JP2001227472A - ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 - Google Patents
ポンプ、アキュムレータ等の流体機器Info
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- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- F15B1/02—Installations or systems with accumulators
- F15B1/04—Accumulators
- F15B1/08—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor
- F15B1/10—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor with flexible separating means
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- F04B13/02—Pumps specially modified to deliver fixed or variable measured quantities of two or more fluids at the same time
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- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
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- F15B2201/20—Accumulator cushioning means
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- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 二種類以上の薬液をポンプの内部で迅速に均
一な濃度に撹拌混合できるようにする。 【解決手段】 ポンプ本体１の内部に、軸線方向に往復
運動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜７がポンプ本
体１の内壁４ａとの間に液室９を形成するよう備えられ
る。内壁４ａに吸込口１８及び吐出口１９が設けられ
る。吸込口１８の入口側に二種以上の各薬液の供給管５
Ａ，５Ｂを合流するよう配管接続する。吸込口１８の出
口部１８ａは、ポンプ本体１の内壁４ａより液室９内に
突出するよう固定された吸込用逆止弁２０の突出先端部
の側面に設けることにより液室９内の円周壁９ａに向け
て二種以上の薬液を噴出するよう開口している。従っ
て、ポンプ本体１に別々に供給されてくる二液以上の薬
液は吸込口１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁９
ａに沿って旋回し、この旋回により液室９内で速やかに
均一に撹拌混合される。
一な濃度に撹拌混合できるようにする。 【解決手段】 ポンプ本体１の内部に、軸線方向に往復
運動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜７がポンプ本
体１の内壁４ａとの間に液室９を形成するよう備えられ
る。内壁４ａに吸込口１８及び吐出口１９が設けられ
る。吸込口１８の入口側に二種以上の各薬液の供給管５
Ａ，５Ｂを合流するよう配管接続する。吸込口１８の出
口部１８ａは、ポンプ本体１の内壁４ａより液室９内に
突出するよう固定された吸込用逆止弁２０の突出先端部
の側面に設けることにより液室９内の円周壁９ａに向け
て二種以上の薬液を噴出するよう開口している。従っ
て、ポンプ本体１に別々に供給されてくる二液以上の薬
液は吸込口１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁９
ａに沿って旋回し、この旋回により液室９内で速やかに
均一に撹拌混合される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベローズ式ポン
プ、ダイヤフラム式ポンプ、あるいはアキュムレータな
どの流体機器に関する。
プ、ダイヤフラム式ポンプ、あるいはアキュムレータな
どの流体機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置におけるＩＣや
液晶の表面洗浄等の各種処理に際して薬液の循環や移送
などに使用されるポンプは、ポンプの動作によってパー
ティクルの発生がないベローズ式ポンプやダイヤフラム
式ポンプが使用されている（例えば、特開平３−１７９
１８４号公報）。また、使用される薬液は種類の異なる
二液以上の混合液が多く、この混合液は二液以上を個々
の薬液タンクから混合タンクや処理槽に移送し、循環す
ることによって混合されるか、別々の薬液ポンプによっ
て処理槽に注入されることで混合されていた。
液晶の表面洗浄等の各種処理に際して薬液の循環や移送
などに使用されるポンプは、ポンプの動作によってパー
ティクルの発生がないベローズ式ポンプやダイヤフラム
式ポンプが使用されている（例えば、特開平３−１７９
１８４号公報）。また、使用される薬液は種類の異なる
二液以上の混合液が多く、この混合液は二液以上を個々
の薬液タンクから混合タンクや処理槽に移送し、循環す
ることによって混合されるか、別々の薬液ポンプによっ
て処理槽に注入されることで混合されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、このような
二液以上の混合液を使用する場合、混合液の濃度が均一
で一定であることが重要であるが、二液以上を均一に混
合するに際し液を一定時間をかけて循環させることで混
合するには時間が長くかかり過ぎるのであり、この点の
改善が望まれている。また、撹拌タンクを別途設ける
と、薬液循環ラインが大規模化し、好ましくない。
二液以上の混合液を使用する場合、混合液の濃度が均一
で一定であることが重要であるが、二液以上を均一に混
合するに際し液を一定時間をかけて循環させることで混
合するには時間が長くかかり過ぎるのであり、この点の
改善が望まれている。また、撹拌タンクを別途設ける
と、薬液循環ラインが大規模化し、好ましくない。
【０００４】本発明の目的は、上記要求に応えるべくな
されたもので、ポンプやアキュムレータの内部の液室で
二液以上の薬液の撹拌混合機能を発揮できるようにし、
以て速やかに均一な混合液が得られるというポンプやア
キュムレータ等の流体機器を提供することにある。
されたもので、ポンプやアキュムレータの内部の液室で
二液以上の薬液の撹拌混合機能を発揮できるようにし、
以て速やかに均一な混合液が得られるというポンプやア
キュムレータ等の流体機器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運動する
ベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がポンプ本体の内壁と
の間に液室を形成するよう備えられるとともに、ポンプ
本体の前記液室に臨む内壁に吸込口及び吐出口が設けら
れており、前記隔膜の往復運動により前記吸込口から前
記液室内に種類の異なる二液以上の液体を吸込む行程
と、前記液室内の液体を吐出口から吐出す行程とを交互
に行うようにしてある往復動ポンプよりなる流体機器で
あって、前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内
の、前記軸線方向とは異なる方向にある内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、前記吸込口の
入口部側に、二液以上の各液体の供給管が合流するよう
配管接続されていることに特徴を有するものである。
発明は、ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運動する
ベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がポンプ本体の内壁と
の間に液室を形成するよう備えられるとともに、ポンプ
本体の前記液室に臨む内壁に吸込口及び吐出口が設けら
れており、前記隔膜の往復運動により前記吸込口から前
記液室内に種類の異なる二液以上の液体を吸込む行程
と、前記液室内の液体を吐出口から吐出す行程とを交互
に行うようにしてある往復動ポンプよりなる流体機器で
あって、前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内
の、前記軸線方向とは異なる方向にある内周壁に向けて
吸込み液を噴出するよう開口されており、前記吸込口の
入口部側に、二液以上の各液体の供給管が合流するよう
配管接続されていることに特徴を有するものである。
【０００６】請求項１記載の発明のように吸込口の入口
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというポンプへの二液以上の供給手段に代えて、
請求項２に係る発明のように、ポンプ本体に二液以上の
各液体の流入路を個別に設け、各流入路の出口側を前記
吸込口の入口側で合流するよう該入口側に連通形成する
もよい。
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというポンプへの二液以上の供給手段に代えて、
請求項２に係る発明のように、ポンプ本体に二液以上の
各液体の流入路を個別に設け、各流入路の出口側を前記
吸込口の入口側で合流するよう該入口側に連通形成する
もよい。
【０００７】請求項３に係る発明は、請求項１又は２記
載の流体機器において、前記吸込口の出口部が、ポンプ
本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出するよう固
定された吸込用逆止弁の突出先端部の側面に設けられた
ものである。
載の流体機器において、前記吸込口の出口部が、ポンプ
本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出するよう固
定された吸込用逆止弁の突出先端部の側面に設けられた
ものである。
【０００８】請求項１、請求項２及び請求項３に記載の
発明によれば、吸込口の出口部が液室内の軸線方向とは
異なる方向にある円周壁に向けて二液以上の吸込み液を
噴出するよう開口されているので、吸込口の出口部から
噴出する二液以上の吸込み液は液室の内周に沿って旋回
し、この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌され
る効果を発揮する。したがって、ポンプに別々に供給さ
れてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合さ
れることになる。
発明によれば、吸込口の出口部が液室内の軸線方向とは
異なる方向にある円周壁に向けて二液以上の吸込み液を
噴出するよう開口されているので、吸込口の出口部から
噴出する二液以上の吸込み液は液室の内周に沿って旋回
し、この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌され
る効果を発揮する。したがって、ポンプに別々に供給さ
れてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混合さ
れることになる。
【０００９】請求項４に係る発明は、アキュムレータ本
体の内部に、軸線方向に往復動するベローズ、ダイヤフ
ラム等の隔膜がこれの内側に種類の異なる二液以上の液
体が流入する液室を、外側に空気室をそれぞれ形成する
よう備えられるとともに、アキュムレータ本体の前記液
室に臨む内壁に流入口及び流出口が設けられており、前
記液室内の液圧に対して空気室内の空気圧によってバラ
ンスするようにしてあるアキュムレータよりなる流体機
器であって、前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液
室内の、前記軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向
けて吸込み液を噴出するよう開口されており、前記流入
口の入口部側に、種類の異なる二液以上の各液体の供給
管が合流するよう配管接続されていることに特徴を有す
るものである。
体の内部に、軸線方向に往復動するベローズ、ダイヤフ
ラム等の隔膜がこれの内側に種類の異なる二液以上の液
体が流入する液室を、外側に空気室をそれぞれ形成する
よう備えられるとともに、アキュムレータ本体の前記液
室に臨む内壁に流入口及び流出口が設けられており、前
記液室内の液圧に対して空気室内の空気圧によってバラ
ンスするようにしてあるアキュムレータよりなる流体機
器であって、前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液
室内の、前記軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向
けて吸込み液を噴出するよう開口されており、前記流入
口の入口部側に、種類の異なる二液以上の各液体の供給
管が合流するよう配管接続されていることに特徴を有す
るものである。
【００１０】請求項４記載の発明のように流入口の入口
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというアキュムレータへの二液以上の供給手段に
代えて、請求項５に係る発明のように、アキュムレータ
本体に二液以上の各液体の流入路を個別に設け、各流入
路の出口側を前記吸込口の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成するもよい。
部側に二液以上の各液体の供給管を合流するよう配管接
続するというアキュムレータへの二液以上の供給手段に
代えて、請求項５に係る発明のように、アキュムレータ
本体に二液以上の各液体の流入路を個別に設け、各流入
路の出口側を前記吸込口の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成するもよい。
【００１１】請求項６に係る発明は、請求項４又は５に
記載の流体機器において、流入口の出口部が、アキュム
レータ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出する
よう固定された吐出用逆止弁の突出先端部の側面に設け
られたものである。
記載の流体機器において、流入口の出口部が、アキュム
レータ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出する
よう固定された吐出用逆止弁の突出先端部の側面に設け
られたものである。
【００１２】請求項４、請求項５及び請求項６に記載の
発明によれば、流入口の出口部が液室内の軸線方向とは
異なる方向にある円周壁に向けて二液以上の流入液を噴
出するよう開口されているので、流入口の出口部から噴
出する二液以上の流入液は液室の内周に沿って旋回し、
この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌される効
果を発揮する。したがって、アキュムレータに別々に供
給されてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混
合されることになる。
発明によれば、流入口の出口部が液室内の軸線方向とは
異なる方向にある円周壁に向けて二液以上の流入液を噴
出するよう開口されているので、流入口の出口部から噴
出する二液以上の流入液は液室の内周に沿って旋回し、
この旋回作用により二液以上の吸込み液が撹拌される効
果を発揮する。したがって、アキュムレータに別々に供
給されてくる二種類以上の液体も液室内で均一に撹拌混
合されることになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】（第１実施例）図１は本発明に係
る流体機器として往復動ポンプに適用した場合の第１実
施例を示す。図１において、往復動ポンプのポンプ本体
１は、上端が上壁２で塞がれた円筒状のケーシング３
と、このケーシング３の開放下端を気密状に塞ぐ底壁体
４とを有してなる。その底壁体４に液体の流入路５及び
流出路６が形成されている。流入路５の入口部５ａ側に
は、種類の異なる二液以上の各液体の供給管５Ａ，５Ｂ
・・・が合流するよう配管接続されている。
る流体機器として往復動ポンプに適用した場合の第１実
施例を示す。図１において、往復動ポンプのポンプ本体
１は、上端が上壁２で塞がれた円筒状のケーシング３
と、このケーシング３の開放下端を気密状に塞ぐ底壁体
４とを有してなる。その底壁体４に液体の流入路５及び
流出路６が形成されている。流入路５の入口部５ａ側に
は、種類の異なる二液以上の各液体の供給管５Ａ，５Ｂ
・・・が合流するよう配管接続されている。
【００１４】ケーシング３内にはその軸線Ｂ方向に沿っ
て伸縮変形可能な有底円筒状のベローズよりなる隔膜７
が軸線Ｂを縦にして配設されている。この隔膜７は耐熱
性、耐薬品性に優れるＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレ
ン）、ＰＦＡ（パーフロロアルコキシ）等のフッ素樹脂
で成形され、その下端開口周縁部７ａを環状固定板８に
より底壁体４の上側面に気密状に押付け固定することに
より、ポンプ本体１の内部空間が隔膜７の内側の液室９
と隔膜７の外側の空気室１０とに隔離される。
て伸縮変形可能な有底円筒状のベローズよりなる隔膜７
が軸線Ｂを縦にして配設されている。この隔膜７は耐熱
性、耐薬品性に優れるＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレ
ン）、ＰＦＡ（パーフロロアルコキシ）等のフッ素樹脂
で成形され、その下端開口周縁部７ａを環状固定板８に
より底壁体４の上側面に気密状に押付け固定することに
より、ポンプ本体１の内部空間が隔膜７の内側の液室９
と隔膜７の外側の空気室１０とに隔離される。
【００１５】ポンプ本体１には隔膜７を駆動伸縮運動さ
せる往復駆動装置２２が備えられる。この往復駆動装置
２２は、ポンプ本体１の上壁２の上面側にシリンダ１１
をこれの軸線が隔膜７の軸線Ｂと一致するように形成
し、シリンダ１１内を往復動するピストン１２を上壁２
を貫通するピストンロッド１３で隔膜７の閉鎖上端部７
ｂの中央部と連結している。そして、コンプレッサーな
どの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気がシリンダ１１及び上壁２にそれぞれ形成した空気
孔１４，１５を介してシリンダ１１の内部と空気室１０
に交互に供給されるようにしている。すなわち、シリン
ダ１１には近接センサー１６ａ，１６ｂが取り付けられ
る一方、ピストン１２にセンサー感知部材１７が取り付
けられ、ピストン１２の往復動に伴いセンサー感知部材
１７が近接センサー１６ａ，１６ｂに交互に近接するこ
とにより加圧空気供給装置から送給される加圧空気のシ
リンダー１１内への供給と空気室１０への供給とが自動
的に交互に切り替えられるように構成している。このピ
ストン１２の往復動に伴って隔膜７が駆動伸縮運動す
る。
せる往復駆動装置２２が備えられる。この往復駆動装置
２２は、ポンプ本体１の上壁２の上面側にシリンダ１１
をこれの軸線が隔膜７の軸線Ｂと一致するように形成
し、シリンダ１１内を往復動するピストン１２を上壁２
を貫通するピストンロッド１３で隔膜７の閉鎖上端部７
ｂの中央部と連結している。そして、コンプレッサーな
どの加圧空気供給装置（図示省略）から送給される加圧
空気がシリンダ１１及び上壁２にそれぞれ形成した空気
孔１４，１５を介してシリンダ１１の内部と空気室１０
に交互に供給されるようにしている。すなわち、シリン
ダ１１には近接センサー１６ａ，１６ｂが取り付けられ
る一方、ピストン１２にセンサー感知部材１７が取り付
けられ、ピストン１２の往復動に伴いセンサー感知部材
１７が近接センサー１６ａ，１６ｂに交互に近接するこ
とにより加圧空気供給装置から送給される加圧空気のシ
リンダー１１内への供給と空気室１０への供給とが自動
的に交互に切り替えられるように構成している。このピ
ストン１２の往復動に伴って隔膜７が駆動伸縮運動す
る。
【００１６】ポンプ本体１の底壁体４の液室９に臨む内
壁４ａには吸込口１８及び吐出口１９がそれぞれ設けら
れる。吸込口１８は上記流入路５の出口側に、吐出口１
９は上記流出路６の入口側にそれぞれ連通するよう設け
られる。吸込口１８には吸込用逆止弁２０が、流出路６
の出口端には吐出用逆止弁２１がそれぞれ設けられてい
る。
壁４ａには吸込口１８及び吐出口１９がそれぞれ設けら
れる。吸込口１８は上記流入路５の出口側に、吐出口１
９は上記流出路６の入口側にそれぞれ連通するよう設け
られる。吸込口１８には吸込用逆止弁２０が、流出路６
の出口端には吐出用逆止弁２１がそれぞれ設けられてい
る。
【００１７】そして、上記吸込口１８の出口部１８ａ
は、液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある円周
壁９ａすなわち図示例ではベローズよりなる隔膜７の内
周壁に向けて吸込み液を噴出するよう開口される。具体
的には、吸込口１８の出口部１８ａは、内壁４ａより液
室９内に突出するよう底壁体４に固定された吸込用逆止
弁２０の突出先端部の側面に開口されている。すなわ
ち、吸込用逆止弁２０は筒状の弁ケーシング２０１と上
下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂよりなり、弁ケーシ
ング２０１はこれの軸線Ｄを縦にして流入路５の出口側
と連通するよう底壁体４に固定されている。
は、液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある円周
壁９ａすなわち図示例ではベローズよりなる隔膜７の内
周壁に向けて吸込み液を噴出するよう開口される。具体
的には、吸込口１８の出口部１８ａは、内壁４ａより液
室９内に突出するよう底壁体４に固定された吸込用逆止
弁２０の突出先端部の側面に開口されている。すなわ
ち、吸込用逆止弁２０は筒状の弁ケーシング２０１と上
下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂよりなり、弁ケーシ
ング２０１はこれの軸線Ｄを縦にして流入路５の出口側
と連通するよう底壁体４に固定されている。
【００１８】かくして、上記吸込口１８の出口部１８ａ
が弁ケーシング２０１の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２０１内の上下の弁座２１
１，２１３に上下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂが自
重により密着し密着して流入路５からの液体の逆流を防
ぐ。液体の吸込み時には、ボール弁体２０２ａ，２０２
ｂが弁座２１１，２１３からそれぞれ上方へ離されて開
弁し、流入路５からの液体が弁ケーシング２０１の内周
とボール弁体２０２ａ，２０２ｂとの間を通って吸込口
１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁９ａに向けて
噴出される。
が弁ケーシング２０１の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２０１内の上下の弁座２１
１，２１３に上下のボール弁体２０２ａ，２０２ｂが自
重により密着し密着して流入路５からの液体の逆流を防
ぐ。液体の吸込み時には、ボール弁体２０２ａ，２０２
ｂが弁座２１１，２１３からそれぞれ上方へ離されて開
弁し、流入路５からの液体が弁ケーシング２０１の内周
とボール弁体２０２ａ，２０２ｂとの間を通って吸込口
１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁９ａに向けて
噴出される。
【００１９】この時、吸込口１８の出口部１８ａは、吸
込み液を液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある
円周壁９ａに向けて噴出するよう開口されているので、
該出口部１８ａより噴出される液体は、図２、図３及び
図４にその流れ方向を矢印Ｓで示すごとく液室９内の円
周壁９ａに沿って旋回し、この旋回作用により液室９内
で均一に撹拌混合される。図２は隔膜７を伸長させて液
体を吸込む行程の状態を、図３は隔膜７を収縮させて液
体を吐出する行程の状態を示しており、図４は図２にお
けるＨ−Ｈ線断面図である。なお、図２及び図３では吸
込用逆止弁２０として弁ケーシング２０１内にボール弁
体２０２を１個だけ備えるものが示されている。
込み液を液室９内の、軸線Ｂ方向とは異なる方向にある
円周壁９ａに向けて噴出するよう開口されているので、
該出口部１８ａより噴出される液体は、図２、図３及び
図４にその流れ方向を矢印Ｓで示すごとく液室９内の円
周壁９ａに沿って旋回し、この旋回作用により液室９内
で均一に撹拌混合される。図２は隔膜７を伸長させて液
体を吸込む行程の状態を、図３は隔膜７を収縮させて液
体を吐出する行程の状態を示しており、図４は図２にお
けるＨ−Ｈ線断面図である。なお、図２及び図３では吸
込用逆止弁２０として弁ケーシング２０１内にボール弁
体２０２を１個だけ備えるものが示されている。
【００２０】因みに、従来のこの種ポンプの吸込口１８
の出口部は、吸込用逆止弁２０の突出先端部の端面２０
ａに開口され、隔膜７の軸線Ｂ方向（往復運動方向）と
平行な方向に吸込み液を液室９内に噴出するように開口
されている。このため、吸込口１８の出口部からの噴出
液は隔膜７の閉鎖上端部７ｂに当たったのち、そのまま
吐出口１９に向かって流出するため、液室９内では撹拌
作用が得難く、十分に混合することができなかった。
の出口部は、吸込用逆止弁２０の突出先端部の端面２０
ａに開口され、隔膜７の軸線Ｂ方向（往復運動方向）と
平行な方向に吸込み液を液室９内に噴出するように開口
されている。このため、吸込口１８の出口部からの噴出
液は隔膜７の閉鎖上端部７ｂに当たったのち、そのまま
吐出口１９に向かって流出するため、液室９内では撹拌
作用が得難く、十分に混合することができなかった。
【００２１】次に、上記構成の往復動ポンプの動作につ
いて説明する。いま、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から加圧空気をシリンダ１１の内部
に空気孔１４を介して供給すると、ピストン１２は図１
のｘ方向へ上昇し、隔膜７が同一方向に伸長動作するこ
とにより、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入っ
てくる種類の異なる二種以上の液体を吸込用逆止弁２０
を経て吸込口１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁
９ａに向けて噴出する。このとき、前述のように吸込口
１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液は、液室９内
の円周壁９ａに沿って旋回流を生起し、この旋回作用に
より液室９内で撹拌される。したがって、供給管５Ａ、
５Ｂから別々に流入路５に入ってくる二種以上の液体も
液室９内で均一に速やかに撹拌混合されることになる。
いて説明する。いま、コンプレッサーなどの加圧空気供
給装置（図示省略）から加圧空気をシリンダ１１の内部
に空気孔１４を介して供給すると、ピストン１２は図１
のｘ方向へ上昇し、隔膜７が同一方向に伸長動作するこ
とにより、供給管５Ａ、５Ｂから別々に流入路５に入っ
てくる種類の異なる二種以上の液体を吸込用逆止弁２０
を経て吸込口１８の出口部１８ａから液室９内の円周壁
９ａに向けて噴出する。このとき、前述のように吸込口
１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液は、液室９内
の円周壁９ａに沿って旋回流を生起し、この旋回作用に
より液室９内で撹拌される。したがって、供給管５Ａ、
５Ｂから別々に流入路５に入ってくる二種以上の液体も
液室９内で均一に速やかに撹拌混合されることになる。
【００２２】上記加圧空気を空気室１０内に空気孔１５
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、隔膜７が同一方向に収縮
動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌しなが
ら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ１１
内のピストン１２の往復運動によって隔膜７が伸縮往復
運動することにより、吸込口１８からの吸込み行程と吐
出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して所定の往
復動ポンプ作用が行われる。
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、隔膜７が同一方向に収縮
動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌しなが
ら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ１１
内のピストン１２の往復運動によって隔膜７が伸縮往復
運動することにより、吸込口１８からの吸込み行程と吐
出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して所定の往
復動ポンプ作用が行われる。
【００２３】（第２実施例）図５は本発明に係る流体機
器として往復動ポンプＰの脈動を減少するアキュムレー
タＡに適用した場合の第２実施例を示す。往復動ポンプ
Ｐ自体については第１実施例の往復動ポンプの構造とほ
ぼ同様であるので、同一部材に同一符号を付するをもっ
てその説明を省略する。
器として往復動ポンプＰの脈動を減少するアキュムレー
タＡに適用した場合の第２実施例を示す。往復動ポンプ
Ｐ自体については第１実施例の往復動ポンプの構造とほ
ぼ同様であるので、同一部材に同一符号を付するをもっ
てその説明を省略する。
【００２４】アキュムレータＡのアキュムレータ本体２
５は、上端が上壁２６で塞がれた円筒状のケーシング２
７と、このケーシング２７の開放下端を気密状に塞ぐ底
壁体２８とを有してなる。ケーシング２７内にその軸線
Ｃ方向に沿って伸縮変形可能な有底円筒状のベローズよ
りなる隔膜２９が軸線Ｃを縦にして配設されている。こ
の隔膜２９の下端開口周縁部２９ａは環状固定板３０に
より底壁体２８の上側面に気密状に押付け固定すること
により、アキュムレータ本体２５の内部空間が隔膜２９
の内側の液室３１と隔膜２９の外側の空気室３２とに隔
離される。
５は、上端が上壁２６で塞がれた円筒状のケーシング２
７と、このケーシング２７の開放下端を気密状に塞ぐ底
壁体２８とを有してなる。ケーシング２７内にその軸線
Ｃ方向に沿って伸縮変形可能な有底円筒状のベローズよ
りなる隔膜２９が軸線Ｃを縦にして配設されている。こ
の隔膜２９の下端開口周縁部２９ａは環状固定板３０に
より底壁体２８の上側面に気密状に押付け固定すること
により、アキュムレータ本体２５の内部空間が隔膜２９
の内側の液室３１と隔膜２９の外側の空気室３２とに隔
離される。
【００２５】アキュムレータ本体２５の底壁体２８には
液体の流入路３３及び流出路３４が形成される。底壁体
２８の液室３１に臨む内壁２８ａには流入口２３及び流
出口２４がそれぞれ流入路３３の出口側及び流出路３４
の入口側に連通するよう設けられている。流入路３３の
入口側は上記往復動ポンプＰの流出路６の出口側に継手
６５を介して連通状に配管接続される。
液体の流入路３３及び流出路３４が形成される。底壁体
２８の液室３１に臨む内壁２８ａには流入口２３及び流
出口２４がそれぞれ流入路３３の出口側及び流出路３４
の入口側に連通するよう設けられている。流入路３３の
入口側は上記往復動ポンプＰの流出路６の出口側に継手
６５を介して連通状に配管接続される。
【００２６】そして、上記流入口２３の出口部２３ａ
は、液室３１内の、軸線Ｃ方向とは異なる方向にある円
周壁３１ａすなわち図示例ではベローズよりなる隔膜２
９の内周壁に向けて流入液を噴出するよう開口される。
具体的には、流入口２３の出口部２３ａは、内壁２８ａ
より液室３１内に突出するよう底壁体２８に固定された
吐出用逆止弁２１の突出先端部の側面に開口されてい
る。すなわち、吐出用逆止弁２１は上記吸込用逆止弁２
０の構造と同じ構造を有するものである。吐出用逆止弁
２１は筒状の弁ケーシング２２０と上下のボール弁体２
２１ａ，２２１ｂよりなり、弁ケーシング２２０はこれ
の軸線Ｇを縦にして底壁体２８に固定されている。
は、液室３１内の、軸線Ｃ方向とは異なる方向にある円
周壁３１ａすなわち図示例ではベローズよりなる隔膜２
９の内周壁に向けて流入液を噴出するよう開口される。
具体的には、流入口２３の出口部２３ａは、内壁２８ａ
より液室３１内に突出するよう底壁体２８に固定された
吐出用逆止弁２１の突出先端部の側面に開口されてい
る。すなわち、吐出用逆止弁２１は上記吸込用逆止弁２
０の構造と同じ構造を有するものである。吐出用逆止弁
２１は筒状の弁ケーシング２２０と上下のボール弁体２
２１ａ，２２１ｂよりなり、弁ケーシング２２０はこれ
の軸線Ｇを縦にして底壁体２８に固定されている。
【００２７】かくして、上記流入口２３の出口部２３ａ
が弁ケーシング２２０の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２２１ａ内の上下の弁座２
３０，２３２に上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂが
自重により密着して往復動ポンプＰの流出路６からの混
合液の逆流を防ぐ。混合液の液室３１への吐出時にはボ
ール弁体２２１ａ，２２１ｂが弁座２３０，２３２から
それぞれ上方へ離されて開弁し、往復動ポンプＰからの
混合液が、弁ケーシング２２０の内周とボール弁体２２
１ａ，２２１ｂとの間を通って弁ケーシング２２０の流
入口２３の出口部２３ａから液室３１内の円周壁３１ａ
に向かって噴出される。
が弁ケーシング２２０の上端の側面に開口されている。
しかるときは、弁ケーシング２２１ａ内の上下の弁座２
３０，２３２に上下のボール弁体２２１ａ，２２１ｂが
自重により密着して往復動ポンプＰの流出路６からの混
合液の逆流を防ぐ。混合液の液室３１への吐出時にはボ
ール弁体２２１ａ，２２１ｂが弁座２３０，２３２から
それぞれ上方へ離されて開弁し、往復動ポンプＰからの
混合液が、弁ケーシング２２０の内周とボール弁体２２
１ａ，２２１ｂとの間を通って弁ケーシング２２０の流
入口２３の出口部２３ａから液室３１内の円周壁３１ａ
に向かって噴出される。
【００２８】この時、流入口２３の出口部２３ａは、流
入液を液室３１内の、軸線Ｃ心方向とは異なる方向にあ
る円周壁３１ａに向けて噴出するよう開口されているの
で、流入口２３より噴出される混合液は、液室３１内の
円周壁３１ａに沿って旋回し、この旋回により液室３１
内で更に撹拌される。
入液を液室３１内の、軸線Ｃ心方向とは異なる方向にあ
る円周壁３１ａに向けて噴出するよう開口されているの
で、流入口２３より噴出される混合液は、液室３１内の
円周壁３１ａに沿って旋回し、この旋回により液室３１
内で更に撹拌される。
【００２９】図６に示すように、アキュムレータＡの上
記ケーシング２７の上壁２６の外面中央付近には空気出
入口３５を形成し、この空気出入口３５内にフランジ３
６付きのバルブケース３７を嵌合するとともに、フラン
ジ３６を上壁２６の外側にボルト３８等で着脱可能に締
結固定している。
記ケーシング２７の上壁２６の外面中央付近には空気出
入口３５を形成し、この空気出入口３５内にフランジ３
６付きのバルブケース３７を嵌合するとともに、フラン
ジ３６を上壁２６の外側にボルト３８等で着脱可能に締
結固定している。
【００３０】バルブケース３７には給気口３９と排気口
４０とを平行に並べて形成している。給気口３９には、
上記液室３１の容量が所定範囲を越えて増大したとき、
上記空気室３２内へ移送液の最大圧力値以上の圧力の空
気を供給して空気室３２内の封入圧を上昇させる自動給
気バルブ機構４１が設けられる。排気口４０には、液室
３１の容量が所定範囲を越えて減少したとき、空気室３
２内から排気して該空気室３２内の封入圧を下降させる
自動排気バルブ機構４２が設けられる。
４０とを平行に並べて形成している。給気口３９には、
上記液室３１の容量が所定範囲を越えて増大したとき、
上記空気室３２内へ移送液の最大圧力値以上の圧力の空
気を供給して空気室３２内の封入圧を上昇させる自動給
気バルブ機構４１が設けられる。排気口４０には、液室
３１の容量が所定範囲を越えて減少したとき、空気室３
２内から排気して該空気室３２内の封入圧を下降させる
自動排気バルブ機構４２が設けられる。
【００３１】次に、上記構成の往復動ポンプＰ及びアキ
ュムレータＡの動作について説明する。いま、コンプレ
ッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から加圧空
気をシリンダ１１の内部に空気孔１４を介して供給する
と、ピストン１２は図１のｘ方向へ上昇し、隔膜７が同
一方向に伸長動作することにより、供給管５Ａ、５Ｂか
ら別々に流入路５に入ってくる種類の異なる二種以上の
液体を吸込用逆止弁２０を経て吸込口１８の出口部１８
ａから液室９内の円周壁９ａに向けて噴出する。このと
き、吸込口１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液
は、液室９内の円周壁９ａに沿って旋回流を生起し、こ
の旋回により液室９内で撹拌されるので、供給管５Ａ、
５Ｂから別々に流入路５に入ってくる二種以上の液体も
液室９内で均一に速やかに撹拌混合されることになる。
ュムレータＡの動作について説明する。いま、コンプレ
ッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から加圧空
気をシリンダ１１の内部に空気孔１４を介して供給する
と、ピストン１２は図１のｘ方向へ上昇し、隔膜７が同
一方向に伸長動作することにより、供給管５Ａ、５Ｂか
ら別々に流入路５に入ってくる種類の異なる二種以上の
液体を吸込用逆止弁２０を経て吸込口１８の出口部１８
ａから液室９内の円周壁９ａに向けて噴出する。このと
き、吸込口１８の出口部１８ａから噴出する吸込み液
は、液室９内の円周壁９ａに沿って旋回流を生起し、こ
の旋回により液室９内で撹拌されるので、供給管５Ａ、
５Ｂから別々に流入路５に入ってくる二種以上の液体も
液室９内で均一に速やかに撹拌混合されることになる。
【００３２】上記加圧空気を空気室１０内に空気孔１５
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、隔膜７が同一方向に収縮
動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌しなが
ら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ１１
内のピストン１２の往復運動によって隔膜７が伸縮往復
運動することにより、吸込口１８からの吸込み行程と吐
出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して所定の往
復動ポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプＰ
の作動により混合液が所定の部位に向けて送給される
と、往復動ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによ
る脈動を発生する。
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、隔膜７が同一方向に収縮
動作して液室９内の混合液を旋回させて更に撹拌しなが
ら吐出口１９より吐出する。このように、シリンダ１１
内のピストン１２の往復運動によって隔膜７が伸縮往復
運動することにより、吸込口１８からの吸込み行程と吐
出口１９への吐出し行程とを交互に繰り返して所定の往
復動ポンプ作用が行われる。このような往復動ポンプＰ
の作動により混合液が所定の部位に向けて送給される
と、往復動ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰り返しによ
る脈動を発生する。
【００３３】ここで、往復動ポンプＰにおける液室９内
から吐出口１９、流出路６を経て吐出される混合液は、
アキュムレータＡの流入路３３を経て吐出用逆止弁２１
の流入口２３の出口部２３ａから液室３１内の円周壁３
１ａに向けて噴出され、この液室３１に一時的に貯溜さ
れたのち流出口２４から流出路３４へと流出される。こ
のとき、移送混合液の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある
場合、移送混合液は液室３１の容量を増大するように隔
膜２９を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。
この時、液室３１から流出される移送混合液の流量は往
復動ポンプＰから送給されてくる流量よりも少なくな
る。前述のように、流入口２３の出口部２３ａからの移
送混合液は液室３１内の円周壁３１ａに向けて噴出され
るので、この混合液は液室３１内の円周壁３１ａに沿っ
て旋回流を生起し、この旋回により液室３１内で再び撹
拌される。したがって、往復動ポンプＰの流出路６から
の移送混合液は液室３１内で更に均一に撹拌混合されて
循環されることになる。
から吐出口１９、流出路６を経て吐出される混合液は、
アキュムレータＡの流入路３３を経て吐出用逆止弁２１
の流入口２３の出口部２３ａから液室３１内の円周壁３
１ａに向けて噴出され、この液室３１に一時的に貯溜さ
れたのち流出口２４から流出路３４へと流出される。こ
のとき、移送混合液の吐出圧が吐出圧曲線の山部にある
場合、移送混合液は液室３１の容量を増大するように隔
膜２９を伸長変形させるので、その圧力が吸収される。
この時、液室３１から流出される移送混合液の流量は往
復動ポンプＰから送給されてくる流量よりも少なくな
る。前述のように、流入口２３の出口部２３ａからの移
送混合液は液室３１内の円周壁３１ａに向けて噴出され
るので、この混合液は液室３１内の円周壁３１ａに沿っ
て旋回流を生起し、この旋回により液室３１内で再び撹
拌される。したがって、往復動ポンプＰの流出路６から
の移送混合液は液室３１内で更に均一に撹拌混合されて
循環されることになる。
【００３４】また、上記移送混合液の吐出圧が吐出圧曲
線の谷部にさしかかると、アキュムレータＡの隔膜２９
の伸長変形に伴い圧縮された空気室３２内の封入圧より
も移送混合液の圧力が低くなるので、隔膜２９は収縮変
形する。この時、往復動ポンプＰから液室３１内に流入
する移送混合液の流量よりも液室３１から流出する流量
が多くなる。この繰り返し動作、つまり液室３１の容量
変化によって上記脈動が吸収され低減されることにな
る。
線の谷部にさしかかると、アキュムレータＡの隔膜２９
の伸長変形に伴い圧縮された空気室３２内の封入圧より
も移送混合液の圧力が低くなるので、隔膜２９は収縮変
形する。この時、往復動ポンプＰから液室３１内に流入
する移送混合液の流量よりも液室３１から流出する流量
が多くなる。この繰り返し動作、つまり液室３１の容量
変化によって上記脈動が吸収され低減されることにな
る。
【００３５】一方、往復動ポンプＰからの吐出圧が下降
変動すると、移送混合液によって液室３１の容量が減少
し、隔膜２９が大きく収縮変形することになる。この隔
膜２９の収縮変形量が所定範囲Ｆを越えると、隔膜２９
の閉鎖上端部２９ｂの収縮方向ｂへの移動に伴って自動
排気バルブ機構４２のスライダー５６が開成用スプリン
グ５８の付勢作用により隔膜２９の収縮方向ｂへ移動
し、スライダー５６の閉鎖端部５６ａの内面が排気弁棒
５３の鍔部５２に係合する。これによって、排気弁棒５
３がｂ方向に移動して排気弁体５１が排気口４０を開成
するので、空気室３２内の封入空気が排気口４０から大
気中に排出されて空気室３２内の封入圧が低下する。し
たがって、隔膜２９のストロークＦを越えての収縮変形
量が規制されて、液室３１の容量が過度に減少すること
が抑えられる。そして、空気室３２内の封入圧の減少に
伴い隔膜２９が基準位置Ｓに向けて伸長するので、スラ
イダー５６が隔膜２９の閉鎖上端部２９ｂで押されてａ
方向に移動しながら開成用スプリング５８を圧縮させ、
排気弁体５１が閉成用スプリング５７の付勢作用で再び
排気口４０を閉成する。これによって空気室３２内の封
入圧が調整状態に固定される。その結果、往復動ポンプ
Ｐの液室９からの吐出圧の変動にかかわらず、脈動を効
率的に吸収して脈動幅が小さく抑えられることになる。
変動すると、移送混合液によって液室３１の容量が減少
し、隔膜２９が大きく収縮変形することになる。この隔
膜２９の収縮変形量が所定範囲Ｆを越えると、隔膜２９
の閉鎖上端部２９ｂの収縮方向ｂへの移動に伴って自動
排気バルブ機構４２のスライダー５６が開成用スプリン
グ５８の付勢作用により隔膜２９の収縮方向ｂへ移動
し、スライダー５６の閉鎖端部５６ａの内面が排気弁棒
５３の鍔部５２に係合する。これによって、排気弁棒５
３がｂ方向に移動して排気弁体５１が排気口４０を開成
するので、空気室３２内の封入空気が排気口４０から大
気中に排出されて空気室３２内の封入圧が低下する。し
たがって、隔膜２９のストロークＦを越えての収縮変形
量が規制されて、液室３１の容量が過度に減少すること
が抑えられる。そして、空気室３２内の封入圧の減少に
伴い隔膜２９が基準位置Ｓに向けて伸長するので、スラ
イダー５６が隔膜２９の閉鎖上端部２９ｂで押されてａ
方向に移動しながら開成用スプリング５８を圧縮させ、
排気弁体５１が閉成用スプリング５７の付勢作用で再び
排気口４０を閉成する。これによって空気室３２内の封
入圧が調整状態に固定される。その結果、往復動ポンプ
Ｐの液室９からの吐出圧の変動にかかわらず、脈動を効
率的に吸収して脈動幅が小さく抑えられることになる。
【００３６】上記実施例のアキュムレータでは空気室３
２に自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４よりなる圧力自動調整機構を付けているが、空気室３
２は空気出入口３５さえあればよく、圧力自動調整機構
は必ずしも必要とするものではない。その圧力調整は手
動で行うものであってもよい。
２に自動給気バルブ機構３３及び自動排気バルブ機構３
４よりなる圧力自動調整機構を付けているが、空気室３
２は空気出入口３５さえあればよく、圧力自動調整機構
は必ずしも必要とするものではない。その圧力調整は手
動で行うものであってもよい。
【００３７】（第３実施例）図７は第３実施例を示して
おり、この実施例ではポンプ本体１に種類の異なる二液
以上の各液体の流入路５を個別に設け、各流入路５の出
口側は単一の吸込口１８の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成し、各流入路５の入口側に各液体の供給管
５Ａ，５Ｂをそれぞれ接続するようにしてあり、この点
が、第１実施例のごとく単一の流入路５の入口側に対し
各液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流するよう接続配管した
ものとは異なっており、それ以外の構成は第１実施例の
ものと同様であるため、同一部材に同一符号を付するを
もってその説明を省略する。
おり、この実施例ではポンプ本体１に種類の異なる二液
以上の各液体の流入路５を個別に設け、各流入路５の出
口側は単一の吸込口１８の入口側で合流するよう該入口
側に連通形成し、各流入路５の入口側に各液体の供給管
５Ａ，５Ｂをそれぞれ接続するようにしてあり、この点
が、第１実施例のごとく単一の流入路５の入口側に対し
各液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流するよう接続配管した
ものとは異なっており、それ以外の構成は第１実施例の
ものと同様であるため、同一部材に同一符号を付するを
もってその説明を省略する。
【００３８】第２実施例のアキュムレータＡでは往復動
ポンプＰを介して複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを流入
路３３の入口側に合流すべく配管接続してあるが、これ
に代えてアキュムレータ本体２５の流入路３３の入口側
に直接、複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流すべく配
管接続する場合もある。
ポンプＰを介して複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを流入
路３３の入口側に合流すべく配管接続してあるが、これ
に代えてアキュムレータ本体２５の流入路３３の入口側
に直接、複数種液体の供給管５Ａ，５Ｂを合流すべく配
管接続する場合もある。
【００３９】（第４実施例）各実施例では、往復動ポン
プＰにおいて吸込口１８の出口部１８ａが吸込用逆止弁
２０の突出先端部の側面に形成されているが、図８の第
４実施例に示すごとく吸込口１８の出口部１８ａはポン
プ本体１の内壁４ａ自体に液室９内の円周壁９ａに向け
て液を噴出するよう斜め上向きに開口するものであって
もよい。また、アキュムレータＡにおいても流出口２３
の出口部２３ａは吐出用逆止弁２１の突出先端部の側面
に形成するに代えて、アキュムレータ本体２５の内壁２
８ａ自体に液室３１内の円周壁３１ａに向けて液を噴出
するよう斜め上向きに開口するものであってもよい。
プＰにおいて吸込口１８の出口部１８ａが吸込用逆止弁
２０の突出先端部の側面に形成されているが、図８の第
４実施例に示すごとく吸込口１８の出口部１８ａはポン
プ本体１の内壁４ａ自体に液室９内の円周壁９ａに向け
て液を噴出するよう斜め上向きに開口するものであって
もよい。また、アキュムレータＡにおいても流出口２３
の出口部２３ａは吐出用逆止弁２１の突出先端部の側面
に形成するに代えて、アキュムレータ本体２５の内壁２
８ａ自体に液室３１内の円周壁３１ａに向けて液を噴出
するよう斜め上向きに開口するものであってもよい。
【００４０】各実施例では、往復動ポンプＰの隔膜７及
びアキュムレータＡの隔膜２９はそれぞれの軸線Ｂ，Ｃ
を縦（垂直）にして設けてあるが、そのほかに、往復動
ポンプＰの隔膜７及びアキュムレータＡの隔膜２９はそ
れぞれの軸線Ｂ，Ｃを横（水平）にするタイプの往復動
ポンプＰやアキュムレータＡにも同様に適用できること
は言うまでもない。
びアキュムレータＡの隔膜２９はそれぞれの軸線Ｂ，Ｃ
を縦（垂直）にして設けてあるが、そのほかに、往復動
ポンプＰの隔膜７及びアキュムレータＡの隔膜２９はそ
れぞれの軸線Ｂ，Ｃを横（水平）にするタイプの往復動
ポンプＰやアキュムレータＡにも同様に適用できること
は言うまでもない。
【００４１】また、往復動ポンプＰの吸込用逆止弁２０
及び吐出用逆止弁２１はそれぞれ、ボール付勢用ばねを
用いないでボール弁体２０２，２２１による自重閉止機
構を採用してあるが、これに限定されず、ボール付勢用
ばねを用いる機構の吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁
２１であってもよい。吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止
弁２１はそれぞれ、上記実施例ではボール弁体２０２，
２２１を上下２段に備えて二重閉止構造にしてあるが、
これに限定されるものではなく、単一のボール弁体２０
２を備えるものであってもよい。なお、往復動ポンプＰ
の隔膜７、アキュムレータＡの隔膜２９はそれぞれベロ
ーズに限られず、ダイヤフラムで構成されるものであっ
てもよい。
及び吐出用逆止弁２１はそれぞれ、ボール付勢用ばねを
用いないでボール弁体２０２，２２１による自重閉止機
構を採用してあるが、これに限定されず、ボール付勢用
ばねを用いる機構の吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁
２１であってもよい。吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止
弁２１はそれぞれ、上記実施例ではボール弁体２０２，
２２１を上下２段に備えて二重閉止構造にしてあるが、
これに限定されるものではなく、単一のボール弁体２０
２を備えるものであってもよい。なお、往復動ポンプＰ
の隔膜７、アキュムレータＡの隔膜２９はそれぞれベロ
ーズに限られず、ダイヤフラムで構成されるものであっ
てもよい。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、往復動ポンプやアキュ
ムレータに別々に供給されてくる二液以上の液体も各液
室内で迅速に均一に撹拌混合され、しかも敢えて撹拌部
材を必要としないという効果を奏する。
ムレータに別々に供給されてくる二液以上の液体も各液
室内で迅速に均一に撹拌混合され、しかも敢えて撹拌部
材を必要としないという効果を奏する。
【図１】第１実施例の往復動ポンプの縦断正面図であ
る。
る。
【図２】図１の往復動ポンプの吸込み行程での液の流れ
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図３】図１の往復動ポンプの吐出行程での液の流れ状
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図４】図３におけるＨ−Ｈ線断面図である。
【図５】第２実施例の往復動ポンプとアキュムレータの
縦断正面図である。
縦断正面図である。
【図６】図５のアキュムレータの圧力自動調整機構の拡
大縦断正面図である。
大縦断正面図である。
【図７】第３実施例の往復動ポンプを図４に対応して示
す断面図である。
す断面図である。
【図８】第４実施例の往復動ポンプの要部縦断正面図で
ある。
ある。
Ｐ 往復動ポンプ Ｂ ポンプ本体の軸線 １ ポンプ本体 ４ 往復動ポンプの底壁体 ４ａ 内壁 ５ 往復動ポンプの流入路 ６ 往復動ポンプの流出路 ７ 往復動ポンプの隔膜 ９ 往復動ポンプの液室 １８ 吸込口 １９ 吐出口 ２０ 吸込用逆止弁 ２１ 吐出用逆止弁 Ａ アキュムレータ Ｃ アキュムレータ本体の軸線 ２３ アキュムレータの流入口 ２４ アキュムレータの流出口 ２５ アキュムレータ本体 ２９ アキュムレータの隔膜 ３１ アキュムレータの液室 ３２ アキュムレータの空気室 ３３ アキュムレータの流入路 ３４ アキュムレータの流出路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H077 AA08 BB10 CC03 CC07 CC18 DD14 EE40 FF03 FF04 FF07 FF09 FF12 FF13 FF14 FF22 FF34 FF45 FF55 3H086 AA30 AB06 AD14 AD15 AD34 AD38 4G035 AC33
Claims (6)
- 【請求項１】 ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運
動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がポンプ本体の
内壁との間に液室を形成するよう備えられるとともに、
ポンプ本体の前記液室に臨む内壁に吸込口及び吐出口が
設けられており、前記隔膜の往復運動により前記吸込口
から前記液室内に種類の異なる二液以上の液体を吸込む
行程と、前記液室内の液体を吐出口から吐出す行程とを
交互に行うようにしてある往復動ポンプよりなる流体機
器であって、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、 前記吸込口の入口部側に、二液以上の各液体の供給管が
合流するよう配管接続されていることを特徴とする流体
機器。 - 【請求項２】 ポンプ本体の内部に、軸線方向に往復運
動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がポンプ本体の
内壁との間に液室を形成するよう備えられるとともに、
ポンプ本体の前記液室に臨む内壁に吸込口及び吐出口が
設けられており、前記隔膜の往復運動により前記吸込口
から前記液室内に種類の異なる二液以上の液体を吸込む
行程と、前記液室内の液体を吐出口から吐出す行程とを
交互に行うようにしてある往復動ポンプよりなる流体機
器であって、 前記吸込口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、 ポンプ本体に二液以上の各液体の流入路が個別に設けら
れ、各流入路の出口側が前記吸込口の入口側で合流する
よう該入口側に連通形成されていることを特徴とする流
体機器。 - 【請求項３】 前記吸込口の液室に臨む出口部が、ポン
プ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出するよう
固定された吸込用逆止弁の突出先端部の側面に設けられ
ている請求項１又は２記載の流体機器。 - 【請求項４】 アキュムレータ本体の内部に、軸線方向
に往復動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がこれの
内側に種類の異なる二液以上の液体が流入する液室を、
外側に空気室をそれぞれ形成するよう備えられるととも
に、アキュムレータ本体の前記液室に臨む内壁に流入口
及び流出口が設けられており、前記液室内の液圧に対し
て空気室内の空気圧によってバランスするようにしてあ
るアキュムレータよりなる流体機器であって、 前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、 前記流入口の入口部側に、種類の異なる二液以上の各液
体の供給管が合流するよう配管接続されていることを特
徴とする流体機器。 - 【請求項５】 アキュムレータ本体の内部に、軸線方向
に往復動するベローズ、ダイヤフラム等の隔膜がこれの
内側に種類の異なる二液以上の液体が流入する液室を、
外側に空気室をそれぞれ形成するよう備えられるととも
に、アキュムレータ本体の前記液室に臨む内壁に流入口
及び流出口が設けられており、前記液室内の液圧に対し
て空気室内の空気圧によってバランスするようにしてあ
るアキュムレータよりなる流体機器であって、 前記流入口の液室に臨む出口部が、前記液室内の、前記
軸線方向とは異なる方向にある円周壁に向けて吸込み液
を噴出するよう開口されており、 アキュムレータ本体に二液以上の各液体の流入路が個別
に設けられ、各流入路の出口側が前記流入口の入口側で
合流するよう該入口側に連通形成されていることを特徴
とする流体機器。 - 【請求項６】 前記流入口の液室に臨む出口部が、アキ
ュムレータ本体の前記液室に臨む内壁より液室内に突出
するよう固定された吐出用逆止弁の突出先端部の側面に
設けられている請求項４又は５記載の流体機器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000034838A JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
| US09/774,073 US6572347B2 (en) | 2000-02-14 | 2001-01-31 | Fluid apparatus such as a pump or an accumulator |
| KR10-2001-0004423A KR100388443B1 (ko) | 2000-02-14 | 2001-01-31 | 펌프, 어큐뮬레이터 등의 유체기기 |
| DE60129489T DE60129489T2 (de) | 2000-02-14 | 2001-02-05 | Balgpumpe für die Dosierung verschiedener Flüssigkeiten |
| EP01102505A EP1126164B1 (en) | 2000-02-14 | 2001-02-05 | Bellows pump for dispensing different liquids |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000034838A JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001227472A true JP2001227472A (ja) | 2001-08-24 |
| JP3399897B2 JP3399897B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=18559116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000034838A Expired - Lifetime JP3399897B2 (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6572347B2 (ja) |
| EP (1) | EP1126164B1 (ja) |
| JP (1) | JP3399897B2 (ja) |
| KR (1) | KR100388443B1 (ja) |
| DE (1) | DE60129489T2 (ja) |
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| JP2007211756A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Nidec Sankyo Corp | ポンプ装置の駆動方法 |
| WO2007135778A1 (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Nidec Sankyo Corporation | ミキシングポンプ装置および燃料電池 |
| WO2007135779A1 (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Nidec Sankyo Corporation | ミキシングポンプ装置および燃料電池 |
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| DE2421197A1 (de) * | 1974-05-02 | 1975-11-20 | Goswin & Co | Mischbatterie |
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2000
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-
2001
- 2001-01-31 US US09/774,073 patent/US6572347B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-01-31 KR KR10-2001-0004423A patent/KR100388443B1/ko active IP Right Grant
- 2001-02-05 DE DE60129489T patent/DE60129489T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-05 EP EP01102505A patent/EP1126164B1/en not_active Expired - Lifetime
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