JP2007253039A5 - - Google Patents
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- 少なくとも2つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる流体混合装置であって、
各々の該供給ライン(1、2)が、
制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁(4、6)と、
流体の実流量を計測する流量計測器(3、5)とをそれぞれ具備することを特徴とする手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 各々の前記供給ラインが、流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁(10、13)を少なくとも1つさらに具備することを特徴とする請求項1記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 各々の前記供給ラインが、開口面積を変化させることにより流体の流量が調節可能な絞り弁(22、26)を少なくとも1つさらに具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 各々の前記供給ライン(1、2)の最下流側に、該供給ライン(1、2)の合流部(7)を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 前記合流部直前の該供給ラインに、開閉弁(28、29)がそれぞれ配置されてなることを特徴とする請求項4記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 前記合流部が、該供給ラインを一つの流路に合流させるマニホールド弁(30)であることを特徴とする請求項4記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 各々の前記供給ラインの中の任意の一つの供給ラインの最上流側に接続される開閉弁(535a)が設けられた主ラインと、
他の供給ラインの最上流側に接続される開閉弁(536a)が設けられた少なくとも一つの他のラインとを具備し、
該主ラインの開閉弁(535a)の上流側と少なくとも一つの該他のラインの開閉弁(536a)の下流側とが開閉弁(537a)を介して連通されてなるフラッシング装置(31)を具備してなることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記各種弁および前記流量計測器が、独立した接続手段を用いずに直接接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 前記各種弁および前記流量計測器が、一つのベースブロックに配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 前記各種弁および前記流量計測器が、一つのケーシング内に収納配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 前記流体制御弁(4、6)が、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙(209)と第二の空隙(209)に連通する入口流路(211)と上部に上面が開放して設けられ第二の空隙(209)の径よりも大きい径を持つ第一の空隙(210)と第一の空隙(210)に連通する出口流路(212)と第一の空隙(210)と第二の空隙(209)とを連通し第一の空隙(210)の径よりも小さい径を有する連通孔(213)とを有し、第二の空隙(209)の上面が弁座(214)とされた本体(201)と、
側面あるいは上面に設けられた給気孔(217)と排出孔(218)とに連通した円筒状の空隙(215)を内部に有し、下端内周面に段差部(216)が設けられたボンネット(202)と、
ボンネット(202)の段差部(216)に嵌挿され中央部に貫通孔(219)を有するバネ受け(203)と、下端部にバネ受け(203)の貫通孔(219)より小径の第一接合部(224)を有し上部に鍔部(222)が設けられボンネット(202)の空隙(215)内部に上下動可能に嵌挿されたピストン(204)と、
ピストン(204)の鍔部(222)下端面とバネ受け(203)の上端面で挟持支承されているバネ(205)と、
周縁部が本体(201)とバネ受け(203)との間で挟持固定され、本体(201)の第一の空隙(210)に蓋する形で第一の弁室(231)を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム(227)と、上面中央にピストン(204)の第一接合部(224)にバネ受け(203)の貫通孔(219)を貫通して接合固定される第二接合部(229)と、下面中央に本体(201)の連通孔(213)と貫通して設けられた第三接合部(230)とを有する第一弁機構体(206)と、
本体の第二の空隙(209)内部に位置し本体の連通孔(213)より大径に設けられた弁体(232)と、弁体(232)上端面に突出して設けられ第一弁機構体(206)の第三接合部(230)と接合固定される第四接合部(234)と、弁体(232)下端面より突出して設けられたロッド(235)と、ロッド(235)下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム(237)とを有する第二弁機構体(207)と、
本体(201)の下方に位置し第二弁機構体(207)の第二ダイヤフラム(237)周縁部を本体(201)との間で挟持固定する突出部(239)を上部中央に有し、突出部(239)の上端部に切欠凹部(240)が設けられると共に切欠凹部(240)に連通する呼吸孔(241)が設けられているベースプレート(208)とを具備し、
ピストン(204)の上下動に伴って第二弁機構体(207)の弁体(232)と本体(201)の弁座(214)とによって形成される流体制御部(242)の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記流体制御弁(4、6)が、
前記ボンネット(202)底面と前記ピストン(204)上端面、または前記バネ受け(203)下端面と前記第一ダイヤフラム(227)上面に、バネが挟持支承されたことを特徴とする請求項11記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記流体制御弁が、
流体の入口流路(145)、出口流路(152)及び、入口流路(145)と出口流路(152)が連通するチャンバ(127)から形成された本体部(121)と、弁体(165)と第一ダイヤフラム部(137)を有する弁部材(136)と、弁部材(136)の下部及び上部に位置し第一ダイヤフラム部(137)より有効受圧面積が小さい第二ダイヤフラム部(138)及び第三ダイヤフラム部(139)を有し、弁部材(136)及び各ダイヤフラム部(137、138、139)が各ダイヤフラム部(137、138、139)の外周部が本体部(121)に固定されることによりチャンバ(127)内に取りつけられ、かつ各ダイヤフラム部(137、138、139)によってチャンバ(127)を第一加圧室(128)、第二弁室(129)、第一弁室(130)、及び第二加圧室(131)に区分し、第一加圧室(128)は第二ダイヤフラム部(138)に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有し、第一弁室(130)は入口流路(145)と連通しており、第二弁室(129)は、弁部材(136)の弁体(165)に対応する弁座(150)を有し、また弁座(150)に対して第一ダイヤフラム部(137)側に位置し第一ダイヤフラム部(137)に設けられた連通孔(162)にて第一弁室(130)と連通している下部第二弁室(132)と、第二ダイヤフラム部(138)側に位置し出口流路(152)と連通して設けられた上部第二弁室(133)とに分かれて形成され、弁部材(136)の上下動により弁体(165)と弁座(150)との間の開口面積が変化して下部第二弁室(134)の流体圧力が制御される流体制御部(168)を有し、第二加圧室(131)は、第三ダイヤフラム部(139)に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記流体制御弁が、
前記第一加圧室(128)下面と第四ダイヤフラム部(140)上面に、バネが挟持支承されたことを特徴とする請求項13記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記絞り弁(22、26)が、
上部に設けられた弁室(253)の底面に弁座面(252)が形成され、弁座面(252)の中心に設けられた連通口(254)に連通する入口流路(255)と弁室(253)に連通する出口流路(256)を有する本体(251)と、
ステムの軸方向の進退移動により連通口(254)に挿入可能で接液面の中心から垂下突設された第一弁体(261)と弁座面(252)に接離可能にされ第一弁体(261)から径方向へ隔離した位置に形成された円環状凸条の第二弁体(262)と第二弁体(262)から径方向へ連続して形成された薄膜部(263)とが一体的に設けられた隔膜(260)と、
上部にハンドル(281)が固着され下部内周面に雌ネジ部(278)と外周面に雌ネジ部(278)のピッチより大きいピッチを有する雄ネジ部(279)を有する第一ステム(277)と、
内周面に第一ステム(277)の雄ネジ部(279)と螺合する雌ネジ部(283)を有する第一ステム支持体(282)と、
上部外周面に第一ステム(277)の雌ネジ部(278)に螺合される雄ネジ部(270)を有し下端部に隔膜(260)が接続される第二ステム(269)と、
第一ステム支持体(282)の下方に位置し第二ステム(269)を上下移動自在かつ回動不能に支承する隔膜押さえ(271)と、第一ステム(277)と隔膜押さえ(271)を固定するボンネット(286)とを具備することを特徴とする請求項3乃至請求項14のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。 - 前記流量計測器が、超音波流量計、カルマン渦流量計、超音波式渦流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計または質量流量計であることを特徴とする請求項1乃至請求項15のいずれか1項に記載の手動式または開ループ制御式流体混合装置。
- 少なくとも2つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる流体混合装置であって、
フッ化水素酸または塩酸並びに純水の2種の流体が、フッ化水素酸または塩酸が1に対して純水が10〜200の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項16のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 少なくとも3つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる流体混合装置であって、
アンモニア水または塩酸、過酸化水素水並びに純水の3種の流体が、アンモニア水または塩酸が1〜3に対して、過酸化水素水が1〜5、純水が10〜200の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項16のいずれか1項に記載の流体混合装置。 - 少なくとも3つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる流体混合装置であって、
フッ化水素酸、フッ化アンモニウム及び純水の3種の流体が、フッ化水素酸が1に対して、フッ化アンモニウムが7〜10、純水が50〜100の比率で混合されることを特徴とする請求項1乃至請求項16のいずれか1項に記載の流体混合装置。
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