは、弾性部材の内周面および外周面の上下の中央部ならびに上面および下面の中央部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から４までのいずれかに下段部材の固定装置。
  10. 　上方に開口した流体通路が設けられた複数のブロック継手と、ブロック継手の流体通路に通じている下方に開口した流体通路が設けられた複数の流体制御機器と、ブロック継手の流体通路と流体制御機器の流体通路との突き合わせ面に介在されている複数のシール部と、複数のブロック継手を支持する支持部材と、各ブロック継手を支持部材に取り付ける複数のボルトと、各流体制御機器をブロック継手に取り付ける複数のボルトとを備えている流体制御装置において、ブロック継手が下段部材とされて、これが請求項１から９までのいずれかに記載の下段部材の固定装置によって支持部材に取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。
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