JP2004164033A

JP2004164033A - 流量制御装置

Info

Publication number: JP2004164033A
Application number: JP2002326070A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yamamoto; 崇山本
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2002-11-08
Filing date: 2002-11-08
Publication date: 2004-06-10

Abstract

【課題】流入する流体が脈動していても流量の制御が可能で、流量範囲を大きくとりたい時でも流量制御装置をコンパクトにでき、特にスラリーを輸送するラインにおいて弁の詰まりを防止できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置を、流入する流体の圧力を一定圧に調整して流出させる圧力調整弁１と、圧力調整弁１から流出した流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器２４と、流量計測器２４から流出した流体の流量を制御する他力式自動ピンチ弁２６と、流量計測器２４からの電気信号に基づいて他力式自動ピンチ弁２６の開度調整をフィードバック制御する制御部３４とをから構成する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、化学工場、半導体製造分野、食品分野、バイオ分野などの各種産業における流体輸送において流量を制御する制御装置に関するものであり、さらに詳しくは、装置に流入する流体が脈動している場合でも確実に流量を制御し、かつスラリーを輸送するラインに使用しても詰まることのない制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の制御装置の例として、図８に示すような流量制御弁及びこれを用いた流量制御装置がある。
【０００３】
この流量制御装置は、液体の流入部３９及び流出部４０と接続する弁本体４１と、この弁本体４１内を上下に移動可能に配置されたニードル状弁体４２と、弁体４２の外部近傍に設けられ、弁体４２をモーターや磁気力などにより移動させる駆動機構４３とを具備している流量制御弁４４と、流路を流れる液体の流量を検出する超音波式流量計４５と、超音波式流量計４５からの検出信号を基に流量制御弁４４を制御する制御部４６が設けられているものであった。
【０００４】
その作用は、制御部４６が超音波式流量計４５で計測した流量に基づいて、流量制御弁４４内を流れる液体が予め設定した流量となるように流量制御弁４４の制御を行うものであり、流量制御弁４４の駆動機構４３を制御することで弁体４２の位置の制御を行い、弁体４２と弁座部４７の隙間が調整され、流量制御弁４４を流れる流量の調整が行われるものであり、このような構成を用いることにより、この液体の流量が微少である場合の制御も良好に行うことができるものであった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−３０３６０９号公報（第２−８頁、第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の流量制御装置では以下の問題点があった。
（１）本制御装置に流入する流体が圧力変動周期の速い脈動した流れであった場合、流量制御弁４４がハンチングを起こし流量制御ができなくなる。
（２）流量制御弁４４はその構造上、弁体４２と弁座部４７の隙間を調整することにより流量を制御するため、流量範囲を広くとりたい場合は流量制御弁４４のストロークを大きくする必要がある。ストロークを大きくとると制御システム自体が大きくなるため、コンパクトにすることができなくなる。
（３）流量制御弁４４の構造からもわかるように、弁本体４１内の流路が複雑で弁体４２の摺動部分が接液する構造であり、スラリーなどの流体を流した場合には弁体４２の摺動部分や弁座部４７にスラリーが固まって付着しやすく、固まったスラリーが弁体４２の動作の妨げになり正確な流量制御ができなくなったり、流路を詰まらせてしまう恐れがある。
【０００７】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたもので、その目的は、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能で、流量範囲を大きくとりたい時でも流量制御装置をコンパクトにでき、特にスラリーを輸送するラインにおいて弁の詰まりを防止できる流量制御装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明の構成を、図１乃至図３を参照して説明する。すなわち、本発明の流入する流体の圧力を一定圧に調整して流出させる圧力調整弁１と、圧力調整弁１から流出した流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器２４と、流量計測器２４から流出した流体の流量を制御する他力式自動ピンチ弁２６と、流量計測器２４からの電気信号に基づいて他力式自動ピンチ弁２６の開度調整をフィードバック制御する制御部３４とを具備したことを第１の特徴とし、流入する流体の圧力を一定圧に調整して流出させる圧力調整弁１と、圧力調整弁１から流出した流体の流量を制御する他力式自動ピンチ弁２６と、他力式自動ピンチ弁２６から流出した流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器２４と、流量計測器２４からの電気信号に基づいて他力式自動ピンチ弁２６の開度調整をフィードバック制御する制御部３４とを具備したことを第２の特徴とし、圧力調整弁１が、内部に第１の弁室４、第１の弁室４の上部に設けられた段差部９及び第１の弁室４と連通する流体流入口５を有する本体３と、第２の弁室１１とそれに連通する流体流出口１２とを有し本体３上部に接合される蓋体１０と、周縁部が第１の弁室４の上部周縁部に接合された第１のダイヤフラム１５と、周縁部が本体３と蓋体１０とによって挟持された第２のダイヤフラム１７と、第１及び第２のダイヤフラム１５、１７の中央に設けられた両環状接合部１６、１８に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブ１９と、第１の弁室４の底部に固定され該スリーブ１９の下端との間に流体制御部２１を形成しているプラグ２０とからなり、また本体３の段差部９の内周面と第１及び第２のダイヤフラム１５、１７とに包囲された気室２２を有し、第２のダイヤフラム１７の受圧面積が第１のダイヤフラム１５の受圧面積より大きく構成され、気室２２に連通するエア供給口６が本体３に設けられていることを第３の特徴とする。
【０００９】
また、流量計測器２４が、超音波式流量計、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計または質量流量計であることを第４の特徴とし、他力式自動ピンチ弁２６が、電気駆動式自動ピンチ弁または電空ポジショナを備えたエア駆動式自動ピンチ弁であることを第５の特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について図１乃至図７を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。
【００１１】
図１は本発明の第１の実施態様を示す流量制御装置の概念構成図であり、図２は本発明の第２の実施態様を示す流量制御装置の概念構成図である。図３は圧力調整弁の構造を示す縦断面図であり、図４は全閉状態の電気駆動式自動ピンチ弁の部分縦断面図である。図５は流量制御の評価を行うための試験装置を示す概念構成図である。図６は流入する流体が脈動しているときの流量の経時変化を示すグラフである。図７は設定流量値を変えて各々設定したときの流量の経時変化を示すグラフである。
【００１２】
本発明の第１の実施態様について図１、図３、図４に基づいて説明する。１は外部配管２から流入する流体の圧力を一定圧に調整して配管２３に流出させる圧力調整弁である。圧力調整弁１は、本体３、蓋体１０、第１のダイヤフラム１５、第２のダイヤフラム１７、プラグ２０から形成され、その各々の構造は以下の通りである。
【００１３】
本体３は略円筒状を有しており、その側面には本体３の内部に設けられた第１の弁室４と連通している流体流入口５と後記気室２２と連通しているエア供給口６とが設けられており、第１の弁室４の上部周縁には後記第１のダイヤフラム１５の環状突部７が接合される接合部８を有している。さらに第１の弁室４の上部には後記第１及び第２のダイヤフラム１５、１７と共に後記気室２２を形成する段差部９が設けられている。
【００１４】
蓋体１０は、内部に第２の弁室１１を有し外周側面には第２の弁室１１と連通した流体流出口１２を有し、本体３の上端部に接合されている。下端部の第２の弁室１１の周縁部には後記第２のダイヤフラム１７の環状突部１３が嵌合される環状溝部１４が設けられている。
【００１５】
第１のダイヤフラム１５は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製でドーナツ状に形成されており、中央部には環状接合部１６が設けられており、また、外周縁部には環状突部７が設けられている。第１のダイヤフラム１５の環状接合部１６の内周面にはスリーブ１９が螺着され、一方、環状突部７は本体３の内部に設けられた接合部８に接合されている。
【００１６】
第２のダイヤフラム１７は、第１のダイヤフラム１５と同様にＰＴＦＥ製であり、中央部には環状接合部１８、外周縁部には環状突部１３が設けられている。環状突部１３は蓋体１０の環状溝部１４に嵌合され且つ、本体３と蓋体１０とによって挟持されている。なお、第２のダイヤフラム１７の受圧面積は前記第１のダイヤフラム１５よりも十分に大きくなるように形成されている。第１及び第２のダイヤフラム１５、１７は、スリーブ１９と螺着されることによって一体化している。
【００１７】
プラグ２０は、第１の弁室４の底部に螺着等により固定されている。プラグ２０の先端は、スリーブ１９の下端面との間で流体制御部２１を形成しており、スリーブ１９の上下動にともなって流体制御部２１の開口面積が変化し、第２の弁室１１内部の圧力、すなわち２次側の流体圧力を一定に保つように設計されている。
【００１８】
２２は本体３の段差部９及び第１、第２のダイヤフラム１５、１７の３者で囲まれて形成された気室である。気室２２の内部にはエア供給口６から圧縮空気が注入され、常に一定の圧力に保たれている。なお、圧力調整弁１は背圧弁などを用いても良い。
【００１９】
２４は圧力制御弁１の流体流出口１２と流入口が配管２３を介して接続されている流量計測器の一種である超音波式流量計であり、超音波の伝播時間差を利用して流体の流量を計測し計測値を電気信号に変換する働きをしている。超音波式流量計２４は後記制御部３４に配線接続されており、圧力調整弁１から流量計２４に流入してきた流体の流量を計測し、計測した流量を電気信号に変換して後記制御部３４に出力する。
【００２０】
なお、本実施態様では超音波式流量計を用いているが、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計または質量流量計等の他の流量計を用いても良い。
【００２１】
２６は超音波式流量計２４の流出口とその流体流入口２７が配管２５を介して接続されている他力式自動ピンチ弁の一種である電気駆動式自動ピンチ弁であり、駆動部３１、駆動部３１下部に接合される本体３２、本体３２内に収納される管体２８、上下動することにより管体２８を偏平させ流路面積を変化させる挟圧子２９及び挟圧子２９と駆動部３１とを連結する連結体３０とからなり（図４参照）、後記制御部３４の信号指示を受けて流路を開閉する作用をしている。なお、本実施態様では駆動部３１は電気駆動式を用いているが、電空ポジショナを備えたエア駆動式を用いても良い。
【００２２】
３４は電気信号に応じてフィードバック制御する制御部である。制御部３４は、超音波式流量計２４に配線接続され、また電気駆動式自動ピンチ弁２６の駆動部３１に配線接続されており、超音波式流量計２４からの電気信号を受け計測流量と設定流量との偏差をなくすための演算回路と、演算回路からの出力される信号により電気駆動式自動ピンチ弁２６の駆動部３１に駆動命令するための駆動回路を備えた構成である。
【００２３】
次に図１、図３、図４に基づき、本発明の第１の実施態様の作用について説明する。
【００２４】
ポンプなどの供給源（図示せず）から供給されるスラリーなどの流体が、外部配管２を介して流量制御装置に供給されると、流体は、まず圧力調整弁１の流体流入口５に流入する。圧力調整弁１は、気室２２にエアによって一定の内圧がかけられており、第１のダイヤフラム１５が第１の弁室４内部の圧力、すなわち１次側の流体圧力による上向きの力と、気室２２内部の圧力による下向きの力を受けている。一方、第２のダイヤフラム１７は第２の弁室１１内部の圧力すなわち２次側の流体圧力による下向きの力と、気室２２内部の圧力による上向きの力を受けており、これら４つの力の釣り合いによって第１及び第２のダイヤフラム１５、１７と接合されているスリーブ１９の位置が決定されている。スリーブ１９はプラグ２０との間に流体制御部２１を形成しており、その面積によって２次側の流体圧力を制御している。
【００２５】
この状態において、供給される流体の脈動等により１次側の流体圧力が上昇した場合、一時的に２次側の流体圧力及び流量も増大する。このとき流体圧力により第１のダイヤフラム１５には上向きの力、第２のダイヤフラム１７には下向きの力が働くが、第２のダイヤフラム１７の受圧面積は第１のダイヤフラム１５に比べ十分に大きく設計されているため、下向きの力の方が大きくなり、結果としてスリーブ１９を下方へ押し下げることとなる。これによって、流体制御部２１の開口面積は減少し、２次側の流体圧力は瞬時にもとの圧力まで低下し、再び気室２２の内圧と流体圧力による力の釣り合いが保たれる。
【００２６】
一方、供給される流体の脈動等により１次側の流体圧力が低下した場合、一時的に２次側の流体圧力及び流量も低下する。このとき第１及び第２のダイヤフラム１５、１７には、気室２２の内圧によってそれぞれ下向き及び上向きの力が働くが、この場合でも受圧面積は第２のダイヤフラム１７の方が大きいため、上向きの力のほうが優勢となって、スリーブ１９の位置を上方へ押し上げることとなる。これによって、流体制御部２１の開口面積は増大し、２次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、再び気室２２の内圧と流体圧力による力の釣り合いが保たれ、元の流量も保たれる。
【００２７】
以上のように圧力調整弁１の１次側の流体圧力が増減しても、瞬時にスリーブ１９の位置が変化して、常に２次側の圧力が一定に保たれるため、流入する流体が脈動していても一定に制御された圧力の流体が流出口から流出される。
【００２８】
次に圧力調整弁１の流体流出口１２から流出した流体は、配管２３を介して超音波式流量計２４の流入口に流入する。超音波式流量計２４は、圧力調整弁１から流出した流体の流量を超音波式流量計２４によりリアルタイムに計測し、計測された流量を電気信号に変換して制御部３４に出力する。制御部３４では任意の設定流量に対して、リアルタイムに計測された流量との偏差から、偏差をゼロにするように信号を電気駆動式自動ピンチ弁２６の駆動部３１に出力し、電気駆動式自動ピンチ弁２６の開度を出力信号に基づいて制御する。
【００２９】
超音波式流量計２４の流出口から流出した流体は、配管２５を介して電気駆動式自動ピンチ弁２６の流体流入口２７に流入する。
【００３０】
電気駆動式自動ピンチ弁２６は、制御部３４からの出力信号に応じて開度を変化させ、流体の流量を設定された流量値に収束するように調整されるため、流体流出口３３から流出される流体の流量を任意に設定された流量で安定して供給することができる。
【００３１】
なお、この電気駆動式自動ピンチ弁２６は全開から全閉までの広い流量レンジをとることが可能であり、広い流量レンジがとれても電気駆動式自動ピンチ弁２６のサイズを大きくすることなくコンパクトにでき、流量制御装置自体もコンパクトにすることができる。さらに電気駆動式自動ピンチ弁２６の構造上、流路はストレートであり、摺動部分が接液することが無いので、液だまりが起こりにくくスラリー等の流体を流しても流量制御の動作の妨げになることはなく、詰まることもない。
【００３２】
次に、本発明の第２の実施態様について図に基づいて説明する。第１の実施態様に対して第２の実施態様は超音波式流量計２４と電気駆動式自動ピンチ弁２６との流れ方向に対する配置を変えたものであり、圧力制御弁１の流体流出口１２と電気駆動式自動ピンチ弁２６の流体流入口２７は配管３４を介して接続され、電気駆動式自動ピンチ弁２６の流体流出口３３と超音波式流量計２４の流入口とは配管３６を介して接続されている。また、超音波式流量計２４と制御部３４は配線接続され、制御部３４と電気駆動式自動ピンチ弁２６の駆動部３１は配線接続されている。
【００３３】
次に図２に基づき、本発明の第２の実施態様の作用について説明する。第１の実施態様と異なる点は、流量制御装置において超音波式流量計２４と電気駆動式自動ピンチ弁２６の流れ方向に対する配置を変えたことである。これにより、電気駆動式自動ピンチ弁２６により制御された流量を超音波式流量計２４により計測し、計測された流量は電気信号で制御部３４に出力し、任意の設定流量に対し、リアルタイムに計測された流量との偏差から、偏差をゼロにするように電気駆動式自動ピンチ弁２６の開度を調整する。その他の点については第１の実施態様と同様であるため説明を省略する。
【００３４】
ここで、流量制御装置に流入する流体が脈動しているときの流量の安定性を調べるため、試験装置を用いて流量の経時変化の計測を以下の要領で行った。
【００３５】
【本発明の流量制御装置を使用した試験装置】（以下Ａ装置）
図５に示すように本発明の第１の実施態様を用いて、流体を貯留するための貯留槽３７、流体を汲み出すためのポンプ３８、圧力調整弁１、超音波式流量計２４、電気駆動式自動ピンチ弁２６を配管によって接続し、制御部３４を超音波式流量計２４と電気駆動式自動ピンチ弁２６に配線接続した。
【００３６】
【従来の流量制御装置を使用した試験装置】（以下Ｂ装置）
Ａ装置の流量制御装置部分を図８の従来の流量制御装置に変えて、流体を貯留するための貯留槽３７、流体を汲み出すためのポンプ３８、超音波式流量計４５、流量制御弁４４を配管によって接続し、制御部４６を超音波式流量計４５と流量制御弁４４に配線接続した。
【００３７】
【試験例１】
流体にスラリー（粒子サイズ０．１５μｍ）を用いて、ポンプ３８は流体の圧力変動（脈動）が生じるものを使用し、配管の口径を６ｍｍとし、圧力調整弁１に供給するエアの操作圧を０．１ＭＰａと設定した後、Ａ装置、Ｂ装置の各々の制御部３４、４６の設定流量値を２００ｍｌ／ｍｉｎに設定して、各々の試験装置に流体を流し、超音波式流量計２４、４５から計測される流量の経時変化を記録した。Ａ装置の流量の経時変化を図６の（ａ）のグラフに示し、Ｂ装置の流量の経時変化を図６の（ｂ）のグラフに示す。
【００３８】
図６のグラフからわかるように、（ｂ）のＢ装置では、流量制御装置に流入する流体が脈動していると、１７２〜２０８ｍｌ／ｍｉｎの範囲で流量が変化し、安定した流量を得ることができなかった。これに対し（ａ）のＡ装置では、流量制御装置に流入する流体が脈動しているのにもかかわらず１９４〜２０６ｍｌ／ｍｉｎの範囲の流量変化にとどまり、何ら問題なく安定した流量を得ることができた。また、Ｂ装置では長時間使用すると、流量制御弁４４は安定しない流量を制御しようと開閉動作を繰り返すため駆動機構４３に過剰な負荷がかかり故障しやすい上にスラリーが詰まりやすかった。
なお、本発明の第２の実施態様について、図５の試験装置の電気駆動式自動ピンチ弁２６と超音波式流量計２４の流れ方向に対する配置を変えた制御装置を用いて同様の試験を行った。その流量の経時変化は図６の（ａ）の第１の実施態様に基づく試験装置で行った試験結果と同等であった。
【００３９】
次に、Ａ装置において、第１の実施態様について制御部３４の設定流量値を変えて設定し、各々における流量の経時変化の計測を以下の要領で行った。
【００４０】
【試験例２】
流体にスラリー（粒子サイズ０．１５μｍ）を用いて、配管の口径を６ｍｍとし、圧力調整弁１に供給するエアの操作圧を０．１ＭＰａと設定した後、制御部３４の設定流量値を各々２０ｍｌ／ｍｉｎ、３００ｍｌ／ｍｉｎ、７００ｍｌ／ｍｉｎに設定して、該流体を６０時間連続して流し、超音波式流量計２４から計測される流量の経時変化を記録した。その結果を図７のグラフに示す。
【００４１】
図７のグラフから明らかなように十分時間が経過しても、圧力調整弁１の操作圧が一定にもかかわらず２０〜７００ｍｌ／ｍｉｎの広い流量範囲で長時間にわたって安定した流量が保持されている。圧力調整弁１に供給するエアの操作圧の設定を変化させることで、さらに微少な流量から大きな流量への設定も可能である。
なお、本発明の第２の実施態様についても、図５の試験装置の電気駆動式自動ピンチ弁２６と超音波式流量計２４の流れ方向に対する配置を変えた制御装置を用いて同様の試験を行った。その流量の経時変化は図７の第１の実施態様に基づく試験装置で行った試験結果と同等であった。
【００４２】
【発明の効果】
本発明は以上説明したような構造をしており、これを使用することにより以下の優れた効果が得られる。
（１）流入する流体が脈動しているときでも、安定した流量制御が可能になる。
（２）広い流量範囲にわたって、安定した流量を供給できる。
（３）流量制御装置自体をコンパクトにできるため、流量制御装置を用いた機器（例えばＣＭＰ装置等）自体もコンパクトにできる。
（４）スラリーを輸送するラインに使用しても制御装置の動作を妨げることなく、詰まることもないため、メンテナンスの必要もなく長期使用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施態様を示す流量制御装置の概念構成図である。
【図２】本発明の第２の実施態様を示す流量制御装置の概念構成図である。
【図３】圧力調整弁の構造を示す縦断面図である。
【図４】全閉状態の電気駆動式自動ピンチ弁の部分縦断面図である。
【図５】流量制御の評価を行うための試験装置を示す概念構成図である。
【図６】流入する流体が脈動しているときの流量の経時変化を示すグラフである。
【図７】設定流量値を変えて各々設定したときの流量の経時変化を示すグラフである。
【図８】従来の流量制御装置の概念構成図である。
【符号の説明】
１…圧力調整弁
２…外部配管
３…本体
４…第１の弁室
５…流体流入口
６…エア供給口
７…環状突部
８…接合部
９…段差部
１０…蓋体
１１…第２の弁室
１２…流体流出口
１３…環状突部
１４…環状溝部
１５…第１のダイヤフラム
１６…環状接合部
１７…第２のダイヤフラム
１８…環状接合部
１９…スリーブ
２０…プラグ
２１…流体制御部
２２…気室
２３…配管
２４…流量計測器（超音波式流量計）
２５…配管
２６…他力式自動ピンチ弁（電気駆動式自動ピンチ弁）
２７…流体流入口
２８…管体
２９…挟圧子
３０…連結体
３１…駆動部
３２…本体
３３…流体流出口
３４…制御部
３５…配管
３６…配管
３７…貯留槽
３８…ポンプ
３９…流入部
４０…流出部
４１…弁本体
４２…弁体
４３…駆動機構
４４…流量制御弁
４５…超音波式流量計
４６…制御装置
４７…弁座部

Claims

流入する流体の圧力を一定圧に調整して流出させる圧力調整弁（１）と、圧力調整弁（１）から流出した流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器（２４）と、流量計測器（２４）から流出した流体の流量を制御する他力式自動ピンチ弁（２６）と、流量計測器（２４）からの電気信号に基づいて他力式自動ピンチ弁（２６）の開度調整をフィードバック制御する制御部（３４）とを具備したことを特徴とする流量制御装置。
流入する流体の圧力を一定圧に調整して流出させる圧力調整弁（１）と、圧力調整弁（１）から流出した流体の流量を制御する他力式自動ピンチ弁（２６）と、他力式自動ピンチ弁（２６）から流出した流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器（２４）と、流量計測器（２４）からの電気信号に基づいて他力式自動ピンチ弁（２６）の開度調整をフィードバック制御する制御部（３４）とを具備したことを特徴とする流量制御装置。
圧力調整弁（１）が、内部に第１の弁室（４）、第１の弁室（４）の上部に設けられた段差部（９）及び第１の弁室（４）と連通する流体流入口（５）を有する本体（３）と、第２の弁室（１１）とそれに連通する流体流出口（１２）とを有し本体上部に接合される蓋体（１０）と、周縁部が第１の弁室（４）の上部周縁部に接合された第１のダイヤフラム（１５）と、周縁部が本体（３）と蓋体（１０）とによって挟持された第２のダイヤフラム（１７）と、第１及び第２のダイヤフラム（１５）、（１７）の中央に設けられた両環状接合部（１６）、（１８）に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブ（１９）と、第１の弁室（４）の底部に固定され該スリーブ（１９）の下端との間に流体制御部（２１）を形成しているプラグ（２０）とからなり、また本体の段差部（９）の内周面と第１及び第２のダイヤフラム（１５）、（１７）とに包囲された気室（２２）を有し、第２のダイヤフラム（１７）の受圧面積が第１のダイヤフラム（１５）の受圧面積より大きく構成され、前記気室（２２）に連通するエア供給口（６）が本体（３）に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の流量制御装置。
流量計測器（２４）が、超音波式流量計、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計または質量流量計であることを特徴とする請求項１乃至３に記載の流量制御装置。
他力式自動ピンチ弁（２６）が、電気駆動式自動ピンチ弁または電空ポジショナを備えたエア駆動式自動ピンチ弁であることを特徴とする請求項１乃至４に記載の流量制御装置。