JP3072555B2 - ポンプの脈動抑制装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置におけるＩＣや液晶の表面洗浄等の各種処理用薬液
などの移送液を往復動ポンプによって各部に送給する移
送液配管途中に介在されて、上記ポンプの往復動に起因
する流量・圧力の変動に伴って発生する脈動（脈圧）を
抑制するように構成されているポンプの脈動抑制装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のポンプの脈動抑制装置として、
本出願人は、例えば特開平８−１５９０１６号公報に開
示されているような構成のものを既に提案している。同
上公報等で既に提案している脈動抑制装置は、往復動ポ
ンプによる移送液を一時貯溜可能な液室とベローズやダ
イヤフラムなど上記液室に対して伸縮変形自在な隔膜を
介して隔離されて脈動抑制用の気体が封入される気室と
を設け、上記隔膜と気室内の封入気体圧力とのバランス
によって液室の容量を変化させて上記移送液の吐出圧に
よる脈動を吸収させるように構成されているとともに、
上記隔膜の閉鎖端側の変位に連動してその軸線方向に往
復動作する軸状操作杆を介して上記気室に通じる給排気
通路を給気口に連通させる状態と排気口に連通させる状
態とに自動切換え可能な弁体を有する給排気用切換弁機
構を設けてなるものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したような構成を
持つ本出願人による既提案のポンプの脈動抑制装置は、
移送液の吐出圧による脈動を抑制するだけでなく、ポン
プの吐出圧が変動した場合の液室容量の変化の増減を液
圧と気体圧の圧力バランスによって所定範囲内に保持さ
せてポンプの吐出圧の変動にかかわらず脈動幅を小さく
抑えることが可能である。

【０００４】しかし、上記の本出願人による既提案のポ
ンプの脈動抑制装置を含めて従来から使用されている全
ての脈動抑制装置においては、例えば上記気室内への気
体供給を失念した状態で装置を駆動したような場合、移
送液の圧力が高いとき、上記圧力バランスの崩れによっ
て隔膜が所定値以上に伸長してしまい、該隔膜の閉鎖端
面が気室内に設置されている部品、詳しくは、隔膜の閉
鎖端面側の変位に連動してその軸線方向に往復移動する
ことにより給排気用切換弁機構を自動切換えするための
軸状操作杆の端部に強い力で接当するために、隔膜の閉
鎖端面が変形あるいは損傷しやすく、また、軸状操作杆
にも無理な力が加わって該操作杆が変形あるいは破損し
やすい。このような事態が発生すると、それ以降の動作
に支障を与えて所定の脈動抑制機能を発揮させることが
できないだけでなく、隔膜の閉鎖端面の損傷度合によっ
ては薬液など移送液が外部に漏洩するといった重大な事
態に陥りかねないという問題があった。

【０００５】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、簡単な構成付加により隔膜の伸長量を変形や
損傷のない安全な範囲に止めて長期間使用に際しても、
所定の脈動抑制機能を確保できるとともに、移送液の外
部漏洩といった重大な事態を回避することができるポン
プの脈動抑制装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るポンプの脈動抑制装置は、密封容器状
の装置本体内に往復動ポンプによる移送液を一時貯溜可
能な液室とこの液室に対して伸縮変形自在な隔膜を介し
て隔離されて脈動抑制用の気体が封入される気室とを設
け、上記液室の容量変化により上記移送液の吐出圧によ
る脈動を吸収させるように構成しているとともに、上記
気室内に挿入され上記隔膜の閉鎖端面側の変位に連動し
てその軸線方向に往復動作する軸状操作杆を介して上記
気室に通じる給排気通路を給気口に連通させる状態と排
気口に連通させる状態とに自動切換え可能な弁体を有す
る給排気用切換弁機構を設けてなるポンプの脈動抑制装
置において、上記隔膜が所定値にまで伸長したとき、こ
の隔膜の閉鎖端面に平行に接触して該隔膜のそれ以上の
伸長を制限する伸長制限機構を上記気室内に設置してお
り、この伸長制限機構には、上記気室内の気体流通を阻
害しない気体流通部が形成されていることを特徴とする
ものである。

【０００７】本発明によれば、往復動ポンプにより移送
液が装置本体内の液室を通って流出する際、その移送液
の吐出圧の脈動の山部においては液室容量が増大し、隔
膜が伸張変形して圧力を吸収し、かつ、脈動の谷部にお
いては液室容量が減少し、隔膜が収縮変形して移送液の
圧力が上がって脈動を吸収するとともに、このような動
作時において、上記ポンプの吐出圧の変動で液室容量が
増大するときは、給排気弁機構によって気室内への給気
が行なわれて封入圧を上昇させ、かつ、液室容量の減少
するときは、給排気弁機構によって気室内からの排気が
行なわれて封入圧を下降させるといったように、ポンプ
の吐出圧の変動に対応して気室に対して自動的に給排気
することによって、隔膜の伸縮変形を一定範囲内に制約
して脈動幅を小さく抑えることができる。

【０００８】その上、上記のような脈動抑制動作におい
て、例えば上記気室への給気を失念した状態で装置を駆
動したとしても、液圧の上昇に伴い隔膜が所定値まで伸
長したときは、該隔膜の閉鎖端面に伸長制限機構が平行
に接触してそれ以上の伸長が制限されることになるため
に、隔膜と軸状操作杆の端部との接当に伴う隔膜の変形
や損傷、さらには軸状操作杆の変形や破損を防止するこ
とが可能である。これによって、軸状操作杆が隔膜に対
して常に垂直に作用する状態を保って所定の給排気作用
および脈動抑制機能を確保できるとともに、隔膜の閉鎖
端面が破損されて移送液が外部に漏洩するような重大な
事態の発生を回避することができる。

【０００９】また、上記伸長制限機構に該機構を構成す
る円筒体や円輪板の強度を損なわない程度の大きさの切
り欠きもしくは孔など気室内の気体流通を阻害しない気
体流通部が形成されていることによって、伸長制限機構
が気室内に設置されるものでありながらも、気室内の気
体圧を気室内全域に亘って均一に保ち、隔膜の歪み変形
や損傷を抑制して隔膜を安定的に伸縮変形させることが
可能である。

【００１０】上記構成のポンプの脈動抑制装置におい
て、上記伸長制限機構としては、請求項２に記載のよう
に、上記隔膜の閉鎖端面に対して平行に接触する円筒端
面を有し、同芯状に配置して上記気室内に設置された複
数個の円筒体から構成されたもの、あるいは、請求項３
に記載のように、上記隔膜の閉鎖端面に対して平行に全
面またはほぼ全面接触するように上記気室内に固定設置
された円輪板から構成されたもののいずれであってもよ
く、要するに、円筒体の長さや円輪板の設置位置を隔膜
の伸長量が破壊などしない安全な値になるように設定さ
れていればよい。

【００１１】さらに、上記構成のポンプの脈動抑制装置
が請求項４に記載のように、隔膜を水平方向に伸縮変形
させるような横置き型に構成されたものである場合、上
記気室内の底部位置に液漏れ検出用センサーを設けるこ
とによって、万一、隔膜の破損などに起因して気室内へ
の液漏れが発生したとき、その液漏れを可及的速やかに
検出して、装置本体外部への漏洩といった重大事態への
発展を未然に防ぐことが可能である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にもとづいて説明する。図１は本発明に係るポンプの脈
動抑制装置の全体縦断正面図であり、同図において、１
は密封容器状の装置本体で、この装置本体１内の下部側
には、ポンプによる移送液Ｑを流入口２ａから取り込ん
で一時的に貯溜して流出口２ｂから流出させる液室３が
形成されている。

【００１３】４は上記装置本体１内の上部側に形成され
た気室であり、この気室４は上記液室３に対して伸縮変
形自在な隔膜、たとえばベローズ５によって隔離され、
その中央部位５ａは液室３の一部を構成している。上記
ベローズ５の閉鎖端面５ｂには、その中央部に位置させ
て液室３の容量の増大方向、つまりベローズ５の伸張方
向に向いた筒形連結部材６がスプリング１８の弾性付勢
力によって押付けられている。

【００１４】７は上記気室４側の装置本体１の上壁１ａ
の外面に装備された給排気用切換弁機構であり、この給
排気用切換弁機構７は次のように構成されている。すな
わち、有底筒形のケーシング８内にシリンダ部９が収容
されており、このシリンダ部９内にはその軸線方向（上
下方向）に沿って摺動変位可能にスライド弁体１０が嵌
合されている。１１は上記装置本体１の上壁１ａに形成
した孔１ｂを貫通して上記気室４内に挿入された軸状操
作杆であり、その上端部が上記スライド弁体１０の下端
部に一体に同軸連結され、かつ、この軸状操作杆１１の
下端側の連結つば部１１ａが上記筒形連結部材６内の基
準位置に連結されている。

【００１５】上記ケーシング８の周壁には、その下部側
に給気口１２が形成されているとともに、上部側に排気
口１３が形成されている。上記給気口１２は、移送液Ｑ
の最大圧力値以上の圧力の空気を供給するようになされ
ており、また、排気口１３は大気に開放されている。こ
れら給気口１２および排気口１３に対応して上記シリン
ダ部９の周壁にポート１４，１５が形成されている。１
６ａは上記ケーシング８の周壁に形成された給排気用通
路で、上記気室４とシリンダ部９内とを連通するもので
ある。

【００１６】上記スライド弁体１０にはその軸線方向に
所定間隔を隔てて３つの摺動用つば部１０ａ，１０ｂ，
１０ｃが形成されており、中央つば部１０ｂと下部つば
部１０ｃとの間が給気用空間Ｓ１に構成され、中央つば
部１０ｂと上部つば部１０ａとの間が排気用空間Ｓ２に
構成されている。このスライド弁体１０はポンプ吐出圧
の変動に応じて液室３の容量が増大すると、上昇変位し
て給排気用通路１６ａを空間Ｓ１に連通させ、かつ、液
室３の容量が減少すると、下降変位して上記排気用通路
１６ａを空間Ｓ２に連通させるように構成されている。

【００１７】上記装置本体１の上壁１ａには、上記気室
４内に軸状操作杆１１に同芯状で、かつ、同一長さに突
出する２個の円筒体１９Ａ，１９Ｂが一体形成されてい
る。これら円筒体１９Ａ，１９Ｂの下端部は上記ベロー
ズ５の閉鎖端面５ｂに対して平行な円筒端面１９ａ，１
９ｂに形成されており、これら円筒体１９Ａ，１９Ｂに
より、上記ベローズ５が所定値にまで伸長したとき、そ
れらの円筒端面１９ａ，１９ｂがベローズ５の閉鎖端面
５ｂに平行に接触して該ベローズ５のそれ以上の伸長を
制限する伸長制限機構１９を構成している。なお、円筒
体の数は、ベローズ５が伸長変形して円筒端面に接触し
た場合において、ベローズ５の閉鎖端面５ｂが設計許容
値以上に伸びないように決定されるものであって、２個
に限らず、３個以上であってもよい。

【００１８】また、上記伸長制限機構１９を構成する円
筒体１９Ａ，１９Ｂの周壁部下端部には、図２に示すよ
うに、各円筒体１９Ａ，１９Ｂの強度を損なわない程度
の大きさの切り欠きによる空気流通部（気体流通部）２
０Ａ，２０Ｂが形成されている。これら空気流通部２０
Ａ，２０Ｂは、図３に示すように、上記ベローズ５が所
定値にまで伸長してその閉鎖端面５ｂが伸長制限機構１
９を構成する円筒体１９Ａ，１９Ｂ下端の円筒端面１９
ａ，１９ｂに接触した状態においても、気室４内の空気
を同図の矢印で示すように、内外方向に流通させて該気
室４内の全域における気圧を均一に保つ機能を果たすも
のである。この空気流通部２０Ａ，２０Ｂとしては、切
り欠き以外に貫通孔であってもよい。なお、図１中１７
は上記ケーシング８内に設置されてスライド弁体１０に
上方へのばね力を付勢して該スライド弁体１０を基準位
置に保持させるばね部材である。

【００１９】次に、上記構成のポンプの脈動抑制装置の
動作について説明する。往復動ポンプの作動により移送
液Ｑが所定の部位に向けて送給されると、ポンプ吐出圧
は山部と谷部との繰り返しによる脈動を発生する。

【００２０】上記移送液Ｑは流入口２ａから取り込ま
れ、液室３に一時的に貯溜されたのち流出口２ｂから流
出する。このとき、移送液Ｑの吐出圧が吐出圧曲線の山
部にある場合、移送液Ｑは液室３の容量を増大するよう
にベローズ５を伸張変形させるので、その圧力が吸収さ
れる。この時、液室３から流出される移送液Ｑの流量は
ポンプから送給されてくる流量よりも少なくなる。

【００２１】一方、上記移送液Ｑの吐出圧が吐出圧曲線
の谷部にさしかかると、ベローズ５の伸張変形にともな
い圧縮された気室４内の封入空気圧よりも移送液Ｑの圧
力が低くなるので、ベローズ５は収縮変形する。この
時、ポンプから液室３内に流入する移送液Ｑの流量より
も液室３から流出する流量が多くなる。この繰り返し動
作、つまり液室３の容量変化によって上記脈動が吸収さ
れ抑制される。

【００２２】また、上記のような動作中において、ポン
プの吐出圧が上昇変動すると、移送液Ｑによって液室３
の容量が増大してベローズ５が大きく伸張変形すること
になる。このとき、軸状操作杆１１を介してスライド弁
体１０が上方に摺動変位し、給排気通路１６ａが空間Ｓ
１を介して給気口１２に連通される。このため、給気口
１２から高い空気圧が上記空間Ｓ１および給排気通路１
６ａを経て気室４に供給されて該気室４の封入空気圧が
高められ、これによって、ベローズ５の伸張変形量が制
約され液室３の容量が過度に増大することが抑えられ
る。

【００２３】一方、ポンプの吐出圧が下降変動すると、
移送液Ｑによって液室３の容量が減少し、ベローズ５が
大きく収縮変形することになる。このとき、軸状操作杆
１１を介してスライド弁体１０が下方に摺動変位して、
給排気通路１６ａが空間Ｓ２を介して排気口１３に連通
される。このため、上記気室４内の封入空気ａが給排気
通路１６ａおよび空間Ｓ２を経て排気口１３から大気に
排出されて該気室４の封入空気圧が下げられ、これによ
って、ベローズ５の収縮変形量が制約され液室３の容量
が過度に減少することが抑えられる。その結果、ポンプ
の吐出圧が変動しても、脈動を効率的に吸収して脈動幅
を小さく抑えることができる。

【００２４】上記のような液圧と気体圧との圧力バラン
スによる脈動抑制動作において、例えば上記気室４内へ
の給気を失念した状態で装置を駆動したとしても、液圧
の上昇に伴いベローズ５が所定値まで伸長したときは、
図３に示すように、ベローズ５の閉鎖端面５ｂが伸長制
限機構１９における円筒体１９Ａ，１９Ｂ下端の円筒端
面１９ａ，１９ｂに平行に接触してそれ以上の伸長が制
限されることになるために、ベローズ５と軸状操作杆１
１の下端部との接当に伴うベローズ５の変形や損傷、さ
らには軸状操作杆１１の変形や破損を防止することが可
能である。これによって、軸状操作杆１１がベローズ５
の閉鎖端面５ｂに対して垂直に作用する状態を保って長
期間に亘る使用に際しても、所定の給排気作用および脈
動抑制機能を安定よく確保できるとともに、ベローズ５
の閉鎖端面５ｂが破損されて移送液Ｑが外部に漏洩する
ような重大な事態の発生を回避することができる。

【００２５】また、上記ベローズ５が所定値にまで伸長
してその閉鎖端面５ｂが伸長制限機構１９を構成する円
筒体１９Ａ，１９Ｂ下端の円筒端面１９ａ，１９ｂに接
触した図３の状態においても、気室４内の空気は各円筒
体１９Ａ，１９Ｂの周壁部下端に形成されている切り欠
きによる空気流通部２０Ａ，２０Ｂを通して同図の矢印
で示すように、内外方向に流通して該気室４内の全域に
おける気圧が均一に保たれるために、ベローズ５の歪み
変形や損傷の発生を抑制することができる。

【００２６】図４および図５は本発明の他の実施の形態
を示し、この実施の形態では、上記ベローズ５の伸長制
限機構１９として、上記した複数個の円筒体に代えて、
上記気室４内の所定高さ位置に単一の円輪板１９Ｃを水
平に配置し、これを装置本体１の内周面に一体に固定さ
せたものであって、この場合は、ベローズ５が所定値ま
で伸長したとき、その閉鎖端面５ｂが上記円輪板１９Ｃ
の下面１９ｃに対して平行に全面またはほぼ全面接触し
てベロース５のそれ以上の伸長を制限するように構成さ
れている。なお、この実施の形態においても、伸長制限
状態で気室４内の全域における気圧を均一に保つために
上記円輪板１９Ｃに切り欠きもしくは貫通孔による空気
流通部２０Ｃが形成されている。その他の構成は上記実
施の形態と同一であるため、該当部分に同一の符号を付
して、それらの詳しい説明を省略する。

【００２７】図６は本発明のもう一つの実施の形態を示
すもので、空気駆動型ベローズ式ポンプの脈動抑制装置
の全体縦断正面図である。この空気駆動型ベローズ式ポ
ンプは移送液Ｑの流入口２ａおよび流出口２ｂが形成さ
れた仕切壁３０の一側に上記実施の形態で述べたと同様
な構成を持つ脈動抑制部Ａが設けられていると共に、仕
切壁３０の他側に往復動ポンプ部Ｂが一体に配設されて
なるものであり、上記脈動抑制部Ａの構成は図４に示し
たものと同一であるため、該当部分もしくは相当部分に
同一の符号を付して、それらの詳しい説明を省略し、以
下、往復動ポンプ部Ｂの構成について説明する。

【００２８】上記仕切壁３０に固定連設された有底筒状
ケーシング３１内にその筒軸線方向に沿って伸縮変形可
能なポンプ作用体となるベローズ３２が配設され、この
ベローズ３２の開口周縁部３２ａを環状固定板３３によ
り仕切壁３０に気密状に押圧固定することにより、ケー
シング３１の内部空間をベローズ３２内のポンプ作用室
３４ａとベローズ３２外のポンプ作動室３４ｂとに密閉
区画している。上記有底筒状ケーシング３１の底壁部３
１ａの外側には連結部材３５を介して上記ベローズ３２
の閉鎖端部材３２ｂに固定連結されたピストン体３６を
摺動可能に収納するシリンダ体３７が固定されており、
このシリンダ体３７および上記ケーシング３１の底壁部
３１ａに形成した空気孔３８ａ，３８ｂを通して、コン
プレッサなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給
される加圧空気をシリンダ体３７の内部または上記ポン
プ作動室３４ｂに供給することによって、上記ベローズ
３２を駆動伸縮変形させるエアシリンダ部３９が構成さ
れている。

【００２９】また、上記ポンプ作用室３４ａにそれぞれ
開口するように形成された吸入口４０ａ及び吐出口４０
ｂは上記流入口２ａ及び流出口２ｂに連通されていると
ともに、これら吸入口４０ａ及び吐出口４０ｂにはそれ
ぞれ、上記ベローズ３２の駆動伸縮に伴って交互に開閉
作動される可動弁体４１ａ１付き吸入用逆止弁４１ａ及
び可動弁体４１ｂ１付き吐出用逆止弁４１ｂが設けられ
ており、以上の各構成要素によって上記往復動ポンプ部
Ｂが構成されている。

【００３０】上記のような構成の空気駆動型ベローズ式
ポンプにおいては、コンプレッサーなどの加圧空気供給
装置（図示省略）から送給される加圧空気をエアシリン
ダ部３９のシリンダ体３７の内部に供給してベローズ３
２を図６のｘ方向に伸長動作させると、流入口２ａ内の
移送液Ｑが吸入用逆止弁４１ａを経てポンプ作用室３４
ａ内に吸入され、次いで、上記加圧空気をエアシリンダ
部３７のポンプ作動室３４ｂ内に供給してベローズ３２
を図６のｙ方向に収縮動作させると、ポンプ作用室３４
ａ内に吸入された移送液が吐出用逆止弁４１ｂを経て吐
出されるといったように、エアシリンダ部３９を介して
往復動ポンプ部Ｂにおけるベローズ３２を駆動伸縮変形
させることにより、上記吸入用逆止弁４１ａと吐出用逆
止弁４１ｂとが交互に開閉作動して流入口２ａからポン
プ作用室３４ａへの液体の吸入とポンプ作用室３４ａ内
から流出口２ｂへの液体の吐出とが反復され所定のポン
プ作用が行なわれる。このような往復動ポンプ部Ｂの作
動に伴いポンプ作用室３４ａ内から吐出用逆止弁４１ｂ
を経て吐出される移送液Ｑは仕切壁３０に形成された連
通路４２を通って脈動抑制部Ａにおける液室３内に送ら
れて該液室３に一時的に貯溜されたのち流出口２ｂへと
流出される。このときのポンプ吐出圧は山部と谷部との
繰り返しによる脈動を発生するが、その脈動が上記実施
の形態で述べたと同様に、液室３の容量変化によって吸
収され抑制されることになり、また、ベローズ５が所定
値にまで伸長したときは、伸長制限機構１９によってそ
れ以上の伸長が制限されてベローズ５および軸状操作杆
１１の変形や損傷が防止されるものである。

【００３１】このような構成の空気駆動型ベローズ式ポ
ンプにおいては往復動ポンプ部Ｂからの吐出圧の変動に
対する脈動抑制およびベローズ５の伸長制限作用につい
て上記実施の形態で述べたと同様な作用が得られるが、
この種のポンブは一般的にベローズ５，３２を水平方向
に伸縮変形させるように横置き型として用いられるもの
である。そこで、上記脈動抑制部Ａにおける気室４内の
底部位置に液漏れ検出用センサー２１を設置したもので
あり、この場合は、万一、ベローズ５の破損などに起因
して液室３から気室４内へ液漏れが発生したとき、セン
サー２１によって液漏れを速やかに検出して報知するこ
とで、液が装置本体１の外部へ漏洩するといった重大事
態への発展を未然に防ぐことが可能となる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ポンプ
移送液の吐出圧による脈動の吸収はもちろん、吐出圧の
変動が発生した場合の液室容量の増減を液体圧と気体圧
の圧力バランスにより所定範囲内に保持させて脈動幅を
小さく抑えることができる。しかも、例えば気室への給
気を失念した状態で装置を駆動したとしても、隔膜の伸
長量を該隔膜や気室内に設けられている軸状操作杆の変
形や破損などのない安全な値に制限することができる。
その上、隔膜が所定値にまで伸長してその閉鎖端 面が伸
長制限機構に接触した状態において、気室内への給気に
伴い気室内の圧力が増加した場合でも、気体流通部を介
して気室内全域の圧力を均一に増加させて隔膜の歪み変
形や損傷を抑制し隔膜の伸縮を安定化することができ
る。したがって、軸状操作杆を隔膜に対して常に垂直に
作用させる状態を保って給排気作用を正常に維持すると
ともに、所定の脈動抑制機能を確保でき、また、隔膜の
閉鎖端面が破損されて移送液が外部に漏洩するような重
大な事態の発生を確実に回避することができるという効
果を奏する。

【００３３】特に、請求項４の構成を採用する場合は、
万が一、隔膜の破損などに起因して気室内への液漏れが
発生したとき、その液漏れを可及的速やかに検出して、
装置本体外部への漏洩といった重大事態への発展を未然
に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態によるポンプの脈動抑制装
置の全体縦断正面図である。

【図２】同上装置における要部の拡大縦断側面図であ
る。

【図３】同上装置において、隔膜の伸長制限状態を示す
要部の縦断正面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態によるポンプの脈動抑
制装置の要部の拡大縦断正面図である。

【図５】図４の平面図である。

【図６】本発明のもう一つの実施の形態による空気駆動
型ベローズ式ポンプの脈動抑制装置の全体縦断正面図で
ある。

【符号の説明】

１ 装置本体 ３ 液室 ４ 気室 ５ ベローズ（隔膜の一例） ５ｂ 閉鎖端面 ７ 給排気用切換弁機構 １０ スライド弁体 １１ 軸状操作杆 １２ 給気口 １３ 排気口 １６ａ 給排気通路 １９ 伸長制限機構 １９Ａ，１９Ｂ 円筒体 １９Ｃ 円輪板 １９ａ，１９ｂ 円筒端面 ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 空気流通部（気体流通部の一
例） ２１ 液漏れ検出用センサー Ｑ 移送液

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−159016（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−210277（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−185282（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−138201（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F04B 11/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密封容器状の装置本体内に往復動ポンプ
   による移送液を一時貯溜可能な液室とこの液室に対して
   伸縮変形自在な隔膜を介して隔離されて脈動抑制用の気
   体が封入される気室とを設け、上記液室の容量変化によ
   り上記移送液の吐出圧による脈動を吸収させるように構
   成しているとともに、 上記気室内に挿入され上記隔膜の閉鎖端面側の変位に連
   動してその軸線方向に往復動作する軸状操作杆を介して
   上記気室に通じる給排気通路を給気口に連通させる状態
   と排気口に連通させる状態とに自動切換え可能な弁体を
   有する給排気用切換弁機構を設けてなるポンプの脈動抑
   制装置において、 上記隔膜が所定値にまで伸長したとき、この隔膜の閉鎖
   端面に平行に接触して該隔膜のそれ以上の伸長を制限す
   る伸長制限機構を上記気室内に設置しており、 この伸長制限機構には、上記気室内の気体流通を阻害し
   ない気体流通部が形成されて いることを特徴とするポン
   プの脈動抑制装置。
2. 【請求項２】 上記伸長制限機構が、上記隔膜の閉鎖端
   面に対して平行に接触する円筒端面を有し、同芯状に配
   置して上記気室内に設置された複数個の円筒体から構成
   されている請求項１に記載のポンプの脈動抑制装置。
3. 【請求項３】 上記伸長制限機構が、上記隔膜の閉鎖端
   面に対して平行に全面またはほぼ全面接触するように上
   記気室内に固定設置された円輪板から構成されている請
   求項１に記載のポンプの脈動抑制装置。
4. 【請求項４】 上記装置本体が、隔膜を水平方向に伸縮
   変形させるような横置き型に構成されており、上記気室
   内の底部位置には液漏れ検出用センサーが設けられてい
   る請求項１ないし３のいずれかに記載のポンプの脈動抑
   制装置。