JP3399897B2 - ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 - Google Patents
ポンプ、アキュムレータ等の流体機器Info
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- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B1/00—Installations or systems with accumulators; Supply reservoir or sump assemblies
- F15B1/02—Installations or systems with accumulators
- F15B1/04—Accumulators
- F15B1/08—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor
- F15B1/10—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor with flexible separating means
- F15B1/103—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor with flexible separating means the separating means being bellows
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B13/00—Pumps specially modified to deliver fixed or variable measured quantities
- F04B13/02—Pumps specially modified to deliver fixed or variable measured quantities of two or more fluids at the same time
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
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- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2201/00—Accumulators
- F15B2201/20—Accumulator cushioning means
- F15B2201/205—Accumulator cushioning means using gas
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- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2201/00—Accumulators
- F15B2201/30—Accumulator separating means
- F15B2201/315—Accumulator separating means having flexible separating means
- F15B2201/3153—Accumulator separating means having flexible separating means the flexible separating means being bellows
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
- Y10T137/87338—Flow passage with bypass
- Y10T137/87346—Including mixing feature
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベローズ式ポン
プ、あるいはアキュムレータなどの流体機器に関する。
プ、あるいはアキュムレータなどの流体機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置におけるＩＣや
液晶の表面洗浄等の各種処理に際して薬液の循環や移送
などに使用されるポンプは、ポンプの動作によってパー
ティクルの発生がないベローズ式ポンプやダイヤフラム
式ポンプが使用されている（例えば、特開平３−１７９
１８４号公報）。また、使用される薬液は種類の異なる
二液以上の混合液が多く、この混合液は二液以上を個々
の薬液タンクから混合タンクや処理槽に移送し、循環す
ることによって混合されるか、別々の薬液ポンプによっ
て処理槽に注入されることで混合されていた。
液晶の表面洗浄等の各種処理に際して薬液の循環や移送
などに使用されるポンプは、ポンプの動作によってパー
ティクルの発生がないベローズ式ポンプやダイヤフラム
式ポンプが使用されている（例えば、特開平３−１７９
１８４号公報）。また、使用される薬液は種類の異なる
二液以上の混合液が多く、この混合液は二液以上を個々
の薬液タンクから混合タンクや処理槽に移送し、循環す
ることによって混合されるか、別々の薬液ポンプによっ
て処理槽に注入されることで混合されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、このような
二液以上の混合液を使用する場合、混合液の濃度が均一
で一定であることが重要であるが、二液以上を均一に混
合するに際し液を一定時間をかけて循環させることで混
合するには時間が長くかかり過ぎるのであり、この点の
改善が望まれている。また、撹拌タンクを別途設ける
と、薬液循環ラインが大規模化し、好ましくない。
二液以上の混合液を使用する場合、混合液の濃度が均一
で一定であることが重要であるが、二液以上を均一に混
合するに際し液を一定時間をかけて循環させることで混
合するには時間が長くかかり過ぎるのであり、この点の
改善が望まれている。また、撹拌タンクを別途設ける
と、薬液循環ラインが大規模化し、好ましくない。
【０００４】本発明の目的は、上記要求に応えるべくな
されたもので、ポンプやアキュムレータの内部の液室で
二液以上の薬液の撹拌混合機能を発揮できるようにし、
以て、速やかに均一な混合液が得られるというポンプや
アキュムレータ等の流体機器を提供することにある。
されたもので、ポンプやアキュムレータの内部の液室で
二液以上の薬液の撹拌混合機能を発揮できるようにし、
以て、速やかに均一な混合液が得られるというポンプや
アキュムレータ等の流体機器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運動する
ベローズがポンプ本体の内壁との間に液室を形成するよ
う備えられるとともに、ポンプ本体の前記液室に臨む内
壁に吸込口及び吐出口が設けられており、前記ベローズ
の往復運動により前記吸込口から前記液室内に種類の異
なる二液以上の液体を吸込む行程と、前記液室内の液体
を吐出口から吐出す行程とを交互に行うようにしてある
往復動ポンプよりなる流体機器であって、前記吸込口の
液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記軸線方向とは
異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて吸込み液を噴
出するよう開口されており、前記吸込口の入口部側に、
二液以上の各液体の供給管が合流するよう配管接続され
ており、前記吸込口の出口部が、ポンプ本体の前記液室
に臨む内壁より液室内に突出するよう固定された吸込用
逆止弁の突出先端部の側面に設けられていることに特徴
を有するものである。
発明は、ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運動する
ベローズがポンプ本体の内壁との間に液室を形成するよ
う備えられるとともに、ポンプ本体の前記液室に臨む内
壁に吸込口及び吐出口が設けられており、前記ベローズ
の往復運動により前記吸込口から前記液室内に種類の異
なる二液以上の液体を吸込む行程と、前記液室内の液体
を吐出口から吐出す行程とを交互に行うようにしてある
往復動ポンプよりなる流体機器であって、前記吸込口の
液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記軸線方向とは
異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて吸込み液を噴
出するよう開口されており、前記吸込口の入口部側に、
二液以上の各液体の供給管が合流するよう配管接続され
ており、前記吸込口の出口部が、ポンプ本体の前記液室
に臨む内壁より液室内に突出するよう固定された吸込用
逆止弁の突出先端部の側面に設けられていることに特徴
を有するものである。
【０００６】請求項１記載の発明のように吸込口の入口
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというポンプへの二液以上の供給手段に代えて、
請求項２に係る発明のように、ポンプ本体に二液以上の
各液体の流入路を個別に設け、各流入路の出口側を前記
吸込口の入口側で合流するよう該入口側に連通形成する
もよい。
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというポンプへの二液以上の供給手段に代えて、
請求項２に係る発明のように、ポンプ本体に二液以上の
各液体の流入路を個別に設け、各流入路の出口側を前記
吸込口の入口側で合流するよう該入口側に連通形成する
もよい。
【０００７】請求項１及び請求項２に記載の発明によれ
ば、吸込口の出口部が液室内の軸線方向とは異なる方向
にあるベローズ内周壁に向けて二液以上の吸込み液を噴
出するよう開口されているので、吸込口の出口部から噴
出する二液以上の吸込み液は液室の内周に沿って旋回
し、この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌され
る効果を発揮する。したがって、ポンプに別々に供給さ
れてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合さ
れることになる。
ば、吸込口の出口部が液室内の軸線方向とは異なる方向
にあるベローズ内周壁に向けて二液以上の吸込み液を噴
出するよう開口されているので、吸込口の出口部から噴
出する二液以上の吸込み液は液室の内周に沿って旋回
し、この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌され
る効果を発揮する。したがって、ポンプに別々に供給さ
れてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合さ
れることになる。
【０００８】請求項３に係る発明は、アキュムレータ本
体の内部に、軸線方向に往復動するベローズがこれの内
側に種類の異なる二液以上の液体が流入する液室を、外
側に空気室をそれぞれ形成するよう備えられるととも
に、アキュムレータ本体の前記液室に臨む内壁に流入口
及び流出口が設けられており、前記液室内の液圧に対し
て空気室内の空気圧によってバランスするようにしてあ
るアキュムレータよりなる流体機器であって、前記流入
口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記軸線方向
とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、前記流入口の入口部側
に、種類の異なる二液以上の各液体の供給管が合流する
よう配管接続されており、前記流入口の出口部が、アキ
ュムレータ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出
するよう固定された吐出用逆止弁の突出先端部の側面に
設けられていることに特徴を有するものである。
体の内部に、軸線方向に往復動するベローズがこれの内
側に種類の異なる二液以上の液体が流入する液室を、外
側に空気室をそれぞれ形成するよう備えられるととも
に、アキュムレータ本体の前記液室に臨む内壁に流入口
及び流出口が設けられており、前記液室内の液圧に対し
て空気室内の空気圧によってバランスするようにしてあ
るアキュムレータよりなる流体機器であって、前記流入
口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記軸線方向
とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、前記流入口の入口部側
に、種類の異なる二液以上の各液体の供給管が合流する
よう配管接続されており、前記流入口の出口部が、アキ
ュムレータ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出
するよう固定された吐出用逆止弁の突出先端部の側面に
設けられていることに特徴を有するものである。
【０００９】請求項３記載の発明のように流入口の入口
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというアキュムレータへの二液以上の供給手段に
代えて、請求項４に係る発明のように、アキュムレータ
本体に二液以上の各液体の流入路を個別に設け、各流入
路の出口側を前記吸込口の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成するもよい。
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというアキュムレータへの二液以上の供給手段に
代えて、請求項４に係る発明のように、アキュムレータ
本体に二液以上の各液体の流入路を個別に設け、各流入
路の出口側を前記吸込口の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成するもよい。
【００１０】請求項３及び請求項４に記載の発明によれ
ば、流入口の出口部が液室内の軸線方向とは異なる方向
にあるベローズ内周壁に向けて二液以上の流入液を噴出
するよう開口されているので、流入口の出口部から噴出
する二液以上の流入液は液室の内周に沿って旋回し、こ
の旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌される効果
を発揮する。したがって、アキュムレータに別々に供給
されてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合
されることになる。
ば、流入口の出口部が液室内の軸線方向とは異なる方向
にあるベローズ内周壁に向けて二液以上の流入液を噴出
するよう開口されているので、流入口の出口部から噴出
する二液以上の流入液は液室の内周に沿って旋回し、こ
の旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌される効果
を発揮する。したがって、アキュムレータに別々に供給
されてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合
されることになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】（第１実施例）
図１は本発明に係る流体機器として往復動ポンプに適用
した場合の第１実施例を示す。図１において、往復動ポ
ンプのポンプ本体１は、上端が上壁２で塞がれた円筒状
のケーシング３と、このケーシング３の開放下端を気密
状に塞ぐ底壁体４とを有してなる。その底壁体４に液体
の流入路５及び流出路６が形成されている。流入路５の
入口部５ａ側には、種類の異なる二液以上の各液体の供
給管５Ａ，５Ｂ・・・が合流するよう配管接続されてい
る。
した場合の第１実施例を示す。図１において、往復動ポ
ンプのポンプ本体１は、上端が上壁２で塞がれた円筒状
のケーシング３と、このケーシング３の開放下端を気密
状に塞ぐ底壁体４とを有してなる。その底壁体４に液体
の流入路５及び流出路６が形成されている。流入路５の
入口部５ａ側には、種類の異なる二液以上の各液体の供
給管５Ａ，５Ｂ・・・が合流するよう配管接続されてい
る。
【００１２】ケーシング３内にはその軸線Ｂ方向に沿っ
て伸縮変形可能な有底円筒状のベローズ７が軸線Ｂを縦
にして配設されている。このベローズ７は耐熱性、耐薬
品性に優れるＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦ
Ａ（パーフロロアルコキシ）等のフッ素樹脂で成形さ
れ、その下端開口周縁部７ａを環状固定板８により底壁
体４の上側面に気密状に押付け固定することにより、ポ
ンプ本体１の内部空間がベローズ７の内側の液室９とベ
ローズ７の外側の空気室１０とに隔離される。
て伸縮変形可能な有底円筒状のベローズ７が軸線Ｂを縦
にして配設されている。このベローズ７は耐熱性、耐薬
品性に優れるＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）、ＰＦ
Ａ（パーフロロアルコキシ）等のフッ素樹脂で成形さ
れ、その下端開口周縁部７ａを環状固定板８により底壁
体４の上側面に気密状に押付け固定することにより、ポ
ンプ本体１の内部空間がベローズ７の内側の液室９とベ
ローズ７の外側の空気室１０とに隔離される。
【００１３】ポンプ本体１にはベローズ７を駆動伸縮運
動させる往復駆動装置２２が備えられる。この往復駆動
装置２２は、ポンプ本体１の上壁２の上面側にシリンダ
１１をこれの軸線がベローズ７の軸線Ｂと一致するよう
に形成し、シリンダ１１内を往復動するピストン１２を
上壁２を貫通するピストンロッド１３でベローズ７の閉
鎖上端部７ｂの中央部と連結している。そして、コンプ
レッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給
される加圧空気がシリンダ１１及び上壁２にそれぞれ形
成した空気孔１４，１５を介してシリンダ１１の内部と
空気室１０に交互に供給されるようにしている。すなわ
ち、シリンダ１１には近接センサー１６ａ，１６ｂが取
り付けられる一方、ピストン１２にセンサー感知部材１
７が取り付けられ、ピストン１２の往復動に伴いセンサ
ー感知部材１７が近接センサー１６ａ，１６ｂに交互に
近接することにより加圧空気供給装置から送給される加
圧空気のシリンダー１１内への供給と空気室１０への供
給とが自動的に交互に切り替えられるように構成してい
る。このピストン１２の往復動に伴ってベローズ７が駆
動伸縮運動する。
動させる往復駆動装置２２が備えられる。この往復駆動
装置２２は、ポンプ本体１の上壁２の上面側にシリンダ
１１をこれの軸線がベローズ７の軸線Ｂと一致するよう
に形成し、シリンダ１１内を往復動するピストン１２を
上壁２を貫通するピストンロッド１３でベローズ７の閉
鎖上端部７ｂの中央部と連結している。そして、コンプ
レッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給
される加圧空気がシリンダ１１及び上壁２にそれぞれ形
成した空気孔１４，１５を介してシリンダ１１の内部と
空気室１０に交互に供給されるようにしている。すなわ
ち、シリンダ１１には近接センサー１６ａ，１６ｂが取
り付けられる一方、ピストン１２にセンサー感知部材１
７が取り付けられ、ピストン１２の往復動に伴いセンサ
ー感知部材１７が近接センサー１６ａ，１６ｂに交互に
近接することにより加圧空気供給装置から送給される加
圧空気のシリンダー１１内への供給と空気室１０への供
給とが自動的に交互に切り替えられるように構成してい
る。このピストン１２の往復動に伴ってベローズ７が駆
動伸縮運動する。
【００１４】ポンプ本体１の底壁体４の液室９に臨む内
壁４ａには吸込口１８及び吐出口１９がそれぞれ設けら
れる。吸込口１８は上記流入路５の出口側に、吐出口１
９は上記流出路６の入口側にそれぞれ連通するよう設け
られる。吸込口１８には吸込用逆止弁２０が、流出路６
の出口端には吐出用逆止弁２１がそれぞれ設けられてい
る。
壁４ａには吸込口１８及び吐出口１９がそれぞれ設けら
れる。吸込口１８は上記流入路５の出口側に、吐出口１
９は上記流出路６の入口側にそれぞれ連通するよう設け
られる。吸込口１８には吸込用逆止弁２０が、流出路６
の出口端には吐出用逆止弁２１がそれぞれ設けられてい
る。
【００１５】そして、上記吸込口１８の出口部１８ａ
は、液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある円周
壁９ａすなわち図示例ではベローズ７の内周壁（以下、
「ベロ ーズ内周壁９ａ」という。）に向けて吸込み液を
噴出するよう開口される。具体的には、吸込口１８の出
口部１８ａは、内壁４ａより液室９内に突出するよう底
壁体４に固定された吸込用逆止弁２０の突出先端部の側
面に開口されている。すなわち、吸込用逆止弁２０は筒
状の弁ケーシング２０１と上下のボール弁体２０２ａ，
２０２ｂよりなり、弁ケーシング２０１はこれの軸線Ｄ
を縦にして流入路５の出口側と連通するよう底壁体４に
固定されている。
は、液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある円周
壁９ａすなわち図示例ではベローズ７の内周壁（以下、
「ベロ ーズ内周壁９ａ」という。）に向けて吸込み液を
噴出するよう開口される。具体的には、吸込口１８の出
口部１８ａは、内壁４ａより液室９内に突出するよう底
壁体４に固定された吸込用逆止弁２０の突出先端部の側
面に開口されている。すなわち、吸込用逆止弁２０は筒
状の弁ケーシング２０１と上下のボール弁体２０２ａ，
２０２ｂよりなり、弁ケーシング２０１はこれの軸線Ｄ
を縦にして流入路５の出口側と連通するよう底壁体４に
固定されている。
【００１６】かくして、上記吸込口１８の出口部１８ａ
が弁ケーシング２０１の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２０１内の上下の弁座２１
１，２１３に上下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂが自
重により密着し密着して流入路５からの液体の逆流を防
ぐ。液体の吸込み時には、ボール弁体２０２ａ，２０２
ｂが弁座２１１，２１３からそれぞれ上方へ離されて開
弁し、流入路５からの液体が弁ケーシング２０１の内周
とボール弁体２０２ａ，２０２ｂとの間を通って吸込口
１８の出口部１８ａから液室９内のベローズ内周壁９ａ
に向けて噴出される。
が弁ケーシング２０１の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２０１内の上下の弁座２１
１，２１３に上下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂが自
重により密着し密着して流入路５からの液体の逆流を防
ぐ。液体の吸込み時には、ボール弁体２０２ａ，２０２
ｂが弁座２１１，２１３からそれぞれ上方へ離されて開
弁し、流入路５からの液体が弁ケーシング２０１の内周
とボール弁体２０２ａ，２０２ｂとの間を通って吸込口
１８の出口部１８ａから液室９内のベローズ内周壁９ａ
に向けて噴出される。
【００１７】この時、吸込口１８の出口部１８ａは、吸
込み液を液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある
ベローズ内周壁９ａに向けて噴出するよう開口されてい
るので、該出口部１８ａより噴出される液体は、図２、
図３及び図４にその流れ方向を矢印Ｓで示すごとく液室
９内のベローズ内周壁９ａに沿って旋回し、この旋回作
用により液室９内で均一に撹拌混合される。図２はベロ
ーズ７を伸長させて液体を吸込む行程の状態を、図３は
ベローズ７を収縮させて液体を吐出する行程の状態を示
しており、図４は図２におけるＨ−Ｈ線断面図である。
なお、図２及び図３では吸込用逆止弁２０として弁ケー
シング２０１内にボール弁体２０２を１個だけ備えるも
のが示されている。
込み液を液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある
ベローズ内周壁９ａに向けて噴出するよう開口されてい
るので、該出口部１８ａより噴出される液体は、図２、
図３及び図４にその流れ方向を矢印Ｓで示すごとく液室
９内のベローズ内周壁９ａに沿って旋回し、この旋回作
用により液室９内で均一に撹拌混合される。図２はベロ
ーズ７を伸長させて液体を吸込む行程の状態を、図３は
ベローズ７を収縮させて液体を吐出する行程の状態を示
しており、図４は図２におけるＨ−Ｈ線断面図である。
なお、図２及び図３では吸込用逆止弁２０として弁ケー
シング２０１内にボール弁体２０２を１個だけ備えるも
のが示されている。
【００１８】因みに、従来のこの種ポンプの吸込口１８
の出口部は、吸込用逆止弁２０の突出先端部の端面２０
ａに開口され、ベローズ７の軸線Ｂ方向（往復運動方
向）と平行な方向に吸込み液を液室９内に噴出するよう
に開口されている。このため、吸込口１８の出口部から
の噴出液はベローズ７の閉鎖上端部７ｂに当たったの
ち、そのまま吐出口１９に向かって流出するため、液室
９内では撹拌作用が得難く、十分に混合することができ
なかった。
の出口部は、吸込用逆止弁２０の突出先端部の端面２０
ａに開口され、ベローズ７の軸線Ｂ方向（往復運動方
向）と平行な方向に吸込み液を液室９内に噴出するよう
に開口されている。このため、吸込口１８の出口部から
の噴出液はベローズ７の閉鎖上端部７ｂに当たったの
ち、そのまま吐出口１９に向かって流出するため、液室
９内では撹拌作用が得難く、十分に混合することができ
なかった。
【００１９】次に、上記構成の往復動ポンプの動作につ
いて説明する。いま、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から加圧空気をシリンダ１１の内部
に空気孔１４を介して供給すると、ピストン１２は図１
のｘ方向へ上昇し、ベローズ７が同一方向に伸長動作す
ることにより、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に
入ってくる種類の異なる二種以上の液体を吸込用逆止弁
２０を経て吸込口１８の出口部１８ａから液室９内のベ
ローズ内周壁９ａに向けて噴出する。このとき、前述の
ように吸込口１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液
は、液室９内のベローズ内周壁９ａに沿って旋回流を生
起し、この旋回作用により液室９内で撹拌される。した
がって、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入って
くる二種以上の液体も液室９内で均一に速やかに撹拌混
合されることになる。
いて説明する。いま、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から加圧空気をシリンダ１１の内部
に空気孔１４を介して供給すると、ピストン１２は図１
のｘ方向へ上昇し、ベローズ７が同一方向に伸長動作す
ることにより、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に
入ってくる種類の異なる二種以上の液体を吸込用逆止弁
２０を経て吸込口１８の出口部１８ａから液室９内のベ
ローズ内周壁９ａに向けて噴出する。このとき、前述の
ように吸込口１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液
は、液室９内のベローズ内周壁９ａに沿って旋回流を生
起し、この旋回作用により液室９内で撹拌される。した
がって、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入って
くる二種以上の液体も液室９内で均一に速やかに撹拌混
合されることになる。
【００２０】上記加圧空気を空気室１０内に空気孔１５
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、ベローズ７が同一方向に
収縮動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌し
ながら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ
１１内のピストン１２の往復運動によってベローズ７が
伸縮往復運動することにより、吸込口１８からの吸込み
行程と吐出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して
所定の往復動ポンプ作用が行われる。
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、ベローズ７が同一方向に
収縮動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌し
ながら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ
１１内のピストン１２の往復運動によってベローズ７が
伸縮往復運動することにより、吸込口１８からの吸込み
行程と吐出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して
所定の往復動ポンプ作用が行われる。
【００２１】（第２実施例）
図５は本発明に係る流体機器として往復動ポンプＰの脈
動を減少するアキュムレータＡに適用した場合の第２実
施例を示す。往復動ポンプＰ自体については第１実施例
の往復動ポンプの構造とほぼ同様であるので、同一部材
に同一符号を付するをもってその説明を省略する。
動を減少するアキュムレータＡに適用した場合の第２実
施例を示す。往復動ポンプＰ自体については第１実施例
の往復動ポンプの構造とほぼ同様であるので、同一部材
に同一符号を付するをもってその説明を省略する。
【００２２】アキュムレータＡのアキュムレータ本体２
５は、上端が上壁２６で塞がれた円筒状のケーシング２
７と、このケーシング２７の開放下端を気密状に塞ぐ底
壁体２８とを有してなる。ケーシング２７内にその軸線
Ｃ方向に沿って伸縮変形可能な有底円筒状のベローズ２
９が軸線Ｃを縦にして配設されている。このベローズ２
９の下端開口周縁部２９ａは環状固定板３０により底壁
体２８の上側面に気密状に押付け固定することにより、
アキュムレータ本体２５の内部空間がベローズ２９の内
側の液室３１とベローズ２９の外側の空気室３２とに隔
離される。
５は、上端が上壁２６で塞がれた円筒状のケーシング２
７と、このケーシング２７の開放下端を気密状に塞ぐ底
壁体２８とを有してなる。ケーシング２７内にその軸線
Ｃ方向に沿って伸縮変形可能な有底円筒状のベローズ２
９が軸線Ｃを縦にして配設されている。このベローズ２
９の下端開口周縁部２９ａは環状固定板３０により底壁
体２８の上側面に気密状に押付け固定することにより、
アキュムレータ本体２５の内部空間がベローズ２９の内
側の液室３１とベローズ２９の外側の空気室３２とに隔
離される。
【００２３】アキュムレータ本体２５の底壁体２８には
液体の流入路３３及び流出路３４が形成される。底壁体
２８の液室３１に臨む内壁２８ａには流入口２３及び流
出口２４がそれぞれ流入路３３の出口側及び流出路３４
の入口側に連通するよう設けられている。流入路３３の
入口側は上記往復動ポンプＰの流出路６の出口側に継手
６５を介して連通状に配管接続される。
液体の流入路３３及び流出路３４が形成される。底壁体
２８の液室３１に臨む内壁２８ａには流入口２３及び流
出口２４がそれぞれ流入路３３の出口側及び流出路３４
の入口側に連通するよう設けられている。流入路３３の
入口側は上記往復動ポンプＰの流出路６の出口側に継手
６５を介して連通状に配管接続される。
【００２４】そして、上記流入口２３の出口部２３ａ
は、液室３１内の、軸線Ｃ方向とは異なる方向にある円
周壁３１ａすなわち図示例ではベローズ２９の内周壁
（以下、「ベローズ内周壁３１ａ」という。）に向けて
流入液を噴出するよう開口される。具体的には、流入口
２３の出口部２３ａは、内壁２８ａより液室３１内に突
出するよう底壁体２８に固定された吐出用逆止弁２１の
突出先端部の側面に開口されている。すなわち、吐出用
逆止弁２１は上記吸込用逆止弁２０の構造と同じ構造を
有するものである。吐出用逆止弁２１は筒状の弁ケーシ
ング２２０と上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂより
なり、弁ケーシング２２０はこれの軸線Ｇを縦にして底
壁体２８に固定されている。
は、液室３１内の、軸線Ｃ方向とは異なる方向にある円
周壁３１ａすなわち図示例ではベローズ２９の内周壁
（以下、「ベローズ内周壁３１ａ」という。）に向けて
流入液を噴出するよう開口される。具体的には、流入口
２３の出口部２３ａは、内壁２８ａより液室３１内に突
出するよう底壁体２８に固定された吐出用逆止弁２１の
突出先端部の側面に開口されている。すなわち、吐出用
逆止弁２１は上記吸込用逆止弁２０の構造と同じ構造を
有するものである。吐出用逆止弁２１は筒状の弁ケーシ
ング２２０と上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂより
なり、弁ケーシング２２０はこれの軸線Ｇを縦にして底
壁体２８に固定されている。
【００２５】かくして、上記流入口２３の出口部２３ａ
が弁ケーシング２２０の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２２１ａ内の上下の弁座２
３０，２３２に上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂが
自重により密着して往復動ポンプＰの流出路６からの混
合液の逆流を防ぐ。混合液の液室３１への吐出時にはボ
ール弁体２２１ａ，２２１ｂが弁座２３０，２３２から
それぞれ上方へ離されて開弁し、往復動ポンプＰからの
混合液が、弁ケーシング２２０の内周とボール弁体２２
１ａ，２２１ｂとの間を通って弁ケーシング２２０の流
入口２３の出口部２３ａから液室３１内のベローズ内周
壁３１ａに向かって噴出される。
が弁ケーシング２２０の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２２１ａ内の上下の弁座２
３０，２３２に上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂが
自重により密着して往復動ポンプＰの流出路６からの混
合液の逆流を防ぐ。混合液の液室３１への吐出時にはボ
ール弁体２２１ａ，２２１ｂが弁座２３０，２３２から
それぞれ上方へ離されて開弁し、往復動ポンプＰからの
混合液が、弁ケーシング２２０の内周とボール弁体２２
１ａ，２２１ｂとの間を通って弁ケーシング２２０の流
入口２３の出口部２３ａから液室３１内のベローズ内周
壁３１ａに向かって噴出される。
【００２６】この時、流入口２３の出口部２３ａは、流
入液を液室３１内の、軸線Ｃ心方向とは異なる方向にあ
るベローズ内周壁３１ａに向けて噴出するよう開口され
ているので、流入口２３より噴出される混合液は、液室
３１内のベローズ内周壁３１ａに沿って旋回し、この旋
回により液室３１内で更に撹拌される。
入液を液室３１内の、軸線Ｃ心方向とは異なる方向にあ
るベローズ内周壁３１ａに向けて噴出するよう開口され
ているので、流入口２３より噴出される混合液は、液室
３１内のベローズ内周壁３１ａに沿って旋回し、この旋
回により液室３１内で更に撹拌される。
【００２７】図６に示すように、アキュムレータＡの上
記ケーシング２７の上壁２６の外面中央付近には空気出
入口３５を形成し、この空気出入口３５内にフランジ３
６付きのバルブケース３７を嵌合するとともに、フラン
ジ３６を上壁２６の外側にボルト３８等で着脱可能に締
結固定している。
記ケーシング２７の上壁２６の外面中央付近には空気出
入口３５を形成し、この空気出入口３５内にフランジ３
６付きのバルブケース３７を嵌合するとともに、フラン
ジ３６を上壁２６の外側にボルト３８等で着脱可能に締
結固定している。
【００２８】バルブケース３７には給気口３９と排気口
４０とを平行に並べて形成している。給気口３９には、
上記液室３１の容量が所定範囲を越えて増大したとき、
上記空気室３２内へ移送液の最大圧力値以上の圧力の空
気を供給して空気室３２内の封入圧を上昇させる自動給
気バルブ機構４１が設けられる。排気口４０には、液室
３１の容量が所定範囲を越えて減少したとき、空気室３
２内から排気して該空気室３２内の封入圧を下降させる
自動排気バルブ機構４２が設けられる。
４０とを平行に並べて形成している。給気口３９には、
上記液室３１の容量が所定範囲を越えて増大したとき、
上記空気室３２内へ移送液の最大圧力値以上の圧力の空
気を供給して空気室３２内の封入圧を上昇させる自動給
気バルブ機構４１が設けられる。排気口４０には、液室
３１の容量が所定範囲を越えて減少したとき、空気室３
２内から排気して該空気室３２内の封入圧を下降させる
自動排気バルブ機構４２が設けられる。
【００２９】次に、上記構成の往復動ポンプＰ及びアキ
ュムレータＡの動作について説明する。いま、コンプレ
ッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から加圧空
気をシリンダ１１の内部に空気孔１４を介して供給する
と、ピストン１２は図１のｘ方向へ上昇し、ベローズ７
が同一方向に伸長動作することにより、供給管５Ａ、５
Ｂから別々に流入路５に入ってくる種類の異なる二種以
上の液体を吸込用逆止弁２０を経て吸込口１８の出口部
１８ａから液室９内のベローズ内周壁９ａに向けて噴出
する。このとき、吸込口１８の出口部１８ａから噴出す
る吸込み液は、液室９内のベローズ内周壁９ａに沿って
旋回流を生起し、この旋回により液室９内で撹拌される
ので、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入ってく
る二種以上の液体も液室９内で均一に速やかに撹拌混合
されることになる。
ュムレータＡの動作について説明する。いま、コンプレ
ッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から加圧空
気をシリンダ１１の内部に空気孔１４を介して供給する
と、ピストン１２は図１のｘ方向へ上昇し、ベローズ７
が同一方向に伸長動作することにより、供給管５Ａ、５
Ｂから別々に流入路５に入ってくる種類の異なる二種以
上の液体を吸込用逆止弁２０を経て吸込口１８の出口部
１８ａから液室９内のベローズ内周壁９ａに向けて噴出
する。このとき、吸込口１８の出口部１８ａから噴出す
る吸込み液は、液室９内のベローズ内周壁９ａに沿って
旋回流を生起し、この旋回により液室９内で撹拌される
ので、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入ってく
る二種以上の液体も液室９内で均一に速やかに撹拌混合
されることになる。
【００３０】上記加圧空気を空気室１０内に空気孔１５
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、ベローズ７が同一方向に
収縮動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌し
ながら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ
１１内のピストン１２の往復運動によってベローズ７が
伸縮往復運動することにより、吸込口１８からの吸込み
行程と吐出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して
所定の往復動ポンプ作用が行われる。このような往復動
ポンプＰの作動により混合液が所定の部位に向けて送給
されると、往復動ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返
しによる脈動を発生する。
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、ベローズ７が同一方向に
収縮動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌し
ながら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ
１１内のピストン１２の往復運動によってベローズ７が
伸縮往復運動することにより、吸込口１８からの吸込み
行程と吐出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して
所定の往復動ポンプ作用が行われる。このような往復動
ポンプＰの作動により混合液が所定の部位に向けて送給
されると、往復動ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返
しによる脈動を発生する。
【００３１】ここで、往復動ポンプＰにおける液室９内
から吐出口１９、流出路６を経て吐出される混合液は、
アキュムレータＡの流入路３３を経て吐出用逆止弁２１
の流入口２３の出口部２３ａから液室３１内のベローズ
内周壁３１ａに向けて噴出され、この液室３１に一時的
に貯溜されたのち流出口２４から流出路３４へと流出さ
れる。このとき、移送混合液の吐出圧が吐出圧曲線の山
部にある場合、移送混合液は液室３１の容量を増大する
ようにベローズ２９を伸長変形させるので、その圧力が
吸収される。この時、液室３１から流出される移送混合
液の流量は往復動ポンプＰから送給されてくる流量より
も少なくなる。前述のように、流入口２３の出口部２３
ａからの移送混合液は液室３１内のベローズ内周壁３１
ａに向けて噴出されるので、この混合液は液室３１内の
ベローズ内周壁３１ａに沿って旋回流を生起し、この旋
回により液室３１内で再び撹拌される。したがって、往
復動ポンプＰの流出路６からの移送混合液は液室３１内
で更に均一に撹拌混合されて循環されることになる。
から吐出口１９、流出路６を経て吐出される混合液は、
アキュムレータＡの流入路３３を経て吐出用逆止弁２１
の流入口２３の出口部２３ａから液室３１内のベローズ
内周壁３１ａに向けて噴出され、この液室３１に一時的
に貯溜されたのち流出口２４から流出路３４へと流出さ
れる。このとき、移送混合液の吐出圧が吐出圧曲線の山
部にある場合、移送混合液は液室３１の容量を増大する
ようにベローズ２９を伸長変形させるので、その圧力が
吸収される。この時、液室３１から流出される移送混合
液の流量は往復動ポンプＰから送給されてくる流量より
も少なくなる。前述のように、流入口２３の出口部２３
ａからの移送混合液は液室３１内のベローズ内周壁３１
ａに向けて噴出されるので、この混合液は液室３１内の
ベローズ内周壁３１ａに沿って旋回流を生起し、この旋
回により液室３１内で再び撹拌される。したがって、往
復動ポンプＰの流出路６からの移送混合液は液室３１内
で更に均一に撹拌混合されて循環されることになる。
【００３２】また、上記移送混合液の吐出圧が吐出圧曲
線の谷部にさしかかると、アキュムレータＡのベローズ
２９の伸長変形に伴い圧縮された空気室３２内の封入圧
よりも移送混合液の圧力が低くなるので、ベローズ２９
は収縮変形する。この時、往復動ポンプＰから液室３１
内に流入する移送混合液の流量よりも液室３１から流出
する流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液室３
１の容量変化によって上記脈動が吸収され低減されるこ
とになる。
線の谷部にさしかかると、アキュムレータＡのベローズ
２９の伸長変形に伴い圧縮された空気室３２内の封入圧
よりも移送混合液の圧力が低くなるので、ベローズ２９
は収縮変形する。この時、往復動ポンプＰから液室３１
内に流入する移送混合液の流量よりも液室３１から流出
する流量が多くなる。この繰り返し動作、つまり液室３
１の容量変化によって上記脈動が吸収され低減されるこ
とになる。
【００３３】一方、往復動ポンプＰからの吐出圧が下降
変動すると、移送混合液によって液室３１の容量が減少
し、ベローズ２９が大きく収縮変形することになる。こ
のベローズ２９の収縮変形量が所定範囲Ｆを越えると、
ベローズ２９の閉鎖上端部２９ｂの収縮方向ｂへの移動
に伴って自動排気バルブ機構４２のスライダー５６が開
成用スプリング５８の付勢作用によりベローズ２９の収
縮方向ｂへ移動し、スライダー５６の閉鎖端部５６ａの
内面が排気弁棒５３の鍔部５２に係合する。これによっ
て、排気弁棒５３がｂ方向に移動して排気弁体５１が排
気口４０を開成するので、空気室３２内の封入空気が排
気口４０から大気中に排出されて空気室３２内の封入圧
が低下する。したがって、ベローズ２９のストロークＦ
を越えての収縮変形量が規制されて、液室３１の容量が
過度に減少することが抑えられる。そして、空気室３２
内の封入圧の減少に伴いベローズ２９が基準位置Ｓに向
けて伸長するので、スライダー５６がベローズ２９の閉
鎖上端部２９ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用
スプリング５８を圧縮させ、排気弁体５１が閉成用スプ
リング５７の付勢作用で再び排気口４０を閉成する。こ
れによって空気室３２内の封入圧が調整状態に固定され
る。その結果、往復動ポンプＰの液室９からの吐出圧の
変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が小
さく抑えられることになる。
変動すると、移送混合液によって液室３１の容量が減少
し、ベローズ２９が大きく収縮変形することになる。こ
のベローズ２９の収縮変形量が所定範囲Ｆを越えると、
ベローズ２９の閉鎖上端部２９ｂの収縮方向ｂへの移動
に伴って自動排気バルブ機構４２のスライダー５６が開
成用スプリング５８の付勢作用によりベローズ２９の収
縮方向ｂへ移動し、スライダー５６の閉鎖端部５６ａの
内面が排気弁棒５３の鍔部５２に係合する。これによっ
て、排気弁棒５３がｂ方向に移動して排気弁体５１が排
気口４０を開成するので、空気室３２内の封入空気が排
気口４０から大気中に排出されて空気室３２内の封入圧
が低下する。したがって、ベローズ２９のストロークＦ
を越えての収縮変形量が規制されて、液室３１の容量が
過度に減少することが抑えられる。そして、空気室３２
内の封入圧の減少に伴いベローズ２９が基準位置Ｓに向
けて伸長するので、スライダー５６がベローズ２９の閉
鎖上端部２９ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用
スプリング５８を圧縮させ、排気弁体５１が閉成用スプ
リング５７の付勢作用で再び排気口４０を閉成する。こ
れによって空気室３２内の封入圧が調整状態に固定され
る。その結果、往復動ポンプＰの液室９からの吐出圧の
変動にかかわらず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が小
さく抑えられることになる。
【００３４】上記実施例のアキュムレータでは空気室３
２に自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４よりなる圧力自動調整機構を付けているが、空気室３
２は空気出入口３５さえあればよく、圧力自動調整機構
は必ずしも必要とするものではない。その圧力調整は手
動で行うものであってもよい。
２に自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４よりなる圧力自動調整機構を付けているが、空気室３
２は空気出入口３５さえあればよく、圧力自動調整機構
は必ずしも必要とするものではない。その圧力調整は手
動で行うものであってもよい。
【００３５】（第３実施例）
図７は第３実施例を示しており、この実施例ではポンプ
本体１に種類の異なる二液以上の各液体の流入路５を個
別に設け、各流入路５の出口側は単一の吸込口１８の入
口側で合流するよう該入口側に連通形成し、各流入路５
の入口側に各液体の供給管５Ａ，５Ｂをそれぞれ接続す
るようにしてあり、この点が、第１実施例のごとく単一
の流入路５の入口側に対し各液体の供給管５Ａ，５Ｂを
合流するよう接続配管したものとは異なっており、それ
以外の構成は第１実施例のものと同様であるため、同一
部材に同一符号を付するをもってその説明を省略する。
本体１に種類の異なる二液以上の各液体の流入路５を個
別に設け、各流入路５の出口側は単一の吸込口１８の入
口側で合流するよう該入口側に連通形成し、各流入路５
の入口側に各液体の供給管５Ａ，５Ｂをそれぞれ接続す
るようにしてあり、この点が、第１実施例のごとく単一
の流入路５の入口側に対し各液体の供給管５Ａ，５Ｂを
合流するよう接続配管したものとは異なっており、それ
以外の構成は第１実施例のものと同様であるため、同一
部材に同一符号を付するをもってその説明を省略する。
【００３６】第２実施例のアキュムレータＡでは往復動
ポンプＰを介して複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを流入
路３３の入口側に合流すべく配管接続してあるが、これ
に代えてアキュムレータ本体２５の流入路３３の入口側
に直接、複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流すべく配
管接続する場合もある。
ポンプＰを介して複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを流入
路３３の入口側に合流すべく配管接続してあるが、これ
に代えてアキュムレータ本体２５の流入路３３の入口側
に直接、複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流すべく配
管接続する場合もある。
【００３７】各実施例では、往復動ポンプＰのベローズ
７及びアキュムレータＡのベローズ２９はそれぞれの軸
線Ｂ，Ｃを縦（垂直）にして設けてあるが、そのほか
に、往復動ポンプＰのベローズ７及びアキュムレータＡ
のベローズ２９はそれぞれの軸線Ｂ，Ｃを横（水平）に
するタイプの往復動ポンプＰやアキュムレータＡにも同
様に適用できることは言うまでもない。
７及びアキュムレータＡのベローズ２９はそれぞれの軸
線Ｂ，Ｃを縦（垂直）にして設けてあるが、そのほか
に、往復動ポンプＰのベローズ７及びアキュムレータＡ
のベローズ２９はそれぞれの軸線Ｂ，Ｃを横（水平）に
するタイプの往復動ポンプＰやアキュムレータＡにも同
様に適用できることは言うまでもない。
【００３８】また、往復動ポンプＰの吸込用逆止弁２０
及び吐出用逆止弁２１はそれぞれ、ボール付勢用ばねを
用いないでボール弁体２０２，２２１による自重閉止機
構を採用してあるが、これに限定されず、ボール付勢用
ばねを用いる機構の吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁
２１であってもよい。吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止
弁２１はそれぞれ、上記実施例ではボール弁体２０２，
２２１を上下２段に備えて二重閉止構造にしてあるが、
これに限定されるものではなく、単一のボール弁体２０
２を備えるものであってもよい。
及び吐出用逆止弁２１はそれぞれ、ボール付勢用ばねを
用いないでボール弁体２０２，２２１による自重閉止機
構を採用してあるが、これに限定されず、ボール付勢用
ばねを用いる機構の吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁
２１であってもよい。吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止
弁２１はそれぞれ、上記実施例ではボール弁体２０２，
２２１を上下２段に備えて二重閉止構造にしてあるが、
これに限定されるものではなく、単一のボール弁体２０
２を備えるものであってもよい。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、往復動ポンプやアキュ
ムレータに別々に供給されてくる二液以上の液体も各液
室内で迅速に均一に撹拌混合され、しかも敢えて撹拌部
材を必要としないという効果を奏する。
ムレータに別々に供給されてくる二液以上の液体も各液
室内で迅速に均一に撹拌混合され、しかも敢えて撹拌部
材を必要としないという効果を奏する。
【図１】第１実施例の往復動ポンプの縦断正面図であ
る。
る。
【図２】図１の往復動ポンプの吸込み行程での液の流れ
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図３】図１の往復動ポンプの吐出行程での液の流れ状
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図４】図３におけるＨ−Ｈ線断面図である。
【図５】第２実施例の往復動ポンプとアキュムレータの
縦断正面図である。
縦断正面図である。
【図６】図５のアキュムレータの圧力自動調整機構の拡
大縦断正面図である。
大縦断正面図である。
【図７】第３実施例の往復動ポンプを図４に対応して示
す断面図である。
す断面図である。
Ｐ 往復動ポンプ
Ｂ ポンプ本体の軸線
１ ポンプ本体
４ 往復動ポンプの底壁体
４ａ 内壁
５ 往復動ポンプの流入路
６ 往復動ポンプの流出路
７ 往復動ポンプのベローズ
９ 往復動ポンプの液室
１８ 吸込口
１９ 吐出口
２０ 吸込用逆止弁
２１ 吐出用逆止弁
Ａ アキュムレータ
Ｃ アキュムレータ本体の軸線
２３ アキュムレータの流入口
２４ アキュムレータの流出口
２５ アキュムレータ本体
２９ アキュムレータのベローズ
３１ アキュムレータの液室
３２ アキュムレータの空気室
３３ アキュムレータの流入路
３４ アキュムレータの流出路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平11−107925（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−68385（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−179184（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−250511（ＪＰ，Ａ)
実開 昭59−61828（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭58−132182（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭54−26176（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭51−25350（ＪＰ，Ｂ１)
特公 昭62−36159（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01F 5/12
F04B 9/00 - 15/08
F04B 43/00 - 47/14
F04B 53/00 - 53/22
F15B 1/02
Claims (4)
- 【請求項１】 ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運
動するベローズがポンプ本体の内壁との間に液室を形成
するよう備えられるとともに、ポンプ本体の前記液室に
臨む内壁に吸込口及び吐出口が設けられており、前記ベ
ローズの往復運動により前記吸込口から前記液室内に種
類の異なる二液以上の液体を吸込む行程と、前記液室内
の液体を吐出口から吐出す行程とを交互に行うようにし
てある往復動ポンプよりなる流体機器であって、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、前記吸込口の
入口部側に、二液以上の各液体の供給管が合流するよう
配管接続されており、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、ポンプ本体の前記液
室に臨む内壁より液室内に突出するよう固定された吸込
用逆止弁の突出先端部の側面に設けられて いることを特
徴とする流体機器。 - 【請求項２】 ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運
動するベローズがポンプ本体の内壁との間に液室を形成
するよう備えられるとともに、ポンプ本体の前記液室に
臨む内壁に吸込口及び吐出口が設けられており、前記ベ
ローズの往復運動により前記吸込口から前記液室内に種
類の異なる二液以上の液体を吸込む行程と、前記液室内
の液体を吐出口から吐出す行程とを交互に行うようにし
てある往復動ポンプよりなる流体機器であって、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、 ポンプ本体に二液以上の各液体の流入路が個別に設けら
れ、各流入路の出口側が前記吸込口の入口側で合流する
よう該入口側に連通形成されており、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、ポンプ本体の前記液
室に臨む内壁より液室内に突出するよう固定された吸込
用逆止弁の突出先端部の側面に設けられて いることを特
徴とする流体機器。 - 【請求項３】 アキュムレータ本体の内部に、軸線方向
に往復動するベローズがこれの内側に種類の異なる二液
以上の液体が流入する液室を、外側に空気室をそれぞれ
形成するよう備えられるとともに、アキュムレータ本体
の前記液室に臨む内壁に流入口及び流出口が設けられて
おり、前記液室内の液圧に対して空気室内の空気圧によ
ってバランスするようにしてあるアキュムレータよりな
る流体機器であって、 前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、 前記流入口の入口部側に、種類の異なる二液以上の各液
体の供給管が合流するよう配管接続されており、 前記流入口の液室に臨む出口部が、アキュムレータ本体
の前記液室に臨む内壁より液室内に突出するよう固定さ
れた吐出用逆止弁の突出先端部の側面に設けられている
ことを特徴とする 流体機器。 - 【請求項４】 アキュムレータ本体の内部に、軸線方向
に往復動するベローズがこれの内側に種類の異なる二液
以上の液体が流入する液室を、外側に空気室をそれぞれ
形成するよう備えられるとともに、アキュムレータ本体
の前記液室に臨む内壁に流入口及び流出口が設けられて
おり、前記液室内の液圧に対して空気室内の空気圧によ
ってバランスするようにしてあるアキュムレータよりな
る流体機器であって、 前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にあるベローズ内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、アキュムレータ本体に二液以上の各液体の流入路が個別
に設けられ、各流入路の出口側が前記流入口の入口側で
合流するよう該入口側に連通形成されており、 前記流入口の液室に臨む出口部が、アキュムレータ本体
の前記液室に臨む内壁より液室内に突出するよう固定さ
れた吐出用逆止弁の突出先端部の側面に設けられて いる
ことを特徴とする流体機器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000034838A JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
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| DE60129489T DE60129489T2 (de) | 2000-02-14 | 2001-02-05 | Balgpumpe für die Dosierung verschiedener Flüssigkeiten |
| EP01102505A EP1126164B1 (en) | 2000-02-14 | 2001-02-05 | Bellows pump for dispensing different liquids |
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|---|---|---|---|
| JP2000034838A JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
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|---|---|
| JP2001227472A JP2001227472A (ja) | 2001-08-24 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000034838A Expired - Lifetime JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
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| CN101449056B (zh) * | 2006-05-22 | 2011-12-07 | 日本电产三协株式会社 | 混合泵装置及燃料电池 |
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| JP2008002454A (ja) * | 2006-05-22 | 2008-01-10 | Nidec Sankyo Corp | ミキシングポンプ装置および燃料電池 |
| US20090304537A1 (en) * | 2008-06-06 | 2009-12-10 | Hung Kuo-Yu | Pneumatic chemical pump |
| US20100178182A1 (en) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Simmons Tom M | Helical bellows, pump including same and method of bellows fabrication |
| US8636484B2 (en) * | 2009-01-09 | 2014-01-28 | Tom M. Simmons | Bellows plungers having one or more helically extending features, pumps including such bellows plungers, and related methods |
| GB2490630B (en) * | 2010-05-14 | 2016-08-24 | Joe Santa & Ass Pty Ltd | An air motor |
| US20160340849A1 (en) * | 2015-05-18 | 2016-11-24 | M-B-W, Inc. | Vibration isolator for a pneumatic pole or backfill tamper |
| CN106286243A (zh) * | 2016-08-17 | 2017-01-04 | 合肥耀贝软件开发有限公司 | 一种多通式气动隔膜泵 |
| CN107061379B (zh) * | 2017-05-23 | 2018-09-25 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 自动换气式蓄能装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2590007A (en) * | 1946-07-22 | 1952-03-18 | Donald G Griswold | Liquid proportioning and spraying apparatus |
| US3802872A (en) * | 1969-02-06 | 1974-04-09 | J Ostberg | Counter-current reaction method |
| DE2421197A1 (de) * | 1974-05-02 | 1975-11-20 | Goswin & Co | Mischbatterie |
| US4275752A (en) * | 1978-09-22 | 1981-06-30 | Collier Nigel A | Fluid flow apparatus and method |
| US4809909A (en) * | 1985-06-13 | 1989-03-07 | Glas-Craft, Inc. | Plural component application system |
| JPH03179184A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-05 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 往復動ポンプ |
| US5348392A (en) * | 1991-03-13 | 1994-09-20 | Dow Corning France S.A. | Apparatus for mixing and dispensing a multicomponent composition |
| US5213129A (en) * | 1991-03-25 | 1993-05-25 | Csb Limited Partnership | Fluid mixing device |
| FR2726332B1 (fr) * | 1994-10-26 | 1997-01-24 | Francois Couillard | Systeme de pompage a pistons delivrant des fluides avec un debit sensiblement constant |
| JP3676890B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2005-07-27 | 日本ピラー工業株式会社 | 定量ポンプの逆止弁用樹脂製スプリング及びそれを用いたベローズ式定量ポンプ |
| JP3310566B2 (ja) * | 1997-01-10 | 2002-08-05 | 日本ピラー工業株式会社 | 半導体製造装置用ポンプ |
| JPH11270460A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 脈動抑制装置付きポンプ |
-
2000
- 2000-02-14 JP JP2000034838A patent/JP3399897B2/ja not_active Expired - Lifetime
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2001
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