JP5410173B2 - ガス供給装置 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 内部に流路の設けられた複数の流路ブロックと、各流路ブロックの前記流路を流通するガスの流通状態をそれぞれ変更する開閉弁と、前記流路を流通するガスを加熱するヒータとを備えるガス供給装置であって、
前記各流路ブロックは、長尺状に延びる直方体状に形成され、前記開閉弁が複数搭載された弁搭載面を有し、
前記開閉弁は、前記弁搭載面の長手方向に沿って直列に配置され、
前記複数の流路ブロックは、前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面同士が隣り合うように並列に配列され、
前記複数の流路ブロックの前記隣り合う側面に前記ヒータが挟み込まれた状態で、前記複数の流路ブロックが一体化されており、
前記ヒータは板状又は膜状に形成され、その両面が前記流路ブロックの前記側面に対向して前記長手方向に沿って延びており、
前記開閉弁は電磁弁であり、前記電磁弁はそのコイルの外周にケースを有しており、
前記電磁弁の前記ケースと前記弁搭載面とを繋ぐ伝熱部材を備えている
ことを特徴とするガス供給装置。 - 内部に流路の設けられた複数の流路ブロックと、各流路ブロックの前記流路を流通するガスの流通状態をそれぞれ変更する開閉弁と、前記流路を流通するガスを加熱するヒータとを備えるガス供給装置であって、
前記各流路ブロックは、長尺状に延びる直方体状に形成され、前記開閉弁が複数搭載された弁搭載面を有し、
前記開閉弁は、前記弁搭載面の長手方向に沿って直列に配置され、
前記複数の流路ブロックは、前記弁搭載面を幅方向から挟む両側面同士が隣り合うように並列に配列され、
前記複数の流路ブロックの前記隣り合う側面に前記ヒータが挟み込まれた状態で、前記複数の流路ブロックが一体化されており、
前記開閉弁は電磁弁であり、前記電磁弁はそのコイルの外周にケースを有しており、
前記電磁弁の前記ケースと前記弁搭載面とを繋ぐ伝熱部材を備えている
ことを特徴とするガス供給装置。 - 前記複数の流路ブロックの前記隣り合う側面により前記ヒータが押圧された状態で前記複数の流路ブロックを固定する固定機構を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のガス供給装置。
- 前記固定機構は、前記複数の流路ブロックの各流路に共通のガスを分配供給する供給部材を含むことを特徴とする請求項3に記載のガス供給装置。
- 前記複数の流路ブロックの前記隣り合う側面には凹部が設けられており、前記凹部に前記ヒータが収容されるとともに、前記隣り合う側面は前記凹部以外の部分で当接していることを特徴とする請求項1又は2に記載のガス供給装置。
- 前記複数の流路ブロックの前記隣り合う側面のうち、一方の側面と前記ヒータとの間に断熱部材が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のガス供給装置。
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