JP5274518B2 - ガス供給ユニット及びガス供給装置 - Google Patents
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- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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Description
以下、本発明を具現化した第1施形態について、図面を参照しつつ説明する。
以下、本発明を具現化した第2施形態について、第1実施形態との相違点を中心に図面を参照しつつ説明する。第2実施形態では、図5に示すように、流路ブロック120の両側面120cのうち一方の側面120cのみに側面流路125が設けられている点で第1実施形態と相違している。なお、第1実施形態と同一の部材については、同一の符号を付することにより説明を省略する。
Claims (7)
- 内部に流路の設けられた流路ブロックを備え、前記流路は主流路と前記主流路にそれぞれ連通する複数の副流路とを含み、前記副流路毎に開閉弁を備え、前記開閉弁が対応する前記副流路と前記主流路とを遮断および連通するガス供給ユニットであって、
前記流路ブロックは、長尺状に延びる直方体状に形成され、前記開閉弁が搭載された弁搭載面と前記副流路が開口した副流路開口面とを有し、前記弁搭載面および前記副流路開口面は互いに反対側に位置する面であり、
前記開閉弁は、前記弁搭載面の長手方向に沿って直列に配置され、前記開閉弁の各弁室が前記弁搭載面に設けられ、
前記副流路は、前記弁室の略中央に連通されるとともに前記弁搭載面から離間する方向へ延びて前記副流路開口面に開口し、
前記主流路は、隣り合う前記開閉弁の前記弁室を接続しており、前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面の少なくとも一方に設けられた側面流路を含み、前記側面流路は、前記弁搭載面の長手方向に沿って延びる溝部と前記溝部の溝開口を覆う蓋部材とにより構成されており、
前記側面流路は、前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面の一方の側面と他方の側面とに、前記弁搭載面の長手方向に沿って交互に設けられ、
前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面の一方の側面と他方の側面とに設けられ且つ前記弁搭載面の長手方向に関して隣り合う前記側面流路は、前記弁搭載面の長手方向において前記弁室の設けられた位置で互いに重なり合う部分を有している
ことを特徴とするガス供給ユニット。 - 前記側面流路は、前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面のうち一方の側面のみに設けられていることを特徴とする請求項1に記載のガス供給ユニット。
- 前記主流路は、同一の前記弁室に対して前記副流路と前記弁室との連通部を挟む位置にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のガス供給ユニット。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス供給ユニットを複数備え、前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面同士が互いに当接するように前記ガス供給ユニットを並列に配列したことを特徴とするガス供給装置。
- 前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面のうち、前記側面流路が設けられた部分にはヒータが設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス供給ユニット。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス供給ユニットを複数備え、前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面同士が隣り合うように前記ガス供給ユニットを並列に配列し、
前記隣り合うガス供給ユニットの前記側面に挟み込まれるようにヒータが設けられていることを特徴とするガス供給装置。 - 内部に流路の設けられた流路ブロックを備え、前記流路は主流路と前記主流路にそれぞれ連通する複数の副流路とを含み、前記副流路毎に開閉弁を備え、前記開閉弁が対応する前記副流路と前記主流路とを遮断および連通するガス供給ユニットであって、
前記流路ブロックは、長尺状に延びる直方体状に形成され、前記開閉弁が搭載された弁搭載面と前記副流路が開口した副流路開口面とを有し、前記弁搭載面および前記副流路開口面は互いに反対側に位置する面であり、
前記開閉弁は、前記弁搭載面の長手方向に沿って直列に配置され、前記開閉弁の各弁室が前記弁搭載面に設けられ、
前記副流路は、前記弁室の略中央に連通されるとともに前記弁搭載面から離間する方向へ延びて前記副流路開口面に開口し、
前記主流路は、隣り合う前記開閉弁の前記弁室を接続しており、前記流路ブロックにおいて前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面の少なくとも一方に設けられた側面流路を含み、前記側面流路は、前記弁搭載面の長手方向に沿って延びる溝部と前記溝部の溝開口を覆う蓋部材とにより構成されており、
前記主流路は、同一の前記弁室に対して前記副流路と前記弁室との連通部を挟む位置にそれぞれ接続され、
上流側の前記主流路と前記弁室との連通部、前記副流路と前記弁室との連通部、および下流側の前記主流路と前記弁室との連通部が直線状に並んでいることを特徴とするガス供給ユニット。
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