JP2014001663A

JP2014001663A - 液体供給装置

Info

Publication number: JP2014001663A
Application number: JP2012136716A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Muraoka; 裕之村岡
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2012-06-18
Filing date: 2012-06-18
Publication date: 2014-01-09

Abstract

【課題】液体供給装置の液体吐出特性を向上する。
【解決手段】液体供給装置１０ａは一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２とを有している。一次側ポンプ１１は一次側ポンプ室１７を有する一次側ポンプ部材としてのチューブフラム１４を有している。二次側ポンプ１２は二次側ポンプ室２７を有する二次側ポンプ部材としてのチューブフラム２４を有している。一次側ポンプ室１７から二次側ポンプ室２７に液体を吐出する一次側ポンプ１１の吐出動作時に二次側ポンプ室２７に液体を吸入しながら二次側吐出口２９から液体を吐出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、薬液等の液体を被塗布物に供給する液体供給装置に関する。

半導体集積回路装置や液晶パネル等の技術分野においては、フォトレジスト液等の液体を被塗布物に供給するために液体供給装置が使用されている。この液体供給装置は、容器と塗布具とを連通させる配管やホース等からなる流路に設けられ、容器内に収容された液体を塗布具つまり塗布ノズルから被塗布物に吐出する。液体供給装置はチューブフラム型やプランジャ型のポンプを有しており、ポンプによるポンプ室の膨張収縮動作によって液体が被塗布物に供給される。

容器内の液体を塗布具に連続的に供給するために、特許文献１には、並列に配置された２つのチューブフラム型のポンプを有するポンプシステムが記載されており、両方のポンプを交互に駆動して液体を塗布具に連続的に供給するようにしている。特許文献２には、並列に配置された２つのプランジャ型のポンプを有する多連式プランジャポンプが記載されており、両方のポンプを交互に駆動して液体を塗布具に連続的に供給するようにしている。このように、２つのポンプを並列に配置したポンプシステム等においては、一方のポンプが吐出動作を行っているときには、他方のポンプが吸入動作を行うことにより、容器内の液体を連続的に塗布具に供給することができる。

特開平１１−１１７８７２号公報特開２００１−２３４８５０号公報

２つのポンプを並列に配置したポンプシステム等の液体供給装置においては、容器に接続された上流側の流路に分岐して設けられた流入側の分岐流路が両方のポンプの流入口にそれぞれ取り付けられる。一方、塗布具に接続される下流側の流路には、両方のポンプの吐出口にそれぞれ取り付けられる合流流路が接続される。このように、２つのポンプが並列に配置された液体供給装置においては、分岐流路と合流流路とがポンプの回りに配置されるので、配管等からなる流路の這い回しが複雑となる。このため、液体供給装置のメンテナンス時の操作性が悪くなるだけでなく、液体内に気泡が混入していると、気泡が流路内に滞留してしまい、気泡の抜けが悪くなる。気泡の抜けが悪くなると、塗布具からの吐出精度が悪くなる。

本発明の目的は、液体供給装置の液体吐出精度を向上することにある。

本発明の液体供給装置は、一次側流入口と一次側吐出口とに連通する一次側ポンプ室を有し、前記一次側ポンプ室に流入した液体を前記一次側吐出口から吐出する一次側ポンプ部材が設けられた一次側ポンプと、前記一次側吐出口に接続される二次側流入口と二次側吐出口とに連通する二次側ポンプ室を有し、前記一次側ポンプ室から前記二次側ポンプ室に流入した液体を前記二次側吐出口から吐出する二次側ポンプ部材が設けられた二次側ポンプと、前記一次側ポンプ室へ液体を吸入する前記一次側ポンプの吸入動作時に前記二次側ポンプ室の液体を前記二次側吐出口から吐出し、前記一次側ポンプ室から前記二次側ポンプ室に液体を吐出する前記一次側ポンプの吐出動作時に、前記一次側ポンプ室の吐出流量が前記二次側ポンプ室の吸入流量よりも大きく、前記一次側ポンプ室の吐出流量と二次側ポンプ室の吸入流量の差の分の流量を前記二次側吐出口から吐出するポンプ駆動部材とを有することを特徴とする。

液体供給装置においては、一次側ポンプの一次側吐出口と二次側ポンプの二次側流入口とを連通して一次側ポンプと二次側ポンプとが接続されている。一次側ポンプの吸入動作時に二次側ポンプを吐出動作させ、一次側ポンプの吐出動作時に二次側ポンプに液体を吸入つまり注入しながら二次側ポンプから液体が吐出される。一次側ポンプと二次側ポンプには、分岐流路や合流流路が設けられておらず、一次側流入口から二次側吐出口まで連なった流路となっているので、液体供給過程においては、液体が流路内を滞留することなく、液体内に気泡が混入されていても、流路内に気泡が滞留することを防止できる。

一実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。液体供給装置におけるポンプの吐出動作と吸入動作の基本概念を示す概略図である。液体供給装置におけるポンプの吐出動作と吸入動作による塗布具への液体の供給動作を示すタイムチャートである。塗布具への液体の供給動作の変形例を示すタイムチャートである。他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。さらに他の実施の形態である液体供給装置を示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図示するそれぞれの実施の形態においては、共通性を有する部材には同一の符号が付されている。

図１に示される液体供給装置１０ａは、一次側ポンプ１１とこれに直列に接続される二次側ポンプ１２とを有している。一次側ポンプ１１は管状のポンプケース１３とこの内部に組み込まれる管状の一次側ポンプ部材としてのチューブフラム１４とを有している。チューブフラム１４の一端部には流入側の端板１５が取り付けられ、他端部には流出側の端板１６が取り付けられている。チューブフラム１４の内部は一次側ポンプ室１７となっており、一次側ポンプ室１７は端板１５に形成された一次側流入口１８と、端板１６に形成された一次側吐出口１９とに連通している。チューブフラム１４の外側とポンプケース１３の内側との間には駆動室２１が形成されている。

二次側ポンプ１２は、一次側ポンプ１１と同様に、管状のポンプケース２３とこの内部に組み込まれる管状の二次側ポンプ部材としてのチューブフラム２４とを有している。チューブフラム２４の一端部には流入側の端板２５が取り付けられ、他端部には流出側の端板２６が取り付けられている。チューブフラム２４の内部は二次側ポンプ室２７となっており、二次側ポンプ室２７は端板２５に形成された二次側流入口２８と、端板２６に形成された二次側吐出口２９とに連通している。チューブフラム２４の外側とポンプケース２３の内側との間には駆動室２２が形成されている。

一次側ポンプ１１の一次側吐出口１９は、連通側流路３０により二次側ポンプ１２の二次側流入口２８に接続されている。一次側流入口１８には吸入流路３１が接続され、二次側吐出口２９には吐出流路３２が接続される。吸入流路３１の先端部は、液体Ｌを収容する容器３３に接続され、吐出流路３２の先端には液体Ｌを被塗布物に供給する塗布具３４が設けられている。例えば、この液体供給装置１０ａが半導体集積回路装置を製造するために、フォトレジスト液を半導体ウエハに供給するために使用される場合には、容器３３内にはフォトレジスト液が収容され、塗布具３４から被塗布物としての半導体ウエハにフォトレジスト液が塗布される。連通側流路３０，吸入流路３１および吐出流路３２は、配管やホース等の中空の部材により形成されている。

チューブフラム１４は弾性変形自在の材料により形成されており、チューブフラム１４の両端部は、端板１５，１６とポンプケース１３との間に固定され、チューブフラム１４のうち両端部の間の部分は径方向に弾性変形自在の弾性変形部１４ａとなっている。チューブフラム２４もチューブフラム１４と同様の材料により形成されており、チューブフラム２４の両端部は、端板２５，２６とポンプケース２３との間に固定され、チューブフラム２４のうち両端部の間の部分は径方向に弾性変形自在の弾性変形部２４ａとなっている。それぞれのチューブフラム１４，２４の弾性変形部１４ａ，２４ａが径方向に弾性変形すると、ポンプ室１７，２７は膨張収縮することになる。

この液体供給装置１０ａが半導体ウエハにフォトレジスト液を塗布するために使用されるときには、チューブフラム１４，２４はフォトレジスト液と反応しないように、例えばフッ素樹脂により形成される。ただし、チューブフラム１４，２４の材料としては、液体Ｌの種類によってはフッ素樹脂に限られず、径方向に弾性変形する材料であれば、他の樹脂材料でも良く、ゴム材料でも良い。

一次側ポンプ１１を吸入動作させるときには、チューブフラム１４を径方向に膨張させて一次側ポンプ室１７を膨張させる。これにより、容器３３内の液体Ｌが一次側ポンプ室１７内に吸入される。これに対し、一次側ポンプ１１を吐出動作させるときには、チューブフラム１４を径方向に収縮させて一次側ポンプ室１７を収縮させる。これにより、一次側ポンプ室１７内の液体は二次側ポンプ室２７に吐出して注入される。

一次側ポンプ１１の吸入動作時に一次側ポンプ室１７に容器３３内の液体Ｌを案内し、一次側ポンプ１１の吐出動作時に一次側ポンプ室１７内の液体Ｌが容器３３に逆流するのを防止するために、吸入流路３１には流入側開閉弁として逆止弁３５が設けられている。一次側ポンプ１１の吸入動作時に連通側流路３０を閉じ、一次側ポンプ１１の吐出動作時に連通側流路３０を開放して一次側ポンプ室１７内の液体を二次側ポンプ室２７に案内するために、連通側流路３０には連通側開閉弁として逆止弁３６が設けられている。

一次側ポンプ１１のチューブフラム１４を径方向に弾性変性して一次側ポンプ室１７を膨張収縮させるために、駆動室２１に液体等の非圧縮性の媒体Ｍを給排するポンプ駆動部材４１ａが一次側ポンプ１１に設けられている。同様に、二次側ポンプ１２のチューブフラム２４を径方向に弾性変性して二次側ポンプ室２７を膨張収縮させるために、駆動室２２に液体等の非圧縮性の媒体Ｍを給排するポンプ駆動部材４１ｂが二次側ポンプ１２に設けられている。

ポンプ駆動部材４１ａは、シリンダ４２ａとこのシリンダ４２ａ内に軸方向に往復動自在に装着されたピストン４３ａとを有している。シリンダ４２ａとピストン４３ａとにより媒体Ｍが収容される媒体室４４ａが形成され、媒体室４４ａは連通孔４５ａにより駆動室２１に連通している。ピストン４３ａを駆動するために、空気圧シリンダや油圧シリンダ等の流体圧アクチュエータからなる駆動機構４６ａにより駆動される往復動ロッド４７ａにピストン４３ａが取り付けられている。同様に、ポンプ駆動部材４１ｂは、シリンダ４２ｂとこのシリンダ４２ｂ内に軸方向に往復動自在に装着されたピストン４３ｂとを有している。シリンダ４２ｂとピストン４３ｂとにより媒体Ｍが収容される媒体室４４ｂが形成され、媒体室４４ｂは連通孔４５ｂにより駆動室２２に連通している。流体圧アクチュエータからなる駆動機構４６ｂにより駆動される往復動ロッド４７ｂにピストン４３ｂが取り付けられている。このように、ポンプ部材としての両方のチューブフラム１４，２４はピストン４３ａ，４３ｂにより媒体Ｍを介して駆動される間接駆動型となっている。

駆動機構４６ａ，４６ｂとしての流体圧アクチュエータに対する流体の供給と排出は、制御部４８により制御される。駆動機構４６ａ，４６ｂとしては、流体圧アクチュエータに代えて電動モータとすることもできる。電動モータとした形態においては、制御部４８により制御される電動モータにより往復動ロッド４７ａ，４７ｂが駆動される。

一次側ポンプ１１を駆動するためのポンプ駆動部材４１ａのピストン４３ａの断面積Ａ１は、二次側ポンプ１２を駆動するためのポンプ駆動部材４１ｂのピストン４３ｂの断面積Ａ２よりも大きく設定されている。したがって、一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２のサイズを同一とし、両方のピストン４３ａ，４３ｂを同一の速度で駆動するようにすると、一次側ポンプ室１７は二次側ポンプ室２７よりも早い速度で膨張収縮することになる。これにより、一次側ポンプ１１の吸入動作時における一次側ポンプ室１７に吸入される吸入流速つまり単位時間当たりの吸入流量、および一次側ポンプ１１の吐出動作時における一次側吐出口１９から二次側ポンプ室２７に吐出される液体の単位時間当たりの吐出流量は、二次側吐出口２９から吐出する液体の吐出流量よりも多くなる。

上述した液体供給装置１０ａにおいては、一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２が連通側流路３０により接続されており、上述のように一次側ポンプ１１の吸入流量および吐出流量が二次側ポンプ１２の吐出流量よりも大きく設定されている。したがって、一次側ポンプ室１７から二次側ポンプ室２７に液体を吐出する一次側ポンプ１１の吐出動作時には、二次側ポンプ室２７に液体を充填して二次側ポンプ室２７を膨張させながら、二次側吐出口２９から液体を吐出して塗布具３４から液体が塗布される。一方、一次側ポンプ室１７への液体を吸入する一次側ポンプ１１の吸入動作時には、二次側ポンプ１２の吐出動作により二次側吐出口２９から液体を吐出して塗布具３４から液体が被塗布物に塗布される。このように、一次側ポンプ室１７の吐出流量を二次側ポンプ室２７の吸入流量よりも大きくすると、二次側ポンプ１２の吸入動作時に二次側ポンプ１２に液体を充填することができるとともに、二次側吐出口２９から液体を吐出して塗布具３４から液体を塗布できる。つまり、一方のポンプ室を膨張させるときに他方のポンプ室を収縮させることにより、塗布具３４に連続的に液体を供給することができる。

図１に示されるように、ピストン４３ａの断面積Ａ１は、ピストン４３ｂの断面積Ａ２よりも大きい面積に設定されているので、両方のピストン４３ａ，４３ｂを同一の速度で駆動しても、一次側ポンプ室１７の吐出流量は二次側ポンプ室２７の吐出流量よりも大きくなっている。これに対し、両方のピストン４３ａ，４３ｂの断面積を等しくした形態においては、ピストン４３ａの駆動速度をピストン４３ｂの駆動速度よりも早くすることにより、一次側ポンプ室１７の吐出流量を二次側ポンプ室２７の吐出流量よりも大きくすることができる。両方のピストン４３ａ，４３ｂの断面積を相違させるとともに駆動速度を相違させることにより、一次側ポンプ室１７の吐出流量を二次側ポンプ室２７の吐出流量よりも大きくすることができる。さらに、一次側ポンプ室１７に液体を吸入する時間と、一次側ポンプ室１７から二次側ポンプ室２７に液体を吐出する時間とを同一としても良く、相違させるようにしても良い。一次側ポンプ室１７への液体吸入時間よりも一次側ポンプ室１７から二次側ポンプ室２７への液体吐出時間を長くすると、液体供給装置１０ａに対する液体の吸入動作を吐出動作よりも速くすることができる。

液体供給装置１０ａにより塗布具３４に液体を供給するには、図１に示されるように一次側ポンプ１１の一次側ポンプ室１７が収縮し、二次側ポンプ１２の二次側ポンプ室２７が膨張した状態のもとで、ピストン４３ｂを前進移動させて媒体室４４ｂ内の媒体Ｍを駆動室２２に供給して、二次側ポンプ室２７の液体を二次側吐出口２９から吐出する。これにより、二次側ポンプ１２は吐出動作となり、塗布具３４に液体が供給される。ピストン４３ｂの前進移動の開始と同時に、ピストン４３ａを後退移動させて媒体室４４ａ内に駆動室２１内の媒体Ｍを吸入する。これにより、一次側ポンプ１１は吸入駆動され、一次側ポンプ室１７が膨張してその内部に液体が容器３３から吸入される。一次側ポンプ１１の吸入動作時には、一次側ポンプ室１７の膨張により逆止弁３５を通って容器３３内の液体Ｌが一次側ポンプ室１７に案内され、逆止弁３６により二次側ポンプ室２７から一次側ポンプ室１７への液体Ｌの逆流が阻止される。

この動作が完了して、一次側ポンプ１１の一次側ポンプ室１７が限度まで膨張し、二次側ポンプ１２の二次側ポンプ室２７が限度まで収縮した状態になったら、ピストン４３ａとピストン４３ｂの動作が逆転する。ピストン４３ａを前進移動させて媒体室４４ａ内の媒体Ｍを駆動室２１内へ送る。これにより、一次側ポンプ１１は吐出駆動され、一次側ポンプ室１７が収縮してその内部の液体が二次側ポンプ１２の二次側ポンプ室２７へ送られる。ピストン４３ｂを後退移動させて媒体Ｍを駆動室２２内から媒体室４４ｂへ送る。これにより二次側ポンプ１２は吸入動作する。二次側ポンプ１２の吸入流量よりも一次側ポンプ１１の吐出流量の方が大きいので、その差分の流量が二次側吐出口２９から吐出される。この動作中は、逆止弁３５は閉じ、逆止弁３６と逆止弁３７は開いている。

図２は液体供給装置におけるポンプの吐出動作と吸入動作の基本概念を示す概略図である。図３は液体供給装置１０ａにおけるそれぞれのポンプの吐出動作と吸入動作による塗布具３４への液体の供給状態を示すタイムチャートである。

図２に示すように、一次側ポンプの吐出流量をＶD1（ｍｌ／ｓ）、二次側ポンプの吐出流量をＶD2（ｍｌ／ｓ）、一次側ポンプの吸入流量をＶC1（ｍｌ／ｓ）、二次側ポンプの吸入流量をＶC2（ｍｌ／ｓ）とする。また、一次側ポンプ１１のポンプ容積をＤ1（ｍｌ）、二次側ポンプ１２のポンプ容積をＤ2（ｍｌ）とする。

液体供給装置１０ａの初期状態を、一次側ポンプ室１７が空となって吸引動作を待機している状態とし、二次側ポンプ室２７には液体が充満されて吐出動作を待機している状態とする。この状態のもとで、時間Ｔ1の工程Ａが実行される。この工程Ａは、二次側ポンプ１２だけが吐出し、一次側ポンプ１１は吸入する期間となる。この工程Ａにおいては、二次側ポンプ１２が吐出を開始してからその容積分の液体を全て吐出完了するまでの時間と、空の一次側ポンプ１１に液体を充満させる時間とが同じである。

この時間Ｔ1を、ポンプ室１７の容積つまり一次側ポンプ１１の容積Ｄ1と、一次側ポンプ１１の吸入流量ＶC1により示すと、Ｔ1＝Ｄ1／ＶC1となる。一方、ポンプ室２７の容積つまり二次側ポンプ１２の容積Ｄ2と、二次側ポンプ１２の吐出流量ＶD2により示すと、Ｔ1＝Ｄ2／ＶD2となる。一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２の作動時間は同じであるから、以下のような関係式が求められる。

Ｄ1／ＶC1＝Ｄ2／ＶD2 …（１）
工程Ａにおける塗布具３４への液体の供給流量ＮDAは、ＶD2となる。

次いで、時間Ｔ2の工程Ｂが実行される。この工程Ｂは、二次側ポンプ１２は吸入と吐出を行い、一次側ポンプ１１は吐出する期間である。この工程Ｂにおいては、二次側ポンプ１２が吸入を開始してからその容積分の液体が満たされるまでの時間と、一次側ポンプ１１に満たされた液体が全て二次側ポンプ１２に吐出されるまでの時間が同じである。

この時間Ｔ2を、一次側ポンプ１１の容積Ｄ1と一次側ポンプ１１の吐出流量ＶD1により示すと、Ｔ2＝Ｄ1／ＶD1となる。一方、二次側ポンプ１２の容積Ｄ2と二次側ポンプ１２の吸入流量ＶC2により示すと、Ｔ2＝Ｄ2／ＶC2となる。一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２の作動時間は同じであるから、以下の関係式が求められる。

Ｄ1／ＶD1＝Ｄ2／ＶC2 …（２）
この工程Ｂにおける塗布具３４への液体の供給流量ＮDBはＶD1−ＶC2となる。

工程Ａと工程Ｂにおける塗布具３４からの吐出流量つまり供給流量が同じであるから、以下のようになる。

ＮDA＝ＶD2＝ＮDB＝ＶD1−ＶC2
つまり、ＶD2＝ＶD1−ＶC2 …（３）
式（１）（２）からＤ1、Ｄ2を消去して、
ＶD2／ＶC1＝ＶC2／ＶD1 …（４）
この（４）式の左辺は、工程ＡにおけるＶD2／ＶC1の比率を示し、右辺は、工程ＢにおけるＶC2／ＶD1の比率を示しており、一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２の吸入吐出量が（４）式を満たせば、液体供給装置から連続的に液体を塗布具３４に供給することができる。工程Ａと工程Ｂとを繰り返すことにより、塗布具３４には連続的に液体が供給される。

上述した液体供給装置１０ａによる塗布具３４への液体の吐出動作を、以下のような条件として行った。一次側ポンプ１１の吐出流量ＶD1を５ｍｌ／ｓ、吸入流量ＶC1を７．５ｍｌ／ｓ、容積Ｄ1を１０ｍｌに設定した。二次側ポンプ１２の吐出流量ＶD2を３ｍｌ／ｓ、吸入流量ＶC2を２ｍｌ／ｓ、容積Ｄ2を４ｍｌに設定した。工程Ａの動作時間Ｔ1を４／３秒、工程Ｂの動作時間Ｔ2を２秒に設定した。

工程Ａにおいては、二次側ポンプ１２からその吐出流量ＶD2である３ｍｌ／ｓの液体が塗布具３４に供給される。この吐出動作と同時に一次側ポンプ１１は吸入動作を行う。工程Ａの動作時間Ｔ1は、４／３秒に設定されているので、二次側ポンプ１２は３ｍｌ／ｓの吐出流量ＶD2で４／３秒間吐出動作し、二次側ポンプ１２の容量Ｄ2である４ｍｌが全て吐出される。一次側ポンプ１１は７．５ｍｌ／ｓの吸入流量ＶC1で４／３秒間吸引動作し、一次側ポンプ１１の容積Ｄ1である１０ｍｌの液体が完全にチャージされる。

工程Ｂにおいては、二次側ポンプ１２が吸引動作と吐出動作とを同時に行い、一次側ポンプ１１が吐出動作する。このときには、一次側ポンプ１１から二次側ポンプ１２に５ｍｌ／ｓの吐出流量ＶD1で液体が注入され、二次側ポンプ１２は２ｍｌ／ｓの吸入流量ＶC2で吸入動作を行うので、吐出流量ＶD1と吸入流量ＶC2の差である３ｍｌ／ｓの流量で液体が塗布具３４に供給される。工程Ｂにおいては、二次側ポンプ１２は２ｍｌ／ｓの流量で２秒間の吸引動作により、二次側ポンプ１２の容積Ｄ2である４ｍｌの液体が二次側ポンプ１２に完全にチャージされる。一次側ポンプ１１は５ｍｌ／ｓの流量で２秒間の吐出動作を行うので、一次側ポンプ１１の容積Ｄ1である１０ｍｌの液体を全て吐出する。

このように、ＶC1を７．５ｍｌ／ｓとし、ＶD1を５ｍｌ／ｓとし、ＶD2を３ｍｌ／ｓとし、ＶC2を２ｍｌ／ｓとすると、上記（４）式の左辺は３／７．５であり、右辺は２／５であり、（４）式を満たすことになる。

上述した場合には、工程Ａと工程Ｂにおける塗布具３４に対する液体の供給流量は、同一の３ｍｌ／ｓに設定されているが、工程Ａと工程Ｂとで塗布具３４に対する液体の供給流量を相違させることもできる。その場合には、工程Ａにおける塗布具３４への供給流量ＮDAと工程Ｂにおける塗布具３４への供給流量ＮDBは、相違することになる。

図４は塗布具への液体の供給動作の変形例を示すタイムチャートである。この供給動作が行われる液体供給装置１０ａは、ピストン４３ａの面積がピストン４３ｂの面積の２倍となっており、工程Ａと工程Ｂの作動時間が同一（Ｔ1＝Ｔ2 ）に設定されている。したがって、図４に示されるように、一次側ポンプ１１の単位時間当たりの吸入流量ＶC1と吐出流量ＶD1は同一の流量であり、二次側ポンプ１２の単位時間当たりの吐出流量ＶD2と吸入流量ＶC2は同一の流量であって、二次側ポンプ１２の流量ＶC2とＶD2は、一次側ポンプ１１のそれぞれの流量ＶC1、ＶD1の２分の１となる。

図４に示されるように、一次側ポンプ１１が吸入動作を行い、二次側ポンプ１２が吐出動作を行う工程Ａにおいては、二次側ポンプ１２の吐出流量ＶD2の２倍の吸入流量ＶC1で一次側ポンプ１１が吸入動作を行う。このときの塗布具３４への液体の供給流量ＮDAは、二次側ポンプ１２の吐出流量ＶD2となる。一方、二次側ポンプ１２が吸引動作と吐出動作を行う工程Ｂにおいては、一次側ポンプ１１は、二次側ポンプ１２の吸入流量ＶC2の２倍の吐出流量ＶD1で二次側ポンプ１２に吐出される。したがって、一次側ポンプ１１の吐出動作時には、二次側吐出口２９から塗布具３４に吐出される液体の吐出流量と、二次側ポンプ室２７の膨張速度に応じた液体の吸入流量との合計の流量が二次側ポンプ室２７に供給される。このように、一次側ポンプ１１の吐出動作時にも、一次側ポンプ１１の吸入動作時と同一の流量となって二次側吐出口２９から液体が塗布具３４に供給される。したがって、一次側ポンプ１１の吸入動作時と吐出動作時とのいずれにおいても、二次側吐出口２９からは、常に一定の流量の液体が吐出流路３２により塗布具３４に向けて吐出される。

吐出流路３２には塗布具３４に向かって連続的に液体が流れるので、液体供給装置１０ａが使用されるときには、吐出流路３２には流路を開閉する開閉弁を設けることは不要である。ただし、二次側ポンプ室２７が確実に膨張収縮動作するか否かの動作テストをするために、図１に示されるように、逆止弁３７が吐出流路３２に設けられている。なお、それぞれの逆止弁３５〜３７としては、流路を開閉する電磁弁やエアオペレート弁を使用するようにしても良い。電磁弁等が使用されるときには、それぞれの開閉動作は制御部からの信号により制御される。

上述のように、一次側と二次側の２つのポンプ室を介して直列となった流路により容器３３と塗布具３４とが接続されることになるので、液体内に気泡が混入していても、流路内に気泡が滞留することがない。しかも、流路を形成する配管やホース等をポンプ周囲に這い回すことがなくなり、液体供給装置１０ａのメンテナンス時の操作性を向上させることができる。

図５は他の実施の形態である液体供給装置１０ｂを示す断面図である。この液体供給装置１０ｂにおける一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２は、上述した液体供給装置１０ａと同様の構造である。これに対し、上述した液体供給装置１０ａにおいては両方のポンプ１１，１２が別々のポンプ駆動部材４１ａ，４１ｂにより駆動される二軸構造であるのに対し、液体供給装置１０ｂの両方のポンプ１１，１２は１つのポンプ駆動部材４１により駆動される。ポンプ駆動部材４１はシリンダ４２を有し、このシリンダ４２には一次側ポンプ室１７と二次側ポンプ室２７とが設けられている。媒体室４４ａを膨張収縮するピストン４３ａと、媒体室４４ｂを膨張収縮するピストン４３ｂとが一体となってシリンダ４２に軸方向に往復動自在に装着されており、ポンプ駆動部材４１は一軸構造となっている。ピストン４３ａの断面積Ａ１は、ピストン４３ｂの断面積Ａ２よりも大きい。

一軸構造となったピストン４３ａ，４３ｂは、駆動機構４６の往復動ロッド４７により同期して駆動される。ピストン４３ａにより媒体室４４ａを膨張させて駆動室２１を介して一次側ポンプ室１７を膨張させるときには、ピストン４３ｂにより媒体室４４ｂを収縮させて駆動室２２を介して二次側ポンプ室２７が収縮する。一方、ピストン４３ａにより媒体室４４ａを収縮させて一次側ポンプ室１７を収縮させるときには、ピストン４３ｂにより媒体室４４ｂが膨張して二次側ポンプ室２７が膨張する。この液体供給装置１０ｂにおいては、両方のポンプの吐出動作と吸入動作による塗布具３４への液体の供給動作は、上述した液体供給装置１０ａと同様となる。なお、図５において符号４９は息付き孔を示す。

図５に示されるように、１つのポンプ駆動部材４１により２つのポンプ１１，１２を駆動する形態においては、液体供給装置１０ｂの構造を液体供給装置１０ａよりもシンプルとすることができる。

図６はさらに他の実施の形態である液体供給装置１０ｃを示す断面図である。この液体供給装置１０ｃは、一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２がシリンダ５０に設けられている。シリンダ５０には一次側ポンプ室１７と二次側ポンプ室２７とが設けられている。一次側ポンプ室１７は一次側流入口１８と一次側吐出口１９とに連通し、二次側ポンプ室２７は二次側流入口２８と二次側吐出口２９とに連通する。一次側ポンプ室１７はシリンダ５０とピストン５１により区画され、二次側ポンプ室２７はシリンダ５０とピストン５２とにより区画されている。一次側ポンプ室１７を膨張収縮する一次側ポンプ部材としてのピストン５１と、二次側ポンプ室２７を膨張収縮する二次側ポンプ部材としてのピストン５２とが同軸状に一体となってシリンダ５０に往復動自在に装着されている。両方のピストン５１，５２は、流体圧アクチュエータ等からなる駆動機構４６の往復動ロッド４７に連結部材５３により連結されており、１つの駆動機構４６により同期して駆動される。

このように、液体供給装置１０ｃは、ポンプ部材がピストン５１，５２により形成されたピストン構造ないしプランジャ構造となっている。ピストン５１の断面積Ａ１はピストン５２の断面積Ａ２よりも大きく、両方のポンプの吐出動作と吸入動作による塗布具３４への液体の供給状態は、上述した場合と同様となる。

図７はさらに他の実施の形態である液体供給装置１０ｄを示す断面図である。この液体供給装置１０ｄは、一次側ポンプ１１がポンプケース５４ａに設けられ、二次側ポンプ１２がポンプケース５４ｂに設けられており、両方のポンプケース５４ａ，５４ｂは直列となって組み付けられている。ポンプケース５４ａには一次側ポンプ室１７が設けられ、ポンプケース５４ｂには二次側ポンプ室２７が設けられている。一次側ポンプ室１７は一次側流入口１８と一次側吐出口１９とに連通し、二次側ポンプ室２７は二次側流入口２８と二次側吐出口２９とに連通する。一次側ポンプ室１７を膨張収縮する一次側ポンプ部材としてのベローズ５５と、二次側ポンプ室２７を膨張収縮する二次側ポンプ部材としてのベローズ５６とが同軸状に一体となってポンプケース５４ａ，５４ｂに軸方向に弾性変形自在に装着されている。

ベローズ５５は、先端側のディスク部５５ａと、ポンプケース５４ａに固定される基端部側の環状部５５ｂとを有し、ディスク部５５ａと環状部５５ｂの間には軸方向に弾性変形する弾性変形部５５ｃが一体に設けられている。環状部５５ｂは固定ディスク５７によりポンプケース５４ａに固定されている。弾性変形部５５ｃが軸方向に延びると一次側ポンプ室１７は収縮し、軸方向に収縮すると一次側ポンプ室１７は膨張する。

ベローズ５６は、ベローズ５５と同様に、先端側のディスク部５６ａと、ポンプケース５４ｂに固定される基端部側の環状部５６ｂとを有し、ディスク部５６ａと環状部５６ｂの間には軸方向に弾性変形する弾性変形部５６ｃが一体に設けられている。環状部５６ｂは固定ディスク５８によりポンプケース５４ｂに固定されている。弾性変形部５６ｃが軸方向に延びると二次側ポンプ室２７は収縮し、軸方向に収縮すると二次側ポンプ室２７は膨張する。両方のディスク部５５ａ，５６ａは、それぞれの固定ディスク５７，５８を貫通する往復動ロッド５９により連結されている。往復動ロッド５９は連結部材５３により駆動機構４６の往復動ロッド４７に連結されており、両方のベローズ５５，５６は同期して逆方向に駆動される。

このように、液体供給装置１０ｄはポンプ部材がベローズ５５，５６により形成されたベローズ構造となっている。ベローズ５５の平均有効面積Ａ１はベローズ５６の平均有効面積Ａ２よりも大きく設定されている。なお、それぞれのベローズ５５，５６の内側は、固定ディスク５７，５８に設けられた図示しない息付き孔により大気に開放されている。

図８はさらに他の実施の形態である液体供給装置１０ｅを示す断面図である。この液体供給装置１０ｅは、一次側ポンプ１１がポンプケース５４ａに設けられ、二次側ポンプ１２がポンプケース５４ｂに設けられており、両方のポンプケース５４ａ，５４ｂは直列となって組み付けられている。ポンプケース５４ａには一次側ポンプ室１７が設けられ、ポンプケース５４ｂには二次側ポンプ室２７が設けられている。一次側ポンプ室１７は一次側流入口１８と一次側吐出口１９とに連通し、二次側ポンプ室２７は二次側流入口２８と二次側吐出口２９とに連通する。一次側ポンプ室１７を膨張収縮する一次側ポンプ部材としてのダイヤフラム６１と、二次側ポンプ室２７を膨張収縮する二次側ポンプ部材としてのダイヤフラム６２とが同軸状に一体となってポンプケース５４ａ，５４ｂに軸方向に弾性変形自在に装着されている。

ダイヤフラム６１は、先端側のディスク部６１ａと、ポンプケース５４ａに固定される基端部側の環状部６１ｂとを有し、ディスク部６１ａと環状部６１ｂの間には軸方向に弾性変形する弾性変形部６１ｃが一体に設けられている。環状部６１ｂは固定ディスク５７によりポンプケース５４ａに固定されている。弾性変形部６１ｃが軸方向に突き出す方向に弾性変形すると一次側ポンプ室１７は収縮し、軸方向に後退する方向に弾性変形すると一次側ポンプ室１７は膨張する。

ダイヤフラム６２は、ダイヤフラム６１と同様に、先端側のディスク部６２ａと、ポンプケース５４ｂに固定される基端部側の環状部６２ｂとを有し、ディスク部６２ａと環状部６２ｂの間には軸方向に弾性変形する弾性変形部６２ｃが一体に設けられている。環状部６２ｂは固定ディスク５８によりポンプケース５４ｂに固定されている。弾性変形部６２ｃが軸方向に突き出す方向に弾性変形すると二次側ポンプ室２７は収縮し、軸方向に後退する方向に弾性変形すると二次側ポンプ室２７は膨張する。

両方のディスク部６１ａ，６２ａは、それぞれの固定ディスク５７，５８を貫通する往復動ロッド５９により連結されている。往復動ロッド５９は連結部材５３により駆動機構４６の往復動ロッド４７に連結されており、両方のダイヤフラム６１，６２は同期して逆方向に駆動される。

このように、液体供給装置１０ｅはポンプ部材がダイヤフラム６１，６２により形成されたダイヤフラム構造となっている。ダイヤフラム６１の弾性変形部６１ｃの平均有効面積はダイヤフラム６２の弾性変形部６２ｃの平均有効面積よりも大きくなっている。なお、それぞれのダイヤフラム６１，６２の内側は、固定ディスク５７，５８に設けられた図示しない息付き孔により大気に開放されている。

図９〜図１７はそれぞれ他の実施の形態である液体供給装置１０ｆ〜１０ｎを示す断面図である。図９に示される液体供給装置１０ｆは、図６に示した液体供給装置１０ｃと同様にピストン構造となっている。液体供給装置１０ｆにおけるポンプ部材としての２つのピストン５１，５２は、並列に配置されたシリンダ５０ａ，５０ｂに設けられている。図６に示した液体供給装置１０ｃにおいては２つのピストン５１，５２が同軸となっているのに対し、液体供給装置１０ｆにおいては平行となっている。ピストン５１は往復動ロッド４７ａに取り付けられ、ピストン５２は往復動ロッド４７ｂに取り付けられており、それぞれの往復動ロッド４７ａ，４７ｂは駆動機構４６により駆動される。

図１０に示される液体供給装置１０ｇは、図７に示した液体供給装置１０ｄと同様にベローズ構造となっている。液体供給装置１０ｇにおけるポンプ部材としての２つのベローズ５５，５６は、並列に配置されたポンプケース５４ａ，５４ｂに設けられている。図７に示した液体供給装置１０ｄにおいては２つのベローズ５５，５６が同軸となっているのに対し、液体供給装置１０ｇにおいては平行となっている。ベローズ５５のディスク部５５ａは往復動ロッド５９ａが取り付けられ、ベローズ５６のディスク部５６ａは往復動ロッド５９ｂに取り付けられており、それぞれの往復動ロッド５９ａ，５９ｂは駆動機構４６により駆動される。

図１１に示される液体供給装置１０ｈは、図８に示した液体供給装置１０ｅと同様にダイヤフラム構造となっている。液体供給装置１０ｈにおけるポンプ部材としての２つのダイヤフラム６１，６２は、並列に配置されたポンプケース５４ａ，５４ｂに設けられている。図８に示した液体供給装置１０ｅにおいては２つのダイヤフラム６１，６２が同軸となっているのに対し、液体供給装置１０ｈにおいては平行となっている。ダイヤフラム６１のディスク部６１ａは往復動ロッド５９ａが取り付けられ、ダイヤフラム６２のディスク部６２ａは往復動ロッド５９ｂに取り付けられており、それぞれの往復動ロッド５９ａ，５９ｂは駆動機構４６により駆動される。

図９〜図１１に示されるように、ポンプ部材としてのピストン等を並列に配置した形態においては、一次側ポンプ部材と二次側ポンプ部材の駆動速度を相違させることができるので、ポンプ部材としてのシリンダ等の径を同一としても、一次側ポンプ１１の吐出流量を二次側ポンプ１２の吐出流量よりも大きく設定することができる。また、図９〜図１１に示されるように、ポンプ部材を並列に配置した形態においては、シリンダやポンプケースを並列に隣り合わせることができるので、ホースや配管により連通側流路３０を設けることが不要となり、シリンダやポンプケース内に逆止弁３６を組み込むことができる。

図１２〜図１７に示される液体供給装置１０ｉ〜１０ｎは、図１に示された形態と同様に、チューブフラム１４が設けられた一次側ポンプ１１と、チューブフラム２４が設けられた二次側ポンプ１２とを有しており、それぞれのポンプ１１，１２はチューブフラム型となっている。

図１２に示される液体供給装置１０ｉのポンプ駆動部材４１ａ，４１ｂは、図１１に示された一次側ポンプ１１および二次側ポンプ１２と同様のダイヤフラム構造となっている。ポンプ駆動部材４１ａは往復動ロッド５９ａに取り付けられるダイヤフラム６１を有しており、ダイヤフラム６１は媒体ケース６３ａに組み込まれている。ダイヤフラム６１により媒体ケース６３ａの内部には媒体室４４ａが形成され、媒体室４４ａは連通孔４５ａを介して駆動室２１に連通しており、媒体室４４ａと駆動室２１には非圧縮性の媒体Ｍが充填されている。同様に、ポンプ駆動部材４１ｂは往復動ロッド５９ｂに取り付けられるダイヤフラム６２を有しており、ダイヤフラム６２は媒体ケース６３ｂに組み込まれている。ダイヤフラム６２により媒体ケース６３ｂの内部には媒体室４４ｂが形成され、媒体室４４ｂは連通孔４５ｂを介して駆動室２２に連通しており、媒体室４４ｂと駆動室２１には非圧縮性の媒体Ｍが充填されている。それぞれの往復動ロッド５９ａ，５９ｂは平行となって駆動機構４６に取り付けられている。ダイヤフラム６１の弾性変形部の平均有効面積は、ダイヤフラム６２の弾性変形部の平均有効面積よりも大きくなっている。

図１３に示される液体供給装置１０ｊは、図１２に示された液体供給装置１０ｉの２つのダイヤフラム６１，６２が平行となっているのに対し、ダイヤフラム６１，６２が往復動ロッド５９の両端に配置されて同軸となっている。これにより、両方のダイヤフラム６１，６２は同期して駆動される。

図１４に示される液体供給装置１０ｋのポンプ駆動部材４１ａ，４１ｂは、図１０に示された一次側ポンプ１１および二次側ポンプ１２と同様のベローズ構造となっている。ポンプ駆動部材４１ａは往復動ロッド５９ａに取り付けられるベローズ５５を有しており、ベローズ５５は媒体ケース６３ａに組み込まれている。ベローズ５５により媒体ケース６３ａの内部には媒体室４４ａが形成され、媒体室４４ａは連通孔４５ａを介して駆動室２１に連通しており、媒体室４４ａと駆動室２１には媒体Ｍが充填されている。同様に、ポンプ駆動部材４１ｂは往復動ロッド５９ｂに取り付けられるベローズ５６を有しており、ベローズ５６は媒体ケース６３ｂに組み込まれている。ベローズ５６により媒体ケース６３ｂの内部には媒体室４４ｂが形成され、媒体室４４ｂは連通孔４５ｂを介して駆動室２２に連通しており、媒体室４４ｂと駆動室２２には媒体Ｍが充填されている。それぞれの往復動ロッド５９ａ，５９ｂは平行となって駆動機構４６に取り付けられている。ベローズ５５の平均有効面積はベローズ５６の平均有効面積よりも大きく設定されている。

図１５に示される液体供給装置１０ｌは、図１４に示された液体供給装置１０ｋの２つのベローズ５５，５６が平行となっているのに対し、ベローズ５５，５６が往復動ロッド５９の両端に配置されて同軸となっている。これにより、両方のベローズ５５，５６は同期して駆動される。

図１２〜図１５の液体供給装置１０ｉ〜１０ｌにおける媒体室４４ａの容積は、媒体室４４ｂの容積よりも大きくなっており、媒体室４４ａの膨張縮量は媒体室４４ｂの膨張収縮量よりも大きくなっている。これにより、上述した液体供給装置と同様に、一次側ポンプ１１の吐出動作時には、二次側ポンプ１２に液体を注入しながら、二次側ポンプ１２から液体が塗布具３４に吐出される。

図１６および図１７に示される液体供給装置１０ｍ，１０ｎは、それぞれチューブフラム型の一次側ポンプ１１および二次側ポンプ１２を有しているが、上述したチューブフラム型とは相違した形態のポンプ構造となっている。図１６および図１７に示されるように、一次側ポンプ１１は、チューブフラム１４とこれが収容されるベローズ７１とを有しており、二次側ポンプ１２も同様に、チューブフラム２４とこれが収容されるベローズ７２とを有している。それぞれのベローズ７１，７２は、弾性材料により形成されており、軸方向に弾性変形自在となっている。それぞれのポンプ１１，１２は、チューブフラム１４，２４とベローズ７１，７２の二重構造となっており、チューブフラム１４とベローズ７１とにより駆動室２１が区画され、チューブフラム２４とベローズ７２とにより駆動室２２が区画されている。それぞれの駆動室２１，２２には、非圧縮性の媒体Ｍが封入されている。このように、一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２は、媒体室を有しておらず、ベローズ７１，７２により媒体Ｍを介して駆動室２１，２２を膨張収縮させるようにしている。

図１６に示される液体供給装置１０ｍのベローズ７１は、大径の端板部７３ａと小径の端板部７４ａとを有し、両方の端板部７３ａ，７４ａは図示しないホルダーに固定されている。大径の端板部７３ａには大型ベローズ部７５ａが一体に設けられ、小径の端板部７４ａには小型ベローズ部７６ａが一体に設けられ、大型ベローズ部７５ａと小型ベローズ部７６ａは境界部７７ａで一体となっている。この境界部７７ａには、往復動ロッド４７ａに設けられた連結部材５３ａが取り付けられている。

大型ベローズ部７５ａの軸方向の単位変形量当たりの内部容積の変化量は、小型ベローズ部７６ａの単位変形量当たりの内部容積の変化量よりも大きく設定されている。したがって、図１６に示されるように、往復動ロッド４７ａにより、大型ベローズ部７５ａを軸方向に収縮させると、小型ベローズ部７６ａは軸方向に膨張し、駆動室２１は径方向に収縮することになる。これにより、チューブフラム１４の内部の一次側ポンプ室１７は収縮し、液体が二次側ポンプ１２に向けて吐出される。

液体供給装置１０ｍのベローズ７２は、ベローズ７１と同様の構造となっており、大径の端板部７３ｂと小径の端板部７４ｂとを有し、両方の端板部７３ｂ，７４ｂは図示しないホルダーに固定されている。大径の端板部７３ｂには大型ベローズ部７５ｂが一体に設けられ、小径の端板部７４ｂには小型ベローズ部７６ｂが一体に設けられ、両方のベローズ部７５ｂ，７６ｂは境界部７７ｂで一体となっている。この境界部７７ｂには、往復動ロッド４７ｂに設けられた連結部材５３ｂが取り付けられている。

大型ベローズ部７５ｂの軸方向の単位変形量当たりの内部容積の変化量は、小型ベローズ部７６ｂの単位変形量当たりの内部容積の変化量よりも大きく設定されている。したがって、図１６に示されるように、往復動ロッド４７ｂにより、大径のベローズ部７５ｂを軸方向に膨張させると、小径のベローズ部７６ｂは軸方向に収縮し、駆動室２２は径方向に膨張することになる。これにより、チューブフラム２４の内部の二次側ポンプ室２７は膨張し、一次側ポンプ室１７内の液体が二次側ポンプ室２７に流入する。

ベローズ７１の大型ベローズ部７５ａは、ベローズ７２の大型ベローズ部７５ｂよりも軸方向の単位変形量当たりの内部容積の変化量が大きく設定されており、同様に、ベローズ７１における小型ベローズ部７６ａは、ベローズ７２の小型ベローズ部７６ｂよりも軸方向の単位変形量当たりの内部容積の変化量が大きく設定されており、駆動室２１の容積は駆動室２２よりも大きくなっている。したがって、一次側ポンプ１１の吐出動作時には二次側ポンプ１２に液体を注入しながら二次側ポンプ１２から液体が塗布具３４に吐出される。

図１７に示される液体供給装置１０ｎは、図１６に示したものと同一構造の一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２を有している。この液体供給装置１０ｎにおいては、１つの往復動ロッド４７により両方の一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２とを同期して駆動するようにしている。図１７に示されるように、一次側ポンプ室１７を収縮させるときに、二次側ポンプ室２７を膨張させるために、一次側ポンプ１１のベローズ７１と二次側ポンプ１２のベローズ７２は、両端の位置が反転されている。したがって、図１７に示されるように、往復動ロッド４７により、ベローズ７１の小型ベローズ部７６ａを軸方向に膨張させて大型ベローズ部７５ａを軸方向に収縮させると、ベローズ７２の小型ベローズ部７６ｂが軸方向に収縮し、大型ベローズ部７５ｂが軸方向に膨張する。これにより、チューブフラム１４の内部の一次側ポンプ室１７は収縮し、チューブフラム２４の内部の二次側ポンプ室２７は膨張する。駆動室２１の容積は駆動室２２よりも大きくなっているので、一次側ポンプ室１７の収縮量は、二次側ポンプ室２７の膨張量よりも大きくなり、一次側ポンプ１１の吐出動作時には二次側ポンプ１２に液体を注入しながら二次側ポンプ１２から液体が塗布具３４に吐出される。

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。上述した液体供給装置においては媒体を介してポンプ部材を間接的に駆動するようにした形態と、ポンプ部材を直接駆動するようにした形態とがあるが、ポンプ部材としてベローズやダイヤフラムを用いた形態においては、ベローズやダイヤフラムを媒体を介して間接的に駆動することも可能である。

１０ａ〜１０ｈ液体供給装置
１１一次側ポンプ
１２二次側ポンプ
１３ポンプケース
１４チューブフラム（一次側ポンプ部材）
１７一次側ポンプ室
１８一次側流入口
１９一次側吐出口
２１，２２駆動室
２３ポンプケース
２４チューブフラム（二次側ポンプ部材）
２７二次側ポンプ室
２８二次側流入口
２９二次側吐出口
３０連通側流路
３１吸入流路
３２吐出流路
３４塗布具
３５〜３７逆止弁
４１，４１ａ，４１ｂポンプ駆動部材
５１ピストン（一次側ポンプ部材）
５２ピストン（二次側ポンプ部材）
５５ベローズ（一次側ポンプ部材）
５６ベローズ（二次側ポンプ部材）
６１ダイヤフラム（一次側ポンプ部材）
６２ダイヤフラム（二次側ポンプ部材）
６３ａ，６３ｂ媒体ケース
７１，７２ベローズ
７５ａ，７５ｂ大型ベローズ部
７６ａ，７６ｂ小型ベローズ部

Claims

一次側流入口と一次側吐出口とに連通する一次側ポンプ室を有し、前記一次側ポンプ室に流入した液体を前記一次側吐出口から吐出する一次側ポンプ部材が設けられた一次側ポンプと、
前記一次側吐出口に接続される二次側流入口と二次側吐出口とに連通する二次側ポンプ室を有し、前記一次側ポンプ室から前記二次側ポンプ室に流入した液体を前記二次側吐出口から吐出する二次側ポンプ部材が設けられた二次側ポンプと、
前記一次側ポンプ室へ液体を吸入する前記一次側ポンプの吸入動作時に前記二次側ポンプ室の液体を前記二次側吐出口から吐出し、前記一次側ポンプ室から前記二次側ポンプ室に液体を吐出する前記一次側ポンプの吐出動作時に、前記一次側ポンプ室の吐出流量が前記二次側ポンプ室の吸入流量よりも大きく、前記一次側ポンプ室の吐出流量と二次側ポンプ室の吸入流量の差の分の流量を前記二次側吐出口から吐出するポンプ駆動部材とを有することを特徴とする液体供給装置。
請求項１記載の液体供給装置において、前記一次側ポンプの吸入動作時に前記一次側流入口への流路を開き、前記一次側ポンプの吐出動作時に前記一次側流入口への流路を閉じる流入側逆止弁と、
前記一次側吐出口と前記二次側流入口とを接続する連通側流路に設けられ、前記一次側ポンプの吸入動作時に前記連通側流路を閉じ、前記一次側ポンプの吐出動作時に前記連通側流路を開く連通側逆止弁とを有することを特徴とする液体供給装置。
請求項１または２記載の液体供給装置において、前記一次側ポンプの単位時間当たりの吐出流量ＶD1（ｍｌ／ｓ）と、前記二次側ポンプの単位時間当たりの吐出流量ＶD2（ｍｌ／ｓ）と、前記一次側ポンプの単位時間当たりの吸入流量ＶC1（ｍｌ／ｓ）と、前記二次側ポンプの単位時間当たりの吸入流量ＶC2（ｍｌ／ｓ）とが、
ＶD2／ＶC1＝ＶC2／ＶD1
であることを特徴とする液体供給装置。
請求項３記載の液体供給装置において、ＶD2-＝ＶD1−ＶC2であることを特徴とする液体供給装置。
請求項４記載の液体供給装置において、ＶD1＝２×ＶD2であることを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ部材は、径方向に弾性変形自在の弾性変形部を有する管状のチューブフラムであり、当該チューブフラムを収容するポンプケースと前記チューブフラムとにより区画される駆動室に非圧縮性媒体を給排し、前記チューブフラム内の前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ部材は、径方向に弾性変形自在の弾性変形部を有する管状のチューブフラムであり、当該チューブフラムを収容する軸方向に弾性変形自在のベローズと前記チューブフラムとにより区画される駆動室に非圧縮性媒体を封入し、前記ベローズは小型ベローズ部と、当該小型ベローズ部よりも軸方向の単位変形量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有し、前記ベローズを軸方向に駆動して前記チューブフラム内の前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ部材は、シリンダに往復動自在に組み込まれるピストンであり、当該ピストンを往復動し前記ピストンと前記シリンダとにより区画される前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ部材は、ポンプケース内に組み込まれて軸方向に弾性変形する弾性変形部を有するベローズであり、当該ベローズの往復動端部に取り付けられた駆動ロッドを往復動し前記ベローズと前記ポンプケースとにより区画される前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ部材は、ポンプケース内に組み込まれて軸方向に弾性変形する弾性変形部を有するダイヤフラムであり、当該ダイヤフラムに取り付けられた駆動ロッドを往復動し前記ダイヤフラムと前記ポンプケースとにより区画される前記ポンプ室を膨張収縮することを特徴とする液体供給装置。
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の液体供給装置において、前記ポンプ駆動部材は前記一次側ポンプ部材と前記二次側ポンプ部材とを同期駆動することを特徴とする液体供給装置。