JP5883856B2 - スマートコントローラを備えたカスタマイズ可能な導出システム - Google Patents
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Description
−ユーザーが、圧縮エア式導出ポンプに関して、化学物質の粘度(FV)を入力する。
−ユーザーが、ポンプに対して流体連通可能に接続されたRFIDフィルタに関して、所望の濾過圧力の設定値(FP)を入力する。いくつかの場合においては、FPは、4psiに設定することができる。いくつかの場合においては、FPは、2psi〜10psiに設定することができる。
−ユーザーが、化学物質の濾過に関して、所望の濾過速度(FR)を入力する。FRは、0.2cc/sec〜1cc/secに設定することができ、いくつかの場合においては、これ以上に設定することができる。
−コントローラが、フィルタのRFIDタグから、フィルタ流速(FLR)を取得する。RFIDタグから提供された情報は、フィルタのタイプと、フィルタを通して流れている流体の現在の流速と、を備えることができる。
−コントローラは、ファームウェア内に格納された抵抗定数(FC)を有している。
−コントローラが、R=FC/FLRに基づいて、フィルタ抵抗(R)を計算する。
−この時点で、コントローラは、UFR=(R×FR×FV)+FPに基づいて、上流側の圧力(UFR)を計算するために必要なすべての情報を有している。UFPは、ユーザーによって所望とされた濾過速度を得るために必要とされる。
−コントローラは、UFPのために、第1ステージの流体圧力を設定し、FPのために、第2ステージの流体圧力を設定する。
−隔離バルブおよびバリアバルブを開放する。
−与えられた濾過速度でもって、濾過が起こる。
−濾過が完了した時点で、第1ステージの流体圧力を、FPからUFPへと引き上げる。
−引き上げられた圧力が、濾過の終了を知らせる。
105 フィードステージ部
110 導出ステージ部
112 圧力センサ
120 フィルタ
125 入口バルブ
130 隔離バルブ
135 バリアバルブ
140 パージバルブ
145 ベントバルブ
147 出口バルブ
150 フィードポンプ
180 導出ポンプ
Claims (25)
- モジュール式とされた、カスタマイズ可能な導出システムであって、
プリントパターン内における欠陥に敏感であるような半導体製造プロセスにおいて複数のポンプを制御し得るよう構成されたスマートコントローラであるとともに、前記複数のポンプが、少なくとも1つの圧縮エア式ポンプと、少なくとも1つのモータ駆動式ポンプと、を備えているような、スマートコントローラと;
前記スマートコントローラとトラックとを接続するためのおよび前記スマートコントローラと様々なデバイスとを接続するための複数のラインと;
を具備し、
前記様々なデバイスが、前記少なくとも1つの圧縮エア式ポンプのためのポンプヘッドと、前記少なくとも1つのモータ駆動式ポンプのためのポンプヘッドと、を含み、
前記スマートコントローラが、第1ポンプとの通信から第2ポンプとの通信へと前記複数のラインのうちの1つをスイッチングした時には、前記第2ポンプを自動的に認識して、前記第1ポンプに対応した第1制御スキームからのスイッチングにより、前記第2ポンプに対応した第2制御スキームを適用し得るよう構成されていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプが、圧縮エア式ポンプとされ、
前記第2ポンプが、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、圧縮エア式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スマートコントローラが、さらに、新たに接続されたポンプに対してのインターフェース接続時には、前記新たに接続されたポンプを自動的に認識して、前記新たに接続されたポンプに対応した制御スキームを適用し得るよう構成され、
前記新たに接続されたポンプが、モータ駆動式ポンプまたは圧縮エア式ポンプであることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スマートコントローラが、前記複数のポンプに関連した情報を格納しているオンボードデータベースを備えていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記様々なデバイスが、高周波認識タグを有したフィルタを備えていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記複数のポンプが、1つまたは複数の一体型ポンプを備え、
前記1つまたは複数の一体型ポンプの各々が、1つのユニットとして互いに物理的に組み合わされた2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプを備え、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、互いに独立に動作するものとされ、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、前記スマートコントローラによって互いに独立に制御されることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項8記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記1つまたは複数の一体型ポンプが、フィードポンプとして機能することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項8記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記1つまたは複数の一体型ポンプが、導出ポンプとして機能することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スイッチングが、前記第1ポンプの物理的な接続解除と前記第2ポンプの物理的な接続とに起因することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項1記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スイッチングが、前記スマートコントローラが受領した指示に起因することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - モジュール式とされた、カスタマイズ可能な導出システムであって、
半導体製造プロセスにおいて使用される化学物質を導入するための一組をなす複数のフィードポンプと;
前記化学物質を導出するための一組をなす複数の導出ポンプと;
前記一組をなす複数のフィードポンプと前記一組をなす複数の導出ポンプとを制御し得るよう構成されたスマートコントローラと;
を具備し、
前記一組をなす複数のフィードポンプおよび前記一組をなす複数の導出ポンプが、1つまたは複数の一体型ポンプを備え、
前記1つまたは複数の一体型ポンプの各々が、1つのユニットとして互いに物理的に組み合わされた2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプを備え、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、互いに独立に動作するものとされ、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、前記スマートコントローラによって互いに独立に制御され、
前記スマートコントローラが、第1ポンプとの通信から第2ポンプとの通信へと前記複数のラインのうちの1つをスイッチングした時には、前記第2ポンプを自動的に認識して、前記第1ポンプに対応した第1制御スキームからのスイッチングにより、前記第2ポンプに対応した第2制御スキームを適用し得るよう構成されていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項13記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプが、圧縮エア式ポンプとされ、
前記第2ポンプが、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項13記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項13記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、圧縮エア式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項13記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スマートコントローラが、さらに、新たに接続されたポンプに対してのインターフェース接続時には、前記新たに接続されたポンプを自動的に認識して、前記新たに接続されたポンプに対応した制御スキームを適用し得るよう構成され、
前記新たに接続されたポンプが、モータ駆動式ポンプまたは圧縮エア式ポンプであることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - カスタマイズ可能な導出システムであって、
半導体製造プロセスにおいて使用される化学物質を導入するための一組をなす複数のフィードポンプと;
前記化学物質を導出するための一組をなす複数の導出ポンプと;
前記一組をなす複数のフィードポンプと前記一組をなす複数の導出ポンプとを制御し得るよう構成されたスマートコントローラと;
を具備し、
前記一組をなす複数のフィードポンプおよび前記一組をなす複数の導出ポンプが、1つまたは複数の一体型ポンプを備え、
前記1つまたは複数の一体型ポンプの各々が、1つのユニットとして互いに物理的に組み合わされた2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプを備え、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、互いに独立に動作するものとされ、
前記ユニット内の前記2つまたはそれ以上の圧縮エア式ポンプが、前記スマートコントローラによって互いに独立に制御され、
前記スマートコントローラが、さらに、新たに接続されたポンプに対してのインターフェース接続時には、前記新たに接続されたポンプを自動的に認識して、前記新たに接続されたポンプに対応した制御スキームを適用し得るよう構成され、
前記新たに接続されたポンプが、モータ駆動式ポンプまたは圧縮エア式ポンプであることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項18記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スマートコントローラが、第1ポンプとの通信から第2ポンプとの通信へとスイッチングした時には、前記第2ポンプを自動的に認識して、前記第2ポンプに対応した制御スキームを適用し得るよう構成されていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項19記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプが、圧縮エア式ポンプとされ、
前記第2ポンプが、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項19記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、モータ駆動式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項19記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記第1ポンプと前記第2ポンプとの双方が、圧縮エア式ポンプとされていることを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項19記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スイッチングが、前記第1ポンプの物理的な接続解除と前記第2ポンプの物理的な接続とに起因することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 請求項19記載のカスタマイズ可能な導出システムにおいて、
前記スイッチングが、前記スマートコントローラが受領した指示に起因することを特徴とするカスタマイズ可能な導出システム。 - 濾過方法であって、
フィードポンプと導出ポンプとを備えた導出システムのコントローラにおいて、前記フィードポンプと前記導出ポンプとの間に位置したフィルタから上流側における流体の上流側圧力を決定し;
前記上流側圧力に対してフィードステージ流体圧力を設定し;
濾過圧力設定値に対して導出ステージ流体圧力を設定し;
フィードサイドから前記フィルタを介して導出サイドへと流体を流通させ得るようバルブを開放し、ここで、前記フィードステージ流体圧力と前記導出ステージ流体圧力とによって、前記フィルタを通しての圧力差を生成し、これにより、前記フィードサイドから前記フィルタを介して前記導出サイドへと流体を移動させ;
前記導出サイドにおける流体圧力の変化に基づいて、濾過の終点を決定する;
ことを特徴とする濾過方法。
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