KR101560959B1

KR101560959B1 - 하단 부재 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치

Info

Publication number: KR101560959B1
Application number: KR1020137025662A
Authority: KR
Inventors: 츠토무 시노하라; 다카히로 마츠다; 도모히로 나카타; 미치오 야마지
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2011-03-28
Filing date: 2012-03-06
Publication date: 2015-10-15
Also published as: SG193993A1; CN103620241B; CN103620241A; TW201250143A; US20140110936A1; IL228584A0; JP2012202518A; US10054250B2; JP5775718B2; US9423060B2; IL228584A; KR20130128467A; WO2012132788A1; TWI555936B; US20170045164A1

Abstract

본 발명은, 하단 부재의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 하고, 탄성 부재에 의한 진동 흡수 효과를 더욱 높인 하단 부재 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 하단 부재(2)를 일단 고정한 후에, 소요의 하단 부재(2)를 탄성 부재(21)의 탄성력에 대항하여 위쪽으로 이동시킴으로써 복수의 하단 부재(2)의 상면 위치를 미조정 가능한 구성으로 되어 있다. 탄성 부재(21)는, 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되고, 그 내주면의 상부 및 하부에, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재(21)의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 하기 위한 컷 아웃(21a, 21b)이 마련되어 있다.

Description

하단 부재 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치{FASTENING DEVICE FOR LOWER TIER MEMBERS AND FLUID CONTROL DEVICE FURNISHED WITH SAME}

본 발명은, 예컨대, 지지 부재 상에 복수의 조인트(블록 조인트)를 고정하고, 이들 조인트에 걸치도록 유체 제어 기기를 고정해 나감으로써 조립되는 유체 제어 장치에 있어서 이용되며, 지지 부재와 유체 제어 기기(상단 부재) 사이에 배치되는 블록 조인트(하단 부재)를 지지 부재에 고정하는 고정 장치에 관한 것으로, 또한, 이 고정 장치를 구비한 유체 제어 장치에 관한 것이다.

특허문헌 1에는, 본 발명이 대상으로 하는 하단 부재 고정 장치로서, 도 7에 도시된 것이 개시되어 있다.

도 7에 있어서, 2개의 블록 조인트(51)가 지지 부재(52)에 부착되고, 양 조인트(51)에 걸쳐 상단의 유체 제어 기기(도시 생략)가 부착된다. 각 블록 조인트(51)에는, 블록 조인트(51)를 지지 부재(52)에 부착할 때에, 조인트 고정 볼트(53)가 삽입 관통되는 볼트 삽입 관통 구멍(54)이 형성되어 있다. 지지 부재(52)에는, 블록 조인트(51)를 지지 부재(52)에 부착할 때에 사용되는 나사 구멍(55)이 형성되어 있다.

각 블록 조인트(51)의 볼트 삽입 관통 구멍(54)은, 볼트 머리부(53a)의 직경보다 큰 직경을 갖는 대직경부(54a)와, 이것에 단차부(54c)를 통해 이어지고 또한 볼트 머리부(53a)의 직경과 볼트 축부(53b)의 직경의 중간 직경을 갖는 소직경부(54b)로 이루어진다.

볼트 삽입 관통 구멍(54)의 소직경부(54b)에, 하단이 지지 부재(52)에 받쳐지고 상단이 대직경부(54a) 내에 있는 원통형 스페이서(56)가 끼워 넣어져 있다. 스페이서(56)는, 볼트 축부(53b)의 직경보다 큰 내경을 가지며 또한 볼트 머리부(53a)의 직경보다도 작은 외경을 갖고 있다. 이 스페이서(56)에, 조인트 고정 볼트(53)의 축부(53b)가 끼워 넣어지고, 동 머리부(53a)가 스페이서(56)의 상단면에서 받쳐져 있다. 스페이서(56)는, 조인트 고정 볼트(53)의 체결량을 규정하는 것으로, 조인트 고정 볼트(53)를 볼트 삽입 관통 구멍(54)에 삽입 관통시켜 지지 부재(52)의 나사 구멍(55)에 체결하면, 스페이서(56)가 조인트 고정 볼트(53)의 머리부(53a)와 지지 부재(52) 사이에 버텨져 그 이상의 체결을 할 수 없도록 되어 있다.

스페이서(56)의 상단부에는, 조인트 고정 볼트(53)의 머리부(53a)의 직경과 거의 같은 외경의 원환형의 고무 와셔(57)가 끼워 씌워져 있다. 고무 와셔(57)는, 조인트 고정 볼트(53)의 머리부(53a)와 볼트 삽입 관통 구멍(54)의 단차부(54c)에 의해 끼워져 있다. 고무 와셔(57)의 상하 방향의 길이는, 조인트 고정 볼트(53)의 체결 완료 상태에 있어서, 고무 와셔(57)에 압축력이 가해지도록 설정되어 있다. 따라서, 양 조인트(51)는 고무 와셔(57)에 의해 지지 부재(52)의 방향으로 압박되어 있다.

이러한 하단 부재 고정 장치에 따르면, 고무 와셔(57)는 탄성을 갖고 있기 때문에, 이것을 더욱 압축 변형시키는 것이 가능하고, 양 조인트(51)의 상면이 민면으로 되어 있지 않은 경우, 상면이 낮은 쪽의 조인트(51)를 위쪽으로 이동시킬 수 있다.

즉, 각 하단 부재(51)를 일단 고정한 후에, 소요의 하단 부재(51)를 탄성 부재(57)의 탄성력에 대항하여 위쪽으로 이동시킴으로써, 복수의 하단 부재(51)의 상면 위치를 미조정 가능한 구성으로 되어 있다. 이에 따라, 상단 부재(51)의 부착을 간단하게 행할 수 있고, 하단 부재(51)와 상단 부재 사이에 개재되는 모든 시일부에 적정한 압박력을 가할 수 있어, 시일성이 확보된다. 여기서, 특허문헌 1에는, 탄성 부재로서는, 단면이 사각형인 고무 와셔(57)가 예시되어 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 제3774800호 공보

상기 특허문헌 1의 하단 부재 고정 장치에 따르면, 하단 부재를 고정하기 위한 볼트를 체결해 나가면, 스페이서가 볼트 머리부와 지지 부재 사이에 유지되고, 이 때, 탄성 부재가 각 하단 부재를 지지 부재를 향해 압박하기 때문에, 각 하단 부재는 덜거덕거리지 않게 되고, 한편, 탄성 부재를 압축 탄성 변형시킴으로써, 상면이 낮은 쪽의 하단 부재를 지지 부재로부터 멀어지는 방향으로 움직이게 하여, 하단 부재의 상면들을 민면으로 할 수 있고, 이에 따라, 하단 부재에 상단 부재를 부착하는 것이 용이해진다고 하는 이점을 갖고 있다. 또한, 탄성 부재가 진동을 흡수함으로써, 일단 적절히 체결된 볼트가 진동 등의 영향을 받아 느슨해지는 것을 방지하는 점에서도 유리한 것으로 되어 있다.

그러나, 단면이 사각형인 탄성 부재에서는, 그 압축 탄성 변형량이 한정되어 있기 때문에, 복수의 하단 부재의 상면 위치의 미조정(레벨링)시에, 하단 부재의 상면들을 민면으로 할 때까지 이동시키기 어렵다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 하단 부재의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 하고, 탄성 부재에 의한 진동 흡수 효과를 더욱 높인 하단 부재 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 데에 있다.

본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치는, 지지 부재와 상단 부재 사이에 배치되는 볼트 삽입 관통 구멍이 있는 하단 부재를 볼트에 의해 지지 부재에 고정하는 장치로서, 하단 부재의 볼트 삽입 관통 구멍이, 볼트 머리부의 직경보다 큰 직경을 갖는 대직경부 및 이것의 아래쪽에 단차부를 통해 이어지고 또한 볼트 머리부의 직경과 볼트 축부의 직경의 중간 직경을 갖는 소직경부를 포함하고, 볼트 삽입 관통 구멍 소직경부에, 볼트 축부의 직경보다 큰 내경을 가지며 또한 하단이 지지 부재에 받쳐지고 상단이 대직경부 내에 있는 원통형 스페이서가 끼워 넣어져 있으며, 볼트 머리부와 단차부 사이에, 하단 부재를 지지 부재를 향해 압박하는 탄성 부재가 개재되어 있는 하단 부재 고정 장치에 있어서, 탄성 부재는, 그 외주면, 내주면, 상면 및 하면 중 적어도 1곳에, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 하기 위한 컷 아웃이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

컷 아웃이 마련되기 전의 탄성 부재의 단면 형상은, 사각형, 원형(장원형, 타원형을 포함함), 다각형 등으로 되지만, 사각형(상하 방향이 긴 사각형)의 4개의 모서리를 잘라낸 8각형으로 하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 탄성 부재는, 볼트 머리부의 하면 또는 스페이서의 플랜지 하면에 접촉하는 상면과, 볼트 삽입 관통 구멍의 단부에 접촉하는 하면과, 볼트 삽입 관통 구멍의 대직경부의 원주면에 접촉하는 외주면과, 스페이서의 외주면에 접촉하는 내주면을 가지며, 상면, 하면, 외주면 및 내주면 중 적어도 하나의 면에 오목부를 형성하기 위한 컷 아웃이 적어도 하나 마련된 것으로 된다.

탄성 부재는, 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되어 있는 것이 바람직하다.

탄성 부재는, 변형함으로써 하단 부재의 위쪽으로의 이동을 가능하게 하는 것으로, 압축 변형만이 가능한 탄성 부재를 사용하는 것에서는, 위쪽으로의 이동 가능량이 한정되는 데 반하여, 탄성 부재를 탄성 굽힘 변형 가능하게 함으로써, 하단 부재의 위쪽으로의 이동을 작은 힘으로 행할 수 있어, 하단 부재의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 할 수 있다. 또한, 탄성 부재가 탄성 변형함으로써 진동을 흡수할 수도 있다.

스페이서는, 무플랜지(원통체)로 되는 경우가 있고, 상단부에 플랜지가 형성되어 있는 경우가 있다. 스페이서가 무플랜지인 경우에는, 탄성체는, 볼트의 머리부 하면과 단차 사이에 배치되며, 스페이서가 유플랜지인 경우에는, 탄성체는, 스페이서의 플랜지의 하면과 단차 사이에 배치된다. 바람직하게는, 탄성 부재는, 스페이서의 상단부에 형성된 플랜지의 하면과 단차부 사이에 배치되어 있게 된다.

컷 아웃의 단면 형상은, 예컨대, 대략 사각형이 되지만, 이것에 한정되지 않고, 삼각형이나 원호여도 좋다.

컷 아웃은, 예컨대, 탄성 부재의 내주면 또는 외주면의 상부 및 하부의 2곳에 각각 마련되는(단면 형상이 대략 횡 T자형) 경우가 있다.

또한, 컷 아웃은, 예컨대, 탄성 부재의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부에 각각 1곳씩 모두 2곳에 마련되는(단면 형상이 대략 I자형 또는 대략 Z자형) 경우가 있다.

또한, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 또는 외주면의 상하의 중앙부에 1곳만 마련되는(단면 형상이 대략 C자형 또는 대략 コ자형) 경우가 있다.

또한, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 또는 외주면의 상부, 하부 및 중앙부에 각각 1곳씩 모두 3곳에 마련되는(단면 형상이 대략 횡 Π자형) 경우가 있다.

또한, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부 및 상면 및 하면의 중앙부에 각각 1곳씩 모두 4곳에 마련되는 경우가 있다.

컷 아웃은, 상기한 것에 한정되지 않고, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 한다고 하는 작용을 얻을 수 있는 것이면, 여러 가지 변경 가능하다.

본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 위쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트와, 블록 조인트의 유체 통로로 통해 있는 아래쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 조인트의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 조인트를 지지하는 지지 부재와, 각 블록 조인트를 지지 부재에 부착하는 복수의 볼트와, 각 유체 제어 기기를 블록 조인트에 부착하는 복수의 볼트를 구비하고 있는 유체 제어 장치에 있어서, 블록 조인트가 하단 부재로 되고, 이 하단 부재가 상기에 기재한 어느 하나의 하단 부재 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 이 명세서에 있어서, 상하는 도면의 상하를 말하는 것으로 하지만, 이 상하는 편의적인 것으로서, 고정 장치 및 유체 제어 장치는, 도면에 도시한 상태로 수평면에 설치되는 것 외에 상하가 반대로 되어 수평면에 설치되거나, 수직면에 설치되거나 하는 경우가 있다.

본 발명의 하단 부재 고정 장치에 따르면, 탄성 부재는, 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되고, 그 외주면, 내주면, 상면 및 하면 중 적어도 1곳에, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 하기 위한 컷 아웃이 마련되어 있기 때문에, 압축 변형만이 가능한 탄성 부재를 사용하는 것에 비하여, 하단 부재의 상하 방향의 이동을 작은 힘으로 행할 수 있고, 하단 부재의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 할 수 있다. 또한, 하단 부재에 진동이 가해졌을 때, 탄성 부재가 탄성 변형함으로써 이 진동을 흡수하기 때문에, 본 발명의 하단 부재 고정 장치를 사용한 장치(예컨대 유체 제어 장치)의 진동 흡수 효과를 높일 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치가 사용된 유체 제어 장치의 일 실시형태를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치의 주요부의 확대 단면도이다.
도 3의 (a)는 도 2의 상태로부터 하단 부재를 위쪽으로 이동시킨 상태를 나타내고, 도 3의 (b)는 이것에 대응하는 종래품의 상태를 나타내고 있다.
도 4는 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치에서 사용되는 탄성 부재의 예를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치에서 사용되는 탄성 부재의 다른 예를 도시한 단면도이다.
도 6은 하단 부재 고정 장치의 레벨링 기능을 설명한 도면이다.
도 7은 종래의 하단 부재 고정 장치를 도시한 측면 단면도이다.
[부호의 설명]
2, 3 : 블록 조인트(하단 부재)
4, 5, 6, 7 : 유체 제어 기기(상단 부재)
9 : 지지 부재
10 : 볼트
10a : 볼트 머리부
11 : 볼트 삽입 관통 구멍
11a : 대직경부
10b : 볼트 축부
11b : 소직경부
11c : 단부
12 : 스페이서
21, 22, 23, 24, 25, 26, 27 : 탄성 부재
21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 26a, 26b, 26c, 27a, 27b, 27c, 27d : 컷 아웃

본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상하는, 도 1의 상하를 말하는 것으로 한다.

도 1은, 본 발명의 하단 부재 고정 장치가 사용된 유체 제어 장치의 일례를 모식적으로 나타내고 있다. 유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에 있어서 이용되는 것으로, 위쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트(하단 부재)(2, 3)와, 블록 조인트(2, 3)의 유체 통로로 통해 있는 아래쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기(상단 부재)(4, 5, 6, 7)와, 블록 조인트(2, 3)의 유체 통로와 유체 제어 기기(4, 5, 6, 7)의 본체(4a, 5a, 6a, 7a)에 마련된 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부(도시 생략)와, 복수의 블록 조인트(2, 3)를 지지하는 지지 부재(9)와, 각 블록 조인트(2, 3)를 지지 부재(9)에 부착하는 복수의 볼트(10)와, 각 유체 제어 기기(4, 5, 6, 7)를 블록 조인트(2, 3)에 부착하는 복수의 볼트(20)를 구비하고 있다.

후술하는 바와 같이, 블록 조인트(2, 3)의 고정시에는, 볼트(10) 이외에 스페이서(12) 및 탄성 부재(21)가 사용되고 있다.

도 2는, 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치를 확대하여 도시한 것으로서, 하단 부재 고정 장치는, 상기한 블록 조인트(하단 부재)(2)를 볼트(10)에 의해 지지 부재(9)에 고정하는 장치로서, 동 도면에 도시된 바와 같이, 하단 부재(2)에, 볼트 머리부(10a)의 직경보다 큰 직경을 갖는 대직경부(11a) 및 이것의 아래쪽에 단차부(11c)를 통해 이어지고 또한 볼트 머리부(10a)의 직경과 볼트 축부(10b)의 직경과의 중간 직경을 갖는 소직경부(11b)로 이루어진 볼트 삽입 관통 구멍(11)이 형성되며, 볼트 삽입 관통 구멍의 소직경부(11b)에, 볼트 축부(10b)의 직경보다 큰 내경을 가지며 또한 하단이 지지 부재(9)에 받쳐지고 상단이 대직경부(11a) 내에 있어 볼트 머리부(10a)를 받치는 플랜지(12a)가 있는 원통형 스페이서(12)가 끼워 넣어져 있고, 스페이서(12)의 플랜지(12a)의 하면과 단차부(11c) 사이에, 하단 부재(2)를 아래쪽으로[지지 부재(9)를 향해] 압박하는 환상의 탄성 부재(21)가 개재되어 있다. 그리고, 지지 부재(9)와 상단 부재(4, 5, 6, 7) 사이에 배치되는 볼트 삽입 관통 구멍(11)이 있는 하단 부재(2)가 볼트(10)에 의해 지지 부재(9)에 부착되어 있다. 또한, 스페이서(12)는, 플랜지(12a)가 없는 것이어도 좋고, 이 경우, 탄성 부재(21)는, 볼트 머리부(10a)의 하면과 단차부(11c) 사이에 개재된다.

본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치는, 탄성 부재(21)의 형상에 특징이 있는 것으로, 탄성 부재(21)는, 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되고, 도 2에 도시된 상단 부재[상단 부재의 본체를 부호(5a)로 나타내고 있음] 고정 전의 형상에 있어서, 그 외주면의 상하부에 컷 아웃(21a, 21b)이 마련되어 있음으로써, 탄성 부재(21)의 탄성 굽힘 변형이 가능하게 되어 있다.

도 6은 하단 부재 고정 장치의 레벨링 기능을 설명한 도면으로서, 상단 부재 고정 전[도 6의 (a)]과 후[도 6의 (b)]의 위치 관계를 나타내고 있다. 동 도면에 있어서, 볼트(10)는 스페이서(12)를 지지 부재(9)에 고정하고 있고, 지지 부재(9)에 대하여, 볼트(10) 및 스페이서(12)는, 이동 불가능하게 되어 있다. 그리고, 하단 부재(2)는, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 스페이서(12)로부터 탄성 부재(E)를 통해 하향의 힘을 받음으로써, 그 하면이 지지 부재(9)에 접촉하여 이동 불가능하게 되어 있다. 고무제의 탄성 부재(E)의 탄성력은, 손의 힘에 비하여 작기 때문에, 이 탄성력에 대항하여 하단 부재(2)에 상향의 힘을 작용시킴으로써, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 하단 부재(2)를 손으로 위쪽으로 들어 올릴 수 있다. 따라서, 어느 하단 부재(2)의 상면이 낮은 경우에는, 이 하단 부재(2)를 탄성 부재(E)의 탄성력에 대항하여 위쪽으로 이동시킴으로써, 하단 부재(2)의 상면 위치의 미조정 즉 레벨링을 행할 수 있다.

여기서, 도 7에 도시된 종래의 것에서는, 탄성 부재(E)로서 고무 와셔(57)가 사용되고 있고, 이 고무 와셔(57)는, 단면 사각형으로 되어, 조인트 고정 볼트(53)의 머리부(53a)와 볼트 삽입 관통 구멍(54)의 단차부(54c) 사이에 형성된 공간을 메우도록 되어 있다. 따라서, 이 고무 와셔(57)를 탄성 부재(E)로서 사용한 경우, 상단 부재 고정시에 하단 부재(2)를 이동시킬 때의 이동 가능량이 한정되고, 또한, 하단 부재(2)를 위쪽으로 이동시킴으로써 탄성 부재(E)의 탄성력(반발력)이 대폭 증가하기 때문에, 레벨링 작업이 곤란해진다고 하는 문제가 있다.

도 2에 도시된 본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치의 탄성 부재(21)는, 단면 형상이 수직부 및 그 중앙부로부터 직경 방향 바깥쪽으로 뻗는 수평부로 이루어진 대략 횡 T자형으로 되어 있고, 또한, 수직부의 내주측의 상하의 모서리부가 잘라내어진 형상으로 되어 있다. 다시 말해서, 탄성 부재(21)는, 단면 형상이 상하로 긴 직사각형의 4개의 모서리를 잘라낸 8각형인 환상체를 기준으로 하여, 그 외주면의 상부 및 하부에 컷 아웃(21a, 21b)이 마련된 것으로 되어 있다.

본 발명에 따른 하단 부재 고정 장치의 탄성 부재(21)는, 컷 아웃(21a, 21b)을 갖고 있기 때문에, 수직부의 상하 단부가 이 컷 아웃(21a, 21b)의 단면적을 작게 하도록 탄성 굽힘 변형하는 것이 가능하고, 탄성 부재(21)가 변형되었을 때의 형상은, 도 3의 (a)에 도시한 것이 된다.

도 3의 (b)에는, 비교를 위해, 컷 아웃이 마련되어 있지 않은 탄성 부재(30)를 사용한 경우를 나타내고 있다. 도 3의 (b)에 있어서, 하단 부재(2)를 위쪽으로 이동시킬 때, 이른 단계에서 스페이서(12)의 플랜지(12a)와 단차부(11c) 사이에 형성된 공간을 탄성 부재(30)가 메우게 되고, 반발력이 커져, 그 후의 하단 부재(2)의 위쪽으로의 이동이 곤란해진다. 따라서, 상단 부재의 본체(5a)와 하단 부재(2) 사이에, 간극(G)이 남게 될 가능성이 있다.

이것에 대하여, 도 2에 도시된 탄성 부재(21)는, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 상단 부재의 본체(5a)와 하단 부재(2) 사이에 간극이 없는 것으로 할 수 있고, 이 상태에서 추가로 탄성 굽힘 변형 가능한 상태이기 때문에, 레벨링 작업이 매우 용이해진다. 또한, 추가로 탄성 굽힘 변형 가능하기 때문에, 종래에 비하여 진동 흡수 효과도 유리한 것으로 되어 있다.

상기한 예는 일례로서, 탄성 부재의 형상은 여러 가지 변경 가능하다. 예컨대, 컷 아웃의 수는 2개로서, 이것을 마련하는 위치를 변경하여도 좋고, 컷 아웃의 수를 1개 또는 3개 이상으로 할 수도 있다. 컷 아웃의 수가 2개인 것을 도 4에 나타내고, 컷 아웃의 수를 1개 또는 3개 이상으로 한 것을 도 5에 나타내고 있다.

도 4의 (a)에 도시된 탄성 부재(21)는, 도 2에 도시된 것과 같은 것으로서, 도 4의 (b)에 도시된 탄성 부재(22)는, 도 4의 (a)의 것이 탄성 부재(21)의 외주면의 상부 및 하부의 2곳에 각각 컷 아웃(21a, 21b)이 마련되어 있는 데 반하여, 탄성 부재(22)의 내주면의 상부 및 하부의 2곳에 각각 컷 아웃(22a, 22b)이 마련되어 있는(단면 형상이 내외가 반대인 대략 횡 T자형) 것이다.

도 4의 (c)에 도시된 탄성 부재(23)는, 탄성 부재(23)의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부에 각각 1곳씩 모두 2곳에 컷 아웃(23a, 23b)이 마련된 것이다. 컷 아웃(23a, 23b)의 단면 형상은, 상기와 동일한 대략 사각 형상으로 되고, 이에 따라, 탄성 부재(23)는, 단면 형상이 대략 I자형으로 되어 있다. 도 4의 (d)에 도시된 탄성 부재(24)는, 도 4의 (c)의 것과 마찬가지로, 탄성 부재(24)의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부에 각각 1곳씩 모두 2곳에 컷 아웃(24a, 24b)이 마련된 것으로서, 그 컷 아웃(24a, 24b)의 단면 형상이 대략 삼각형이 됨으로써, 탄성 부재(24)는, 단면 형상이 대략 Z자형으로 되어 있다.

도 5의 (a)에 도시된 탄성 부재(25)는, 컷 아웃(25a)이 탄성 부재(25)의 내주면의 상하의 중앙부에 1곳만 마련된 것으로, 단면 형상이 대략 C자형 또는 대략 コ자형으로 되어 있다. 컷 아웃(25a)의 단면 형상은, 단면이 사각형, 삼각형, 원호 등으로 할 수 있다. 도시를 생략하였지만, 동일한 컷 아웃(25a)을 내주면이 아니라 외주면에 마련하도록 하여도 좋다.

도 5의 (b)에 도시된 탄성 부재(26)는, 컷 아웃(26a, 26b, 26c)이 탄성 부재(26)의 내주면의 상부, 하부 및 중앙부에 각각 1곳씩 모두 3곳에 마련된 것으로, 탄성 부재(26)는, 단면 형상이 대략 횡 Π자형으로 되어 있다. 도시를 생략하였지만, 동일한 컷 아웃(26a, 26b, 26c)을 내주면이 아니라 외주면에 마련하도록 하여도 좋다.

도 5의 (c)에 도시된 탄성 부재(27)는, 컷 아웃(27a, 27b, 27c, 27d)이 탄성 부재(27)의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부 및 상면 및 하면의 중앙부에 각각 1곳씩 모두 4곳에 마련된 것이다.

도 4 및 도 5에 도시된 탄성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27)는 모두 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되고, 그 외주면, 내주면, 상면 및 하면 중 적어도 1곳에, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27)의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 하기 위한 컷 아웃(21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 26a, 26b, 26c, 27a, 27b, 27c, 27d)이 마련된 것으로 되어 있고, 하단 부재(2)의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 하며, 탄성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26, 27)에 의한 진동 흡수 효과를 더욱 높일 수 있다.

본 발명의 하단 부재 고정 장치는, 복수의 조인트에 걸치도록 유체 제어 기기를 고정해 나감으로써 조립되는 유체 제어 장치에 있어서 이용되는 것으로, 본 발명에 따르면, 하단 부재의 상면들을 민면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 하고, 탄성 부재에 의한 진동 흡수 효과를 더욱 높인 유체 제어 장치를 얻을 수 있다.

Claims

지지 부재와 상단 부재 사이에 배치되고 볼트 삽입 관통 구멍이 있는 하단 부재를 볼트에 의해 지지 부재에 고정하는 장치로서, 하단 부재의 볼트 삽입 관통 구멍이, 볼트 머리부의 직경보다 큰 직경을 갖는 대직경부 및 이것의 아래쪽에 단차부를 통해 이어지고 볼트 머리부의 직경과 볼트 축부의 직경의 중간의 직경을 갖는 소직경부를 포함하고, 볼트 삽입 관통 구멍의 소직경부에, 볼트 축부의 직경보다 큰 내경을 가지며 또한 하단이 지지 부재에 받쳐지고 상단이 대직경부 내에 있는 원통형 스페이서가 끼워 넣어져 있으며, 볼트 머리부와 단차부 사이에, 하단 부재를 지지 부재를 향해 압박하는 탄성 부재가 개재되어 있고, 하단 부재를 탄성 부재의 탄성력에 대항하여 윗쪽으로 이동시키는 것이 가능하게 되어 있는 하단 부재 고정 장치에 있어서,
탄성 부재는, 그 외주면, 내주면, 상면 및 하면 중 적어도 1곳에, 상하 방향의 힘에 대하여 탄성 부재의 탄성 굽힘 변형을 가능하게 하기 위한 컷 아웃(cutout)이 마련되어 있는 것으로, 컷 아웃이 마련되기 전의 탄성 부재의 단면 형상은, 상하로 긴 직사각형의 4개의 모서리를 잘라낸 8각형으로 되어 있고, 상단 부재와 하단 부재 사이에 간극이 없게 한 상태에서 추가로 탄성 굽힘 변형 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 탄성 부재는, 고무 또는 합성수지로 이루어진 환상체로 되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 탄성 부재는, 스페이서의 상단부에 형성된 플랜지의 하면과 단차부 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면 중 어느 한쪽의 상부 및 하부에 각각 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부에 각각 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면 중 어느 한쪽의 상하의 중앙부에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면 중 어느 한쪽의 상부, 하부 및 중앙부에 각각 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
제1항에 있어서, 컷 아웃은, 탄성 부재의 내주면 및 외주면의 상하의 중앙부, 및 상면 및 하면의 중앙부에 각각 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재 고정 장치.
위쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트와, 블록 조인트의 유체 통로로 통해 있는 아래쪽으로 개구된 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 조인트의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 조인트를 지지하는 지지 부재와, 각 블록 조인트를 지지 부재에 부착하는 복수의 볼트와, 각 유체 제어 기기를 블록 조인트에 부착하는 복수의 볼트를 구비하는 유체 제어 장치에 있어서,
블록 조인트가 하단 부재가 되고, 이 하단 부재가 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 하단 부재 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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