CN109427622B - 泵装置及基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的泵装置具有泵室、活塞、马达和控制部。控制部参照喷出命令、理论信息和活塞的当前位置，确定假想终点。控制部参照校正坐标图，将假想终点校正为目标位置。控制部向马达输出用于使活塞从出发位置移动到目标位置的驱动命令。

Description

泵装置及基板处理装置

技术领域

本发明涉及喷出液体的泵装置以及处理基板的基板处理装置。基板例如是半导体晶片、液晶显示器用基板、有机EL(Electroluminescence：电致发光)用基板、FPD(FlatPanel Display：平板显示器)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜用基板、太阳能电池用基板等。

背景技术

日本特开2006-60251号公报公开了一种具有马达、泵、控制部和显示部的基板处理装置。马达用于驱动泵。马达是脉冲马达。泵喷出抗蚀剂。操作者向控制部输入泵的控制信息。控制信息例如是喷出时间和喷出速度。控制部基于控制信息控制马达。控制部利用驱动脉冲来控制马达。控制部基于控制信息计算抗蚀剂的喷出量。显示部显示由控制部计算出的抗蚀剂的喷出量。

操作者还向控制部输入抗蚀剂的喷出量的校正值。校正值是在每个规定驱动脉冲下的喷出量的实测值。该情况下，控制部用校正值对计算出的抗蚀剂的喷出量进行校正。操作者还向控制部输入抗蚀剂的目标喷出量。该情况下，控制部用校正值对控制信息所规定的喷出时间或喷出速度进行校正，使得实际喷出的喷出量等于被输入到控制部的抗蚀剂的目标喷出量。

发明内容

然而，在具有这种结构的现有例的情况下，存在如下的问题。

即，在每个规定驱动脉冲下的喷出量不一定的情况下，仅校正喷出时间或喷出速度，并不能恰当地调整抗蚀剂的喷出量。每个规定驱动脉冲下的喷出量不一定的情况是指，例如每个规定驱动脉冲下的喷出量随着脉冲数的增加而波动的情况。

本发明是鉴于这种情况而提出的，其目的在于提供一种能够高精度地调整液体喷出量的泵装置及基板处理装置。

为了达到上述目的，本发明采取如下的结构。

即，本发明是一种泵装置，用于喷出液体，具有：泵室，用于容纳液体，通过减小所述泵室内的容积将所述泵室内的液体向所述泵室外喷出，可动构件，被设置为能够移动，并用于改变所述泵室内的容积，致动器，与所述可动构件连接，并使所述可动构件移动，以及控制部，控制所述致动器；所述控制部进行如下的控制，即，参照喷出命令、理论信息以及所述可动构件的出发位置来确定假想终点，所述喷出命令包括关于目标喷出量的信息，所述目标喷出量是从所述泵室喷出的液体的喷出量的目标值，所述理论信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系的信息，参照校正信息，将所述假想终点校正为目标位置，所述校正信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系、和所述可动构件的位置与所述喷出量的实际关系之间的差别的信息，向所述致动器输出驱动命令，所述驱动命令使所述可动构件从所述出发位置移动到所述目标位置。

控制部利用喷出命令、理论信息和出发位置确定假想终点。控制部利用校正信息将假想终点校正为目标位置。控制部基于目标位置控制致动器。致动器使可动构件从出发位置移动到目标位置。随着可动构件的移动，泵室的内容积减小，泵室向泵室外喷出液体。

此处，目标位置并非假想终点本身，而是校正后的假想终点的位置。特别地，用于校正的校正信息是关于可动构件的位置与喷出量的理论关系、和可动构件的位置与喷出量的实际关系之间的差别的信息。因此，无论假想终点位于哪一位置，控制部都能确定恰当的目标位置。因此，能够使泵室实际喷出的液体的量适当地近似于喷出命令所规定的目标喷出量。即，通过泵装置，能够高精度地调整实际的喷出量。

优选，上述泵装置中，所述理论信息将所述可动构件从第一基准位置到达第一位置时的所述喷出量的理论值与所述第一位置建立对应关系，所述校正信息将理论位置与实际位置建立对应关系，所述可动构件从第二基准位置到达所述理论位置时的所述喷出量的所述理论值等于所述可动构件从所述第二基准位置到达与所述理论位置建立对应关系的所述实际位置时的所述喷出量的实际值。

理论信息将第一位置与喷出量的理论值建立对应关系。第一位置是可动构件从第一基准位置到达的位置。喷出量的理论值是可动构件从第一基准位置到达第一位置时的理论喷出量。由于理论信息是这样的结构，因此控制部能够利用理论信息适当地确定假想终点。

校正信息将理论位置与实际位置建立对应关系。此处，可动构件从第二基准位置到达理论位置时的喷出量的理论值等于可动构件从第二基准位置到达实际位置时的喷出量的实际值。换言之，校正信息中的理论位置是为了喷出任意喷出量(例如，第一量)的液体，可动构件从第二基准位置应到达的理论位置。校正信息中的实际位置是为了喷出与任意喷出量等量(例如，第一量)的液体，可动构件从第二基准位置应到达的实际位置。由于校正信息是这样的结构，因此控制部能够利用校正信息将假想终点适当地校正为目标位置。

优选，上述泵装置中，所述出发位置是所述可动构件的当前位置，所述控制部进行如下的控制，即，参照所述校正信息，将所述可动构件的所述当前位置校正为假想起点，参照所述喷出命令、所述理论信息以及所述假想起点，确定所述假想终点。

控制部利用校正信息将当前位置校正为假想起点。控制部确定以假想起点为基准的假想终点。由此，控制部能够适当地确定从当前位置出发的可动构件的目标位置。因此，无论可动构件的当前位置是哪一位置，能够将可动构件的当前位置作为出发位置。

优选，上述泵装置中，所述控制部进行如下的控制，即，将所述校正信息中与等同于所述可动构件的所述当前位置的所述实际位置建立对应关系的所述理论位置确定为所述假想起点，将所述理论信息中与等同于所述假想起点的所述第一位置建立对应关系的所述喷出量的所述理论值确定为初始喷出量，确定合计量，所述合计量是所述初始喷出量与所述目标喷出量的和，将所述理论信息中与等同于所述合计量的所述喷出量的所述理论值建立对应关系的所述第一位置确定为所述假想终点，将所述校正信息中与等同于所述假想终点的所述理论位置建立对应关系的所述实际位置确定为所述目标位置。

控制部进行上述处理，由此控制部能够适当地确定假想起点、假想终点以及目标位置。

优选，上述泵具有传感器，所述传感器用于检测所述致动器的驱动量和所述可动构件的位置中的至少一者，所述控制部基于所述传感器的检测结果，确定所述可动构件的所述当前位置。

由于泵装置具有传感器，因此控制部能够适当地确定可动构件的实际位置。因此，控制部能够适当地确定可动构件的当前位置。

优选，上述泵装置中，所述控制部根据用于对所述校正信息所包括的所述理论位置以及所述实际位置进行插值的直线或曲线，推定所述假想终点和所述目标位置中的至少一者。

通过对校正信息进行插值，能够高精度地推定等同于假想终点的理论位置。此外，能够高精度地推定与被推定为等同于假想终点的理论位置建立对应关系的实际位置。控制部将推定出的实际位置视为目标位置。因此，即使假设在校正信息不包括等同于假想终点的理论位置的情况下，也能够适当地确定目标位置。

优选，上述泵装置中，所述喷出命令包括关于目标流量的信息，所述目标流量是从所述泵室喷出的液体的流量的目标值；所述控制部进行如下的控制，即，参照所述理论信息，将为了以所述目标流量从所述泵室喷出液体的所述可动构件的理论移动速度确定为理论速度，参照所述校正信息，将所述理论速度校正为修正速度，向所述致动器输出用于使所述可动构件以所述修正速度移动的驱动命令。

控制部利用喷出命令与理论信息确定理论速度。控制部利用校正信息将理论速度校正为修正速度。控制部基于修正速度控制致动器。具体而言，驱动命令包括用于使可动构件以修正速度移动的命令。致动器使可动构件以修正速度移动。泵室按照与修正速度对应的流量喷出液体。

此处，修正速度并非理论速度本身，而是校正后的理论速度。特别地，用于校正的校正信息是关于可动构件的位置与喷出量的理论关系、和可动构件的位置与喷出量的实际关系之间的差别的信息。因此，能够使泵室实际喷出的液体的流量适当地近似于目标流量。即，能够高精度地调整泵室喷出的液体的流量。

优选，上述泵装置中，所述控制部：参照所述校正信息，确定所述出发位置与所述目标位置之间所包括的多个区间，参照所述校正信息，将所述理论速度校正为各个所述区间中的所述修正速度，向所述致动器输出用于使所述可动构件以各个所述区间中的所述修正速度在各个所述区间内移动的驱动命令。

控制部确定多个区间。控制部对每个区间校正理论速度。由此，控制部确定各区间中的修正速度。控制部基于各区间中的修正速度控制致动器。具体而言，驱动命令包括用于使可动构件在各区间内以各区间中的所述修正速度移动的命令。如此，控制部能够十分细致地设定可动构件的移动速度。因此，能够使泵室实际喷出的液体的流量更近似于目标流量。即，能够进一步高精度地调整泵室实际喷出的液体的流量。

优选，上述泵装置中，所述校正信息包括一个中间实际位置，所述中间实际位置是位于所述出发位置与所述目标位置之间的所述实际位置；多个所述区间包括：从所述出发位置至所述中间实际位置的第一区间，和从所述中间实际位置至所述目标位置的第二区间。

控制部能够利用中间实际位置，适当地确定出发位置与目标位置之间所包括的两个区间(具体而言是第一区间与第二区间)。

优选，上述泵装置中，所述校正信息包括一个中间理论位置，所述中间理论位置是与所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；所述控制部进行如下的控制，即，参照所述校正信息，将所述可动构件的所述当前位置校正为假想起点，确定从所述假想起点至所述中间理论位置的假想第一区间，确定从所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第一修正速度，通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第二修正速度，向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

通过控制部进行上述的处理，能够分别适当地确定两个区间中的修正速度。具体而言，控制部能够分别适当地确定第一区间中的第一修正速度与第二区间中的第二修正速度。控制部基于第一修正速度与第二修正速度控制致动器。具体而言，驱动命令包括用于使可动构件在第一区间内以第一修正速度移动的命令、以及用于使可动构件在第二区间内以第二修正速度移动的命令。

优选，上述泵装置中，所述校正信息包括多个中间实际位置，多个所述中间实际位置是位于所述出发位置与所述目标位置之间的所述实际位置；多个所述区间包括：从所述出发位置至最接近所述出发位置的所述中间实际位置的第一区间，邻接的两个所述中间实际位置之间的中间区间，和从最接近所述目标位置的所述中间实际位置至所述目标位置的第二区间。

控制部能够利用多个中间实际位置，适当地确定出发位置与目标位置之间所包括的三个以上的区间。具体而言，控制部能够适当地确定一个第一区间、一个第二区间以及一个以上的中间区间。

优选，上述泵装置中，所述校正信息包括多个中间理论位置，多个所述中间理论位置是与各个所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；所述控制部进行如下的控制，即，参照所述校正信息，将所述可动构件的所述当前位置校正为假想起点，确定从所述假想起点至最接近所述假想起点的所述中间理论位置的假想第一区间，确定邻接的两个所述中间理论位置之间的假想中间区间，确定从最接近所述假想终点的所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第一修正速度，通过将所述中间区间的距离除以所述假想中间区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算中间修正速度，通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第二修正速度，向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述中间区间内以所述中间修正速度移动的驱动命令，向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

通过控制部进行上述的处理，能够分别适当地确定三个以上的区间中的修正速度。具体而言，控制部能够分别适当地确定第一区间中的第一修正速度、第二区间中的第二修正速度以及中间区间中的中间修正速度。控制部基于第一修正速度、第二修正速度以及中间修正速度来控制致动器。具体而言，驱动命令包括用于使可动构件在第一区间内以第一修正速度移动的命令、用于使可动构件在中间区间内以中间修正速度移动的命令、以及用于使可动构件在第二区间内以第二修正速度移动的命令。

优选，上述泵装置中，所述控制部具有存储部，所述存储部存储所述理论信息和所述校正信息。

由于控制部具有存储部，因此控制部能够时常参照理论信息与校正信息。因此，控制部能够连贯地确定目标位置。

优选，上述泵装置中，所述控制部从所述泵装置的外部设备接收所述喷出命令，所述喷出命令不包括关于所述可动构件的所述出发位置、所述可动构件的当前位置、以及所述可动构件的所述目标位置的信息。

喷出命令不包括关于可动构件的出发位置、当前位置以及目标位置的信息。因此，喷出命令简洁。因此，外部设备能够用简洁的命令控制泵装置。

此外，本发明是一种基板处理装置，用于对基板进行处理，所述基板处理装置具有：保持部，保持基板，喷嘴，向被所述保持部保持的基板供给处理液，以及泵装置，与所述喷嘴连通连接。所述泵装置具有：泵室，用于容纳处理液，通过减小所述泵室内的容积将所述泵室内的处理液向所述喷嘴喷出，可动构件，被设置为能够移动，并用于从而改变所述泵室内的容积，致动器，与所述可动构件连接，并使所述可动构件移动，以及控制部，控制所述致动器。所述控制部进行如下的控制，即，参照喷出命令、理论信息以及所述可动构件的出发位置，确定假想终点，所述喷出命令包括关于目标喷出量的信息，所述目标喷出量是从所述泵室喷出的处理液的喷出量的目标值，所述理论信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系的信息，参照校正信息，将所述假想终点校正为目标位置，所述校正信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系、和所述可动构件的位置与所述喷出量的实际关系之间的差别的信息，向所述致动器输出驱动命令，所述驱动命令使所述可动构件从所述出发位置移动到所述目标位置。

基板处理装置具有泵装置。泵装置向喷嘴输送从泵室喷出的处理液。处理液是用于处理基板的液体。泵装置能够使实际的喷出量适当地近似于喷出命令所规定的目标喷出量。即，泵装置能够高精度地调整向喷嘴供给的处理液的量。因此，能够高精度地调整喷嘴向基板供给的处理液的量。具体而言，能够使喷嘴向基板供给的处理液的量适当地近似于目标喷出量。即，能够高精度地调整向基板供给的处理液的量。因此，能够适当地提高对基板进行的处理的品质。

另外，本说明书也公开了如下的泵装置的发明。

(1)上述泵装置中，所述出发位置是预先决定的位置，假想起点是所述校正信息中与实际位置建立对应关系的理论位置，所述实际位置等同于所述出发位置，所述控制部参照所述目标喷出量、所述理论信息和所述假想起点，确定所述假想终点。

在可动构件的出发位置是预先决定的位置，并且假想起点是校正信息中与等同于出发位置的实际位置建立对应关系的理论位置的情况下，假想起点也是预先决定的位置。即，假想起点是已知的。该情况下，控制部不确定假想起点，而是确定假想终点。即，控制部能够省略用于确定假想起点的处理。由此，能够简化控制部的处理。

(2)上述泵装置中，

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述校正信息，确定所述出发位置与所述目标位置之间所包括的多个区间，

参照所述校正信息，确定由与所述实际位置建立对应关系的所述理论位置规定的假想区间，所述实际位置等同于各个所述区间的两端的位置，

参照所述理论信息与所述喷出命令，分别确定各个所述假想区间中的所述可动构件的所述理论速度，

参照所述校正信息，将各个所述假想区间中的所述理论速度校正为各个所述区间中的所述修正速度。

控制部确定多个区间。控制部确定多个假想区间。控制部确定各假想区间中的理论速度。控制部校正各假想区间中的理论速度。由此，控制部确定各区间中的修正速度。如此，控制部能够更细致地设定可动构件的移动速度。因此，能够使泵室实际喷出的液体的流量更适当地近似于目标流量。

(3)上述泵装置中，

所述校正信息包括一个中间理论位置，所述中间理论位置是与所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；

所述控制部进行如下的控制，即，

确定从所述假想起点至所述中间理论位置的假想第一区间，

确定从所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，

参照所述理论信息与所述喷出命令，确定第一理论速度，所述第一理论速度是所述假想第一区间中的所述理论速度，

参照所述理论信息与所述喷出命令，确定第二理论速度，所述第二理论速度是所述假想第二区间中的所述理论速度，

通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述第一理论速度，计算第一修正速度，

通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述第二理论速度，计算第二修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

控制部确定两个假想区间(具体而言是假想第一区间与假想第二区间)。控制部分别确定两个假想区间中的理论速度(具体而言是第一理论速度与第二理论速度)。控制部分别校正两个假想区间中的理论速度，并分别确定两个区间中的修正速度(具体而言是第一修正速度与第二修正速度)。由此，控制部能够更细致地设定可动构件的移动速度。

(4)上述泵装置中，

所述校正信息包括多个中间理论位置，多个所述中间理论位置是与各个所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；

所述控制部进行如下的控制，即，

确定从所述假想起点至最接近所述假想起点的所述中间理论位置的假想第一区间，

确定邻接的两个所述中间理论位置之间的假想中间区间，

确定从最接近所述假想终点的所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，

参照所述理论信息与所述喷出命令，确定第一理论速度，所述第一理论速度是所述假想第一区间中的所述理论速度，

参照所述理论信息与所述喷出命令，确定中间理论速度，所述中间理论速度是所述假想中间区间中的所述理论速度，

参照所述理论信息与所述喷出命令，确定第二理论速度，所述第二理论速度是所述假想第二区间中的所述理论速度，

通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述第一理论速度，计算第一修正速度，

通过将所述中间区间的距离除以所述假想中间区间的距离得到的值再乘以所述中间理论速度，计算中间修正速度，

通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述第二理论速度，计算第二修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述中间区间内以所述中间修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

控制部确定三个以上的假想区间(具体而言是一个假想第一区间、一个假想第二区间和一个以上的假想中间区间)。控制部分别确定三个以上的假想区间中的理论速度(具体而言是一个第一理论速度、一个第二理论速度和一个以上的中间理论速度)。控制部分别校正三个以上的假想区间中的理论速度。由此，控制部分别确定三个以上的区间中的修正速度(具体而言是一个第一修正速度、一个第二修正速度和一个以上的中间修正速度)。如此，控制部能够更细致地设定可动构件的移动速度。

(5)上述泵装置中，具有可动间隔壁构件，所述可动间隔壁构件划分所述泵室的至少一部分，并且可因所述可动构件的移动而变形。

泵装置具有可动间隔壁构件。因此，能够通过用致动器使可动构件移动，来适当地改变泵室内的容积。

(6)上述泵装置中，所述可动间隔壁构件是隔膜(Diaphragm)、球管隔栅(Tubephragm)以及波纹管(Bellows)中的至少一种。

由此，能够适当地实现可动间隔壁构件。

附图说明

应当理解的是，尽管为了说明本发明而图示了目前认为是优选方案的若干实施方式，但是并不意味着本发明限于所示的结构和方案。

图1是示出实施方式的基板处理装置的概略结构的图。

图2是示意性地举例示出理论信息的图。

图3是示意性地举例示出校正信息的图。

图4是示出泵装置的动作流程的图。

图5是示意性示出用于确定目标位置的处理的图。

图6是示意性示出用于对校正信息进行插值的直线的图。

图7是示意性示出变形实施方式中的校正信息的图。

其中，附图标记说明如下：

1 基板处理装置

3 保持部

7 喷嘴

15 泵装置

21 泵室

23 隔膜(可动间隔壁构件)

25 活塞(可动构件)

27 马达

29 编码器(传感器)

31 控制部

32 存储部

33 运算部

34 驱动电路

A 理论信息

B 校正信息

C 喷出命令

Q 当前位置

q 假想起点

R 目标位置

r 假想终点

W 基板

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

图1是示出实施方式的基板处理装置的概略结构的图。实施方式的基板处理装置1是进行向基板(例如，半导体晶片)W供给处理液的处理的装置。

1.基板处理装置1的概要

基板处理装置1具有保持部3和旋转马达5。保持部3将基板W保持为大致水平。保持部3例如吸附保持基板W的背面(下表面)。旋转马达5连结到保持部3的底部中央。旋转马达5使保持部3以大致铅直的轴为中心旋转。由此，被保持部3保持的基板W以大致铅直的轴为中心旋转。

基板处理装置1具有喷嘴7和罩9。喷嘴7被设置为能够移动到位于保持部3上方的喷出位置。喷嘴7向被保持部3保持的基板W喷出处理液。罩9被设置为包围保持部3的侧方。罩9接住并回收从基板W飞散的处理液。

基板处理装置1具有管道11和处理液供给源13。管道11具有与喷嘴7连通连接的第一端。管道11还具有与处理液供给源13连通连接的第二端。处理液供给源13例如是贮存处理液的处理液槽。处理液例如是抗蚀剂膜材料或各种涂膜材料、药液、稀释剂、纯水。处理液供给源13的处理液通过管道11内从处理液供给源13流到喷嘴7。

基板处理装置1具有泵装置15。泵装置15设置在管道11上。泵装置15吸入从处理液供给源13供给的处理液，并将吸入的处理液输送给喷嘴7。处理液是本发明中的液体的一例。

此处，将泵装置15的上游侧的管道11称为“一级侧管道11a”，将泵装置15的下游侧的管道11称为“二级侧管道11b”。一级侧管道11a具有连通连接到泵装置15的第一端以及连接到处理液供给源13的第二端。二级侧管道11b具有连通连接到泵装置15的第一端以及连接到喷嘴7的第二端。

基板处理装置1具有开闭阀17、18。开闭阀17设置在一级侧管道11a上。开闭阀17开闭一级侧管道11a内的处理液的流路。开闭阀18设置在二级侧管道11b上。开闭阀18开闭二级侧管道11b内的处理液的流路。

2.泵装置15的结构

泵装置15具有泵室21。泵室21具有内部空间。内部空间例如呈现圆筒形状。泵室21在该内部空间内容纳处理液。泵室21连通连接到一级侧管道11a及二级侧管道11b。

泵室21被箱体22和隔膜23划分。箱体22呈现圆筒形状。箱体22具有形成开口的一个端部。箱体22不能变形。更具体而言，箱体22不会由于后述的活塞25的移动而变形。箱体22与一级侧管道11a及二级侧管道11b连接。隔膜23安装在箱体22的一个端部，并封闭箱体22的开口。由此，泵室21被封闭。隔膜23可以变形。更具体而言，隔膜23会由于后述的活塞25的移动而变形。隔膜23的材质例如是合成树脂。隔膜23变形导致泵室21内的容积改变。泵室21内的容积减小导致泵室21向泵室21外(二级侧管道11b)喷出泵室21内的处理液。泵室21内的容积增加导致泵室21将处理液从泵室21外(一级侧管道11a)吸入泵室21内。隔膜23是本发明中的可动间隔壁构件的一例。

以下，将从泵室21喷出的处理液的量适宜地称为“喷出量”。

泵装置15具有活塞25和马达27。活塞25具有连结到马达27的第一端。马达27使活塞25移动。如此，活塞25被设置为能够移动。活塞25是本发明中的可动构件的一例。

马达27与活塞25经由将马达27的旋转运动变换为活塞25的直线运动的未图示的机构进行连结。当马达27正转及反转时，活塞25相对于马达27做往复直线移动。图1举例示出了活塞25移动的方向D1、D2。活塞25的移动距离与马达27的旋转量(角度)成正比。活塞25的移动速度与马达27的旋转速度成正比。

马达27是步进马达。马达27被脉冲(电脉冲信号)驱动。马达27的旋转量以及活塞25的移动量与脉冲数成正比。马达27的旋转速度以及活塞25的移动速度与脉冲频率(PulseRate：脉冲的频率)成正比。马达27是本发明中的致动器的一例。

活塞25具有安装在隔膜23的外表面上的第二端。活塞25与隔膜23连接。隔膜23因活塞25相对于泵室21移动而变形，泵室21内的容积变化。当活塞25向方向D1移动时，活塞25接近泵室21，泵室21内的容积减小。当活塞向方向D2移动时，活塞25离开泵室21，泵室21内的容积增加。

泵装置15具有编码器29。编码器29安装于马达27。编码器29检测马达27的旋转量。编码器29是本发明中的传感器的一例。

泵装置15具有控制部31。控制部31与马达27及编码器29电连接。控制部31控制马达27。控制部31接收编码器29的检测结果。

此外，控制部31与泵装置15的外部设备(未图示)可通信地连接。外部设备例如是用于控制泵装置15的上级控制部、以及由用户操作的输入部中的至少一种。控制部31从外部设备接收喷出命令C。喷出命令C包括关于目标喷出量的信息以及关于目标流量的信息。目标喷出量是喷出量的目标值。目标流量是从泵室21喷出的处理液流量的目标值。

控制部31具有存储部32、运算部33和驱动电路34。存储部32存储有理论信息A和校正信息B。运算部33参照在存储部32中存储的理论信息A与校正信息B来处理喷出命令C。驱动电路34向马达27输出与运算部33的处理结果对应的驱动命令(脉冲)。

理论信息A是关于活塞25的位置以及喷出量的理论关系的信息。

例如，理论信息A将第一位置与喷出量的理论值建立对应关系。第一位置是活塞25从第一基准位置到达的位置。喷出量的理论值是理论上的喷出量。具体而言，喷出量的理论值是活塞25从第一基准位置到达第一位置时的理论上的喷出量。如上所述，理论信息A是以第一基准位置为基准的信息。第一位置是活塞25的理论位置。

图2是示意性地举例示出理论信息的图。图2所示的理论信息A是以基于脉冲数的第一位置[pls]为横轴、以喷出量的理论值[cc]为纵轴的坐标图。脉冲数[pls]是表示活塞25的位置的指标。图2的理论信息A中，第一基准位置是0[pls]。即，第一基准位置上的喷出量的理论值是0[cc]。具体而言，当第一位置等同于第一基准位置时，喷出量的理论值是0[cc]。图2的理论信息A中，例如，第一位置100[pls]与喷出量的理论值1[cc]建立对应关系。这意味着当活塞25从第一基准位置(0[pls])到达100[pls]的第一位置时，喷出量的理论值是1[cc]。

理论信息A例如是表示活塞25的位置与喷出量的关系的规格、理论数据、设计数据。

校正信息B是关于活塞25的位置与喷出量的理论关系、和活塞25的位置与喷出量的实际关系之间的差别的信息。

例如，校正信息B将理论位置与实际位置建立对应关系。此处，校正信息B中的理论位置与实际位置具有以下的关系。当活塞25从第二基准位置到达理论位置时的喷出量的理论值等同于当活塞25从第二基准位置到达与理论位置对应的实际位置时的喷出量的实际值。换言之，校正信息B中的理论位置是指为了喷出任意喷出量(例如，第一量)的处理液，活塞25从第二基准位置在理论上应到达的位置。校正信息B中的实际位置是指为了喷出与任意喷出量等量(例如，第一量)的处理液，活塞25从第二基准位置在实际上应到达的位置。如上所述，校正信息B是以第二基准位置为基准的信息。理论位置是活塞25在理论上的位置。理论位置与喷出量的理论值之间的关系等同于理论信息A中规定的第一位置与喷出量的理论值之间的关系。第一位置与理论位置本质上相同。本说明书中，为了与校正信息B中的理论位置进行区分，将理论信息A中的位置称为“第一位置”。实际位置是活塞25实际上的位置。实际位置例如是活塞25的位置的实测值或者活塞25的位置的实验值。喷出量的实际值是实际的喷出量。喷出量的实际值例如是喷出量的实测值或者喷出量的实验值。

图3是示意性举例示出校正信息的图。图3所示的校正信息B是将理论位置与实际位置建立对应关系的表格。校正信息B包括7个相互建立对应关系的理论位置及实际位置的配对。方便起见，图3示出配对序号0、1、2、…、6。理论位置及实际位置分别由脉冲数[pls]进行标示。作为参考，图3示出了喷出量。图3所示的喷出量是指喷出量的理论值及喷出量的实际值这两者。图3的校正信息B中，第二基准位置是0[pls]。即，第二基准位置上的喷出量是0[cc]。具体而言，当理论位置等同于第二基准位置时，喷出量的理论值是0[cc]，并且当实际位置等同于第二基准位置时，喷出量的实际值是0[cc]。如此，第二基准位置与理论信息A的第一基准位置相同。

图3的校正信息B的配对序号“1”将理论位置50[pls]与实际位置25[pls]建立对应关系。这意味着当活塞25从第二基准位置(0[pls])移动到理论位置50[pls]时的喷出量的理论值(0.5[cc])等于当活塞25从第二基准位置移动到实际位置25[pls]时的喷出量的实际值(0.5[cc])。

另外，当活塞25从第二基准位置移动到理论位置时的喷出量的理论值由理论信息A确定。活塞25从第二基准位置到达的实际位置、以及活塞25从第二基准位置到达实际位置时的喷出量的实际值由实验等测定。因此，基于以下两个信息来生成校正信息B。

1.理论信息A

2.活塞25的位置与喷出量的实际的关系

校正信息B中包括的理论位置与理论信息A中包括的第一位置相比也可以是离散的。校正信息B中包括的理论位置的范围可以小于理论信息A中包括的第一位置的范围。

控制部31例如由执行各种处理的处理器(例如，中央运算处理装置(CPU))、作为运算处理的作业区域的RAM(Random-Access Memory：随机存取存储器)、存储各种信息的半导体存储器实现。

3.泵装置15的动作例

图4是示出泵装置15的动作流程的图。

步骤S1接收喷出命令

控制部31从未图示的外部设备接收喷出命令C。喷出命令C包括关于目标喷出量的信息以及关于目标流量的信息。

步骤S2确定当前位置

运算部33基于编码器29的检测结果，确定活塞25的当前位置。当前位置例如是在运算部33进行本步骤S2的处理的时刻的活塞25的位置。或者，当前位置例如是在泵装置15(泵室21)完成处理液的吸入动作的时刻的活塞25的位置。当前位置例如是在泵装置15(泵室21)完成处理液的吸入动作后且泵装置15(泵室21)开始处理液的喷出动作前的时刻的活塞25的位置。如后所述，控制部31将活塞25的当前位置作为活塞25的出发位置。

步骤S3确定假想起点

运算部33参照在存储部32中存储的校正信息B，将活塞25的当前位置校正为假想起点。具体而言，运算部33将校正信息B中与等同于活塞25的当前位置的实际位置建立对应关系的理论位置确定为假想起点。换言之，控制部31将当前位置视为校正信息B中的实际位置，利用校正信息B将实际位置变换为理论位置，并将变换后的理论位置决定为假想起点。

此处，举例示出在以下所示的处理条件1下运算部33进行的处理。

(处理条件1)

目标喷出量：2.25[cc]

目标流量：1[cc/sec]

活塞25的当前位置Q：25[pls]

理论信息A：图2所示的坐标图

校正信息B：图3所示的表格

图5是示意性地示出在处理条件1下确定目标位置的处理的图。图5上部的图是绘制出图3所示的校正信息B的坐标图。以下，将图5上部的坐标图称为“校正坐标图Bg”。校正坐标图Bg的横轴是理论位置，校正坐标图Bg的纵轴是实际位置。校正坐标图Bg中对点P标注的数字0、1、…、6表示校正信息B中的配对序号。例如，点P1是配对序号1中的理论位置及实际位置的坐标。图5下部的图是与图2相同的理论信息A。

参照图3及图5。处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定假想起点q。由于活塞25的当前位置Q是25[pls]，因此等同于活塞25的当前位置Q的实际位置是25[pls]。校正信息B中与实际位置25[pls]建立对应关系的理论位置是50[pls]。因此，50[pls]是假想起点q。校正坐标图Bg中的符号a示意性示出用于确定假想起点q的处理。

步骤S4确定假想终点

运算部33参照喷出命令C、理论信息A和假想起点来确定假想终点。具体而言，运算部33将与等同于理论信息A中假想起点的位置建立对应关系的喷出量的理论值确定为初始喷出量。运算部33确定作为初始喷出量与目标喷出量之和的合计量。控制部31将与等同于理论信息A中合计量的喷出量的理论值建立对应关系的第一位置确定为假想终点。

参照图3及图5。处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定假想终点r。由于假想起点q是50[pls]，因此等同于假想起点q的第一位置是50[pls]。理论信息A中与第一位置50[pls]建立对应关系的喷出量的理论值是0.5[cc]。因此，0.5[cc]是初始喷出量。图5的理论信息A中的附图标记b示意性示出用于确定初始喷出量的处理。

喷出命令C所规定的目标喷出量是2.25[cc]。因此，初始喷出量与目标喷出量的合计量是2.75[cc]。图5的理论信息A中的附图标记c示意性示出用于确定合计量的处理。

理论信息A中，与等同于合计量的喷出量的理论值建立对应关系的第一位置是275[pls]。因此，275[pls]是假想终点r。图5的理论信息A中的附图标记d示意性示出用于确定假想终点r的处理。

步骤S5确定目标位置

运算部33参照校正信息B，将假想终点校正为目标位置。具体而言，将校正信息B中与等同于假想终点的理论位置建立对应关系的实际位置确定为目标位置。换言之，控制部31利用校正信息B，将假想终点逆变换为目标位置。

参照图3及图5。处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定目标位置R。由于假想终点r是275[pls]，因此等同于假想终点r的理论位置是275[pls]。校正信息B中与理论位置275[pls]建立对应关系的实际位置是200[pls]。因此，200[pls]是目标位置R。校正坐标图Bg中的附图标记e示意性示出用于确定目标位置R的处理。

步骤S6确定区间

运算部33参照校正信息B，确定当前位置与目标位置之间所包括的区间。各区间互不重合。校正信息B包括位于当前位置与目标位置之间的实际位置。换言之，校正信息B包括比当前位置大并且比目标位置小的实际位置。根据校正信息B中位于当前位置与目标位置之间的实际位置划分区间。以下，恰当地将位于当前位置与目标位置之间的实际位置称为“中间实际位置”。

处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定区间。由于当前位置Q是25[pls]，并且目标位置R是200[pls]，因此校正信息B中包括的实际位置50[pls]、120[pls]分别是中间实际位置。即，校正信息B包括两个中间实际位置50[pls]、120[pls]。最接近当前位置Q的中间实际位置是50[pls]。最接近目标位置R的中间实际位置是120[pls]。因此，从当前位置Q至目标位置R之间所包括的区间是以下三个。

·第一区间：当前位置Q(25[pls])～中间实际位置(50[pls])

·中间区间：中间实际位置(50[pls])～中间实际位置(120[pls])

·第二区间：中间实际位置(120[pls])～目标位置R(200[pls])

步骤S7确定假想区间

运算部33参照校正信息B，确定与各区间对应的假想区间。换言之，控制部31利用校正信息B，将各区间变换为假想区间。各假想区间被包括在假想起点与假想终点之间。各假想区间是由与等同于各区间的两端的位置的实际位置建立对应关系的理论位置来规定的。根据校正信息B中与中间实际位置建立对应关系的理论位置划分各假想区间。以下，恰当地将与中间实际位置建立对应关系的理论位置称为“中间理论位置”。

处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定假想区间。假想起点q是50[pls]。假想终点r是275[pls]。校正信息B中与中间实际位置50[pls]建立对应关系的中间理论位置是100[pls]。校正信息B中与中间实际位置120[pls]建立对应关系的中间理论位置是200[pls]。最接近假想起点q的中间理论位置是100[pls]。最接近假想终点r的中间理论位置是200[pls]。因此，假想区间是以下三个。

·假想第一区间：假想起点q(50[pls])～中间理论位置(100[pls])

·假想中间区间：中间理论位置(100[pls])～中间理论位置(200[pls])

·假想第二区间：中间理论位置(200[pls])～假想终点r(275[pls])

此处，假想第一区间对应于第一区间。假想中间区间对应于中间区间。假想第二区间对应于第二区间。

步骤S8确定理论速度

运算部33参照理论信息A来确定理论速度。理论速度是活塞25的理论移动速度，该活塞25用于按照目标流量喷出处理液。即，运算部33参照理论信息A，将用于按照目标流量喷出处理液的活塞25的理论移动速度确定为理论速度。

处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定理论速度。喷出命令C所规定的目标流量是1[cc/sec]。理论信息A中，喷出量的理论值正比于第一基准位置与第一位置的差。第一基准位置与第一位置的差相当于活塞25的移动距离。因此，理论信息A中，喷出量的理论值与活塞25的移动距离成正比。具体而言，活塞25的移动距离每增加100[pls]，喷出量的理论值就增加1[cc]。因此，活塞25的理论速度在任一假想区间中均为100[pls/sec]。此处，脉冲频率[pls/sec]是表示活塞25的速度的指标。

步骤S9确定修正速度

运算部33参照校正信息B，将理论速度校正为修正速度。具体而言，控制部31对每个区间进行理论速度的校正。由此，控制部31确定各区间中的修正速度。各区间中的修正速度等于各区间的距离除以与各区间对应的假想区间的距离、再乘以理论速度的值。此处，区间距离是区间的第一端的位置与区间的第二端的位置之差。假想区间的距离是假想区间的第一端的位置与假想区间的第二端的位置之差。

处理条件1下，运算部33按照以下的流程确定修正速度。分别将上述的第一区间、中间区间以及第二区间中的修正速度称为“第一修正速度”、“中间修正速度”以及“第二修正速度”。

第一修正速度通过下式来计算。

第一修正速度＝理论速度×(第一区间的距离)÷(假想第一区间的距离)

＝100×(50-25)÷(100-50)

＝50[pls/sec]

中间修正速度通过下式来计算。

中间修正速度＝理论速度×(中间区间的距离)÷(假想中间区间的距离)

＝100×(120-50)÷(200-100)

＝70[pls/sec]

第二修正速度通过下式来计算。

第二修正速度＝理论速度×(第二区间的距离)÷(假想第二区间的距离)

＝100×(200-120)÷(275-200)

＝107[pls/sec]

步骤S10输出驱动命令

运算部33将确定的目标位置及修正速度传输给驱动电路34。驱动电路34向马达27输出与目标位置及修正速度对应的驱动命令。具体而言，驱动命令是用于使活塞25从当前位置移动到目标位置的命令。此外，驱动命令是用于使活塞25以修正速度移动的命令。更具体而言，驱动命令是用于使活塞25在各区间内以与各区间对应的修正速度移动的命令。

处理条件1下，驱动电路34向马达27输出以下三个驱动命令。

·用于使活塞25在第一区间内(即，当前位置Q(25[pls])～中间实际位置(50[pls]))以第一修正速度(50[pls/sec])移动的驱动命令

·用于使活塞25在中间区间内(即，中间实际位置(50[pls])～中间实际位置(120[pls]))以中间修正速度(70[pls/sec])移动的驱动命令

·用于使活塞25在第二区间内(即，中间实际位置(120[pls])～目标位置R(200[pls]))以第二修正速度(107[pls/sec])移动的驱动命令

步骤S11喷出处理液

马达27按照驱动命令使活塞25移动。活塞25的出发位置是当前位置。活塞25以修正速度从当前位置移动到目标位置。活塞25的移动导致泵室21内的容积减小，泵室21向泵室21外喷出泵室21内的处理液。泵室21喷出与活塞25的移动距离(即，当前位置至目标位置的距离)对应的量的处理液。泵室21按照与活塞25的移动速度对应的流量喷出处理液。

4.基板处理装置1的动作例

下面，简单说明基板处理装置1对基板W进行液体处理的动作。保持部3保持基板W。喷嘴7移动到喷出位置。关闭开闭阀17。打开开闭阀18。控制部31按照一个喷出命令C控制马达27。由此，活塞25移动，泵室21向二级侧管道11b喷出处理液。二级侧管道11b将处理液输送给喷嘴7。喷嘴7向被保持部3保持的基板W供给处理液。在喷嘴7向基板W供给处理液时，旋转马达5可以使基板W旋转。

在活塞25到达目标位置后，活塞25静止。泵装置15停止喷出处理液，喷嘴7停止供给处理液。由此，泵装置15完成与一个喷出命令C对应的处理液的喷出动作。

接着，泵装置15进行处理液的吸入动作。具体而言，打开开闭阀17，并关闭开闭阀18。活塞25从泵室21后退。泵室21内的容积增加，泵室21从一级侧管道11a吸入处理液。

在泵装置15完成处理液的吸入动作后，关闭开闭阀17，并打开开闭阀18。泵装置15开始按照下一喷出命令C的动作。

4.本实施方式的效果

泵装置15具有控制部31。控制部31参照喷出命令C、理论信息A和当前位置，确定假想终点。控制部31利用校正信息B将假想终点校正为目标位置。此处，校正信息B是关于活塞25的位置与喷出量的理论关系、和活塞25的位置与喷出量的实际关系之间的差别的信息。因此，无论在将假想终点决定为哪一位置的情况下，都能够确定适当的目标位置。因此，能够使泵室21实际喷出的处理液的量适当地近似于喷出命令C所规定的目标喷出量。即，能够高精度地调整处理液的喷出量。

理论信息A将活塞25从第一基准位置到达的第一位置与活塞25从第一基准位置到达第一位置时的喷出量的理论值建立对应关系。因此，控制部31能够利用理论信息A适当地确定假想终点。

校正信息B将理论位置与实际位置建立对应关系。此处，活塞25从第二基准位置到达理论位置时的喷出量的理论值等于活塞25从第二基准位置到达校正信息B中与理论位置建立对应关系的实际位置时的喷出量的实际值。换言之，校正信息B将理论位置与实际位置建立对应关系，该理论位置是为了喷出任意喷出量的处理液，活塞25从第二基准位置理论上应到达的位置，该实际位置是为了喷出与任意喷出量相同的喷出量的处理液，活塞25从第二基准位置实际上应到达的位置。因此，控制部31能够利用校正信息B将假想终点适当地校正为目标位置。

理论信息A的第一基准位置与校正信息B的第二基准位置相同。因此，无论假想终点位于哪一位置，控制部31都能利用校正信息B将假想终点容易地校正为目标位置。同样地，无论活塞25的当前位置是哪一位置，控制部31都能利用校正信息B将当前位置容易地校正为假想起点。

控制部31参照校正信息B，将活塞25的当前位置校正为假想起点。控制部31参照喷出命令C、理论信息A和假想起点，确定以假想起点为基准的假想终点。由此，控制部31能够适当地确定位于当前位置的活塞25应到达的目标位置。因此，无论活塞25的当前位置是哪一位置，都能将活塞25的当前位置作为出发位置。

控制部31将与实际位置建立对应关系的理论位置确定为假想起点，该实际位置等同于校正信息B中活塞25的当前位置。通过这一处理，控制部31能够适当地确定假想起点。

控制部31将理论信息A中与等同于假想起点的位置建立对应关系的喷出量的理论值确定为初始喷出量。控制部31确定作为初始喷出量与目标喷出量之和的合计量。此外，控制部31将理论信息A中与等同于合计量的喷出量的理论值建立对应关系的第一位置确定为假想终点。通过这一系列的处理，控制部31能够适当地确定假想终点。

控制部31将校正信息B中与等同于假想终点的理论位置建立对应关系的实际位置确定为目标位置。通过这一处理，控制部31能够适当地确定目标位置。

泵装置15具有编码器29。因此，控制部31能够适当地确定活塞25的当前位置。

控制部31参照喷出命令C和理论信息A，确定活塞25的理论速度。控制部31利用校正信息B将理论速度校正为修正速度。此处，校正信息B是关于活塞25的位置与喷出量的理论关系、和活塞25的位置与喷出量的实际关系之间的差别的信息。因此，无论在将活塞25的假想终点决定为哪一位置的情况下，都能确定恰当的修正速度。因此，能够使泵室21实际喷出的处理液的流量适当地近似于喷出命令C所规定的目标流量。即，能够高精度地调整处理液的流量。

控制部31利用校正信息B确定在当前位置与目标位置之间所包括的多个区间。控制部31利用校正信息B对每个区间进行理论速度的校正，并分别确定各区间中的修正速度。由此，控制部31能够十分细致地设定活塞25的移动速度。因此，能够使泵室21实际喷出的处理液的流量更接近目标流量。

控制部31能够利用两个中间实际位置，适当地确定在当前位置与目标位置之间所包括的三个区间(即，第一区间、中间区间和第二区间)。

控制部31根据第一区间的距离、假想第一区间的距离和理论速度，计算第一修正速度。然后，控制部31向马达27输出用于使活塞25在第一区间内以第一修正速度移动的驱动命令。由此，当活塞25在第一区间内移动时，能够使泵室21实际喷出的处理液的流量适当地近似于目标流量。

同样地，控制部31计算中间区间中的中间修正速度，并向马达27输出用于使活塞25在中间区间内以中间修正速度移动的驱动命令。由此，当活塞25在中间区间内移动时，也能使泵室21实际喷出的处理液的流量适当地近似于目标流量。

同样地，控制部31计算第二区间中的第二修正速度，并向马达27输出使活塞25在第二区间内以第二修正速度移动的驱动命令。由此，当活塞25在第二区间内移动时，能够使泵室21实际喷出的处理液的流量适当地近似于目标流量。

控制部31具有存储部32。因此，控制部31可以时常参照理论信息A和校正信息B。因此，控制部31能够连贯地确定目标位置等。

控制部31从外部设备接收喷出命令C。由此，控制部31能够适当地确定目标位置等。

喷出命令C所规定的目标喷出量是仅与活塞25的移动距离关联的信息。同样地，喷出命令C所规定的目标流量是仅与活塞25的移动速度关联的信息。因此，目标喷出量以及目标流量与活塞25的出发位置、活塞25的当前位置以及活塞25的目标位置不相关。如此，喷出命令C不包括关于活塞25的出发位置、活塞25的当前位置以及活塞25的目标位置的信息。因此，喷出命令C简洁。因此，外部设备用通过简洁的喷出命令C控制泵装置15。

基板处理装置1具有泵装置15。因此，能够使实际向基板W供给的处理液的量适当地近似于目标喷出量。即，能够高精度地调整向基板W供给的处理液的量。因此，能够适当地提高对基板W进行的处理的品质。

泵室21的一部分被隔膜23分隔。因此，能够通过马达27使活塞25移动，适当地改变泵室21内的容积。

本发明不限于上述实施方式，也能进行如下所述的变形。

(1)在上述的处理条件1下，校正信息B包括等同于当前位置的实际位置以及等同于假想终点的理论位置，但不限于此。例如，校正信息B也可以不包括等同于当前位置的实际位置。校正信息B也可以不包括等同于假想终点的理论位置。本变形实施方式中，也能由控制部31对校正信息B进行插值，将当前位置校正为假想起点。同样地，控制部31能够通过对校正信息B进行插值，将假想终点校正为目标位置。

图6是示意性示出用于对校正信息B进行插值的直线的图。图6示出了绘制出图3的校正信息B的坐标图。以下，将图6所示的坐标图称为“校正坐标图Bg”。

图6还用虚线表示用于对校正信息B进行插值的直线L。直线L是通过用线段连接点P0、P1、P2、···、P6而得到的。直线L是连接邻接的两个点P的线段的集合。邻接的两个点P例如是点P0和点P1。因此，直线L包括例如连接点P0与点P1的线段。直线L例如是折线。控制部31用直线L对校正信息B所包括的理论位置及实际位置进行插值。控制部31利用直线L推定等同于假想终点的理论位置。此外，控制部31利用直线L将与推定出的理论位置建立对应关系的实际位置推定为目标位置。

例如，将假想终点r设为350[pls]。校正信息B不包括等同于假想终点r(350[pls])的理论位置。该情况下，控制部31在步骤S4中进行以下的处理。控制部31在直线L上确定出理论位置是350[pls]的点。直线L将理论位置350[pls]与实际位置375[pls]建立对应关系。控制部31基于直线L，确定出与理论位置350[pls]建立对应关系的实际位置是375[pls]。控制部31将实际位置375[pls]当作目标位置R来处理。图6的校正坐标图Bg中的附图标记f示意性示出根据直线L推定目标位置的处理。

同样地，即使在校正信息B不包括等同于活塞25的当前位置的实际位置的情况下，控制部31也能根据直线L适当地推定与当前位置对应的假想起点。具体而言，控制部31基于直线L，确定与等同于当前位置的实际位置建立对应关系的理论位置。控制部31将确定出的理论位置推定为假想起点。

另外，上述的变形实施方式，控制部31用直线L对校正信息B进行插值，但不限于此。例如，控制部31可以用曲线对校正信息B进行插值。例如，控制部31可以根据用于对校正信息B所包括的理论位置及实际位置进行插值的曲线，推定假想终点及目标位置中的至少一者。例如，控制部31也可以根据用于对校正信息B所包括的理论位置及实际位置进行插值的曲线，推定出发位置、当前位置及假想起点中的至少一者。例如，控制部31还可以根据用于对校正信息B所包括的理论位置及实际位置进行插值的曲线，推定目标位置及假想起点中的至少一者。用曲线对校正信息B进行插值，能够提高假想终点及目标位置等的推定精度。另一方面，在用直线L对校正信息B进行插值的实施方式中，能够减少控制部31的处理。

(2)在上述的处理条件1下，校正信息B所包括的中间实际位置的数量是两个，但不限于此。

例如，校正信息B所包括的中间实际位置的数量可以是三个以上。本实施方式中，在步骤S6中，控制部31确定当前位置与目标位置之间所包括的四个以上的区间。具体而言，控制部31确定一个第一区间、一个第二区间和两个以上的中间区间。步骤S7中，控制部31确定四个以上的假想区间。具体而言，控制部31确定一个假想第一区间、一个假想第二区间和两个以上的假想中间区间。步骤S9中，控制部31确定四个以上的修正速度。具体而言，控制部31确定一个第一修正速度、一个第二修正速度和两个以上的中间修正速度。

例如，校正信息B所包括的中间实际位置的数量可以是一个。本实施方式中，在步骤S6中，控制部31确定两个区间。两个区间是当前位置至中间实际位置的第一区间、以及中间实际位置至目标位置的第二区间。步骤中S7中，控制部31确定两个假想区间。具体而言，校正信息B包括一个中间理论位置，该中间理论位置是与中间实际位置建立对应关系的所述理论位置。控制部31确定假想起点至中间理论位置的假想第一区间。控制部31确定中间理论位置至假想终点的假想第二区间。步骤S9中，控制部31确定两个修正速度。具体而言，控制部31通过将第一区间的距离除以假想第一区间的距离再乘以理论速度，计算第一修正速度。控制部31通过将第二区间的距离除以假想第一区间的距离再乘以所述第二理论速度，计算第二修正速度。步骤S10中，控制部31向马达27输出用于使活塞25在第一区间内以第一修正速度移动的驱动命令。控制部31向马达27输出使活塞25在第二区间内以第二修正速度移动的驱动命令。

例如，校正信息B所包括的中间实际位置的数量也可以是0个。即，校正信息B可以不包括中间实际位置。该情况下，控制部31省略用于确定区间的处理(步骤S6)、以及用于确定假想区间的处理(步骤S7)。步骤S9中，控制部31确定一个修正速度。具体而言，控制部31通过将当前位置与目标位置的距离除以假想起点与假想终点的距离再乘以理论速度，计算修正速度。步骤S10中，控制部31向马达27输出用于使活塞25以修正速度从当前位置移动到目标位置的驱动命令。

(3)在上述的实施方式举例示出了理论信息A中，喷出量的理论值与活塞25的移动距离成正比。因此，活塞25的理论速度是恒定的，与活塞25的位置无关。但是，本发明不限于此。理论信息A中喷出量的理论值也可以不与活塞25的移动距离成正比。活塞25的理论速度也可以是随着活塞25的位置而变化的。本变形实施方式中，优选，控制部31参照理论信息A，分别确定各假想区间中的理论速度。

具体而言，步骤S8中，控制部31确定假想第一区间中的第一理论速度、假想中间区间中的中间理论速度、以及假想第二区间中的第二理论速度。步骤S9中，控制部31参照校正信息B，将第一理论速度校正为第一修正速度，将中间理论速度校正为中间修正速度，将第二理论速度校正为第二修正速度。具体而言，控制部31通过将第一区间的距离除以假想第一区间的距离再乘以第一理论速度，计算第一修正速度。控制部31通过将中间区间的距离除以假想中间区间的距离再乘以中间理论速度，计算中间修正速度。控制部31通过将第二区间的距离除以假想第二区间的距离再乘以第二理论速度，计算第二修正速度。由此，即使在活塞25的理论速度随着活塞25的位置变化的情况下，控制部31也能恰当地设定活塞25的移动速度。

(4)上述的实施方式中，活塞25的出发位置是活塞25的当前位置。即，活塞25的出发位置不是预先决定的。活塞25的出发位置也可以不总是相同的位置。但是，本发明不限于此。例如，活塞25的出发位置也可以不是活塞25的当前位置。例如，活塞25的出发位置也可以是预先决定的位置。例如，活塞25的出发位置还可以总是相同的位置。

例如，控制部31在泵装置15进行处理液的吸入动作时，也可以使活塞25始终后退到规定的位置。由此，能够容易地将活塞25的出发位置保持在规定的位置。

出发位置例如也可以是等同于理论信息A的第一基准位置的位置。或者，出发位置也可以是等同于校正信息B的第二基准位置的位置。

本变形实施方式中，活塞25的出发位置是已知的，不必基于编码器29的检测结果确定活塞25的当前位置。因此，控制部31可以省略步骤S2中的处理(确定当前位置)。由此，能够简化控制部31的处理。此外，泵装置15也可以不具有编码器29。通过省略编码器29，能够简化泵装置15的结构。

由于活塞25的出发位置是预先决定的位置，因此假想起点也是预先决定的位置。即，假想起点是已知的。因此，控制部31可以省略步骤S3中的处理(确定假想起点)。由此，能够进一步简化控制部31的处理。

本变形实施方式中，活塞25的出发位置不限于当前位置。因此，优选，将实施方式的步骤S6的说明中记载的“当前位置”解读为“出发位置”。例如，本变形实施方式中，控制部31确定“出发位置”与目标位置之间所包括的区间。例如，本变形实施方式中，控制部31将“出发位置”至中间实际位置的区间确定为第一区间。

(5)上述的实施方式中，校正信息B的数量是一个，但不限于此。校正信息B的数量也可以是多个。例如，校正信息B可以包括第一校正信息、以及与第一校正信息不同的第二校正信息。控制部31可以基于处理液的条件，选择第一校正信息和第二校正信息中的一者，并参照选择出的第一校正信息和第二校正信息中的一者，将假想终点校正为目标位置。处理液的条件例如是处理液的种类、处理液的粘度、处理液的密度以及处理液的使用温度中的至少一种。此外，优选，存储部32存储第一校正信息及第二校正信息。

(6)上述的实施方式中，理论信息A的数量是一个，但不限于此。理论信息A的数量可以是多个。例如，理论信息A可以包括第一理论信息、以及与第一理论信息不同的第二理论信息。控制部31可以基于处理液的条件，选择第一理论信息及第二理论信息中的一者，并参照选择出的第一理论信息及第二理论信息中的一者，确定假想终点。处理液的条件例如是处理液的种类、处理液的粘度、处理液的密度以及处理液的使用温度中的至少一种。此外，优选，存储部32存储第一理论信息及第二理论信息。

(7)上述的实施方式中，理论信息A以及校正信息B通过脉冲数来标示活塞25的位置，但不限于此。例如，理论信息A和校正信息B中的至少一者可以通过与第一基准位置或第二基准位置的距离来标示活塞25的位置。

(8)上述的实施方式中，用脉冲频率[pls/sec]来标示理论速度及修正速度，但不限于此。例如，也可以用每单位时间内的距离来标示理论速度及修正速度。

(9)上述的实施方式中，理论信息A的形式是坐标图，但不限于此。例如，理论信息A的形式也可以是函数或表格。上述的实施方式中，校正信息B的形式是表格，但不限于此。例如，校正信息B的形式也可以是函数或坐标图。

(10)上述的实施方式中，第二基准位置与第一基准位置相同，但不限于此。即，第二基准位置也可以与第一基准位置不同。

图7是示意性示出变形实施方式中的校正信息的图。图7所示的校正信息B中，第二基准位置是25[pls]。即，第二基准位置处的喷出量是0[cc]。即使利用图7所示的校正信息B来代替图3所示的校正信息B，控制部31也能确定与实施方式相同的目标位置。

(11)上述的实施方式中，喷出命令C包括关于目标流量的信息，但不限于此。即，喷出命令C可以不包括关于目标流量的信息。本变形实施方式中，控制部31省略步骤S6～S9的处理，不确定修正速度。步骤S10中，控制部31向马达27输出用于使活塞25从当前位置仅移动到目标位置的驱动命令。即，控制部31不向马达27输出关于活塞25的移动速度的驱动命令。

(12)上述的实施方式中，喷出命令C包括关于目标喷出量及目标流量的信息，但不限于此。例如，喷出命令C也可以包括目标喷出量、目标流量、以及目标喷出时间中的任两种。目标喷出量由目标流量与目标喷出时间唯一确定。目标流量根据目标喷出量与目标喷出时间唯一确定。因此，本变形实施方式中，也能根据喷出命令C所包括的两个信息来唯一确定目标喷出量及目标流量。

(13)上述的实施方式中，举例示出了处理液的量[cc]作为关于目标喷出量的信息，但不限于此。在喷出量根据活塞25的移动距离唯一确定的情况下，关于目标喷出量的信息可以根据活塞25的移动距离规定。上述的实施方式中，举例示出了每单位时间内的处理液的量[cc/sec]作为关于目标流量的信息，但不限于此。在流量根据活塞25的移动速度唯一确定的情况下，关于目标流量的信息可以根据活塞25的移动速度规定。

(14)上述的实施方式中，可动间隔壁构件(具体而言是隔膜23)分隔泵室21的一部分，但不限于此。即，可动间隔壁构件也可以分隔泵室21的整体。

(15)上述的实施方式中，可动间隔壁构件是隔膜23，但不限于此。可动间隔壁构件例如可以是球管隔栅(Tubephragm)或波纹管(Bellows)。

(16)上述的实施方式中，活塞25连接到可动间隔壁构件(隔膜23)，但不限于此。活塞25也可以不与可动间隔壁构件接触。上述的实施方式中，活塞25直接使可动间隔壁构件(隔膜23)变形，但不限于此。例如，活塞25也可以间接地使可动间隔壁构件变形。例如，活塞25可以经由间接液或者工作流体使可动间隔壁构件变形。例如，活塞25可以通过改变间接液或者工作流体的压力，使可动间隔壁构件变形。

(17)上述的实施方式中，举例示出了活塞25作为可动构件，但不限于此。可动构件例如也可以是杆或轴。

(18)上述的实施方式中，马达27是步进马达，但不限于此。例如，马达27也可以是伺服马达。上述的实施方式中，举例示出了以马达27作为致动器，但不限于此。泵装置15所具有的致动器可以是气缸。气缸也称为气压驱动气缸。本变形实施方式中，控制部31控制气缸。例如，控制部31可以通过控制电动气动调节器，来控制作为气缸的动力源的空气压力。由此，控制部31能够适当地控制气缸。

(19)上述的实施方式中，泵装置15具有用于检测马达27的旋转量的编码器29，但不限于此。例如，泵装置15也可以具有用于检测活塞25的位置的传感器。通过本变形实施方式，控制部31也能够基于传感器的检测结果来恰当地确定活塞25的当前位置。

(20)上述的实施方式中，泵装置15具有编码器29，但不限于此。例如，控制部31可以基于迄今为止向马达27输出的驱动命令，确定活塞25的当前位置。例如，控制部31可以基于迄今为止向马达27输出的脉冲数的积分值，确定活塞25的当前位置。本变形实施方式中，泵装置15可以不具有实施方式中说明的编码器29。通过省略编码器29，能够简化泵装置15的结构。

(21)上述的实施方式中，一个控制部31控制由泵室21、活塞25以及马达27构成的一个单元，但不限于此。一个控制部31也可以控制多个单元。

(22)对于上述的各实施方式以及上述(1)～(21)中说明的各变形实施方式，可以通过将各结构替换为其他变形实施方式的结构或者将各结构组合等来进行适当变更。

在不脱离本发明的思想或本质的情况下，本发明可以以其他具体形式实施，因此，应当参考所附权利要求而不是前述说明来表示本发明的范围。

Claims (15)

1.一种泵装置，用于喷出液体，具有：

泵室，用于容纳液体，通过减小所述泵室内的容积将所述泵室内的液体向所述泵室外喷出，

可动构件，被设置为能够移动，并用于改变所述泵室内的容积，

致动器，与所述可动构件连接，并使所述可动构件移动，以及

控制部，控制所述致动器；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照喷出命令、理论信息以及所述可动构件的出发位置来确定假想终点，所述喷出命令包括关于目标喷出量的信息，所述目标喷出量是从所述泵室喷出的液体的喷出量的目标值，所述理论信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系的信息，

参照校正信息，将所述假想终点校正为目标位置，所述校正信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系、和所述可动构件的位置与所述喷出量的实际关系之间的差别的信息，

向所述致动器输出驱动命令，所述驱动命令使所述可动构件从所述出发位置移动到所述目标位置。

2.根据权利要求1所述的泵装置，其中，

所述理论信息将所述可动构件从第一基准位置到达第一位置时的所述喷出量的理论值与所述第一位置建立对应关系，

所述校正信息将理论位置与实际位置建立对应关系，

所述可动构件从第二基准位置到达所述理论位置时的所述喷出量的所述理论值等于所述可动构件从所述第二基准位置到达与所述理论位置建立对应关系的所述实际位置时的所述喷出量的实际值。

3.根据权利要求2所述的泵装置，其中，

所述出发位置是所述可动构件的当前位置；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述校正信息，将所述可动构件的所述当前位置校正为假想起点，

参照所述喷出命令、所述理论信息以及所述假想起点，确定所述假想终点。

4.根据权利要求3所述的泵装置，其中，

所述控制部进行如下的控制，即，

将所述校正信息中与等同于所述可动构件的所述当前位置的所述实际位置建立对应关系的所述理论位置确定为所述假想起点，

将所述理论信息中与等同于所述假想起点的所述第一位置建立对应关系的所述喷出量的所述理论值确定为初始喷出量，

确定合计量，所述合计量是所述初始喷出量与所述目标喷出量之和，

将所述理论信息中与等同于所述合计量的所述喷出量的所述理论值建立对应关系的所述第一位置确定为所述假想终点，

将所述校正信息中与等同于所述假想终点的所述理论位置建立对应关系的所述实际位置确定为所述目标位置。

5.根据权利要求3所述的泵装置，其中，

所述泵装置具有传感器，所述传感器用于检测所述致动器的驱动量和所述可动构件的位置中的至少一者，

所述控制部基于所述传感器的检测结果，确定所述可动构件的所述当前位置。

6.根据权利要求2所述的泵装置，其中，

所述控制部根据用于对所述校正信息所包括的所述理论位置以及所述实际位置进行插值的直线或曲线，推定所述假想终点和所述目标位置中的至少一者。

7.根据权利要求2所述的泵装置，其中，

所述喷出命令包括关于目标流量的信息，所述目标流量是从所述泵室喷出的液体的流量的目标值；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述理论信息，将用于以所述目标流量从所述泵室喷出液体的所述可动构件的理论移动速度确定为理论速度，

参照所述校正信息，将所述理论速度校正为修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件以所述修正速度移动的驱动命令。

8.根据权利要求7所述的泵装置，其中，

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述校正信息，确定所述出发位置与所述目标位置之间所包括的多个区间，

参照所述校正信息，将所述理论速度校正为各个所述区间中的所述修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件以各个所述区间中的所述修正速度在各个所述区间内移动的驱动命令。

9.根据权利要求8所述的泵装置，其中，

所述校正信息包括一个中间实际位置，所述中间实际位置是位于所述出发位置与所述目标位置之间的所述实际位置；

多个所述区间包括：

从所述出发位置至所述中间实际位置的第一区间，和

从所述中间实际位置至所述目标位置的第二区间。

10.根据权利要求9所述的泵装置，其中，

所述校正信息包括一个中间理论位置，所述中间理论位置是与所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述校正信息，将所述可动构件的当前位置校正为假想起点，

确定从所述假想起点至所述中间理论位置的假想第一区间，

确定从所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，

通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第一修正速度，

通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第二修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

11.根据权利要求8所述的泵装置，其中，

所述校正信息包括多个中间实际位置，多个所述中间实际位置是位于所述出发位置与所述目标位置之间的所述实际位置；

多个所述区间包括：

从所述出发位置至最接近所述出发位置的所述中间实际位置的第一区间，

邻接的两个所述中间实际位置之间的中间区间，和

从最接近所述目标位置的所述中间实际位置至所述目标位置的第二区间。

12.根据权利要求11所述的泵装置，其中，

所述校正信息包括多个中间理论位置，多个所述中间理论位置是与各个所述中间实际位置建立对应关系的所述理论位置；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照所述校正信息，将所述可动构件的当前位置校正为假想起点，

确定从所述假想起点至最接近所述假想起点的所述中间理论位置的假想第一区间，

确定邻接的两个所述中间理论位置之间的假想中间区间，

确定从最接近所述假想终点的所述中间理论位置至所述假想终点的假想第二区间，

通过将所述第一区间的距离除以所述假想第一区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第一修正速度，

通过将所述中间区间的距离除以所述假想中间区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算中间修正速度，

通过将所述第二区间的距离除以所述假想第二区间的距离得到的值再乘以所述理论速度，计算第二修正速度，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第一区间内以所述第一修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述中间区间内以所述中间修正速度移动的驱动命令，

向所述致动器输出用于使所述可动构件在所述第二区间内以所述第二修正速度移动的驱动命令。

13.根据权利要求1所述的泵装置，其中，

所述控制部具有存储部，所述存储部存储所述理论信息和所述校正信息。

14.根据权利要求1所述的泵装置，其中，

所述控制部从所述泵装置的外部设备接收所述喷出命令，

所述喷出命令不包括关于所述可动构件的所述出发位置、所述可动构件的当前位置、以及所述可动构件的所述目标位置的信息。

15.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，所述基板处理装置具有：

保持部，保持基板，

喷嘴，向被所述保持部保持的基板供给处理液，以及

泵装置，与所述喷嘴连通连接；

所述泵装置具有：

泵室，用于容纳处理液，通过减小所述泵室内的容积将所述泵室内的处理液向所述喷嘴喷出，

可动构件，被设置为能够移动，并用于改变所述泵室内的容积，

致动器，与所述可动构件连接，并使所述可动构件移动，以及

控制部，控制所述致动器；

所述控制部进行如下的控制，即，

参照喷出命令、理论信息以及所述可动构件的出发位置，确定假想终点，所述喷出命令包括关于目标喷出量的信息，所述目标喷出量是从所述泵室喷出的处理液的喷出量的目标值，所述理论信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系的信息，

参照校正信息，将所述假想终点校正为目标位置，所述校正信息是关于所述可动构件的位置与所述喷出量的理论关系、和所述可动构件的位置与所述喷出量的实际关系之间的差别的信息，

向所述致动器输出驱动命令，所述驱动命令使所述可动构件从所述出发位置移动到所述目标位置。

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