JP2007175691A5 - - Google Patents
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- 少なくとも2つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる流体混合装置であって、
前記供給ライン(1、2)の少なくとも一つが、
制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する第一流体制御弁(4)と、
流体の実流量を計測し該実流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器(3)と、
該実流量の計測値と設定流量値との偏差に基づいて、第一流体制御弁(4)の開口面積を制御するための指令信号を、第一流体制御弁(4)または第一流体制御弁(4)を操作する機器へ出力する制御部(5)とをそれぞれ具備し、
且つ前記供給ライン(1、2)の少なくとも一つが、
流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する第二流体制御弁(10)と、
流体の実流量を計測し該実流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器(9)と、
該実流量の計測値と設定流量値との偏差に基づいて、第二流体制御弁(10)の開口面積を制御するための指令信号を、第二流体制御弁(10)または第二流体制御弁(10)を操作する機器へ出力する制御部(11)とをそれぞれ具備することを特徴とする流体混合装置。 - 各々の前記供給ラインが、流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁(18、22)をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の流体混合装置。
- 前記第二流体制御弁を有する供給ラインが、流体の圧力変動を減衰させる圧力調整弁(35)をさらに具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の流体混合装置。
- 前記第一流体制御弁を有する供給ラインが、開口面積が調節可能な絞り弁(32)をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 各々の前記供給ライン(1、2)の最下流側に、該供給ライン(1、2)の合流部(15)を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 前記合流部直前の該供給ラインに、開閉弁(40、41)がそれぞれ配置されてなることを特徴とする請求項5記載の流体混合装置。
- 前記合流部が、該供給ラインを一つの流路に合流させるマニホールド弁(42)であることを特徴とする請求項5記載の流体混合装置。
- 各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁(535a)が設けられた主ラインと、
他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁(536a)が設けられた少なくとも一つの他のラインとを具備し、
主ラインの開閉弁(535a)の上流側と他のラインの開閉弁(536a)の下流側とが開閉弁(537a)を介して連通されてなるフラッシング装置(43)を具備してなることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記各種弁および前記流量計測器が、独立した接続手段を用いずに直接接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 前記各種弁および前記流量計測器が、一つのベースブロックに配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 前記各種弁および前記流量計測器が、一つのケーシング内に収納配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 前記第一流体制御弁(4)が、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙(209)と第二の空隙(209)に連通する入口流路(211)と上部に上面が開放して設けられ第二の空隙(209)の径よりも大きい径を持つ第一の空隙(210)と第一の空隙(210)に連通する出口流路(212)と第一の空隙(210)と第二の空隙(209)とを連通し第一の空隙(210)の径よりも小さい径を有する連通孔(213)とを有し、第二の空隙(209)の上面が弁座(214)とされた本体(201)と、
側面あるいは上面に設けられた給気孔(217)と排出孔(218)とに連通した円筒状の空隙(215)を内部に有し、下端内周面に段差部(216)が設けられたボンネット(202)と、
ボンネット(202)の段差部(216)に嵌挿され中央部に貫通孔(219)を有するバネ受け(203)と、下端部にバネ受け(203)の貫通孔(219)より小径の第一接合部(224)を有し上部に鍔部(222)が設けられボンネット(202)の空隙(215)内部に上下動可能に嵌挿されたピストン(204)と、
ピストン(204)の鍔部(222)下端面とバネ受け(203)の上端面で挟持支承されているバネ(205)と、
周縁部が本体(201)とバネ受け(203)との間で挟持固定され、本体(201)の第一の空隙(210)に蓋する形で第一の弁室(231)を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム(227)と、上面中央にピストン(204)の第一接合部(224)にバネ受け(203)の貫通孔(219)を貫通して接合固定される第二接合部(229)と、下面中央に本体(201)の連通孔(213)と貫通して設けられた第三接合部(230)とを有する第一弁機構体(206)と、
本体の第二の空隙(209)内部に位置し本体の連通孔(213)より大径に設けられた弁体(232)と、弁体(232)上端面に突出して設けられ第一弁機構体(206)の第三接合部(230)と接合固定される第四接合部(234)と、弁体(232)下端面より突出して設けられたロッド(235)と、ロッド(235)下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム(237)とを有する第二弁機構体(207)と、
本体(201)の下方に位置し第二弁機構体(207)の第二ダイヤフラム(237)周縁部を本体(201)との間で挟持固定する突出部(239)を上部中央に有し、突出部(239)の上端部に切欠凹部(240)が設けられると共に切欠凹部(240)に連通する呼吸孔(241)が設けられているベースプレート(208)とを具備し、ピストン(204)の上下動に伴って第二弁機構体(207)の弁体(232)と本体(201)の弁座(214)とによって形成される流体制御部(242)の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記第一流体制御弁が、
流体の入口流路(145)、出口流路(152)及び、入口流路(145)と出口流路(152)が連通するチャンバ(127)から形成された本体部(121)と、弁体(165)と第一ダイヤフラム部(137)を有する弁部材(136)と、弁部材(136)の下部及び上部に位置し第一ダイヤフラム部(137)より有効受圧面積が小さい第二ダイヤフラム部(138)及び第三ダイヤフラム部(139)を有し、弁部材(136)及び各ダイヤフラム部(137、138、139)が各ダイヤフラム部(137、138、139)の外周部が本体部(121)に固定されることによりチャンバ(127)内に取りつけられ、かつ各ダイヤフラム部(137、138、139)によってチャンバ(127)を第一加圧室(128)、第二弁室(129)、第一弁室(130)、及び第二加圧室(131)に区分し、第一加圧室(128)は第二ダイヤフラム部(138)に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有し、第一弁室(130)は入口流路(145)と連通しており、第二弁室(129)は、弁部材(136)の弁体(165)に対応する弁座(150)を有し、また弁座(150)に対して第一ダイヤフラム部(137)側に位置し第一ダイヤフラム部(137)に設けられた連通孔(162)にて第一弁室(130)と連通している下部第二弁室(132)と、第二ダイヤフラム部(138)側に位置し出口流路(152)と連通して設けられた上部第二弁室(133)とに分かれて形成され、弁部材(136)の上下動により弁体(165)と弁座(150)との間の開口面積が変化して下部第二弁室(134)の流体圧力が制御される流体制御部(168)を有し、第二加圧室(131)は、第三ダイヤフラム部(139)に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記第二流体制御弁(10)が、
上部に弁室(310)と、弁室(310)に各々が連通している入口流路(311)および出口流路(312)とを有し、弁室(310)底部中央に入口流路(311)が連通している開口部(313)が設けられた本体(301)と、底部中央に貫通孔(315)と、側面に呼吸口(316)が設けられ、本体(301)と第一ダイヤフラム(304)を挟持固定しているシリンダー(302)および上部に作動流体連通口(317)が設けられ、シリンダー(302)と第二ダイヤフラム(306)の周縁部を挟持固定しているボンネット(303)が一体的に固定されており、第一ダイヤフラム(315)は肩部(319)と、肩部(319)の上に位置し後記ロッド(307)の下部に嵌合固定される取り付け部(320)、肩部(319)の下に位置し後記弁体(305)が固定される接合部(332)、肩部(319)から径方向に延出した薄膜部(321)、薄膜部(321)に続く厚肉部(322)および厚肉部(322)の周縁部に設けられたシール部(323)が一体的に形成され、接合部(332)には弁室(310)の開口部(313)に後記ロッド(307)の上下動に伴って出入りする弁体(305)が固定されており、一方、第二ダイヤフラム(306)は中央穴(324)を有し、その周辺の厚肉部(325)と、厚肉部(325)から径方向に延出した薄膜部(326)および薄膜部(326)の周縁部に設けられたシール部(327)が一体的に形成され、底部に第一ダイヤフラム(304)の取り付け部(320)が固定されているロッド(307)の上部に位置する肩部(329)にダイヤフラム押え(308)により中央穴(324)を貫通して挟持固定されており、また、ロッド(307)は、その下方部がシリンダー(302)底部の貫通孔(315)内に遊嵌状態に配置され、かつ、シリンダー(302)の段差部(335)とロッド(307)の肩部(329)下面との間に径方向への移動が防止された状態で嵌合されたスプリング(309)で支承されていることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記第二流体制御弁が、
上部ボンネット(358)と下部ボンネット(357)に内包されたモータ部(359)とを有する電気式駆動部(344)と、モータ部(359)の軸に連結されたステム(365)により上下動される弁体(343)を有するダイヤフラム(342)と、ダイヤフラム(342)によって電気式駆動部(344)から隔離された弁室(345)に各々連通する入口流路(346)及び出口流路(347)を有する本体(341)とを具備する流量制御部からなることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記第二流体制御弁が、
弾性体からなる管体(401)と、内部シリンダー部(408)を有し上部にシリンダー蓋(409)が一体的に設けられたシリンダー本体(402)と、シリンダー部(408)内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つシリンダー本体(402)下面中央に設けられた貫通孔(410)を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部(416)を有するピストン(403)と、ピストン(403)の連結部(416)の下端部に固定されシリンダー本体(402)の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット(411)内に収納される挟圧子(404)と、シリンダー本体(402)の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体(401)を受容する第1の溝(418)と第1の溝(418)の両端部にさらに連結体受け(406)を受容する第2の溝(419)が第1の溝(418)よりも深く設けられた本体(405)と、一端に本体(405)の第2の溝(419)と嵌合する嵌合部(421)を有し他端内部に連結体(407)受口(423)を有しさらに管体(401)を受容する貫通孔(426)を有する一対の連結体受け(406)と、シリンダー本体(402)周側面に設けられ、シリンダー部(408)底面及び内周面とピストン(403)下端面とで囲まれて形成された第一空間部(412)と、シリンダー蓋(409)下端面とシリンダー部(408)内周面とピストン(403)上面とで囲まれた第二空間部(413)とにそれぞれ連通される一対のエアー口(414、415)を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記第二流体制御弁が、
上部ボンネット(451)と下部ボンネット(450)に内包されたモータ部(452)とを有する電気式駆動部(441)と、モータ部(452)の軸に連結されたステム(460)により上下動される挟圧子(449)と、弾性体からなる管体(443)と、下部ボンネット(450)の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体(443)を受容する溝(445)とを具備することを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記圧力調整弁が、請求項12記載の第一流体制御弁(4)と同じ構成であることを特徴とする請求項3乃至請求項17のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 前記圧力調整弁が、
内部に第一弁室(479)、第一弁室(479)の上部に設けられた段差部(482)及び第一弁室(479)と連通する入口流路(472)を有する本体(473)と、第二弁室(483)とそれに連通する出口流路(471)とを有し本体(473)上部に接合される蓋体(474)と、周縁部が第一弁室(479)の上部周縁部に接合された第一ダイヤフラム(475)と、周縁部が本体(473)と蓋体(474)とによって挟持された第二ダイヤフラム(476)と、第一及び第二ダイヤフラム(475、476)の中央に設けられた両環状接合部(485、488)に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブ(487)と、第一弁室(479)の底部に固定されスリーブ(487)の下端との間に流体制御部(490)を形成しているプラグ(477)とからなり、また本体(473)の段差部(482)の内周面と第一及び第二ダイヤフラム(475、476)とに包囲された気室(478)を有し、第二ダイヤフラム(476)の受圧面積が第一ダイヤフラム(475)の受圧面積より大きく構成され、前記気室(478)に連通するエア供給口(480)が本体に設けられていることを特徴とする請求項3乃至請求項17のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記絞り弁(32)が、
上部に設けられた弁室(253)の底面に弁座面(252)が形成され、弁座面(252)の中心に設けられた連通口(254)に連通する入口流路(255)と弁室(253)に連通する出口流路(256)を有する本体(251)と、
ステムの軸方向の進退移動により連通口(254)に挿入可能で接液面の中心から垂下突設された第一弁体(261)と弁座面(252)に接離可能にされ第一弁体(261)から径方向へ隔離した位置に形成された円環状凸条の第二弁体(262)と第二弁体(262)から径方向へ連続して形成された薄膜部(263)とが一体的に設けられた隔膜(260)と、
上部にハンドル(281)が固着され下部内周面に雌ネジ部(278)と外周面に雌ネジ部(278)のピッチより大きいピッチを有する雄ネジ部(279)を有する第一ステム(277)と、
内周面に第一ステム(277)の雄ネジ部(279)と螺合する雌ネジ部(283)を有する第一ステム支持体(282)と、
上部外周面に第一ステム(277)の雌ネジ部(278)に螺合される雄ネジ部(270)を有し下端部に隔膜(260)が接続される第二ステム(269)と、
第一ステム支持体(282)の下方に位置し第二ステム(269)を上下移動自在かつ回動不能に支承する隔膜押さえ(271)と、第一ステム(277)と隔膜押さえ(271)を固定するボンネット(286)とを具備することを特徴とする請求項4乃至請求項19のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 前記流量計測器が、超音波流量計、カルマン渦流量計、超音波式渦流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計または質量流量計であることを特徴とする請求項1乃至請求項20のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 少なくとも、フッ化水素酸または塩酸と、純水と、の2種の流体が、フッ化水素酸または塩酸が1に対して純水が10〜200の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項21のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 少なくとも、アンモニア水または塩酸と、過酸化水素水と、純水と、の3種の流体が、アンモニア水または塩酸が1〜3に対して、過酸化水素水が1〜5、純水が10〜200の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項21のいずれか1項に記載の流体混合装置。
- 少なくとも、フッ化水素酸と、フッ化アンモニウムと、純水と、の3種の流体が、フッ化水素酸が1に対して、フッ化アンモニウムが7〜10、純水が50〜100の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項21のいずれか1項に記載の流体混合装置。
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