JP2003184734A - ポンプとその駆動方式。 - Google Patents
ポンプとその駆動方式。Info
- Publication number
- JP2003184734A JP2003184734A JP2001346472A JP2001346472A JP2003184734A JP 2003184734 A JP2003184734 A JP 2003184734A JP 2001346472 A JP2001346472 A JP 2001346472A JP 2001346472 A JP2001346472 A JP 2001346472A JP 2003184734 A JP2003184734 A JP 2003184734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- pump
- movable body
- pump space
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体の定量送給を正確になし得るポンプを実
現する。 【解決手段】 ポンプ空間と、このポンプ空間をポンプ
駆動手段により往復動してポンプ空間への流体の吸引・
吐出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸入口お
よび流体吐出口を具えたポンプにおいて、前記逆止弁機
構を、前記流体吸入口および流体吐出口に対して接離し
前記両口の開閉をなす弁体とこの弁体の駆動手段と、前
記ポンプ駆動手段および弁体の駆動手段の動作制御手段
とで構成し、流体吸入口および流体吐出口において弁に
よる所要の開閉がなされた後に移送流体の吸引・吐出を
行うようにしたポンプにより、上記課題を解決する。
現する。 【解決手段】 ポンプ空間と、このポンプ空間をポンプ
駆動手段により往復動してポンプ空間への流体の吸引・
吐出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸入口お
よび流体吐出口を具えたポンプにおいて、前記逆止弁機
構を、前記流体吸入口および流体吐出口に対して接離し
前記両口の開閉をなす弁体とこの弁体の駆動手段と、前
記ポンプ駆動手段および弁体の駆動手段の動作制御手段
とで構成し、流体吸入口および流体吐出口において弁に
よる所要の開閉がなされた後に移送流体の吸引・吐出を
行うようにしたポンプにより、上記課題を解決する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、定量の流体を適
正に送給できるポンプに関し、詳しくはポンプ空間を往
復動してポンプ空間への流体の吸引・排出をなす可動体
の往復動のタイミングにあわせて逆止弁機構を所定の駆
動手段により動作させて流体の定量送給を正確に実行で
きるようにしたポンプに関するものである。
正に送給できるポンプに関し、詳しくはポンプ空間を往
復動してポンプ空間への流体の吸引・排出をなす可動体
の往復動のタイミングにあわせて逆止弁機構を所定の駆
動手段により動作させて流体の定量送給を正確に実行で
きるようにしたポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等で、強酸、超純水等の
送液を予め定めた量だけ移送するポンプとして、例えば
図４に示すものが知られている。図３は、フッ素樹脂製
のベローズを利用したベローズポンプの要部を示す断面
図である。シャーシ１には、ポンプ駆動機構を介して駆
動軸３が往復動可能に支持されている。
送液を予め定めた量だけ移送するポンプとして、例えば
図４に示すものが知られている。図３は、フッ素樹脂製
のベローズを利用したベローズポンプの要部を示す断面
図である。シャーシ１には、ポンプ駆動機構を介して駆
動軸３が往復動可能に支持されている。
【０００３】前記駆動軸３の先端には、ベローズ５の可
動体６が固定されている。ベローズ５の蛇腹部７は、そ
の一端が可動体６と一体に連結され、他端はシャーシ１
に固定されている。 ８はポンプヘッドで、このポンプ
ヘッド８の内壁と可動体６とでポンプ空間１０が形成さ
れている。
動体６が固定されている。ベローズ５の蛇腹部７は、そ
の一端が可動体６と一体に連結され、他端はシャーシ１
に固定されている。 ８はポンプヘッドで、このポンプ
ヘッド８の内壁と可動体６とでポンプ空間１０が形成さ
れている。
【０００４】ポンプ空間１０の下端側は、流入側逆止弁
としてのシールボール１１を介して移送流体の吸入口１
２と連通しており、同じく、ポンプ空間１０の上端側
は、吐出側逆止弁としてのシールボール１３を介して移
送流体の吐出口１４と連通している。なお、図示しない
が前記各シールボール１１、１３には樹脂バネが付設さ
れていて、この樹脂バネにより各シールボール１１、１
３は、それぞれ吸入口１２と吐出口１４を閉塞する方向
に常時押圧付勢されている。
としてのシールボール１１を介して移送流体の吸入口１
２と連通しており、同じく、ポンプ空間１０の上端側
は、吐出側逆止弁としてのシールボール１３を介して移
送流体の吐出口１４と連通している。なお、図示しない
が前記各シールボール１１、１３には樹脂バネが付設さ
れていて、この樹脂バネにより各シールボール１１、１
３は、それぞれ吸入口１２と吐出口１４を閉塞する方向
に常時押圧付勢されている。
【０００５】不図示の駆動手段によりポンプ駆動機構を
介して駆動軸３が往復動すると、蛇腹部７が伸縮して可
動体６が往復運動するので、ポンプ空間１０の容積が周
期的に変化する。これにより、吸入口１２から移送流体
が流入側逆止弁としてのシールボール１１を介してポン
プ空間１０内に導入され、この導入された移送流体は吐
出側逆止弁としてのシールボール１３を介して吐出口１
４からポンプ外に排出される。
介して駆動軸３が往復動すると、蛇腹部７が伸縮して可
動体６が往復運動するので、ポンプ空間１０の容積が周
期的に変化する。これにより、吸入口１２から移送流体
が流入側逆止弁としてのシールボール１１を介してポン
プ空間１０内に導入され、この導入された移送流体は吐
出側逆止弁としてのシールボール１３を介して吐出口１
４からポンプ外に排出される。
【０００６】すなわち、可動体６（図３で可動体６の下
半部で図示）が、ポンプヘッド８の内壁から離開する方
向に往動すると、ポンプ空間１０内は負圧となり、これ
により流入側逆止弁としてのシールボール１１は樹脂バ
ネの付勢力に抗して吸入口１２の開口部から離開し、こ
の離開に併せて移送流体はポンプ空間１０に流入する。
次いで、可動体６（図３で可動体６の上半部で図示）
が、ポンプヘッド８の内壁方向に復動すると、ポンプ空
間１０内の移送流体が押圧され、これにより、流入側逆
止弁としてのシールボール１１は樹脂バネの付勢力およ
び移送流体における押圧力により吸入口１２の開口部に
着座してこれを閉塞する、またこれに併せて、吐出側逆
止弁としてのシールボール１３は、移送流体における押
圧力により樹脂バネの付勢力に抗して吐出口１４の開口
部から離開し、移送流体はポンプ空間１０から吐出口１
４を経てポンプ外に吐出される。以上の動作の繰り返し
により流体の定量移送がなされる。
半部で図示）が、ポンプヘッド８の内壁から離開する方
向に往動すると、ポンプ空間１０内は負圧となり、これ
により流入側逆止弁としてのシールボール１１は樹脂バ
ネの付勢力に抗して吸入口１２の開口部から離開し、こ
の離開に併せて移送流体はポンプ空間１０に流入する。
次いで、可動体６（図３で可動体６の上半部で図示）
が、ポンプヘッド８の内壁方向に復動すると、ポンプ空
間１０内の移送流体が押圧され、これにより、流入側逆
止弁としてのシールボール１１は樹脂バネの付勢力およ
び移送流体における押圧力により吸入口１２の開口部に
着座してこれを閉塞する、またこれに併せて、吐出側逆
止弁としてのシールボール１３は、移送流体における押
圧力により樹脂バネの付勢力に抗して吐出口１４の開口
部から離開し、移送流体はポンプ空間１０から吐出口１
４を経てポンプ外に吐出される。以上の動作の繰り返し
により流体の定量移送がなされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ベローズポンプでは、逆止弁としてのシールボール１
１、１２の開閉動作は移送流体の圧力、シールボールの
自重、樹脂バネの付勢力等によりなされるため、吸入口
１２、吐出口１４の各開口部におけるシールの気密性の
確保に難があり、また、可動体６の往復動に対応するシ
ールボールによる開閉動作にタイムラグが発生して、流
体の吸入量、吐出量が必ずしも安定せず、定量ポンプと
して正確な機能を期待できないという不都合が生じる。
ベローズポンプでは、逆止弁としてのシールボール１
１、１２の開閉動作は移送流体の圧力、シールボールの
自重、樹脂バネの付勢力等によりなされるため、吸入口
１２、吐出口１４の各開口部におけるシールの気密性の
確保に難があり、また、可動体６の往復動に対応するシ
ールボールによる開閉動作にタイムラグが発生して、流
体の吸入量、吐出量が必ずしも安定せず、定量ポンプと
して正確な機能を期待できないという不都合が生じる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明は、ポンプ空間
と、このポンプ空間を往復動してポンプ空間への流体の
吸引・排出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸
入口および流体吐出口を具えたポンプにおいて、前記逆
止弁機構を、前記流体吸入口および流体吐出口に対して
接離し前記両口の開閉をなす弁体とこの弁体の駆動手段
とで構成して、逆止弁機構の弁による流体吸入口および
流体吐出口の開閉が完結した後に可動体を往復動させ
て、移送流体の定量送給を行えるようにしたポンプを提
供して、上記従来の課題を解決しようとするものであ
る。
と、このポンプ空間を往復動してポンプ空間への流体の
吸引・排出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸
入口および流体吐出口を具えたポンプにおいて、前記逆
止弁機構を、前記流体吸入口および流体吐出口に対して
接離し前記両口の開閉をなす弁体とこの弁体の駆動手段
とで構成して、逆止弁機構の弁による流体吸入口および
流体吐出口の開閉が完結した後に可動体を往復動させ
て、移送流体の定量送給を行えるようにしたポンプを提
供して、上記従来の課題を解決しようとするものであ
る。
【０００９】上記構成で、弁体の駆動手段の動作におい
て可動体の往復動における折返し時に弁体の駆動手段を
動作させる弁体駆動制御手段を設けるように構成するこ
とがある。
て可動体の往復動における折返し時に弁体の駆動手段を
動作させる弁体駆動制御手段を設けるように構成するこ
とがある。
【００１０】さらに、本願発明は、ポンプ空間と、この
ポンプ空間を往復動してポンプ空間への流体の吸引・排
出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸入口およ
び流体吐出口を具えたポンプの駆動方式を、（ａ）可動
体の往動に先立ち、弁体を駆動手段により動作させて流
体吐出口を閉じ、流体吸入口を開く過程、（ｂ）次い
で、可動体を往動させてポンプ空間を負圧となして流体
を流体吸入口からポンプ空間に吸引させる過程、（ｃ）
流体のポンプ空間への吸引後、可動体の復動に先立ち、
弁体を駆動手段により動作させて流体吸入口を閉じる一
方、流体吐出口を開く過程、（ｄ）次いで、可動体を復
動させポンプ空間を押圧して流体を流体吐出口からポン
プ外部に吐出させる過程、とにより構成して、上記従来
の課題を解決しようとするものである。
ポンプ空間を往復動してポンプ空間への流体の吸引・排
出をなす可動体と、逆止弁機構を有する流体吸入口およ
び流体吐出口を具えたポンプの駆動方式を、（ａ）可動
体の往動に先立ち、弁体を駆動手段により動作させて流
体吐出口を閉じ、流体吸入口を開く過程、（ｂ）次い
で、可動体を往動させてポンプ空間を負圧となして流体
を流体吸入口からポンプ空間に吸引させる過程、（ｃ）
流体のポンプ空間への吸引後、可動体の復動に先立ち、
弁体を駆動手段により動作させて流体吸入口を閉じる一
方、流体吐出口を開く過程、（ｄ）次いで、可動体を復
動させポンプ空間を押圧して流体を流体吐出口からポン
プ外部に吐出させる過程、とにより構成して、上記従来
の課題を解決しようとするものである。
【００１１】
【発明の実施形態】図面に基づいて、本願発明の１実施
形態を説明する。なお、従来例と同一箇所には同一符号
を付して、重複説明は省略する。図１は、本願発明の１
実施形態に係るポンプの要部を示す断面図である。該実
施形態に係るポンプが図３に示した従来のベローズポン
プと構成を異にする点は流体の吸入側と吐出側における
逆止弁機構である。
形態を説明する。なお、従来例と同一箇所には同一符号
を付して、重複説明は省略する。図１は、本願発明の１
実施形態に係るポンプの要部を示す断面図である。該実
施形態に係るポンプが図３に示した従来のベローズポン
プと構成を異にする点は流体の吸入側と吐出側における
逆止弁機構である。
【００１２】図１において、Ａは吸入側における逆止弁
機構、Ｂは吐出側における逆止弁機構を示している。そ
して、２０はポンプ外からの移送流体の通過する吸引通
路であり、ポンプ空間１０に臨む流体吸引口２１を有し
ている。 ２２は、流体吸引口２１に対して接離してそ
の吸引通路２０の開閉をなす弁体である。
機構、Ｂは吐出側における逆止弁機構を示している。そ
して、２０はポンプ外からの移送流体の通過する吸引通
路であり、ポンプ空間１０に臨む流体吸引口２１を有し
ている。 ２２は、流体吸引口２１に対して接離してそ
の吸引通路２０の開閉をなす弁体である。
【００１３】また、２３は前記弁体２２を往復動させる
駆動ロッドであり、周知の送りネジ機構２４を介して弁
体の駆動手段としてのステッピングモータ２５に連結さ
れている。逆止弁機構Ａは、前記弁体２２、駆動ロッド
２３、送りネジ機構２４、弁体の駆動手段としてのステ
ッピングモータ２５等により構成されている。
駆動ロッドであり、周知の送りネジ機構２４を介して弁
体の駆動手段としてのステッピングモータ２５に連結さ
れている。逆止弁機構Ａは、前記弁体２２、駆動ロッド
２３、送りネジ機構２４、弁体の駆動手段としてのステ
ッピングモータ２５等により構成されている。
【００１４】一方、３０はポンプ空間１０からの移送流
体が通過する吐出通路であり、ポンプ空間１０に臨む流
体吐出口３１を有している。３２は、流体吐出口３１に
対して接離してその吐出通路３０の開閉をなす弁体であ
る。 そして、３３は前記弁体３２を往復動させる駆動
ロッドであり、周知の送りネジ機構３４を介して弁体の
駆動手段としてのステッピングモータ３５に連結されて
いる。逆止弁機構Ｂは、前記弁体３２、駆動ロッド３
３、送りネジ機構３４、弁体の駆動手段としてのステッ
ピングモータ３５等により構成されている。
体が通過する吐出通路であり、ポンプ空間１０に臨む流
体吐出口３１を有している。３２は、流体吐出口３１に
対して接離してその吐出通路３０の開閉をなす弁体であ
る。 そして、３３は前記弁体３２を往復動させる駆動
ロッドであり、周知の送りネジ機構３４を介して弁体の
駆動手段としてのステッピングモータ３５に連結されて
いる。逆止弁機構Ｂは、前記弁体３２、駆動ロッド３
３、送りネジ機構３４、弁体の駆動手段としてのステッ
ピングモータ３５等により構成されている。
【００１５】図２は、図１における前記逆止弁機構Ａお
よびＢの拡大説明図である。逆止弁機構Ａは、以下のよ
うな構成を有している。すなわち、吸引通路２０の端部
にはこれと直交するように弁体２０が往復動するための
通路２２ｃが設けられ、この通路２２ｃの上端にはポン
プ空間１０に臨む流体吸引口２１が形成されている。逆
止弁機構Ｂも、Ａと同様の構成を有するので重複説明は
省略する。なお、逆止弁機構ＡおよびＢにおいて、弁体
２２、３２には、それぞれ移送流体の外部への漏洩を防
止するためのスカート部が設けられているが これにつ
いては後述する。その他の構成は、段落番号１２および
１３に説明した通りである。
よびＢの拡大説明図である。逆止弁機構Ａは、以下のよ
うな構成を有している。すなわち、吸引通路２０の端部
にはこれと直交するように弁体２０が往復動するための
通路２２ｃが設けられ、この通路２２ｃの上端にはポン
プ空間１０に臨む流体吸引口２１が形成されている。逆
止弁機構Ｂも、Ａと同様の構成を有するので重複説明は
省略する。なお、逆止弁機構ＡおよびＢにおいて、弁体
２２、３２には、それぞれ移送流体の外部への漏洩を防
止するためのスカート部が設けられているが これにつ
いては後述する。その他の構成は、段落番号１２および
１３に説明した通りである。
【００１６】図３の逆止弁機構Ａにおいて、２２ａは、
一端が弁体２２に一体被着され、他端は固定部２２ｂに
一体被着された蛇腹状の伸縮自在なスカート部であり、
フッ素樹脂膜等で形成されて移送流体の前記通路２２ｃ
外部への漏洩を遮断する。また、図３の逆止弁機構Ｂに
おいて、３２ａは、一端が弁体３２に一体被着され、他
端は固定部３２ｂに一体被着された蛇腹状の伸縮自在な
スカート部であり、フッ素樹脂膜等で形成されて移送流
体の前記通路３０外部への漏洩を遮断する。
一端が弁体２２に一体被着され、他端は固定部２２ｂに
一体被着された蛇腹状の伸縮自在なスカート部であり、
フッ素樹脂膜等で形成されて移送流体の前記通路２２ｃ
外部への漏洩を遮断する。また、図３の逆止弁機構Ｂに
おいて、３２ａは、一端が弁体３２に一体被着され、他
端は固定部３２ｂに一体被着された蛇腹状の伸縮自在な
スカート部であり、フッ素樹脂膜等で形成されて移送流
体の前記通路３０外部への漏洩を遮断する。
【００１７】上記構成のもとに、該実施形態の作用を請
求項３に係る発明の実施形態の説明に併せて説明する。
図１において、可動体６の往動（図で右方）に先立ち、
まず、前記逆止弁機構Ｂにおける弁体３０を弁体駆動手
段としてのステッピングモータ３５により動作させて、
流体吐出口３１を閉じる一方、前記逆止弁機構Ａにおけ
る弁体２２を弁体駆動手段としてのステッピングモータ
２５により動作させて、流体吸入口２１を開く。
求項３に係る発明の実施形態の説明に併せて説明する。
図１において、可動体６の往動（図で右方）に先立ち、
まず、前記逆止弁機構Ｂにおける弁体３０を弁体駆動手
段としてのステッピングモータ３５により動作させて、
流体吐出口３１を閉じる一方、前記逆止弁機構Ａにおけ
る弁体２２を弁体駆動手段としてのステッピングモータ
２５により動作させて、流体吸入口２１を開く。
【００１８】次いで、可動体６を往動（図で右方）させ
ると、ポンプ空間１０が負圧となり、移送流体は流体吸
入口２１からポンプ空間１０に流入する。移送流体がポ
ンプ空間１０へ流入してこれを充満した後、可動体６の
復動（図で左方）に先立ち、前記逆止弁機構Ａにおける
弁体２２を弁体駆動手段としてのステッピングモータ２
５により動作させて、流体吸入口２１を閉塞し、併せ
て、前記逆止弁機構Ｂにおける弁体３２を弁体駆動手段
としてのステッピングモータ３５により動作させて、流
体吐出口３１を開とする。前記両弁体２２、３２の動作
終了に膚接して可動体６を復動（図で左方）させ、ポン
プ空間１０における移送流体を押圧してこれを流体吐出
口３１から外部に吐出させる。
ると、ポンプ空間１０が負圧となり、移送流体は流体吸
入口２１からポンプ空間１０に流入する。移送流体がポ
ンプ空間１０へ流入してこれを充満した後、可動体６の
復動（図で左方）に先立ち、前記逆止弁機構Ａにおける
弁体２２を弁体駆動手段としてのステッピングモータ２
５により動作させて、流体吸入口２１を閉塞し、併せ
て、前記逆止弁機構Ｂにおける弁体３２を弁体駆動手段
としてのステッピングモータ３５により動作させて、流
体吐出口３１を開とする。前記両弁体２２、３２の動作
終了に膚接して可動体６を復動（図で左方）させ、ポン
プ空間１０における移送流体を押圧してこれを流体吐出
口３１から外部に吐出させる。
【００１９】以上のように、移送流体のポンプ空間１０
への吸入・吐出は、流体吸入口２１および流体吐出口３
１の開閉動作が完全になされてから実行されるので、ポ
ンプによる移送流体の吸引・吐出量は常に定量を維持で
きる。このように、弁体２２、３２の開閉動作は、可動
体６の往復動作における折返し時にタイミングをあわせ
て為すことになるが、弁体２２、３２の開閉動作を正確
になすため、弁体２２、３２の駆動手段および可動体６
の駆動手段の動作を統合制御するマイクロコンピュータ
等の制御手段を設けることが望ましい。この場合、ポン
プは、次のような構成を有することになる。すなわち、
ポンプ空間と、このポンプ空間をポンプ駆動手段により
往復動してポンプ空間への流体の吸引・吐出をなす可動
体と、逆止弁機構を有する流体吸入口および流体吐出口
を具えたポンプにおいて、前記逆止弁機構を、前記流体
吸入口および流体吐出口に対して接離し前記両口の開閉
をなす弁体とこの弁体の駆動手段と、前記ポンプ駆動手
段および弁体の駆動手段の動作制御手段とで構成し、流
体吸入口および流体吐出口において弁による所要の開閉
がなされた後に移送流体の吸引・吐出を行うようにした
ポンプである。
への吸入・吐出は、流体吸入口２１および流体吐出口３
１の開閉動作が完全になされてから実行されるので、ポ
ンプによる移送流体の吸引・吐出量は常に定量を維持で
きる。このように、弁体２２、３２の開閉動作は、可動
体６の往復動作における折返し時にタイミングをあわせ
て為すことになるが、弁体２２、３２の開閉動作を正確
になすため、弁体２２、３２の駆動手段および可動体６
の駆動手段の動作を統合制御するマイクロコンピュータ
等の制御手段を設けることが望ましい。この場合、ポン
プは、次のような構成を有することになる。すなわち、
ポンプ空間と、このポンプ空間をポンプ駆動手段により
往復動してポンプ空間への流体の吸引・吐出をなす可動
体と、逆止弁機構を有する流体吸入口および流体吐出口
を具えたポンプにおいて、前記逆止弁機構を、前記流体
吸入口および流体吐出口に対して接離し前記両口の開閉
をなす弁体とこの弁体の駆動手段と、前記ポンプ駆動手
段および弁体の駆動手段の動作制御手段とで構成し、流
体吸入口および流体吐出口において弁による所要の開閉
がなされた後に移送流体の吸引・吐出を行うようにした
ポンプである。
【００２０】また、上記（段落番号１９）では、弁体２
２、３２の駆動手段および可動体６の駆動手段を統合し
て制御する例を説明したが、弁体２２、３２の駆動手段
のみを制御する弁駆動制御手段を設けて、弁体２２、３
２の開閉動作を可動体６の往復動作における折返し時に
タイミングをあわせて為すようにしても良い。この場合
は、可動体６の位置を検知するために、駆動軸３の近傍
に位置センサーを設けて、可動体６の往復動作における
折返しタイミングを検知して弁体２２、３２の駆動手段
を制御するようにする。 また、可動体６の往復動作に
おける折返しタイミングの検知は、ポンプ空間１０の圧
力を検知するセンサーによってなしても良い。すなわ
ち、ポンプ空間１０における負圧が零になった時点で可
動体６は往復動の死点に達しているから、これに併せて
弁体を動作させて流体吸入口および流体吐出口の開閉を
なすようにする。
２、３２の駆動手段および可動体６の駆動手段を統合し
て制御する例を説明したが、弁体２２、３２の駆動手段
のみを制御する弁駆動制御手段を設けて、弁体２２、３
２の開閉動作を可動体６の往復動作における折返し時に
タイミングをあわせて為すようにしても良い。この場合
は、可動体６の位置を検知するために、駆動軸３の近傍
に位置センサーを設けて、可動体６の往復動作における
折返しタイミングを検知して弁体２２、３２の駆動手段
を制御するようにする。 また、可動体６の往復動作に
おける折返しタイミングの検知は、ポンプ空間１０の圧
力を検知するセンサーによってなしても良い。すなわ
ち、ポンプ空間１０における負圧が零になった時点で可
動体６は往復動の死点に達しているから、これに併せて
弁体を動作させて流体吸入口および流体吐出口の開閉を
なすようにする。
【００２１】なお、前述の実施形態において、弁体２
２、３２の駆動手段として、モータによる場合を述べた
が、駆動手段としては、エアシリンダ、ソレノイド等を
用いることができる。
２、３２の駆動手段として、モータによる場合を述べた
が、駆動手段としては、エアシリンダ、ソレノイド等を
用いることができる。
【発明の効果】本願発明は、以上説明したように、流体
吸入口における弁、流体吐出口における弁の開閉動作を
強制的になす駆動手段を設け、流体吸入口および流体吐
出口において弁による所要の開閉がなされた後に移送流
体の吸引・吐出を行えるようにしたので、流体の定量送
給を適正に実行できる。
吸入口における弁、流体吐出口における弁の開閉動作を
強制的になす駆動手段を設け、流体吸入口および流体吐
出口において弁による所要の開閉がなされた後に移送流
体の吸引・吐出を行えるようにしたので、流体の定量送
給を適正に実行できる。
【図１】 本願発明の１実施形態に係るポンプの要部断
面図である。
面図である。
【図２】 図１における流体吸入側の逆止弁機構の拡大
図である。
図である。
【図３】 従来例を示す要部断面図である。
３．．．．駆動軸
６．．．．可動体
８．．．．ポンプヘッド
１０．．．ポンプ空間
２１．．．吸入口
２２．．．弁体（吸入側）
２５．．．弁駆動手段
３１．．．吐出口
３２．．．弁体（吐出側）
３５．．．弁駆動手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H071 AA12 AA15 BB01 CC47 DD04
DD12 DD13 DD14
3H075 AA06 AA16 AA20 BB03 BB04
CC11 CC24 DA03 DA04 DA05
DA09
3H077 AA02 AA20 CC03 CC07 EE05
FF06 FF12
Claims (3)
- 【請求項１】 ポンプ空間と、このポンプ空間を往復動
してポンプ空間への流体の吸引・排出をなす可動体と、
逆止弁機構を有する流体吸入口および流体吐出口を具え
たポンプにおいて、 前記逆止弁機構は、前記流体吸入口および流体吐出口に
対して接離し前記両口の開閉をなす弁体とこの弁体の駆
動手段とで構成して、流体吸入口および流体吐出口にお
いて弁による所要の開閉が完結した後に移送流体の吸引
・吐出を行うようにしたことを特徴とするポンプ。 - 【請求項２】 請求項１において、弁体の駆動手段の動
作において可動体の往復動における折返し時に弁体の駆
動手段を動作させる弁体駆動制御手段を設けたことを特
徴とするポンプ。 - 【請求項３】 ポンプ空間と、このポンプ空間を往復動
してポンプ空間への流体の吸引・排出をなす可動体と、
逆止弁機構を有する流体吸入口および流体吐出口を具え
たポンプの駆動方式であって、（ａ）可動体の往動に先
立ち、弁体を駆動手段により動作させて流体吐出口を閉
じ、流体吸入口を開く過程、（ｂ）次いで、可動体を往
動させポンプ空間を負圧となして流体を流体吸入口から
ポンプ空間に吸引させる過程、（ｃ）流体のポンプ空間
への流入後、可動体の復動に先立ち、弁体を駆動手段に
より動作させて流体吸入口を閉じる一方、流体吐出口を
開く過程、（ｄ）次いで、可動体を復動させポンプ空間
を押圧して流体を流体吐出口から外部に吐出させる過
程。以上の過程からなるポンプの駆動方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001346472A JP2003184734A (ja) | 2001-10-10 | 2001-11-12 | ポンプとその駆動方式。 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-312155 | 2001-10-10 | ||
| JP2001312155 | 2001-10-10 | ||
| JP2001346472A JP2003184734A (ja) | 2001-10-10 | 2001-11-12 | ポンプとその駆動方式。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003184734A true JP2003184734A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27615292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001346472A Pending JP2003184734A (ja) | 2001-10-10 | 2001-11-12 | ポンプとその駆動方式。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003184734A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006003871A1 (ja) * | 2004-06-30 | 2008-04-17 | 三菱重工業株式会社 | 昇圧ポンプおよびこれを備えた低温流体用貯蔵タンク |
| WO2011001536A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | 本多電子株式会社 | 液体圧送設備の異常検出装置及び方法、異常検出機能付きの超音波流量計 |
| WO2024080020A1 (ja) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | 株式会社堀場エステック | 流体供給機構及び流体供給方法 |
-
2001
- 2001-11-12 JP JP2001346472A patent/JP2003184734A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006003871A1 (ja) * | 2004-06-30 | 2008-04-17 | 三菱重工業株式会社 | 昇圧ポンプおよびこれを備えた低温流体用貯蔵タンク |
| WO2011001536A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | 本多電子株式会社 | 液体圧送設備の異常検出装置及び方法、異常検出機能付きの超音波流量計 |
| JP5070446B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2012-11-14 | 本多電子株式会社 | 液体圧送設備の異常検出装置及び方法、異常検出機能付きの超音波流量計 |
| JPWO2011001536A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2012-12-10 | 本多電子株式会社 | 液体圧送設備の異常検出装置及び方法、異常検出機能付きの超音波流量計 |
| WO2024080020A1 (ja) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | 株式会社堀場エステック | 流体供給機構及び流体供給方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7123968B2 (ja) | 医療流体のための容積式ポンプおよび医療流体のための容積式ポンプを備える血液処理装置ならびに医療流体のための容積式ポンプを制御するための方法 | |
| US20060169935A1 (en) | Valve device | |
| JP2010077976A (ja) | ベローズポンプおよびベローズポンプの運転方法 | |
| CN209855978U (zh) | 液体供给装置 | |
| JPH08285125A (ja) | 弁装置および弁装置を有する薬液供給装置 | |
| US6206644B1 (en) | Compact dual pump | |
| JP2002221161A (ja) | ポンプ切り換え弁の再始動装置 | |
| JP2003184734A (ja) | ポンプとその駆動方式。 | |
| JP3988275B2 (ja) | 送液ポンプ | |
| JP2004308475A (ja) | 往復動式流体移送ポンプ | |
| JP2003130248A (ja) | 流体弁装置 | |
| JP3619616B2 (ja) | 薬液供給装置の駆動方法 | |
| JPH098107A (ja) | ワーク保持装置およびその駆動方法 | |
| JP2001227472A (ja) | ポンプ、アキュムレータ等の流体機器 | |
| JP2002188576A (ja) | ポンプの再始動装置 | |
| JP2001248561A (ja) | 脈動式ダイヤフラムポンプ | |
| CN110892263B (zh) | 柱塞泵 | |
| JP2639130B2 (ja) | プランジャポンプ | |
| JP2005273865A (ja) | 弁とそれを用いた送液ポンプ | |
| JP2003314689A (ja) | ベローズ。 | |
| JP2003065243A (ja) | ガス排出機構および往復動ポンプ | |
| JP3701623B2 (ja) | 弁切り換え装置 | |
| JP5159508B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置 | |
| JP5681079B2 (ja) | 往復ポンプ装置 | |
| JPH09292381A (ja) | 送液ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041101 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071217 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080610 |