JP4421480B2 - 振り子型弁アッセンブリ用シールリング - Google Patents
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Description
12 ハウジング
14 流路
16 振り子型弁
18、20 開口部
22、24 弁座
26 スライドプレート
Claims (19)
- 弁アッセンブリにおいて、
流れチャンネル及びこの流れチャンネルを取り囲む環状面を有するハウジングであって、この環状面は、前記流れチャンネルの軸線と平行に延びる軸線を持つ複数の穴を有する、前記ハウジング、
前記ハウジング内に配置され、前記流れチャンネルの前記軸線に対して横方向に、前記流れチャンネルを通る流れを遮断する閉鎖位置と前記流れチャンネルを通して流すことのできる開放位置との間で移動自在のスライドプレート、
前記ハウジングの前記環状面と前記スライドプレートとの間に位置決めされ、前記流れチャンネルを同軸に取り囲み、前記閉鎖位置で前記スライドプレートと係合し、前記開放位置で前記スライドプレートから外れるシールリングであって、前記ハウジングの前記環状面に面する側部で、前記ハウジングの隣接した前記環状面に形成された穴と夫々係合する周方向に配置された複数のボアを有し、前記ボアの各々の側壁には、前記側壁に対して横方向に延びるリップを形成するアンダーカットが設けられている、前記シールリング、及び
前記ハウジングの前記環状面の前記複数の穴に変位自在に配置されており、前記シールリングの前記複数のボアの夫々内に延びている複数のファスナであって、前記ファスナの各々はスロットが形成された側壁を有し、前記スロットは、前記ファスナが前記シールリングの前記ボアに挿入し、前記シールリングを前記流れチャンネルの前記軸線を中心として前記ハウジングの前記環状面に関して回転したとき、前記シールリングの前記ボアの前記リップを受け入れて前記シールリングを前記ファスナに固定する、前記ファスナを含み、
前記シールリングの前記ボアは、ボール戻り止めを受け入れる開口部を含み、前記ファスナは、前記ボール戻り止めと係合する凹所をその端部に備えている、弁アッセンブリ。 - 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記ハウジングは、前記流れ通路を同軸に取り囲む環状チャンバを更に含み、前記環状面に形成された前記穴はこのチャンバ内に開放しており、前記弁アッセンブリは、前記環状チャンバ内に配置されており且つ前記ファスナに連結された環状ピストンを更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項2に記載の弁アッセンブリにおいて、前記ハウジングは、前記環状チャンバと流体連通した少なくとも一つの導管を更に含み、前記導管は、前記導管を通る流体の流れが前記環状ピストンの一方の側部にのみ作用するように配置されている、弁アッセンブリ。
- 請求項3に記載の弁アッセンブリにおいて、前記環状ピストンを前記シールリングに向かって押圧する複数のばねを更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項2に記載の弁アッセンブリにおいて、前記環状ピストンを前記シールリングに向かって押圧する複数のばねを更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記シールリングは、前記流れチャンネル内に同軸に延びるニップル、前記スライドプレートと隣接して配置された前記シールリングの端面に設けられた環状第1溝、及び前記ニップルの外面に設けられた環状第2溝を有し、前記弁アッセンブリは、前記シールリングの前記第1及び第2の溝内に夫々配置された二つのO−リングを更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記スライドプレートは前記流れチャンネル内で枢動自在である、弁アッセンブリ。
- 請求項7に記載の弁アッセンブリにおいて、前記スライドプレートは、前記流れチャンネルから外れた位置と前記スライドプレートが前記流れチャンネル内に枢動されているが前記シールリングと係合していない開放位置との間で枢動自在であり、次いで、流れチャンネルの軸線に関して軸方向に前記開放位置と前記シールリングと係合した閉鎖位置との間で移動できる、弁アッセンブリ。
- 請求項8に記載の弁アッセンブリにおいて、前記スライドプレートに固定的に連結されたシャフトを更に含み、このシャフトは、このシャフトから全体に横方向に延びる枢動アームによって前記スライドプレートに固定的に連結されており、前記シャフトは、前記スライドプレートを前記流れチャンネル内の前記開放位置まで回転し、前記開放位置と前記閉鎖位置との間で長さ方向に移動できるように、前記シャフトの長さ方向軸線を中心として回転し、前記流れチャンネルの前記軸線と実質的に平行に移動するように前記ハウジング内に少なくとも部分的に取り付けられている、弁アッセンブリ。
- 請求項9に記載の弁アッセンブリにおいて、前記シャフトの前記長さ方向移動を制御するように前記シャフトと前記ハウジングとの間に連結されたカム機構を更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項10に記載の弁アッセンブリにおいて、前記カム機構は、
前記ハウジングが画成するカム面、及び
前記シャフトに固定されており、前記ハウジングに対する前記シャフトの移動を制御するように前記ハウジングのカム面と係合するカム従動体を含む、弁アッセンブリ。 - 請求項11に記載の弁アッセンブリにおいて、前記シャフトに連結されたアクチュエータを更に含む、弁アッセンブリ。
- 請求項12に記載の弁アッセンブリにおいて、前記アクチュエータは、前記シャフトに歯車機構によって連結された逆転可能なステップモータを含む、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記ボアの前記アンダーカット及び前記ファスナの前記スロットは、丸味を付けた断面を有する、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記ファスナは、前記ボール戻り止めを前記ファスナの前記凹所内に案内するため、傾斜部をその端部に備えている、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記シールリングの前記ボアの前記アンダーカットの幅は、前記ボアの幅とほぼ等しい、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記シールリングの前記ボアは円形である、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリにおいて、前記ファスナは前記環状ピストンと一体成形されている、弁アッセンブリ。
- 請求項1に記載の弁アッセンブリ、及び真空ポンプに前記弁アッセンブリを通して連結されたプロセスチャンバを含む高純度ガス送出システム。
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