JP5684186B2 - 低減された形状要因を有するポンプのためのシステムと方法 - Google Patents
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Description
多段式ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
該ポンプ入口流路と流体連通している送液ポンプであって、
送液チャンバ内で可動の送液ステージダイヤフラムと、
該送液ステージダイヤフラムを動かす送液ピストンと、
該送液ピストンを往復運動させるために、該送液ピストンに結合された送液モータと
を備える、送液ポンプと、
該送液ポンプおよび該ポンプ出口流路と流体連通している分注ポンプであって、
分注チャンバ内で可動の分注ダイヤフラムであって、分注回転ダイヤフラムを備える分注ダイヤフラムと、
該分注ダイヤフラムを動かす分注ピストンと、
該分注ピストンを往復運動させるために、該分注ピストンに結合された分注モータと
を備える、分注ポンプと、
該多段式ポンプを通る流体の流れを選択的に可能にする一式の弁と、
該分注チャンバ内の圧力を検出するように配置された圧力センサと
を備える、多段式ポンプ。
[付記項2]
前記送液ステージダイヤフラムは、送液ステージ回転ダイヤフラムであり、前記分注モータはブラシレスDCモータであり、前記多段式ポンプは、
前記送液ピストンに結合され、前記送液モータによって可動である第1の親ねじと、
前記分注ピストンに結合され、前記分注モータによって可動である第2の親ねじであって、該送液ピストンおよび該分注ピストンは、それぞれ、前記送液ダイヤフラムおよび前記分注ダイヤフラムを直接動かす、第2の親ねじと、
前記送液チャンバと流体連通している送液ステージ出口流路と、
前記分注チャンバと流体連通している分注ステージ入口流路と、
該送液ステージ出口流路および該分注ステージ入口流路と流体連通しているフィルタであって、送液ステージポンプから前記分注ポンプへ流れる流体は、該フィルタを通過する、フィルタと
をさらに備える、付記項1に記載の多段式ポンプ。
[付記項3]
前記フィルタと流体連通しているガス抜き流路と、
前記分注チャンバと流体連通している浄化流路と
をさらに備える、付記項2に記載の多段式ポンプ。
[付記項4]
前記浄化流路は、前記分注チャンバから前記送液チャンバへ通じている、付記項3に記載の多段式ポンプ。
[付記項5]
前記送液チャンバの少なくとも一部分および前記分注チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の材料から形成される分注ブロックをさらに備え、該分注ブロックは、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、前記送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、前記分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、前記ガス抜き流路の第1および第2の部分、前記浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分をさらに画定する、付記項4に記載の多段式ポンプ。
[付記項6]
前記分注ブロックに結合される弁板をさらに備え、該弁板および該分注ブロックは、入口弁、隔離弁、遮断弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、
前記分注ブロックは、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、前記送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、前記分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、前記ガス抜き流路の第1および第2の部分、前記浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分をさらに画定し、
該ポンプ入口流路の該第1の部分は、入口から入口弁へ通じ、該ポンプ入口流路の該第2の部分は、該入口弁から前記送液チャンバへ通じ、
該送液ステージ出口流路の該第1の部分は、該送液チャンバから該隔離弁へ通じ、該送液ステージ出口流路の該第2の部分は、前記フィルタへ通じ、
該分注ステージ入口流路の該第1の部分は、該フィルタから該遮断弁へ通じ、該分注ステージ入口流路の該第2の部分は、該遮断弁から前記分注チャンバへ通じ、
該ガス抜き流路の該第1の部分は、該フィルタからガス抜き弁へ通じ、該ガス抜き流路の該第2の部分は、該ガス抜き弁からガス抜き出口へ通じ、
該浄化流路の該第1の部分は、該分注チャンバから該浄化弁へ通じ、該浄化流路の該第2の部分は、該浄化弁から該送液チャンバへ通じている、
付記項5に記載の多段式ポンプ。
[付記項7]
前記弁板と前記分注ブロックとの間に結合された1枚のエラストマー材料をさらに備える、付記項6に記載の多段式ポンプ。
[付記項8]
電子機器ハウジングと、
該電子機器ハウジング内に配設されたマニホールドであって、該マニホールドは、前記入口弁、前記ガス抜き弁、前記隔離弁、前記遮断弁および前記浄化弁と流体連通し、1つ以上のソレノイド弁を備える、マニホールドと、
該マニホールドと連通しており、該電子機器ハウジングを貫通している少なくとも1つの供給線と
をさらに備える、付記項6に記載の多段式ポンプ。
[付記項9]
前記電子機器ハウジングは、前記分注ブロックの表面によって部分的に画定され、前記マニホールドは、該電子機器ハウジング内の、該分注ブロックの該表面から遠位の位置に配設され、該多段式ポンプは、
該電子機器ハウジング内に配置されたPCBボードであって、該PCBボードは、1つ以上の発熱部品で構成され、該1つ以上の発熱部品は、該分注ブロックの該表面からは該PCBボードの反対側にある、PCBボードと、
裏板であって、該マニホールドおよび該PCBボードは、該裏板に結合され、該裏板は、該PCBボードおよび該マニホールドから熱を消散するように選択された材料から形成される、裏板と
をさらに含む、付記項8に記載の多段式ポンプ。
[付記項10]
前記多段式ポンプは、電子機器ハウジングをさらに備え、前記分注ブロックは、該電子機器ハウジングから離れるように液滴を導く傾斜機構を備え、
該分注ブロックは、該電子機器ハウジングのトップカバーに接する該分注ブロックの端縁に位置するフランジをさらに備え、該トップカバーの上部表面は該フランジの上部表面と同一平面上にあり、該トップカバーの側部表面は、該フランジの外縁から内部に嵌め込まれている、付記項5に記載の多段式ポンプ。
[付記項11]
1つ以上のモータカバーをさらに備え、該1つ以上のカバーのそれぞれの鉛直表面が、前記分注ブロックの対応する鉛直表面から内側にオフセットしている、付記項10に記載の多段式ポンプ。
[付記項12]
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
該ポンプ出口流路と流体連通している分注チャンバの少なくとも一部分、および該ポンプ入口流路と流体連通している送液チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の分注ブロックと、
該送液チャンバおよび該分注チャンバと流体連通しているフィルタと、
該送液チャンバ内で可動の送液ステージダイヤフラムと、
該送液ステージダイヤフラムを動かす送液ピストンと、
該送液ピストンを往復運動させるために、該送液ピストンに結合された送液モータと、
該分注チャンバ内で可動の分注ダイヤフラムと、
該分注ダイヤフラムを動かす分注ピストンと、
該分注ピストンを往復運動させるために、該分注ピストンに結合された分注モータと、
該分注チャンバ内の圧力を読み取るように配設された圧力センサと
を備える、多段式ポンプ。
[付記項13]
前記分注ブロックは、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、前記送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、前記分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、ガス抜き流路の第1および第2の部分、浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分をさらに画定し、
該ポンプ入口流路の該第1の部分は、入口から入口弁へ通じ、該ポンプ入口路の該第2の部分は、該入口弁から前記送液チャンバへ通じ、
該送液ステージ出口流路の該第1の部分は、該送液チャンバから隔離弁へ通じ、該送液ステージ出口流路の該第2の部分は、前記フィルタへ通じ、
該分注ステージ入口流路の該第1の部分は、該フィルタから遮断弁へ通じ、該分注ステージ入口流路の該第2の部分は、該遮断弁から前記分注チャンバへ通じ、
該ガス抜き流路の該第1の部分は、該フィルタからガス抜き弁へ通じ、該ガス抜き流路の該第2の部分は、該ガス抜き弁からガス抜き出口へ通じ、
該浄化流路の該第1の部分は、該分注チャンバから浄化弁へ通じ、該浄化流路の該第2の部分は、該浄化弁から該送液チャンバへ通じている、
付記項12に記載の多段式ポンプ。
[付記項14]
前記分注ブロックに結合された弁板をさらに備え、該弁板および該分注ブロックは、前記入口弁、前記隔離弁、前記遮断弁および前記浄化弁のための弁チャンバを画定する、付記項13に記載の多段式ポンプ。
[付記項15]
前記弁板と前記分注ブロックとの間に結合された1枚のエラストマー材料をさらに備える、付記項14に記載の多段式ポンプ。
[付記項16]
電子機器ハウジングと、
該電子機器ハウジング内に配設されたマニホールドであって、該マニホールドは、前記入口弁、前記ガス抜き弁、前記隔離弁、前記遮断弁および前記浄化弁と流体連通し、1つ以上のソレノイド弁を備える、マニホールドと、
該マニホールドと連通しており、該電子機器ハウジングを貫通している少なくとも1つの供給線と
をさらに備える、付記項14に記載の多段式ポンプ。
[付記項17]
前記電子機器ハウジングは、前記分注ブロックの表面によって部分的に画定され、また前記マニホールドは、該電子機器ハウジング内の、該分注ブロックの該表面から遠位の位置に配設され、前記多段式ポンプは、
該電子機器ハウジング内に配置されたPCBボードであって、該PCBボードは、1つ以上の発熱部品で構成され、該1つ以上の発熱部品は、該分注ブロックの該表面からは該PCBボードの反対側にある、PCBボードと、
裏板であって、該マニホールドおよび該PCBボードは、該裏板に結合され、該裏板は、該PCBボードおよび該マニホールドから熱を消散するように選択された材料から形成される、付記項16に記載の多段式ポンプ。
[付記項18]
前記多段式ポンプは、電子機器ハウジングをさらに備え、前記分注ブロックは、該電子機器ハウジングから離れるように液滴を導く傾斜機構を備えており、
該分注ブロックは、該電子機器ハウジングのトップカバーに接する、該分注ブロックの端縁に位置するフランジをさらに備え、該トップカバーの上部表面は該フランジの上部表面と同一平面上にあり、該トップカバーの側部表面は、該フランジの外縁から内部に嵌め込まれる、付記項12に記載の多段式ポンプ。
[付記項19]
前記多段式ポンプは、1つ以上のモータカバーをさらに備え、該1つ以上のカバーのそれぞれの鉛直表面は、前記分注ブロックの対応する鉛直表面から内側にオフセットしている、付記項12に記載の多段式ポンプ。
[付記項20]
多段式ポンプ方法であって、
単体の材料の分注ブロックを形成することであって、該分注ブロックは、送液チャンバ、分注チャンバ、ポンプ入口流路およびポンプ出口流路を少なくとも部分的に画定する、ことと、
該分注ブロックと分注ポンプピストンハウジングとの間に分注回転ダイヤフラムを取り付けることと、
該分注ブロックと送液ポンプピストンハウジングとの間に送液ステージ回転ダイヤフラムを取り付けることと、
送液ポンプ親ねじによって、送液ポンプピストンを送液ポンプモータに結合することと、
分注ポンプ親ねじによって、分注ポンプピストンを分注ポンプモータに結合することと、
該送液モータを該送液ポンプピストンハウジングに結合することと、
該分注モータを該分注モータピストンハウジングに結合することと、
フィルタが該分注チャンバおよび該送液チャンバと流体連通するように、フィルタを該分注ブロックに結合することと
を包含する、方法。
[付記項21]
前記送液モータは、ステッピングモータであり、また前記分注モータは、ブラシレスDCモータである、付記項20に記載の方法。
[付記項22]
弁板を前記分注ブロックに結合することを含み、該弁板は、1つ以上の弁を少なくとも部分的に画定し、
該分注ブロックは、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、前記送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、前記分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、ガス抜き流路の第1および第2の部分、浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分をさらに画定し、
該ポンプ入口流路の該第1の部分は、入口から入口弁へ通じ、該ポンプ入口流路の該第2の部分は、該入口弁から前記送液チャンバへ通じ、
該送液ステージ出口流路の該第1の部分は、該送液チャンバから隔離弁へ通じ、該送液ステージ出口流路の該第2の部分は、前記フィルタへ通じ、
該分注ステージ入口流路の該第1の部分は、該フィルタから遮断弁へ通じ、該分注ステージ入口流路の該第2の部分は、該遮断弁から前記分注チャンバへ通じ、
該ガス抜き流路の該第1の部分は、該フィルタからガス抜き弁へ通じ、該ガス抜き流路の該第2の部分は、該ガス抜き弁からガス抜き出口へ通じ、
該浄化流路の該第1の部分は、該分注チャンバから浄化弁へ通じ、該浄化流路の該第2の部分は、該浄化弁から該送液チャンバへ通じている、
付記項20に記載の方法。
[付記項23]
ねじ穴を有する一式の金属棒を前記分注ブロックに挿入することであって、それぞれの棒が該棒の該ねじ穴に螺入されるねじに対して直角となるように、該ねじ穴が位置合わせされる、ことと、
1つ以上の部品を該分注ブロックに結合するために、該ねじ穴にねじを螺入することと
を含む、付記項20に記載の方法。
[付記項24]
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
該ポンプ出口流路および該ポンプ入口流路と流体連通しているポンプチャンバの少なくとも一部分を画定する単体の分注ブロックと、
送液チャンバ内で可動のダイヤフラムと、
該ダイヤフラムを動かすピストンであって、該ピストンは該ダイヤフラムを直接動かす、ピストンと、
該ピストンを往復運動させるために、該ピストンに結合されたモータと、
該ポンプチャンバ内の圧力を読み取るように配設された圧力センサと
を備える、ポンプ。
[付記項25]
前記分注ブロックに結合された弁板をさらに備え、該弁板と該分注ブロックは、入口弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、
該分注ブロックは、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分をさらに画定し、
該ポンプ入口流路の該第1の部分は、入口から入口弁へ通じ、該ポンプ入口流路の該第2の部分は、該入口弁から前記ポンプチャンバへ通じ、
該浄化流路の該第1の部分は、該ポンプチャンバから浄化弁へ通じ、また該浄化流路の該第2の部分は、浄化出口へ通じている、付記項24に記載のポンプ。
[付記項26]
前記弁板と前記分注ブロックとの間に結合された1枚のエラストマー材料をさらに備える、付記項25に記載のポンプ。
[付記項27]
前記分注ブロックの表面によって部分的に画定される電子機器ハウジングと、
該電子機器ハウジング内に、該分注ブロックの該表面から遠位の位置に配設されたマニホールドであって、該マニホールドは、前記入口弁および前記浄化弁と流体連通し、1つ以上のソレノイド弁を備える、マニホールドと、
該マニホールドと連通し、該電子機器ハウジングを貫通している少なくとも1つの供給線と、
裏板と、
該電子機器ハウジング内に配置されたPCBボードとをさらに備え、
該PCBボードは、1つ以上の発熱部品で構成され、該1つ以上の発熱部品は、該分注ブロックの該表面からは該PCBボードの反対側にあり、該マニホールドおよび該PCBボードは、該裏板に結合され、該裏板は、該PCBボードおよび該マニホールドから熱を消散するように選択された材料から形成されている、付記項25に記載のポンプ。
[付記項28]
前記多段式ポンプは、電子機器ハウジングをさらに備え、前記分注ブロックは、該電子機器ハウジングから離れるように液滴を導く傾斜機構を備え、
該分注ブロックは、該電子機器ハウジングのトップカバーに接する該分注ブロックの端縁に配置されたフランジをさらに備え、該トップカバーの上部表面は該フランジの上部表面と同一平面上にあり、該トップカバーの側部表面は、該フランジの外縁から内部に嵌め込まれる、付記項24に記載のポンプ。
[付記項29]
前記電子機器ハウジングを部分的に画定する裏板と、
該裏板と前記トップカバーとの間の密閉部と
をさらに備える、付記項28に記載のポンプ。
[付記項30]
前記ポンプは、1つ以上のカバーをさらに備え、該1つ以上のカバーのそれぞれの鉛直表面は、前記分注ブロックの対応する鉛直表面から内側にオフセットしている、付記項29に記載のポンプ。
15 流体源
20 ポンプ制御装置
25 ウエハ
27 媒体
35 プロセッサ
40,45 通信リンク
100 多段式ポンプ
105 送液ステージ部分
110 分注ステージ部分
112 圧力センサ
120 フィルタ
125 入口弁
130 隔離弁
135 遮断弁
140 浄化弁
145 ガス抜き弁
147 出口弁
150 送液ステージポンプ
155 送液チャンバ
160 送液ステージダイヤフラム
165 ピストン
170 親ねじ
175 ステッピングモータ
185 分注チャンバ
190 分注ステージダイヤフラム
192 ピストン
195 親ねじ
200 分注モータ
Claims (13)
- 多段式ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
前記ポンプ入口流路と流体連通している送液ポンプであって、
送液チャンバ内で可動である送液ステージダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである送液ステージダイヤフラムと、
前記送液ステージダイヤフラムに接触して、ある動作範囲にわたって前記送液ステージダイヤフラムを動かすための送液ピストンであって、前記送液ピストンの動作によって、前記送液ステージダイヤフラムが、前記送液ピストンと前記送液チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する送液ピストンと、
前記送液ピストンを往復運動させるために前記送液ピストンに結合された送液モータと、を備える送液ポンプと、
前記送液ポンプおよび前記ポンプ出口流路と流体連通している分注ポンプであって、
分注チャンバ内で可動である分注ダイヤフラムであって、分注回転ダイヤフラムを備える分注ダイヤフラムと、
前記分注ダイヤフラムに接触して、ある動作範囲にわたって前記分注ダイヤフラムを動かすための分注ピストンであって、前記分注ピストンの動作によって、前記分注ダイヤフラムが、前記分注ピストンと前記分注チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する分注ピストンと、
前記分注ピストンを往復運動させるために前記分注ピストンに結合された分注モータと、を備える分注ポンプと、
前記送液ポンプと前記分注ポンプとの間のフィルタであって、前記送液ポンプから前記分注ポンプへと流れる流体が、このフィルタを通過するように前記送液チャンバおよび前記分注チャンバと流体連通しているフィルタと、
前記送液チャンバの少なくとも一部分および前記分注チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の素材から形成された分注ブロックと、
前記多段式ポンプを通る流体の流れを選択的に可能にする弁一式と、
を備えることを特徴とする多段式ポンプ。 - 前記送液モータはステップモータあるいは第1のブラシレスDCモータであり、かつ、前記分注モータは第2のブラシレスDCモータであることを特徴とする請求項1に記載の多段式ポンプ。
- 前記送液ピストンに結合されかつ前記送液モータによって動作可能である第1の親ねじと、
前記分注ピストンに結合されかつ前記分注モータによって動作可能である第2の親ねじと、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の多段式ポンプ。 - 前記フィルタと流体連通しているガス抜き流路と、
前記分注チャンバと流体連通している浄化流路と、をさらに備え、
前記単体の素材は、さらに、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、前記送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、前記分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、前記ガス抜き流路の第1および第2の部分、前記浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分を完全に画定していることを特徴とする請求項1に記載の多段式ポンプ。 - 前記ポンプ入口流路の前記第1の部分は、入口から入口弁へと通じ、かつ、前記ポンプ入口路の前記第2の部分は、前記入口弁から前記送液チャンバへと通じ、
前記送液ステージ出口流路の前記第1の部分は、前記送液チャンバから隔離弁へと通じ、かつ、前記送液ステージ出口流路の前記第2の部分は、前記隔離弁から前記フィルタへと通じ、
前記分注ステージ入口流路の前記第1の部分は、前記フィルタから遮断弁へと通じ、かつ、前記分注ステージ入口流路の前記第2の部分は、前記遮断弁から前記分注チャンバへと通じ、
前記ガス抜き流路の前記第1の部分は、前記フィルタからガス抜き弁へと通じ、かつ、前記ガス抜き流路の前記第2の部分は、前記ガス抜き弁からガス抜き出口へと通じ、
前記浄化流路の前記第1の部分は、前記分注チャンバから浄化弁へと通じ、かつ、前記浄化流路の前記第2の部分は、前記浄化弁から前記送液チャンバへと通じていることを特徴とする請求項4に記載の多段式ポンプ。 - 前記分注ブロックのただ一つの面に対して結合された弁板をさらに備え、前記弁板および分注ブロックは、前記流入弁、隔離弁、遮断弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、前記弁チャンバは、前記分注ブロックに面する前記弁板のただ一つの側に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の多段式ポンプ。
- ポンプチャンバ内の圧力を読み取るよう配置された圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の多段式ポンプ。
- 請求項1に記載の多段式ポンプであって、さらに、
前記分注ブロックの表面によって部分的に画定される電子機器ハウジングと、
前記分注ブロックの前記表面から遠位で前記電子機器ハウジング内に配設されたマニホールドであって、入口弁および浄化弁と流体連通しており、1つ以上のソレノイド弁を備えるマニホールドと、
前記マニホールドと連通しており、かつ、前記電子機器ハウジングを貫通している少なくとも1つの供給ラインと、
裏板と、
前記電子機器ハウジング内に配置されたPCBボードと、を備え、
前記PCBボードは、1つ以上の発熱部品で構成され、前記1つ以上の発熱部品は、前記分注ブロックの前記表面から前記PCBボードの反対側にあり、前記マニホールドおよびPCBボードは前記裏板に結合され、かつ、前記裏板は、前記PCBボードおよび前記マニホールドから熱を放散するよう選択された材料から形成されていることを特徴とする多段式ポンプ。 - 請求項8に記載の多段式ポンプであって、前記分注ブロックは、前記電子機器ハウジングから離れるように液滴を導くための傾斜機構を備え、かつ、
前記分注ブロックは、さらに、前記電子機器ハウジングのトップカバーに接する前記分注ブロックの端縁に配置されたフランジを備え、前記トップカバーの上部表面は前記フランジの上部表面と同一平面をなし、かつ、前記トップカバーの側部表面は、前記フランジの外縁から内部に嵌め込まれていることを特徴とする多段式ポンプ。 - フォトレジスト化学物質を分注するよう構成された多段式ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
前記ポンプ出口流路と流体連通している分注チャンバの少なくとも一部分、ならびに前記ポンプ入口流路と流体連通している送液チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の分注ブロックと、
前記送液チャンバおよび前記分注チャンバと流体連通しているフィルタと、
前記送液チャンバ内で動作可能である送液ステージダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである送液ステージダイヤフラムと、
前記送液ステージダイヤフラムを動かす送液ピストンであって、前記送液ピストンは、ある動作範囲にわたって前記送液ステージダイヤフラムと接触するよう構成されており、かつ、前記送液ピストンの動作によって、前記送液ステージダイヤフラムが、前記送液ピストンと前記送液チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する送液ピストンと、
前記送液ピストンを往復運動させるために前記送液ピストンに結合された送液モータと、
前記分注チャンバ内で動作可能である分注ダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである分注ダイヤフラムと、
前記分注ダイヤフラムを動かす分注ピストンであって、前記分注ピストンは、ある動作範囲にわたって前記分注ステージダイヤフラムと接触するよう構成されており、かつ、前記分注ピストンの動作によって、前記分注ダイヤフラムが、前記分注ピストンと前記分注チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する分注ピストンと、
前記分注ピストンを往復運動させるために前記分注ピストンに結合された分注モータと、
前記分注ブロックに結合された弁板であって、前記弁板および前記分注ブロックは、入口弁、隔離弁、遮断弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、前記弁板は、この弁板のただ一つの側で前記弁チャンバを画定し、かつ、前記弁板は前記分注ブロックの端面に結合されている弁板と、
を備えることを特徴とする多段式ポンプ。 - 前記分注ブロックは、さらに、前記ポンプ入口流路の第1および第2の部分、送液ステージ出口流路の第1および第2の部分、分注ステージ入口流路の第1および第2の部分、ガス抜き流路の第1および第2の部分、浄化流路の第1および第2の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分を画定することを特徴とする請求項10に記載の多段式ポンプ。
- 前記ポンプ入口流路の第1の部分は、入口から前記入口弁へと通じ、かつ、前記ポンプ入口路の第2の部分は、前記入口弁から前記送液チャンバへと通じ、
送液ステージ出口流路の第1の部分は、前記送液チャンバから前記隔離弁へと通じ、かつ、前記送液ステージ出口流路の第2の部分は、前記隔離弁から前記フィルタへと通じ、
前記分注ステージ入口流路の第1の部分は、前記フィルタから前記遮断弁へと通じ、かつ、前記分注ステージ入口流路の第2の部分は、前記遮断弁から前記分注チャンバへと通じ、
ガス抜き流路の第1の部分は、前記フィルタからガス抜き弁へと通じ、かつ、前記ガス抜き流路の第2の部分は、前記ガス抜き弁からガス抜き出口へと通じ、
前記浄化流路の第1の部分は、前記分注チャンバから浄化弁へと通じ、かつ、前記浄化流路の第2の部分は、前記浄化弁から前記送液チャンバへと通じていることを特徴とする請求項10に記載の多段式ポンプ。 - 前記分注チャンバ内の圧力を読み取るよう配置された圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項10に記載の多段式ポンプ。
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