CN117396694A - 时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀 - Google Patents

Abstract

一种时机调整阀(101)设置有：一引导本体，形成有第一埠、第二端口及驱动端口；一止回阀机构部(101b)，允许自第一埠向第二埠的流体的流通，且防止自第二埠向第一埠的流体的流通；一时机调整机构部(101a)，对驱动端口供给及排出驱动流体而进行内部流路的开闭；其中，时机调整机构部(101a)配置为于内部流路中与止回阀机构部(101b)并列，且构成为于通过驱动端口对时机调整机构部供给及排出的驱动流体的压力成为预定值以下时，允许第一埠与第二埠之间的流体的流通。

Description

时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀

技术领域

本发明涉及能够调整内部流路的流体流通的开闭时机的时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀。

背景技术

在例如半导体制造装置的对半导体晶圆供给药液等液体用的管线等之中，为了于停止液体的供给后防止来自管线的末端部的液体渗漏，而使用将管线内的液体予以回吸的回吸阀。回吸阀一般具有一机构，对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出，使活塞移动，经由与活塞连动的隔膜的弹性变形，使连通于管线的回吸室的容积增减，而回吸管线内的液体(参考例如专利文献1)。如此的回吸阀配置于进行管线内的流体通路的开闭用的开闭阀的下游侧。再者，如专利文献2及专利文献3的记载，亦有进行流体通路的开闭用的开闭阀部与进行流体通路内的液体的回吸用的回吸机构部为一体的回吸阀。

当个别控制开闭阀及回吸阀的动作，则经由开闭阀的液体流通的封闭及经由回吸阀的液体回吸的时机会难以配合，控制变得繁复。因此，经常将从切换驱动流体的供给与排放的共通的单一个切换阀分歧的管线予以连接于开闭阀部及回吸机构部，经由单一个切换阀的动作而控制开闭阀部及回吸机构部的动作。

经由单一个切换阀使开闭阀部及回吸机构部动作的场合，例如：回吸阀具有阀本体、开闭阀部及回吸机构部，于阀本体形成有含有入口流路及出口流路的流体通路、入口流路所开口的阀室及位在阀室与出口流路之间的回吸室即可。

开闭阀部经由对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出而使活塞移动，使连动于活塞的阀体与阀室中形成于从入口流路开口的周围的阀座接近或远离。于汽缸室内配置有偏置弹簧，偏置弹簧于将阀体朝向阀座推压的方向将活塞予以偏置。在如此构成的开闭阀部中，经由将驱动流体供给至汽缸室，汽缸室内的驱动流体的压力所致的力抵抗偏置弹簧的偏置力而使活塞移动从而使阀体远离阀座。再者，经由从汽缸室排出驱动流体，使偏置弹簧所致的偏置力高于汽缸室内的驱动流体的压力所致的力，而于阀体接近阀座的方向使活塞移动，使阀体压接于阀座。由此进行流体通路的开闭。

回吸机构部经由对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出而使活塞移动，与活塞连动，使面向回吸室的隔膜变形，使回吸室的容积增减。于汽缸室内，于远离回吸室的方向配置有将活塞予以偏置的偏置弹簧。如此构成的回吸机构部中，经由供给驱动流体至汽缸室，汽缸室内的驱动流体的压力所致的力抵抗偏置弹簧的偏置力，使活塞移动而使隔膜朝向回吸室膨出，而成为待机状态。再者，经由从汽缸室排出驱动流体，使偏置弹簧所致的偏置力高于汽缸室内的驱动流体的压力所致的力，于使隔膜从回吸室后退的方向使活塞移动，而使隔膜返回至原本的形状。经由如此伴随隔膜变形的回吸室的容积的增减，而进行流体通路(详细而言为出口流路)内的液体的回吸。

在如上述构成的回吸阀中，当驱动流体从切换阀被供给至开闭阀部及回吸机构部的汽缸室，经由开闭阀部使阀体远离阀座而流体通路内的液体的流通开始，同时经由回吸机构部使隔膜朝回吸室内膨出而成为待机状态。另一方面，当开闭阀部及回吸机构部的汽缸室内的驱动流体通过切换阀而被排出，则经由开闭阀部使阀体压接于阀座而流体通路内的液体的流通被封闭，同时经由回吸机构部使隔膜从回吸室后退，回吸室的容积增加，使流体通路(详细而言为出口流路)内的液体被回吸。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本实公平08-010399号公报

[专利文献2]日本实开平3-115267号公报

[专利文献3]日本特开平11-37327号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

为了进行经由开闭阀部的封闭，如同上述，必须以从开闭阀部排出驱动流体的方式将切换阀予以切换。经由共通的切换阀对开闭阀部及回吸机构部的驱动流体的供给及排出予以切换的场合，当以从开闭阀部排出驱动流体的方式将切换阀予以切换，则同时从回吸机构部的驱动流体的排出也会开始。然而，即使从开闭阀部的驱动流体的排出开始，开闭阀部也不会立即变成闭阀状态，为了让开闭阀部成为闭阀状态，有使开闭阀部的汽缸室内的驱动流体的压力降低至规定的值为止，经由偏置弹簧的偏置力使阀体抵靠于阀座的必要。然而，会有于以开闭阀部使流体的流通封闭之前，经由回吸机构部的回吸动作就开始的情况。此场合，会对朝向回吸阀的下游侧的液体的供给量造成影响，因而对于半导体制造等的必须有液体供给量的精密控制的场合是不合适的。

作为于经由开闭阀部的液体的流通的封闭之后使经由回吸机构部的回吸动作开始的变更时机的方法，一般而言是在切换阀与回吸机构部之间配置可变节流阀而将从回吸机构部的驱动流体的排出流量予以调整。然而，进行可变节流阀的调整而使得于经由开闭阀部的液体的流通的封闭之后使经由回吸机构部的回吸动作开始，并非一件容易的事。因此，期望能够无关乎开闭阀部的压力而对回吸机构部供给驱动流体，并同时能够使得在开闭阀部的汽缸室的驱动流体的压力降低至规定值之后使从回吸机构部的驱动流体的排出开始。作为将从回吸机构部的驱动流体的排出的时机予以控制的方法，能够经由引导流体的压力而进行阀的开闭的引导阀的使用也被纳入考虑。然而，一般的引导阀会是在引导流体的压力降低时进行关闭的机构，因而与开闭阀部的驱动流体的压力同步的场合，驱动流体的压力降低时无法使流体的流通开始，引导阀的开闭用的引导流体的控制必须另外进行，控制变得繁琐。

因此，本发明的目的在于提供一种时机调整阀，能够于引导流体的压力降低至预定值以下时允许液体的流通，以解决存在于习知技术的问题。

[解决问题的技术手段]

鉴于上述目的，作为第一样貌，本发明提供一种时机调整阀，包含：一引导本体，设置有一第一埠、一第二端口及一驱动端口，该引导本体形成有一内部流路，该内部流路于该第一埠及该第二埠之间延伸；一止回阀机构部，允许自该第一埠向该第二埠的该内部流路内的流体的流通，且防止自该第二埠向该第一埠的该内部流路内的流体的流通；一时机调整机构部，经由对该驱动端口的驱动流体的供给及排出，而进行该内部流路的开闭；其中，该时机调整机构部配置为于该内部流路中与该止回阀机构部并列，且构成为于通过该驱动端口对该时机调整机构部供给及排出的驱动流体的压力成为预定值以下时，允许该第一埠与该第二埠之间的流体的流通。

上述时机调整阀中，允许自第一埠向第二埠的内部流路内的流体的流通且防止自第二埠向第一埠的内部流路内的流体的流通的止回阀机构部及经由对驱动端口的驱动流体的供给及排出而进行内部流路的开闭的时机调整机构部，在第一埠与第二埠之间延伸的内部流路中并列配置。因此，无关乎时机调整机构部的驱动流体的压力，而经由止回阀机构部使自第一埠向第二埠的流体的流通变成可能。另一方面，通过驱动端口对时机调整机构部供给及排出的驱动流体变成预定值以下时，自第二埠向第一埠的流体的流通开始，而能够控制自第二埠向第一埠的流体的流通的开始的时机。

作为上述时机调整阀的一个实施样貌，其中于该引导本体内更形成有一引导汽缸室、一引导阀室、一连接孔、一第一流路及一第二流路，该引导汽缸室与该驱动端口连通，该引导阀室与该第二埠连通，该连接孔将该引导汽缸室及该引导阀室予以连接，该第一流路从该引导阀室延伸至该第一埠，该第二流路与该第一流路并排而延伸且连通于该第一埠及该第二埠，于到该引导阀室的该第一流路的开口的周缘部设有一引导阀座，该止回阀机构部配置于该第二端口与该第二流路之间而防止从该第二埠向该第二流路的流体的流通且允许从该第二流路向该第二埠的流体的流通，该时机调整机构部包括一引导活塞、一引导杆、一引导阀体部、一栓构件及一引导偏置构件，该引导活塞配置于该引导汽缸室内，该引导杆从该引导活塞延伸且插通于该连接孔，该引导阀体部设于该引导杆的前端部且配置为在该引导阀室内与该引导阀座相对向，该栓构件贯穿一流通孔而延伸且安装于与该第一埠连接的该第一流路的端部，该引导偏置构件于使该引导阀体部远离该引导阀座的方向偏置该引导活塞，其中，通过该驱动端口将驱动流体供给至该引导汽缸室，由此抵抗该引导偏置构件的偏置力，而将该引导阀体部推压于该引导阀座，封闭该第一流路的流体的流通。

上述时机调整阀中，在第一埠与第二埠之间，第一流路与第二流路并排而延伸。时机调整机构部的引导汽缸室内的引导活塞，经由导引偏置构件而于使引导阀体部远离引导阀座的方向被偏置，供给驱动流体至引导汽缸室而抵抗引导偏置构件的偏置力，经由使引导活塞移动而将引导阀体部推压于引导阀座，封闭第一流路的流体的流通。因此，当时机调整机构部的引导汽缸室内的驱动流体的压力降低，引导阀体部经由引导偏置构件的偏置力而远离引导阀座，使第一流路中的流体的流通开始。再者，第二埠与第二流路之间配置有止回阀机构部，防止自第二埠向第二流路的流体的流通，且允许自第二流路向第二埠的流体的流通。因此，自第一埠向第二埠，至少确保自第一埠经由第二流路的流体的流通。另一方面，自第二埠向第一埠，经由止回阀机构部而防止自第二埠向第二流路的流体的流通，仅于时机调整机构部的引导汽缸室的驱动流体的压力降低时，确保自第二埠经由引导阀室及第一流路的流体的流通。

该引导偏置构件配置为被夹持于该引导阀体部与该栓构件之间为佳。

此场合，该栓构件螺接于该第一流路的端部，经由旋转该栓构件而调整该第一流路内的该栓构件的位置更佳。

该引导本体经由一第一引导框体及一第二引导框体而构成，于该第一引导框体设置该驱动端口、该引导汽缸室、该连接孔、该引导阀室及该第一流路，于该第二引导框体设置贯穿而延伸的一插入孔、与该插入孔并排而延伸的一第二流路、该第一埠及该第二埠，该第一引导框体插入该第二引导框体的该插入孔，而使该第二流路连通于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间形成的间隙通路，并且经由跨越该第一引导框体及该第二引导框体而延伸的连通路使该第二埠与该引导阀室连通，该间隙通路与该连通路连接，该止回阀机构部配置于该间隙通路。

该止回阀机构部配置于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间，且该止回阀机构部为具有得以挠曲的唇形构造部的唇形密封件，该唇形密封件配置为使该唇形构造部位于靠近该连通路的位置。例如，该唇形密封件选自U型密封件、V型密封件及Y型密封件中的一种。

作为第二样貌，本发明提供一种回吸阀，包含：一开闭阀部、一回吸机构部及上述之时机调整阀，该开闭阀部进行流体通路的开闭，该回吸机构部配置于该开闭阀部的下游侧且于经由该开闭阀部的流体通路的封闭后进行该流体通路内的流体的回吸，其中，该开闭阀部及该回吸机构部连接于共通的切换阀，经由该切换阀进行对该开闭阀部及该回吸机构部的驱动流体的供给及排出，当进行经由该切换阀的驱动流体的供给，则该开闭阀部开启并且该回吸机构部成为待机状态，当进行经由该切换阀的驱动流体的排出，则该开闭阀部关闭并且该回吸机构部进行回吸动作，该时机调整阀的该第一埠及该第二埠分别连接于该切换阀及该回吸机构部，并且该时机调整阀的该驱动端口连接于该切换阀与该开闭阀部之间的管线。

上述回吸阀中，进行流体通路的开闭的开闭阀部及进行流体通路内的流体的回吸的回吸机构部连接于共通的切换阀，经由切换阀进行对开闭阀部及回吸机构部的驱动流体的供给及排出。再者，上述时机调整阀的第一埠及第二埠分别连接于切换阀及回吸机构部，并且时机调整阀的驱动端口连接于切换阀与开闭阀部之间的管线。因此，自时机调整阀的驱动端口对引导汽缸室供给及排出的驱动流体的压力等同于开闭阀部内的压力。经由从开闭阀部经由切换阀排出驱动流体，当开闭阀部内的驱动流体的压力降低至预定值以下，时机调整阀的自第二埠向第一端口的驱动流体的流通变成可能，能够使从回吸机构部的驱动流体的排出开始。只要以开闭阀部内的驱动流体的压力变成预定值以下时开闭阀部成为闭阀状态的方式设定时机调整阀，时机调整阀能够于进行经由开闭阀部的流体的流通的封闭之后，使经由回吸机构部的回吸动作开始。

作为一个实施样貌，该回吸阀，更包含一阀本体，该阀本体设有一内部流路及一回吸室，该内部流路包括一入口流路及一出口流路且用于让流体流通，该回吸室与该出口流路连通，于经由该开闭阀部的该内部流路的流体的流通的封闭后，使用该回吸机构部使该回吸室的容积增加，由此从该出口流路回吸流体，该回吸机构部包括一回吸用驱动部框体、一回吸活塞及一回吸用偏置构件，该回吸用驱动部框体于内部形成一回吸汽缸室，该回吸活塞收纳于该回吸汽缸室内而得以沿着该回吸汽缸室的内周面滑动，该回吸用偏置构件配置于该回吸汽缸室内且于使该回吸室的容积增加的方向偏置该回吸活塞，经由将驱动流体供给至该回吸汽缸室而抵抗该回吸用偏置构件的偏置力，使该回吸活塞于该回吸室的容积减少的方向移动。

再者，该回吸机构部于外周缘部更包含一隔膜，该隔膜夹持于该回吸用驱动部框体与该阀本体之间，而将该回吸用驱动部框体与该阀本体之间予以分隔，该隔膜从该回吸活塞延伸而与一回吸杆的前端部连接，该回吸杆插通于设在该回吸汽缸室的底部的贯穿孔，经由随着该回吸活塞的移动的该隔膜的变形，使该回吸室的容积增加或减少。

进一步，该阀本体设有一阀室，该阀室与该入口流路连通且通过一连通路而与该回吸室连通，与一阀体接近或远离的一阀座形成于从该入口流路到该阀室的开口的周缘部，该开闭阀部包含：一开闭用驱动部框体、一开闭活塞、一开闭杆及一开闭用偏置构件，该开闭用驱动部框体于内部形成一开闭汽缸室，该开闭活塞收纳于该开闭汽缸室内而得以沿着该开闭汽缸室的内周面滑动，该开闭杆从该开闭活塞延伸而贯穿该开闭汽缸室的底部且突出至该阀室内，该开闭用偏置构件于使与该开闭杆的前端部连接的该阀体接近该阀座的方向偏置该开闭活塞，经由将驱动流体供给至该开闭汽缸室而抵抗该开闭用偏置构件的偏置力，使该开闭活塞于该阀体从该阀座远离的方向移动。

[对照先前技术的功效]

根据本发明的时机调整阀，无关乎时机调整机构部的驱动流体的压力，经由止回阀机构部而使自第一埠向第二埠的流体的流通变为可能。再者，一方面止回阀机构部不允许自第二埠向第一端口的驱动流体的流通，时机调整机构部于通过驱动端口对时机调整机构部供给及排出的驱动流体的压力成为预定值以下时使自第二埠向第一埠的流体的流通开始。因此，经由时机调整阀，能够控制自第二埠向第一埠的方向的流体的流通的开始的时机。进行流体通路的开闭的开闭阀部及进行流体通路内的流体的回吸的回吸机构部连接于共通的切换阀并且经由切换阀进行对开闭阀部及回吸机构部的驱动流体的供给及排出的回吸阀中，时机调整阀的第一埠及第二埠分别连接于切换阀及回吸机构部，并且时机调整阀的驱动端口连接于切换阀与开闭阀部之间的管线。此场合，若设定为：开闭阀部的引导汽缸室内的驱动流体的压力变为预定值以下时开闭阀部成为闭阀状态，则能够于进行经由开闭阀部的流体的流通的封闭之后，立即使经由回吸机构部的回吸动作开始。再者，供给驱动流体至回吸机构部时，时机调整阀中，流体能够通过时机调整机构部及止回阀构成部，因此能够以比自回吸机构部排出时更大的流量将驱动流体供给至回吸机构部。

附图说明

[图1]为表示根据本发明的时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀的整体构成的示意图。

[图2]为表示图1所示的回吸阀的阀本体、开闭阀部及回吸机构部的构成的纵向剖面图。

[图3]为表示图1所示的回吸阀的时机调整阀的一实施样貌的构成的纵向剖面图，并且表示时机调整阀的时机调整机构部为开启的状态。

[图4]为表示图1所示的回吸阀的时机调整阀的一实施样貌的构成的纵向剖面图，并且表示时机调整阀的时机调整机构部为关闭的状态。

具体实施方式

以下参照图式而说明根据本发明的时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀的实施方式，但是，本发明不限定于图式所示的实施方式也不在言下。

最初，参照图1而说明根据本发明的一实施例的回吸阀11的整体构成。回吸阀11包含：设有流体通路的阀本体13、进行流体通路的开闭的开闭阀部15、回吸流体通路内的流体的回吸机构部17、经由分支的管线而连接于开闭阀部15及回吸机构部17两者的切换阀83、以及配置于连接回吸机构部17与切换阀83之间的管在线的时机调整阀101，其中于阀本体13的上部安装开闭阀部15及回吸机构部17。回吸机构部17配置于开闭阀部15的下游侧，经由开闭阀部15关闭流体通路而封闭流体的流通之后，回吸流体通路内的流体，而能够防止流体从流体通路的末端的喷嘴漏出及滴落。于切换阀83与开闭阀部15之间及切换阀83与时机调整阀101之间的管在线，分别设有附带止回阀之可变节流阀85、附带止回阀之可变节流阀87为佳。

开闭阀部15成为开阀状态时，自未图标的驱动流体源经由切换阀83而供给驱动流体，另一方面，成为闭阀状态时，将切换阀83予以切换，而变成经由切换阀83将驱动流体排出。再者，自驱动流体源经由切换阀83而供给驱动流体，则回吸机构部17变成待机状态，另一方面，将切换阀83予以切换而经由切换阀83排出驱动流体，则变成进行自流体通路内将流体予以回吸的回吸动作。亦即，当切换阀83被切换为经由切换阀83供给驱动流体，则与开闭阀部15成为开阀状态同步，回吸机构部17变成待机状态，另一方面，当切换阀83被切换为经由切换阀83排出驱动流体，则与开闭阀部15成为闭阀状态同步，回吸机构部17开始回吸动作。

时机调整阀101包含于流路上并列配置的时机调整机构部101a及止回阀机构部101b。止回阀机构部101b经由管线而连接于切换阀83及回吸机构部17，并且允许自切换阀83向回吸机构部17的驱动流体的流通，另一方面，防止自回吸机构部17向切换阀83的驱动流体的流通。时机调整机构部101a为经由引导流体而进行开闭动作的一种引导阀，经由管线连接于切换阀83与回吸机构部17之间的同时也连接于连系切换阀83与开闭阀部15之间的管线，将该管线内的驱动流体作为引导流体而进行开闭动作，从而能够将切换阀83与回吸机构部17之间的流体的流通及封闭予以切换。再者，时机调整机构部101a构成为：自连系切换阀83与开闭阀部15之间的管线供给及排出的作为引导流体的驱动流体的压力变成预定值(开闭阀部15成为闭阀状态时的开闭阀部15内的驱动流体的压力)以下时成为开阀状态，而允许切换阀83与回吸机构部17之间的驱动流体的流通。亦即，时机调整机构部101a实质上，于开闭阀部15为闭阀状态时容许驱动流体的流通，于开闭阀部15为开阀状态时防止驱动流体的流通。

因此，切换阀83被切换为供给驱动流体时，驱动流体供给至开闭阀部15而开闭阀部15内的驱动流体的压力上升，开闭阀部15从闭阀状态变化成开阀状态，因此，时机调整阀101通过时机调整机构部101a及止回阀机构部101b两者而将驱动流体供给至回吸机构部17。另一方面，切换阀83被切换为排出驱动流体时，从开闭阀部15排出驱动流体而开闭阀部15内的驱动流体的压力降低，开闭阀部15从开阀状态变化成闭阀状态。因此，时机调整阀101，直到开闭阀部15成为闭阀状态为止，时机调整机构部101a及止回阀机构部101b皆不允许驱动流体的流通，因而驱动流体不会从回吸机构部17排出，开闭阀部15成为闭阀状态后，时机调整机构部101a允许驱动流体的流通，因而，驱动流体仅通过时机调整机构部101a而从回吸机构部17排出。如此一来，时机调整阀101能够于开闭阀部15成为闭阀状态之后，使回吸机构部17进行回吸动作。

再者，时机调整阀101，于向回吸机构部17的驱动流体的供给时，通过时机调整机构部101a及止回阀机构部101b两者而使驱动流体流通至回吸机构部17，因而能够使比从回吸机构部17的驱动流体的排出时更多的流量的驱动流体流通，能够让回吸机构部17迅速地返回待机状态。

另外，附带止回阀之可变节流阀85包含于流路上并列配置的可变节流阀部85a及止回阀部85b，附带止回阀之可变节流阀87也同样地包含于流路上并列配置的可变节流阀部87a及止回阀部87b。可变节流阀部85a能够将通过的驱动流体的流量予以调整变化，将对开闭阀部15的驱动流体的供给及排出时的流量予以调整，由此能够调整开闭动作的开始及完成的时机以及开闭动作的速度。同样地，可变节流阀部87a能够将通过的驱动流体的流量予以调整变化，将对回吸机构部17的驱动流体的供给及排出时的流量予以调整，由此能够调整回吸动作的开始及完成的时机以及开闭动作的速度。再者，止回阀部85b及止回阀部87b，于自驱动流体源向开闭阀部15、回吸机构部17供给驱动流体的方向允许驱动流体的通过，但于自开闭阀部15、回吸机构部17向外部排出驱动流体的方向防止驱动流体的通过。由此，开闭阀部15的向开阀状态的返回及回吸机构部17的向待机状态的返回，能够迅速地进行。

接着，参照图2至图4，对回吸阀11的具体构成进行说明。

图2为表示图1所示的回吸阀11的阀本体13、开闭阀部15及回吸机构部17的构成的细节。

阀本体13的内部设有包括入口流路19及出口流路21的流体通路。再者，入口流路19的下游侧，设有向上方开口的阀室23，并且，于出口流路21的上游侧，设有向上方开口的回吸室25，阀室23与回吸室25之间经由连通路27而连接。如此构成的阀本体13中，供给至入口流路19的流体通过阀室23、连通路27及回吸室25而从出口流路21排出。附图所示的实施例中，入口流路19开口于阀室23的底面，出口流路21开口于回吸室25的底面。再者，连通路27开口于阀室23的侧面及回吸室25的底面。于向阀室23的入口流路19的开口的周围，形成有与后述的阀体49接近或远离的环状的阀座29。进一步，于入口流路19的上游侧端部及出口流路21的下游侧端部，分别设有连接管子等的管线用的联轴器31、联轴器33。然而，只要能够让流入入口流路19的流体通过阀室23、连通路27及回吸室25而从出口流路21排出，则流体通路不限定于图式所示的构成。

开闭阀部15包含：于内部形成有开闭汽缸室37的开闭用驱动部框体35、收纳于开闭汽缸室37内的开闭活塞39及偏置开闭活塞39的开闭用偏置构件41。开闭用驱动部框体35包括于内部形成剖面圆形且概略圆筒状的收纳空间的开闭用罩帽35a、以及安装于开闭用罩帽35a的上部而封闭开闭用罩帽35a的开口的开闭用盖件35b，经由开闭用罩帽35a的收纳空间的内周面及底面与开闭用盖件35b的底面所包围的空间而形成开闭汽缸室37。开闭活塞39具有概略圆板形状，且收纳于开闭汽缸室37内，而得以沿着其周壁(内周面)，于图中的上下方向滑动。开闭汽缸室37区隔为：开闭活塞39(详细而言为其底面)、开闭汽缸室37(详细而言为开闭用罩帽35a)的内周面及开闭汽缸室37的底面(即开闭用罩帽35a的底部)所包围且位于靠近阀室23一侧的第一气室37a；以及开闭活塞39(详细而言为其顶面)、开闭汽缸室37(详细而言为开闭用罩帽35a)的内周面及开闭汽缸室37的天花板面(即开闭用盖件35b的底面)所包围且位于远离阀室23一侧的第二气室37b。在图2所示的实施例中，第一气室37a位于开闭活塞39的下方，第二气室37b位于开闭活塞39的上方。

开闭活塞39连结有：比开闭活塞39更细且于靠近阀室23的方向朝图中下方延伸的开闭杆43、以及比开闭活塞39更细且于与开闭杆43为反方向远离阀室23的方向朝图中上方延伸的引导轴45。开闭杆43以能够滑动的方式插通于贯穿开闭用驱动部框体35的开闭汽缸室37(详细而言为开闭用罩帽35a)的底部而设置的贯穿孔47，并且延伸至阀室23内，其前端部连接于阀体49。阀体49具有于圆柱上连结有圆锥台的形状，底面配置为与阀座29相对向。引导轴45插通于贯穿开闭用盖件35b而设置的贯穿孔51且延伸至外部，并且构成为引导开闭活塞39的往复运动。阀体49伴随开闭汽缸室37内的开闭活塞39的上下方向的往复运动，通过开闭杆43而与形成于阀室23内的阀座29接近或远离，而进行流体通路的开闭。

开闭用偏置构件41配置为在第二气室37b内压缩于开闭汽缸室37的天花板面(即开闭用盖件35b的底面)与开闭活塞39(详细而言为其顶面)之间的状态，于使连接于开闭杆43的前端的阀体49朝向阀座29接近的方向，常态地对开闭活塞39偏置。在图2所示的实施例中，使用线圈弹簧作为开闭用偏置构件41，线圈弹簧在第二气室37b中配置为螺旋状地延伸于引导轴45的周围。但是，只要开闭用偏置构件41能够偏置开闭活塞39而使阀体49朝向阀座29接近，则不限定于线圈弹簧，例如亦可为筒状的弹性体。

于开闭汽缸室37(详细而言为开闭用罩帽35a)的周壁，于没被开闭活塞39封闭的位置，设有开闭用驱动流体端口53。经由开闭用偏置构件41的偏置力使阀体49压接于阀座29的状态时，通过开闭用驱动流体端口53向第一气室37a供给驱动流体，由此使第一气室37a内的驱动流体的压力增加时，使经由第一气室37a内的驱动流体的压力而作用于开闭活塞39的力(以下亦记载为「驱动流体所致的力」)高于经由开闭用偏置构件41而作用于开闭活塞39的力(以下亦记载为「开闭用偏置构件41所致的偏置力」)，开闭活塞39抵抗开闭用偏置构件41所致的偏置力，于远离阀室23的方向移动，而第一气室37a的容积增加。由此，能够通过开闭杆43，让连结于开闭活塞39的阀体49远离阀座29，使流体通路的流体的流通开始，第一气室37a内的驱动流体的压力成为最大时，开闭活塞39停止在开阀位置。另一方面，阀体49为远离阀座29的状态时，经由通过开闭用驱动流体端口53将第一气室37a内的驱动流体排出，使第一气室37a内的驱动流体的压力减少，则驱动流体所致的力低于开闭用偏置构件41所致的偏置力，开闭活塞39依开闭用偏置构件41所致的偏置力而于接近阀室23的方向移动，第一气室37a的容积减少。由此，能够通过开闭杆43，让连结于开闭活塞39的阀体49压接于阀座29，开闭活塞39在闭阀位置停止，使流体通路的流体封闭。作为驱动流体，能够使用例如压缩空气等。

另外，第二气室37b内的空气，从引导轴45的外周面与开闭用盖件35b的贯穿孔51的内周面的缝隙放出至外部，第二气室37b内的空气不易妨碍开闭汽缸室37的开闭活塞39的滑动。再者，于开闭活塞39的外周面安装有密封件55，使得开闭活塞39能够以驱动流体不会自第一气室37a漏出至第二气室37b的方式，在对开闭汽缸室37的内周面为密封的状态下滑动。进一步，开闭杆43的外周面也安装O型环等的密封件56，使得开闭杆43能够以驱动流体不会自第一气室37a泄漏至外部的方式，在对贯穿孔47的内周面为闭封的状态下滑动。

图2所示的实施例中，设有自阀体49的上端部的外周部朝半径方向外侧延伸的薄膜状的隔膜部49a。此隔膜部49a的外周缘部夹持于阀本体13与开闭用罩帽35a之间，成为阀体49通过隔膜部49a而支承于阀室23内的状态。如此一来，经由使阀体49通过隔膜部49a支承于阀室23内，阀室23与开闭用驱动部框体35之间经由隔膜部49a而区隔。因此，在流通流体通路的流体为腐蚀性的流体等时，能够防止阀室23内的流体侵入开闭汽缸室37内等而腐蚀开闭用驱动部框体35等。

回吸机构部17包括：于内部形成回吸汽缸室59的回吸用驱动部框体57、收纳于回吸汽缸室59内的回吸活塞61及偏置回吸活塞61的回吸用偏置构件63。回吸用驱动部框体57由于内部形成剖面圆形且概略圆筒状的收纳空间的回吸用罩帽57a、以及安装于回吸用罩帽57a的上部而封闭回吸用罩帽57a的上部的开口的回吸用盖件57b构成，经由回吸用罩帽57a的收纳空间的内周面及底面与回吸用盖件57b的底面所包围的空间形成回吸汽缸室59。回吸活塞61具有概略圆板形状，且收纳于回吸汽缸室59内，而得以沿着其周壁(内周面)，于图中的上下方向滑动。回吸汽缸室59区隔为：回吸活塞61(详细而言为其底面)、回吸汽缸室59(即回吸用罩帽57a)的内周面及回吸汽缸室59的底面(即回吸用罩帽57a的底部)所包围且位于靠近回吸室25的第一气室59a；以及回吸活塞61(详细而言为其顶面)、回吸汽缸室59(即回吸用罩帽57a)的内周面及回吸汽缸室59的天花板面(即回吸用盖件57b的底面)所包围且位于远离回吸室25的第二气室59b。在图2所示的实施例中，第一气室59a位于回吸活塞61的下方，第二气室59b位于回吸活塞61的上方。

回吸活塞61连结有：比回吸活塞61更细且于靠近回吸室25的方向朝图中下方延伸的回吸杆65。回吸杆65以能够滑动的方式插通于贯穿回吸用驱动部框体57的回吸用罩帽57a的底部而设置的贯穿孔67，并且延伸至回吸室25内，其前端部连接于隔膜69。隔膜69的外周缘部夹持于阀本体13与回吸用罩帽57a之间，隔膜69区隔在回吸室25与回吸用驱动部框体57之间。如此构成的隔膜69，伴随着回吸汽缸室59内的回吸活塞61的上下方向的往复运动，通过回吸杆65而相对于回吸室膨出或后退而使回吸室25的容积增减，经由使回吸室25的容积增加而能够将连接于回吸室25的下游侧的出口流路21内的流体予以回吸。

回吸用偏置构件63配置为在第一气室59a内压缩于回吸汽缸室59的底部(即回吸用罩帽57a的底部)与回吸活塞61(详细而言为其底面)之间的状态，于使连接于回吸杆65的前端的隔膜69从回吸室25后退(即远离阀本体13)的方向，常态地对回吸活塞61偏置。在图2所示的实施例中，使用线圈弹簧作为回吸用偏置构件63，线圈弹簧在第一气室59a中配置为螺旋状地延伸于回吸杆65的周围。但是，只要回吸用偏置构件63能够偏置回吸活塞61而使隔膜69从回吸室25后退，则不限定于线圈弹簧，例如亦可为筒状的弹性体。

于回吸汽缸室59(详细而言为回吸用驱动部框体57)，于没被回吸活塞61封闭的位置，设有回吸用驱动流体端口71。在图标的实施例中，回吸用驱动流体端口71以开口于回吸汽缸室59的天花板面的方式设置于回吸用驱动部框体57的回吸用盖件57b。经由回吸用偏置构件63的偏置力使隔膜69从回吸室25后退的状态时，通过回吸用驱动流体端口71而向第二气室59b供给驱动流体，由此使第二气室59b内的驱动流体的压力增加，使经由第二气室59b内的驱动流体的压力而作用于回吸活塞61的力(以下亦记载为「驱动流体所致的力」)高于经由回吸用偏置构件63而作用于回吸活塞61的力(以下亦记载为「回吸用偏置构件63所致的偏置力」)，回吸活塞61抵抗回吸用偏置构件63所致的偏置力，于接近回吸室25的方向移动，而第二气室59b的容积增加。由此，通过回吸杆65，连结于回吸活塞61的隔膜69朝回吸室25内膨出，第二气室59b内的驱动流体的压力成为最大时，回吸活塞61停止在待机位置。另一方面，回吸活塞61位于待机位置而隔膜69朝回吸室25内膨出的状态时，经由通过回吸用驱动流体端口71将第二气室59b内的驱动流体排出，使第二气室59b内的驱动流体的压力减少，则驱动流体所致的力低于回吸用偏置构件63所致的偏置力，回吸活塞61依回吸用偏置构件63所致的偏置力而于接近回吸室25的方向移动，第二气室59b的容积减少。由此，通过回吸杆65，连结于回吸活塞61的隔膜69从回吸室25后退，使回吸室25的容积增加而将连通于回吸室25的出口流路21内的流体予以回吸，当回吸活塞61到达回吸位置则完成回吸动作。

回吸机构部17中，回吸活塞61能够在位于回吸汽缸室59内的上侧(远离回吸室25的一侧)的上死点位置与位于下侧(靠进回吸室25的一侧)的下死点位置之间滑动。「死点位置」指回吸活塞61抵接于其他构件的特定部位而移动受限所致的移动极限位置。在图示的实施例中，回吸汽缸室59包括收纳回吸活塞61的大径部及直径比大径部更小的小径部，大径部与小径部之间设有段差部，经由回吸活塞61干涉段差部而规定回吸活塞61的下死点位置。再者，在图示的实施例中，回吸用盖件57b的中央部形成有贯穿延伸且内周面的至少一部分具有螺纹沟的贯穿孔75，调整螺丝77以得以在密封状态下自回吸汽缸室59的天花板部突出于第二气室59b内的方式螺合于此贯穿孔75。自回吸用盖件57b朝外部突出的调整螺丝77的一部分螺接有螺帽79，经由拴紧螺帽79而能够锁定调整螺丝77的旋转。于调整螺丝77突出于第二气室59b内时，回吸活塞61(详细而言为其顶面)抵接于调整螺丝77而移动受限，调整螺丝77不突出于第二气室59b内时，回吸活塞61抵接于回吸汽缸室59的天花板部(详细而言为回吸用盖件57b的底部)而移动受限，成为回吸活塞61的上死点位置。亦即，经由回吸机构部17的回吸动作完成时的回吸活塞61的位置的回吸位置及那时的第二气室59b内的驱动流体的压力能够经由调整螺丝77而调整。

另外，于回吸汽缸室59的小径部的周壁，即没有被回吸活塞61封闭的位置，设有通气孔81，使第一气室59a能够与外部通气，而第一气室59a内的空气不易妨碍回吸活塞61的移动。

开闭阀部15的开闭用驱动流体端口53及回吸机构部17的回吸用驱动流体端口71经由分支的管线而连接于共通的切换阀83，通过切换阀83而连接于共通的单一驱动流体源(未图示)。切换阀83能够将自驱动流体源向开闭用驱动流体端口53及回吸用驱动流体端口71的驱动流体的供给、以及自开闭用驱动流体端口53及回吸用驱动流体端口71向外部的驱动流体的排出予以切换。

再者，回吸机构部17使用唇形密封件作为密封件73。在此，唇形密封件指于密封部(受压部)具有可挠性的唇形构造部分的密封件，经由唇形构造部分随着滑动面的动作及压力的变化而变形，从而适当地维持密封面的接触压力的构件。作为唇形密封件，有J型密封件、L型密封件、U型密封件、V型密封件及Y型密封件。在图示的实施例中，使用Y型密封件作为密封件73。使用Y型密封件的场合，Y型密封件的分岔的唇形构造部分配置为朝向第二气室59b。由此，能够提高防止第二气室59b的驱动流体漏出至第一气室59a的功能。

另外，由于回吸机构部17与开闭阀部15相比，可动构件与静止构件之间所要求的密封性能不高，可动构件与静止构件之间的密封件除了密封件73以外并无设置，回吸杆65的外周面也没有安装密封件。再者，开闭阀部15亦可如图示的实施例，与密封件73同样地使用唇形密封件作为密封件55。

图3及图4表示图1所示的回吸阀11的时机调整阀101的一实施例的构成。

时机调整阀101设有第一埠105、第二端口107及驱动端口109，并且具有：形成有于第一埠105与第二埠107之间延伸的内部流路的引导本体103、时机调整机构部101a及止回阀机构部101b，于内部流路上，时机调整机构部101a与止回阀机构部101b并列地配置。引导本体103内形成有：与驱动端口109连通的引导汽缸室111、与第二埠107连通的引导阀室113、将引导汽缸室111及引导阀室113予以连接的连接孔114、在引导阀室113与第一埠105之间延伸的第一流路115、及与第一流路115并排而延伸且连通于第一埠105及第二埠107的第二流路117。于到引导阀室113的第一流路115的开口部的周缘部设有引导阀座119。

在图示的实施例中，引导本体103由第一引导框体121及第二引导框体123构成。第一引导框体121包括：扩大部121a、比扩大部121a更细的缩小部121b、及设于扩大部121a与缩小部121b之间并比扩大部121a细且比缩小部121b粗的中间部121c。于第一引导框体121设置有：设于端部且向外部开口的驱动端口109、引导汽缸室111、引导阀室113及第一流路115。引导汽缸室111开口于驱动端口109。在图标的实施例中，驱动端口109安装有第一联轴器141。于第二引导框体123形成有第一埠105、第二埠107、贯穿而延伸的插入孔125、及与插入孔125并排而延伸的第二流路117。插入孔125包括扩大孔部125a、比扩大孔部125a更细的缩小孔部125b。第二埠107形成于第二引导框体123的侧部，经由后述的连通路129的一部分而连通于扩大孔部125a。

经由将第一引导框体121的缩小部121b插入第二引导框体123的插入孔125的缩小孔部125b并且将中间部121c插入扩大孔部125a，在扩大部121a从插入孔125突出的状态下，第一引导框体121与第二引导框体123相连接。在第一引导框体121插入第二引导框体123的插入孔125的状态下，第一引导框体121的中间部121c的外周面与第二引导框体123的扩大孔部125a的内周面之间形成缝隙通路127，第二流路117连通于缝隙通路127。再者，经由自第一引导框体121的引导阀室113贯穿侧壁而延伸的贯穿孔及自第二引导框体123的第二埠107延伸至插入孔125的扩大孔部125a的贯穿孔而形成连通路129，第二埠107与引导阀室113之间通过连通路129而连通。再者，缝隙通路127连接于连通路129。

第一埠105以连接于插入孔125的缩小孔部125b及第二流路117两者的方式设置于第二引导框体123的端部，于第一埠105安装有第二联轴器143。

引导汽缸室111收纳有引导活塞131。引导杆133自引导活塞131通过连接孔114延伸而于引导阀室113内突出。于引导阀室113内突出的引导杆133的前端部设有引导阀体部135，引导阀体部135配置为在引导阀室113内与引导阀座119相对向。在图示的实施例中，引导阀体部135由安装于引导杆133的前端部的外周面的O型环构成，经由将此O型环予以推压在形成于自第一流路115向引导阀室113开口的周缘部的引导阀座119，而封闭第一流路115的流体的流通。然而，只要引导阀体部135的构成能够抵靠于引导阀座119而封闭第一流路115的流体的流通，则无限定，亦可为例如固定于引导杆133的前端部的圆锥台形状的弹性体。

另外，引导活塞131及引导杆133的外周面分别安装有密封件145及密封件147，而将引导汽缸室111的内周面与引导活塞131的外周面之间及连接孔114的内周面与引导杆133的外周面之间予以密封。

与第一埠105连通的引导本体103的第一流路115的端部安装有栓构件137。栓构件137形成有贯穿延伸的流通孔137a，即使在栓构件137安装于第一流路115的端部的状态下，第一埠105也能够与第一流路115连通。在第一流路115中，引导偏置构件139以压缩的状态配置于引导阀体部135的前端部与栓构件137之间，通过引导杆133，常态地于使引导阀体部135远离引导阀座119的方向对引导活塞131偏置。在图示的实施例中，使用线圈弹簧作为引导偏置构件139。然而，只要能够常态地于使引导阀体部135远离引导阀座119的方向对引导活塞131偏置并且使流体通过，引导偏置构件139不限定于线圈弹簧，亦可为例如筒状的弹性体。再者，只要能够常态地于使引导阀体部135远离引导阀座119的方向对引导活塞131偏置，引导偏置构件139没有配置于引导阀体部135的前端部与栓构件137之间的必要，亦可为例如配置于引导汽缸室111内。

于栓构件137的外周面及所安装处的第一流路115的端部，设有螺纹，经由螺接而将栓构件137安装于第一流路115的端部为佳。于第一流路115内螺接有栓构件137的场合，经由栓构件137相对于第一流路115旋转，能够调整第一流路115内的栓构件137的位置。

经由如此的构成，能够经由自驱动端口109供给驱动流体至引导汽缸室111，让驱动流体所致的力高于引导偏置构件139所致的偏置力，抵抗引导偏置构件139所致的偏置力，而使引导活塞131于接近引导阀室113的方向移动。结果，能够通过引导杆133将引导阀体部135压接于引导阀座119，封闭第一流路115的流体的流通。再者，经由从引导汽缸室111排出驱动流体，让驱动流体所致的力低于引导偏置构件139所致的偏置力，依引导偏置构件139所致的偏置力，使引导活塞131于远离引导阀室113的方向移动。结果，能够通过引导杆133使引导阀体部135远离引导阀座119，允许通过引导阀座119与引导阀体部135之间的缝隙而在第一流路115与引导阀室113之间的流体的流通。亦即，流体能够经由第一流路115、引导阀室及连通路129而在第一埠105与第二埠107之间流通。

再者，经由调整引导偏置构件139所致的偏置力，能够从引导汽缸室111排出驱动流体而调整引导阀体部135远离引导阀座119时的引导汽缸室111内的驱动流体的压力。引导偏置构件139所致的偏置力的调整，例如，选择具有合适的偏置力的引导偏置构件139，使得于引导汽缸室111内的驱动流体成为期望的压力以下时，引导阀体部135远离引导阀座119而允许流体的流通即可。再者，如图示的实施例，栓构件137螺接于第一流路115内且引导偏置构件139配置于栓构件137与引导阀体部135之间的场合，经由旋转栓构件137使第一流路115内的栓构件137的位置产生变化，而能够使引导阀体部135抵靠于引导阀座119时的引导偏置构件139的压缩状态产生变化。因此，经由旋转栓构件137使第一流路115内的栓构件137的位置产生变化，而能够调整从引导汽缸室111排出驱动流体使引导阀体部135远离引导阀座119时的引导汽缸室111内的驱动流体的压力。

在图标的实施例中，驱动端口109、引导汽缸室111、引导阀室113、连接孔114、引导活塞131、引导杆133、引导阀体部135、栓构件137及引导偏置构件139构成时机调整机构部101a。

再者，在图示的实施例中，通过驱动端口109从引导汽缸室111排出驱动流体，引导汽缸室111内的驱动流体的压力减少至开闭阀部15中阀体49抵靠于阀座29时的开闭汽缸室37(详细而言为其第一气室37a)的驱动流体的压力以下时，只要以引导偏置构件139的偏置力高于引导汽缸室111内的驱动流体所致的力而让引导阀体部135远离引导阀座119的方式调整引导偏置构件139所致的偏置力，当开闭阀部15成为闭阀状态，则时机调整机构部101a允许自第二埠107向第一端口105的驱动流体的流通。结果，能够从回吸机构部17的回吸汽缸室59(详细而言为其第二气室59b)通过时机调整阀101及切换阀83排出驱动流体，使经由回吸机构部17的回吸动作开始。

止回阀机构部101b配置于缝隙通路127内。止回阀机构部101b，例如，能够如图示的实施例，由配置在第一引导框体103a的外周面与第二引导框体103b的插入孔125的扩大孔部125a的内周面之间的具有U型密封件、V型密封件及Y型密封件等的得以挠曲的唇形构造部的唇形密封件149构成。此场合，在缝隙通路127中，唇形密封件149的唇形构造部配置于靠近连通路129的一侧。由此，唇形密封件149允许自第一埠105经由第二流路117及缝隙通路127向第二埠107的方向的流体的流动，并且防止自第二埠107经由缝隙通路127及第二流路117向第一埠105的方向的流体的流动。在图示的实施例中，止回阀机构部101b由Y型密封件构成。

接着，说明图1所示的构成的回吸阀11的动作。在此，时机调整阀101的第一埠105连接于切换阀83，第二埠107连接于回吸机构部17的回吸用驱动流体端口71。再者，时机调整阀101的时机调整机构部101a设定为：将开闭阀部15中阀体49抵靠于阀座29时的开闭汽缸室37(详细而言为其第一气室37a)的驱动流体的压力定为闭阀压力P，于引导汽缸室111内的驱动流体的压力减少至闭阀压力P以下时，引导偏置构件139所致的偏置力高于引导汽缸室111内的驱动流体所致的力，而引导阀体部135远离引导阀座119，而允许自第二埠107经由引导阀室113及第一流路115向第一端口105的驱动流体的流通。

于使回吸阀11的开闭阀部15为开阀状态时，切换阀83切换为自未图标的驱动流体源供给驱动流体至开闭用驱动流体端口53及回吸用驱动流体端口71。如此一来，通过开闭用驱动流体端口53供给至开闭汽缸室37的第一气室37a的驱动流体所致的力高于开闭用偏置构件41的偏置力，开闭活塞39经由第一气室37a内的驱动流体所致的力抵抗开闭用偏置构件41所致的偏置力，而于远离阀室23的方向上推而移动至开阀位置。由此，连接于开闭杆43的前端的阀体49伴随着开闭活塞39的上升而远离阀座29，流入入口流路19的流体经由阀室23、连通路27及回吸室25而从出口流路21流出。

此时，开闭阀部15的开闭汽缸室37内的驱动流体的压力高于闭阀压力P。结果，经由时机调整阀101的驱动端口109而供给至引导汽缸室111内的驱动流体的压力亦高于闭阀压力P。因此，在时机调整阀101的时机调整机构部101a中，引导汽缸室111内的驱动流体所致的力高于引导偏置构件139所致的偏置力，引导活塞131抵抗引导偏置构件139所致的偏置力而于接近引导阀室113的方向移动，如图4所示，引导阀体部135压接于引导阀座119。亦即，时机调整阀101的时机调整机构部101a变成不允许第一埠105与第二端口107之间的驱动流体的流通。另一方面，止回阀机构部101b允许自第一埠105向第二端口107的驱动流体的流通。由此，经由切换阀83供给的驱动流体，自时机调整阀101的第一埠105流入而经由止回阀机构部101b从第二埠107流出，也供给至回吸用驱动流体端口71。结果，经由通过回吸用驱动流体端口71供给至回吸汽缸室59的第二气室59b的驱动流体所致的力，回吸活塞61抵抗回吸用偏置构件63所致的偏置力而于接近回吸室25的方向下推而移动至待机位置。由此，连接于回吸活塞61的前端的隔膜69成为朝回吸室25膨出的状态，回吸机构部17变成待机状态。

使回吸阀11的开闭阀部15为闭阀状态而封闭流体的流通时，将切换阀83予以切换，能够从连接于开闭用驱动流体端口53及回吸用驱动流体端口71的管线排出驱动流体至外部。

当通过开闭用驱动流体端口53从开闭汽缸室37的第一气室37a朝切换阀83排出驱动流体，则第一气室37a内的驱动流体的压力降低，第一气室37a内的驱动流体所致的力低于开闭用偏置构件41所致的偏置力，开闭活塞39依开闭用偏置构件41所致的偏置力而于接近阀室23的方向下推。当第一气室37a内的驱动流体的压力降低至闭阀压力P，则连接于开闭杆43的前端的阀体49被压接于阀座，使自入口流路19向阀室23的流体的流入封闭。

另一方面，即使切换阀83被切换成能够经由切换阀83将驱动流体排出至外部，直到开闭阀部15成为闭阀状态为止，开闭阀部15的开闭汽缸室37内的驱动流体的压力高于闭阀压力P。此时，经由时机调整阀101的驱动端口109而供给至引导汽缸室111内的驱动流体的压力高于闭阀压力P。因此，时机调整阀101的时机调整机构部101a中，引导汽缸室111内的驱动流体所致的力高于引导偏置构件139所致的偏置力，因而引导阀体部135依然为压接于引导阀座119的状态。亦即，时机调整阀101的时机调整机构部101a不允许第一埠105与第二端口107之间的驱动流体的流通。再者，止回阀机构部101b也防止自第二埠107向第一端口105的驱动流体的流通。因此，即使切换阀83被切换成能够经由切换阀83将驱动流体排出至外部，直到开闭阀部15成为闭阀状态为止，时机调整阀101不允许自第二埠107向第一端口105的驱动流体的流通。结果，无法从回吸机构部17的回吸汽缸室59的第二气室59b排出驱动流体，维持待机状态，因而也不会进行回吸动作。

切换阀83被切换成能够经由切换阀83将驱动流体排出至外部，且开闭阀部15成为闭阀状态，则开闭阀部15的开闭汽缸室37内的驱动流体的压力减少至闭阀压力P以下。此时，时机调整阀101的引导汽缸室111内的驱动流体的压力也减少至闭阀压力P以下。因此，时机调整阀101的时机调整机构部101a中，引导偏置构件139所致的偏置力高于引导阀室113内的驱动流体所致的力，引导活塞131依引导偏置构件139所致的偏置力于远离引导阀室113的方向移动，如图3所示，引导阀体部135远离引导阀座119。由此，时机调整阀101的时机调整机构部101a允许第一埠105与第二端口107之间的驱动流体的流通。另一方面，止回阀机构部101b防止自第二埠107向第一端口105的驱动流体的流通。因此，时机调整阀101允许仅自第二埠107经由时机调整机构部101a向第一端口105的驱动流体的流通。由此，通过回吸机构部17的回吸用驱动流体端口71而从回吸汽缸室59的第二气室59b向切换阀83排出驱动流体。结果，回吸用偏置构件63所致的偏置力高于回吸汽缸室59的第二气室59b内的驱动流体所致的力，回吸活塞61依回吸用偏置构件63所致的偏置力而于远离回吸室25的方向朝向上方移动。伴随着回吸活塞61朝向上方移动，通过回吸杆65，连结于回吸活塞61的隔膜69从回吸室25后退，回吸室25的容积增加。结果，进行回吸动作。

如此一来，回吸阀11于经由开闭阀部15的流体的流通的封闭之后，能够进行经由回吸机构部17的回吸动作，而防止于闭阀后流体从连通于出口流路21的喷嘴泄漏或滴落。

以上参照图示的实施例而说明根据本发明的回吸阀11，但是，本发明不限定于图示的实施样貌。例如，在图示的实施例中，引导偏置构件139配置于第一流路115内且位于引导阀体部135与栓构件137之间，但是，亦可配置于引导汽缸室111内。

【符号说明】

11 回吸阀

13 阀本体

15 开闭阀部

17 回吸机构部

19 入口流路

21 出口流路

23 阀室

25 回吸室

29 阀座

35 开闭用驱动部框体

37 开闭汽缸室

39 开闭活塞

41 开闭用偏置构件

43 开闭杆

49 阀体

57 回吸用驱动部框体

59 回吸汽缸室

61 回吸活塞

63 回吸用偏置构件

65 回吸杆

67 贯穿孔

69 隔膜

83 切换阀

101 时机调整阀

101a 时机调整机构部

101b 止回阀机构部

103 引导本体

105 第一埠

107 第二埠

109 驱动端口

111 引导汽缸室

113 引导阀室

114 连接孔

115 第一流路

117 第二流路

119 引导阀座

121 第一引导框体

123 第二引导框体

125 插入孔

127 缝隙通路

129 连通路

131 引导活塞

133 引导杆

135 引导阀体部

137 栓构件

137a 流通孔

139 引导偏置构件

Claims (12)

1.一种时机调整阀，包含：

引导本体，设置有第一埠、第二端口及驱动端口，该引导本体形成有内部流路，该内部流路于该第一埠及该第二埠之间延伸；

止回阀机构部，允许自该第一埠向该第二埠的该内部流路内的流体的流通，且防止自该第二埠向该第一埠的该内部流路内的流体的流通；

时机调整机构部，经由对该驱动端口的驱动流体的供给及排出，而进行该内部流路的开闭；

其中，该时机调整机构部配置为于该内部流路中与该止回阀机构部并列，且构成为于通过该驱动端口对该时机调整机构部供给及排出的驱动流体的压力成为预定值以下时，允许该第一埠与该第二埠之间的流体的流通。

2.如权利要求1所述的时机调整阀，其中于该引导本体内更形成有引导汽缸室、引导阀室、连接孔、第一流路及第二流路，该引导汽缸室与该驱动端口连通，该引导阀室与该第二埠连通，该连接孔将该引导汽缸室及该引导阀室予以连接，该第一流路从该引导阀室延伸至该第一埠，该第二流路与该第一流路并排而延伸且连通于该第一埠及该第二埠，于到该引导阀室的该第一流路的开口的周缘部设有引导阀座，

该止回阀机构部配置于该第二端口与该第二流路之间而防止从该第二埠向该第二流路的流体的流通且允许从该第二流路向该第二埠的流体的流通，该时机调整机构部包括引导活塞、引导杆、引导阀体部、栓构件及引导偏置构件，该引导活塞配置于该引导汽缸室内，该引导杆从该引导活塞延伸且插通于该连接孔，该引导阀体部设于该引导杆的前端部且配置为在该引导阀室内与该引导阀座相对向，该栓构件贯穿一流通孔而延伸且安装于与该第一埠连接的该第一流路的端部，该引导偏置构件于使该引导阀体部远离该引导阀座的方向偏置该引导活塞，其中，通过该驱动端口将驱动流体供给至该引导汽缸室，由此抵抗该引导偏置构件的偏置力，而将该引导阀体部推压于该引导阀座，封闭该第一流路的流体的流通。

3.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导偏置构件配置为被夹持于该引导阀体部与该栓构件之间。

4.如权利要求3所述的时机调整阀，其中该栓构件螺接于该第一流路的端部，经由旋转该栓构件而调整该第一流路内的该栓构件的位置。

5.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导本体包括第一引导框体及第二引导框体，于该第一引导框体设置该驱动端口、该引导汽缸室、该连接孔、该引导阀室及该第一流路，于该第二引导框体设置贯穿而延伸的插入孔、与该插入孔并排而延伸的第二流路、该第一埠及该第二埠，该第一引导框体插入该第二引导框体的该插入孔，而使该第二流路连通于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间形成的间隙通路，并且经由跨越该第一引导框体及该第二引导框体而延伸的连通路使该第二埠与该引导阀室连通，该间隙通路与该连通路连接，该止回阀机构部配置于该间隙通路。

6.如权利要求5所述的时机调整阀，其中该止回阀机构部配置于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间，且该止回阀机构部为具有得以挠曲的唇形构造部的唇形密封件，该唇形密封件配置为使该唇形构造部位于靠近该连通路的位置。

7.如权利要求6所述的时机调整阀，其中该唇形密封件选自U型密封件、V型密封件及Y型密封件中的一种。

8.一种回吸阀，包含：开闭阀部、回吸机构部及如权利要求1至7中任一项所述的时机调整阀，该开闭阀部进行流体通路的开闭，该回吸机构部配置于该开闭阀部的下游侧且于经由该开闭阀部的流体通路的封闭后进行该流体通路内的流体的回吸，

其中，该开闭阀部及该回吸机构部连接于共通的切换阀，经由该切换阀进行对该开闭阀部及该回吸机构部的驱动流体的供给及排出，当进行经由该切换阀的驱动流体的供给，则该开闭阀部开启并且该回吸机构部成为待机状态，当进行经由该切换阀的驱动流体的排出，则该开闭阀部关闭并且该回吸机构部进行回吸动作，该时机调整阀的该第一埠及该第二埠分别连接于该切换阀及该回吸机构部，并且该时机调整阀的该驱动端口连接于该切换阀与该开闭阀部之间的管线。

9.如权利要求8所述的回吸阀，更包含阀本体，该阀本体设有内部流路及回吸室，该内部流路包括入口流路及出口流路且用于让流体流通，该回吸室与该出口流路连通，于经由该开闭阀部的该内部流路的流体的流通的封闭后，使用该回吸机构部使该回吸室的容积增加，由此从该出口流路回吸流体，

该回吸机构部包括回吸用驱动部框体、回吸活塞及回吸用偏置构件，该回吸用驱动部框体于内部形成回吸汽缸室，该回吸活塞收纳于该回吸汽缸室内而得以沿着该回吸汽缸室的内周面滑动，该回吸用偏置构件配置于该回吸汽缸室内且于使该回吸室的容积增加的方向偏置该回吸活塞，经由将驱动流体供给至该回吸汽缸室而抵抗该回吸用偏置构件的偏置力，使该回吸活塞于该回吸室的容积减少的方向移动。

10.如权利要求9所述的回吸阀，其中该回吸机构部于外周缘部更包含隔膜，该隔膜夹持于该回吸用驱动部框体与该阀本体之间，而将该回吸用驱动部框体与该阀本体之间予以分隔，该隔膜从该回吸活塞延伸而与一回吸杆的前端部连接，该回吸杆插通于设在该回吸汽缸室的底部的贯穿孔，经由随着该回吸活塞的移动的该隔膜的变形，使该回吸室的容积增加或减少。

11.如权利要求9所述的回吸阀，其中该阀本体设有阀室，该阀室与该入口流路连通且通过连通路而与该回吸室连通，与阀体接近或远离的阀座形成于从该入口流路到该阀室的开口的周缘部，

该开闭阀部包含：开闭用驱动部框体、开闭活塞、开闭杆及开闭用偏置构件，该开闭用驱动部框体于内部形成开闭汽缸室，该开闭活塞收纳于该开闭汽缸室内而得以沿着该开闭汽缸室的内周面滑动，该开闭杆从该开闭活塞延伸而贯穿该开闭汽缸室的底部且突出至该阀室内，该开闭用偏置构件于使与该开闭杆的前端部连接的该阀体接近该阀座的方向偏置该开闭活塞，经由将驱动流体供给至该开闭汽缸室而抵抗该开闭用偏置构件的偏置力，使该开闭活塞于该阀体从该阀座远离的方向移动。

12.如权利要求10所述的回吸阀，其中该阀本体设有阀室，该阀室与该入口流路连通且通过连通路而与该回吸室连通，与阀体接近或远离的阀座形成于从该入口流路到该阀室的开口的周缘部，

该开闭阀部包含：开闭用驱动部框体、开闭活塞、开闭杆及开闭用偏置构件，该开闭用驱动部框体于内部形成开闭汽缸室，该开闭活塞收纳于该开闭汽缸室内而得以沿着该开闭汽缸室的内周面滑动，该开闭杆从该开闭活塞延伸而贯穿该开闭汽缸室的底部且突出至该阀室内，该开闭用偏置构件于使与该开闭杆的前端部连接的该阀体接近该阀座的方向偏置该开闭活塞，经由将驱动流体供给至该开闭汽缸室而抵抗该开闭用偏置构件的偏置力，使该开闭活塞于该阀体从该阀座远离的方向移动。