WO2023002953A1 - タイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブ - Google Patents

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WO2023002953A1
WO2023002953A1 PCT/JP2022/027896 JP2022027896W WO2023002953A1 WO 2023002953 A1 WO2023002953 A1 WO 2023002953A1 JP 2022027896 W JP2022027896 W JP 2022027896W WO 2023002953 A1 WO2023002953 A1 WO 2023002953A1
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valve
pilot
port
opening
closing
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/027896
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English (en)
French (fr)
Inventor
研郎 吉野
佑亮 熊田原
Original Assignee
旭有機材株式会社
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K23/00—Valves for preventing drip from nozzles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston

Definitions

  • the present invention relates to a timing control valve capable of adjusting the opening/closing timing of fluid circulation in an internal flow path and a suck back valve including the same.
  • a sack that sucks back the liquid in the pipe is used.
  • a back valve is used.
  • the driving fluid is supplied to and discharged from the cylinder chamber containing the piston to move the piston, and the elastic deformation of the diaphragm interlocking with the piston increases or decreases the volume of the suction chamber communicating with the pipe. It is common to have a mechanism for sucking back the liquid in the pipe by moving the pipe (see, for example, Patent Document 1).
  • Such a suck back valve is arranged downstream of an on-off valve for opening and closing a fluid passage in a pipe. Further, as described in Patent Document 2 and Patent Document 3, an on-off valve portion for opening and closing the fluid passage and a suction mechanism portion for sucking back the liquid in the fluid passage are integrally provided. There is also a suck back valve.
  • a suck-back valve When the on-off valve portion and the suck-back mechanism portion are operated by the operation of one switching valve, for example, a suck-back valve includes a valve body, an on-off valve portion, and a suck-back mechanism portion.
  • a fluid passage including a flow channel and an outlet flow channel, a valve chamber in which the inlet flow channel opens, and a suction chamber located between the valve chamber and the outlet flow channel may be formed.
  • the on-off valve section moves the piston by supplying and discharging a driving fluid to and from a cylinder chamber containing the piston, and a valve body interlocking with the piston is formed around an opening from the inlet flow path in the valve chamber. the valve seat.
  • a biasing spring is arranged in the cylinder chamber to bias the piston in a direction to press the valve body against the valve seat.
  • the biasing force of the biasing spring exceeds the force due to the pressure of the driving fluid in the cylinder chamber, moving the piston in the direction to bring the valve body closer to the valve seat. Press against the valve seat. In this manner, the opening and closing of the fluid passage are performed.
  • the suction-back mechanism moves the piston by supplying and discharging a driving fluid to and from a cylinder chamber accommodating the piston, deforms the diaphragm facing the suction-chamber in conjunction with the piston, and closes the suction-back chamber. increase or decrease the volume of A biasing spring is disposed in the cylinder chamber to bias the piston away from the suction chamber.
  • the suck-back mechanism configured in this manner, by supplying the driving fluid to the cylinder chamber, the pressure of the driving fluid in the cylinder chamber moves the piston against the biasing force of the biasing spring, thereby sucking back. Inflate the diaphragm toward the room and put it in a standby state.
  • the biasing force of the biasing spring exceeds the force due to the pressure of the driving fluid in the cylinder chamber, and the piston is moved in the direction of retracting the diaphragm from the suction chamber. return to its original shape.
  • the increase and decrease in the volume of the suction chamber associated with such deformation of the diaphragm causes the liquid in the fluid passage (more specifically, the outlet passage) to be sucked back.
  • the valve body when the driving fluid is supplied from the switching valve to the on-off valve portion and the cylinder chamber of the suction-back mechanism portion, the valve body is separated from the valve seat by the on-off valve portion to open the fluid passage. At the same time, the diaphragm is expanded into the suction chamber by the suck-back mechanism to enter a standby state.
  • the valve body when the drive fluid in the cylinder chamber of the on-off valve portion and the suction-return mechanism portion is discharged through the switching valve, the valve body is pressed against the valve seat by the on-off valve portion to close the flow of the liquid in the fluid passage. , the diaphragm is retracted from the suck-back chamber by the suck-back mechanism, the volume of the suck-back chamber increases, and the liquid in the fluid passage (specifically, the outlet passage) is sucked back.
  • the suck-back operation by the suck-back mechanism may start before the opening/closing valve closes the flow of the fluid.
  • the amount of liquid supplied to the downstream side of the suck-back valve is affected, which is inconvenient when precise control of the amount of liquid supplied is required, such as in the manufacture of semiconductors.
  • a variable throttle valve is arranged between the switching valve and the sucking mechanism. It is common to adjust the discharge flow rate of the driving fluid from the suck-back mechanism. However, it is not easy to adjust the variable throttle valve so that the suck-back operation is started by the suck-back mechanism after the on-off valve closes the flow of the liquid.
  • the drive fluid can be supplied to the suction-back mechanism regardless of the pressure of the on-off valve, and the drive fluid from the suction-back mechanism can be supplied from the suction-back mechanism after the pressure of the drive fluid in the cylinder chamber of the on-off valve drops to a predetermined value. It is desirable to be able to initiate the discharge of As a method of controlling the timing of discharging the driving fluid from the suction-back mechanism, it is conceivable to use a pilot valve that can be opened and closed by the pressure of the pilot fluid. However, since a general pilot valve has a mechanism that closes when the pressure of the pilot fluid drops, when synchronizing with the pressure of the drive fluid in the on-off valve section, the fluid will not flow when the pressure of the drive fluid drops. It cannot be started, and a separate control of the pilot fluid for opening and closing the pilot valve is required, which complicates the control.
  • timing control valve capable of allowing fluid to flow when the pressure of the pilot fluid drops below a predetermined value, in order to solve the problems present in the prior art. That's what it is.
  • the present invention provides, as a first aspect, an internal flow path provided with a first port, a second port and a drive port and extending between the first port and the second port.
  • a pilot body having a channel formed therein and a channeled pilot body for permitting fluid communication within said internal channel from said first port to said second port and said internal channel from said second port to said first port;
  • a check valve mechanism for preventing the flow of fluid in the flow path;
  • a timing adjustment mechanism for opening and closing the internal flow path by supplying and discharging the drive fluid to and from the drive port, wherein the timing adjustment mechanism is and the check valve mechanism is arranged in parallel with the check valve mechanism in the internal flow path, and the pressure of the driving fluid supplied to and discharged from the timing adjustment mechanism through the drive port falls below a predetermined value.
  • a timing control valve configured to allow fluid communication between the first port and the second port when the timing control valve is closed;
  • the timing control valve allows the flow of fluid in the internal flow path from the first port to the second port, but prevents the flow of fluid in the internal flow path from the second port to the first port.
  • a timing adjustment mechanism for opening and closing the internal flow path by supplying and discharging the driving fluid to and from the driving port are arranged in parallel in the internal flow path extending between the first port and the second port. are placed in Therefore, regardless of the pressure of the driving fluid in the timing adjustment mechanism, the check valve mechanism allows the fluid to flow from the first port to the second port.
  • the flow of fluid from the second port to the first port starts when the pressure of the driving fluid supplied to and discharged from the timing adjustment mechanism through the driving port falls below a predetermined value. It is possible to control the start timing of fluid flow in the direction from the second port to the first port.
  • the pilot main body includes a pilot cylinder chamber communicating with the drive port, a pilot valve chamber communicating with the second port, the pilot cylinder chamber and the pilot valve chamber. a first flow path extending from the pilot valve chamber to the first port; and the first port and the second port extending in parallel with the first flow path.
  • a pilot valve seat is provided on the periphery of the opening of the first flow path to the pilot valve chamber, and the check valve mechanism portion is connected to the first flow path. 2 port and said second flow path to prevent fluid from flowing from said second port to said second flow path and to prevent fluid from flowing from said second flow path to said second port.
  • the timing adjustment mechanism includes a pilot piston arranged in the pilot cylinder chamber, a pilot rod extending from the pilot piston and inserted through the connection hole, and a tip end of the pilot rod.
  • a pilot valve body portion provided in the pilot valve chamber and disposed facing the pilot valve seat in the pilot valve chamber;
  • a plug member attached to an end portion and a pilot biasing member biasing the pilot piston in a direction to move the pilot valve body away from the pilot valve seat are driven into the pilot cylinder chamber through the drive port.
  • the pilot valve body portion is pressed against the pilot valve seat against the biasing force of the pilot biasing member to close the flow of the fluid in the first flow path. can be made to exist.
  • the first flow path and the second flow path extend in parallel between the first port and the second port.
  • a pilot piston in a pilot cylinder chamber of the timing adjustment mechanism is urged by a pilot urging member in a direction to move the pilot valve body away from the pilot valve seat.
  • the pilot valve body is pressed against the pilot valve seat to close the flow of fluid in the first flow path. For this reason, when the pressure of the driving fluid in the pilot cylinder chamber of the timing adjustment mechanism portion decreases, the pilot valve body portion is separated from the pilot valve seat by the biasing force of the pilot biasing member, and the flow of fluid in the first flow path is interrupted. be started.
  • a check valve mechanism is arranged between the second port and the second flow path to prevent fluid from flowing from the second port to the second flow path. Fluid is allowed to flow from the flow path to the second port. Therefore, fluid communication is ensured from the first port to the second port through at least the first port and the second flow path.
  • the check valve mechanism On the other hand, from the second port to the first port, the flow of fluid from the second port to the second flow path is prevented by the check valve mechanism, and the pilot cylinder chamber of the timing adjustment mechanism is prevented. Only when the pressure of the drive fluid is lowered, the flow of fluid from the second port is ensured through the pilot valve chamber and the first flow path.
  • the pilot biasing member is preferably arranged so as to be sandwiched between the pilot valve body portion and the plug member.
  • the plug member is screwed to the end of the first channel, and the position of the plug member in the first channel can be adjusted by rotating the plug member. It is more preferable that
  • the pilot main body is composed of a first pilot housing and a second pilot housing, and the first pilot housing includes the drive port, the pilot cylinder chamber, the connection hole, The pilot valve chamber and the first flow path are provided, an insertion hole extending through the second pilot housing, a second flow path extending parallel to the insertion hole, and the second pilot housing. 1 port and the second port are provided, and the first pilot housing is inserted into the insertion hole of the second pilot housing so that the inner peripheral surface of the insertion hole and the first pilot housing are connected.
  • the second flow path communicates with a clearance passage formed between the outer peripheral surface of the pilot housing and the first pilot housing and the second pilot housing.
  • the second port and the pilot valve chamber are communicated with each other by a communication passage extending across the gap, the clearance passage is connected to the communication passage, and the check valve mechanism portion is disposed in the clearance passage.
  • the check valve mechanism is a lip packing having a bendable lip structure disposed between the inner peripheral surface of the insertion hole and the outer peripheral surface of the first pilot housing, and the lip packing is preferably arranged such that the lip structure is located on the side closer to the communication path.
  • the lip packing is selected from U packing, V packing and Y packing.
  • an on-off valve portion for opening and closing a fluid passage, and an on-off valve portion disposed downstream of the on-off valve portion, wherein the fluid in the fluid passage is released after the fluid passage is closed by the on-off valve portion.
  • a suck-back valve comprising a suck-back mechanism for sucking-back and the timing control valve, wherein the on-off valve and the suck-back mechanism are connected to a common switching valve, and through the switching valve, the suck-back valve A drive fluid is supplied to and discharged from the on-off valve portion and the suction-back mechanism portion, and when the drive fluid is supplied through the switching valve, the on-off valve portion opens and the suction-back mechanism portion opens.
  • the on-off valve portion for opening and closing the fluid passage and the suction-back mechanism portion for sucking-back the fluid in the fluid passage are connected to a common switching valve.
  • a driving fluid is supplied to and discharged from the mechanism.
  • the first port and the second port of the timing control valve are connected to the switching valve and the suction-back mechanism, respectively, and the driving port of the timing control valve is connected to the piping between the switching valve and the on-off valve. It is connected. Therefore, the pressure of the drive fluid supplied to and discharged from the drive port of the timing control valve to and from the pilot cylinder chamber becomes equal to the pressure in the on-off valve section.
  • the timing adjustment valve is set so that the opening/closing valve portion is closed when the pressure of the driving fluid in the opening/closing valve portion becomes equal to or less than a predetermined value, the timing adjustment valve will be able to control the flow of the fluid by the opening/closing valve portion. To make it possible to start a sucking-back operation by a sucking-back mechanism part after the flow is closed.
  • the suck-back valve is provided with an internal channel for circulating a fluid including an inlet channel and an outlet channel, and a suction chamber communicating with the outlet channel.
  • a main body is further provided, and the fluid is sucked back from the outlet channel by increasing the volume of the suck-back chamber using the suck-back mechanism after the on-off valve closes the flow of the fluid in the internal channel.
  • the suck-back mechanism portion includes a suck-back driving unit housing having a suck-back cylinder chamber formed therein, and a suck-back driving unit housing accommodated in the suck-back cylinder chamber and on the inner peripheral surface of the suck-back cylinder chamber.
  • a suck-back urging member arranged in the suck-back cylinder chamber and biasing the suck-back piston in a direction to increase the volume of the suck-back chamber;
  • the suck-back mechanism further includes a diaphragm having an outer peripheral edge sandwiched between the suck-back drive unit housing and the valve body, and the diaphragm is positioned between the suck-back drive unit housing and the valve body.
  • the diaphragm extends from the suction piston and is connected to the tip of a suction stem inserted through a through hole provided in the bottom of the suction cylinder chamber.
  • the volume of the suction chamber can be increased or decreased by deformation of the diaphragm accompanying movement of the suction piston.
  • valve body is provided with a valve chamber that communicates with the inlet flow path and with the suction chamber via a communication path, and a valve seat for contacting and separating the valve body extends from the inlet flow path to the valve chamber.
  • the on-off valve portion includes an on-off driving unit housing having an on-off cylinder chamber formed therein, and an inner peripheral surface of the on-off cylinder chamber housed in the on-off cylinder chamber.
  • an opening/closing piston slidable along the opening/closing piston; an opening/closing stem extending from the opening/closing piston through the bottom of the opening/closing cylinder chamber and protruding into the valve chamber; an opening/closing urging member for urging the opening/closing piston in a direction to approach the valve seat; and supplying a driving fluid to the opening/closing cylinder chamber to move the valve against the urging force of the opening/closing urging member.
  • the opening/closing piston may be moved in a direction to move the valve body away from the seat.
  • the check valve mechanism allows the fluid to flow from the first port to the second port. Further, the check valve mechanism does not allow the drive fluid to flow from the second port to the first port, while the timing adjustment mechanism is supplied to and discharged from the timing adjustment mechanism through the drive port. The fluid starts flowing from the second port to the first port when the pressure of the driving fluid drops below a predetermined value. Therefore, the timing control valve makes it possible to control the start timing of fluid flow in the direction from the second port to the first port.
  • An on-off valve portion that opens and closes the fluid passage and a suck-back mechanism portion that sucks back the fluid in the fluid passage are connected to a common switching valve, and drive fluid is supplied to the on-off valve portion and the suck-back mechanism portion via the switching valve.
  • the first port and the second port of the timing adjustment valve are connected to the switching valve and the suction back mechanism, respectively, and the driving port of the timing adjustment valve is opened and closed with the switching valve. Connect to the piping between the valve part.
  • the on-off valve portion when the pressure of the driving fluid in the pilot cylinder chamber of the on-off valve portion becomes equal to or less than a predetermined value, the on-off valve portion is set to be in the closed state, thereby preventing the fluid from flowing through the on-off valve portion. It is possible to start the suck-back operation by the suck-back mechanism immediately after the closing is performed.
  • the drive fluid when the drive fluid is supplied to the suction-back mechanism, the fluid can flow through the check valve structure in addition to the timing adjustment mechanism in the timing adjustment valve. As a result, the driving fluid can be supplied to the suck-back mechanism at a large flow rate.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing the concept of the overall configuration of a timing control valve and a suck-back valve including the same according to the present invention
  • FIG. FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing configurations of a valve body, an on-off valve portion, and a suck-back mechanism portion of the suck back valve shown in FIG. 1
  • FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the configuration of one embodiment of the timing adjustment valve of the suck back valve shown in FIG. 1, showing a state in which the timing adjustment mechanism portion of the timing adjustment valve is open
  • FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of one embodiment of the timing adjustment valve of the suck back valve shown in FIG. 1, showing a state in which the timing adjustment mechanism portion of the timing adjustment valve is closed;
  • the suck-back valve 11 includes a valve body 13 provided with a fluid passage, an on-off valve portion 15 for opening and closing the fluid passage, a suck-back mechanism portion 17 for sucking back the fluid in the fluid passage, and branched pipes.
  • a switching valve 83 connected to both the on-off valve portion 15 and the suction-back mechanism portion 17, and a timing control valve 101 arranged on a pipe connecting the suction-back mechanism portion 17 and the switching valve 83 are provided.
  • An on-off valve portion 15 and a suck-back mechanism portion 17 are attached to the upper portion of the valve body 13 .
  • the suction-back mechanism portion 17 is disposed downstream of the on-off valve portion 15, and after the fluid passage is closed by the on-off valve portion 15 to block the flow of the fluid, the fluid in the fluid passage is sucked back to open the fluid passage. Fluid can be prevented from leaking and dripping from the end nozzle.
  • Variable throttle valves 85 and 87 with check valves are preferably provided on the pipes between the switching valve 83 and the on-off valve section 15 and between the switching valve 83 and the timing control valve 101, respectively.
  • the on-off valve portion 15 is supplied with driving fluid from a driving fluid source (not shown) through a switching valve 83 when it is opened, and is switched by switching the switching valve 83 when it is closed.
  • the drive fluid is discharged through valve 83 .
  • the suction-return mechanism 17 enters a standby state.
  • a suck-back operation is performed to suck back the fluid from the fluid passage. That is, when the switching valve 83 is switched so that the driving fluid is supplied through the switching valve 83, the suction/return mechanism 17 enters the standby state in synchronism with the opening of the on-off valve 15.
  • the switching valve 83 is switched so that the driving fluid is discharged through the switching valve 83, the suction-back mechanism 17 starts the suction-back operation in synchronism with the closing of the on-off valve 15. .
  • the timing adjustment valve 101 includes a timing adjustment mechanism portion 101a and a check valve mechanism portion 101b arranged in parallel on the flow path.
  • the check valve mechanism portion 101b is connected to the switching valve 83 and the suck-back mechanism portion 17 via a pipe, and allows the drive fluid to flow from the switch valve 83 to the suck-back mechanism portion 17. 17 to the switching valve 83 is prevented from flowing.
  • the timing adjustment mechanism portion 101a is a kind of pilot valve that performs opening and closing operations with a pilot fluid. It is also connected to a pipe that connects between the two, and performs opening and closing operations using the driving fluid in the pipe as a pilot fluid, so that the flow and closing of the fluid between the switching valve 83 and the suction return mechanism portion 17 can be switched. ing.
  • the timing adjustment mechanism 101a has a predetermined pressure value (when the on-off valve 15 is closed) of the driving fluid supplied and discharged as the pilot fluid from the pipe connecting the switching valve 83 and the on-off valve 15.
  • the valve is opened to allow the flow of the drive fluid between the switching valve 83 and the suction-back mechanism portion 17. is configured to That is, the timing adjustment mechanism portion 101a substantially allows the driving fluid to flow when the on-off valve portion 15 is in the closed state, and prevents the driving fluid from flowing when the on-off valve portion 15 is in the open state. .
  • the switching valve 83 when the switching valve 83 is switched so that the drive fluid is supplied, the drive fluid is supplied to the on-off valve portion 15, the pressure of the drive fluid in the on-off valve portion 15 increases, and the on-off valve portion 15 closes. Since the valve state changes to the valve open state, the timing control valve 101 supplies the drive fluid to the suck-back mechanism section 17 through both the timing control mechanism section 101a and the check valve mechanism section 101b. On the other hand, when the switching valve 83 is switched so that the drive fluid is discharged, the drive fluid is discharged from the on-off valve portion 15, the pressure of the drive fluid in the on-off valve portion 15 is lowered, and the on-off valve portion 15 is opened. It changes from the valve state to the valve closed state.
  • the timing adjustment valve 101 does not allow the drive fluid to flow through both the timing adjustment mechanism 101a and the check valve mechanism 101b until the on-off valve 15 is closed. After the opening/closing valve portion 15 is closed without discharging, the timing adjustment mechanism portion 101a allows the flow of the driving fluid. is discharged. In this manner, the timing control valve 101 enables the suck-back mechanism portion 17 to perform the suck-back operation after the on-off valve portion 15 is closed.
  • the timing adjustment valve 101 causes the driving fluid to flow through both the timing adjustment mechanism portion 101a and the check valve mechanism portion 101b to the suck-back mechanism portion 17.
  • a larger flow rate of the driving fluid than when the driving fluid is discharged from the mechanical portion 17 can be circulated, and the sucking back mechanism portion 17 can be quickly returned to the standby state.
  • the variable throttle valve with check valve 85 includes a variable throttle valve portion 85a and a check valve portion 85b that are arranged in parallel on the flow path. includes a variable throttle valve portion 87a and a check valve portion 87b arranged in parallel to each other.
  • the variable throttle valve portion 85a can adjust and change the flow rate of the driving fluid passing through it, and by adjusting the flow rate of the driving fluid supplied to and discharged from the on-off valve portion 15, the opening/closing operation can be controlled. The timing of start and completion and the speed of opening and closing operations can be adjusted.
  • variable throttle valve portion 87a can adjust and change the flow rate of the passing drive fluid, and by adjusting the flow rate when the drive fluid is supplied to and discharged from the suck-back mechanism portion 17, , the timing of the start and completion of the suck-back operation and the speed of the opening and closing operation can be adjusted.
  • the check valve portions 85b and 87b allow passage of the driving fluid in the direction of supplying the driving fluid from the driving fluid source to the on-off valve portion 15 and the suck-back mechanism portion 17. Passage of the driving fluid is prevented in the direction in which the driving fluid is discharged from the portion 17 to the outside.
  • the on-off valve portion 15 can be quickly returned to the open state and the suck-back mechanism portion 17 can be quickly returned to the standby state.
  • FIG. 1 a specific configuration of the suck back valve 11 will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
  • FIG. 1 A specific configuration of the suck back valve 11 will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
  • FIG. 2 shows the details of the configuration of the valve body 13, the opening/closing valve portion 15, and the suck-back mechanism portion 17 of the suck back valve 11 shown in FIG.
  • a fluid passage including an inlet channel 19 and an outlet channel 21 is provided inside the valve body 13 .
  • a valve chamber 23 that opens upward is provided downstream of the inlet channel 19, and a suction chamber 25 that opens upward is provided upstream of the outlet channel 21.
  • a communication passage 27 connects between the valve chamber 23 and the suck-back chamber 25 .
  • the fluid supplied to the inlet channel 19 is discharged from the outlet channel 21 through the valve chamber 23 , the communication channel 27 and the suction chamber 25 .
  • the inlet channel 19 opens into the bottom surface of the valve chamber 23 and the outlet channel 21 opens into the bottom surface of the suction chamber 25 .
  • the communication passage 27 opens to the side surface of the valve chamber 23 and the bottom surface of the suction back chamber 25 .
  • annular valve seat 29 is formed to which a later-described valve element 49 contacts and separates.
  • joints 31 and 33 for connecting pipes such as tubes are provided at the upstream end of the inlet channel 19 and the downstream end of the outlet channel 21, respectively.
  • the fluid channel will have the configuration shown in the figure. It is not limited.
  • the opening/closing valve portion 15 includes an opening/closing driving unit housing 35 in which an opening/closing cylinder chamber 37 is formed, an opening/closing piston 39 accommodated in the opening/closing cylinder chamber 37, and an opening/closing biasing force that biases the opening/closing piston 39. member 41;
  • the opening/closing driving unit housing 35 includes an opening/closing bonnet 35a in which an accommodation space having a circular cross section and a substantially cylindrical shape is formed, and an opening at the top of the opening/closing bonnet 35a.
  • An opening/closing cylinder chamber 37 is formed by a space surrounded by the inner peripheral surface and the bottom surface of the housing space of the opening/closing bonnet 35a and the bottom surface of the opening/closing lid member 35b.
  • the opening/closing piston 39 has a substantially disk shape and is accommodated in the opening/closing cylinder chamber 37 so as to be vertically slidable along the peripheral wall (that is, the inner peripheral surface) of the opening/closing cylinder chamber 37 .
  • the opening/closing cylinder chamber 37 includes an opening/closing piston 39 (specifically, the bottom surface thereof), an inner peripheral surface of the opening/closing cylinder chamber 37 (specifically, the opening/closing bonnet 35a), and a bottom surface of the opening/closing cylinder chamber 37 (that is, the bottom of the opening/closing bonnet 35a). and the inner periphery of the opening/closing piston 39 (specifically, its top surface) and the opening/closing cylinder chamber 37 (specifically, the opening/closing bonnet 35a).
  • a second air chamber 37b surrounded by a surface and a ceiling surface of the opening/closing cylinder chamber 37 (that is, a bottom surface of the opening/closing lid member 35b) and positioned farther from the valve chamber 23 is defined.
  • the first air chamber 37 a is located below the opening/closing piston 39 and the second air chamber 37 b is located above the opening/closing piston 39 .
  • the opening/closing piston 39 has an opening/closing stem 43 which is thinner than the opening/closing piston 39 and extends downward in the figure in a direction toward the valve chamber 23 , and a valve chamber 23 which is thinner than the opening/closing piston 39 and extends in the opposite direction to the opening/closing stem 43 .
  • a guide shaft 45 extending upward in the figure in a direction away from the is connected.
  • the opening/closing stem 43 is slidably inserted through a through-hole 47 provided through the bottom of an opening/closing cylinder chamber 37 (more specifically, an opening/closing bonnet 35 a ) of the opening/closing driving unit casing 35 .
  • a valve element 49 is connected to its tip.
  • the valve body 49 has a shape in which truncated cones are connected to a cylinder, and is arranged so that the bottom face faces the valve seat 29 .
  • the guide shaft 45 is inserted through a through hole 51 provided through the opening/closing lid member 35 b and extends to the outside, and is configured to guide the reciprocating motion of the opening/closing piston 39 .
  • the valve element 49 contacts and separates from the valve seat 29 formed in the valve chamber 23 via the opening/closing stem 43 as the opening/closing piston 39 reciprocates vertically in the opening/closing cylinder chamber 37 to open and close the fluid passage. It can be done.
  • the opening/closing biasing member 41 is compressed between the ceiling surface of the opening/closing cylinder chamber 37 (that is, the bottom surface of the opening/closing lid member 35b) and the opening/closing piston 39 (specifically, its top surface) in the second air chamber 37b.
  • the opening/closing piston 39 is always urged in a direction in which the valve body 49 connected to the tip of the opening/closing stem 43 approaches the valve seat 29 .
  • a coil spring is used as the opening/closing urging member 41, and the coil spring is arranged to spirally extend around the guide shaft 45 in the second air chamber 37b.
  • the opening/closing urging member 41 is not limited to a coil spring as long as it can urge the opening/closing piston 39 so that the valve body 49 approaches the valve seat 29.
  • the opening/closing urging member 41 is not limited to a coil spring. It is also possible to use it as a body.
  • An opening/closing drive fluid port 53 is provided at a position that is not closed by the opening/closing piston 39 on the peripheral wall of the opening/closing cylinder chamber 37 (more specifically, the opening/closing bonnet 35a).
  • the force acting on the opening/closing piston 39 due to the pressure of the driving fluid in the first air chamber 37a exceeds the force acting on the opening/closing piston 39 by the opening/closing biasing member 41 (hereinafter, may be referred to as “biasing force by the opening/closing biasing member 41"), and the opening/closing piston 39 is moved to the opening/closing bias. It moves away from the valve chamber 23 against the biasing force of the biasing member 41, and the volume of the first air chamber 37a increases.
  • the valve body 49 connected to the opening/closing piston 39 via the opening/closing stem 43 is separated from the valve seat 29 to start the flow of the fluid in the fluid passage, and the driving fluid in the first air chamber 37a.
  • the opening/closing piston 39 stops at the valve opening position when the pressure of .
  • the driving fluid in the first air chamber 37a is discharged through the opening/closing driving fluid port 53, thereby causing the driving fluid in the first air chamber 37a to be discharged.
  • the air in the second air chamber 37b is released to the outside from a gap between the outer peripheral surface of the guide shaft 45 and the inner peripheral surface of the through hole 51 of the opening/closing lid member 35b.
  • the air in the air chamber 37b does not easily hinder the sliding of the opening/closing piston 39 in the opening/closing cylinder chamber 37 .
  • a seal member 55 is attached to the outer peripheral surface of the opening/closing piston 39, and the opening/closing piston 39 is closed to the opening/closing cylinder chamber 37 so that the driving fluid does not leak from the first air chamber 37a to the second air chamber 37b. It is designed to be able to slide against the inner peripheral surface of the in a sealed state.
  • a sealing member 56 such as an O-ring is attached to the outer peripheral surface of the opening/closing stem 43, and the opening/closing stem 43 is attached to the inner peripheral surface of the through hole 47 so as to prevent the driving fluid from leaking out from the first air chamber 37a. It is designed to be slidable in a sealed state.
  • a thin film-like diaphragm portion 49a extending radially outward from the outer peripheral portion of the upper end portion of the valve body 49 is provided.
  • the outer peripheral edge of the diaphragm portion 49a is sandwiched between the valve body 13 and the opening/closing bonnet 35a, and the valve body 49 is supported in the valve chamber 23 via the diaphragm portion 49a.
  • the valve chamber 23 and the opening/closing driving portion housing 35 are partitioned by the diaphragm portion 49a. Therefore, when the fluid circulating in the fluid passage is corrosive, the fluid in the valve chamber 23 is prevented from entering the opening/closing cylinder chamber 37 and corroding the opening/closing drive housing 35 and the like. can be prevented.
  • the suck-back mechanism 17 includes a suck-back driving unit housing 57 having a suck-back cylinder chamber 59 formed therein, a suck-back piston 61 housed in the suck-back cylinder chamber 59, and a suck-back piston 61. and a suck-back biasing member 63 for urging.
  • the suck-back driving unit housing 57 includes a suck-back bonnet 57a in which a substantially cylindrical housing space having a circular cross section is formed, and a suck-back bonnet 57a attached to the top of the suck-back bonnet 57a.
  • the suck-back lid member 57b closes the upper opening, and the suction is performed by the space surrounded by the inner peripheral surface and the bottom surface of the accommodation space of the suck-back bonnet 57a and the bottom surface of the suck-back lid member 57b.
  • a return cylinder chamber 59 is formed.
  • the suction piston 61 has a substantially disk shape and is accommodated in the suction cylinder chamber 59 so as to be vertically slidable along the peripheral wall (that is, the inner peripheral surface) of the suction cylinder chamber 59 .
  • the suction cylinder chamber 59 includes the suction piston 61 (specifically, its bottom surface), the inner peripheral surface of the suction cylinder chamber 59 (that is, the suction bonnet 57a), and the bottom surface of the suction cylinder chamber 59 (that is, the suction bonnet 57a). 57a) and located on the side closer to the suction chamber 25; A second air chamber 59b surrounded by the inner peripheral surface of the bonnet 57a) and the ceiling surface of the suction-back cylinder chamber 59 (that is, the bottom surface of the suction-back cover member 57b) and positioned far from the suction-back chamber 25. partitioned.
  • the first air chamber 59 a is located below the intake piston 61 and the second air chamber 59 b is located above the intake piston 61 .
  • a suction stem 65 that is thinner than the suction piston 61 and extends downward in the figure in a direction approaching the suction chamber 25 is connected to the suction piston 61 .
  • the suck-back stem 65 extends into the suck-back chamber 25 by being slidably inserted through a through-hole 67 provided through the bottom of the suck-back bonnet 57 a of the suck-back driving unit housing 57 . , and a diaphragm 69 is connected to its tip.
  • the outer peripheral edge of the diaphragm 69 is sandwiched between the valve body 13 and the suck-back bonnet 57 a so that the diaphragm 69 partitions the suck-back chamber 25 and the suck-back driving section housing 57 .
  • the diaphragm 69 constructed in this manner expands or retracts with respect to the suction chamber via the suction stem 65 as the suction piston 61 reciprocates in the vertical direction in the suction cylinder chamber 59 .
  • the suck-back urging member 63 is positioned between the bottom of the suck-back cylinder chamber 59 (that is, the bottom of the suck-back bonnet 57a) and the suck-back piston 61 (specifically, its bottom surface) in the first air chamber 59a.
  • the suction piston 61 is always biased in the direction of retracting the diaphragm 69, which is arranged in a compressed state and connected to the tip of the suction stem 65, from the suction chamber 25 (that is, away from the valve body 13).
  • a coil spring is used as the suck-back biasing member 63 such that the coil spring extends spirally around the suck-back stem 65 within the first air chamber 59a.
  • the suck-back urging member 63 is not limited to a coil spring as long as it can urge the suck-back piston 61 to retract the diaphragm 69 from the suck-back chamber 25 . It is also possible to use it as a body.
  • a suck-back drive fluid port 71 is provided in the suck-back cylinder chamber 59 (more specifically, the suck-back driving unit housing 57) at a position that is not closed by the suck-back piston 61.
  • the suck-back driving fluid port 71 is provided in the suck-back lid member 57b of the suck-back driving unit housing 57 so as to open to the ceiling surface of the suck-back cylinder chamber 59.
  • the diaphragm 69 which is connected to the suction piston 61 via the suction stem 65, expands into the suction chamber 25, and sucks when the pressure of the driving fluid in the second air chamber 59b reaches its maximum.
  • the piston 61 stops at the standby position.
  • the suction piston 61 is at the standby position and the diaphragm 69 is inflated into the suction chamber 25, the driving fluid in the second air chamber 59b is discharged through the suction-back driving fluid port 71.
  • the suck-back piston 61 is positioned at a top dead center position on the upper side (the side farther from the suck-back chamber 25) in the suck-back cylinder chamber 59 and on the lower side (the side closer to the suck-back chamber 25). and the bottom dead center position.
  • the "dead center position” means a movement limit position where the suction piston 61 contacts a specific portion of another member and is restricted in movement.
  • the suction cylinder chamber 59 includes a large diameter portion that accommodates the suction piston 61, and a small diameter portion that is smaller in diameter than the large diameter portion.
  • a through hole 75 extending through the central portion of the suck-back lid member 57b and having a thread groove on at least a portion of the inner peripheral surface is formed.
  • An adjustment screw 77 is screwed into the through hole 75 in a sealed state so as to protrude from the ceiling of the suction cylinder chamber 59 into the second air chamber 59b.
  • a lock nut 79 is screwed onto the portion of the adjustment screw 77 protruding outside from the suck-back cover member 57b, and by tightening the lock nut 79, the rotation of the adjustment screw 77 can be locked.
  • the suction piston 61 (specifically, the top surface thereof) abuts against the adjusting screw 77 and its movement is restricted, and the adjusting screw 77 moves into the second air chamber 59b.
  • the suction piston 61 does not protrude into the chamber 59b, the suction piston 61 contacts the ceiling of the suction cylinder chamber 59 (more specifically, the bottom of the suction-back cover member 57b) and its movement is restricted.
  • the adjusting screw 77 adjusts the suction-back position, which is the position of the suction-back piston 61 when the suction-back operation by the suction-back mechanism 17 is completed, and the pressure of the driving fluid in the second air chamber 59b at that time. becomes possible.
  • a ventilation hole 81 is provided at a peripheral wall of the small-diameter portion of the suction cylinder chamber 59, that is, at a position that is not closed by the suction piston 61, thereby allowing ventilation between the first air chamber 59a and the outside. , so that the air in the first air chamber 59a is less likely to hinder the movement of the suction-back piston 61. As shown in FIG.
  • the opening/closing driving fluid port 53 of the opening/closing valve portion 15 and the suction-back driving fluid port 71 of the suction-back mechanism portion 17 are connected to a common switching valve 83 by a branched pipe. It is connected to one drive fluid source (not shown).
  • the switching valve 83 supplies a driving fluid from a driving fluid source to the opening/closing driving fluid port 53 and the sucking-back driving fluid port 71 and drives the driving fluid from the opening/closing driving fluid port 53 and the sucking-back driving fluid port 71 to the outside. Discharge of fluid can be switched.
  • a lip packing is used as the seal member 73 in the suck-back mechanism 17 .
  • the lip packing is a packing having a flexible lip structure in the sealing portion (pressure receiving portion). It refers to the one that maintains the contact pressure of the surface properly.
  • Seal packing includes J packing, L packing, U packing, V packing, Y packing, and the like.
  • a Y-packing is used as the sealing member 73 .
  • the branched lip structure portion of the Y packing is arranged toward the second air chamber 59b. This enhances the function of preventing the driving fluid in the second air chamber 59b from leaking into the first air chamber 59a.
  • the required sealing performance between the movable member and the stationary member is lower than that of the on-off valve portion 15. Therefore, the sealing member between the movable member and the stationary member is 73 is not provided, and the outer peripheral surface of the suction stem 65 is not provided with a sealing member. Further, in the on-off valve portion 15 as well, a lip packing may be used as the sealing member 55 in the same manner as the sealing member 73 as in the illustrated embodiment.
  • 3 and 4 show the configuration of one embodiment of the timing control valve 101 of the suck back valve 11 shown in FIG.
  • the timing control valve 101 is provided with a first port 105, a second port 107 and a drive port 109, and a pilot valve having an internal flow path extending between the first port 105 and the second port 107. It has a main body 103, a timing adjustment mechanism portion 101a, and a check valve mechanism portion 101b, and the timing adjustment mechanism portion 101a and the check valve mechanism portion 101b are arranged in parallel on the internal flow path.
  • the pilot main body 103 there are a pilot cylinder chamber 111 communicating with the drive port 109, a pilot valve chamber 113 communicating with the second port 107, and a connection hole 114 connecting the pilot cylinder chamber 111 and the pilot valve chamber 113.
  • a pilot valve seat 119 is provided on the periphery of the opening of the first flow path 115 to the pilot valve chamber 113 .
  • the pilot body 103 is made up of a first pilot housing 121 and a second pilot housing 123 .
  • the first pilot housing 121 is provided between an enlarged portion 121a, a reduced portion 121b thinner than the enlarged portion 121a, and between the enlarged portion 121a and the reduced portion 121b, and is thinner than the enlarged portion 121a and thinner than the reduced portion 121b. and a thick intermediate portion 121c.
  • the first pilot housing 121 is provided with a drive port 109 that is provided at an end and opens to the outside, a pilot cylinder chamber 111 , a pilot valve chamber 113 , and a first flow path 115 . Pilot cylinder chamber 111 opens to drive port 109 .
  • the drive port 109 is fitted with a first fitting 141 .
  • the second pilot housing 123 is formed with a first port 105 and a second port 107, an insertion hole 125 extending therethrough, and a second flow path 117 extending parallel to the insertion hole 125.
  • the insertion hole 125 includes an enlarged hole portion 125a and a reduced hole portion 125b narrower than the enlarged hole portion 125a.
  • the second port 107 is formed in the side portion of the second pilot housing 123 and communicates with the enlarged hole portion 125a through a portion of the communication passage 129, which will be described later.
  • the enlarged portion 121a is The first pilot housing 121 and the second pilot housing 123 are connected while protruding from the insertion hole 125 .
  • the outer peripheral surface of the intermediate portion 121c of the first pilot housing 121 and the second pilot housing 123 are enlarged.
  • a clearance passage 127 is formed between the hole portion 125 a and the inner peripheral surface of the hole portion 125 a , and the second flow path 117 communicates with the clearance passage 127 .
  • a through hole extending through the side wall from the pilot valve chamber 113 of the first pilot housing 121 and a through hole extending from the second port 107 of the second pilot housing 123 to the enlarged hole portion 125a of the insertion hole 125 are provided.
  • a communication path 129 is formed by and between the second port 107 and the pilot valve chamber 113 through the communication path 129 .
  • a clearance passage 127 is connected to the communication passage 129 .
  • the first port 105 is provided at the end of the second pilot housing 123 so as to connect to both the reduced hole portion 125b of the insertion hole 125 and the second flow path 117, and the first port 105 A second joint 143 is attached to the .
  • a pilot piston 131 is housed in the pilot cylinder chamber 111 .
  • a pilot rod 133 extends from pilot piston 131 through connection hole 114 and protrudes into pilot valve chamber 113 .
  • a pilot valve body portion 135 is provided at the tip of the pilot rod 133 protruding into the pilot valve chamber 113 , and the pilot valve body portion 135 is arranged inside the pilot valve chamber 113 so as to face the pilot valve seat 119 . It is In the illustrated embodiment, the pilot valve body portion 135 is composed of an O-ring attached to the outer peripheral surface of the distal end portion of the pilot rod 133, and this O-ring extends from the first flow path 115 to the pilot valve chamber.
  • pilot valve body portion 135 It closes fluid communication in the first flow path 115 by pressing against a pilot valve seat 119 formed at the periphery of the opening to 113 .
  • the configuration of the pilot valve body portion 135 is not limited as long as it can be seated on the pilot valve seat 119 to block the flow of the fluid in the first flow path 115.
  • the tip portion of the pilot rod 133 It is also possible to use a truncated conical elastic body fixed to the .
  • a sealing member 145 and a sealing member 147 are attached to the outer peripheral surfaces of the pilot piston 131 and the pilot rod 133, respectively, to provide a connection between the inner peripheral surface of the pilot cylinder chamber 111 and the outer peripheral surface of the pilot piston 131.
  • a seal is provided between the inner peripheral surface of the hole 114 and the outer peripheral surface of the pilot rod 133 .
  • a plug member 137 is attached to the end of the first flow path 115 of the pilot body 103 communicating with the first port 105 .
  • the plug member 137 is formed with a through hole 137a extending therethrough so that even when the plug member 137 is attached to the end of the first flow path 115, the first port 105 and the first flow path are connected. 115 are communicated with each other.
  • a pilot biasing member 139 is arranged in a compressed state between the tip of the pilot valve body portion 135 and the plug member 137 in the first flow path 115 , and the pilot biasing member 139 is arranged via the pilot rod 133 .
  • the pilot piston 131 is constantly urged in the direction of separating the pilot valve body portion 135 from the valve seat 119 .
  • the pilot biasing member 139 is a coil spring.
  • the pilot biasing member 139 is limited to a coil spring as long as the pilot piston 131 can always be biased in the direction of separating the pilot valve body portion 135 from the pilot valve seat 119 and the fluid can pass through. Instead, it is also possible to use, for example, a cylindrical elastic body. Also, if the pilot piston 131 can always be urged in the direction to move the pilot valve body portion 135 away from the pilot valve seat 119 , the pilot urging member 139 will move the tip portion of the pilot valve body portion 135 and the plug member 137 . It does not need to be arranged between them, and may be arranged in the pilot cylinder chamber 111, for example.
  • Threads are provided on the outer peripheral surface of the plug member 137 and the end of the first flow path 115 to which it is attached, and the plug member 137 is attached to the end of the first flow path 115 by screwing. is preferred.
  • the plug member 137 is screwed into the first flow channel 115, the position of the plug member 137 within the first flow channel 115 is adjusted by rotating the plug member 137 with respect to the first flow channel 115. It becomes possible to
  • the force of the driving fluid exceeds the biasing force of the pilot biasing member 139, and the biasing force of the pilot biasing member 139 is increased.
  • the pilot piston 131 can be moved in the direction of approaching the pilot valve chamber 113 against the pressure.
  • the pilot valve body portion 135 is brought into pressure contact with the pilot valve seat 119 via the pilot rod 133, and the flow of fluid in the first flow path 115 can be closed.
  • the force of the driving fluid becomes less than the biasing force of the pilot biasing member 139 , and the force of the pilot biasing member 139 moves away from the pilot valve chamber 113 according to the biasing force of the pilot biasing member 139 . to move the pilot piston 131 to .
  • the pilot valve body portion 135 is separated from the pilot valve seat 119 via the pilot rod 133 , and the first flow path 115 and the pilot valve chamber 113 are connected through the gap between the pilot valve seat 119 and the pilot valve body portion 135 .
  • the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111 when the driving fluid is discharged from the pilot cylinder chamber 111 and the pilot valve body portion 135 is separated from the pilot valve seat 119. pressure can be adjusted.
  • the adjustment of the biasing force by the pilot biasing member 139 can be achieved, for example, by selecting the pilot biasing member 139 having a suitable biasing force and adjusting the pilot pressure when the drive fluid in the pilot cylinder chamber 111 is at a desired pressure or less.
  • the valve body portion 135 may be spaced apart from the pilot valve seat 119 to allow the flow of fluid.
  • a plug member 137 is threaded into the first passageway 115 and a pilot biasing member 139 is positioned between the plug member 137 and the pilot valve body portion 135 .
  • the pilot bias when the pilot valve body portion 135 is seated on the pilot valve seat 119 can be adjusted.
  • the compression state of member 139 can be varied. Therefore, by rotating the plug member 137 to change the position of the plug member 137 in the first flow path 115 , the driving fluid is discharged from the pilot cylinder chamber 111 and the pilot valve body portion 135 is moved from the pilot valve seat 119 . It becomes possible to adjust the pressure of the drive fluid in the pilot cylinder chamber 111 when separating.
  • the drive port 109, the pilot cylinder chamber 111, the pilot valve chamber 113, the connection hole 114, the pilot piston 131, the pilot rod 133, the pilot valve body portion 135, the plug member 137, and the pilot biasing member 139 are It constitutes the timing adjustment mechanism section 101a.
  • the drive fluid is discharged from the pilot cylinder chamber 111 through the drive port 109, and the opening/closing cylinder chamber 37 (in detail) when the valve element 49 is seated on the valve seat 29 in the opening/closing valve portion 15
  • the biasing force of the pilot biasing member 139 is caused by the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111. If the biasing force of the pilot biasing member 139 is adjusted so that the pilot valve body portion 135 is separated from the pilot valve seat 119 by exceeding the force, the timing adjustment mechanism portion 101a will move the opening/closing valve portion 15 into the closed state.
  • the check valve mechanism portion 101b is arranged in the clearance passage 127.
  • the check valve mechanism portion 101b is formed by the outer peripheral surface of the first pilot housing 103a and the inner peripheral surface of the enlarged hole portion 125a of the insertion hole 125 of the second pilot housing 103b. It can be configured by a lip packing 149 having a flexible lip structure such as U packing, V packing, Y packing, etc. In this case, the lip structure portion of the lip packing 149 is arranged on the side closer to the communication path 129 in the clearance passage 127 .
  • the lip packing 149 allows fluid to flow from the first port 105 through the second flow path 117 and the gap passage 127 toward the second port 107, while allowing the gap from the second port 107 to flow. Fluid flow in a direction toward first port 105 through passageway 127 and second flow path 117 is thus prevented.
  • the check valve mechanism portion 101b is composed of a Y-packing.
  • the operation of the suck back valve 11 configured as shown in FIG. 1 will be described.
  • the first port 105 of the timing control valve 101 is connected to the switching valve 83 and the second port 107 is connected to the suck-back driving fluid port 71 of the suck-back mechanism section 17 .
  • the driving fluid of the on-off cylinder chamber 37 (specifically, the first air chamber 37a thereof) is
  • the biasing force of the pilot biasing member 139 is applied to the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111.
  • the pilot valve body portion 135 is separated from the pilot valve seat 119 by exceeding the force caused by shall be set to allow
  • the switching valve 83 supplies driving fluid from a driving fluid source (not shown) to the opening/closing driving fluid port 53 and the suck-back driving fluid port 71.
  • a driving fluid source not shown
  • the force of the driving fluid supplied to the first air chamber 37a of the opening/closing cylinder chamber 37 through the opening/closing driving fluid port 53 exceeds the biasing force of the opening/closing biasing member 41, and the opening/closing piston 39 is moved by the first air chamber 37a. It is pushed up in the direction away from the valve chamber 23 against the urging force of the opening/closing urging member 41 by the force of the drive fluid in the chamber 37a and moved to the valve open position.
  • valve body 49 connected to the tip of the opening/closing stem 43 moves away from the valve seat 29 as the opening/closing piston 39 rises, and the fluid flowing into the inlet flow passage 19 flows through the valve chamber 23, the communication passage 27, and the intake. It comes to flow out from the outlet channel 21 via the return chamber 25 .
  • the pressure of the driving fluid in the opening/closing cylinder chamber 37 of the opening/closing valve portion 15 is higher than the valve closing pressure P.
  • the pressure of the drive fluid supplied into the pilot cylinder chamber 111 via the drive port 109 of the timing control valve 101 becomes higher than the valve closing pressure P. Therefore, in the timing adjustment mechanism portion 101a of the timing adjustment valve 101, the force of the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111 exceeds the biasing force of the pilot biasing member 139, causing the pilot piston 131 to overcome the biasing force of the pilot biasing member 139. 4, the pilot valve body portion 135 is pressed against the pilot valve seat 119. As shown in FIG.
  • the timing adjustment mechanism portion 101 a of the timing adjustment valve 101 does not allow the drive fluid to flow between the first port 105 and the second port 107 .
  • the check valve mechanism portion 101b allows the driving fluid to flow from the first port 105 to the second port 107.
  • the drive fluid supplied through the switching valve 83 flows in from the first port 105 of the timing control valve 101, passes through the check valve mechanism 101b, and flows out from the second port 107, thereby providing the suck-back drive fluid. Also supplied to port 71 .
  • the force of the driving fluid supplied to the second air chamber 59b of the suction cylinder chamber 59 through the suction-back driving fluid port 71 causes the suction piston 61 to resist the biasing force of the suction-back biasing member 63. Then, it is pushed down in the direction of approaching the suction chamber 25 and moved to the standby position. As a result, the diaphragm 69 connected to the tip of the suction-back piston 61 expands into the suction-back chamber 25, and the suction-back mechanism 17 enters a standby state.
  • the switching valve 83 When closing the on-off valve portion 15 of the suck-back valve 11 to close the flow of fluid, the switching valve 83 is switched to be connected to the opening/closing drive fluid port 53 and the suck-back drive fluid port 71 . To discharge driving fluid to the outside from piping.
  • the driving fluid When the driving fluid is discharged from the first air chamber 37a of the opening/closing cylinder chamber 37 toward the switching valve 83 through the opening/closing driving fluid port 53, the pressure of the driving fluid in the first air chamber 37a decreases, The force of the driving fluid in the air chamber 37 a is less than the biasing force of the opening/closing biasing member 41 , and the opening/closing piston 39 is pushed down in the direction approaching the valve chamber 23 according to the biasing force of the opening/closing biasing member 41 .
  • valve closing pressure P When the pressure of the driving fluid in the first air chamber 37a decreases to the valve closing pressure P, the valve body 49 connected to the tip of the opening/closing stem 43 is pressed against the valve seat, and the flow from the inlet passage 19 to the valve chamber 23 Fluid inflow is blocked.
  • the driving force inside the opening/closing cylinder chamber 37 of the opening/closing valve portion 15 remains until the opening/closing valve portion 15 is in the closed state.
  • the pressure of the fluid is higher than the valve closing pressure P.
  • the pressure of the drive fluid supplied into the pilot cylinder chamber 111 through the drive port 109 of the timing control valve 101 becomes higher than the valve closing pressure P. Therefore, in the timing adjustment mechanism portion 101a of the timing adjustment valve 101, the force of the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111 exceeds the biasing force of the pilot biasing member 139. is in a state of being pressed against.
  • the timing adjustment mechanism portion 101 a of the timing adjustment valve 101 does not allow the drive fluid to flow between the first port 105 and the second port 107 .
  • the check valve mechanism portion 101b also prevents the driving fluid from flowing from the second port 107 to the first port 105. As shown in FIG. Therefore, even if the switching valve 83 is switched so that the drive fluid can be discharged to the outside through the switching valve 83, the timing control valve 101 remains open from the second port 107 until the on-off valve portion 15 is closed. It does not allow passage of drive fluid to the first port 105 . As a result, the driving fluid cannot be discharged from the second air chamber 59b of the suction cylinder chamber 59 of the suction-back mechanism portion 17, and the standby state remains, so that the suction-back operation is not performed.
  • the pressure of the driving fluid in the opening/closing cylinder chamber 37 of the opening/closing valve portion 15 is increased to It decreases to the valve closing pressure P or less.
  • the pressure of the driving fluid in the pilot cylinder chamber 111 of the timing control valve 101 also decreases to the valve closing pressure P or less. Therefore, in the timing adjustment mechanism portion 101 a of the timing adjustment valve 101 , the biasing force of the pilot biasing member 139 exceeds the force of the driving fluid in the pilot valve chamber 113 , and the pilot piston 131 moves according to the biasing force of the pilot biasing member 139 .
  • the timing adjustment mechanism portion 101 a of the timing adjustment valve 101 allows the driving fluid to flow between the first port 105 and the second port 107 .
  • the check valve mechanism 101b prevents the drive fluid from flowing from the second port 107 to the first port 105. As shown in FIG. Therefore, the timing adjustment valve 101 allows the drive fluid to flow from the second port 107 to the first port 105 only through the timing adjustment mechanism portion 101a.
  • the driving fluid is discharged from the second air chamber 59 b of the suction cylinder chamber 59 toward the switching valve 83 through the suction-back driving fluid port 71 of the suction-back mechanism portion 17 .
  • the biasing force of the suck-back biasing member 63 exceeds the force of the driving fluid in the second air chamber 59b of the suction cylinder chamber 59, and the suck-back piston 61 moves toward the suck-back biasing member 63. is moved upward in a direction away from the suction chamber 25 according to the biasing force.
  • the suck-back valve 11 enables the suck-back operation by the suck-back mechanism 17 after the fluid circulation is closed by the on-off valve 15, and communicates with the outlet flow path 21 after the valve is closed. It prevents fluid from leaking or dripping from the nozzle.
  • the pilot biasing member 139 is positioned within the first flow path 115 between the pilot valve body portion 135 and the plug member 137, but is positioned within the pilot cylinder chamber 111. It is also possible to

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Abstract

タイミング調整弁（１０１）は、第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが形成されたパイロット本体と、第１のポートから第２のポートへの流体の流通を許容し、第２のポートから第１のポートへの流体の流通を防止する逆止弁機構部（１０１ｂ）と、駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部（１０１ａ）とを備える。タイミング調整機構部（１０１ａ）は、内部流路において逆止弁機構部（１０１ｂ）と並列に配置されており、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になっているときに流体の流通を許容するように構成されている。

Description

タイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブ
　本発明は、内部流路の流体の流通の開閉のタイミングを調整することができるタイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブに関する。
　例えば半導体製造装置における半導体ウエハに薬液等の液体を供給するための配管等では、液体の供給を停止した後に配管の末端部からの液だれを防止するために、配管内の液体を吸い戻すサックバックバルブが使用されている。サックバックバルブとしては、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行ってピストンを移動させ、ピストンに連動するダイヤフラムの弾性変形により、配管に連通する吸戻室の容積を増減させて配管内の液体を吸い戻す機構を持つものが一般的である（例えば、特許文献１参照。）。このようなサックバックバルブは、配管内の流体通路の開閉を行うための開閉弁の下流側に配置される。また、特許文献２や特許文献３に記載のように、流体通路の開閉を行うための開閉弁部と、流体通路内の液体の吸い戻しを行うための吸戻機構部とを一体的に備えたサックバックバルブもある。
　開閉弁とサックバックバルブの動作を個別に制御すると、開閉弁による液体の流通の閉止とサックバックバルブによる液体の吸い戻しのタイミングを合わせるのが困難で、制御が煩雑となる。このため、駆動流体の供給と排出とを切り換える共通の一つの切換弁から分岐した配管を開閉弁部と吸戻機構部とに接続し、一つの切換弁の動作によって開閉弁部と吸戻機構部の動作を制御することが多い。
　一つの切換弁の動作によって開閉弁部と吸戻機構部とを動作させる場合、例えば、サックバックバルブは、バルブ本体と、開閉弁部と、吸戻機構部とを備え、バルブ本体に、入口流路と出口流路とを含む流体通路と、入口流路が開口する弁室と、弁室と出口流路との間に位置する吸戻室とが形成されているようにすればよい。
　開閉弁部は、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行うことによってピストンを移動させ、ピストンに連動する弁体を弁室における入口流路からの開口の周囲に形成された弁座に接離させる。シリンダ室内には、弁体を弁座に押し付ける方向にピストンを付勢する付勢ばねが配置されている。このような構成の開閉弁部では、シリンダ室に駆動流体を供給することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力が付勢ばねの付勢力に抗してピストンを移動させて弁座から弁体を離間させる。また、シリンダ室から駆動流体を排出することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力よる力よりも付勢ばねによる付勢力が上回って弁体を弁座に近づける方向にピストンを移動させ、弁体を弁座に圧接させる。このようにして、流体通路の開閉が行われる。
　吸戻機構部は、ピストンを収容するシリンダ室内に対して駆動流体の供給及び排出を行うことによってピストンを移動させ、ピストンに連動して、吸戻室に面するダイヤフラムを変形させ、吸戻室の容積を増減させる。シリンダ室内には、吸戻室から離れる方向にピストンを付勢する付勢ばねが配置されている。このように構成された吸戻機構部では、シリンダ室に駆動流体を供給することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力が付勢ばねの付勢力に抗してピストンを移動させて吸戻室へ向けてダイヤフラムを膨出させて待機状態にする。また、シリンダ室から駆動流体を排出することによって、シリンダ室内の駆動流体の圧力による力よりも付勢ばねによる付勢力が上回って吸戻室からダイヤフラムを後退させる方向にピストンを移動させ、ダイヤフラムを元の形状に復帰させる。このようなダイヤフラムの変形に伴う吸戻室の容積の増減によって、流体通路（詳細には出口流路）内の液体の吸い戻しが行われる。
　上述のような構成のサックバックバルブでは、駆動流体が切換弁から開閉弁部及び吸戻機構部のシリンダ室に供給されると、開閉弁部によって弁体が弁座から離間させられて流体通路内の液体の流通が開始されると共に、吸戻機構部によってダイヤフラムが吸戻室内へ膨出させられて待機状態となる。一方、開閉弁部及び吸戻機構部のシリンダ室内の駆動流体が切換弁を通じて排出されると、開閉弁部によって弁体が弁座に圧接されて流体通路内の液体の流通が閉止されると共に、吸戻機構部によってダイヤフラムが吸戻室から後退して、吸戻室の容積が増加し、流体通路（詳細には出口流路）内の液体が吸い戻される。
実公平０８－０１０３９９号公報 実開平３－１１５２６７号公報 特開平１１－３７３２７号公報
　開閉弁部による閉止を行わせるためには、上述したように、開閉弁部から駆動流体を排出するように切換弁を切り換える必要がある。共通の切換弁によって開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を切り換える場合、開閉弁部から駆動流体を排出するように切換弁を切り換えると、同時に吸戻機構部からの駆動流体の排出も開始される。しかしながら、開閉弁部からの駆動流体の排出を開始してもすぐに開閉弁部が閉弁状態になるわけではなく、開閉弁部が閉弁状態になるためには、開閉弁部のシリンダ室内の駆動流体の圧力を所定の値まで低下させて、付勢ばねの付勢力により弁座に弁体を着座させる必要がある。したがって、開閉弁部により流体の流通が閉止される前に吸戻機構部による吸い戻し動作が開始されてしまうことがある。この場合、サックバックバルブの下流側への液体の供給量に影響を与えてしまうので、半導体製造など液体の供給量の精密な制御が必要な場合には不都合である。
　開閉弁部による液体の流通の閉止後に吸戻機構部による吸戻動作が開始されるようにタイミングを変更する方法としては、切換弁と吸戻機構部との間に可変絞り弁を配置して吸戻機構部からの駆動流体の排出流量を調整することが一般的である。しかしながら、開閉弁部による液体の流通の閉止後に吸戻機構部による吸戻動作が開始されるように、可変絞り弁の調整を行うことは容易ではない。このため、開閉弁部の圧力に関わらず吸戻機構部へ駆動流体を供給できると共に、開閉弁部のシリンダ室の駆動流体の圧力が所定値まで低下してから吸戻機構部からの駆動流体の排出を開始できるようにすることが望ましい。吸戻機構部からの駆動流体の排出のタイミングを制御する方法としては、パイロット流体の圧力により弁の開閉を行うことができるパイロット弁の使用も考えられる。しかしながら、一般的なパイロット弁はパイロット流体の圧力が下がると閉じる機構となっているので、開閉弁部の駆動流体の圧力と同期させた場合、駆動流体の圧力が低下したときに流体の流通を開始させることができず、パイロット弁の開閉のためのパイロット流体の制御が別に必要となり、制御が煩雑となる。
　よって、本発明の目的は、従来技術に存する問題を解決するために、パイロット流体の圧力が予め定められた値以下に低下したときに流体の流通を許容することができるタイミング調整弁を提供することにある。
　上記目的に鑑み、本発明は、第１の態様として、第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが設けられ且つ該第１のポートと該第２のポートとの間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体と、前記第１のポートから前記第２のポートへの前記内部流路内の流体の流通を許容し、前記第２のポートから前記第１のポートへの前記内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、前記駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって前記内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部とを備え、前記タイミング調整機構部は、前記内部流路において前記逆止弁機構部と並列に配置されており、前記駆動ポートを通して前記タイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに前記第１のポートと前記第２のポートとの間の流体の流通を許容するように構成されているタイミング調整弁を提供する。
　上記タイミング調整弁では、第１のポートから第２のポートへの内部流路内の流体の流通を許容するが第２のポートから第１のポートへの内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部とが第１のポートと第２のポートとの間に延びる内部流路において並列に配置されている。したがって、タイミング調整機構部の駆動流体の圧力に関わらずに、逆止弁機構部により第１のポートから第２のポートへの流体の流通が可能となる。一方、第２のポートから第１のポートへの流体の流通は、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開始され、第２のポートから第１のポートへ向かう方向の流体の流通の開始のタイミングを制御することが可能となる。
　上記タイミング調整弁の一つの実施形態として、前記パイロット本体内に、前記駆動ポートと連通するパイロットシリンダ室と、前記第２のポートと連通するパイロット弁室と、前記パイロットシリンダ室と前記パイロット弁室とを接続する接続孔と、前記パイロット弁室から前記第１のポートまで延びる第１の流路と、該第１の流路と並行して延び且つ前記第１のポート及び前記第２のポートに連通する第２の流路とがさらに形成され、前記パイロット弁室への前記第１の流路の開口の周縁部にパイロット弁座が設けられており、前記逆止弁機構部は前記第２のポートと前記第２の流路との間に配置されて前記第２のポートから前記第２の流路への流体の流通を防止し且つ第２の流路から第２のポートへの流体の流通を許容しており、前記タイミング調整機構部は、前記パイロットシリンダ室内に配置されたパイロットピストンと、該パイロットピストンから延び且つ前記接続孔に挿通されたパイロットロッドと、該パイロットロッドの先端部に設けられ且つ前記パイロット弁室内で前記パイロット弁座と対向して配置されたパイロット弁体部と、流通孔が貫通して延び且つ前記第１のポートに接続する前記第１の流路の端部に取り付けられた栓部材と、前記パイロット弁座から前記パイロット弁体部を離間させる方向に前記パイロットピストンを付勢するパイロット付勢部材とを含み、前記駆動ポートを通して前記パイロットシリンダ室に駆動流体を供給することによって前記パイロット付勢部材による付勢力に抗して前記パイロット弁座に前記パイロット弁体部を押圧して前記第１の流路の流体の流通を閉止するように構成されているようにすることができる。
　上記タイミング調整弁では、第１のポートと第２のポートとの間で第１の流路と第２の流路とが並行して延びている。タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室内のパイロットピストンは、パイロット付勢部材によってパイロット弁座からパイロット弁体部を離間させる方向に付勢されており、パイロットシリンダ室に駆動流体を供給してパイロット付勢部材の付勢力に抗してパイロットピストンを移動させることによってパイロット弁体部をパイロット弁座に押圧して第１の流路の流体の流通を閉止している。このため、タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室内の駆動流体の圧力が低下すると、パイロット弁体部がパイロット付勢部材の付勢力によってパイロット弁座から離間して第１の流路における流体の流通が開始される。また、第２のポートと第２の流路との間には逆止弁機構部が配置されており、第２のポートから第２の流路への流体の流通が防止され、第２の流路から第２のポートへの流体の流通が許容されている。したがって、第１のポートから第２のポートへは、少なくとも第１のポートから第２の流路を経て流体の流通が確保されている。一方、第２のポートから第１のポートへは、第２のポートから第２の流路への流体の流通が逆止弁機構部によって防止されており、タイミング調整機構部のパイロットシリンダ室の駆動流体の圧力が低下したときのみ第２のポートからパイロット弁室及び第１の流路を経て流体の流通が確保される。
　前記パイロット付勢部材は、前記パイロット弁体部と前記栓部材との間に挟持されるように配置されていることが好ましい。
　この場合、前記栓部材は前記第１の流路の端部に螺着されており、前記栓部材を回転させることによって前記第１の流路内における前記栓部材の位置を調整することができるようになっていることがさらに好ましい。
　前記パイロット本体は、第１のパイロット筐体と第２のパイロット筐体とによって構成されており、前記第１のパイロット筐体に、前記駆動ポートと、前記パイロットシリンダ室と、前記接続孔と、前記パイロット弁室と、前記第１の流路とが設けられ、前記第２のパイロット筐体に、貫通して延びる挿入孔と、該挿入孔と並行に延びる第２の流路と、前記第１のポート及び前記第２のポートとが設けられており、前記第２のパイロット筐体の前記挿入孔に前記第１のパイロット筐体が挿入されて前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に形成された隙間通路に前記第２の流路が連通するようになっていると共に、前記第１のパイロット筐体と前記第２のパイロット筐体とに跨って延びる連通路によって前記第２のポートと前記パイロット弁室とが連通し、前記隙間通路が前記連通路に接続しており、前記逆止弁機構部が前記隙間通路に配置されているようにすることができる。
　前記逆止弁機構部は前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に配置され且つ撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキンであり、該リップパッキンは、前記リップ構造部が前記連通路に近い側に位置するように配置されることが好ましい。例えば、前記リップパッキンは、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンの中から選択される。
　本発明は、第２の態様として、流体通路の開閉を行う開閉弁部と、該開閉弁部の下流側に配置され且つ該記開閉弁部による流体通路の閉止後に前記流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部と、上記タイミング調整弁とを備えるサックバックバルブであって、前記開閉弁部と前記吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、前記切換弁を経て前記開閉弁部及び前記吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を行うようになっており、前記切換弁を経た駆動流体の供給が行われると、前記開閉弁部が開くと共に前記吸戻機構部が待機状態になり、前記切換弁を経た駆動流体の排出が行われると、前記開閉弁部が閉じると共に前記吸戻機構部が吸い戻し動作を行い、前記タイミング調整弁の前記第１のポート及び前記第２のポートがそれぞれ前記切換弁及び前記吸戻機構部に接続されると共に、前記タイミング調整弁の駆動ポートが前記切換弁と前記開閉弁部との間の配管に接続されているサックバックバルブを提供する。
　上記サックバックバルブでは、流体通路の開閉を行う開閉弁部と流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、切換弁を経て開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出が行われる。また、上記タイミング調整弁の第１のポート及び第２のポートがそれぞれ切換弁及び吸戻機構部に接続されると共に、タイミング調整弁の駆動ポートが切換弁と開閉弁部との間の配管に接続されている。したがって、タイミング調整弁の駆動ポートからパイロットシリンダ室に対して供給及び排出される駆動流体の圧力は、開閉弁部内の圧力と等しくなる。開閉弁部から切換弁を経て駆動流体を排出させることにより、開閉弁部内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下まで低下すると、タイミング調整弁の第２のポートから第１のポートへの駆動流体の流通が可能になり、吸戻機構部からの駆動流体の排出を開始させることができる。開閉弁部内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開閉弁部が閉弁状態になるようにタイミング調整弁を設定すれば、タイミング調整弁は、開閉弁部による流体の流通の閉止が行われた後に、吸戻機構部による吸い戻し動作が開始させるようにすることを可能とさせる。
　一つの実施形態として、前記サックバックバルブは、入口流路及び出口流路を含む流体を流通させるための内部流路と該出口流路と連通している吸戻室とが設けられているバルブ本体をさらに備え、前記開閉弁部による内部流路内の流体の流通の閉止後に前記吸戻機構部を用いて前記吸戻室の容積を増加させることによって前記出口流路から流体を吸い戻すようになっており、前記吸戻機構部が、内部に吸戻シリンダ室が形成された吸い戻し用駆動部筐体と、前記吸戻シリンダ室内に収容されて該吸戻シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な吸戻ピストンと、前記吸戻シリンダ室内に配置され且つ前記吸戻室の容積を増加させる方向に前記吸戻ピストンを付勢する吸い戻し用付勢部材とを含み、前記吸戻シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記吸い戻し用付勢部材の付勢力に抗して前記吸戻室の容積を減少させる方向に前記吸戻ピストンを移動させるようにすることができる。
　また、前記吸戻機構部は、外周縁部が前記吸い戻し用駆動部筐体と前記バルブ本体との間に挟持されたダイヤフラムをさらに含み、前記ダイヤフラムが前記吸い戻し用駆動部筐体と前記吸戻室との間を区画しており、前記ダイヤフラムが前記吸戻ピストンから延びて前記吸戻シリンダ室の底部に設けられた貫通孔に挿通される吸戻ステムの先端部に接続され、前記吸戻ピストンの移動に伴う前記ダイヤフラムの変形により、前記吸戻室の容積が増減するようにできる。
　さらに、前記入口流路と連通し且つ前記吸戻室と連通路を介して連通する弁室が前記バルブ本体に設けられ、弁体を接離させる弁座が前記入口流路から前記弁室への開口の周縁部に形成されており、前記開閉弁部は、内部に開閉シリンダ室が形成された開閉用駆動部筐体と、前記開閉シリンダ室内に収容されて該開閉シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な開閉ピストンと、該開閉ピストンから前記開閉シリンダ室の底部を貫通し前記弁室内に突出して延びる開閉ステムと、前記開閉ステムの先端部に接続された前記弁体を前記弁座に接近させる方向に前記開閉ピストンを付勢する開閉用付勢部材とを含み、前記開閉シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記開閉用付勢部材の付勢力に抗して前記弁座から前記弁体を離間させる方向に前記開閉ピストンを移動させるようにしてもよい。
　本発明のタイミング調整弁では、タイミング調整機構部の駆動流体の圧力に関わらずに、逆止弁機構部により第１のポートから第２のポートへの流体の流通が可能となる。また、逆止弁機構部は、第２のポートから第１のポートへの駆動流体の流通を許容しない一方、タイミング調整機構部は、駆動ポートを通してタイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに第２のポートから第１のポートへの流体の流通を開始させる。したがって、タイミング調整弁により、第２のポートから第１のポートへ向かう方向の流体の流通の開始のタイミングを制御することが可能となる。流体通路の開閉を行う開閉弁部と流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、切換弁を経た開閉弁部及び吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出が行われるサックバックバルブにおいては、タイミング調整弁の第１のポート及び第２のポートをそれぞれ切換弁及び吸戻機構部に接続すると共に、タイミング調整弁の駆動ポートを切換弁と開閉弁部との間の配管に接続するようにする。この場合、開閉弁部のパイロットシリンダ室内の駆動流体の圧力が予め定められた値以下になったときに開閉弁部が閉弁状態になるように設定すれば、開閉弁部による流体の流通の閉止が行われた後に速やかに、吸戻機構部による吸い戻し動作を開始させることが可能になる。また、吸戻機構部に駆動流体を供給するときには、タイミング調整弁において、タイミング調整機構部に加えて逆止弁構成部を通って流体が流通できるので、吸戻機構部からの排出時と比較して大きな流量で吸戻機構部に駆動流体を供給することができる。
本発明によるタイミング調整弁とこれを備えるサックバックバルブの全体構成の概念を示した概念図である。 図１に示されているサックバックバルブのバルブ本体と開閉弁部と吸戻機構部の構成を示す縦断面図である。 図１に示されているサックバックバルブのタイミング調整弁の一つの実施形態の構成を示す縦断面図であり、タイミング調整弁のタイミング調整機構部が開いた状態を示している。 図１に示されているサックバックバルブのタイミング調整弁の一つの実施形態の構成を示す縦断面図であり、タイミング調整弁のタイミング調整機構部が閉じた状態を示している。
　以下、図面を参照して、本発明によるタイミング調整弁及びこれを備えるサックバックバルブの実施の形態を説明するが、本発明が図示されている実施形態に限定されないことは言うまでもない。
　最初に、図１を参照して、本発明の一つの実施形態によるサックバックバルブ１１の全体構成を説明する。サックバックバルブ１１は、流体通路が設けられているバルブ本体１３と、流体通路の開閉を行う開閉弁部１５と、流体通路内の流体を吸い戻す吸戻機構部１７と、分岐した配管を経て開閉弁部１５及び吸戻機構部１７の両方に接続されている切換弁８３と、吸戻機構部１７と切換弁８３との間を接続する配管上に配置されているタイミング調整弁１０１とを備え、バルブ本体１３の上部に開閉弁部１５と吸戻機構部１７とが取り付けられている。吸戻機構部１７は、開閉弁部１５の下流側に配置されており、開閉弁部１５によって流体通路を閉じて流体の流通を閉止した後に、流体通路内の流体を吸い戻し、流体通路の末端のノズルから流体が漏れ出て滴下するのを防止できるようになっている。切換弁８３と開閉弁部１５との間及び切換弁８３とタイミング調整弁１０１との間の配管上には、それぞれ、チェック弁付き可変絞り弁８５，８７が設けられていることが好ましい。
　開閉弁部１５は、開弁状態にされるときには、図示されていない駆動流体源から切換弁８３を経て駆動流体を供給される一方、閉弁状態にされるときには、切換弁８３を切り換えて切換弁８３を経て駆動流体を排出されるようになっている。また、吸戻機構部１７は、駆動流体源から切換弁８３を経て駆動流体が供給されるようにすると待機状態になる一方、切換弁８３を切り換えて切換弁８３を経て駆動流体が排出されるようにすると流体通路内から流体を吸い戻す吸い戻し動作を行うようになっている。すなわち、切換弁８３を経て駆動流体が供給されるように切換弁８３が切り換えられると、開閉弁部１５が開弁状態になるのと同期して、吸戻機構部１７が待機状態になる一方、切換弁８３を経て駆動流体が排出されるように切換弁８３が切り換えられると、開閉弁部１５が閉弁状態になるのと同期して、吸戻機構部１７が吸い戻し動作を開始する。
　タイミング調整弁１０１は、流路上に並列に配置されたタイミング調整機構部１０１ａとチェック弁機構部１０１ｂとを含んでいる。チェック弁機構部１０１ｂは、配管を経て切換弁８３と吸戻機構部１７とに接続されており、切換弁８３から吸戻機構部１７への駆動流体の流通を許容する一方、吸戻機構部１７から切換弁８３への駆動流体の流通を防止するように構成されている。タイミング調整機構部１０１ａは、パイロット流体によって開閉動作を行う一種のパイロット弁であり、配管を経て切換弁８３と吸戻機構部１７との間に接続されると共に切換弁８３と開閉弁部１５との間を結ぶ配管にも接続され、当該配管内の駆動流体をパイロット流体として開閉動作を行い、切換弁８３と吸戻機構部１７との間の流体の流通と閉止とを切り換えられるようになっている。また、タイミング調整機構部１０１ａは、切換弁８３と開閉弁部１５との間を結ぶ配管からパイロット流体として供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値（開閉弁部１５が閉弁状態になったときの開閉弁部１５内の駆動流体の圧力）以下になったときに開弁状態となって切換弁８３と吸戻機構部１７との間の駆動流体の流通を許容するように構成されている。すなわち、タイミング調整機構部１０１ａは、実質的に、開閉弁部１５が閉弁状態のときに駆動流体の流通を許容し、開閉弁部１５が開弁状態のときに駆動流体の流通を防止する。
　したがって、駆動流体が供給されるように切換弁８３が切り換えられたときには、開閉弁部１５に駆動流体が供給されて開閉弁部１５内の駆動流体の圧力が上昇し、開閉弁部１５が閉弁状態から開弁状態に変化するので、タイミング調整弁１０１は、タイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂの両方を通して吸戻機構部１７へ駆動流体を供給する。一方、駆動流体が排出されるように切換弁８３が切り換えられたときには、開閉弁部１５から駆動流体が排出されて開閉弁部１５内の駆動流体の圧力が低下し、開閉弁部１５が開弁状態から閉弁状態に変化する。したがって、タイミング調整弁１０１は、開閉弁部１５が閉弁状態になるまではタイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂともに駆動流体の流通を許容しないので、吸戻機構部１７から駆動流体を排出させず、開閉弁部１５が閉弁状態になった後はタイミング調整機構部１０１ａが駆動流体の流通を許容するようになるので、タイミング調整機構部１０１ａのみを通して吸戻機構部１７から駆動流体を排出させる。このように、タイミング調整弁１０１は、開閉弁部１５が閉弁状態になった後に吸戻機構部１７が吸い戻し動作を行うことを可能とさせる。
　また、タイミング調整弁１０１は、吸戻機構部１７への駆動流体の供給時には、タイミング調整機構部１０１ａ及びチェック弁機構部１０１ｂの両方を通して吸戻機構部１７へ駆動流体を流通させるので、吸戻機構部１７からの駆動流体の排出時よりも多くの流量の駆動流体を流通させることができ、吸戻機構部１７を迅速に待機状態に戻すことができる。
　なお、チェック弁付き可変絞り弁８５は、流路上に並列して配置された可変絞り弁部８５ａとチェック弁部８５ｂとを含んでおり、チェック弁付き可変絞り弁８７も、同様に、流路上に並列して配置された可変絞り弁部８７ａとチェック弁部８７ｂとを含んでいる。可変絞り弁部８５ａは、通過する駆動流体の流量を調整して変化させることが可能となっており、開閉弁部１５に対する駆動流体の供給及び排出時の流量を調整することによって、開閉動作の開始及び完了のタイミングや開閉動作の速度を調整することができる。同様に、可変絞り弁部８７ａは、通過する駆動流体の流量を調整して変化させることが可能となっており、吸戻機構部１７に対する駆動流体の供給及び排出時の流量を調整することによって、吸い戻し動作の開始及び完了のタイミングや開閉動作の速度を調整することができる。また、チェック弁部８５ｂ，８７ｂは、駆動流体源から開閉弁部１５、吸戻機構部１７へ駆動流体を供給する方向には駆動流体の通過を許容するが、開閉弁部１５、吸戻機構部１７から外部へ駆動流体を排出する方向には駆動流体の通過を防止するようになっている。これにより、開閉弁部１５の開弁状態への復帰及び吸戻機構部１７の待機状態への復帰を迅速に行うことができるようにしている。
　次に、図２から図４を参照して、サックバックバルブ１１の具体的な構成について説明する。
　図２は、図１に示されているサックバックバルブ１１のバルブ本体１３、開閉弁部１５及び吸戻機構部１７の構成の詳細を示している。
　バルブ本体１３の内部には、入口流路１９と出口流路２１とを含む流体通路が設けられている。また、入口流路１９の下流側には、上方に開口した弁室２３が設けられていると共に、出口流路２１の上流側には、上方に開口した吸戻室２５が設けられており、弁室２３と吸戻室２５との間は連通路２７によって接続されている。このように構成されたバルブ本体１３では、入口流路１９に供給された流体が弁室２３、連通路２７及び吸戻室２５を介して出口流路２１から排出される。図示されている実施形態では、入口流路１９が弁室２３の底面に開口し、出口流路２１が吸戻室２５の底面に開口している。また、連通路２７は、弁室２３の側面と吸戻室２５の底面に開口している。弁室２３への入口流路１９の開口の周囲には、後述する弁体４９が接離する環状の弁座２９が形成されている。さらに、入口流路１９の上流側端部及び出口流路２１の下流側端部には、それぞれ、チューブなどの配管を接続するための継手３１，３３が設けられている。しかしながら、入口流路１９に流入した流体が弁室２３、連通路２７及び吸戻室２５を介して出口流路２１から排出されるようになっていれば、流体通路は図示されている構成に限定されるものではない。
　開閉弁部１５は、内部に開閉シリンダ室３７が形成された開閉用駆動部筐体３５と、開閉シリンダ室３７内に収容された開閉ピストン３９と、開閉ピストン３９を付勢する開閉用付勢部材４１とを含んでいる。開閉用駆動部筐体３５は、内部に断面円形状で概略円筒形状の収容空間が形成された開閉用ボンネット３５ａと、開閉用ボンネット３５ａの上部に取り付けられて開閉用ボンネット３５ａの上部の開口を閉鎖する開閉用蓋部材３５ｂとによって構成されており、開閉用ボンネット３５ａの収容空間の内周面及び底面と開閉用蓋部材３５ｂの底面とによって囲まれた空間によって開閉シリンダ室３７が形成されている。開閉ピストン３９は、概略円板形状を有し、開閉シリンダ室３７内にその周壁（すなわち内周面）に沿って図中上下方向に摺動可能に収容されている。開閉シリンダ室３７は、開閉ピストン３９（詳細にはその底面）と開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の内周面と開閉シリンダ室３７の底面（すなわち開閉用ボンネット３５ａの底部）とによって囲まれ且つ弁室２３に近い側に位置する第１の気室３７ａと、開閉ピストン３９（詳細にはその頂面）と開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の内周面と開閉シリンダ室３７の天井面（すなわち開閉用蓋部材３５ｂの底面）とによって囲まれ且つ弁室２３から遠い側に位置する第２の気室３７ｂとに区画されている。図２に示されている実施形態では、第１の気室３７ａは開閉ピストン３９の下方に位置し、第２の気室３７ｂは開閉ピストン３９の上方に位置する。
　開閉ピストン３９には、開閉ピストン３９よりも細く且つ弁室２３に近づく方向に図中下方へ延びている開閉ステム４３と共に、開閉ピストン３９よりも細く且つ開閉ステム４３とは逆方向に弁室２３から離れる方向に図中上方へ延びている案内軸４５とが連結されている。開閉ステム４３は、開閉用駆動部筐体３５の開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の底部を貫通して設けられた貫通孔４７に摺動可能に挿通されて、弁室２３内まで延びており、その先端部には弁体４９が接続されている。弁体４９は、円柱上に円錐台が連結されたような形状を有しており、底面が弁座２９に対向するように配置されている。案内軸４５は、開閉用蓋部材３５ｂを貫通して設けられた貫通孔５１に挿通されて外部まで延びており、開閉ピストン３９の往復動を案内するように構成されている。弁体４９は、開閉シリンダ室３７内における開閉ピストン３９の上下方向の往復動に伴って、開閉ステム４３を介して弁室２３内に形成された弁座２９に接離して流体通路の開閉を行えるようになっている。
　開閉用付勢部材４１は、第２の気室３７ｂ内において開閉シリンダ室３７の天井面（すなわち開閉用蓋部材３５ｂの底面）と開閉ピストン３９（詳細にはその頂面）との間に圧縮された状態で配置されており、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９を弁座２９へ向かって接近させる方向に開閉ピストン３９を常時付勢している。図２に示されている実施形態では、開閉用付勢部材４１としてコイルばねが使用されており、コイルばねが第２の気室３７ｂ内において案内軸４５の周囲を螺旋状に延びるように配置されている。しかしながら、開閉用付勢部材４１は、弁体４９を弁座２９へ向かって接近させるように開閉ピストン３９を付勢することができれば、コイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体などとすることも可能である。
　開閉シリンダ室３７（詳細には開閉用ボンネット３５ａ）の周壁には、開閉ピストン３９によって閉鎖されない位置に、開閉用駆動流体ポート５３が設けられている。開閉用付勢部材４１の付勢力によって弁体４９が弁座２９に圧接された状態のときに、開閉用駆動流体ポート５３を通して第１の気室３７ａへ駆動流体を供給することによって、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力を増加させたとき、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力により開閉ピストン３９に作用する力（以下、「駆動流体による力」と記載することがある。）が開閉用付勢部材４１により開閉ピストン３９に作用する力（以下、「開閉用付勢部材４１による付勢力」と記載することがある。）を上回り、開閉ピストン３９が開閉用付勢部材４１による付勢力に抗して弁室２３から離れる方向に移動して第１の気室３７ａの容積が増加する。これによって、開閉ステム４３を介して開閉ピストン３９に連結された弁体４９が弁座２９から離間して流体通路の流体の流通を開始させることができ、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が最大となるときに開閉ピストン３９が開弁位置で停止する。一方、弁体４９が弁座２９から離間した状態のときに、開閉用駆動流体ポート５３を通して第１の気室３７ａ内の駆動流体を排出することによって、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力を減少させると、駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を下回り、開閉ピストン３９が開閉用付勢部材４１による付勢力に従って弁室２３に接近する方向に移動して第１の気室３７ａの容積が減少する。これによって、開閉ステム４３を介して開閉ピストン３９と連結された弁体４９が弁座２９に圧接されて開閉ピストン３９が閉弁位置で停止し、流体通路の流体の流通を閉止させることができる。駆動流体としては、例えば圧縮空気などを使用することができる。
　なお、第２の気室３７ｂ内の空気は、案内軸４５の外周面と開閉用蓋部材３５ｂの貫通孔５１の内周面との隙間から外部に放出されるようになっており、第２の気室３７ｂ内の空気が開閉シリンダ室３７における開閉ピストン３９の摺動を妨げにくくしている。また、開閉ピストン３９の外周面には、シール部材５５が装着されており、第１の気室３７ａから第２の気室３７ｂに駆動流体が漏出しないように、開閉ピストン３９が開閉シリンダ室３７の内周面に対してシールされた状態で摺動できるようになっている。さらに、開閉ステム４３の外周面にもＯリングなどのシール部材５６が装着されおり、第１の気室３７ａから外部へ駆動流体が漏出しないように開閉ステム４３が貫通孔４７の内周面に対してシールされた状態で摺動できるようになっている。
　図２に示されている実施形態では、弁体４９の上端部の外周部から半径方向外方へ延びる薄膜状のダイヤフラム部４９ａが設けられている。このダイヤフラム部４９ａの外周縁部がバルブ本体１３と開閉用ボンネット３５ａとの間に挟持され、弁体４９がダイヤフラム部４９ａを介して弁室２３内に支持された状態となっている。このように弁体４９をダイヤフラム部４９ａを介して弁室２３内に支持する形態にすることによって、弁室２３と開閉用駆動部筐体３５との間がダイヤフラム部４９ａによって区画される。したがって、流体通路を流通させる流体が腐食性の流体などであるときに、弁室２３内の流体が開閉シリンダ室３７内などに侵入して、開閉用駆動部筐体３５などを腐食させることを防止することができる。
　吸戻機構部１７は、内部に吸戻シリンダ室５９が形成された吸い戻し用駆動部筐体５７と、吸戻シリンダ室５９内に収容された吸戻ピストン６１と、吸戻ピストン６１を付勢する吸い戻し用付勢部材６３とを含んでいる。吸い戻し用駆動部筐体５７は、内部に断面円形状で概略円筒形状の収容空間が形成された吸い戻し用ボンネット５７ａと、吸い戻し用ボンネット５７ａの上部に取り付けられて吸い戻し用ボンネット５７ａの上部の開口を閉鎖する吸い戻し用蓋部材５７ｂとによって構成されており、吸い戻し用ボンネット５７ａの収容空間の内周面及び底面と吸い戻し用蓋部材５７ｂの底面とによって囲まれた空間によって吸戻シリンダ室５９が形成されている。吸戻ピストン６１は、概略円板形状を有し、吸戻シリンダ室５９内にその周壁（すなわち内周面）に沿って図中上下方向に摺動可能に収容されている。吸戻シリンダ室５９は、吸戻ピストン６１（詳細にはその底面）と吸戻シリンダ室５９（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａ）の内周面と吸戻シリンダ室５９の底面（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａの底部）とによって囲まれ且つ吸戻室２５に近い側に位置する第１の気室５９ａと、吸戻ピストン６１（詳細にはその頂面）と吸戻シリンダ室５９（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａ）の内周面と吸戻シリンダ室５９の天井面（すなわち吸い戻し用蓋部材５７ｂの底面）とによって囲まれ且つ吸戻室２５から遠い側に位置する第２の気室５９ｂとに区画されている。図２に示されている実施形態では、第１の気室５９ａは吸戻ピストン６１の下方に位置し、第２の気室５９ｂは吸戻ピストン６１の上方に位置する。
　吸戻ピストン６１には、吸戻ピストン６１よりも細く且つ吸戻室２５に接近する方向に図中下方へ延びている吸戻ステム６５が連結されている。吸戻ステム６５は、吸い戻し用駆動部筐体５７の吸い戻し用ボンネット５７ａの底部を貫通して設けられた貫通孔６７に摺動可能に挿通されて、吸戻室２５内まで延びており、その先端部にはダイヤフラム６９が接続されている。ダイヤフラム６９の外周縁部は、バルブ本体１３と吸い戻し用ボンネット５７ａとの間に挟持され、ダイヤフラム６９が吸戻室２５と吸い戻し用駆動部筐体５７との間を区画するようになっている。このように構成されたダイヤフラム６９は、吸戻シリンダ室５９内における吸戻ピストン６１の上下方向の往復動に伴って、吸戻ステム６５を介して吸戻室に対して膨出又は後退して吸戻室２５の容積を増減させ、吸戻室２５の容積を増加させることによって吸戻室２５の下流側に接続される出口流路２１内の流体を吸い戻すことができるようになっている。
　吸い戻し用付勢部材６３は、第１の気室５９ａ内において吸戻シリンダ室５９の底部（すなわち吸い戻し用ボンネット５７ａの底部）と吸戻ピストン６１（詳細にはその底面）との間に圧縮された状態で配置されており、吸戻ステム６５の先端に接続されたダイヤフラム６９を吸戻室２５から後退させる（すなわちバルブ本体１３から離れる）方向に吸戻ピストン６１を常時付勢している。図２に示されている実施形態では、吸い戻し用付勢部材６３としてコイルばねが使用されており、コイルばねが第１の気室５９ａ内において吸戻ステム６５の周囲を螺旋状に延びるように配置されている。しかしながら、吸い戻し用付勢部材６３は、ダイヤフラム６９を吸戻室２５から後退させるように吸戻ピストン６１を付勢することができれば、コイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体などとすることも可能である。
　吸戻シリンダ室５９（詳細には吸い戻し用駆動部筐体５７）には、吸戻ピストン６１によって閉鎖されない位置に、吸い戻し用駆動流体ポート７１が設けられている。図示されている実施形態では、吸い戻し用駆動流体ポート７１は、吸戻シリンダ室５９の天井面に開口するように、吸い戻し用駆動部筐体５７の吸い戻し用蓋部材５７ｂに設けられている。吸い戻し用付勢部材６３の付勢力によってダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退した状態のときに、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して第２の気室５９ｂへ駆動流体を供給することによって、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力を増加させると、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力により吸戻ピストン６１に作用する力（以下、「駆動流体による力」と記載することがある。）が吸い戻し用付勢部材６３により吸い戻しピストン６１に作用する力（以下、「吸い戻し用付勢部材６３による付勢力」と記載することがある。）を上回り、吸戻ピストン６１が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に抗して吸戻室２５へ接近する方向に移動して第２の気室５９ｂの容積が増加する。これによって、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１と連結されたダイヤフラム６９が吸戻室２５内へ膨出し、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力が最大となるときに吸戻ピストン６１が待機位置で停止する。一方、吸戻ピストン６１が待機位置に位置してダイヤフラム６９が吸戻室２５内へ膨出した状態のときに、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して第２の気室５９ｂ内の駆動流体を排出することによって、第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力を減少させると、駆動流体による力が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力を下回り、吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に従って吸戻ピストン６１が吸戻室２５に接近する方向に移動して第２の気室５９ｂの容積が減少する。これによって、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１に連結されたダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退して、吸戻室２５の容積を増加させて吸戻室２５に連通する出口流路２１内の流体を吸い戻し、吸戻ピストン６１が吸戻位置に到達すると吸い戻し動作を完了させる。
　吸戻機構部１７では、吸戻ピストン６１は吸戻シリンダ室５９内の上側（吸戻室２５から遠い側）に位置する上死点位置と下側（吸戻室２５に近い側）に位置する下死点位置との間で摺動可能となっている。「死点位置」とは、吸戻ピストン６１が他の部材の特定の部位に当接して移動を規制されることによる移動限界位置を意味する。図示されている実施形態では、吸戻シリンダ室５９が、吸戻ピストン６１を収容する大径部と、大径部よりも直径が小さい小径部とを含み、大径部と小径部との間に段差部が設けられており、吸戻ピストン６１が段差部に干渉することによって吸戻ピストン６１の下死点位置が規定されるようになっている。また、図示されている実施形態では、吸い戻し用蓋部材５７ｂの中央部には、貫通して延び且つ内周面の少なくとも一部にねじ溝を有した貫通孔７５が形成されており、この貫通孔７５に調整ねじ７７がシール状態で吸戻シリンダ室５９の天井部から第２の気室５９ｂ内に突出可能に螺合されている。吸い戻し用蓋部材５７ｂから外部へ突出した調整ねじ７７の部分にはロックナット７９が螺着され、ロックナット７９を締め付けることによって調整ねじ７７の回転をロックできるようになっている。調整ねじ７７が第２の気室５９ｂ内に突出しているときには、吸戻ピストン６１（詳細にはその頂面）が調節ねじ７７に当接して移動が規制され、調整ねじ７７が第２の気室５９ｂ内に突出していないときには、吸戻ピストン６１が吸戻シリンダ室５９の天井部（詳細には吸い戻し用蓋部材５７ｂの底部）に当接して移動が規制され、吸戻ピストン６１の上死点位置となる。すなわち、吸戻機構部１７による吸い戻し動作が完了するときの吸戻ピストン６１の位置である吸戻位置及びそのときの第２の気室５９ｂ内の駆動流体の圧力は調整ねじ７７によって調整することが可能となる。
　なお、吸戻シリンダ室５９の小径部の周壁すなわち吸戻ピストン６１によって閉鎖されることがない位置には、通気孔８１が設けられており、第１の気室５９ａと外部との通気を可能とさせ、第１の気室５９ａ内の空気が吸戻ピストン６１の移動を妨げにくいようになっている。
　開閉弁部１５の開閉用駆動流体ポート５３及び吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１は、分岐した配管によって共通の切換弁８３に接続されており、切換弁８３を介して共通する一つの駆動流体源（図示せず）に接続されている。切換弁８３は、駆動流体源から開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１への駆動流体の供給と、開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１から外部への駆動流体の排出とを切り換えられるようになっている。
　また、吸戻機構部１７では、シール部材７３として、リップパッキンが使用されている。ここで、リップパッキンとは、シール部（受圧部）に可撓性のリップ構造部分を有するパッキンであり、リップ構造部分が摺動面の動きや圧力の変化に対して変形追随することでシール面の接触圧力を適正に維持するものを指す。シールパッキンとしては、Jパッキン、Ｌパッキン、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンなどが含まれる。図示されている実施形態では、シール部材７３としてＹパッキンが使用されている。Ｙパッキンを使用する場合には、Ｙパッキンの分岐したリップ構造部分を第２の気室５９ｂへ向けて配置する。これにより、第２の気室５９ｂの駆動流体が第１の気室５９ａに漏出することを防ぐ機能が高められる。
　なお、吸戻機構部１７では、開閉弁部１５と比較して可動部材と静止部材との間において要求されるシール性能が低いことから、可動部材と静止部材との間のシール部材はシール部材７３以外には設けられておらず、吸戻ステム６５の外周面にもシール部材が装着されていない。また、開閉弁部１５でも、図示されている実施形態のように、シール部材５５として、シール部材７３と同様に、リップパッキンを使用してもよい。
　図３及び図４は、図１に示されているサックバックバルブ１１のタイミング調整弁１０１の一つの実施形態の構成を示す。
　タイミング調整弁１０１は、第１のポート１０５と第２のポート１０７と駆動ポート１０９とが設けられ且つ第１のポート１０５と第２のポート１０７との間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体１０３と、タイミング調整機構部１０１ａと、チェック弁機構部１０１ｂとを備えており、内部流路上でタイミング調整機構部１０１ａとチェック弁機構部１０１ｂとが並列に配置されている。パイロット本体１０３内には、駆動ポート１０９と連通するパイロットシリンダ室１１１と、第２のポート１０７と連通するパイロット弁室１１３と、パイロットシリンダ室１１１とパイロット弁室１１３とを接続する接続孔１１４と、パイロット弁室１１３と第１のポート１０５との間に延びる第１の流路１１５と、第１の流路１１５と並行に延び且つ第１のポート１０５及び第２のポート１０７に連通する第２の流路１１７とが形成されている。パイロット弁室１１３への第１の流路１１５の開口部の周縁部にパイロット弁座１１９が設けられている。
　図示されている実施形態では、パイロット本体１０３は、第１のパイロット筐体１２１と第２のパイロット筐体１２３とによって構成されている。第１のパイロット筐体１２１は、拡大部１２１ａと、拡大部１２１ａよりも細い縮小部１２１ｂと、拡大部１２１ａと縮小部１２１ｂとの間に設けられ、拡大部１２１ａよりも細く且つ縮小部１２１ｂよりも太い中間部１２１ｃとを含んでいる。第１のパイロット筐体１２１には、端部に設けられて外部に開口する駆動ポート１０９と、パイロットシリンダ室１１１と、パイロット弁室１１３と、第１の流路１１５とが設けられている。パイロットシリンダ室１１１は、駆動ポート１０９に開口している。図示されている実施形態では、駆動ポート１０９に第１の継手１４１が装着されている。第２のパイロット筐体１２３には、第１のポート１０５及び第２のポート１０７と、貫通して延びる挿入孔１２５と、挿入孔１２５と並行に延びる第２の流路１１７とが形成されている。挿入孔１２５は、拡大孔部１２５ａと、拡大孔部１２５ａよりも細い縮小孔部１２５ｂとを含んでいる。第２のポート１０７は、第２のパイロット筐体１２３の側部に形成され、後述する連通路１２９の一部により拡大孔部１２５ａに連通するようになっている。
　第１のパイロット筐体１２１の縮小部１２１ｂを第２のパイロット筐体１２３の挿入孔１２５の縮小孔部１２５ｂに挿入し且つ中間部１２１ｃを拡大孔部１２５ａに挿入することによって、拡大部１２１ａが挿入孔１２５から突出した状態で、第１のパイロット筐体１２１と第２のパイロット筐体１２３とが接続される。第１のパイロット筐体１２１が第２のパイロット筐体１２３の挿入孔１２５に挿入された状態では、第１のパイロット筐体１２１の中間部１２１ｃの外周面と第２のパイロット筐体１２３の拡大孔部１２５ａの内周面との間に隙間通路１２７が形成され、第２の流路１１７が隙間通路１２７に連通するようになっている。また、第１のパイロット筐体１２１のパイロット弁室１１３から側壁を貫通して延びる貫通孔と第２のパイロット筐体１２３の第２のポート１０７から挿入孔１２５の拡大孔部１２５ａまで延びる貫通孔とによって連通路１２９が形成されており、第２のポート１０７とパイロット弁室１１３との間が連通路１２９を介して連通するようになっている。また、連通路１２９には隙間通路１２７が接続されている。
　第１のポート１０５は、挿入孔１２５の縮小孔部１２５ｂ及び第２の流路１１７の両方に接続するように第２のパイロット筐体１２３の端部に設けられており、第１のポート１０５には、第２の継手１４３が装着されている。
　パイロットシリンダ室１１１には、パイロットピストン１３１が収容されている。パイロットロッド１３３がパイロットピストン１３１から接続孔１１４を通ってパイロット弁室１１３内に突出するように延びている。パイロット弁室１１３内に突出しているパイロットロッド１３３の先端部にはパイロット弁体部１３５が設けられており、パイロット弁体部１３５はパイロット弁室１１３内でパイロット弁座１１９と対向するように配置されている。図示されている実施形態では、パイロット弁体部１３５は、パイロットロッド１３３の先端部の外周面に装着されたＯリングによって構成されており、このＯリングを第１の流路１１５からパイロット弁室１１３への開口の周縁部に形成されたパイロット弁座１１９に押圧することによって、第１の流路１１５の流体の流通を閉止している。しかしながら、パイロット弁体部１３５の構成は、パイロット弁座１１９に着座して第１の流路１１５の流体の流通を閉止できるのであれば、限定されるものではなく、例えばパイロットロッド１３３の先端部に固定した円錐台形状の弾性体とすることも可能である。
　なお、パイロットピストン１３１及びパイロットロッド１３３の外周面には、それぞれ、シール部材１４５及びシール部材１４７が装着されており、パイロットシリンダ室１１１の内周面とパイロットピストン１３１の外周面との間及び接続孔１１４の内周面とパイロットロッド１３３の外周面との間をシールするようになっている。
　第１のポート１０５と連通するパイロット本体１０３の第１の流路１１５の端部には、栓部材１３７が取り付けられている。栓部材１３７には、貫通して延びる流通孔１３７ａが形成されており、第１の流路１１５の端部に栓部材１３７が取り付けられた状態でも、第１のポート１０５と第１の流路１１５とが連通するようになっている。第１の流路１１５において、パイロット弁体部１３５の先端部と栓部材１３７との間には、パイロット付勢部材１３９が圧縮された状態で配置されており、パイロットロッド１３３を介して、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢するようになっている。図示されている実施形態では、パイロット付勢部材１３９としては、コイルばねが使用されている。しかしながら、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢することができ且つ流体を通過させることができれば、パイロット付勢部材１３９はコイルばねに限定されるものではなく、例えば筒状の弾性体とすることも可能である。また、パイロット弁座１１９からパイロット弁体部１３５を離間させる方向にパイロットピストン１３１を常時付勢することができれば、パイロット付勢部材１３９は、パイロット弁体部１３５の先端部と栓部材１３７との間に配置されている必要はなく、例えばパイロットシリンダ室１１１内に配置されていてもよい。
　栓部材１３７の外周面及びこれが取り付けられる第１の流路１１５の端部には、ねじ山が設けられており、螺着により第１の流路１１５の端部に栓部材１３７を取り付けていることが好ましい。第１の流路１１５内に栓部材１３７を螺着する場合、第１の流路１１５に対して栓部材１３７を回転させることによって、第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を調整することが可能となる。
　このような構成により、駆動ポート１０９からパイロットシリンダ室１１１に駆動流体を供給することによって、駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回るようになり、パイロット付勢部材１３９による付勢力に抗してパイロット弁室１１３へ接近する方向にパイロットピストン１３１を移動させることができるようになる。この結果、パイロットロッド１３３を介してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９に圧接させて、第１の流路１１５の流体の流通を閉止させることができる。また、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出することによって、駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を下回るようになり、パイロット付勢部材１３９による付勢力に従ってパイロット弁室１１３から離れる方向にパイロットピストン１３１を移動させる。この結果、パイロットロッド１３３を介してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９から離間させて、パイロット弁座１１９とパイロット弁体部１３５との隙間を通して第１の流路１１５とパイロット弁室１１３との間の流体の流通を許容するようにできる。すなわち、第１の流路１１５、パイロット弁室、連通路１２９を経て第１のポート１０５と第２のポート１０７との間で流体が流通することが可能になる。
　また、パイロット付勢部材１３９による付勢力を調整することによって、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出してパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間するときのパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力を調整することが可能となる。パイロット付勢部材１３９による付勢力の調整は、例えば、適した付勢力を有したパイロット付勢部材１３９を選択して、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体が所望の圧力以下になったときにパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間して流体の流通を許容するようにすればよい。また、図示されている実施形態のように栓部材１３７が第１の流路１１５内に螺着されており且つパイロット付勢部材１３９が栓部材１３７とパイロット弁体部１３５との間に配置されている場合、栓部材１３７を回転させて第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を変化させることによって、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９に着座しているときのパイロット付勢部材１３９の圧縮状態を変化させることができる。したがって、栓部材１３７を回転させて第１の流路１１５内における栓部材１３７の位置を変化させることによって、パイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出してパイロット弁体部１３５をパイロット弁座１１９から離間させるときのパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力を調整することが可能となる。
　図示されている実施形態では、駆動ポート１０９、パイロットシリンダ室１１１、パイロット弁室１１３、接続孔１１４、パイロットピストン１３１、パイロットロッド１３３、パイロット弁体部１３５、栓部材１３７、パイロット付勢部材１３９がタイミング調整機構部１０１ａを構成している。
　また、図示されている実施形態では、駆動ポート１０９を通してパイロットシリンダ室１１１から駆動流体を排出して、開閉弁部１５において弁体４９が弁座２９に着座したときの開閉シリンダ室３７（詳細にはその第１の気室３７ａ）の駆動流体の圧力以下までパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力が減少したときに、パイロット付勢部材１３９の付勢力がパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力を上回ってパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間するように、パイロット付勢部材１３９による付勢力を調整すれば、タイミング調整機構部１０１ａは、開閉弁部１５が閉弁状態になると、第２のポート１０７から第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するようになる。この結果、吸戻機構部１７の吸戻シリンダ室５９（詳細にはその第２の気室５９ｂ）からタイミング調整弁１０１と切換弁８３を介して駆動流体を排出して、吸戻機構部１７による吸い戻し動作を開始させることができるようになる。
　チェック弁機構部１０１ｂは、隙間通路１２７内に配置される。チェック弁機構部１０１ｂは、例えば、図示されている実施形態のように、第１のパイロット筐体１０３ａの外周面と第２のパイロット筐体１０３ｂの挿入孔１２５の拡大孔部１２５ａの内周面との間に配置されたＵパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンなどの撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキン１４９によって構成することができる。この場合、隙間通路１２７において、リップパッキン１４９のリップ構造部が連通路１２９に近い側に配置されるようにする。これにより、リップパッキン１４９は、第１のポート１０５から第２の流路１１７及び隙間通路１２７を経て第２のポート１０７へ向かう方向の流体の流れを許容する一方、第２のポート１０７から隙間通路１２７及び第２の流路１１７を経て第１のポート１０５へ向かう方向の流体の流れを防止するようになる。図示されている実施形態では、チェック弁機構部１０１ｂは、Ｙパッキンによって構成されている。
　次に、図１に示されている構成のサックバックバルブ１１の動作を説明する。ここで、タイミング調整弁１０１の第１のポート１０５が切換弁８３に接続され、第２のポート１０７が吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１に接続されているものとする。また、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、開閉弁部１５において弁体４９が弁座２９に着座したときの開閉シリンダ室３７（詳細にはその第１の気室３７ａ）の駆動流体の圧力を閉弁圧力Ｐとするとき、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力が閉弁圧力Ｐ以下まで減少したときに、パイロット付勢部材１３９による付勢力がパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力を上回ってパイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間して、第２のポート１０７からパイロット弁室１１３及び第１の流路１１５を経て第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するように設定されているものとする。
　サックバックバルブ１１の開閉弁部１５を開弁状態にさせるときには、切換弁８３は、図示されていない駆動流体源から開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１に駆動流体を供給するように切り換えられる。すると、開閉用駆動流体ポート５３を通して開閉シリンダ室３７の第１の気室３７ａに供給された駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を上回って、開閉ピストン３９は第１の気室３７ａ内の駆動流体による力によって開閉用付勢部材４１による付勢力に抗して弁室２３から離れる方向に押し上げられて弁開位置に移動させられる。これにより、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９が開閉ピストン３９の上昇に伴って弁座２９から離間して、入口流路１９に流入する流体が弁室２３，連通路２７及び吸戻室２５を経て出口流路２１から流出するようになる。
　このとき、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなっていることになる。その結果、タイミング調整弁１０１の駆動ポート１０９を経てパイロットシリンダ室１１１内に供給される駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなる。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回って、パイロットピストン１３１がパイロット付勢部材１３９による付勢力に抗してパイロット弁室１１３に接近する方向に移動され、図４に示されているように、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９に圧接される。すなわち、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容しなくなる。一方、チェック弁機構部１０１ｂは、第１のポート１０５から第２のポート１０７へ向かう駆動流体の流通を許容する。これにより、切換弁８３を経て供給される駆動流体は、タイミング調整弁１０１の第１のポート１０５から流入してチェック弁機構部１０１ｂを経て第２のポート１０７から流出し、吸い戻し用駆動流体ポート７１にも供給される。この結果、吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂに供給された駆動流体による力によって、吸戻ピストン６１は吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に抗して吸戻室２５へ接近する方向に押し下げられて待機位置に移動させられる。これにより、吸戻ピストン６１の先端に接続されたダイヤフラム６９が吸戻室２５へ膨出した状態となり、吸戻機構部１７は待機状態となる。
　サックバックバルブ１１の開閉弁部１５を閉弁状態にして、流体の流通を閉止させるときには、切換弁８３を切り換えて、開閉用駆動流体ポート５３及び吸い戻し用駆動流体ポート７１に接続されている配管から駆動流体を外部へ排出できるようにする。
　開閉用駆動流体ポート５３を通して開閉シリンダ室３７の第１の気室３７ａから切換弁８３へ向けて駆動流体を排出すると、第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が低下して、第１の気室３７ａ内の駆動流体による力が開閉用付勢部材４１による付勢力を下回り、開閉用付勢部材４１による付勢力に従って開閉ピストン３９が弁室２３に接近する方向に押し下げられる。第１の気室３７ａ内の駆動流体の圧力が閉弁圧力Ｐまで低下すると、開閉ステム４３の先端に接続された弁体４９が弁座に圧接され、入口流路１９から弁室２３への流体の流入が閉止される。
　一方、切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられても、開閉弁部１５が閉弁状態になるまでは、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなっている。このとき、タイミング調整弁１０１の駆動ポート１０９を経てパイロットシリンダ室１１１内に供給される駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐよりも高くなる。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロットシリンダ室１１１内の駆動流体による力がパイロット付勢部材１３９による付勢力を上回っているので、パイロット弁体部１３５が依然としてパイロット弁座１１９に圧接された状態となる。すなわち、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容しない。また、チェック弁機構部１０１ｂも、第２のポート１０７から第１のポート１０５へ向かう駆動流体の流通を防止する。したがって、切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられても、開閉弁部１５が閉弁状態になるまでは、タイミング調整弁１０１は、第２のポート１０７から第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容しない。この結果、吸戻機構部１７の吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂから駆動流体を排出することができなくなり、待機状態のままとなるので、吸い戻し動作も行われない。
　切換弁８３を経て駆動流体を外部へ排出できるように切換弁８３が切り換えられて、さらに開閉弁部１５が閉弁状態になると、開閉弁部１５の開閉シリンダ室３７内の駆動流体の圧力は閉弁圧力Ｐ以下まで減少する。このとき、タイミング調整弁１０１のパイロットシリンダ室１１１内の駆動流体の圧力も閉弁圧力Ｐ以下まで減少する。したがって、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａでは、パイロット付勢部材１３９による付勢力がパイロット弁室１１３内の駆動流体による力を上回り、パイロットピストン１３１がパイロット付勢部材１３９による付勢力に従ってパイロット弁室１１３から離れる方向に移動され、図３に示されているように、パイロット弁体部１３５がパイロット弁座１１９から離間する。これにより、タイミング調整弁１０１のタイミング調整機構部１０１ａは、第１のポート１０５と第２のポート１０７との間での駆動流体の流通を許容するようになる。一方、チェック弁機構部１０１ｂは、第２のポート１０７から第１のポート１０５へ向かう駆動流体の流通を防止する。したがって、タイミング調整弁１０１は、第２のポート１０７からタイミング調整機構部１０１ａを経てのみ第１のポート１０５への駆動流体の流通を許容するようになる。これにより、吸戻機構部１７の吸い戻し用駆動流体ポート７１を通して吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂから切換弁８３へ向けて駆動流体が排出されるようになる。この結果、吸い戻し用付勢部材６３による付勢力が吸戻シリンダ室５９の第２の気室５９ｂ内の駆動流体による力を上回るようになり、吸戻ピストン６１が吸い戻し用付勢部材６３による付勢力に従って吸戻室２５から離れる方向に上方へ向かって移動させられる。吸戻ピストン６１が上方へ向かって移動するのに伴って、吸戻ステム６５を介して吸戻ピストン６１に連結されるダイヤフラム６９が吸戻室２５から後退して、吸戻室２５の容積が増加する。この結果、吸い戻し動作が行われる。
　このようにして、サックバックバルブ１１は、開閉弁部１５による流体の流通の閉止後に、吸戻機構部１７による吸い戻し動作を行うことを可能とさせ、閉弁後に出口流路２１に連通するノズルから流体が漏れ出たり滴下したりすることを防止している。
　以上、図示されている実施形態を参照して、本発明によるサックバックバルブ１１を説明したが、本発明は図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている実施形態では、パイロット付勢部材１３９が第１の流路１１５内でパイロット弁体部１３５と栓部材１３７との間に配置されているが、パイロットシリンダ室１１１内に配置することも可能である。
　１１　　サックバックバルブ
　１３　　バルブ本体
　１５　　開閉弁部
　１７　　吸戻機構部
　１９　　入口流路
　２１　　出口流路
　２３　　弁室
　２５　　吸戻室
　２９　　弁座
　３５　　開閉用駆動部筐体
　３７　　開閉シリンダ室
　３９　　開閉ピストン
　４１　　開閉用付勢部材
　４３　　開閉ステム
　４９　　弁体
　５７　　吸い戻し用駆動部筐体
　５９　　吸戻シリンダ室
　６１　　吸戻ピストン
　６３　　吸い戻し用付勢部材
　６５　　吸戻ステム
　６７　　貫通孔
　６９　　ダイヤフラム
　８３　　切換弁
　１０１　　タイミング調整弁
　１０１ａ　　タイミング調整機構部
　１０１ｂ　　チェック弁機構部
　１０３　　パイロット本体
　１０５　　第１のポート
　１０７　　第２のポート
　１０９　　駆動ポート
　１１１　　パイロットシリンダ室
　１１３　　パイロット弁室
　１１４　　接続孔
　１１５　　第１の流路
　１１７　　第２の流路
　１１９　　パイロット弁座
　１２１　　第１のパイロット筐体
　１２３　　第２のパイロット筐体
　１２５　　挿入孔
　１２７　　隙間通路
　１２９　　連通路
　１３１　　パイロットピストン
　１３３　　パイロットロッド
　１３５　　パイロット弁体部
　１３７　　栓部材
　１３７ａ　　流通孔
　１３９　　パイロット付勢部材

Claims (12)

  1. 　第１のポートと第２のポートと駆動ポートとが設けられ且つ該第１のポートと該第２のポートとの間に延びる内部流路が形成されたパイロット本体と、
    　前記第１のポートから前記第２のポートへの前記内部流路内の流体の流通を許容し、前記第２のポートから前記第１のポートへの前記内部流路内の流体の流通を防止する逆止弁機構部と、
    　前記駆動ポートに対する駆動流体の供給及び排出によって前記内部流路の開閉を行うタイミング調整機構部と、
    　を備え、前記タイミング調整機構部は、前記内部流路において前記逆止弁機構部と並列に配置されており、前記駆動ポートを通して前記タイミング調整機構部に対して供給及び排出される駆動流体の圧力が予め定められた値以下になっているときに前記第１のポートと前記第２のポートとの間の流体の流通を許容するように構成されていることを特徴とするタイミング調整弁。
  2. 　前記パイロット本体内に、前記駆動ポートと連通するパイロットシリンダ室と、前記第２のポートと連通するパイロット弁室と、前記パイロットシリンダ室と前記パイロット弁室とを接続する接続孔と、前記パイロット弁室から前記第１のポートまで延びる第１の流路と、該第１の流路と並行して延び且つ前記第１のポート及び前記第２のポートに連通する第２の流路とがさらに形成され、前記パイロット弁室への前記第１の流路の開口の周縁部にパイロット弁座が設けられており、
    　前記逆止弁機構部は前記第２のポートと前記第２の流路との間に配置されて前記第２のポートから前記第２の流路への流体の流通を防止し且つ第２の流路から第２のポートへの流体の流通を許容しており、前記タイミング調整機構部は、前記パイロットシリンダ室内に配置されたパイロットピストンと、該パイロットピストンから延び且つ前記接続孔に挿通されたパイロットロッドと、該パイロットロッドの先端部に設けられ且つ前記パイロット弁室内で前記パイロット弁座と対向して配置されたパイロット弁体部と、流通孔が貫通して延び且つ前記第１のポートに接続する前記第１の流路の端部に取り付けられた栓部材と、前記パイロット弁座から前記パイロット弁体部を離間させる方向に前記パイロットピストンを付勢するパイロット付勢部材とを含み、前記駆動ポートを通して前記パイロットシリンダ室に駆動流体を供給することによって前記パイロット付勢部材による付勢力に抗して前記パイロット弁座に前記パイロット弁体部を押圧して前記第１の流路の流体の流通を閉止するように構成されている、請求項１に記載のタイミング調整弁。
  3. 　前記パイロット付勢部材は、前記パイロット弁体部と前記栓部材との間に挟持されるように配置されている、請求項２に記載のタイミング調整弁。
  4. 　前記栓部材は前記第１の流路の端部に螺着されており、前記栓部材を回転させることによって前記第１の流路内における前記栓部材の位置を調整することができるようになっている、請求項３に記載のタイミング調整弁。
  5. 　前記パイロット本体は、第１のパイロット筐体と第２のパイロット筐体とによって構成されており、前記第１のパイロット筐体に、前記駆動ポートと、前記パイロットシリンダ室と、前記接続孔と、前記パイロット弁室と、前記第１の流路とが設けられ、前記第２のパイロット筐体に、貫通して延びる挿入孔と、該挿入孔と並行に延びる第２の流路と、前記第１のポート及び前記第２のポートとが設けられており、前記第２のパイロット筐体の前記挿入孔に前記第１のパイロット筐体が挿入されて前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に形成された隙間通路に前記第２の流路が連通するようになっていると共に、前記第１のパイロット筐体と前記第２のパイロット筐体とに跨って延びる連通路によって前記第２のポートと前記パイロット弁室とが連通し、前記隙間通路が前記連通路に接続しており、前記逆止弁機構部が前記隙間通路に配置されている、請求項２に記載のタイミング調整弁。
  6. 　前記逆止弁機構部は前記挿入孔の内周面と前記第１のパイロット筐体の外周面との間に配置され且つ撓曲可能なリップ構造部を有したリップパッキンであり、該リップパッキンは、前記リップ構造部が前記連通路に近い側に位置するように配置される、請求項５に記載のタイミング調整弁。
  7. 　前記リップパッキンは、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｙパッキンの中から選択される、請求項６に記載のタイミング調整弁。
  8. 　流体通路の開閉を行う開閉弁部と、該開閉弁部の下流側に配置され且つ該開閉弁部による流体通路の閉止後に前記流体通路内の流体の吸い戻しを行う吸戻機構部と、請求項１から請求項７の何れか一項に記載のタイミング調整弁とを備えるサックバックバルブであって、
    　前記開閉弁部と前記吸戻機構部とが共通の切換弁に接続され、前記切換弁を経て前記開閉弁部及び前記吸戻機構部に対する駆動流体の供給及び排出を行うようになっており、前記切換弁を経た駆動流体の供給が行われると、前記開閉弁部が開くと共に前記吸戻機構部が待機状態になり、前記切換弁を経た駆動流体の排出が行われると、前記開閉弁部が閉じると共に前記吸戻機構部が吸い戻し動作を行い、前記タイミング調整弁の前記第１のポート及び前記第２のポートがそれぞれ前記切換弁及び前記吸戻機構部に接続されると共に、前記タイミング調整弁の駆動ポートが前記切換弁と前記開閉弁部との間の配管に接続されていることを特徴とするサックバックバルブ。
  9. 　前記サックバックバルブは、入口流路及び出口流路を含む流体を流通させるための内部流路と該出口流路と連通している吸戻室とが設けられているバルブ本体をさらに備え、前記開閉弁部による内部流路内の流体の流通の閉止後に前記吸戻機構部を用いて前記吸戻室の容積を増加させることによって前記出口流路から流体を吸い戻すようになっており、
    　前記吸戻機構部が、内部に吸戻シリンダ室が形成された吸い戻し用駆動部筐体と、前記吸戻シリンダ室内に収容されて該吸戻シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な吸戻ピストンと、前記吸戻シリンダ室内に配置され且つ前記吸戻室の容積を増加させる方向に前記吸戻ピストンを付勢する吸い戻し用付勢部材とを含み、前記吸戻シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記吸い戻し用付勢部材の付勢力に抗して前記吸戻室の容積を減少させる方向に前記吸戻ピストンを移動させるようになっている、請求項８に記載のサックバックバルブ。
  10. 　前記吸戻機構部は、外周縁部が前記吸い戻し用駆動部筐体と前記バルブ本体との間に挟持されたダイヤフラムをさらに含み、前記ダイヤフラムが前記吸い戻し用駆動部筐体と前記吸戻室との間を区画しており、前記ダイヤフラムが前記吸戻ピストンから延びて前記吸戻シリンダ室の底部に設けられた貫通孔に挿通される吸戻ステムの先端部に接続され、前記吸戻ピストンの移動に伴う前記ダイヤフラムの変形により、前記吸戻室の容積が増減するようになっている、請求項９に記載のサックバックバルブ。
  11. 　前記入口流路と連通し且つ前記吸戻室と連通路を介して連通する弁室が前記バルブ本体に設けられ、弁体を接離させる弁座が前記入口流路から前記弁室への開口の周縁部に形成されており、
    　前記開閉弁部は、内部に開閉シリンダ室が形成された開閉用駆動部筐体と、前記開閉シリンダ室内に収容されて該開閉シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な開閉ピストンと、該開閉ピストンから前記開閉シリンダ室の底部を貫通し前記弁室内に突出して延びる開閉ステムと、前記開閉ステムの先端部に接続された前記弁体を前記弁座に接近させる方向に前記開閉ピストンを付勢する開閉用付勢部材とを含み、前記開閉シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記開閉用付勢部材の付勢力に抗して前記弁座から前記弁体を離間させる方向に前記開閉ピストンを移動させるようになっている、請求項９に記載のサックバックバルブ。
  12. 　前記入口流路と連通し且つ前記吸戻室と連通路を介して連通する弁室が前記バルブ本体に設けられ、弁体を接離させる弁座が前記入口流路から前記弁室への開口の周縁部に形成されており、
    　前記開閉弁部は、内部に開閉シリンダ室が形成された開閉用駆動部筐体と、前記開閉シリンダ室内に収容されて該開閉シリンダ室の内周面に沿って摺動可能な開閉ピストンと、該開閉ピストンから前記開閉シリンダ室の底部を貫通し前記弁室内に突出して延びる開閉ステムと、前記開閉ステムの先端部に接続された前記弁体を前記弁座に接近させる方向に前記開閉ピストンを付勢する開閉用付勢部材とを含み、前記開閉シリンダ室に駆動流体を供給することによって前記開閉用付勢部材の付勢力に抗して前記弁座から前記弁体を離間させる方向に前記開閉ピストンを移動させるようになっている、請求項１０に記載のサックバックバルブ。
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