JP5159508B2 - ダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置或いは薬剤製造装置その他各種の装置において液体を吸入及び吐出するために採用されるダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置に関する。

従来、この種のポンプ装置としては、下記特許文献１に記載の薬液供給システムが提案されている。この薬液供給システムは、ポンプユニットを備えており、このポンプユニットは、ポンプハウジングと弁ハウジングとの間の空間内にこの空間をダイヤフラムで仕切ることによって、ポンプ室及び作動室を形成している。ここで、ポンプ室は、ダイヤフラムよりもポンプハウジング側に位置し、一方、作動室は、ダイヤフラムよりも弁ハウジング側に位置している。

このように構成したポンプユニットにおいて、ポンプ室内に薬液を吸入するにあたっては、ダイヤフラムを作動室内の減圧により作動室側へ変位させる。また、ポンプ室内に吸引した薬液を吐出するにあたっては、ダイヤフラムを作動室内への加圧によりポンプ室側へ変位させる。
特開２００５−２４０７６２号公報

ところで、上記ポンプユニットにおいては、作動室の内部に加圧するとともにこのように加圧した作動室の内部を減圧するにあたり、空気源からの圧縮空気を作動室内に供給する吸気経路と作動室の内部から真空源による真空引きでもって排気する排気経路との双方が、弁ハウジングの壁部の内部に形成されている。

換言すれば、上記ポンプユニットにおいては、作動室内への加圧及び作動室内の減圧という双方の機能を採用しているため、加圧及び減圧がダイヤフラムの作動室側の面にのみ作用するようになっている。このため、上述した吸気経路及び排気経路が、それぞれ、弁ハウジング及びポンプハウジングの各壁部の内部に別々に形成されるのではなく、必然的に、同一の弁ハウジングの壁部の内部に形成されている。このことは、弁ハウジングの内部の構成が複雑になることを意味する。その結果、ポンプユニットの構成が複雑になるという不具合を招く。

そこで、本発明は、以上のようなことに対処するため、ダイヤフラムにその両面側から逆向きに作用する２つの力を活用して、簡単な構成にて液体の吸入及び吐出を行うようにしたダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置を提供することを目的とする。

上記課題の解決にあたり、本発明に係るダイヤフラムポンプは、請求項１の記載によれば、
ハウジング（Ｈ）と、
このハウジング内に設けられて当該ハウジングの内部を押圧室（Ｒ１）及びポンプ室（Ｒ２）に区画する主ダイヤフラム（９０）と、
ハウジングのうちポンプ室を介し主ダイヤフラムに同軸的に対向する同軸壁部位（３１、３２）内にてポンプ室内に開口するように凹状に形成した凹部（３３ｂ）とポンプ室との間に設けられて上記凹部をポンプ室から液密的に区画する副ダイヤフラム（１００）と、
ハウジングの上記凹部内から副ダイヤフラムをポンプ室側へ付勢する付勢手段（７０）とを備えて、
副ダイヤフラムは、その中央部（１０１）にて、ポンプ室内から主ダイヤフラムの中央部（９１）に同軸的に連結され、かつ、主ダイヤフラムよりも小さな外径を有しており、
ハウジングのうち押圧室の周壁部位には、空気流供給源（８０）からの空気流を押圧室内に供給する供給孔部（４４）が形成されており、
ハウジングのうちポンプ室の周壁部位には、液体供給源（１０）からの液体をポンプ室内に吸入する吸入部（５０ｂ、５４ａ）及びポンプ室内の上記液体を吐出する吐出部（５４ｂ、５０ｃ）が形成されている。

これによれば、液体のポンプ室内への吸入完了状態においては、押圧室内への空気流の供給停止状態にて、副ダイヤフラムが、付勢手段による付勢のもとに主ダイヤフラムを押圧室側に変位させてポンプ室の容積を増大させた状態にある。

このような状態において、空気流が上記供給孔部を通して押圧室内に供給されると、主ダイヤフラムが、押圧室内への空気流の圧力を受けて、ポンプ室の容積を減少させるように、付勢手段の付勢力に抗して変位する。これに伴い、ポンプ室内の液体が上記吐出部から吐出される。

その後、押圧室内への空気流の供給が停止されると、主ダイヤフラムが、ポンプ室の容積を増大させるように、副ダイヤフラムを介し付勢手段により付勢されて変位して、液体がポンプ室内に吸入部を通して吸入される。

ここで、付勢手段の付勢力がポンプ室側から副ダイヤフラムを介し主ダイヤフラムに対して作用し、一方、空気流の圧力が、上述のようにポンプ室内の液体を吐出する際に、押圧室側から上記主ダイヤフラムに作用する。このことは、ポンプ室内の液体を吐出する際に、副ダイヤフラムを介する付勢力及び押圧室内の空気流の圧力が、同一の主ダイヤフラムを介し互いに対向するように当該主ダイヤフラムに向けて作用することを意味する。

換言すれば、付勢手段による付勢のための凹部及び空気流を押圧室内に供給する供給孔部を、ハウジングに対し、主ダイヤフラムの両側に別々に分かれて設けることで、主ダイヤフラムの両面側から逆向きに作用する付勢手段による付勢力及び空気流による圧力の双方を有効に活用して、ハウジングの構成を簡単にすることができる。

また、副ダイヤフラムが、その変位により、主ダイヤフラムによるポンプ室の容積の変化に影響を与えない程度に、副ダイヤフラムが主ダイヤフラムよりも小さな外径を有すれば、ポンプ室内への液体の吸入や液体のポンプ室からの吐出は良好に確保され得る。

また、上述のごとく、ポンプ室が、副ダイヤフラムにより、上記凹部から液密的にシールされているから、上記凹部内からポンプ室内にゴミ等の異物が侵入することはない。このようなことは、付勢手段として、ハウジングのうちのポンプ室の周壁部位を通し上記凹部内に空気流を圧送供給する手段を採用した場合に、特に著しく、また、例えば、当該ダイヤフラムポンプを、液体としての薬液の清浄さを厳しく要求する半導体製造装置に適用した場合に、有効である。

また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載のダイヤフラムポンプにおいて、
付勢手段は、ハウジングの上記凹部内に設けられて副ダイヤフラムをポンプ室内に向けて付勢するコイルスプリング（７０）であることを特徴とする。

これによれば、コイルスプリングの付勢力は、副ダイヤフラムを介し主ダイヤフラムに向けて適正に作用する。このため、ポンプ室内の液体の吐出にあたり、コイルスプリングの付勢力が主ダイヤフラムに対し押圧室内への空気流の圧力とは逆向きに正しく作用する。その結果、請求項１の発明の作用効果がより一層適正に達成され得る。

また、本発明に係るダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置は、請求項３の記載によれば、
請求項１または請求項２に記載のダイヤフラムポンプ（Ｐ）と、
液体をダイヤフラムポンプのポンプ室に上記吸入部から流入させるとき開弁し、この液体の流入を停止するとき閉弁する上流側弁手段（１１０、１１４）と、
ポンプ室から上記吐出部を介し吐出される上記液体をその被供給系統（２０）へ供給するとき開弁し、この液体の被供給系統への供給を停止するとき閉弁する下流側弁手段（１２０、１２３）とを具備する。

これによれば、ポンプ室内への液体の吸入及びその停止が、上流側弁手段の開弁及び閉弁によりなされ、ポンプ室からの液体の吐出及びその停止が、下流側弁手段の開弁及び閉弁により行われる。このため、ダイヤフラムポンプによる液体の吸入及び吐出がより一層的確になされ得る。その結果、請求項１または２に記載の発明の作用効果がより一層向上され得る。

また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項３に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置において、下流側弁手段から被供給系統への液体の供給流量を一定の微少流量に絞るオリフィス手段（１２４、１３０）を具備することを特徴とする。

これによれば、ダイヤフラムポンプの吐出時にポンプ室から吐出部を介し吐出される液体は、オリフィス手段によりに絞られて一定の微少流量となって被供給系統に供給される。その結果、被供給系統における処理、例えば、半導体製造装置の処理カップ内の半導体ウェハーの処理を良好に行いつつ、請求項３に記載の発明の作用効果を達成し得る。

また、本発明は、請求項５の記載によれば、請求項３または４に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置において、
副ダイヤフラムの中央部から主ダイヤフラムとは反対側へ同軸的に上記凹部内に向け延出されるロッド（６０）と、位置検出手段（１４０）、第１制御手段（２１２、２１３、２１４）及び第２制御手段（２０２、２０３、２４１）とを備えて、
ハウジングの上記凹部は、その底部（３３ａ）にて、副ダイヤフラムと同軸的に開口されて上記凹部内に連通するとともに上記底部の外部に連通しており、
ロッドは、上記凹部を通り上記底部から延出可能に当該底部内に軸方向に摺動可能に嵌装される先端側軸部（６１）を有しており、
位置検出手段は、上記凹部の上記底部或いはその近傍に設けられて、ダイヤフラムポンプがポンプ室内への上記液体の吸入を完了したときロッドの上記先端側軸部の摺動位置をロッドの第１摺動位置として検出し、また、ダイヤフラムポンプがポンプ室内の上記液体の吐出を完了したときロッドの上記先端側軸部の摺動位置をロッドの第２摺動位置として検出するようになっており、
第１制御手段は、位置検出手段がロッドの上記第２摺動位置を検出したとき、上記液体をポンプ室内に吸入するために、押圧室内への上記空気流の供給を停止し、上流側弁手段を開弁し、かつ下流側弁手段を閉弁するように空気流供給源、上流側弁手段及び下流側弁手段を制御するようになっており、
第２制御手段は、第１制御手段による制御後位置検出手段がロッドの上記第１摺動位置を検出したとき、ポンプ室内の上記液体を吐出するために、押圧室内への上記空気流の供給を開始し、上流側弁手段を閉弁し、かつ下流側弁手段を開弁するように空気流供給源、上流側弁手段及び下流側弁手段を制御するようになっていることを特徴とする。

これによれば、位置検出手段がロッドの上記第２摺動位置を検出したとき、液体をポンプ室内に吸入するために、押圧室内への上記空気流の供給が停止され、上流側弁手段が開弁し、かつ下流側弁手段が閉弁する。然る後、位置検出手段がロッドの上記第１摺動位置を検出したとき、ポンプ室内の液体を吐出するために、押圧室内への上記空気流の供給が開始され、上流側弁手段が閉弁し、かつ下流側弁手段が開弁する。

その結果、ダイヤフラムポンプを、液体の吸入及び吐出を交互に行うように良好に制御しつつ、請求項３または４に記載の作用効果が達成され得る。

また、本発明は、請求項６の記載によれば、請求項５に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置において、第２制御手段の制御に伴うポンプ室内の液体の吐出が所定異常時間（Ｔｏ）の経過前に完了しないとき、ダイヤフラムポンプの作動を禁止することを特徴とする。

これにより、ダイヤフラムポンプの異常対策をタイミングよく講じつつ、請求項５に記載の発明の作用効果を達成し得る。

また、本発明に係るダイヤフラムポンプは、請求項７の記載によれば、
ハウジング（Ｈ）と、
このハウジング内に設けられて当該ハウジングの内部を押圧室（Ｒ１）及びポンプ室（Ｒ２）に区画する主ダイヤフラム（９０）と、
ハウジングのうちポンプ室を介し主ダイヤフラムに同軸的に対向する同軸壁部位（３１、３２）内にポンプ室内に開口するように凹状に形成した凹部（３３ｂ）とポンプ室との間に設けられて上記凹部をポンプ室から液密的に区画する副ダイヤフラム（１００）と、
押圧室内に設けられて主ダイヤフラムをポンプ室側へ押圧するように付勢する付勢手段（７０ａ）とを備え、
副ダイヤフラムは、その中央部（１０１）にて、ポンプ室内から主ダイヤフラムの中央部（９１）に同軸的に連結され、かつ、主ダイヤフラムよりも小さな外径を有しており、
ハウジングのうちポンプ室の周壁部位には、液体供給源（１０）からの液体をポンプ室内に吸入する吸入部（５０ｂ、５４ａ）、ポンプ室内の上記液体を吐出する吐出部（５４ｂ、５０ｃ）及び空気流供給源（８０）からの空気流を上記凹部内に供給する供給孔部（３４）が形成されている。

これによれば、液体のポンプ室内への吸入完了状態においては、上記供給孔部を介し上記凹部内へ供給された空気流の圧力のもとに、主ダイヤフラムが、付勢手段に抗して押圧室側へ変位してポンプ室の容積を増大させた状態にある。

このような状態において、空気流の上記凹部内への供給が停止されると、主ダイヤフラムが、押圧室内から付勢手段の付勢力を受けて、ポンプ室の容積を減少させるように、変位する。これに伴い、ポンプ室内の液体が上記吐出部から吐出される。

その後、空気流が上記供給孔部を通して上記凹部内に供給されると、当該空気流の圧力のもとに、主ダイヤフラムが、ポンプ室の容積を増大させるように、付勢手段に抗し変位して、液体がポンプ室内に吸入部を通して吸入される。

ここで、付勢手段の付勢力が押圧室側から主ダイヤフラムに対して作用し、一方、空気流の圧力が、上述のようにポンプ室内の液体を吐出する際に、付勢手段に抗して副ダイヤフラムを介しポンプ室側から上記主ダイヤフラムに作用する。このことは、ポンプ室内の液体を吐出する際に、付勢力及び空気流の圧力が、同一の主ダイヤフラムを介し互いに対向するように当該主ダイヤフラムに向けて作用することを意味する。

換言すれば、付勢手段による付勢のための押圧室及び空気流を上記凹部内に供給する上記供給孔部を、ハウジングに対し、主ダイヤフラムの両側に別々に分かれて設けることで、主ダイヤフラムの両面側から逆向きに作用する付勢手段による付勢力及び空気流による圧力の双方を有効に活用して、ハウジングの構成を簡単にすることができる。

また、副ダイヤフラムが、その変位により、主ダイヤフラムによるポンプ室の容積の変化に影響を与えない程度に、副ダイヤフラムが主ダイヤフラムよりも小さな外径を有すれば、ポンプ室内への液体の吸入や液体のポンプ室からの吐出は良好に確保され得る。

また、上述のごとく、ポンプ室が、副ダイヤフラムにより、上記凹部から液密的にシールされているから、上記凹部内からポンプ室内にゴミ等の異物が侵入することはない。このようなことは、付勢手段として、ハウジングのうちのポンプ室の周壁部位を通し上記凹部内に空気流を圧送供給する手段を採用した場合に、特に著しく、また、例えば、当該ダイヤフラムポンプを、液体としての薬液の清浄さを厳しく要求する半導体製造装置に適用した場合に、有効である。

また、本発明に係るダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置は、請求項８の記載によれば、
請求項７に記載のダイヤフラムポンプであって副ダイヤフラムの中央部（９１）から主ダイヤフラムとは反対側へ同軸的に上記凹部内に向け延出されるロッド（６０）を有するダイヤフラムポンプ（Ｐａ）、上流側弁手段（１１０、１１４）、下流側弁手段（１２０、１２３）及びオリフィス手段（１２４、１３０）と、位置検出手段（１４０）、第１制御手段（２１２、２１３、２１４）及び第２制御手段（２０２、２０３、２４１）とを備えて、
ハウジングの上記凹部は、その底部（３３ａ）にて、副ダイヤフラムと同軸的に開口されて上記凹部内に連通するとともに上記底部の外部に連通しており、
ロッドは、上記凹部を通り上記底部から延出可能に当該底部内に軸方向に摺動可能に嵌装される先端側軸部（６１）を有しており、
上流側弁手段は、前記液体を前記ダイヤフラムポンプの前記ポンプ室に前記吸入部から流入させるとき開弁し、この液体の流入を停止するとき閉弁するようになっており、
前記下流側弁手段は、ポンプ室から上記吐出部を介し吐出される上記液体をその被供給系統（２０）へ供給するとき開弁し、この液体の被供給系統への供給を停止するとき閉弁するようになっており、
オリフィス手段は、下流側弁手段から被供給系統への上記液体の供給流量を一定の微少流量に絞るようになっており、
位置検出手段は、上記凹部の上記底部或いはその近傍に設けられて、ダイヤフラムポンプがポンプ室内への上記液体の吸入を完了したときロッドの上記先端側軸部の摺動位置をロッドの第１摺動位置として検出し、また、ダイヤフラムポンプがポンプ室内の上記液体の吐出を完了したときロッドの上記先端側軸部の摺動位置をロッドの第２摺動位置として検出するようになっており、
第１制御手段は、位置検出手段がロッドの上記第２摺動位置を検出したとき、上記液体をポンプ室内に吸入するために、上記凹部内へ上記空気流を供給し、上流側弁手段を開弁し、かつ流側弁手段を閉弁するように空気流供給源、上流側弁手段及び下流側弁手段を制御するようになっており、
第２制御手段は、第１制御手段による制御後位置検出手段がロッドの上記第１摺動位置を検出したとき、ポンプ室内の上記液体を吐出するために、上記凹部内への上記空気流の供給を停止し、上流側弁手段を閉弁し、かつ下流側弁手段を開弁するように空気流供給源、上流側弁手段及び下流側弁手段を制御する。

これによれば、位置検出手段がロッドの上記第２摺動位置を検出したとき、液体をポンプ室内に吸入するために、上記凹部内へ空気流を供給し、上流側弁手段が開弁し、かつ下流側弁手段が閉弁する。然る後、位置検出手段がロッドの上記第１摺動位置を検出したとき、ポンプ室内の液体を吐出するために、上記凹部内への空気流の供給が停止し、上流側弁手段が閉弁し、かつ下流側弁手段が開弁する。従って、ダイヤフラムポンプを、液体の吸入及び吐出を交互に行うように良好に制御し得る。

また、このような良好な制御のもとに、ダイヤフラムポンプの吐出時にポンプ室から吐出部を介し吐出される液体は、オリフィス手段によりに絞られて一定の微少流量となって被供給系統に供給される。

その結果、被供給系統における処理、例えば、半導体製造装置の処理カップ内の半導体ウェハーの処理を良好に行いつつ、請求項７に記載の発明の作用効果を達成し得る。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の各実施形態を図面により説明する。
（第１実施形態）
図１は、半導体製造装置の枚葉式処理系統に適用された本発明に係るダイヤフラムポンプ及びこのダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置の第１実施形態を示しており、当該ポンプ装置は、薬液タンク１０と処理カップ２０との間に配設されている。なお、薬液タンク１０は、薬液を貯留している。また、処理カップ２０内には、半導体ウェハーＷが、スピンテーブル２１上に載置されている。

当該ポンプ装置は、図１及び図２にて示すごとく、ダイヤフラムポンプＰを備えている。このダイヤフラムポンプＰは、図２にて示すごとく、ポンプハウジングＨを有しており、このポンプハウジングＨは、上下両側ハウジング部材３０、４０の間に中側ハウジング部材５０を組み付けて、円柱台形状に構成されている。

上側ハウジング部材３０は、円柱台形状の大径壁部３１と、この大径壁部３１の下面中央部から下方へ突出する小径壁部３２とを一体的に有するように、フッ素樹脂でもって形成されている。上側ハウジング部材３０は、ロッド６０及びコイルスプリング７０（後述する）を嵌装する貫通孔部３３を有している。

この貫通孔部３３は、大径壁部３１及び小径壁部３２を同軸的に貫通するように形成されており、当該貫通孔部３３は、小径孔部３３ａ及び大径孔部３３ｂを有している。小径孔部３３ａは、大径壁部３１の中央上部内に同軸的に形成されており、この小径孔部３３ａは、その上端開口部にて、大径壁部３１から上方へ開口している。大径孔部３３ｂは、大径壁部３１の中央部のうち上記中央上部を除く部位から小径壁部３２にかけて、小径孔部３３ａと連通するように同軸的に形成されており、この大径孔部３３ｂは、その下端開口部にて、ポンプ室Ｒ２（後述する）内に連通している。

下側ハウジング部材４０は、フッ素樹脂でもって円柱台形状に形成されており、この下側ハウジング部材４０には、中央凹部４１及び環状溝部４２が後述のごとく形成されている。中央凹部４１は、下側ハウジング部材４０の上面の中央部に縦断面略半楕円形状にて凹状となるように形成されており、この中央凹部４１の外周部４１ａは、下側ハウジング部材４０の上面４１ｂから上方へ円環状に突出している。環状溝部４２は、中央凹部４１の外周部４１ａに沿うように、下側ハウジング部材４０の上面４１ｂから下方に向け凹状に形成されており、この環状溝部４２には、Ｏリング４３が嵌着されている。

また、下側ハウジング部材４０は、供給孔部４４を有しており、この供給孔部４４は、その内端部にて、中央凹部４１内にその底面部から開口している。また、当該供給孔部４４の外端部は、下側ハウジング部材４０の外周面の一部から空気流供給源８０（図１参照）内に配管８１（図１参照）を介し連通している。これにより、空気流供給源８０は、コントローラ１５０（後述する）による制御のもと、空気流を、一定圧力にて、中央凹部４１内に配管８１及び供給孔部４４を通して圧送により供給する。

中側ハウジング部材５０は、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）でもって、円柱台形状の壁部５０ａ及び筒状の上下流側ボス部５０ｂ、５０ｃを一体的に有するように形成されている。壁部５０ａは、中央凹部５１を有しており、この中央凹部５１は、下側ハウジング部材４０の中央凹部４１及び環状溝部４２を同軸的に臨むように、壁部５０ａの中央部にその下面側から横断面略コ字形状にて形成されている。

当該中央凹部５１は、底側小径部５１ａ及び開口側大径部５１ｂを有している。底側小径部５１ａの底面中央には、上側ハウジング部材３０の貫通孔部３３が連通しており、開口側大径部５１ｂは、底側小径部５１ａの直下にてこの底側小径部５１ａに同軸的に連通するように形成されている。

ここで、底側小径部５１ａの内径は、中央凹部４１の外周部４１ａの開口端側内径と同一である。また、当該中央凹部５１の開口側大径部５１ｂは、下側ハウジング部材４０の環状溝部４２の外側内周面の径と同一の内径を有する。このため、開口側大径部５１ｂが底側小径部５１ａとの境界に形成する環状段部５１ｃは、その下面にて、環状溝部４２にその開口側から対向している。なお、開口側大径部５１ｂの軸長は、中央凹部４１の外周部４１ａのうち下側ハウジング部材４０の上面から上方へ突出する部位の長さよりも、長く設定されている。

また、壁部５０ａは、中央貫通穴部５２を有しており、この中央貫通穴部５２は、上側ハウジング部材３０の小径壁部３２に同軸的に対応するように、横断面円形状にて、壁部５０ａのうち中央凹部５１の上壁部位に貫通状に形成されている。

また、壁部５０ａは、環状Ｌ字部５３を有しており、この環状Ｌ字部５３は、中央貫通穴部５２の内周面下端部から軸心側へ一体的に突出するように形成されている。当該環状Ｌ字部５３は、両環状壁部５３ａ、５３ｂを有しており、環状壁部５３ａは、中央貫通穴部５２の内周面下端部から半径方向に沿い軸心に向けて突出している。また、環状壁部５３ｂは、中央貫通穴部５２の内周面の軸方向部位に対し平行となるように、当該環状壁部５３ａの半径方向突出端部から上方に向け延出している。

以上のように構成した中側ハウジング部材５０は、次のようにして、上下両側ハウジング部材３０、４０の間に組み付けられている。即ち、中側ハウジング部材５０は、その下面外周部にて、下側ハウジング部材４０の上面４１ｂの外周部上に気密的に装着されている。この場合、中側ハウジング部材５０の中央凹部５１の開口側大径部５１ｂ内において、環状段部５１ｃが、主ダイヤフラム９０の外周部９３（後述する）を介し、下側ハウジング部材４０の中央凹部４１の外周部４１ａ上に着座している。これに伴い、Ｏリング４３が、主ダイヤフラム９０の外周部９３によって下側ハウジング部材４０の環状溝部４２内に押圧されて、下側及び中側の両ハウジング部材４０、５０の各中央凹部４１、５１の内部を、下側及び中側の両ハウジング部材４０、５０の間の各境界面から気密的にシールしている。

また、上側ハウジング部材３０は、その下面にて、中側ハウジング部材５０の上面上に装着されている。ここで、上側ハウジング部材３０の小径壁部３２は、中側ハウジング部材５０の上面から中央貫通穴部５２内に同軸的に嵌装されている。これに伴い、小径壁部３２は、その下端面にて、副ダイヤフラム１００の外周部１０３（後述する）を介し、環状Ｌ字部５３の環状壁部５３ｂ上に着座している。

上下流側ボス部５０ｂ、５０ｃは、図２にて示すごとく、中側ハウジング部材５０の外周面のうち両対向部位から半径方向に沿い一体的に互いに逆方向に向け延出している。上流側ボス部５０ｂは、その内端開口部にて、中側ハウジング部材５０内に形成した吸入孔部５４ａを通り、中央凹部５１の底側小径部５１ａ内に連通している。一方、下流側ボス部５０ｃは、その内端開口部にて、中側ハウジング部材５０内に吸入孔部５４ａに対向するように形成した吐出孔部５４ｂを通り、中央凹部５１の底側小径部５１ａ内に連通している。

また、当該ダイヤフラムポンプＰは、上述したロッド６０、コイルスプリング７０、主ダイヤフラム９０及び副ダイヤフラム１００を備えている。ロッド６０は、上側ハウジング部材３０の貫通孔部３３内にその先端開口部３３ｃから嵌装されており、当該ロッド６０は、先端側軸部６１、中側軸部６２及び基端側軸部６３でもって、フッ素樹脂により、同軸的に形成されている。

しかして、ロッド６０において、先端側軸部６１は、貫通孔部３３の小径孔部３３ａから上方へ突出するように、小径孔部３３ａ内に摺動可能に嵌装されている。本実施形態では、小径孔部３３ａの先端側軸部６１とのはめあい交差及び小径孔部３３ａの軸方向長さは、先端側軸部６１の小径孔部３３ａ内における横振れを防止し得るように、それぞれ、適正に選定されている。また、中側軸部６２は、先端側軸部６１よりも大きな外径を有しており、この中側軸部６２は、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に同軸的に嵌装されている。また、この中側軸部６２の下端部には、環状鍔部６２ａが半径方向に環状に突出して形成されている。なお、環状鍔部６２ａの外径は、大径孔部３３ｂの内径よりも小さい。

また、ロッド６０の基端側軸部６３は、中側ハウジング部材５０の中央凹部５１内に突出しており、この基端側軸部６３の外周部には、雄ねじ部６３ａが同軸的に形成されている。なお、上述した貫通孔部３３の先端開口部３３ｃは、図２にて示すごとく、環状Ｌ字部５３内に向け同軸的にかつ環状に隆起して形成されており、この先端開口部３３ｃの隆起側外周面は、断面下側に凸な湾曲面形状に形成されている。

コイルスプリング７０は、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内にて、ロッド６０の中側軸部６２に同軸的に嵌装されており、このコイルスプリング７０は、その両端部にて、大径孔部３３ｂと小径孔部３３ａとの間の境界段部３３ｄ及び中側軸部６２の環状鍔部６２ａに係止している。これにより、当該コイルスプリング７０は、ロッド６０を中側ハウジング部材５０の中央凹部５１内に向け同軸的に付勢している。なお、ロッド６０の上方への摺動は、中側軸部６２の境界段部３３ｄとの当接により規制される。

主ダイヤフラム９０及び副ダイヤフラム１００は、共に、ＰＴＦＥでもって、円形状に形成されている。主ダイヤフラム９０は、中央軸部９１、中間膜部９２及び外周部９３を備えている。中央軸部９１は、雌ねじ孔部９１ａを有しており、この雌ねじ孔部９１ａは、中央軸部９１内にその上端面から同軸的に形成されている。中間膜部９２は、厚肉部９２ａ及び薄肉部９２ｂを有しており、厚肉部９２ａは、円環状となるように、中央軸部９１の下部から外方へ一体的に延出している。また、薄肉部９２ｂは、十分な可撓性を有するように、厚肉部９２ａよりも薄く形成されており、この薄肉部９２ｂは、円環状となるように、厚肉部９２ａから外方へ一体的に延出している。外周部９３は、厚肉にて円環状となるように、薄肉部９２ｂから外方へ一体的に延出している。

このように構成した主ダイヤフラム９０においては、上述のごとく中側ハウジング部材５０がその下面外周部にて下側ハウジング部材４０の上面４１ｂの外周部に装着される際に、外周部９３が、中央軸部９１及び中間膜部９２を、その各下面にて、下側ハウジング部材４０の中央凹部４１にその開口面側から対向させるように、下側ハウジング部材４０の中央凹部４１の外周部４１ａ及びＯリング４３上に載置される。

然る後、中側ハウジング部材５０が、その下面外周部にて、外周部９３を、Ｏリング４３の上部とともに、中側ハウジング部材５０の中央凹部５１の開口部５１ｂ内に嵌装させるように、下側ハウジング部材４０の上面４１ｂの外周部に装着される。このとき、上述したごとくＯリング４３が下側ハウジング部材４０の環状溝部４２内に押圧される。このようにして、主ダイヤフラム９０が、下側ハウジング部材４０及び中側ハウジング部材５０に組み付けられて、中央軸部９１及び中間膜部９２により、中央凹部４１及び中央凹部５１を押圧室Ｒ１及びポンプ室Ｒ２に区画形成する。なお、主ダイヤフラム９０の押圧室Ｒ１側への変位は、中央凹部４１の底面中央部に突設した円柱状台座部４１ｃに対する中央軸部９１の当接により規制される。

副ダイヤフラム１００は、中央軸部１０１、中間膜部１０２及び外周部１０３を備えている。中央軸部１０１は、雌ねじ孔部１０１ａ、雄ねじ部１０１ｂ及び環状鍔部１０１ｃを有しており、雌ねじ孔部１０１ａは、中央軸部１０１内にその上端面から同軸的に形成されている。雄ねじ部１０１ｂは、中央軸部１０１の外周部に同軸的に形成されており、この雄ねじ部１０１ｂの直上には、環状鍔部１０１ｃが、中央軸部１０１の外周部から外方へ径方向に沿い突出形成されている。

中間膜部１０２は、十分な可撓性を有するように薄く形成されており、この中間膜部１０２は、中央軸部１０１の上端外周部から外方へ円環状となるように断面湾曲状にて一体的に延出されている。外周部１０３は、円環状溝部１０３ａを有しており、この円環状溝部１０３ａは、環状Ｌ字部５３の環状壁部５３ｂに対応するように、外周部１０３にその下面側から円環溝状に形成されている。

このように構成した副ダイヤフラム１００においては、中央軸部１０１が、環状鍔部１０１ｃを主ダイヤフラム９０の中央軸部９１の上端面に着座させるようにして、雄ねじ部１０１ｂにて、中央軸部９１の雌ねじ孔部９１ａ内に締着されており、中央軸部１０１の雌ねじ孔部１０１ａには、ロッド６０の基端側軸部６３の雄ねじ部６３ａが締着されている。また、外周部１０３が、円環状溝部１０３ａの外周部を中側ハウジング部材５０の中央貫通穴部５２の内周面と環状Ｌ字部５３の環状壁部５３ｂの外周面との間に挿入するようにして、円環状溝部１０３ａにて、環状Ｌ字部５３の環状壁部５３ｂに上方から嵌合されている。これにより、上述のごとく上側ハウジング部材３０を中側ハウジング部材５０に組み付けたとき、外周部１０３は、上側ハウジング部材３０の小径壁部３２の下面により、環状Ｌ字部５３に液密的に固く押圧されている。本実施形態では、副ダイヤフラム１００が、その変位により、主ダイヤフラム９０によるポンプ室Ｒ２の容積を減少させない程度において、副ダイヤフラム１００の外径が、主ダイヤフラム９０の外径よりも小さく選定されている。

当該ポンプ装置は、図１にて示すごとく、上流側開閉弁１１０、下流側開閉弁１２０及びオリフィス１３０を備えている。上流側開閉弁１１０は、電磁式開閉弁からなるもので、この上流側開閉弁１１０は、弁部１１１と、この弁部１１１を電磁的に開閉する駆動部１１２とにより構成されている。弁部１１１は、薬液タンク１０の薬液内から延出する配管１１３と、ダイヤフラムポンプＰの下流側ボス部５０ｂから延出する配管１１４との間に接続されている。

しかして、当該上流側開閉弁１１０は、弁部１１１にて、駆動部１１２により電磁的に開弁されて、両配管１１３、１１４を相互に連通させる。また、当該上流側開閉弁１１０は、弁部１１１にて、駆動部１１２により電磁的に閉弁されて、両配管１１３、１１４の連通を遮断する。

下流側開閉弁１２０は、上流側開閉弁１１０と同様に電磁式開閉弁からなるもので、この下流側開閉弁１２０は、弁部１２１と、この弁部１２１を電磁的に開閉する駆動部１２２とにより構成されている。弁部１２１は、上流側ボス部５０ｃから延出する配管１２３と、オリフィス１３０から延出する配管１２４との間に接続されている。

しかして、当該下流側開閉弁１２０は、弁部１２１にて、駆動部１２２により電磁的に開弁されて、両配管１２３、１２４を連通する。また、当該下流側開閉弁１２０は、弁部１２１にて、駆動部１２２により電磁的に閉弁されて、両配管１２３、１２４の間の連通を遮断する。

オリフィス１３０は、弁部１２１から延出する配管１２４と、処理カップ２０内に連通する配管１２５との間に接続されており、このオリフィス１３０の開口内径は、例えば、０．２（ｍｍ）と、小さく設定されている。なお、下流側開閉弁１２０の弁部の開弁内径は、オリフィス１３０の開口内径よりも大きく、下流側ボス部５０ｃの内径以下となっている。

また、当該ポンプ装置は、図１にて示すごとく、操作スイッチＳＷ、位置センサ１４０、コントローラ１５０及び両駆動回路１６０、１７０を備えており、これら操作スイッチＳＷ、位置センサ１４０、コントローラ１５０及び両駆動回路１６０、１７０が、当該ポンプ装置の制御回路を構成する。

操作スイッチＳＷは、当該ポンプ装置を作動させるときに操作されてオンする。位置センサ１４０は、光電センサからなるもので、この位置センサ１４０は、図３にて模式的に示すような投光系１４０ａ及び受光系１４０ｂを内蔵して構成されている。投光系１４０ａは、投光部１４１及び投光レンズ１４２を有しており、これら投光部１４１及び投光レンズ１４２の光軸は、ロッド６０の軸上に位置している。投光部１４１は、投光レンズ１４１ａに向けて投光する。投光レンズ１４２は、凸レンズからなるもので、この投光レンズ１４２は、投光部１４１からの光を出射してロッド６０の先端側軸部６１の端面部６１ａの中央部に集光させる。このように集光した光は、先端側軸部６１の端面部６１ａの中央部により拡散光として反射される。

受光系１４０ｂは、受光レンズ１４３及び位置検出部１４４を有しており、受光レンズ１４３は、その中心にて、投光レンズ１４２の光軸に対する法線であって投光レンズ１４２の中心を通る法線上に位置するように、投光レンズ１４２に隣接されている。これにより、受光レンズ１４３は、先端側軸部６１の端面部６１ａからの反射拡散光を受光して位置検出部１４４に向けて出射する。位置検出部１４４は、複数の半導体受光素子を一次元状に配列して構成されている。これにより、上記複数の半導体受光素子のうちの一半導体受光素子が受光レンズ１４３からの反射拡散光を受光すると、位置検出部１４４は、上記一半導体受光素子の受光出力に基づき、ロッド６０の摺動位置を検出する。

コントローラ１５０は、マイクロコンピュータからなるもので、このコントローラ１５０は、図４及び図５にて示すフローチャートに従いコンピュータプログラムを実行する。そして、この実行中において、当該コントローラ１５０は、操作スイッチＳＷのオン操作のもと、空気流供給源８０の駆動処理、位置センサ１４０の検出摺動位置に基づく上流側開閉弁１１０或いは下流側開閉弁１２０の開閉弁処理等の演算処理を行う。なお、上記コンピュータプログラムは、コントローラ１５０のＲＯＭに予め読み出し可能に記憶されている。

駆動回路１６０は、コントローラ１５０による制御のもと、上流側開閉弁１１０を開弁或いは閉弁するように駆動部１１２を駆動する。駆動回路１７０は、コントローラ１５０による制御のもと、下流側開閉弁１２０を開弁或いは閉弁するように駆動部１２２を駆動する。

以上のように構成した本実第１施形態において、操作スイッチＷをオン操作すると、コントローラ１５０が、図４及び図５のフローチャートに従い、上記コンピュータプログラムの実行する開始する。すると、図４のステップ２００において、初期モードか否かが判定される。本第１実施形態では、上記初期モードとは、図６にて示すごとく、ダイヤフラムポンプＰがポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入を完了した状態にあるモードをいう。このとき、上流側開閉弁１１０及び下流側開閉弁１２０は、共に、閉弁状態にあり、空気流供給源８０は空気流の供給停止状態にあり、主ダイヤフラム９０は、コイルスプリング７０の付勢力に基づくロッド６０の下方への摺動により、下方へ変位して、下側ハウジング部材４０の凹部４１内の台座部４１ｃ上に当接している。従って、位置センサ１４０は、ロッド６０の下方への摺動端位置を検出している。

現段階において、ダイヤフラムポンプＰが上記初期モードにあれば、ステップ２００における判定がＹＥＳとなる。なお、現段階において、ダイヤフラムポンプＰが上記初期モードになければ、ステップ２００における判定がＮＯとなり、次のステップ２０１において、初期モードへの移行処理がなされる。このため、下流側開閉弁１２０の閉弁状態及び空気流供給源８０からの空気流の供給停止状態のもとに、上流側開閉弁１１０の駆動部１１２が、コントローラ１５０による制御のもとに駆動回路１６０により駆動されて、弁部１１４が開弁する。

これに伴い、ダイヤフラムポンプＰにおいては、主ダイヤフラム９０が、コイルスプリング７０の付勢力に基づくロッド６０の下方への摺動に伴い下方へ変位してポンプ室Ｒ２の容積を増大させる。このため、薬液タンク１０内の薬液が、配管１１３、上流側開閉弁１１０及び配管１１４、ダイヤフラムポンプＰの上流側ボス部５０ｂ及び吸入孔部５４ａを通りポンプ室Ｒ２内に吸入される。然る後、主ダイヤフラム９０が中央凹部４１の台座部４１ｃに当接してポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入が完了すると、上流側開閉弁１１０が閉弁する。これにより、ダイヤフラムポンプＰが上記初期モードになる。

以上のようにしてステップ２００におけるＹＥＳとの判定或いはステップ２０１における初期モードへの移行処理がなされると、次のステップ２０２における空気流供給処理において、空気流供給源８０がコントローラ１５０により駆動されて空気流をダイヤフラムポンプＰの下側ハウジング部材４０の供給孔部４４を介し押圧室Ｒ１内に圧送する。

また、ステップ２０２の処理に伴い、ステップ２０３における下流側開閉弁の開弁処理において、下流側開閉弁１２０が、その駆動部１２２にて、コントローラ１５０による制御のもとに駆動回路１７０により駆動されて、弁部１２１を開弁する。

これに伴い、主ダイヤフラム９０が、ポンプ室Ｒ２の容積を減少させるように、コイルスプリング７０の付勢力に抗してロッド６０を上方へ摺動させながら、上方へ変位し始めるとともに、薬液がポンプ室Ｒ２から吐出孔部５４ｂを通り下流側ボス部５０ｃから配管１２３内に吐出されて、下流側開閉弁１２０の弁部１２１及び配管１２４を通りオリフィス１３０に流入し始める。また、位置センサ１４０によるロッド６０の検出摺動位置が変わっていく。なお、ポンプ室Ｒ２からの薬液の吐出流量は、例えば、１分間に４（ｍｌ）程度である。

ここで、オリフィス１３０の開口内径は、上述のごとく０．２（ｍｍ）と小さいことから、オリフィス１３０に流入する薬液は、当該オリフィス１３０により一定の微少流量に絞られて配管１２５を通り処理カップ２０内に向けて滴下する。これにより、半導体ウェハーＷの薬液処理が、スピンテーブル２１の回転により開始される。ここで、オリフィス１３０を通る薬液の流量は、上述のごとく、一定の微少流量であることから、配管１２５から処理カップ２０内に滴下する薬液の量も、一定の微少量になる。このため、半導体ウェハーＷの薬液処理は、精度よく、一定になされ得る。

上述したステップ２０３における処理後、ステップ２１０において薬液の吐出完了か否かが判定される。現段階において、ロッド６０がその上方への摺動端位置（図７参照）に達していれば、位置センサ１４０による検出摺動位置に基づき、ステップ２１０においてＹＥＳと判定される。これに伴い、上記コンピュータプログラムは、ステップ２１２（図５参照）に進む。

一方、ロッド６０がその上方への摺動端位置に達していなければ、薬液の吐出が完了していないことから、位置センサ１４０による検出摺動位置に基づき、ステップ２１０においてＮＯと判定される。すると、ステップ２１１における内蔵タイマーのリセットスタート処理において、コントローラ１５０の内蔵タイマーがリセットスタートされる。これにより、当該内蔵タイマーが計時を開始する。

ステップ２１１の処理後、ステップ２２０において、Ｔ≧Ｔｏか否かが判定される。ここで、Ｔは、上記内蔵タイマーの計時値である。また、Ｔｏは、ダイヤフラムポンプＰの異常状態を特定する所定異常時間を表す。なお、このダイヤフラムポンプＰの異常状態は、オリフィス１３０の目詰まり等に伴い発生するロッド６０の停止に基づき誘起される。

現段階においては、上記内蔵タイマーの計時開始直後であることから、ステップ２２０における判定はＮＯとなる。そして、薬液の吐出は未だ完了していなければ、上述したステップ２１０における判定と同様に、ステップ２３０において、ＮＯと判定される。

以後、両ステップ２２０、２３０を循環する処理中において、ステップ２３０におけるＹＥＳとの判定に先立って、ステップ２２０において、Ｔ≧Ｔｏの成立に基づき、ＹＥＳと判定されると、ロッド６０が所定異常時間Ｔｏの間実質的に停止したままであることから、ダイヤフラムポンプＰが異常状態にある。このため、次のステップ２２１において、停止処理がなされる。これに伴い、コントローラ１５０による上記コンピュータプログラムに基づく処理が停止される。これにより、ダイヤフラムポンプＰのその後の作動が禁止され得る。その結果、ダイヤフラムポンプＰの異常状態に対する対策をタイミングよく講じることができる。

一方、ステップ２２０におけるＹＥＳとの判定に先立って、Ｔ≧Ｔｏの不成立のもと、ロッド６０が上方への摺動端位置（図７参照）に達して、主ダイヤフラム９０の押圧室Ｒ１側からポンプ室Ｒ２側への変位が完了すれば、ポンプ室Ｒ２内の薬液の吐出が完了していることから、ステップ２３０においてＹＥＳと判定される。このため、上記コンピュータプログラムは、ステップ２１２（図５参照）に進む。

以上のようにして、上記コンピュータプログラムがステップ２１０或いはステップ２３０からステップ２１２に進むと、下流側開閉弁の閉弁処理がなされる。ここでは、下流側開閉弁１２０が、駆動部１２２にて、コントローラ１５０による制御のもとに、駆動回路１７０により駆動されて、弁部１２１を閉弁する。このため、オリフィス１３０がダイヤフラムポンプＰから遮断される。

ステップ２１２における処理後、ステップ２１３における空気流供給停止処理において、空気流供給源８０が、コントローラ１５０により制御されて、ダイヤフラムポンプＰに対する空気流の圧送を停止する。ついで、ステップ２１４における上流側開閉弁の開弁処理において、上流側開閉弁１１０が、駆動部１１２にて、コントローラ１５０による制御のもとに、駆動回路１６０により駆動されて、弁部１１１を開弁する。これに伴い、薬液タンク１０内の薬液が、配管１１３、上流側開閉弁１１０、配管１１４を通りダイヤフラムポンプＰ内にその上流側ボス部５０ｂから流入可能となる。

しかして、上述のようにダイヤフラムポンプＰがオリフィス１３０及び空気流供給源８０から遮断されることにより、ポンプ室Ｒ２がオリフィス１３０から遮断されるとともに押圧室Ｒ１が空気流供給源８０から遮断されることとなる。このため、ロッド６０がコイルスプリング７０による付勢力のもとに下方へ減少にあわせてポンプ室Ｒ２の容積が増大することを意味する。これに伴い、ダイヤフラムポンプＰがポンプ室Ｒ２の容積の増大により吸入機能を発揮することとなるため、薬液タンク１０内の薬液が上流側開閉弁１１０を通りポンプ室Ｒ２内に吸入され始める。

上述のステップ２１４の処理後、ステップ２２０において薬液の吸入完了か否かが判定される。現段階において、主ダイヤフラム９０が、その中央軸部９１及び厚肉部９２ａにて、凹部４１の台座部４１ｃ上に当接していなければ、位置センサ１４０がロッド６０の下方への摺動端位置を検出していないため、ステップ２２０における判定はＮＯとなる。

然る後、主ダイヤフラム９０が、その中央軸部９１及び厚肉部９２ａにて、凹部４１の台座部４１ｃ上に当接すると、位置センサ１４０がロッド６０の下方への摺動端位置を検出することからステップ２４０においてＹＥＳと判定される。これにより、ダイヤフラムポンプＰによるポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入が完了する。

然る後、ステップ２４１における上流側開閉弁の閉弁処理において、上流側開閉弁１１０が、コントローラ１５０による制御のもとに駆動回路１６０により閉弁される。このように上流側開閉弁１１０が閉弁すれば、既に、下流側開閉弁１２０がステップ２１２の処理で閉弁し、空気流供給源８０がステップ２１３の処理で空気流の圧送を停止し、かつ、位置センサ１４０が、ロッド６０の下方への摺動端位置を検出することでステップ２４０における判定がＹＥＳとなっていることから、ダイヤフラムポンプＰが初期状態に戻る。

以上説明したように、本第１実施形態では、ダイヤフラムポンプＰによる薬液の吸入或いは吐出にあたり、コイルスプリング７０の付勢力がポンプ室Ｒ２側からロッド６０の基端側軸部６３及び副ダイヤフラム９０の中央軸部９１を介し主ダイヤフラム９０に対して常時作用し、一方、押圧室Ｒ２内への空気流の圧力が、上述のようにポンプ室内の薬液を吐出する際に、押圧室Ｒ１側から主ダイヤフラム９０に作用する。このことは、ポンプ室Ｒ２内の薬液を吐出する際に、ロッド６０の基端側軸部６３を介する付勢力及び押圧室Ｒ１内への空気流の圧力が、同一の主ダイヤフラム９０を介し互いに正しく対向するように当該主ダイヤフラムに向けて作用することを意味する。

換言すれば、コイルスプリング７０による付勢のための貫通孔部３３及び空気流を押圧室Ｒ１内に供給する供給孔部４４を、ハウジングＨに対し、主ダイヤフラム９０の両面側に別々に分かれて設けることで、主ダイヤフラム９０の両面側から逆向きに作用するコイルスプリング７０による付勢力及び貫通孔部３３内の空気流による圧力の双方を有効に活用して、ハウジングＨを簡単に構成したダイヤフラムポンプを提供することができる。

また、従来技術にて述べたような真空引き構成を採用しないので、真空引きにあたり消費される空気の無駄が抑制される。また、上述のごとく、コイルスプリング７０の付勢力及び押圧室Ｒ１内への空気流の圧力が、主ダイヤフラム９０及びロッド６０を相互に近づける方向に作用する。その結果、ダイヤフラムポンプＰにおける主ダイヤフラム９０及びロッド６０の間の結合機械的強度を必要最小限に軽減し得る。

また、上述のごとく、副ダイヤフラム１００が、その変位により、主ダイヤフラム９０によるポンプ室Ｒ２の容積を減少させない程度において、副ダイヤフラム１００の外径が、主ダイヤフラム９０の外径よりも小さく選定されている。従って、ポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入やポンプ室Ｒ２からの薬液の吐出に必要とされるポンプ室Ｒ２内の容積を適正に維持し得る。

また、ポンプ室Ｒ２の内部が、副ダイヤフラム１００により、貫通孔部３３の大径孔部３３ａから液密的にシールされるので、貫通孔部３３の内部からポンプ室Ｒ２内にゴミ等の異物が侵入することがない。特に、ロッド６０がその基端側軸部６３にて、副ダイヤフラム１００の中央部と一体的となっている。このため、ロッドが副ダイヤフラムの中央軸部１０１に対し相対的に摺動することがない。その結果、副ダイヤフラム１００をＯリングとした場合に発生しがちなＯリングとロッド６０との間の摺動摩擦による異物がポンプ室Ｒ２内に侵入する事態をも確実に防止し得る。このような効果は、当該ダイヤフラムポンプを、本第１実施形態のように薬液の清浄さを厳しく要求する半導体製造装置に適用する場合に、特に著しい。

また、上述のごとく、オリフィス１３０が、下流側開閉弁１２０から処理カップ２０への薬液の供給流量を一定の微少流量に絞るので、処理カップ２０内の半導体ウェハーＷの処理を良好に行いつつ、上述した作用効果が達成され得る。

また、上述のごとく、ポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入及びその停止が、上流側開閉弁１１０の開弁及び閉弁によりなされ、ポンプ室Ｒ２からオリフィス１３０への薬液の吐出及びその停止が、下流側開閉弁１２０の開弁及び閉弁により行われる。このため、上述した作用効果を達成するにあたり、ダイヤフラムポンプＰによる薬液の吸入及び吐出がより一層的確になされ得る。

また、上述のごとく、ハウジングＨの貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内においてロッド６０及び副ダイヤフラム９０をポンプ室Ｒ２側へ付勢する手段は、コイルスプリング７０に依っている。しかも、副ダイヤフラム９０が、大径孔部３３ｂをポンプ室Ｒ２からシール手段として用いられている。このため、ロッド６０の貫通孔部３３との間の摺動抵抗は最小限に軽減されているから、例えば、Ｏリングによりロッド６０を介し大径孔部３３ｂをポンプ室Ｒ２からシールする場合に比べて、ロッド６０に作用する摺動抵抗は、著しく小さい。このようなことは、薬液の吐出量を本実施形態のごとく微少流量に制限する場合に特に有効である。

また、上記従来技術においては、空気圧及び真空圧がダイヤフラムに対し同一側から作用するため、ダイヤフラムに作用する空気圧（或いは真空圧）が真空圧（或いは空気圧）に変化したときに当該ダイヤフラムが急激な圧力変化を受けて急激に変位する。このことは、ダイヤフラムの変位が不安定になりポンプ室内への吸入やポンプ室からの吐出が不安定になり易く、これを防止するために、オリフィスにより空気の流れを緩和している。

しかしながら、本実施形態では、上述のごとく、コイルスプリング７０の付勢力及び押圧室Ｒ１内への空気流の圧力が、主ダイヤフラム９０の両面側から互いに逆向きに作用するから、主ダイヤフラム９０の変位が急激に変わることはなく、主ダイヤフラム９０の変位はきわめて安定している。従って、ポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入やポンプ室Ｒ２からの薬液の吐出もきわめて安定している。その結果、従来技術におけるオリフィスを余分に採用する必要もない。
（第２実施形態）
図８は、本発明の第２実施形態の要部を示している。この第２実施形態は、上記第１実施形態にて述べたポンプ装置において、ダイヤフラムポンプＰに代えて、ダイヤフラムポンプＰａを採用した構成を有する。

ダイヤフラムポンプＰａは、上記第１実施形態にて述べたダイヤフラムポンプＰにおいて、コイルスプリング７０に代えて、コイルスプリング７０ａを採用するとともに、供給孔部４４に代えて、供給孔部３４を採用する。

コイルスプリング７０ａは、その下部にて、上記第１実施形態にて述べた下側ハウジング部材４０の円環状溝部４５内に同軸的に嵌装されており、このコイルスプリング７０ａは、その下部から主ダイヤフラム９０に向け延出している。これにより、当該コイルスプリング７０ａは、その上下両軸方向端部にて、円環状溝部４５の底面及び主ダイヤフラム９０の厚肉部９２ａの下面に係止して、主ダイヤフラム９０を上方に向け付勢している。なお、円環状溝部４５は、下側ハウジング部材４０の凹部４１内にその底面のうちの台座部４１ｃの周囲部位から当該台座部４１ｃと同軸的に形成されている。

供給孔部３４は、上記第１実施形態にて述べた上側ハウジング部材３０に形成されており、この供給孔部３４は、その内端部にて、上側ハウジング部材３０の貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に連通している。本第２実施形態では、ロッド６０の先端側軸部６１は、上側ハウジング部材３０の貫通孔部３３の小径孔部３３ａ内にＯリング６１ａを介し気密的に摺動可能に嵌装されている。これにより、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂの内部が上側ハウジング部材３０の外部から気密的に遮断されている。なお、Ｏリング６１ａは、小径孔部３３ａの内周面に形成した環状溝部３１ａに装着されている。

また、当該供給孔部３４の外端部は、上側ハウジング部材３０の外周面の一部から空気流供給源８０に、上記第１実施形態にて述べた供給孔部４４の外端部に代えて、配管８１を介し連通している。これにより、上記第１実施形態にて述べた副ダイヤフラム１００は、空気流供給源８０から供給孔部３４を通り貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に圧送される空気流により、コイルスプリング７０ａの付勢力に抗して付勢されて下方へ変位する。

また、本第２実施形態において、主ダイヤフラム９０に対しては、コイルスプリング７０ａの付勢力は上記第１実施形態にて述べたコイルスプリング７０の付勢力とは逆向きに作用する。また、本第２実施形態において、副ダイヤフラム１００に対しては、空気流の圧力が、上記第１実施形態にて述べた空気流の圧力とは逆向きに作用する。

このため、本第２実施形態において採用されるフローチャートは、上記第１実施形態にて述べたフローチャートにおいて、各ステップ２０２、２１３における空気流供給処理及び空気流供給停止処理を、それぞれ、空気流供給停止処理及び空気流供給処理に変更した構成となっている。従って、本第２実施形態においては、コントローラ１５０は、上述のように変更されたフローチャートに従いコンピュータプログラムを実行する。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

このように構成した本第２実施形態では、上記第１実施形態と同様にステップ２００において初期モードか否かが判定される。ここで、本第２実施形態において当該初期モードとは、ダイヤフラムポンプＰａがポンプ室Ｒ２内への薬液の吸入を完了した状態にあるモードをいう。このとき、上流側開閉弁１１０及び下流側開閉弁１２０は、共に、閉弁状態にあり、空気流供給源８０は空気流の供給状態にあり、副ダイヤフラム１００は、空気流供給源８０からの貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内への空気流の圧送に基づきコイルスプリング７０ａの付勢力に抗して下方へ変位してロッド６０を下方へ摺動させた状態にあり、主ダイヤフラム９０は、ロッド６０の下方への摺動により、下方へ変位して、下側ハウジング部材４０の凹部４１内の台座部４１ｃ上に当接している。従って、位置センサ１４０は、上記第１実施形態と同様にロッド６０の下方への摺動端位置を検出している。

しかして、ステップ２００におけるＹＥＳとの判定或いはステップ２０１における初期モードへの移行処理の後、ステップ２０２において、上記第１実施形態とは異なり、空気流供給停止処理がなされ、次のステップ２０３において、上記第１実施形態と同様に下流側開閉弁１２０が開弁される。

このため、主ダイヤフラム９０が、ロッド６０とともに、ポンプ室Ｒ２の容積を減少させるように、コイルスプリング７０の付勢力に基づき上方へ変位し始める。このとき、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内の空気が、主ダイヤフラム９０の上方へ変位に伴う副ダイヤフラム１００の上方への変位により供給孔部３４から排出されていく。

これに伴い、薬液が、ポンプ室Ｒ２から吐出孔部５４ｂを通り下流側ボス部５０ｃから配管１２３内に吐出されて、下流側開閉弁１２０及びオリフィス１３０を通り、一定の微少流量となって、処理カップ２０内に滴下する。これにより、半導体ウェハーＷの薬液処理は、精度よく、一定になされ得る。

上記第１実施形態と同様にポンプ室Ｒ２内の薬液の吐出完了に伴いステップ２１０或いは２３０においてＹＥＳと判定されると、ステップ２１２にて下流側開閉弁１２０が閉弁する。そして、ステップ２１３において、上記第１実施形態とは異なり、空気流供給処理がなされる。このため、空気流が、コントローラ１５０による制御のもと、空気流供給源８０から配管８１及び上側ハウジング部材３０の供給孔部３４を通り貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に圧送される。これに伴い、副ダイヤフラム１００が、コイルスプリング７０ａに抗して下方へ変位してロッド６０を下方へ摺動させて、ポンプ室Ｒ２の容積を増大させる。また、ステップ２１３の処理後、ステップ２１４の処理において上記第１実施形態と同様に上流側開閉弁１１０が開弁する。

これに伴い、薬液タンク１０内の薬液が、上記第１実施形態と実質的に同様に、ダイヤフラムポンプＰａのポンプ室Ｒ２内に吸入される。その後、ステップ２４０における判定がＹＥＳになると、ステップ２４１の処理において、上流側開閉弁１１０が閉弁する。その他の作動は上記第１実施形態と同様である。

以上説明したように、本第２実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、コイルスプリング７０ａが押圧室Ｒ１内に配設され、一方、空気流供給源８０からの空気流の圧力が、上側ハウジング部材３０の貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に供給される。

このため、コイルスプリング７０ａの付勢力が常時押圧室Ｒ１側から主ダイヤフラム９０に作用し、一方、大径孔部３３ｂ内への空気流の圧力が、ポンプ室Ｒ２側から副ダイヤフラム１００を介し主ダイヤフラム９０に作用する。このことは、ポンプ室Ｒ２内の薬液を吐出する際に、コイルスプリング７０ａの付勢力及び貫通孔部３３内への空気流の圧力が、同一の主ダイヤフラム９０を介し互いに対向するように当該主ダイヤフラムに向けて作用することを意味する。その結果、本第２実施形態においても、上記第１実施形態と実質的に同様に、主ダイヤフラム９０の両面側から逆向きに作用するコイルスプリング７０ａによる付勢力及び貫通孔部３３内の空気流による圧力の双方を有効に活用して、ハウジングＨを簡単に構成したダイヤフラムポンプを提供することができる。その他の作用効果は、上記第１実施形態と実質的に同様である。

なお、本発明の実施にあたり、上記各実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）位置センサ１４０は、上記実施形態にて述べた光電センサに代えて、ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置をそれぞれ検出する近接スイッチ等からなる２つの検出スイッチで構成してもよい。
（２）位置センサ１４０は、ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置の一方のみを検出する検出スイッチと、ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置の一方への到達後当該ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置の他方に達するまでの所定経過時間をタイマーで計時するようにしてもよい。これによれば、当該タイマーは、上記所定計時時間の計時終了の際に、ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置の他方への到達を検出することとなる。これによっても、上記実施形態と同様の作用効果を達成することができる。
（３）位置センサ１４０は、上記実施形態にて述べた光電センサに代えて、第１及び第２のタイマーを採用し、第１のタイマーにより、ロッド６０の上方への摺動端位置から下方への摺動端位置まで到達するに要する第１の所定経過時間を計時し、第２のタイマーにより、ロッド６０の上方への摺動端位置から下方への摺動端位置まで到達するに要する第２の所定経過時間を計時するようにしてもよい。これによれば、上記第１のタイマーは、その計時終了に伴い、ロッド６０の上方への摺動端位置を検出し、上記第２のタイマーは、その計時終了に伴い、ロッド６０の下方への摺動端位置を検出することとなる。これによっても、上記実施形態と同様の作用効果を達成することができる。
（４）位置センサ１４０は、光電センサに代えて、例えば、一対のフォトインタラプタ或いは一対のマイクロスイッチを採用してもよい。ここで、一対のフォトインタラプタ或いは一対のマイクロスイッチは、それぞれ、ロッド６０の上方への摺動端位置及び下方への摺動端位置を検出すればよい。
（５）本発明の実施にあたり、薬液に限ることなく、純水その他の液体を吸入及び吐出するように本発明を適用してもよい。
（６）貫通孔部３３の小径孔部３３ａと大径孔部３３ｂとの境界段部は、上述したロッド６０の上方への摺動端位置よりも上方に位置していてもよい。また、ロッド６０のうち、先端側軸部６１及び中側軸部６２は、上記実施形態とは異なり、共に同一の外径を有するようにしてもよい。また、台座部４１ｃの上面は、上述したロッド６０の下方への摺動端位置に対応する位置よりも低く設定されていてもよく、さらには、台座部４１ｃは廃止してもよい。
（７）本発明の実施にあたり、オリフィス１３０の内径は、上記実施形態にて述べたように一定の微少流量の薬液を流動させるように小さく設定されていなくてもよく、或いはオリフィス１３０は必要に応じて廃止してもよい。
（８）下流側開閉弁１２０に代えて、流量制御弁（例えば、比例制御弁）を採用し、ポンプ室Ｒ２からの薬液の吐出の際に、当該流量制御弁の開度を緩やかに増大させるようにすれば、ポンプ室Ｒ２からの薬液の吐出の際の配管１２３内の圧力の急激な上昇を防止し得る。
（９）上記第１実施形態において、コイルスプリング７０を廃止するとともに、空気流供給源８０とは異なる他の空気流供給源からの空気流を、上側ハウジング部材３０の大径壁部３１内に形成した連通路を通して、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂの内部に圧送供給するように構成してもよい。

これによれば、薬液のポンプ室Ｒ２内への吸入の際には、押圧室Ｒ１内への空気流の供給停止のもとに、大径孔部３３ｂの内部に圧送された空気流が、大径孔部３３ｂの内周面とロッド６０の中側軸部６２（環状鍔部６２ａを含む）の外周面との間から副ダイヤフラム１００に直接作用する。このため、副ダイヤフラム１００は、ポンプ室Ｒ２側へ変位して、中央軸部１０１により、主ダイヤフラム９０の中央軸部９１を押圧室Ｒ１側へ押して、押圧室Ｒ１内の空気を排出させながらポンプ室Ｒ２の容積を増大させる。また、ポンプ室Ｒ２内の薬液の吐出の際には、大径孔部３３ｂ内への空気流の供給停止のもとに、押圧室Ｒ１内へ圧送供給される空気流が、主ダイヤフラム９０をポンプ室Ｒ２側へ押圧する。このため、主ダイヤフラム９０が、副ダイヤフラム１００とともに上方へ変位して、大径孔部３３ｂ内の空気を排出させながら、ポンプ室Ｒ２の容積を減少させる。

その結果、上述のように、コイルスプリング７０を廃止して貫通孔部３３の大径孔部３３ｂ内に空気流を圧送供給するようにしても、上記第１実施形態と同様の作用効果が達成され得る。
（１０）コイルスプリング７０は、上記第１実施形態とは異なり、その両端部にて、境界段部３３ｄ及び副ダイヤフラム９０の中央軸部９１に係止するようにしてもよい。この場合には、ロッド６０の環状鍔部６２ａの外径は、例えば、中側軸部６２或いは先端側軸部６３と同一の外径にしてもよい。
（１１）上記第１実施形態において、ロッド６０の環状鍔部６２ａ及び基端側軸部６３は、副ダイヤフラム１００の中央軸部１０１に含むように把握してもよい。この場合には、ロッド６０は、中側軸部６２（環状鍔部６２ａを除く）及び基端側軸部６１でもって構成される。
（１２）上記第１或いは第２の実施形態において、本発明をダイヤフラムポンプとして用いる場合に、位置センサ１４０が不要であれば、貫通孔部３３に代えて、ポンプ室Ｒ２内に開口する筒部（底部を有する）等の凹部を、大径壁部３１及び小径壁部３２に亘り形成するようにしてもよい。なお、当該凹部には、例えば、貫通孔部３３の大径孔部３３ｂが対応する。但し、小径孔部３３ａは閉じて大径孔部３３ｂの底部とする。

本発明にかかるダイヤフラムを備えたポンプ装置の第１実施形態を示すブロック回路図である。 図１のダイヤフラムポンプの拡大断面図である。 図２の位置センサの模式的概略構成図である。 図１のマイクロコンピュータであるコントローラが実行するコンピュータプログラムを表すフローチャートの前段部である。 当該フローチャートの後段部である。 図２のダイヤフラムポンプの初期モードを示す断面図である。 図２のダイヤフラムポンプの吐出完了時を示す断面図である。 本発明の第２実施形態の要部を示す断面図である。

符号の説明

Ｈ…ハウジング、Ｐ、Ｐａ…ダイヤフラムポンプ、Ｒ１…押圧室、Ｒ２…ポンプ室、
Ｔｏ…所定異常時間、１０…薬液タンク、２０…処理カップ、３１…大径壁部、
３２…小径壁部、３３…貫通孔部、３３ａ…小径孔部、３３ｂ…大径孔部、
３３ｄ…環状境界段部、３４、４４…供給孔部、５０ｂ…上流側ボス部、
５０ｃ…下流側ボス部、５４ａ…吸入孔部、５４ｂ…吐出孔部、６０…ロッド、
６１…先端側軸部、６２…中側軸部、６３…基端側軸部、
７０、７０ａ…コイルスプリング、８０…空気流供給源、９０…主ダイヤフラム、
１００…副ダイヤフラム、１０１…中央軸部、１０３…外周部、１１０…上流側開閉弁、
１１４、１２３、１２４…配管、１２０…下流側開閉弁、１３０…オリフィス、
１４０…位置センサ、１５０…コントローラ。

Claims (8)

1. ハウジングと、
   このハウジング内に設けられて当該ハウジングの内部を押圧室及びポンプ室に区画する主ダイヤフラムと、
   前記ハウジングのうち前記ポンプ室を介し前記主ダイヤフラムに同軸的に対向する同軸壁部位内にて前記ポンプ室内に開口するように凹状に形成した凹部と前記ポンプ室との間に設けられて前記凹部を前記ポンプ室から液密的に区画する副ダイヤフラムと、
   前記ハウジングの前記凹部内から前記副ダイヤフラムを前記ポンプ室側へ付勢する付勢手段とを備えて、
   前記副ダイヤフラムは、その中央部にて、前記ポンプ室内から前記主ダイヤフラムの中央部に同軸的に連結され、かつ、前記主ダイヤフラムよりも小さな外径を有しており、
   前記ハウジングのうち前記押圧室の周壁部位には、空気流供給源からの空気流を前記押圧室内に供給する供給孔部が形成されており、
   前記ハウジングのうち前記ポンプ室の周壁部位には、液体供給源からの液体を前記ポンプ室内に吸入する吸入部及び前記ポンプ室内の前記液体を吐出する吐出部が形成されているダイヤフラムポンプ。
2. 前記付勢手段は、前記ハウジングの前記凹部内に設けられて前記副ダイヤフラムを前記ポンプ室内に向けて付勢するコイルスプリングであることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプ。
3. 請求項１または請求項２に記載のダイヤフラムポンプと、
   前記液体を前記ダイヤフラムポンプの前記ポンプ室に前記吸入部から流入させるとき開弁し、この液体の流入を停止するとき閉弁する上流側弁手段と、
   前記ポンプ室から前記吐出部を介し吐出される前記液体をその被供給系統へ供給するとき開弁し、この液体の前記被供給系統への供給を停止するとき閉弁する下流側弁手段とを具備するダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置。
4. 前記下流側弁手段から前記被供給系統への前記液体の供給流量を一定の微少流量に絞るオリフィス手段を具備することを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置。
5. 前記副ダイヤフラムの中央部から前記主ダイヤフラムとは反対側へ同軸的に前記凹部内に向け延出されるロッドと、位置検出手段、第１制御手段及び第２制御手段とを備えて、
   前記ハウジングの前記凹部は、その底部にて、前記副ダイヤフラムと同軸的に開口されて前記凹部内に連通するとともに前記底部の外部に連通しており、
   前記ロッドは、前記凹部を通り前記底部から延出可能に当該底部内に軸方向に摺動可能に嵌装される先端側軸部を有しており、
   前記位置検出手段は、前記凹部の前記底部或いはその近傍に設けられて、前記ダイヤフラムポンプが前記ポンプ室内への前記液体の吸入を完了したとき前記ロッドの前記先端側軸部の摺動位置を前記ロッドの第１摺動位置として検出し、また、前記ダイヤフラムポンプが前記ポンプ室内の前記液体の吐出を完了したとき前記ロッドの前記先端側軸部の摺動位置を前記ロッドの第２摺動位置として検出するようになっており、
   前記第１制御手段は、前記位置検出手段が前記ロッドの前記第２摺動位置を検出したとき、前記液体を前記ポンプ室内に吸入するために、前記押圧室内への前記空気流の供給を停止し、前記上流側弁手段を開弁し、かつ前記下流側弁手段を閉弁するように前記空気流供給源、前記上流側弁手段及び前記下流側弁手段を制御するようになっており、
   前記第２制御手段は、前記第１制御手段による制御後前記位置検出手段が前記ロッドの前記第１摺動位置を検出したとき、前記ポンプ室内の前記液体を吐出するために、前記押圧室内への前記空気流の供給を開始し、前記上流側弁手段を閉弁し、かつ前記下流側弁手段を開弁するように前記空気流供給源、前記上流側弁手段及び前記下流側弁手段を制御するようになっていることを特徴とする請求項３または４に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置。
6. 前記第２制御手段の制御に伴う前記ポンプ室内の前記液体の吐出が所定異常時間の経過前に完了しないとき、前記ダイヤフラムポンプの作動を禁止することを特徴とする請求項５に記載のダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置。
7. ハウジングと、
   このハウジング内に設けられて当該ハウジングの内部を押圧室及びポンプ室に区画する主ダイヤフラムと、
   前記ハウジングのうち前記ポンプ室を介し前記主ダイヤフラムに同軸的に対向する同軸壁部位内に前記ポンプ室内に開口するように凹状に形成した凹部と前記ポンプ室との間に設けられて前記凹部を前記ポンプ室から液密的に区画する副ダイヤフラムと、
   前記押圧室内に設けられて前記主ダイヤフラムを前記ポンプ室側へ押圧するように付勢する付勢手段とを備えて、
   前記副ダイヤフラムは、その中央部にて、前記ポンプ室内から前記主ダイヤフラムの中央部に同軸的に連結され、かつ、前記主ダイヤフラムよりも小さな外径を有しており、
   前記ハウジングのうち前記ポンプ室の周壁部位には、液体供給源からの液体を前記ポンプ室内に吸入する吸入部、前記ポンプ室内の前記液体を吐出する吐出部及び空気流供給源（８０）からの空気流を前記凹部内に供給する供給孔部が形成されているダイヤフラムポンプ。
8. 請求項７に記載のダイヤフラムポンプであって前記副ダイヤフラムの中央部から前記主ダイヤフラムとは反対側へ同軸的に上記凹部内に向け延出されるロッドを有するダイヤフラムポンプ、上流側弁手段、下流側弁手段及びオリフィス手段と、位置検出手段、第１制御手段及び第２制御手段とを備えて、
   前記ハウジングの前記凹部は、その底部にて、前記副ダイヤフラムと同軸的に開口されて前記凹部内に連通するとともに前記底部の外部に連通しており、
   前記ロッドは、前記凹部を通り前記底部から延出可能に当該底部内に軸方向に摺動可能に嵌装される先端側軸部を有しており、
   前記上流側弁手段は、前記液体を前記ダイヤフラムポンプの前記ポンプ室に前記吸入部から流入させるとき開弁し、この液体の流入を停止するとき閉弁するようになっており、
   前記下流側弁手段は、前記ポンプ室から前記吐出部を介し吐出される前記液体をその被供給系統へ供給するとき開弁し、この液体の前記被供給系統への供給を停止するとき閉弁するようになっており、
   前記オリフィス手段は、前記下流側弁手段から前記被供給系統への前記液体の供給流量を一定の微少流量に絞るようになっており、
   前記位置検出手段は、前記凹部の前記底部或いはその近傍に設けられて、前記ダイヤフラムポンプが前記ポンプ室内への前記液体の吸入を完了したとき前記ロッドの前記先端側軸部の摺動位置を前記ロッドの第１摺動位置として検出し、また、前記ダイヤフラムポンプが前記ポンプ室内の前記液体の吐出を完了したとき前記ロッドの前記先端側軸部の摺動位置を前記ロッドの第２摺動位置として検出するようになっており、
   前記第１制御手段は、前記位置検出手段が前記ロッドの前記第２摺動位置を検出したとき、前記液体を前記ポンプ室内に吸入するために、前記凹部内へ前記空気流を供給し、前記上流側弁手段を開弁し、かつ前記下流側弁手段を閉弁するように前記空気流供給源、前記上流側弁手段及び前記下流側弁手段を制御するようになっており、
   前記第２制御手段は、前記第１制御手段による制御後前記位置検出手段が前記ロッドの前記第１摺動位置を検出したとき、前記ポンプ室内の前記液体を吐出するために、前記凹部内への前記空気流の供給を停止し、前記上流側弁手段を閉弁し、かつ前記下流側弁手段を開弁するように前記空気流供給源、前記上流側弁手段及び前記下流側弁手段を制御するようにしたダイヤフラムポンプを備えたポンプ装置。

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