JP3583123B1 - 流量制御弁及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアー室6の上下各開口部にそれぞれ一つずつダイヤフラム8、9が取り付けられる。この上下両ダイヤフラム8、9は、連結軸10で連結されるとともに、エアー室6の圧力を受ける受圧面の面積が異なるものとする。これにより、2つのダイヤフラム8、9に加わる力に差が生じ、この力の差により連結軸10と下側ダイヤフラム9の外面に取り付けられている弁体2がスライドして弁座部55から離れるものとする。
【選択図】図1
Description
(1)高精度な流量調整を可能にする流量制御弁を提供しうる。
(2)シンプルな構造で低コストの流量制御弁を提供しうる。
(1)高精度な流体の流量制御を行える。
(2)流量以外の他の要因で流体の流量が変化しても、その変化に十分対応することができる。
2 弁体
2−1 上段側テーパ部
2−2 下段側テーパ部
3 バルブベース
3−1 凹部
4 中間ハウジング
5 バルブキャップ
6 エアー室
7−1、7−2 開口部
8 第1のダイヤフラム(上側ダイヤフラム)
9 第2のダイヤフラム(下側ダイヤフラム)
10 連結軸
11 すべり軸受
12 軸受固定部
13 エアー供給路
14 オリフィス部
15 エアー抜き通路
16 貫通孔
17 バネ
18 バネ受け
19 内部流路
20 弁室
21 上流側通路
22 下流側通路
23 弁座部
50、51 ダイヤフラム
52 リンク棒
53 ピストン
54 エアー供給配管
55 弁座部
56 流路
100 流量制御装置
101 液体供給装置
102 液体使用装置
103 管路
104 超音波流量計
104−1、104−2 振動子
105 コントローラ部
106 エアー制御部
108 エアー供給源
109 エアー供給配管
V 流量制御弁
Claims (11)
- 対向する2つの開口部を備えてなるエアー室と、
上記エアー室の各開口部にそれぞれ取り付けられるとともに、そのエアー室の圧力を受ける受圧面の面積が異なる2つのダイヤフラムと、
上記2つのダイヤフラムを連結する連結軸と、
上記連結軸をその軸心方向にスライド可能に支持する支持手段と、
上記エアー室の外側に設けられ、流体が通流する内部流路と、
上記連結軸のスライド動作に連動してスライド移動することにより上記内部流路を流れる流体の流量を増減調整する弁体と、
上記エアー室内に圧力制御または流量制御されたエアーを供給するエアー供給路とを有し、
上記エアー供給路は、その一端部側が分岐して2つの分岐管路になり、この2つの分岐管路のうち、一方の分岐管路の出口側が、上記一方のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口し、他方の分岐管路の出口側が、上記他方のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口していること
を特徴とする流量制御弁。 - 上下2つの開口部を備えてなるエアー室と、
上記エアー室の上下各開口部にそれぞれ取り付けられるとともに、そのエアー室の圧力を受ける受圧面の面積が異なる上下2つのダイヤフラムと、
上記上下2つのダイヤフラムを連結する連結軸と、
上記連結軸をその軸心方向にスライド可能に支持する支持手段と、
上記エアー室の外側に設けられ、流体が通流する内部流路と、
上記連結軸のスライド動作に連動してスライド移動することにより上記内部流路を流れる流体の流量を増減調整する弁体と、
上記エアー室内に圧力制御または流量制御されたエアーを供給するエアー供給路とを有し、
上記エアー供給路は、その一端部側が分岐して2つの分岐管路になり、この2つの分岐管路のうち、一方の分岐管路の出口側が、上記上側のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口し、他方の分岐管路の出口側が、上記下側のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口していること
を特徴とする流量制御弁。 - 上記連結軸および上記支持手段は上記エアー室内に配置されていること
を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の流量制御弁。 - 上記弁体は、上記2つのダイヤフラムのうちいずれか一方のダイヤフラムの外面に取り付けられ、
上記内部流路は、上記弁体が取り付けられている上記一方のダイヤフラムの外面を通るように構成されること
を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の流量制御弁。 - 上記一方のダイヤフラムの外面は、フッ素樹脂等による腐食防止手段で保護されていること
を特徴とする請求項4に記載の流量制御弁。 - 流体を供給する管路と、
上記管路の途中に設置された流量制御弁と、
上記管路を流れる流体の流量を計測する流量計と、
上記流量計で計測した流量計測値と流量設定値に基づき上記流量制御弁を制御することにより上記管路を流れる流体の流量を上記流量設定値と等しくなるように調整する制御部とを具備し、
上記流量制御弁は、
対向する2つの開口部を備えてなるエアー室と、
上記エアー室の各開口部にそれぞれ取り付けられるとともに、そのエアー室の圧力を受ける受圧面の面積が異なる2つのダイヤフラムと、
上記2つのダイヤフラムを連結する連結軸と、
上記連結軸をその軸心方向にスライド可能に支持する支持手段と、
上記エアー室の外側に設けられ、上記管路に連通するとともに、該管路を流れる流体が通流する内部流路と、
上記連結軸のスライド動作に連動してスライド移動することにより上記内部流路を流れる流体の流量を増減調整する弁体と、
上記エアー室内に圧力制御または流量制御されたエアーを供給するエアー供給路とを有し、
上記エアー供給路は、その一端部側が分岐して2つの分岐管路になり、この2つの分岐管路のうち、一方の分岐管路の出口側が、上記一方のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口し、他方の分岐管路の出口側が、上記他方のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口していること
を特徴とする流量制御装置。 - 流体を供給する管路と、
上記管路の途中に設置された流量制御弁と、
上記管路を流れる流体の流量を計測する流量計と、
上記流量計で計測した流量計測値と流量設定値に基づき上記流量制御弁を制御することにより上記管路を流れる流体の流量を上記流量設定値と等しくなるように調整する制御部とを具備し、
上記流量制御弁は、
上下2つの開口部を備えてなるエアー室と、
上記エアー室の上下各開口部にそれぞれ取り付けられるとともに、そのエアー室の圧力を受ける受圧面の面積が異なる上下2つのダイヤフラムと、
上記上下2つのダイヤフラムを連結する連結軸と、
上記連結軸をその軸心方向にスライド可能に支持する支持手段と、
上記エアー室の外側に設けられ、上記管路に連通するとともに、該管路を流れる流体が通流する内部流路と、
上記連結軸のスライド動作に連動してスライド移動することにより上記内部流路を流れる流体の流量を増減調整する弁体と、
上記エアー室内に圧力制御または流量制御されたエアーを供給するエアー供給路とを有し、
上記エアー供給路は、その一端部側が分岐して2つの分岐管路になり、この2つの分岐管路のうち、一方の分岐管路の出口側が、上記上側のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口し、他方の分岐管路の出口側が、上記下側のダイヤフラムの受圧面に近接して対向するように開口していること
を特徴とする流量制御装置。 - 上記流量計は、超音波流量計からなるとともに、上記流量制御弁の下流側に設置されること
を特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の流量制御装置。 - 上記連結軸および上記支持手段は上記エアー室内に配置されていること
を特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の流量制御装置。 - 上記弁体は、上記2つのダイヤフラムのうちいずれか一方のダイヤフラムの外面に取り付けられ、
上記内部流路は、上記弁体が取り付けられている上記一方のダイヤフラムの外面を通るように構成されること
を特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の流量制御装置。 - 上記一方のダイヤフラムの外面は、フッ素樹脂等による腐食防止手段で保護されていること
を特徴とする請求項10に記載の流量制御装置。
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