JPH0868379A - リニアパルスモータを備えた往復形ポンプ - Google Patents
リニアパルスモータを備えた往復形ポンプInfo
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- JPH0868379A JPH0868379A JP6203111A JP20311194A JPH0868379A JP H0868379 A JPH0868379 A JP H0868379A JP 6203111 A JP6203111 A JP 6203111A JP 20311194 A JP20311194 A JP 20311194A JP H0868379 A JPH0868379 A JP H0868379A
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- pump
- linear pulse
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 往復形ポンプのストロークやストローク速度
を任意に制御して、ポンプ吐出量を任意に制御する。 【構成】 吸入路１９側および吐出路２０側にそれぞれ
チェック弁２１，２２を設けた往復型ポンプ１１であっ
て、 該ポンプ１１を往復動させるための駆動源とし
て、リニアパルスモータ１３を該ポンプ１１に装着する
とともに、該リニアパルスモータ１３にパルス信号を送
出するパルス発生装置１４を接続し、該パルス発生装置
１４から送出されるパルス信号のパルス数とパルス発生
速度を調整して、前記リニアパルスモータ１３のストロ
ーク長とストローク速度を制御し、前記ポンプ１１の吐
出量を制御する。
を任意に制御して、ポンプ吐出量を任意に制御する。 【構成】 吸入路１９側および吐出路２０側にそれぞれ
チェック弁２１，２２を設けた往復型ポンプ１１であっ
て、 該ポンプ１１を往復動させるための駆動源とし
て、リニアパルスモータ１３を該ポンプ１１に装着する
とともに、該リニアパルスモータ１３にパルス信号を送
出するパルス発生装置１４を接続し、該パルス発生装置
１４から送出されるパルス信号のパルス数とパルス発生
速度を調整して、前記リニアパルスモータ１３のストロ
ーク長とストローク速度を制御し、前記ポンプ１１の吐
出量を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リニアパルスモータを
備えた往復形ポンプに関する。
備えた往復形ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】図７に、従来からよく知られているベロ
ーズ型の往復形液圧ポンプの縦断面図を示す。
ーズ型の往復形液圧ポンプの縦断面図を示す。
【０００３】図７において、前記ベローズ型の往復形液
圧ポンプは、エアシリンダ１を駆動源とし、該エアシリ
ンダ１のピストンの往復動にしたがって、該ピストンロ
ッド２の先端に固着されたベローズ３を伸縮させ、これ
により、対象液をポンプヘッド４に設けられた吸入口５
から吐出口６へ、吸入、吐出作用を行う。
圧ポンプは、エアシリンダ１を駆動源とし、該エアシリ
ンダ１のピストンの往復動にしたがって、該ピストンロ
ッド２の先端に固着されたベローズ３を伸縮させ、これ
により、対象液をポンプヘッド４に設けられた吸入口５
から吐出口６へ、吸入、吐出作用を行う。
【０００４】この場合、吸入路７および吐出路８にはそ
れぞれ２段のボール弁（チェック弁）９，１０が配設さ
れているため、前記対象液は逆流することなく、常に一
方向に圧送される。
れぞれ２段のボール弁（チェック弁）９，１０が配設さ
れているため、前記対象液は逆流することなく、常に一
方向に圧送される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のベローズ型の往復形液圧ポンプにあっては、
エアシリンダ１が往復動駆動源として使用されているた
め、エア圧に連動してポンプ吐出量を変化させたり、ス
トロークやストローク速度を任意に制御することができ
ないという問題点があった。また、外形が大きく、圧縮
エア中の塵により周囲環境に及ぼすクリーン度にも問題
点があった。
うな従来のベローズ型の往復形液圧ポンプにあっては、
エアシリンダ１が往復動駆動源として使用されているた
め、エア圧に連動してポンプ吐出量を変化させたり、ス
トロークやストローク速度を任意に制御することができ
ないという問題点があった。また、外形が大きく、圧縮
エア中の塵により周囲環境に及ぼすクリーン度にも問題
点があった。
【０００６】本発明はかかる点に鑑みなされたもので、
その目的は前記問題点を解消し、ポンプのストロークや
ストローク速度を任意に制御して、ポンプ吐出量を任意
に制御することができるリニアパルスモータを備えた往
復形ポンプを提供することにある。
その目的は前記問題点を解消し、ポンプのストロークや
ストローク速度を任意に制御して、ポンプ吐出量を任意
に制御することができるリニアパルスモータを備えた往
復形ポンプを提供することにある。
【０００７】本発明の他の目的は、外形が従来のものよ
り小型化されるリニアパルスモータを備えた往復形ポン
プを提供することにある。
り小型化されるリニアパルスモータを備えた往復形ポン
プを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の構成は、吸入路側および吐出路側にそれぞれ
チェック弁を設けた往復形ポンプにおいて、次のとおり
である。
の本発明の構成は、吸入路側および吐出路側にそれぞれ
チェック弁を設けた往復形ポンプにおいて、次のとおり
である。
【０００９】（１） 前記ポンプを往復動させるための
駆動源として、リニアパルスモータを該ポンプに装着す
るとともに、該リニアパルスモータにパルス信号を送出
するパルス発生装置を接続し、該パルス発生装置から送
出されるパルス信号のパルス数とパルス発生速度を調整
して、前記リニアパルスモータのストローク長とストロ
ーク速度を制御し、前記ポンプの吐出量を制御すること
を特徴とする。
駆動源として、リニアパルスモータを該ポンプに装着す
るとともに、該リニアパルスモータにパルス信号を送出
するパルス発生装置を接続し、該パルス発生装置から送
出されるパルス信号のパルス数とパルス発生速度を調整
して、前記リニアパルスモータのストローク長とストロ
ーク速度を制御し、前記ポンプの吐出量を制御すること
を特徴とする。
【００１０】（２） 前記（１）において、前記リニア
パルスモータが、内側に向って放射状に等ピッチ角度で
配設された複数個の突極を有するとともに、該突極の内
周面に軸方向に複数個の固定子小歯が形成された固定子
コアを有する固定子と、該固定子内に軸受を介して軸方
向に移動自在に支持されるとともに、外周面に前記固定
子小歯に対向して、等ピッチで複数個の移動子小歯が形
成された移動子コアを有する移動子と、前記固定子コア
の中間、または前記移動子コアの中間に挟持され、軸方
向に着磁された永久磁石とを備えてなるリニアパルスモ
ータであることを特徴とする。
パルスモータが、内側に向って放射状に等ピッチ角度で
配設された複数個の突極を有するとともに、該突極の内
周面に軸方向に複数個の固定子小歯が形成された固定子
コアを有する固定子と、該固定子内に軸受を介して軸方
向に移動自在に支持されるとともに、外周面に前記固定
子小歯に対向して、等ピッチで複数個の移動子小歯が形
成された移動子コアを有する移動子と、前記固定子コア
の中間、または前記移動子コアの中間に挟持され、軸方
向に着磁された永久磁石とを備えてなるリニアパルスモ
ータであることを特徴とする。
【００１１】（３） 前記（２）において、前記軸受が
前記移動子の内部に固着されるとともに、該移動子は、
前記軸受を介して、前記固定子内の中心軸に配設された
固定軸上を移動自在に配設され、かつ該移動子の一方ま
たは両方の端面に、前記固定軸に平行して延びる出力伝
達部材を固着し、該出力伝達部材を介して前記リニアパ
ルスモータの出力を得ることを特徴とする。
前記移動子の内部に固着されるとともに、該移動子は、
前記軸受を介して、前記固定子内の中心軸に配設された
固定軸上を移動自在に配設され、かつ該移動子の一方ま
たは両方の端面に、前記固定軸に平行して延びる出力伝
達部材を固着し、該出力伝達部材を介して前記リニアパ
ルスモータの出力を得ることを特徴とする。
【００１２】（４） 前記（２）または（３）におい
て、前記軸受が軸方向に移動自在な転がり軸受であるこ
とを特徴とする。
て、前記軸受が軸方向に移動自在な転がり軸受であるこ
とを特徴とする。
【００１３】
【作用】前記のように構成されたリニアパルスモータを
備えた往復形ポンプは、吸入路側および吐出路側にそれ
ぞれチェック弁を設け、該ポンプを往復させるための駆
動源として、リニアパルスモータを該ポンプに装着する
とともに、該リニアパルスモータにパルス信号を送出す
るパルス発生装置を接続しているので、該パルス発生装
置から送出されるパルス信号のパルス数とパルス発生速
度を調整して、前記リニアパルスモータのストローク長
とストローク速度を制御し、前記ポンプの吐出量を任意
に制御することができる。
備えた往復形ポンプは、吸入路側および吐出路側にそれ
ぞれチェック弁を設け、該ポンプを往復させるための駆
動源として、リニアパルスモータを該ポンプに装着する
とともに、該リニアパルスモータにパルス信号を送出す
るパルス発生装置を接続しているので、該パルス発生装
置から送出されるパルス信号のパルス数とパルス発生速
度を調整して、前記リニアパルスモータのストローク長
とストローク速度を制御し、前記ポンプの吐出量を任意
に制御することができる。
【００１４】また、前記リニアパルスモータの軸受が前
記移動子の内部に配設されるので、その分、前記ポンプ
の外形を従来のものより小型化される。
記移動子の内部に配設されるので、その分、前記ポンプ
の外形を従来のものより小型化される。
【００１５】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例
を例示的に詳しく説明する。図１は、本発明のリニアパ
ルスモータを備えた往復形ポンプの第１実施例を示すベ
ローズ型の往復形液圧ポンプの縦断面図である。
を例示的に詳しく説明する。図１は、本発明のリニアパ
ルスモータを備えた往復形ポンプの第１実施例を示すベ
ローズ型の往復形液圧ポンプの縦断面図である。
【００１６】図１において、ベローズ型の往復形液圧ポ
ンプ１１は、ベローズ型ポンプ部１２と、これに結合し
て該ポンプ部１２を往復動方向に駆動するリニアパルス
モータ１３と、これに接続されるパルス発生装置１４と
から構成される。そして前記ベローズ型ポンプ部１２
は、ベローズ部１５とポンプヘッド１６とからなる。
ンプ１１は、ベローズ型ポンプ部１２と、これに結合し
て該ポンプ部１２を往復動方向に駆動するリニアパルス
モータ１３と、これに接続されるパルス発生装置１４と
から構成される。そして前記ベローズ型ポンプ部１２
は、ベローズ部１５とポンプヘッド１６とからなる。
【００１７】前記ベローズ部１５のベローズ１５ａは、
前記リニアパルスモータ１３の出力軸４１の先端に取り
付けられた駆動板４１ａに固着されるとともに、該モー
タ１３の出力軸４１の往復動にしたがって、同方向に伸
縮され、これにより、対象液をポンプヘッド１６に設け
られた吸入口１７から前記ベローズ１５ａを経て吐出口
１８へ送出させる。
前記リニアパルスモータ１３の出力軸４１の先端に取り
付けられた駆動板４１ａに固着されるとともに、該モー
タ１３の出力軸４１の往復動にしたがって、同方向に伸
縮され、これにより、対象液をポンプヘッド１６に設け
られた吸入口１７から前記ベローズ１５ａを経て吐出口
１８へ送出させる。
【００１８】前記ポンプヘッド１６の前記吸入口１７に
連通する吸入路１９と、前記吐出口１８に連通する吐出
路２０にはそれぞれ２段のチェック弁（ボール弁）２
１，２２が、図示の方向に配設されているため、前記対
象液は逆流することなく、常に一方向に圧送される。
連通する吸入路１９と、前記吐出口１８に連通する吐出
路２０にはそれぞれ２段のチェック弁（ボール弁）２
１，２２が、図示の方向に配設されているため、前記対
象液は逆流することなく、常に一方向に圧送される。
【００１９】前記リニアパルスモータ１３（本実施例は
５相の場合を示す）は、図１において、固定子１３ａの
固定子コア３０に配設された５個の突極３１，３２，３
３，３４および３５には、その内周面に軸方向に複数個
の固定子小歯３６（歯先部３６ａと歯底部３６ｂ）が配
設されている。また、これら５個の突極３１，３２，‥
‥‥３５のそれぞれに、固定子巻線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，
Ｗ４およびＷ５が各別に巻回されている。該固定子コア
３０は、ブラケット３７と３８により、図示しないネジ
等でネジ止めすることにより支持される。したがって、
モータのフレームが不要となり、モータケーシングの必
要もない。
５相の場合を示す）は、図１において、固定子１３ａの
固定子コア３０に配設された５個の突極３１，３２，３
３，３４および３５には、その内周面に軸方向に複数個
の固定子小歯３６（歯先部３６ａと歯底部３６ｂ）が配
設されている。また、これら５個の突極３１，３２，‥
‥‥３５のそれぞれに、固定子巻線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，
Ｗ４およびＷ５が各別に巻回されている。該固定子コア
３０は、ブラケット３７と３８により、図示しないネジ
等でネジ止めすることにより支持される。したがって、
モータのフレームが不要となり、モータケーシングの必
要もない。
【００２０】一方、固定子１３ａ内にある移動子１３ｂ
は、前記ブラケット３７と３８により、軸受３９，４０
を介して軸方向に移動自在に支持される。そして、該移
動子１３ｂには、軸４１上に移動子コア４２ａと４２
ｂ、および該移動子コア４２ａ、４２ｂの間に挟持さ
れ、かつ軸方向に磁化されたリング状の永久磁石４３が
配設されている。（なお、本実施例において、前記永久
磁石４３は前記移動子コア４２ａ，４２ｂの間に挟持さ
れるように配設されているが、該永久磁石４３を前記固
定子コア３０の中間に挟持するように配設してもよ
い。）
は、前記ブラケット３７と３８により、軸受３９，４０
を介して軸方向に移動自在に支持される。そして、該移
動子１３ｂには、軸４１上に移動子コア４２ａと４２
ｂ、および該移動子コア４２ａ、４２ｂの間に挟持さ
れ、かつ軸方向に磁化されたリング状の永久磁石４３が
配設されている。（なお、本実施例において、前記永久
磁石４３は前記移動子コア４２ａ，４２ｂの間に挟持さ
れるように配設されているが、該永久磁石４３を前記固
定子コア３０の中間に挟持するように配設してもよ
い。）
【００２１】前記移動子コア４２ａ，４２ｂの外周面に
は、前記固定子小歯３６に対向して、軸方向に複数個の
移動子小歯４４（歯先部４４ａと歯底部４４ｂ）が配設
されている。また、前記移動子１３ｂに配設された前記
永久磁石４３の軸方向の長さは、前記移動子コア４２ａ
に配設された前記小歯４４と移動子コア４２ｂに配設さ
れた前記小歯４４とが互いに歯ピッチの１／２ずれるよ
うに設定される。また、前記各突極３１，３２，‥‥‥
３５の内周面軸方向に複数個配設された固定子小歯３６
は、突極３１を基準として、突極３２では歯ピッチの１
／５、突極３３では歯ピッチの２／５、突極３４では歯
ピッチの３／５、突極３５では歯ピッチの４／５だけそ
れぞれ軸方向にずれた位置関係で配設されている。した
がって、巻線Ｗ１が巻回される相をＡ相，巻線Ｗ２が巻
回される相をＢ相，以下巻線Ｗ３がＣ相，巻線Ｗ４がＤ
相，巻線Ｗ５がＥ相となるように結線することにより、
５相のハイブリッド型リニアパルスモータを構成するこ
とができる。このときのステップごとの基本移動量は、
前記固定子鉄板の厚さｔ0 の１／２となり、高分解能化
されている。
は、前記固定子小歯３６に対向して、軸方向に複数個の
移動子小歯４４（歯先部４４ａと歯底部４４ｂ）が配設
されている。また、前記移動子１３ｂに配設された前記
永久磁石４３の軸方向の長さは、前記移動子コア４２ａ
に配設された前記小歯４４と移動子コア４２ｂに配設さ
れた前記小歯４４とが互いに歯ピッチの１／２ずれるよ
うに設定される。また、前記各突極３１，３２，‥‥‥
３５の内周面軸方向に複数個配設された固定子小歯３６
は、突極３１を基準として、突極３２では歯ピッチの１
／５、突極３３では歯ピッチの２／５、突極３４では歯
ピッチの３／５、突極３５では歯ピッチの４／５だけそ
れぞれ軸方向にずれた位置関係で配設されている。した
がって、巻線Ｗ１が巻回される相をＡ相，巻線Ｗ２が巻
回される相をＢ相，以下巻線Ｗ３がＣ相，巻線Ｗ４がＤ
相，巻線Ｗ５がＥ相となるように結線することにより、
５相のハイブリッド型リニアパルスモータを構成するこ
とができる。このときのステップごとの基本移動量は、
前記固定子鉄板の厚さｔ0 の１／２となり、高分解能化
されている。
【００２２】前記パルス発生装置１４は、前記リニアパ
ルスモータ１３をその軸方向に駆動するため、該リニア
パルスモータ１３にパルス信号を送出するもので、選択
し、調整された所要のパルス信号を送出することによ
り、該モータ１３の出力軸４１を、制御された所要のス
トロークおよびストローク速度で往復動させることがで
きる。
ルスモータ１３をその軸方向に駆動するため、該リニア
パルスモータ１３にパルス信号を送出するもので、選択
し、調整された所要のパルス信号を送出することによ
り、該モータ１３の出力軸４１を、制御された所要のス
トロークおよびストローク速度で往復動させることがで
きる。
【００２３】このように、前記ベローズ型の往復形液圧
ポンプ１１については、該パルス発生装置１４から送出
されるパルス信号のパルス数とパルス発生速度を調整し
て、前記リニアパルスモータ１３のストローク長とスト
ローク速度を制御することにより、前記ポンプ１１の吐
出量を任意に制御することができる。
ポンプ１１については、該パルス発生装置１４から送出
されるパルス信号のパルス数とパルス発生速度を調整し
て、前記リニアパルスモータ１３のストローク長とスト
ローク速度を制御することにより、前記ポンプ１１の吐
出量を任意に制御することができる。
【００２４】図２は、図１の変形例を示すダイアフラム
型の往復形液圧ポンプ５１の縦断面図である。図１の中
のベローズ型ポンプ部１２に代えて、ダイアフラム部５
３とポンプヘッド５４とからなるダイアフラム型ポンプ
部５２を使用する。このため、図２において、図１と同
一部材には同一符号を付してその説明を省略する。そし
て、前記ダイアフラム部５３内に取り付けられたダイア
フラム５３ａは、その中央部が前記リニアパルスモータ
１３の出力軸４１の先端に、固着部材５５により固着さ
れている。また前記ポンプヘッド５４の吸入口１７に連
通する吸入路１９と、前記吐出口１８に連通する吐出路
２０にはそれぞれチェック弁（ボール弁）２１，２２
が、図示の方向に配設されている。
型の往復形液圧ポンプ５１の縦断面図である。図１の中
のベローズ型ポンプ部１２に代えて、ダイアフラム部５
３とポンプヘッド５４とからなるダイアフラム型ポンプ
部５２を使用する。このため、図２において、図１と同
一部材には同一符号を付してその説明を省略する。そし
て、前記ダイアフラム部５３内に取り付けられたダイア
フラム５３ａは、その中央部が前記リニアパルスモータ
１３の出力軸４１の先端に、固着部材５５により固着さ
れている。また前記ポンプヘッド５４の吸入口１７に連
通する吸入路１９と、前記吐出口１８に連通する吐出路
２０にはそれぞれチェック弁（ボール弁）２１，２２
が、図示の方向に配設されている。
【００２５】前記ダイアフラム５３ａは、前記リニアパ
ルスモータ１３の出力軸４１の往復動にしたがって、同
方向に往復動され、これにより、対象液を前記ポンプヘ
ッド５４に設けられた吸入口１７から前記ダイアフラム
部５３を経て吐出口１８へ送出させる。前記対象液は、
前記ポンプヘッド５４に配設されたチェック弁（ボール
弁）２１，２２により逆流することなく、常に一方向に
圧送される。
ルスモータ１３の出力軸４１の往復動にしたがって、同
方向に往復動され、これにより、対象液を前記ポンプヘ
ッド５４に設けられた吸入口１７から前記ダイアフラム
部５３を経て吐出口１８へ送出させる。前記対象液は、
前記ポンプヘッド５４に配設されたチェック弁（ボール
弁）２１，２２により逆流することなく、常に一方向に
圧送される。
【００２６】図３は、図１の他の変形例を示すピストン
型の往復形エアコンプレッサまたは真空ポンプ６１の縦
断面図である。図１の中のベローズ型ポンプ部１２に代
えて、ピストン型ポンプ部６２を使用する。このため、
図３において、図１と同一部材には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
型の往復形エアコンプレッサまたは真空ポンプ６１の縦
断面図である。図１の中のベローズ型ポンプ部１２に代
えて、ピストン型ポンプ部６２を使用する。このため、
図３において、図１と同一部材には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【００２７】前記ピストン型ポンプ部６２は、前記リニ
アパルスモータ１３の軸方向で、その一方のブラッケト
３７に結合して形成されたシリンダ室６３と、該シリン
ダ室６３内に配設され、かつ前記モータ１３の出力軸４
１の先端に固着されて自在に摺動されるピストン６４
と、該ピストン６４により前記シリンダ室６３が区画さ
れたそれぞれのシリンダ室６３ａ，６３ｂの吸気側およ
び排気側に設けられたチェック弁６５，６６とからな
る。
アパルスモータ１３の軸方向で、その一方のブラッケト
３７に結合して形成されたシリンダ室６３と、該シリン
ダ室６３内に配設され、かつ前記モータ１３の出力軸４
１の先端に固着されて自在に摺動されるピストン６４
と、該ピストン６４により前記シリンダ室６３が区画さ
れたそれぞれのシリンダ室６３ａ，６３ｂの吸気側およ
び排気側に設けられたチェック弁６５，６６とからな
る。
【００２８】前記ピストン型の往復形エアコンプレッサ
または真空ポンプ６１全体を、吸気口６７と排気口６８
を設けたハウジング６９内に収納するとともに、前記リ
ニアパルスモータ１３を運転すると、該モータ１３の出
力軸４１の往復動にしたがって、前記ピストン６４は往
復動され、これにより、エアを前記吸気口６７から前記
シリンダ室６３ａ，６３ｂを経て排気口６８へ送出させ
る。
または真空ポンプ６１全体を、吸気口６７と排気口６８
を設けたハウジング６９内に収納するとともに、前記リ
ニアパルスモータ１３を運転すると、該モータ１３の出
力軸４１の往復動にしたがって、前記ピストン６４は往
復動され、これにより、エアを前記吸気口６７から前記
シリンダ室６３ａ，６３ｂを経て排気口６８へ送出させ
る。
【００２９】図４は、本発明の第２実施例を示すベロー
ズ型の往復形液圧ポンプ７１の縦断面図で、リニアパル
スモータ７２の軸方向の両端に図１に示される前記ベロ
ーズ型ポンプ部１２がそれぞれ配設されている。このた
め、図１と同一部材には同一符号を付してその説明を省
略する。
ズ型の往復形液圧ポンプ７１の縦断面図で、リニアパル
スモータ７２の軸方向の両端に図１に示される前記ベロ
ーズ型ポンプ部１２がそれぞれ配設されている。このた
め、図１と同一部材には同一符号を付してその説明を省
略する。
【００３０】前記リニアパルスモータ７２は、図１に示
されるリニアパルスモータ１３に対して移動子とその支
持構造が異なっている。すなわち、前記モータ７２の移
動子７３は、前記固定子１３ａ内に配設されるととも
に、前記ブラッケト３７，３８間に固定された固定軸７
４に、該移動子７３の内部に配設された軸受７５を介し
て支持されるとともに、該固定軸７４上を移動自在に配
設されている。なお、前記移動子７３を構成する移動子
コア４２ａ，４２ｂと永久磁石４３は、第１実施例に記
載のとおりである。
されるリニアパルスモータ１３に対して移動子とその支
持構造が異なっている。すなわち、前記モータ７２の移
動子７３は、前記固定子１３ａ内に配設されるととも
に、前記ブラッケト３７，３８間に固定された固定軸７
４に、該移動子７３の内部に配設された軸受７５を介し
て支持されるとともに、該固定軸７４上を移動自在に配
設されている。なお、前記移動子７３を構成する移動子
コア４２ａ，４２ｂと永久磁石４３は、第１実施例に記
載のとおりである。
【００３１】前記軸受７５は、通常、スライドブッシ
ュ、リニアブッシュ、リニアベアリングなどと呼ばれる
もので、円筒状の外筒７５ａと、複数個の転動ボール７
５ｂと、保持具７５ｃとからなる。前記複数個の転動ボ
ール７５ｂは、前記外筒７５ａと前記固定軸７４の外周
面との間にあって、内部の循環溝に沿って前記外周面を
前記軸方向に直接、転動しながら前記移動子７３を移動
自在に支持する。
ュ、リニアブッシュ、リニアベアリングなどと呼ばれる
もので、円筒状の外筒７５ａと、複数個の転動ボール７
５ｂと、保持具７５ｃとからなる。前記複数個の転動ボ
ール７５ｂは、前記外筒７５ａと前記固定軸７４の外周
面との間にあって、内部の循環溝に沿って前記外周面を
前記軸方向に直接、転動しながら前記移動子７３を移動
自在に支持する。
【００３２】そして前記移動子７３の両端面には、前記
リニアパルスモータ７２の出力を伝達させるため、前記
ブラッケト３７，３８をそれぞれ貫通し、かつ前記固定
軸７４に平行して延びる断面が「コ」字状に形成された
出力伝達部材７６，７７を固着し、該「コ」字状の垂直
部分に相当する面に前記ベローズ部１５のベローズ１５
ａを固着する。
リニアパルスモータ７２の出力を伝達させるため、前記
ブラッケト３７，３８をそれぞれ貫通し、かつ前記固定
軸７４に平行して延びる断面が「コ」字状に形成された
出力伝達部材７６，７７を固着し、該「コ」字状の垂直
部分に相当する面に前記ベローズ部１５のベローズ１５
ａを固着する。
【００３３】前記リニアパルスモータ７２を運転する
と、前記移動子７３からの出力は前記出力伝達部材７
６，７７を介して、前記ベローズ１５ａを往復動方向に
伸縮させ、これにより、対象液をポンプヘッド１６に設
けられた吸入口１７から前記ベローズ１５ａを経て吐出
口１８へ送出させる。
と、前記移動子７３からの出力は前記出力伝達部材７
６，７７を介して、前記ベローズ１５ａを往復動方向に
伸縮させ、これにより、対象液をポンプヘッド１６に設
けられた吸入口１７から前記ベローズ１５ａを経て吐出
口１８へ送出させる。
【００３４】図５は、図４の変形例を示すダイアフラム
型の往復形液圧ポンプ８１の縦断面図である。図４の中
のベローズ型ポンプ部１２に代えて、ダイアフラム部５
３とポンプヘッド５４とからなるダイアフラム型ポンプ
部５２を使用する。このため、図５において、図２およ
び図４と同一部材には同一符号を付してその説明を省略
する。
型の往復形液圧ポンプ８１の縦断面図である。図４の中
のベローズ型ポンプ部１２に代えて、ダイアフラム部５
３とポンプヘッド５４とからなるダイアフラム型ポンプ
部５２を使用する。このため、図５において、図２およ
び図４と同一部材には同一符号を付してその説明を省略
する。
【００３５】前記ダイアフラム部５３内に取り付けられ
たダイアフラム５３ａは、それぞれその中央部が前記リ
ニアパルスモータ７２の出力伝達部材７６，７７の先端
面に固定されたダイアフラム駆動端８２に固着されると
ともに、該モータ７２の出力伝達部材７６，７７の往復
動にしたがって、同方向に往復動され、これにより、対
象液を前記ポンプヘッド５４に設けられた吸入口１７か
ら前記ダイアフラム部５３を経て吐出口１８へ送出させ
る。
たダイアフラム５３ａは、それぞれその中央部が前記リ
ニアパルスモータ７２の出力伝達部材７６，７７の先端
面に固定されたダイアフラム駆動端８２に固着されると
ともに、該モータ７２の出力伝達部材７６，７７の往復
動にしたがって、同方向に往復動され、これにより、対
象液を前記ポンプヘッド５４に設けられた吸入口１７か
ら前記ダイアフラム部５３を経て吐出口１８へ送出させ
る。
【００３６】図６は、図４の他の変形例を示すピストン
型の往復形エアコンプレッサまたは真空ポンプ９１の縦
断面図である。図４の中のベローズ型ポンプ部１２に代
えて、ピストン型ポンプ部９２を使用する。このため、
図６において、図４と同一部材には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
型の往復形エアコンプレッサまたは真空ポンプ９１の縦
断面図である。図４の中のベローズ型ポンプ部１２に代
えて、ピストン型ポンプ部９２を使用する。このため、
図６において、図４と同一部材には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【００３７】前記ピストン型ポンプ部９２は、前記リニ
アパルスモータ７２の軸方向の内部で、その一方のブラ
ッケト３７内に形成されたシリンダ室９３と、該シリン
ダ室９３内に配設され、かつ前記モータ７２の前記移動
子７３の一方の端面に固着されて自在に摺動されるピス
トン９４と、該ピストン９４により前記シリンダ室９３
が区画されたシリンダ室９３ａの吸気側および排気側に
設けられたチェック弁９５、９６とからなる。
アパルスモータ７２の軸方向の内部で、その一方のブラ
ッケト３７内に形成されたシリンダ室９３と、該シリン
ダ室９３内に配設され、かつ前記モータ７２の前記移動
子７３の一方の端面に固着されて自在に摺動されるピス
トン９４と、該ピストン９４により前記シリンダ室９３
が区画されたシリンダ室９３ａの吸気側および排気側に
設けられたチェック弁９５、９６とからなる。
【００３８】前記ピストン型の往復形エアコンプレッサ
または真空ポンプ９１全体を、吸気口９７と排気口９８
を設けたハウジング９９内に収納するとともに、前記リ
ニアパルスモータ７２を運転すると、該モータ７２の移
動子７３の往復動にしたがって、前記ピストン９４は往
復動され、これにより、エアを前記吸気口９７から前記
シリンダ室９３ａを経て排気口９８へ送出させる。
または真空ポンプ９１全体を、吸気口９７と排気口９８
を設けたハウジング９９内に収納するとともに、前記リ
ニアパルスモータ７２を運転すると、該モータ７２の移
動子７３の往復動にしたがって、前記ピストン９４は往
復動され、これにより、エアを前記吸気口９７から前記
シリンダ室９３ａを経て排気口９８へ送出させる。
【００３９】なお、本発明の技術は前記実施例における
技術に限定されるものではなく、同様な機能を果す他の
態様の手段によってもよく、また本発明の技術は前記構
成の範囲内において種々の変更，付加が可能である。
技術に限定されるものではなく、同様な機能を果す他の
態様の手段によってもよく、また本発明の技術は前記構
成の範囲内において種々の変更，付加が可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のリニアパルスモータを備えた往復形ポンプによれば、
請求項１、２、４については、吸入路側および吐出路側
にそれぞれチェック弁を設けた往復型ポンプにおいて、
該ポンプを往復動させるための駆動源として、リニアパ
ルスモータを該ポンプに装着するとともに、該リニアパ
ルスモータにパルス信号を送出するパルス発生装置を接
続しているので、該パルス発生装置から送出されるパル
ス信号のパルス数とパルス発生速度を調整して、前記リ
ニアパルスモータのストローク長とストローク速度を制
御し、前記ポンプの吐出量を任意に制御することができ
る。
のリニアパルスモータを備えた往復形ポンプによれば、
請求項１、２、４については、吸入路側および吐出路側
にそれぞれチェック弁を設けた往復型ポンプにおいて、
該ポンプを往復動させるための駆動源として、リニアパ
ルスモータを該ポンプに装着するとともに、該リニアパ
ルスモータにパルス信号を送出するパルス発生装置を接
続しているので、該パルス発生装置から送出されるパル
ス信号のパルス数とパルス発生速度を調整して、前記リ
ニアパルスモータのストローク長とストローク速度を制
御し、前記ポンプの吐出量を任意に制御することができ
る。
【００４１】また、請求項３、４については、前記リニ
アパルスモータの軸受が前記移動子の内部に固着される
とともに、該移動子は、前記軸受を介して、前記固定子
内の中心軸に配設された固定軸上を移動自在に配設さ
れ、かつ該移動子の一方または両方の端面に、前記固定
軸に平行して延びる出力伝達部材を固着し、該出力伝達
部材を介して前記リニアパルスモータの出力を得るよう
にしたので、前記ポンプの外形を従来のものより小型化
することができる。
アパルスモータの軸受が前記移動子の内部に固着される
とともに、該移動子は、前記軸受を介して、前記固定子
内の中心軸に配設された固定軸上を移動自在に配設さ
れ、かつ該移動子の一方または両方の端面に、前記固定
軸に平行して延びる出力伝達部材を固着し、該出力伝達
部材を介して前記リニアパルスモータの出力を得るよう
にしたので、前記ポンプの外形を従来のものより小型化
することができる。
【図１】本発明のリニアパルスモータを備えた往復形ポ
ンプの第１実施例を示すベローズ型の往復形液圧ポンプ
の縦断面図である。
ンプの第１実施例を示すベローズ型の往復形液圧ポンプ
の縦断面図である。
【図２】図１の変形例を示すダイアフラム型の往復形液
圧ポンプの縦断面図である。
圧ポンプの縦断面図である。
【図３】図１の他の変形例を示すピストン型の往復形エ
アコンプレッサまたは真空ポンプの縦断面図である。
アコンプレッサまたは真空ポンプの縦断面図である。
【図４】本発明の第２実施例を示すベローズ型の往復形
ポンプの縦断面図である。
ポンプの縦断面図である。
【図５】図４の変形例を示すダイアフラム型の往復形液
圧ポンプの縦断面図である。
圧ポンプの縦断面図である。
【図６】図４の他の変形例を示すピストン型の往復形エ
アコンプレッサまたは真空ポンプの縦断面図である。
アコンプレッサまたは真空ポンプの縦断面図である。
【図７】従来のベローズ型の往復形液圧ポンプの縦断面
図である。
図である。
１１，７１ ベローズ型の往復形液圧ポンプ １２ ベローズ型ポンプ部 １３，７２ リニアパルスモータ １４ パルス発生装置 １３ａ 固定子 １３ｂ，７３ 移動子 ３０ 固定子コア ３１，３２，‥‥‥３５ 突極 ３６ 固定子小歯 ３９，４０ 軸受 ４１ 軸 ４２ａ，４２ｂ 移動子コア ４３ 永久磁石 ４４ 移動子小歯 ５１，８１ ダイアフラム型の往復形液圧ポンプ ５２，８２ ダイアフラム型ポンプ部 ６１，９１ ピストン型の往復形エアコンプレッサまた
は真空ポンプ ６２，９２ ピストン型ポンプ部 ７４ 固定軸 ７５ 軸受 ７６，７７ 出力伝達部材
は真空ポンプ ６２，９２ ピストン型ポンプ部 ７４ 固定軸 ７５ 軸受 ７６，７７ 出力伝達部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｋ 37/24 Ｑ 41/03 Ａ Ｈ０２Ｐ 7/00 １０１ Ｃ (72)発明者 金木 敏兼 千葉県柏市篠籠田1400 オリエンタルモー ター株式会社内 (72)発明者 岡田 正 千葉県柏市篠籠田1400 オリエンタルモー ター株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 吸入路側および吐出路側にそれぞれチェ
ック弁を設けた往復形ポンプにおいて、 該ポンプを往復動させるための駆動源として、リニアパ
ルスモータを該ポンプに装着するとともに、該リニアパ
ルスモータにパルス信号を送出するパルス発生装置を接
続し、該パルス発生装置から送出されるパルス信号のパ
ルス数とパルス発生速度を調整して、前記リニアパルス
モータのストローク長とストローク速度を制御し、前記
ポンプの吐出量を制御することを特徴とするリニアパル
スモータを備えた往復形ポンプ。 - 【請求項２】 前記リニアパルスモータが、内側に向っ
て放射状に等ピッチ角度で配設された複数個の突極を有
するとともに、該突極の内周面に軸方向に複数個の固定
子小歯が形成された固定子コアを有する固定子と、該固
定子内に軸受を介して軸方向に移動自在に支持されると
ともに、外周面に前記固定子小歯に対向して、等ピッチ
で複数個の移動子小歯が形成された移動子コアを有する
移動子と、前記固定子コアの中間、または前記移動子コ
アの中間に挟持され、軸方向に着磁された永久磁石とを
備えてなるリニアパルスモータであることを特徴とする
請求項１に記載のリニアパルスモータを備えた往復形ポ
ンプ。 - 【請求項３】 前記軸受が前記移動子の内部に固着され
るとともに、該移動子は、前記軸受を介して、前記固定
子内の中心軸に配設された固定軸上を移動自在に配設さ
れ、かつ該移動子の一方または両方の端面に、前記固定
軸に平行して延びる出力伝達部材を固着し、該出力伝達
部材を介して前記リニアパルスモータの出力を得ること
を特徴とする請求項２に記載のリニアパルスモータを備
えた往復形ポンプ。 - 【請求項４】 前記軸受が軸方向に移動自在な転がり軸
受であることを特徴とする請求項２または３に記載のリ
ニアパルスモータを備えた往復形ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203111A JPH0868379A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | リニアパルスモータを備えた往復形ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203111A JPH0868379A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | リニアパルスモータを備えた往復形ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868379A true JPH0868379A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16468587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6203111A Pending JPH0868379A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | リニアパルスモータを備えた往復形ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0868379A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346236A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Ckd Corp | 比例制御バルブ |
| JP2005098135A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Kawamoto Pump Mfg Co Ltd | 往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ |
| JP2006037786A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Takasago Electric Inc | ポンプ |
| JP2008223513A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Toyota Motor Corp | 電動式のスラストピストンポンプ装置 |
| WO2011036920A1 (ja) * | 2009-09-24 | 2011-03-31 | イーグル工業株式会社 | シール装置 |
| JP2013066995A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 触覚伝達装置、システム、及び触覚伝達装置の動作方法 |
| JP2013519830A (ja) * | 2010-02-18 | 2013-05-30 | グルンドフォス マネージメント アー／エス | 定量ポンプ装置及び定量ポンプ装置の制御方法 |
| JP2013545002A (ja) * | 2010-09-17 | 2013-12-19 | メデラ ホールディング アーゲー | ダイヤフラム真空ポンプ |
| JP2014001663A (ja) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Koganei Corp | 液体供給装置 |
| JP2019037938A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ポンプ装置および基板処理装置 |
| JP2022518852A (ja) * | 2019-02-05 | 2022-03-16 | ブルクハルト コンプレッション アーゲー | リニアモータコンプレッサを動作させるための方法およびリニアモータコンプレッサ |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP6203111A patent/JPH0868379A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346236A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Ckd Corp | 比例制御バルブ |
| JP2005098135A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Kawamoto Pump Mfg Co Ltd | 往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ |
| JP4547138B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2010-09-22 | 株式会社川本製作所 | 往復動モータを用いたダイヤフラムポンプ |
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| US8328199B2 (en) | 2009-09-24 | 2012-12-11 | Eagle Industry Co., Ltd. | Seal device |
| CN102216658A (zh) * | 2009-09-24 | 2011-10-12 | 伊格尔工业股份有限公司 | 密封装置 |
| WO2011036920A1 (ja) * | 2009-09-24 | 2011-03-31 | イーグル工業株式会社 | シール装置 |
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| KR20130140633A (ko) * | 2010-09-17 | 2013-12-24 | 메델라 홀딩 아게 | 다어어프램 진공 펌프 |
| JP2013066995A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 触覚伝達装置、システム、及び触覚伝達装置の動作方法 |
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| JP2019037938A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ポンプ装置および基板処理装置 |
| JP2022518852A (ja) * | 2019-02-05 | 2022-03-16 | ブルクハルト コンプレッション アーゲー | リニアモータコンプレッサを動作させるための方法およびリニアモータコンプレッサ |
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