JP5404850B2 - ポンプのための誤差容積システムおよび方法 - Google Patents
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Description
本願は、米国仮特許出願第60/742,304号、名称「Error Volume System and Method」について米国特許法119条(e)項の優先権および利益を主張するものであり、その全体は参考として本明細書に援用される。
本発明は、概して流体ポンプに関する。より具体的には、本発明の実施形態は、ポンプにおける誤差補正に関する。
できる。
Claims (20)
- 分注システムの分注容積における誤差を補正する方法であって、該方法は、
分注レシピに基づいてポンプ制御装置が分注容積量を決定するステップであって、前記ポンプ制御装置は分注ポンプの制御動作を操作可能であり、前記分注システムは前記ポンプ制御装置と、分注ポンプと、該分注ポンプの下流にある1つ以上の管類と、を具備した、分注容積量を決定するステップと、
前記分注レシピに基づいて前記ポンプ制御装置が流体特性の値を決定するステップと、
前記ポンプ制御装置が前記分注ポンプの誤差容積と前記1つ以上の管類と前記流体特性との間の相関関係を決定するステップであって、該相関関係は前記分注ポンプと前記1つ以上の管類とにおけるコンプライアンスを考慮した、相関関係を決定するステップと、
前記流体特性の値と前記相関関係とに基づいて、前記ポンプ制御装置が誤差容積量を決定するステップと、
前記ポンプ制御装置が分注モータを制御して、前記分注ポンプ内においてピストンを前記レシピおよび誤差容積量から決定された分注容積量を分注するための位置へと動かし、流体の前記分注容積量をノズルから分注するステップと、
を含んでいる方法。 - 前記分注モータを制御する前記ポンプ制御装置は、前記ポンプ制御装置が前記分注モータを制御して、前記レシピによって指定された時間内に前記ピストンを前記位置に移動させ、前記分注容積量を分注するステップをさらに含んでいる請求項1に記載の方法。
- 前記ポンプ制御装置が、テスト分注システムと前記分注システムとの間の差を考慮した、ユーザ指定の誤差容積を受信するステップをさらに含み、前記位置は前記ユーザ指定の誤差容積をさらに考慮している請求項1に記載の方法。
- 前記分注モータを制御する前記ポンプ制御装置が、前記ポンプ制御装置が前記分注モータを制御して、前記レシピによって指定された時間内に前記ピストンを前記位置に移動させ、前記分注容積量を分注するステップをさらに含んでいる請求項3に記載の方法。
- テストポンプ制御装置が前記テスト分注システムにおける誤差容積と流体特性との間の相関関係を展開するステップであって、前記テスト分注システムは少なくとも前記テストポンプ制御装置と、テストポンプと、1つ以上のテストポンプ管類と、を具備し、前記テスト分注システムは前記分注システムをシミュレートするように構成された、相関関係を展開するステップ、をさらに含んでいる請求項1に記載の方法。
- 前記テストポンプ制御装置が前記相関関係を展開する方法であって、該方法は、
前記流体特性の種々の値を有する流体により、対応した所望の分注容積量の一式のテスト分注を行うステップと、
前記テストポンプ制御装置が、前記テスト分注の一式の実際の分注容積量を所望の前記分注容積量と比較して分析し、前記流体特性と前記誤差容積との間の相関関係を決定するステップであって、該相関関係は前記テスト分注システムにおけるコンプライアンスを考慮し、該コンプライアンスは前記テスト分注ポンプのコンプライアンスと1つ以上の前記テストポンプ管類のコンプライアンスとを含んだ、相関関係を決定するステップ、をさらに含んでいる請求項5に記載の方法。 - 前記相関関係を改善する前記テストポンプ制御装置は、
a) 前記テストポンプ制御装置がテスト流体を使用して、対応した所望の分注容積量の一式のテスト分注を行うステップと、
b) 前記テストポンプ制御装置が平均的な実際の分注容積量を決定するステップと、
c) 前記テストポンプ制御装置が、一式の付加的な所望の分注容積量のそれぞれに関して、前記ステップa)〜b)を繰り返すステップと、
d) 前記テストポンプ制御装置が、一式の追加の所望の分注容積量のそれぞれに関して、前記ステップa)〜c)を繰り返すステップであって、各テスト流体は前記流体特性に関して異なった数値を有するステップと、
e) 前記テストポンプ制御装置が、前記平均的な実際の分注容積量と前記対応した所望の分注容積量とに基づいて、誤差容積と前記流体特性との間の相関関係を決定するステップと、をさらに含んでいる請求項5に記載の方法。 - 前記テスト分注システムは、半導体製造用ウエハコーティングシステムに近似するように構成されている請求項5に記載の方法。
- 前記テスト分注システム内の1つ以上のテストポンプ管類は、
多段式ポンプの出口ポートと出口弁との間に接続された第1の長さの管類と、
該出口弁とノズルとの間に接続された第2の長さの管類と、を具備している請求項5に記載の方法。 - 前記相関関係は前記テストポンプを使用して展開され、前記相関関係は次の使用のために一式のポンプに伝播され、該一式のポンプは分注ポンプを含んでいる請求項5に記載の方法。
- 前記流体特性は粘度である請求項1に記載の方法。
- ポンプによって実行される分注動作におけるシステムコンプライアンスを補正するための方法であって、該方法は、
少なくともポンプ制御装置と、テストポンプと、該テストポンプの下流にある1つ以上のテストポンプ管類と、を具備したテスト分注システム内に設置されたテストポンプを用いて、
前記テストポンプ制御装置が、流体特性に関して種々の値を有する一式のテスト流体に対応した所望の分注容積のテスト分注を実行するステップであって、前記テストポンプ制御装置は前記テストポンプの制御動作を操作可能とされたステップと、
前記テストポンプ制御装置が、前記テスト分注の一式の実際の分注容積量を前記所望の分注容積量と比較して分析し、前記流体特性と誤差容積との間の相関関係を決定するステップであって、該相関関係は前記テスト分注システム内のコンプライアンスを考慮しており、該コンプライアンスは前記テストポンプのコンプライアンスと、前記1つ以上のテストポンプ管類のコンプライアンスと、を考慮しているステップと、を含み、前記方法はさらに、
半導体製造設備内の分注システムに設置されたポンプであって、前記分注システムシステムはポンプ制御装置と、前記ポンプと、該ポンプの下流にある1つ以上の管類と、を具備したポンプを用いて、
前記ポンプ制御装置が、プロセス流体を分注するために、分注レシピに基づいて所望の製造プロセス分注容積量を決定するステップであって、前記ポンプ制御装置は前記ポンプの制御動作を操作可能とされたステップと、
前記ポンプ制御装置が、前記分注レシピに基づいて、プロセス流体の流体特性値を決定するステップと、
前記ポンプ制御装置が、前記流体特性と前記誤差容積との間の相関関係から、前記プロセス流体の流体特性値に基づいた誤差容積量を決定するステップと、
前記ポンプ制御装置が前記分注モータを制御して、前記分注レシピから決定された前記所望の製造プロセス分注容積量と前記誤差容積量とを考慮する位置へピストンを移動して、前記流体の分注容積量をノズルからウエハへ分注するステップと、を含んでいる方法。 - 前記分注モータを制御するポンプ制御装置は、該ポンプ制御装置が前記分注モータを制御して、前記レシピによって指定された時間内に前記位置へ前記ピストンを移動して、前記分注容積量を分注するステップをさらに含んでいる請求項12に記載の方法。
- 前記ポンプ制御装置が、テスト分注システムと前記分注システムとの間の差を考慮した、ユーザ指定の誤差容積を受信するステップをさらに含み、前記位置は前記ユーザ指定の誤差容積をさらに考慮している請求項12に記載の方法。
- 前記分注モータを制御する前記ポンプ制御装置が、前記ポンプ制御装置が前記分注モータを制御して、前記レシピによって指定された時間内に前記ピストンを前記位置に移動させ、前記分注容積量を分注するステップをさらに含んでいる請求項14に記載の方法。
- 前記テストポンプ制御装置が一式のテスト分注を実行し、一式の実際の分注容積量を分析する方法であって、該方法は、
a) 前記テストポンプ制御装置が、前記一式のテスト流体から選択されたテスト流体の、対応した所望の分注容積量を使用してテスト分注を実行するステップと、
b) 前記テストポンプ制御装置が、平均的な実際の分注容積量を決定するステップと、
c) 前記テストポンプ制御装置が、一式の付加的な所望の分注容積量のそれぞれに関して、前記ステップa)〜b)を繰り返すステップと、
d) 前記テストポンプ制御装置が、前記一式のテスト流体から前記選択されたテスト流体のように、新しいテスト流体を選択してステップa)〜c)を繰り返すステップであって、各テスト流体は前記流体特性に関して異なった値を有するステップと、
e) 前記テストポンプ制御装置が、前記平均的な実際の分注容積量と前記対応した所望の分注容積量とに基づいて、誤差容積と前記流体特性との間の相関関係を決定するステップと、を含んでいる請求項12に記載の方法。 - 前記テスト分注システムは、半導体製造用ウエハコーティングシステムに近似するように構成されている請求項12に記載の方法。
- 前記テスト分注システム内の1つ以上のテストポンプ管類は、
多段式ポンプの出口ポートと出口弁との間に接続された第1の長さの管類と、
該出口弁とノズルとの間に接続された第2の長さの管類と、を具備している請求項17に記載の方法。 - 前記テストポンプを使用して展開された前記相関関係を、次の使用のために一式のポンプに伝播するステップであって、前記一式のポンプは分注ポンプを含み、前記テスト分注システムは、前記分注システムをシミュレートするように構成されたステップをさらに含んでいる請求項12に記載の方法。
- 前記流体特性は粘度である請求項12に記載の方法。
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US8083498B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-12-27 | Entegris, Inc. | System and method for position control of a mechanical piston in a pump |
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US7684446B2 (en) * | 2006-03-01 | 2010-03-23 | Entegris, Inc. | System and method for multiplexing setpoints |
US8727744B2 (en) * | 2010-02-26 | 2014-05-20 | Entegris, Inc. | Method and system for optimizing operation of a pump |
US8684705B2 (en) | 2010-02-26 | 2014-04-01 | Entegris, Inc. | Method and system for controlling operation of a pump based on filter information in a filter information tag |
TWI563351B (en) | 2010-10-20 | 2016-12-21 | Entegris Inc | Method and system for pump priming |
US9352952B2 (en) | 2011-07-05 | 2016-05-31 | Rad I.P, Pty Limited | Fluid portion dispenser |
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DE102012100306B4 (de) * | 2012-01-13 | 2022-06-09 | Prominent Gmbh | Verfahren zur Adaption einer Dosierpumpe an die Viskosität des zu dosierenden Mediums |
AU2013364840B2 (en) * | 2012-12-20 | 2017-03-16 | Fujimori Kogyo Co., Ltd. | Method for comprehensive assessment of platelet aggregation |
US10155208B2 (en) * | 2014-09-30 | 2018-12-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Liquid mixing system for semiconductor fabrication |
US10121685B2 (en) * | 2015-03-31 | 2018-11-06 | Tokyo Electron Limited | Treatment solution supply method, non-transitory computer-readable storage medium, and treatment solution supply apparatus |
WO2017033015A1 (en) | 2015-08-25 | 2017-03-02 | Artemis Intelligent Power Limited | The measurement and use of hydraulic stiffness properties of hydraulic apparatus |
US11772234B2 (en) | 2019-10-25 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Small batch polishing fluid delivery for CMP |
KR20220097911A (ko) | 2019-11-04 | 2022-07-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분배 시스템을 모니터링하고, 제어하고, 동기화하는 방법 및 시스템 |
Family Cites Families (178)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US269626A (en) | 1882-12-26 | brauee | ||
US826018A (en) | 1904-11-21 | 1906-07-17 | Isaac Robert Concoff | Hose-coupling. |
US1664125A (en) | 1926-11-10 | 1928-03-27 | John R Lowrey | Hose coupling |
US2153664A (en) | 1937-03-08 | 1939-04-11 | Dayton Rubber Mfg Co | Strainer |
US2215505A (en) | 1938-06-13 | 1940-09-24 | Byron Jackson Co | Variable capacity pumping apparatus |
US2328468A (en) | 1940-12-07 | 1943-08-31 | Laffly Edmond Gabriel | Coupling device for the assembly of tubular elements |
US2457384A (en) | 1947-02-17 | 1948-12-28 | Ace Glass Inc | Clamp for spherical joints |
GB661522A (en) | 1949-03-31 | 1951-11-21 | Eureka Williams Corp | Improvements in or relating to oil burners |
US2631538A (en) | 1949-11-17 | 1953-03-17 | Wilford C Thompson | Diaphragm pump |
US2673522A (en) | 1951-04-10 | 1954-03-30 | Bendix Aviat Corp | Diaphragm pump |
US2757966A (en) | 1952-11-06 | 1956-08-07 | Samiran David | Pipe coupling |
US3072058A (en) | 1961-08-18 | 1963-01-08 | Socony Mobil Oil Co Inc | Pipe line control system |
US3227279A (en) | 1963-05-06 | 1966-01-04 | Conair | Hydraulic power unit |
US3327635A (en) | 1965-12-01 | 1967-06-27 | Texsteam Corp | Pumps |
DE1910093A1 (de) | 1969-02-28 | 1970-09-10 | Wagner Josef Fa | Farbspritzanlage |
US3741298A (en) | 1971-05-17 | 1973-06-26 | L Canton | Multiple well pump assembly |
JPS4971508A (ja) | 1972-11-13 | 1974-07-10 | ||
US3895748A (en) | 1974-04-03 | 1975-07-22 | George R Klingenberg | No drip suck back units for glue or other liquids either separately installed with or incorporated into no drip suck back liquid applying and control apparatus |
US4023592A (en) | 1976-03-17 | 1977-05-17 | Addressograph Multigraph Corporation | Pump and metering device |
US4093403A (en) | 1976-09-15 | 1978-06-06 | Outboard Marine Corporation | Multistage fluid-actuated diaphragm pump with amplified suction capability |
US4705461A (en) | 1979-09-19 | 1987-11-10 | Seeger Corporation | Two-component metering pump |
SE416889B (sv) | 1979-12-27 | 1981-02-16 | Imo Industri Ab | Forfarande for blandning av tva vetskor med olika viskositet samt anordning for genomforande av forfarandet |
US4420811A (en) | 1980-03-03 | 1983-12-13 | Price-Pfister Brass Mfg. Co. | Water temperature and flow rate selection display and control system and method |
US4483665A (en) | 1982-01-19 | 1984-11-20 | Tritec Industries, Inc. | Bellows-type pump and metering system |
JPS58203340A (ja) | 1982-05-20 | 1983-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給湯装置 |
JPS59177929A (ja) | 1983-03-28 | 1984-10-08 | Canon Inc | サツクバツクポンプ |
US4475818A (en) | 1983-08-25 | 1984-10-09 | Bialkowski Wojciech L | Asphalt coating mix automatic limestone control |
US4541455A (en) | 1983-12-12 | 1985-09-17 | Tritec Industries, Inc. | Automatic vent valve |
US4614438A (en) | 1984-04-24 | 1986-09-30 | Kabushiki Kaisha Kokusai Technicals | Method of mixing fuel oils |
US4601409A (en) | 1984-11-19 | 1986-07-22 | Tritec Industries, Inc. | Liquid chemical dispensing system |
JPH0135027Y2 (ja) | 1985-01-29 | 1989-10-25 | ||
US4597721A (en) | 1985-10-04 | 1986-07-01 | Valco Cincinnati, Inc. | Double acting diaphragm pump with improved disassembly means |
SE451153B (sv) | 1986-01-20 | 1987-09-07 | Dominator Ab | Sett att endra trycket i pneumatiska eller hydrauliska system och anordning for att genomfora settet |
US4690621A (en) | 1986-04-15 | 1987-09-01 | Advanced Control Engineering | Filter pump head assembly |
KR900008067B1 (ko) | 1986-08-01 | 1990-10-31 | 도도기끼 가부시끼가이샤 | 탕수혼합장치 |
DE3631984C1 (de) | 1986-09-19 | 1987-12-17 | Hans Ing Kern | Dosierpumpe |
US4966646A (en) | 1986-09-24 | 1990-10-30 | Board Of Trustees Of Leland Stanford University | Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve |
US4943032A (en) | 1986-09-24 | 1990-07-24 | Stanford University | Integrated, microminiature electric to fluidic valve and pressure/flow regulator |
US4824073A (en) | 1986-09-24 | 1989-04-25 | Stanford University | Integrated, microminiature electric to fluidic valve |
US4821997A (en) | 1986-09-24 | 1989-04-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator |
US4797834A (en) | 1986-09-30 | 1989-01-10 | Honganen Ronald E | Process for controlling a pump to account for compressibility of liquids in obtaining steady flow |
JP2604362B2 (ja) | 1986-10-22 | 1997-04-30 | 株式会社日立製作所 | 低脈流ポンプ |
JPS63173866A (ja) | 1987-01-09 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | 無脈動ポンプの制御方式 |
US4875623A (en) | 1987-07-17 | 1989-10-24 | Memrysafe, Inc. | Valve control |
US4969598A (en) | 1987-07-17 | 1990-11-13 | Memry Plumbing Products Corp. | Valve control |
JP2824575B2 (ja) | 1987-08-11 | 1998-11-11 | 株式会社日立製作所 | 低脈流送液ポンプ |
AU598163B2 (en) | 1987-11-12 | 1990-06-14 | Herbert William Reynolds | Apparatus for and a method of producing sand moulds |
US5246347A (en) | 1988-05-17 | 1993-09-21 | Patients Solutions, Inc. | Infusion device with disposable elements |
US4952386A (en) | 1988-05-20 | 1990-08-28 | Athens Corporation | Method and apparatus for purifying hydrogen fluoride |
US4950134A (en) | 1988-12-27 | 1990-08-21 | Cybor Corporation | Precision liquid dispenser |
US5050062A (en) | 1989-02-06 | 1991-09-17 | Hass David N | Temperature controlled fluid system |
JP2633005B2 (ja) * | 1989-02-15 | 1997-07-23 | 日本電子株式会社 | 定流量ポンプ用流量計 |
US5167837A (en) | 1989-03-28 | 1992-12-01 | Fas-Technologies, Inc. | Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series |
US4981418A (en) | 1989-07-25 | 1991-01-01 | Osmonics, Inc. | Internally pressurized bellows pump |
US5062770A (en) | 1989-08-11 | 1991-11-05 | Systems Chemistry, Inc. | Fluid pumping apparatus and system with leak detection and containment |
DE3928949A1 (de) | 1989-08-31 | 1991-03-14 | Wagner Gmbh J | Membranpumpe |
US5135031A (en) | 1989-09-25 | 1992-08-04 | Vickers, Incorporated | Power transmission |
JP2803859B2 (ja) | 1989-09-29 | 1998-09-24 | 株式会社日立製作所 | 流動体供給装置およびその制御方法 |
US5061574A (en) | 1989-11-28 | 1991-10-29 | Battelle Memorial Institute | Thick, low-stress films, and coated substrates formed therefrom |
US5170361A (en) | 1990-01-16 | 1992-12-08 | Mark Reed | Fluid temperature, flow rate, and volume control system |
US5316181A (en) | 1990-01-29 | 1994-05-31 | Integrated Designs, Inc. | Liquid dispensing system |
US5098261A (en) | 1990-05-04 | 1992-03-24 | Brandel Corporation | Peristaltic pump and method for adjustable flow regulation |
US5061156A (en) | 1990-05-18 | 1991-10-29 | Tritec Industries, Inc. | Bellows-type dispensing pump |
JP2963514B2 (ja) * | 1990-09-20 | 1999-10-18 | 克郎 神谷 | 輸液制御装置 |
US5262068A (en) | 1991-05-17 | 1993-11-16 | Millipore Corporation | Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes |
US5230445A (en) | 1991-09-30 | 1993-07-27 | City Of Hope | Micro delivery valve |
US5332311A (en) | 1991-10-09 | 1994-07-26 | Beta Raven Inc. | Liquid scale and method for liquid ingredient flush thereof |
US5527161A (en) | 1992-02-13 | 1996-06-18 | Cybor Corporation | Filtering and dispensing system |
US5380019A (en) | 1992-07-01 | 1995-01-10 | Furon Company | Spring seal |
US5344195A (en) | 1992-07-29 | 1994-09-06 | General Electric Company | Biased fluid coupling |
US5261442A (en) | 1992-11-04 | 1993-11-16 | Bunnell Plastics, Inc. | Diaphragm valve with leak detection |
US6190565B1 (en) | 1993-05-17 | 2001-02-20 | David C. Bailey | Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir |
US5490765A (en) | 1993-05-17 | 1996-02-13 | Cybor Corporation | Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir |
US6203759B1 (en) | 1996-05-31 | 2001-03-20 | Packard Instrument Company | Microvolume liquid handling system |
US5511797A (en) | 1993-07-28 | 1996-04-30 | Furon Company | Tandem seal gasket assembly |
JPH0727150U (ja) | 1993-10-07 | 1995-05-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | シリカ系被膜形成用塗布液吐出装置 |
US5350200A (en) | 1994-01-10 | 1994-09-27 | General Electric Company | Tube coupling assembly |
US5434774A (en) | 1994-03-02 | 1995-07-18 | Fisher Controls International, Inc. | Interface apparatus for two-wire communication in process control loops |
DE4412668C2 (de) | 1994-04-13 | 1998-12-03 | Knf Flodos Ag | Pumpe |
US5476004A (en) | 1994-05-27 | 1995-12-19 | Furon Company | Leak-sensing apparatus |
US5447287A (en) | 1994-06-24 | 1995-09-05 | Robertshaw Controls Company | Fuel control device and methods of making the same |
US5580103A (en) | 1994-07-19 | 1996-12-03 | Furon Company | Coupling device |
US5599100A (en) | 1994-10-07 | 1997-02-04 | Mobil Oil Corporation | Multi-phase fluids for a hydraulic system |
US5546009A (en) | 1994-10-12 | 1996-08-13 | Raphael; Ian P. | Detector system using extremely low power to sense the presence or absence of an inert or hazardous fuild |
US5685963A (en) * | 1994-10-31 | 1997-11-11 | Saes Pure Gas, Inc. | In situ getter pump system and method |
US5784573A (en) | 1994-11-04 | 1998-07-21 | Texas Instruments Incorporated | Multi-protocol local area network controller |
US5575311A (en) | 1995-01-13 | 1996-11-19 | Furon Company | Three-way poppet valve apparatus |
US5653251A (en) | 1995-03-06 | 1997-08-05 | Reseal International Limited Partnership | Vacuum actuated sheath valve |
US5652391A (en) | 1995-05-12 | 1997-07-29 | Furon Company | Double-diaphragm gauge protector |
DE19525557A1 (de) | 1995-07-13 | 1997-01-16 | Knf Flodos Ag | Dosierpumpe |
US5645301A (en) | 1995-11-13 | 1997-07-08 | Furon Company | Fluid transport coupling |
US5991279A (en) | 1995-12-07 | 1999-11-23 | Vistar Telecommunications Inc. | Wireless packet data distributed communications system |
US5793754A (en) | 1996-03-29 | 1998-08-11 | Eurotherm Controls, Inc. | Two-way, two-wire analog/digital communication system |
US5839828A (en) | 1996-05-20 | 1998-11-24 | Glanville; Robert W. | Static mixer |
US6378907B1 (en) | 1996-07-12 | 2002-04-30 | Mykrolis Corporation | Connector apparatus and system including connector apparatus |
US5947702A (en) | 1996-12-20 | 1999-09-07 | Beco Manufacturing | High precision fluid pump with separating diaphragm and gaseous purging means on both sides of the diaphragm |
JP3854691B2 (ja) | 1997-01-14 | 2006-12-06 | キヤノン株式会社 | 無線通信システムおよび無線通信装置 |
DE69814710T2 (de) | 1997-03-03 | 2004-03-18 | Tokyo Electron Ltd. | Beschichtungs-Vorrichtung und Verfahren |
JP3940854B2 (ja) | 1997-03-25 | 2007-07-04 | Smc株式会社 | サックバックバルブ |
US5967173A (en) | 1997-07-14 | 1999-10-19 | Furon Corporation | Diaphragm valve with leak detection |
DE19732708C1 (de) | 1997-07-30 | 1999-03-18 | Henkel Kgaa | Verwendung von Fettethern |
JP3919896B2 (ja) * | 1997-09-05 | 2007-05-30 | テルモ株式会社 | 遠心式液体ポンプ装置 |
US6033302A (en) | 1997-11-07 | 2000-03-07 | Siemens Building Technologies, Inc. | Room pressure control apparatus having feedforward and feedback control and method |
US5848605A (en) | 1997-11-12 | 1998-12-15 | Cybor Corporation | Check valve |
WO1999056186A1 (fr) | 1998-04-27 | 1999-11-04 | Digital Electronics Corporation | Systeme de commande, afficheur, ordinateur hote de commande, et procede de transmission de donnees |
JP4011210B2 (ja) | 1998-10-13 | 2007-11-21 | 株式会社コガネイ | 薬液供給方法および薬液供給装置 |
US8172546B2 (en) | 1998-11-23 | 2012-05-08 | Entegris, Inc. | System and method for correcting for pressure variations using a motor |
CN1590761A (zh) | 1998-11-23 | 2005-03-09 | 米利波尔公司 | 用于精密泵设备的泵调节器 |
US7029238B1 (en) | 1998-11-23 | 2006-04-18 | Mykrolis Corporation | Pump controller for precision pumping apparatus |
US6203288B1 (en) | 1999-01-05 | 2001-03-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Reciprocating pumps with linear motor driver |
US6575264B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-06-10 | Dana Corporation | Precision electro-hydraulic actuator positioning system |
US6298941B1 (en) | 1999-01-29 | 2001-10-09 | Dana Corp | Electro-hydraulic power steering system |
JP2000265949A (ja) | 1999-03-18 | 2000-09-26 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 可変容量型圧縮機 |
US6464464B2 (en) * | 1999-03-24 | 2002-10-15 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Apparatus and method for controlling a pump system |
DE29909100U1 (de) | 1999-05-25 | 1999-08-12 | ARGE Meibes/Pleuger, 30916 Isernhagen | Rohrleitungsanordnung mit Filter |
US6330517B1 (en) | 1999-09-17 | 2001-12-11 | Rosemount Inc. | Interface for managing process |
US6250502B1 (en) | 1999-09-20 | 2001-06-26 | Daniel A. Cote | Precision dispensing pump and method of dispensing |
JP2001098908A (ja) | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | バルブタイミング調整装置 |
KR100754342B1 (ko) | 1999-10-18 | 2007-09-03 | 인터그레이티드 디자인즈 엘.피. | 유체 분배 방법 및 장치 |
DE19950222A1 (de) | 1999-10-19 | 2001-04-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Vorrichtung zur Diagnose eines Kraftstoffversorgungssystems |
JP3361300B2 (ja) | 1999-10-28 | 2003-01-07 | 株式会社イワキ | チューブフラムポンプ |
US6325932B1 (en) | 1999-11-30 | 2001-12-04 | Mykrolis Corporation | Apparatus and method for pumping high viscosity fluid |
US7247245B1 (en) | 1999-12-02 | 2007-07-24 | Entegris, Inc. | Filtration cartridge and process for filtering a slurry |
US6348124B1 (en) | 1999-12-14 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Delivery of polishing agents in a wafer processing system |
US6497680B1 (en) | 1999-12-17 | 2002-12-24 | Abbott Laboratories | Method for compensating for pressure differences across valves in cassette type IV pump |
US6474950B1 (en) | 2000-07-13 | 2002-11-05 | Ingersoll-Rand Company | Oil free dry screw compressor including variable speed drive |
US7905653B2 (en) | 2001-07-31 | 2011-03-15 | Mega Fluid Systems, Inc. | Method and apparatus for blending process materials |
TW512071B (en) | 2000-07-31 | 2002-12-01 | Kinetics Chempure Systems Inc | Method and apparatus for blending process materials |
US6925072B1 (en) | 2000-08-03 | 2005-08-02 | Ericsson Inc. | System and method for transmitting control information between a control unit and at least one sub-unit |
US6618628B1 (en) | 2000-10-05 | 2003-09-09 | Karl A. Davlin | Distributed input/output control systems and methods |
US6520520B2 (en) | 2000-10-31 | 2003-02-18 | Durrell U. Howard | Steering stabilizer with trimming accumulator |
AU2001295360A1 (en) | 2000-11-17 | 2002-05-27 | Tecan Trading Ag | Device and method for separating samples from a liquid |
US6708239B1 (en) | 2000-12-08 | 2004-03-16 | The Boeing Company | Network device interface for digitally interfacing data channels to a controller via a network |
US6540265B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-04-01 | R. W. Beckett Corporation | Fluid fitting |
US7133807B2 (en) | 2001-01-22 | 2006-11-07 | Tokyo Electron Limited | Apparatus productivity improving system and its method |
US6554579B2 (en) | 2001-03-29 | 2003-04-29 | Integrated Designs, L.P. | Liquid dispensing system with enhanced filter |
US6767877B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-07-27 | Akrion, Llc | Method and system for chemical injection in silicon wafer processing |
US6572255B2 (en) | 2001-04-24 | 2003-06-03 | Coulter International Corp. | Apparatus for controllably mixing and delivering diluted solution |
US6805841B2 (en) | 2001-05-09 | 2004-10-19 | The Provost Fellows And Scholars Of The College Of The Holy And Undivided Trinity Of Queen Elizabeth Near Dublin | Liquid pumping system |
US6697701B2 (en) | 2001-08-09 | 2004-02-24 | Lincoln Global, Inc. | Welding system and methodology providing multiplexed cell control interface |
US6823283B2 (en) | 2001-08-14 | 2004-11-23 | National Instruments Corporation | Measurement system including a programmable hardware element and measurement modules that convey interface information |
WO2003029775A2 (en) | 2001-10-01 | 2003-04-10 | Mykrolis Corporation | Thermoplastic apparatus for conditioning the temperature of a fluid |
US20030114942A1 (en) | 2001-12-17 | 2003-06-19 | Varone John J. | Remote display module |
GB2384947B (en) | 2002-02-01 | 2006-01-18 | Sendo Int Ltd | Enabling and/or inhibiting an operation of a wireless communicatons unit |
US6766810B1 (en) | 2002-02-15 | 2004-07-27 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus to control pressure in a supercritical fluid reactor |
US6914543B2 (en) | 2002-06-03 | 2005-07-05 | Visteon Global Technologies, Inc. | Method for initializing position with an encoder |
US6837484B2 (en) | 2002-07-10 | 2005-01-04 | Saint-Gobain Performance Plastics, Inc. | Anti-pumping dispense valve |
DE10233127C1 (de) | 2002-07-20 | 2003-12-11 | Porsche Ag | Vorrichtung zur Wanddurchführung von Rohrleitungen, Schläuchen oder elektrischen Kabeln für Kraftfahrzeuge |
US7013223B1 (en) | 2002-09-25 | 2006-03-14 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method and apparatus for analyzing performance of a hydraulic pump |
US20040072450A1 (en) | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Collins Jimmy D. | Spin-coating methods and apparatuses for spin-coating, including pressure sensor |
JP2006504035A (ja) * | 2002-10-23 | 2006-02-02 | キャリア・コマーシャル・リフリージレーション・インコーポレーテッド | 流体較正システムおよび較正方法 |
US7156115B2 (en) | 2003-01-28 | 2007-01-02 | Lancer Partnership, Ltd | Method and apparatus for flow control |
JP4392474B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-01-06 | 兵神装備株式会社 | 材料供給システム |
JP4206308B2 (ja) | 2003-08-01 | 2009-01-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 液体クロマトグラフ用ポンプ |
JP4377639B2 (ja) | 2003-09-18 | 2009-12-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ポンプおよびクロマトグラフ用液体ポンプ |
US20050173463A1 (en) | 2004-02-09 | 2005-08-11 | Wesner John A. | Dispensing pump having linear and rotary actuators |
JP4319105B2 (ja) | 2004-02-18 | 2009-08-26 | 三菱電機株式会社 | 製造システム、ゲートウェイ装置、ゲートウェイプログラムおよび被制御装置の制御方法 |
DE102004014793A1 (de) | 2004-03-24 | 2005-10-20 | Bosch Rexroth Ag | Verfahren zur Datenübertragung |
US7272452B2 (en) | 2004-03-31 | 2007-09-18 | Siemens Vdo Automotive Corporation | Controller with configurable connections between data processing components |
US7363195B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-04-22 | Sensarray Corporation | Methods of configuring a sensor network |
EP1791628A4 (en) | 2004-09-21 | 2011-09-28 | Glaxo Group Ltd | MIXING SYSTEM AND METHOD |
US20060083259A1 (en) | 2004-10-18 | 2006-04-20 | Metcalf Thomas D | Packet-based systems and methods for distributing data |
WO2006057957A2 (en) | 2004-11-23 | 2006-06-01 | Entegris, Inc. | System and method for a variable home position dispense system |
US20080089361A1 (en) | 2005-10-06 | 2008-04-17 | Metcalf Thomas D | System and method for transferring data |
JP5339914B2 (ja) | 2005-11-21 | 2013-11-13 | インテグリス・インコーポレーテッド | 低減された形状要因を有するポンプのためのシステムと方法 |
US8753097B2 (en) | 2005-11-21 | 2014-06-17 | Entegris, Inc. | Method and system for high viscosity pump |
KR20080073778A (ko) | 2005-12-02 | 2008-08-11 | 엔테그리스, 아이엔씨. | O링 없는 로우 프로파일 피팅 및 피팅 조립체 |
US8083498B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-12-27 | Entegris, Inc. | System and method for position control of a mechanical piston in a pump |
US7850431B2 (en) | 2005-12-02 | 2010-12-14 | Entegris, Inc. | System and method for control of fluid pressure |
US7878765B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-02-01 | Entegris, Inc. | System and method for monitoring operation of a pump |
CN101495756B (zh) | 2005-12-02 | 2012-07-04 | 恩特格里公司 | 使用电机校正压力变化的系统和方法 |
JP5366555B2 (ja) | 2005-12-02 | 2013-12-11 | インテグリス・インコーポレーテッド | ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 |
EP1958039B9 (en) | 2005-12-02 | 2011-09-07 | Entegris, Inc. | I/o systems, methods and devices for interfacing a pump controller |
TWI402423B (zh) | 2006-02-28 | 2013-07-21 | Entegris Inc | 用於一幫浦操作之系統及方法 |
US7494265B2 (en) | 2006-03-01 | 2009-02-24 | Entegris, Inc. | System and method for controlled mixing of fluids via temperature |
US7684446B2 (en) | 2006-03-01 | 2010-03-23 | Entegris, Inc. | System and method for multiplexing setpoints |
US7660648B2 (en) | 2007-01-10 | 2010-02-09 | Halliburton Energy Services, Inc. | Methods for self-balancing control of mixing and pumping |
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