JPH098107A - ワーク保持装置およびその駆動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークを保持するためのフィンガを駆動する
駆動部材から異物が発生しないようにする。 【構成】 固定フィンガ３とこの固定フィンガ３に対し
て進退移動自在の可動フィンガ６とを有し、これらのフ
ィンガ３，６によりウエハＷを保持する。可動フィンガ
６を駆動するシリンダ１０には、大気圧室１５と真空圧
室１６とを区画形成するピストン１４が設けられ、この
ピストン１４の移動がロッド５を介して可動フィンガ６
に伝達される。シリンダ１０には大気圧室１５に連通し
て空気流入口１７が形成され、真空圧室１６と大気圧室
１５とを連通させるリーク流路２８を有している。真空
圧室１６の圧力は圧力センサ３１により検出してピスト
ン１４の作動状態が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状のワークを保持する
ワーク保持装置に関し、特に、半導体ウエハやガラス基
板などの基板を保持するためのワーク保持技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハに回路を形成するためのウ
エハ処理工程には、半導体ウエハにレジスト液を塗布す
るレジスト塗布工程などの多数の工程があり、それぞれ
の工程に半導体ウエハを搬送するために、ロボットが用
いられている。

【０００３】このロボットに設けられるワーク保持装置
としては、半導体ウエハを真空により吸着するようにし
たタイプと、特開平７−２２５０２号公報に示されるよ
うに固定フィンガと可動フィンガとを有し、これらのフ
ィンガにより半導体ウエハをその端面で挟むようにした
タイプがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前者の真空吸着するよ
うにしたタイプのワーク保持装置は、半導体ウエハの面
に真空吸着部が接触するために、半導体ウエハに異物が
付着し易いという問題点がある。

【０００５】後者のフィンガを有するワーク保持装置
は、半導体ウエハの両面に異物が付着しにくいという長
所があるが、可動フィンガを駆動するための駆動部材が
必要となることから、この可動部分から異物が発生する
ことがあるので、異物が半導体ウエハに付着しないよう
にするために遮蔽構造を付加することが必要となる。ま
た、このタイプのワーク保持装置にあっては、フィンガ
によって半導体ウエハが保持されたか否かを検出するた
めにセンサを設けることが必要となり、そのセンサのた
めの信号線用のケーブルが付加される。

【０００６】ワーク保持装置は、通常、ロボットのハン
ドのように移動する部材に取り付けられ、半導体ウエハ
の保持つまり把持を行って、半導体ウエハを搬送するよ
うにしており、センサのためのケーブルが存在すると、
ケーブルによってロボットのハンドの移動範囲に制約を
受けることがあるだけでなく、ケーブルが頻繁に曲げを
受けることになり、ケーブルの耐久性や信頼性を低下さ
せることになる。

【０００７】本発明の目的は、ワークを保持するフィン
ガを駆動する駆動部材から異物が発生しないようにする
ことにある。

【０００８】本発明の他の目的は、フィンガを駆動する
ためのシリンダに供給される真空圧を利用して可動部分
から発生する異物をシリンダ内に排除することにある。

【０００９】本発明のさらに他の目的は、フィンガを駆
動するためにシリンダに供給される真空圧の変動を検出
することにより、シリンダ内にフィンガに連結して設け
られたピストンの動作状態を検出し得るようにすること
にある。

【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１２】すなわち、本発明のワーク保持装置は、固
定フィンガとこの固定フィンガに対して進退移動自在の
可動フィンガとを有し、これらのフィンガによりワーク
を保持する。可動フィンガを駆動するシリンダには、大
気圧室と真空圧室とを区画形成するピストンが設けら
れ、このピストンの移動がロッドを介して可動フィンガ
に伝達される。シリンダには大気圧室に連通して空気流
入口が形成され、真空圧室と大気圧室とを連通させるリ
ーク流路を有している。リーク流路に流量調整手段を設
け、リーク流量を調整するようにしても良い。真空圧室
の圧力を圧力センサで検出し、ピストンの作動状態を検
出するようにしても良い。

【００１３】また、本発明のワーク保持装置の駆動方法
は、フィンガによりワークを保持する際におけるピスト
ンの保持移動時に真空室内に真空圧を供給するととも
に、ピストンの真空圧室の反対側に形成された大気圧室
から真空圧室内にリーク流路を介してシリンダ外部の空
気を流入して、ピストンによりフィンガを駆動しなが
ら、シリンダ外部における異物を排除する。そして、ピ
ストンを大気圧室に向けて移動させてフィンガによるワ
ークの保持を解除するピストンの保持解除移動時に大気
圧室内の空気をリーク流路を介して真空圧室に案内する
ようにしても良い。

【００１４】

【作用】ワークを保持する際にシリンダの真空圧室内に
真空を供給すると、ピトスンは大気圧室側の圧力と真空
圧室側の圧力との圧力差によって真空圧室側に向けて駆
動され、可動フィンガが固定フィンガに向けて接近移動
する。この移動の過程では、リーク流路を介して真空圧
室と大気圧室とが連通状態となるので、シリンダの外部
に開口された大気圧室内に外部の空気が吸い込まれる。
これにより、シリンダの駆動時に異物が発生しても、そ
の異物は外部空気とともに、シリンダ内に吸い込まれる
ことになり、シリンダの外部には異物の飛散が防止され
る。

【００１５】フィンガによるワークの保持を解除するた
めに、ピストンを大気圧室側に向けて移動するときに
も、大気圧室から真空圧室に向けてリーク流路を介して
外部の空気を吸い込むと、ピストンがワークの保持を解
除する動作に際しても、外部の異物をシリンダ内に吸い
込むことができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１７】（実施例１）図１〜図３は本発明の一実施
例であるワーク保持装置を示す図であり、このワーク保
持装置はロボットのアーム１の先端部に装着されるよう
になっており、たとえば、半導体ウエハ（以下、単にウ
エハという）Ｗの表面にレジスト液を滴下するために、
ウエハＷを水平状態で回転させるスピンコータにウエハ
Ｗを搬送するために使用されている。

【００１８】ワーク保持装置はワーク保持台２を有し、
このワーク保持台２にはほぼ円形のウエハＷの外周面の
一部に接触する円弧状の固定フィンガ３が設けられてい
る。ワーク保持台２にはガイド部材４が取り付けられて
おり、この中を貫通して軸方向に摺動自在に設けられた
ロッド５の先端には可動フィンガ６が取り付けられてい
る。この可動フィンガ６は円弧状となっており、ウエハ
Ｗのうち固定フィンガ３が接触する部分の反対側の外周
面の部分に接触し、両方のフィンガ３，６により、ウエ
ハＷが保持されるようになっている。図示する固定フィ
ンガ３は隙間を隔てて２つが保持台２に設けられている
が、２つが一体となった固定フィンガとしても良い。

【００１９】ワーク保持台２にはシリンダ１０が取り付
けられており、このシリンダ１０はチューブ１１と、こ
れの先端側に取り付けられたロッドカバー１２と、後端
側に取り付けられたヘッドカバー１３とを有している。
このシリンダ１０の中に摺動自在に設けられたピストン
１４にはロッド５が連結され、ピストン１４の移動がロ
ッド５を介して可動フィンガ６に伝達され、可動フィン
ガ６が固定フィンガ３に向けて進退移動自在となってい
る。

【００２０】シリンダ１０内にはこの中に設けられたピ
ストン１４によってシリンダ１０の先端部側に大気圧室
１５が形成され、後端部側に真空圧室１６が区画形成さ
れている。シリンダ１０のロッドカバー１２にはロッド
５を貫通させるとともに、大気圧室１５をシリンダ１０
の外部に連通させるための空気流入口１７が形成されて
いる。

【００２１】真空圧室１６に真空を供給するために、真
空圧室１６に連通させてシリンダ１０のチューブ１１に
形成された真空ポート２０には、真空流路２１を介して
真空ポンプ２２が接続されている。真空ポンプ２２はモ
ータ２３により駆動されるようになっている。真空流路
２１にはこの流路を開閉するための切換弁２４が設けら
れ、さらにタンク２５が設けられている。したがって、
切換弁２４を開いて真空源としての真空ポンプ２２と真
空圧室１６とを連通させると、ピストン１４はシリンダ
１０内を後退する方向に駆動される。

【００２２】ピストン１４を前進方向つまり大気圧室１
５側に駆動するために、真空圧室１６内には圧縮コイル
ばね２６が装着されている。したがって、真空圧室１６
内への真空の供給を停止すると、圧縮コイルばね２６の
ばね力によってピストン１４は前進する方向に駆動され
る。

【００２３】ピストン１４にはこれが前進限位置まで移
動したときに、空気流入口１７内に嵌合されてこれを閉
塞するための突起部２７が設けられている。この突起部
２７の外周面に大気圧室１５に連通させて一端が開口さ
れ、他端を真空圧室１６に連通させて開口したリーク流
路２８がピストン１４に形成されている。このリーク流
路２８の開度を変化させてこの中を流れるリーク空気の
量を調整するために、ピストン１４には絞り弁２９が設
けられている。

【００２４】真空圧室１６内の圧力を検出するために、
真空流路２１には圧力センサ３１が設けられており、こ
の圧力センサ３１により検出された圧力信号は、制御部
３２に送られる。一方、この制御部３２からは切換弁２
４のソレノイドに駆動信号が送られて切換弁２４の作動
が制御され、さらに真空ポンプ２２を駆動するモータ２
３も制御部３２からの信号により制御されるようになっ
ている。

【００２５】次に、ワーク保持装置を用いてウエハＷを
保持する手順について、図４を参照しながら説明する。

【００２６】切換弁２４が閉じられて真空圧室１６と真
空源との連通が遮断されている場合には、ピストン１４
は圧縮コイルばね２６のばね力によって前進限位置とな
っている。このときには、図１に示すように、可動フィ
ンガ６は固定フィンガ３から最も離れた位置となり、突
起部２７が空気流入口１７内に嵌合されて空気流入口１
７は閉塞され、リーク流路２８も空気流入口１７の内周
面により閉塞されている。

【００２７】この状態のもとで、制御部３２から切換弁
２４のソレノイドに信号が送られると、切換弁２４が図
３に示すように開かれる。これにより、真空圧室１６の
圧力は、図４に示すように真空源により設定されたリー
ク流路閉塞時の圧力Ｖａになる。真空圧室１６内が真空
となると、ピストン１４の両側に圧力差が生じ、ピスト
ン１４は図１〜図３において右方向に後退移動する。

【００２８】ピストン１４が後退移動することにより、
可動フィンガ６が固定フィンガ３に向けて移動して、図
３に示されるように、両方のフィンガ３，６によりウエ
ハＷは保持される。

【００２９】ピストン１４の後退移動に伴って、突起部
２７が空気流入口１７から離れると、リーク流路２８を
介して大気圧室１５内の空気が真空圧室１６に流れ込む
ことになる。これにより、空気流入口１７の前方にはこ
れに向かう流れが形成されることになり、シリンダ１０
の外部の異物Ｐは空気流入口１７からシリンダ１０内に
吸い込まれ、可動フィンガ６やロッド５の移動によって
異物が発生したとしても、その異物がシリンダ１０の外
部にまき散らされることなく、飛散が防止される。

【００３０】このようにして、両方のフィンガ３，６に
よりウエハＷが保持された状態で、図示しないロボット
を作動させることによって、たとえば、スピンコータに
ウエハＷを搬送することになる。搬送された状態で、ウ
エハＷを外す場合には、切換弁２４を作動して、真空圧
室１６への真空圧の供給を停止する。これにより、ピス
トン１４は圧縮コイルばね２６のばね力によって図３に
おいて左方向つまり前進する方向に移動することになる
が、切換弁２４と真空ポート２０との間の流路およびタ
ンク２５により形成される真空補給部に向けて流入する
空気の流れが発生することから、ピストン１４が前進移
動する際にも、空気流入口１７を通ってシリンダ１０内
に空気が流れ込むことになる。したがって、ピストン１
４が前進移動する際に異物が発生しても、その異物はシ
リンダ１０内に案内される。

【００３１】もしも、図３に示す位置までピストン１４
を後退移動させても、ウエハＷを両方のフィンガ３，６
により保持することができなかった場合には、ピストン
１４は後退限位置まで移動し続けることになり、ピスト
ン１４はヘッドカバー１３に接触してリーク流路２８が
閉塞される。これにより、真空圧室１６内に圧力は、図
４に示すように、真空源と同じ圧力Ｖａに近い圧力とな
り、圧力センサ３１によってその圧力を検出することに
より、動作の異常が検出される。

【００３２】一方、ワーク保持装置の作動不良、たとえ
ば、切換弁２４やピストン１４などの作動不良が発生し
た場合には、真空圧室１６に真空を供給してから所定の
時間が経過しても、真空圧室１６はリーク時圧力Ｖｂと
ならない。したがって、制御部３２内に設けられたタイ
マーによって、真空圧室１６に真空を供給してからの時
間をカウントすれば、圧力センサ３１を用いてワーク保
持装置の異常を検出することができる。リーク流路２８
が閉塞されているときの真空圧室１６内の圧力Ｖａと、
リーク流路２８が開かれているときのリーク時圧力Ｖｂ
との相違は、それぞれの圧力値をしきい値Ｖｓと比較す
ることにより検出される。閉塞時の圧力Ｖａとリーク時
圧力Ｖｂとの差、リーク時における異物吸い込みのため
の流入空気量、およびピストン駆動圧力は、絞り弁２９
によって調整される。

【００３３】なお、ピストン１４に突起部２７を設ける
ことなく、ピストン１４の前端面とシリンダ１０のロッ
ドカバー１２の内面との密着により、リーク流路２８を
閉塞するようにしても良い。その場合には、リーク流路
２８の大気圧室１５に開口する部分は、ピストン１４の
外周部に形成することになる。

【００３４】また、ピストン１４が前進する際には、積
極的にシリンダ１０内に空気を吸い込まないのであれ
ば、切換弁２４として３ポート弁を使用し、切換弁２４
が真空流路２１を閉塞したときに、外部の空気を真空圧
室１６内に案内するようにしても良く、その場合には、
外部の空気をフィルタを介して供給するようにし、タン
ク２５を真空ポンプ２２と切換弁２４との間に設けるこ
とになる。

【００３５】（実施例２）図５は本発明の他の実施例で
あるワーク保持装置のシリンダ１０を示す図であり、他
の構造は前記実施例と同様であり、前記実施例における
部材と共通する部材には同一の符号が付されている。前
記実施例では、リーク流路２８をピストン１４に形成し
ているのに対して、図５に示すシリンダ１０にあって
は、シリンダ１０に大気圧室１５に開口する空気流入ポ
ート３３と、真空圧室１６に開口する空気流出ポート３
４とを設け、これらをリーク流路３５により接続し、こ
のリーク流路３５に絞り弁３６を設けている。この場合
にあっても、前記実施例と同様に作動する。なお、図示
する場合には、シリンダ１０の外部にリーク流路３５を
設けているが、シリンダ１０のチューブ１１内にこのリ
ーク流路３５を形成するようにしても良い。

【００３６】（実施例３）図６は本発明の他の実施例で
あるワーク保持装置のシリンダ１０を示す図であり、こ
の図においては前記それぞれの実施例と共通する部材に
は同一の符号が付されている。

【００３７】このシリンダ１０にあっては、シリンダ１
０のチューブ１１とピストン１４との間に隙間３７を形
成することにより、大気圧室１５と真空圧室１６とを連
通させるリーク流路としている。リーク量は、チューブ
１１とピストン１４とのはめあい寸法公差を変更するこ
とにより制御される。

【００３８】（実施例４）図７は図６に示すシリンダ１
０の変形例であり、この場合には、チューブ１１の内周
面とピストン１４の外周面とをそれぞれ湾曲させたり、
テーパー形状とすることにより、チューブ１１とピスト
ン１４との間の隙間３７の寸法が、ピストン１４の位置
に応じて変化するようにしている。これにより、ピスト
ン１４の位置に応じてリーク量を変化させることができ
る。

【００３９】なお、図７に示すピストン１４に前記実施
例における突起部２７を設けるようにしても良い。

【００４０】（実施例５）図８は本発明の他の実施例で
あるワーク保持装置を示す図であり、このワーク保持装
置にあっては、ロッド５はピストン１４を貫通し、この
後端部にはフランジ部３８が設けられている。ピストン
１４に形成されたリーク流路２８の真空圧室１６側の開
口部はフランジ部３８に対向して形成されている。

【００４１】フランジ部３８とシリンダ１０のヘッドカ
バー１３との間には、ピストン１４に前進させる方向の
ばね力を付勢する圧縮コイルばね４１が駆動用ばね部材
として装着され、さらに、フランジ部３８とピストン１
４との間には、ロッド５を後退させてフランジ部３８を
ピストン１４の端面から離してこれらの間に隙間を形成
するための圧縮コイルばね４２が装着されている。

【００４２】図８に示す装置にあっては、真空圧室１６
内に真空圧が供給されていない場合には、図１に示す場
合と同様に、突起部２７が空気流入口１７内に嵌合し、
リーク流路２８は閉塞されている。切換弁２４を作動し
て真空圧室１６と真空源とを連通状態とすると、ピスト
ン１４は右側に後退移動する。このとき、圧縮コイルば
ね４２のばね力によってフランジ部３８はピストン１４
の後端面から離れており、リーク流路２８は開かれてい
る。したがって、シリンダ１０の外部の空気は、空気流
入口１７からシリンダ１０内に入り込み、リーク流路２
８を介して真空圧室１６内に流入するので、真空圧室１
６の圧力は大気圧に近づく。

【００４３】ピストン１４が右側に後退移動して、図８
に示すように、可動フィンガ６と固定フィンガ３とによ
りウエハＷが保持されると、ロッド５の移動が停止され
た状態を維持しつつ、ピストン１４のみがコイルばね４
２のばね力に抗して後退移動し、フランジ部３８により
リーク流路２８が閉塞される。これにより、真空圧室１
６の真空度が高くなり、圧力センサ３１によってウエハ
Ｗが保持されたことを検出することができる。

【００４４】もしも、切換弁２４を作動させてから、所
定時間が経過しても圧力センサ３１によって真空度が高
くなったことを検出することができない場合には、フラ
ンジ部３８によってリーク流路２８が閉塞されなかった
状態であり、ワーク保持装置が異常であることを検出す
ることができる。なお、この実施例にあっても、リーク
流路２８に絞り弁を設けるようにしても良い。

【００４５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４６】たとえば、図示する実施例にあっては、ウ
エハＷをワークとしているが、板状のものであれば、液
晶用のガラス板やその他の板状のものを保持するため
に、本発明を適用することができ、ワークの形状として
は、矩形ないし四辺形などの種々のものを保持するよう
にすることができる。四辺形のワークを保持する場合に
は、円弧状とならずにフラットとなったフィンガが用い
られる。また、リーク流路の形式としては、前記それぞ
れの実施例に記載されたものを全部または２種類を組合
せた併用型としても良い。

【００４７】さらに、シリンダ１０のロッドカバー１２
にはピストン１４の突起部２７が嵌合し、ロッド５が貫
通する１つの空気流入口１７が設けられているが、この
空気流入口１７に加えて、さらに、１つまたは複数の空
気流入口をロッドカバー１２に形成するようにしても良
い。また、図示するワーク保持装置は、ロボットのアー
ムに取り付けられるようになっているが、直線方向に往
復動する部材に取り付けるようにしても良い。

【００４８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４９】(1).保持されるワークに異物が付着するこ
とを防止することができ、ワークを高品質に保持して処
理することができる。

【００５０】(2).ワークの保持状態をワークの保持動作
を真空流路の圧力変動から検出することができる。

【００５１】(3).簡単な構造によりワークの保持動作と
保持解除動作とを行うことができる。

【００５２】(4).ワークを保持する部分から離れた位置
にセンサを設けることができるので、センサと制御部と
を結ぶ長いケーブルが不要となるとともに、装置を移動
させても、ケーブルが移動することがなくなり、検出の
信頼性と耐久性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるワーク保持装置におけ
る可動フィンガが開いた状態を示す断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】ワークが保持された状態を示すワーク保持装置
の断面図である。

【図４】ピストンのストロークと真空圧室の圧力変化を
示す特性線図である。

【図５】本発明の他の実施例であるワーク保持装置のシ
リンダの部分を示す断面図である。

【図６】本発明の他の実施例であるワーク保持装置のシ
リンダの部分を示す断面図である。

【図７】本発明の他の実施例であるワーク保持装置のシ
リンダの部分を示す断面図である。

【図８】本発明の他の実施例であるワーク保持装置を示
す断面図である。

【符号の説明】

１ ロボットのアーム ２ ワーク保持台 ３ 固定フィンガ ４ ガイド部材 ５ ロッド ６ 可動フィンガ １０ シリンダ １１ チューブ １２ ロッドカバー １３ ヘッドカバー １４ ピストン １５ 大気圧室 １６ 真空圧室 １７ 空気流入口 ２０ 真空ポート ２１ 真空流路 ２２ 真空ポンプ ２３ モータ ２４ 切換弁 ２５ タンク ２６ 圧縮コイルばね ２７ 突起部 ２８ リーク流路 ２９ 絞り弁 ３１ 圧力センサ ３２ 制御部 ３３ 空気流入ポート ３４ 空気流出ポート ３５ リーク流路 ３６ 絞り弁 ３７ 隙間 ３８ フランジ部 ４１，４２ 圧縮コイルばね Ｗ 半導体ウエハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡瀬 進一郎 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 山谷 和弘 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定フィンガとこの固定フィンガに対し
   て進退移動自在の可動フィンガとを有し、これらのフィ
   ンガによりワークを保持するワーク保持装置であって、 真空源に連通された真空圧室と大気圧室とを区画するピ
   ストンが摺動自在に設けられたシリンダと、 前記可動フィンガと前記ピストンとを連結し、前記ピス
   トンの移動を前記可動フィンガに伝達するロッドと、 前記シリンダに前記大気圧室に連通して形成され、前記
   ワーク近傍の空気を流入させる空気流入口と、 前記真空圧室と前記大気圧室とを連通させるリーク流路
   とを有し、前記ピストンを駆動する際に前記ワーク近傍
   の空気中の異物を前記大気圧室内に案内するようにした
   ことを特徴とするワーク保持装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のワーク保持装置であっ
   て、前記リーク流路にこのリーク流路を介して前記大気
   圧室から前記真空圧室に向かう空気の流れを調整する流
   量調整手段を有することを特徴とするワーク保持装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のワーク保持装置であっ
   て、前記真空圧室の圧力を検出する圧力センサを有し、
   前記真空圧室の圧力によって前記ピストンの位置を検出
   するようにしたことを特徴とするワーク保持装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のワーク保持装置であっ
   て、前記真空圧室と前記真空源とを連通状態および閉塞
   状態に制御する弁部材と前記真空圧室との間に所定の容
   積の真空補給部を設け、前記弁部材により連通を停止し
   て前記ピストンを前記大気圧室に向けて移動する際に、
   外部から前記大気圧室内に吸い込まれた空気を前記リー
   ク流路を介して前記真空圧室内に案内するようにしたこ
   とを特徴とするワーク保持装置。
5. 【請求項５】 固定フィンガとこの固定フィンガに対し
   て進退移動自在の可動フィンガとを有し、これらのフィ
   ンガによりワークを保持するワーク保持装置であって、 真空源に連通された真空圧室と大気圧室とを区画するピ
   ストンが摺動自在に設けられたシリンダと、 先端が前記可動フィンガに連結され後端部で前記ピスト
   ンに対して摺動自在に装着されたロッドと、 前記ロッドの後端に前記真空圧室内に位置させて設けら
   れ、前記ピストンの端面から離れる方向のばね力が付勢
   されたフランジ部と、 前記シリンダに前記大気圧室に連通して形成され、前記
   ワーク近傍の空気を流入させる空気流入口と、 前記真空圧室内に装着され、前記ピストンを前記大気圧
   側に駆動する駆動用ばね部材と、 前記真空圧室と前記大気圧室とを連通させるリーク流路
   と、 前記真空圧室内の圧力を検出する圧力センサとを有し、 前記固定フィンガと前記可動フィンガとにより前記ワー
   クが保持された状態を前記フランジ部が前記リーク流路
   を閉塞したときにおける前記真空圧室内の圧力変化によ
   り検出するようにしたことを特徴とするワーク保持装
   置。
6. 【請求項６】 ワークを保持するフィンガをシリンダ内
   のピストンにより区画形成された真空圧室に真空を供給
   して駆動するワーク保持装置の駆動方法であって、 フィンガによりワークを保持する際におけるピストンの
   保持移動時に前記真空室内に真空圧を供給するととも
   に、前記ピストンの前記真空圧室の反対側に形成された
   大気圧室から前記真空圧室内にリーク流路を介してシリ
   ンダ外部の空気を流入し、 前記ピストンにより前記フィンガを駆動しながら、前記
   シリンダ外部における異物を前記シリンダ内に案内する
   ようにしたことを特徴とするワーク保持装置の駆動方
   法。
7. 【請求項７】 請求項６記載のワーク保持装置の駆動方
   法であって、前記ピストンを前記大気圧室に向けて移動
   させて前記フィンガによるワークの保持を解除するピス
   トンの保持解除移動時に前記大気圧室内の空気を前記リ
   ーク流路を介して前記真空圧室に案内するようにしたこ
   とを特徴とするワーク保持装置の駆動方法。