JP2010258087A - クリーン駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置本体1の動作と連動するようにしたシリンダ2と、装置の発塵部に配設して発塵を吸引するようにした吸塵口4間を、エア回路3を介して接続し、エア回路3を介して装置本体1の動作と連動するシリンダ2にて発塵部の空気を吸引し、吸引した空気をフィルタ室5へ排気するようにする。
【選択図】図1
Description
また、このクリーンルーム内を予め定めた清浄度を維持できるよう清浄空気によるダウンフローを形成し、搬送機や移載機などの駆動に際してその接触部や摺動部で発塵する微粉塵を床面から吸引して外部に排出するようにしている。
また、移動する発塵部分を防塵カバーにて完全に覆うことができない構成を有する場合、未覆部分での発塵の吸引ができず、高い清浄度を維持することができないという問題があった。
本発明のクリーン駆動装置Aは、クリーンルーム内で搬送、移載、旋回などの1動作或いは複数の動作を行うようにした装置本体1と、該装置本体1の駆動と連動するようにしたシリンダ2と、装置本体1の発塵部と対峙して配設し、発塵を吸塵するようにした吸塵口4とシリンダ2の両端部とを接続するようにしたエア回路3とより構成し、これにより装置本体1の駆動と連動してシリンダ2が移動する際、装置本体の発塵部での発塵をその付近の空気と共にシリンダ2の両端部の室内に交互に吸引した後、フィルタ室5内にて集塵し、空気のみを排気するようにする。
したがって、このシリンダロッド21は装置本体1の移動方向に沿って配設され、かつ装置本体1等の固定側に固定される。これにより、装置本体の移動に伴ってシリンダ2が移動するようにする。
すなわち、トップ側に接続される分岐吸塵管31において吸塵時には、図1に示すように、逆止弁31aは開弁し、排塵管33側の逆止弁32aは閉じるとともに、ボトム側に接続される分岐吸塵管32は排気作用をして逆止弁32aは閉じ、排塵管34側の逆止弁34aは開弁するようになる。
このフォーク式の移載装置Bは、図3に示すように、駆動軸63を備えた中心位置となる待機位置(図3に示す実施例では中央の位置)よりその両側方向(図3に示す実施例では上下方向)に交互に或いは所定の方向に出没するようにするもので、これは屈伸可能に軸69を介して連結された第1アーム61及び第2アーム62を左右に1対配設し、第1アーム61の基部をそれぞれ駆動軸63に接続するとともに、第2アーム62の先端部でフォーク64を支持し、各アーム61、62の屈伸によりフォーク64を進退するようにして構成する。
そして、この第2アーム62の先端部に第2アーム62の揺動に伴って一体に回転するギヤ65を固設するとともに、第2アーム62の内側で各ギヤ65に噛合する進退方向のラック66をフォーク64に設ける。
第2アーム62は、第1アーム61の先端部に軸69を介して枢着されるとともに、その先端部がフォーク64に枢着されており、駆動軸63の回動により第1アーム61とで外側に湾曲するくの字状に屈伸する。
なお、第1アーム61と第2アーム62は、収縮時の停止位置がフォーク64の進退方向とほぼ直角で、上下に重なる位置となっている。
このギヤ65の軸67は、フォーク64に回動可能に軸支されることにより、第2アーム62をフォーク64に枢着しており、軸67の上端に設けられたギヤ65、65は、フォーク64側に設けられた1本のラック66にそれぞれ噛合するようになっている。
各ギヤ65は、このラック66を挟み込むように対称位置に配設されており、これにより、左右の第2アーム62がシンクロして揺動するようになされている。
これにより、駆動軸63の回動によりこれに接続された第1アーム61は揺動すると、第2アーム62は第1アーム61の先端部で屈伸するとともに、第2アーム62の先端で支持されたフォーク64が進退する。このとき、ガイドローラ68a、68bの摺動による発塵は吸塵口4より吸塵され、図1〜図2に示すクリーン駆動装置Aの作用により、エア回路3を経てフィルタ室5内に集塵されるようになる。
このスライド置台Cは、図5に示すように、直接或いは置台を介して搬送物Gを搭載するようにした走行台車Dの車輪WをレールRに導かれて走行可能とし、該走行台車には車輪Wの近傍位置に吸塵口4を、走行台車Dの下部位置にエア回路3とフィルタ室及びシリンダ2を配置し、該シリンダ2を貫通するシリンダロッドは固定側に固定して構成する。そしてシリンダ2とエア回路3間を、図1〜図2に示すように、分岐吸塵管にて接続し、エア回路3とフィルタ室5間を排塵管にて接続する。
これにより、走行台車DがレールRに沿って走行する際、その駆動力の一部を利用してクリーン駆動装置Aのシリンダ2を相対動作させて車輪Wの位置での発塵をクリーン駆動装置Aにて吸塵するものである。
このシャッター装置Sは、従来方法と同じように、シャッター本体Saの開閉方向に導くように配設したガイドレールG1、G1に、ガイドローラG2、G2を介してシャッター本体を開閉可能に支持するとともに、シャッター本体Sa側にエア回路3とフィルタ室5及びシリンダ2を、かつガイドローラG2と対峙する位置に吸塵口4を配置し、シリンダ2とエア回路3間及びエア回路3とフィルタ室5間を、図1〜図2に記載した実施例と同様に、分岐吸塵管31、32及び排塵管33、34にて接続する。この場合、シリンダ2を貫通するシリンダロッドは固定側に固定する。
これにより、シャッター装置Sのシャッター本体Saの開閉動作時に発生する発塵を、クリーン駆動装置Aのシリンダ2を相対動作させて吸塵するものである。
この昇降装置Eは、昇降体E1の垂直柱E2の1側面にラックLを配設し、固定側に該垂直柱E2の両側面を挟持するようにして複数のガイドローラG2を配設し、かつ前記垂直柱E2のラックLに噛合するようにしてピニオンPを配設し、このピニオンPの回動にてこれと噛合するラックLを移動させて昇降体E1を昇降するように構成するとともに、該昇降装置Eにクリーン駆動装置Aを配設する。
これにより、ピニオンの回動にてこれと噛合するラックがスライドする際、固定側に固定されたシリンダ2と、シリンダロッドと昇降体側に固定されたシリンダロッドとは相対動作し、エア回路3を介してガイドローラ付近等の発塵を吸塵、排出することができる。
この旋回装置Fは、旋回体側に固定されたピニオンP1と噛合する比較的小径のピニオンP2をラックLに噛合し、固定側に、かつピニオン噛合部付近にクリーン駆動装置Aの吸塵口4を配置するとともに、固定側にシリンダ2、エア回路3、フィルタ室5をも配置し、ラック側にはシリンダ2を貫通するシリンダロッド21を固定する。
これにより、ラックL、ピニオンP1、P2によりピニオンの回転運動を直線運動に変換し、ラックに取り付けられたシリンダロッド、正確にはピストンとシリンダとが相対動作をし、エア回路3を介してピニオン付近等の発塵を吸塵、排出することができる。
2 シリンダ
21 シリンダロッド
22 ピストン
3 エア回路
4 吸塵口
5 フィルタ室
31、32 分岐吸塵管
33、34 排塵管
31a、32a 逆止弁
33a、34a 逆止弁
Claims (5)
- 装置本体の動作と連動するようにしたシリンダと、装置の発塵部に配設して発塵を吸引するようにした吸塵口間を、エア回路を介して接続し、該エア回路を介して装置本体の動作と連動するシリンダにて発塵部の空気を吸引し、吸引した空気をフィルタ室へ排気するようにしたことを特徴とするクリーン駆動装置。
- エア回路を、シリンダの両端と吸塵口間を、それぞれ逆止弁を備えた分岐吸塵管にて接続し、かつ各分岐吸塵管に逆止弁を備えた排塵管を接続したことを特徴とする請求項1記載のクリーン駆動装置。
- 装置の移動に伴ってシリンダが移動する際、シリンダの一端側分岐吸塵管を経てシリンダ内に吸塵し、他端側分岐吸塵管より先行程でシリンダ内に吸引した空気を排塵管を経てフィルタ室へ排気するように逆止弁を交互に開閉動作するようにしたことを特徴とする請求項1又は2記載のクリーン駆動装置。
- 逆止弁を備えた排塵管を、分岐吸塵管に備えた逆止弁とフィルタ室間の分岐吸塵管に接続したことを特徴とする請求項1、2又は3記載のクリーン駆動装置。
- 各排塵管先端をフィルタ室に接続したことを特徴とする請求項1、2、3又は4記載のクリーン駆動装置。
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JP2009104162A JP5348402B2 (ja) | 2009-04-22 | 2009-04-22 | クリーン駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02209316A (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-20 | Daifuku Co Ltd | クリーンルーム間の搬送装置 |
JPH098107A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Hitachi Ltd | ワーク保持装置およびその駆動方法 |
JP2005081947A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 清掃用車両 |
JP2006001658A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 移載装置 |
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2009
- 2009-04-22 JP JP2009104162A patent/JP5348402B2/ja active Active
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