JP3931048B2 - 半導体製造装置用ポンプ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理に用いられる薬液の循環輸送などに適用される半導体製造装置用ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のポンプとして、従来では、例えば特開平３−１７９１８４号公報に開示されているような構成のベローズ式あるいはダイヤフラム式往復動ポンプが一般に用いられていた。この従来の往復動ポンプの構成を図３に基づいて簡単に説明する。図３に示されているものは、空気駆動型のベローズ式ポンプであって、液体の流入路５０及び流出路５１を備えたポンプヘッド構成壁５２の両側に固定連設された筒状ケーシング５３Ａ，５３Ｂ内にそれぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一対のベローズ５４Ａ，５４Ｂを対向状態に配設し、これら一対のベローズ５４Ａ，５４Ｂの開口周縁部５４ａ，５４ｂを環状固定板５６Ａ，５６Ｂを介して上記ポンプヘッド構成壁５２に気密状に固定することによりポンプ室５９内をポンプ作用室５７ａ，５７ｂとポンプ作動室５８ａ，５８ｂとに密封区画してなる一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂが構成されている。
【０００３】
上記一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂにおけるベローズ５４Ａ，５４Ｂは上記ポンプヘッド構成壁５２を貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド５５を介して、一方のベローズ５４Ａまたは５４Ｂが縮小動作するとき他方のベローズ５４Ｂまたは５４Ａが伸長動作するように連動連結されている。また、上記一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂにおけるポンプ作用室５７ａ，５７ｂにそれぞれ開口するように形成された吸入口６１ａ，６１ｂ及び吐出口６２ａ，６２ｂはそれぞれ上記流入路５０及び流出路５１に連通されているとともに、これら各吸入口６１ａ，６１ｂ及び吐出口６２ａ，６２ｂにはそれぞれ、吸入用逆止弁６３ａ，６３ｂ及び吐出用逆止弁６４ａ，６４ｂが設けられている。さらに、上記筒状ケーシング５３Ａ，５３Ｂの底板部５３ａ，５３ｂには上記一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂにおけるポンプ作動室５８ａ，５８ｂに所定時間毎に加圧空気を交互に供給する空気口６５ａ，６５ｂが形成されている。
【０００４】
上記構成のベローズ式ポンプ往復動ポンプにおいては、コンプレッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を所定時間毎に交互に上記空気口６５ａ，６５ｂを通して一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂのポンプ作動室５８ａ，５８ｂに供給することにより、上記ベローズ５４Ａ，５４Ｂを連結ロッド５５を介して可逆的に伸縮変形駆動させて一対のポンプ部６０Ａ，６０Ｂの吸入工程と吐出工程とを交互に行なわせ、これによって、上記流入路５０からポンプ作用室５７ａ、５７ｂに流入される液体を流出路５１へほぼ連続的に吐出させるといったポンプ作用が行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記したような従来の往復動ポンプでは、一対のベローズあるいはダイヤフラム等のポンプ作用体が交互に作動されるものであるから、作動切替え時に液体の吐出が瞬間的に停止するために、脈動が発生する。このような脈動が発生すると、流速の大幅な変化および圧力の変化を伴うことになり、半導体製造装置の処理液の循環輸送においてはその清浄度が損なわれて所定の処理精度の面で大きな問題となっていた。
【０００６】
また、このような脈動による処理精度の低下をなくするために、ポンプによる液体輸送配管の下流側配管部に、例えばベローズを利用したアキュムレータ等の脈動抑制装置を配設する手段を採用したものも従来から知られているが、この場合は、ポンプとアキュムレータ等の脈動抑制装置との併設であるために、大きな場所を要する上に、両者間に亘って複雑な配管も必要となり、設備コストが増大する。特に、半導体製造装置用の処理液の循環輸送にあたっては、両者間の配管として耐食性、耐熱性などに優れたＰＴＦＥやＰＦＡ等の弗素樹脂製チューブが使用されることが多いが、この弗素樹脂製チューブに小さな脈動や大きな脈動が繰り返し作用すると、該チューブが疲労し、短期間のうちに破れて液漏れを生じるなどの危険性があり、安全性の面で好ましくない。また、弗素樹脂製チューブ及び該チューブとポンプや脈動抑制装置との接続ポイントで圧力ロスが生じ、その圧力ロスを見込んだ大きな容量をもつポンプを用いる必要があることから、両者を含めて設備がより大型化し占有設置スペースが一層大きくなるという問題があった。
【０００７】
本発明は上記のような実情に鑑みてなされたもので、脈動の発生を抑制し液体を連続してスムースに循環輸送することができ、しかも、配管構成の簡略化と全体の小型化により設置スペースを大幅に削減することができる半導体製造装置用ポンプを提供することを主たる目的としている。
【０００８】
本発明の他の目的は、上記目的に加えて、吐出圧の変動にかかわらず脈動幅を小さく抑えることができるようにする点にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記主たる目的を達成するために、請求項１に記載の発明に係る半導体製造装置用ポンプは、液体の流入路及び流出路とを備えた仕切壁と、この仕切壁の一側部に固定連設されたケーシング内を往復運動するＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等のフッ素樹脂材料で成るポンプ作用体とこのポンプ作用体を駆動往復運動させるエアシリンダ部と上記ポンプ作用体の往復運動に伴って交互に開閉作動して液体の吸入作用および吐出作用を行なう逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備えてなる往復動ポンプ部と、上記仕切壁の他側部に固定連設されたケーシング内に上記往復動ポンプ部のポンプ作用体に対向して配設され該ポンプ作用体の往復運動方向に往復運動可能なＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等のフッ素樹脂材料で成る往復動体とこの往復動体の一側に形成されて上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能な液室と上記往復動体の他側に液室に対し隔離形成されて脈動抑制用の気体が封入される気室とを備え、上記往復動体の往復運動に伴う上記液室の容量変化により上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように構成した脈動抑制部と、を具備していることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、エアシリンダ部を介して仕切壁一側部の往復動ポンプ部におけるポンプ作用体を駆動往復運動させると、ポンプ作用室内の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ作用室内から流出路への液体の吐出とが反復され所定のポンプ作用が行なわれる。このとき、上記往復動ポンプ部におけるポンプ作用室から上記吐出用逆止弁を経て吐出される液体は仕切壁他側部の脈動抑制部における液室を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液体の吐出圧の脈動の山部においては脈動抑制部における往復動体が液室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、かつ、脈動の谷部においては上記往復動体が液室容量を減少する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動を吸収することになって、液体を脈動なく連続してスムースに流出させることが可能となる。
【００１１】
上述のように動作する半導体製造装置用ポンプにおいて、往復動ポンプ部と脈動抑制部とが一体化されて、両者間を接続するための外部配管が不要であるために、全体の低コスト化及び小型化が図れて設置スペースの大幅な削減が可能であるばかりでなく、外部配管の省略によって長期間に使用によっても配管が破れるなどして液漏れを発生するなどの危険性がなくなり、また、圧力ロスも非常に少ないので、ポンプ容量も小さくてよく、より一層の小型化を図れ、ポンプの設置占有面積の縮小を達成することが可能である。
【００１２】
上記構成の半導体製造装置用ポンプにおいて、上記往復動ポンプ部におけるポンプ作用体及び脈動抑制部における往復動体としては、脈動の発生を一層抑えることと、応答性のよいポンプ作用を行なわせることから、請求項２に記載のように、ベローズもしくはダイヤフラムから構成することが望ましく、また、上記の仕切壁、往復動ポンプ部及び脈動抑制部におけるケーシング、往復動ポンプ部における吸入用及び吐出用逆止弁の構成材料としては、半導体製造装置用の処理液の循環輸送という耐蝕性及び耐熱性などが要求される使用条件から考えて、請求項３に記載のように、ＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等の弗素樹脂材料を用いることが望ましい。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、上記請求項１〜３のいずれかに記載の半導体製造装置用ポンプにおいて、上記脈動抑制部に、上記液室内に挿入されて往復動体の往復運動に応動可能な操作杆と、この操作杆に操作されて上記気室に通じる給排気通路を液室の容量が所定範囲を越えて増大したときは給気口に、かつ、液室の容量が所定範囲を越えて減少したときは排気口に選択的に連通させる弁体とを備えた給排気用切換弁機構とを装着したものであり、このような構成を採用した請求項４に記載の発明によれば、上述したような脈動抑制を伴うポンプ動作において、上記往復動ポンプ部の吐出圧の変動で液室容量の増大が所定範囲を越えると、給排気弁機構によって気室内への給気が行なわれて封入圧が上昇され、往復動体の運動が制約され、また、液室容量の減少が所定範囲を越えると、給排気弁機構によって気室内からの排気が行なわれて封入圧が下降され、往復動体の運動が制約される。その結果、往復動ポンプ部からの吐出圧の変動にかかわらず往復動体の運動が一定範囲内に制約されて脈動幅を小さく抑えることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にもとづいて説明する。
図１は本発明に係る半導体製造装置用ポンプの実施の形態として適用した空気駆動型ベローズ式ポンプの全体縦断正面図であり、同図において、１は液体の流入路２及び流出路３が形成された仕切壁で、この仕切壁１の両側に往復動ポンプ部４と脈動抑制部５とを対向して一体に配設してなる。
【００１５】
上記仕切壁１の一側部に固定連設された有底筒状ケーシング６内にその筒軸線方向に沿って伸縮変形可能なポンプ作用体となる有底筒状のベローズ７が配設されており、このベローズ７の開口周縁部７ａを環状固定板８により上記仕切壁１の一側面に気密状に押圧固定することにより、ケーシング６の内部空間をベローズ７内のポンプ作用室９ａとベローズ７外のポンプ作動室９ｂとに密閉区画されている。上記有底筒状ケーシング６の底壁部６ａの外側には連結部材１０を介して上記ベローズ７の閉鎖端部材７ｂに固定連結されたピストン体１１を摺動可能に内蔵するシリンダ体１２が固定されており、このシリンダ体１２および上記ケーシング６の底壁部６ａに形成した空気孔１３ａ，１３ｂを通して、コンプレッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気をシリンダ体１１の内部または上記ポンプ作動室９ｂに供給することによって、上記ベローズ７を駆動伸縮させるエアシリンダ部１４が構成されている。
【００１６】
また、上記ポンプ作用室９ａにそれぞれ開口するように形成された吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂは上記流入路２及び流出路３に連通されているとともに、これら吸入口１５ａ及び吐出口１５ｂにはそれぞれ、可動弁体１６ａ１とスプリング１６ａ２及び可動弁体１６ｂ１とスプリング１６ｂ２とからなり、上記ベローズ７の駆動伸縮に伴って交互に開閉作動される吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂが設けられており、以上の各構成要素によって上記ポンプ部４が構成されている。
【００１７】
一方、上記仕切壁１の他側部に上記有底筒状ケーシング６と同軸状に固定連設された有底筒状ケーシング１７内にも上記ポンプ部４における有底筒状ベローズ７に対向させて、その筒軸線方向に沿っての伸縮変形により往復運動可能な往復動体となる有底筒状のベローズ１８が配設されており、このベローズ１８の開口周縁部１８ａを環状固定板１９により上記仕切壁１の他側面に気密状に押圧固定することにより、ケーシング１７の内部空間がベローズ１８内で上記ポンプ部４における吐出用逆止弁１６ｂ及び上記仕切壁１の肉厚内に貫設した連通路２１を経て吐出される液体を一時的に貯溜する液室２０ａとベローズ１８外で脈動抑制用の空気が封入される空気室２０ｂとに隔離形成されている。
【００１８】
上記ベローズ１８の閉鎖端１８ｂには、その中央部に位置させて液室２０ａの容量の増大方向、つまりベローズ１８の伸張方向に向いた筒形連結部材２２がスプリング２３の弾性力によって押付けられており、以上の各構成要素によって、ベローズ１８の伸縮変形に伴う液室２０ａの容量変化により上記ポンプ部４のポンプ作用室９ａから吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させる上記脈動抑制部５が構成されている。
【００１９】
そして、上記脈動抑制部５における有底筒状ケーシング１７の底壁部１７ａ外面には給排気用切換弁機構２４が装備されている。この給排気用切換弁機構２４は図２に示すように構成されている。図２において、２５は有底筒形のケーシングで、このケーシング２５内に収容されたシリンダ部２６内にはその軸線方向に沿って摺動変位可能にスライド弁体２７が嵌合されている。２８は上記有底筒状ケーシング１７の底壁部１７ａに形成した孔１７ｂを貫通して上記空気室２０ｂ内に挿入された操作杆であり、その一端部が上記スライド弁体２７の一端に同軸状に連結されており、かつ、この操作杆２８の他端側の連結つば部２８ａが上記筒形連結部材２２内の基準位置に連結されている。
【００２０】
上記ケーシング２５の周壁には、ケーシング１７の底壁部１７ａ側寄り位置に給気口２９が形成されているとともに、他側寄り位置に排気口３０が形成されている。上記給気口２９は、移送液体の最大圧力値以上の圧力の空気を供給するようになされており、また、排気口３０は大気に開放されている。これら給気口２９および排気口３０に対応して上記シリンダ部２６の周壁にポート３１，３２が形成されている。３３ａは上記ケーシング２５の周壁に形成された給排気用通路で、上記空気室２０ｂとシリンダ部２６内とを連通するものである。３３ｂは上記給排気用通路３３ａを介して空気室２０ｂとつば部２８ａとシリンダ部２６とケーシング２５で囲まれた領域を連通させる通路である。この通路３３ｂによりスライド弁体２７に作用する空気室２０ｂ内の空気圧の影響を打ち消すことができ、移送液体の圧力を正確にスライド弁体２７に伝えることが可能となる。
【００２１】
上記スライド弁体２７にはその軸線方向に所定間隔を隔てて３つの摺動用つば部２７ａ，２７ｂ，２７ｃが形成されており、中央つば部２７ｂと一端側つば部２７ｃとの間が給気用空間Ｓ１に構成され、中央つば部２７ｂと他端側つば部２７ａとの間が排気用空間Ｓ２に構成されている。このスライド弁体２７はポンプ吐出圧の変動により、液室２０ａの容量増大が所定範囲Ａを越えると、変位して給排気用通路３３ａを空間Ｓ１に連通させ、かつ、液室２０ａの容量減少が所定範囲Ｂを越えると、上記給排気用通路３３ａを空間Ｓ２に連通させるように構成されている。３４は上記ケーシング２５内に設置されてスライド弁体２７に上方へのばね力を付勢して該スライド弁体２７を基準位置に保持させるばね部材である。
【００２２】
なお、以上のような構成の半導体製造装置用ポンプにおいて、上記ポンプ部４におけるベローズ７、脈動抑制部５におけるベローズ１８、仕切壁１、両ケーシング６，１７、吸入用逆止弁１６ａ及び吐出用逆止弁１６ｂの可動弁体１６ａ１，１６ｂ１は、耐蝕性及び耐熱製に優れたＰＴＦＥやＰＦＡ等の弗素樹脂材料から構成されており、両ケーシング６，１７の外面にはアルミのテフロン（登録商標）コート（つまり弗素樹脂コート）が施されている。また、上記ポンプ部４及び脈動抑制部５における環状固定板８，１９はガラス繊維入り不飽和ポリエステル等のＦＲＰ製である。さらに、図１中、３５ａ，３５ｂは上記ポンプ部４におけるエアシリンダ部１４に取り付けられた近接センサであって、コンプレッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気のシリンダ体１１内部への供給と上記ポンプ作動室９ｂへの供給とを自動的に切り替えるものである。
【００２３】
次に、上記構成の半導体製造装置用ポンプの動作について説明する。
コンプレッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気をエアシリンダ部１４のシリンダ体１１の内部に供給してベローズ７を図１のｘ方向に伸長動作させると、流入路２内の移送液体が吸入用逆止弁１６ａを経てポンプ作用室９ａ内に吸入され、次いで、上記加圧空気をエアシリンダ部１４のポンプ作動室９ｂ内に供給してベローズ７を図１のｙ方向に収縮動作させると、ポンプ作用室９ａ内に吸入された移送液体が吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出されるといったように、エアシリンダ部１４を介して往復動ポンプ部４におけるベローズ７を駆動伸縮変形させることにより、上記吸入用逆止弁１６ａの可動弁体１６ａと吐出用逆止弁１６ｂの可動弁体１６ｂ１とが交互に開閉作動して流入路２からポンプ作用室９ａへの液体の吸入とポンプ作用室９ａ内から流出路３への液体の吐出とが反復され所定のポンプ作用が行なわれる。このような往復動ポンプ部４の作動により移送液体が所定の部位に向けて送給されると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによる脈動を発生する。
【００２４】
ここで、上記往復動ポンプ部４におけるポンプ作用室９ａ内から吐出用逆止弁１６ｂを経て吐出される移送液体は連通路２１を通って脈動抑制部５における液室２０ａ内に送られて該液室３に一時的に貯溜されたのち流出路３へと流出される。このとき、移送液体の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体は液室２０ａの容量を増大するようにベローズ１８を伸張変形させるので、その圧力が吸収される。この時、液室２０ａから流出される移送液体の流量はポンプ部４から送給されてくる流量よりも少なくなる。
【００２５】
また、上記移送液体の吐出圧が吐出圧曲線の谷部にさしかかると、上記ベローズ１８の伸張変形にともない圧縮された空気室２０ｂ内の封入圧よりも移送液体の圧力が低くなるので、ベローズ１８は収縮変形する。この時、ポンプ部４から液室２０ａ内に流入する移送液体の流量よりも液室２０ａから流出する流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液室２０ａの容量変化によって上記脈動が吸収され抑制される。
【００２６】
ところで、上記のような動作中において、ポンプ部４からの吐出圧が上昇変動すると、移送液体によって液室２０ａの容量が増大し、ベローズ１８が大きく伸張変形することになる。このベローズ１８の伸張変形量が所定範囲Ａを越えると、操作杆２８を介してスライド弁体２７が外方に摺動変位して、給排気通路３３ａが空間Ｓ１を介して給気口２９に連通される。このため、給気口２９から高い空気圧が上記空間Ｓ１および通路３３ａを経て空気室２０ｂに供給されて該空気室２０ｂの封入圧が高められることになり、これによって、ベローズ１８の伸張変形量が制約されて液室２０ａの容量が過度に増大することが抑えられる。
【００２７】
一方、ポンプ部４からの吐出圧が下降変動すると、移送液体によって液室２０ａの容量が減少し、ベローズ１８が大きく収縮変形することになる。このベローズ１８の収縮変形量が所定範囲Ｂを越えると、操作杆２８を介してスライド弁体２７が内方に摺動変位して、給排気通路３３ａが空間Ｓ２を介して排気口３０に連通される。このため、上記空気室２０ｂ内の封入空気ａが給排気通路３３ａおよび空間Ｓ２を経て排気口３０から大気に排出されて該空気室２０ｂの封入圧が下げられることになり、これによって、ベローズ１８の収縮変形量が制約されて液室２０ａの容量が過度に減少することが抑えられる。その結果、上記ポンプ部４のポンプ作用室９ａからの吐出圧の変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅を小さく抑えることができる。
【００２８】
このように動作する半導体製造装置用ポンプにおいて、往復動ポンプ部４と脈動抑制部５とが一体化されて、両者４，５間を接続するための弗素樹脂製チューブ等の外部配管が不要であるために、ポンプ全体の低コスト化及び小型化が図れて設置スペースの大幅な削減が可能であるばかりでなく、外部配管の省略によって長期間の使用によっても配管が破れるなどして液漏れを発生するなどの危険性がなくなり、また、圧力ロスの要因となる箇所も非常に少ないので、ポンプ容量を小さくして全体をより一層小型化し、設置占有面積の縮小を達成することが可能である。
【００２９】
なお、上記実施の形態では、ポンプ部４におけるポンプ作用体及び脈動抑制部５における往復動体として共にベローズ７，１８を使用したものについて説明したが、これらはダイヤフラムであっても、ピストン状のものであってもよい。
【００３０】
また、上記実施の形態で説明したような給排気用切換弁機構２４を脈動抑制部５の外側に設けることによって、たとえ該給排気用切換弁機構２４が故障等しても、ポンプ側はなんら分解等することなく、この給排気用切換弁機構２４のみを対象とした補修や部品交換などのメンテナンスを容易に行なうことが可能で、特に強酸性や強アルカリ性の薬液を取り扱う半導体製造装置用のポンプとして有用である。さらに、給排気用切換弁機構２４として、上記実施の形態のように、スライド弁体２７を使用した筒形の弁機構を用いる場合は、コンパクト化が図れるとともに、空気室２０ｂとの連通構造も簡単になるという利点がある。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように、請求項１〜３に記載の発明によれば、往復動ポンプ部と脈動抑制部とが一体化されて、両者間を接続するためのチューブなどの外部配管を不要としているために、全体の低コスト化及び小型化が図れて設置スペースの大幅な削減を達成できるばかりでなく、外部配管の省略に伴い長期間の使用によっても配管が破れて液漏れを発生するなどの危険性がなく、使用上の安全性を確保でき、また、圧力ロスも非常に少ないので、その分だけポンプ容量を小さくしてより一層の小型化を図れ、ポンプの設置占有面積の縮小を達成することができるという効果を奏する。
【００３２】
また、請求項４に記載の発明によれば、上記効果に加えて、往復動ポンプ部からの吐出圧の変動にかかわらず往復動体の運動が一定範囲内に制約されて脈動幅を一層小さく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体製造装置用ポンプの実施の形態として適用した空気駆動型ベローズ式ポンプの全体縦断正面図である。
【図２】同上ポンプにおける要部の拡大縦断正面図である。
【図３】従来の半導体製造装置用ポンプの全体縦断正面図である。
【符号の説明】
１ 仕切壁
２ 流入路
３ 流出路
４ 往復動ポンプ部
５ 脈動抑制部
６，１７ ケーシング
７，１８ ベローズ
９ａ ポンプ作用室
１４ エアシリンダ部
１６ａ 吸入用逆止弁
１６ｂ 吐出用逆止弁
１６ａ１，１６ｂ１ 可動弁体
１６ａ２，１６ｂ２ スプリング
２０ａ 液室
２０ｂ 空気室
２４ 給排気切換弁機構
２７ スライド弁体
２８ 操作杆
３３ａ 給排気用通路

Claims (4)

1. 液体の流入路及び流出路とを備えた仕切壁と、
   この仕切壁の一側部に固定連設されたケーシング内を往復運動するＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等のフッ素樹脂材料で成るポンプ作用体とこのポンプ作用体を駆動往復運動させるエアシリンダ部と上記ポンプ作用体の往復運動に伴って交互に開閉作動して液体の吸入作用および吐出作用を行なう逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備えてなる往復動ポンプ部と、
   上記仕切壁の他側部に固定連設されたケーシング内に上記往復動ポンプ部のポンプ作用体に対向して配設され該ポンプ作用体の往復運動方向に往復運動可能なＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等のフッ素樹脂材料で成る往復動体とこの往復動体の一側に形成されて上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能な液室と上記往復動体の他側に液室に対し隔離形成されて脈動抑制用の気体が封入される気室とを備え、上記往復動体の往復運動に伴う上記液室の容量変化により上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように構成した脈動抑制部と、
   を具備していることを特徴とする半導体製造装置用ポンプ。
2. 上記往復動ポンプ部におけるポンプ作用体及び脈動抑制部における往復動体が、ベローズもしくはダイヤフラムから構成されている請求項１に記載の半導体製造装置用ポンプ。
3. 上記の仕切壁、往復動ポンプ部及び脈動抑制部におけるケーシング、往復動ポンプ部における吸入用及び吐出用逆止弁の可動弁体が、ＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等の弗素樹脂材料から構成されている請求項１または２に記載の半導体製造装置用ポンプ。
4. 上記脈動抑制部には、上記液室内に挿入されて往復動体の往復運動に応動可能な操作杆と、この操作杆に操作されて上記気室に通じる給排気通路を液室の容量が所定範囲を越えて増大したときは給気口に、かつ、液室の容量が所定範囲を越えて減少したときは排気口に選択的に連通させる弁体とを備えた給排気用切換弁機構が装着されている請求項１ないし３に記載の半導体製造装置用ポンプ。

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