JP2008208977A - 制御弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ピストン室12内でピストンロッド13を往復運動させることにより、ピストンロッド13に連結された弁体10を弁座11に当接又は離間させるものであって、弁開閉検知機構32を有する制御弁1において、ピストンロッド13は、ピストン室12に摺動可能に収納される第1ピストン部材14と、ロッド部21を第1ピストン部材14に摺動可能に貫き通した状態でピストン部20がピストン室12に収納される第2ピストン部材15と、を含み、弁体10が弁座11に当接している場合に、第1ピストン部材14と第2ピストン部材15との間に隙間Sが形成されるものであり、弁開閉検知機構32は、第1ピストン部材14がピストン室12内において弁座11側に移動した場合に係止される係止位置を弁部の全閉状態として検知するものである。
【選択図】図1
Description
従来の制御弁100は、ボディ101とシリンダ102とカバー103とからバルブ本体を構成している。シリンダ102には、ピストンロッド104が摺動可能に装填されている。ピストンロッド104の下端部には、ダイアフラム105が取り付けられ、ボディ101に設けられた弁座106にダイアフラム105を当接又は離間するようになっている。ピストンロッド104の上端部には、インジケータ107が固定されている。インジケータ107は、カバー103に形成された穿通孔108から外部に突き出し、カバー103に固定されたフォトセンサ109によって位置検出されるようになっている。
(1)バルブ本体に形成したピストン室内でピストンロッドを往復運動させることにより、前記ピストンロッドに連結された弁体を弁座に当接又は離間させるものであって、弁開閉状態を検知する弁開閉検知機構を有する制御弁において、前記ピストンロッドは、前記ピストン室に摺動可能に収納される第1ピストン部材と、前記弁体が連結されるロッド部と、前記ロッド部より大径なピストン部とを備え、前記ロッド部を前記第1ピストン部材に摺動可能に貫き通した状態で前記ピストン部が前記ピストン室に収納される第2ピストン部材と、を含み、前記弁体が前記弁座に当接している場合に、前記第1ピストン部材と前記第2ピストン部材との間に隙間が形成されるものであり、前記弁開閉検知機構は、前記第1ピストン部材が前記ピストン室内において前記弁座側に移動した場合に係止される係止位置を弁部の全閉状態として検知するものである。
図1は、制御弁1の断面図であって、全閉状態を示す。図2は、制御弁1の断面図であって、第1ピストン部材14のみが動作している状態を示す図である。図3は、制御弁1の断面図であって、全開状態を示す。
図1〜図3に示す制御弁1は、例えば、樹脂製の取付板33を介して半導体製造装置に組み付けられ、アルカリや酸などの排液を排出するために用いられる。制御弁1は、ボディ2とシリンダ3とカバー4とを図示しないボルトなどで固定し、「バルブ本体」が構成されている。
次に、上述したピストン構造について説明する。ピストンロッド13は、第1ピストン部材14と第2ピストン部材15とに分割して設けられ、第2ピストン部材15がダイヤフラム10を弁座11に当接させる弁閉時に、第1ピストン部材14が移動可能な隙間Sを設けている。
図1〜図3に示すように、弁開閉検知機構32は、第1ピストン部材14に取り付けられた環状磁石18と、シリンダ3に取り付けられたMR素子センサ30とで構成される。MR素子センサ30は、配線31を介して図示しない制御装置に接続され、弁開閉状態の検知信号を送信する。MR素子センサ30の検知領域は、第1ピストン部材14がピストン室12内において往復運動する場合に環状磁石18が軸方向に移動する領域をカバーするように設定されている。
上記構成を有する制御弁1は、図1に示すように、操作ポート28に操作エアを供給していない場合には、第1及び第2ピストン部材14,15が第1及び第2コイルスプリング26,27によって図中下向きに押し下げられる。第1ピストン部材14は、第1コイルスプリング26に付勢されて係止位置まで押し下げられるのに対し、第2ピストン部材15は、第2コイルスプリング27に付勢されてダイヤフラム10を弁座11に当接させる位置まで押し下げられる。従って、弁閉止力は、第2コイルスプリング27のみで確保される。この場合、制御弁1は、第1ポート5と第2ポート6との間が遮断され、第1ポート5に供給された排液が第2ポート6から排出されない。
以上説明したように、本実施形態の制御弁1は、ピストンロッド13が第1ピストン部材14と第2ピストン部材15とに分割され、ダイヤフラム10が弁座11に当接している場合に第1ピストン部材14と第2ピストン部材15との間に隙間Sが形成される(図1参照)。そのため、例えば、ダイヤフラム10や弁座11などで構成される弁部が経年変化やクリープを発生した場合に、第2ピストン部材15がダイヤフラム10を弁座11に当接させる弁閉位置が初期時と変化したとしても、第1ピストン部材14がピストン室12内において弁座側に移動して初期と同じ係止位置で停止する。弁開閉検知機構32は、第1ピストン部材14の係止位置を弁部の全閉状態として検知するので、弁閉位置が初期時と変化したとしても、第1ピストン部材14の係止位置を基準として弁部の全閉状態を1点で検知し続ける。従って、本実施形態の制御弁1によれば、弁部の全閉状態を確実に検知することができる。
2 ボディ
3 シリンダ
4 カバー
10 ダイヤフラム
11 弁座
13 ピストンロッド
14 第1ピストン部材
15 第2ピストン部材
16 凹部
20 ピストン部
21 ロッド部
23 シール部材
26 第1コイルスプリング(第1付勢部材)
27 第2コイルスプリング(第2付勢部材)
28 操作ポート
32 弁開閉検知機構
S 隙間
Claims (4)
- バルブ本体に形成したピストン室内でピストンロッドを往復運動させることにより、前記ピストンロッドに連結された弁体を弁座に当接又は離間させるものであって、弁開閉状態を検知する弁開閉検知機構を有する制御弁において、
前記ピストンロッドは、
前記ピストン室に摺動可能に収納される第1ピストン部材と、
前記弁体が連結されるロッド部と、前記ロッド部より大径なピストン部とを備え、前記ロッド部を前記第1ピストン部材に摺動可能に貫き通した状態で前記ピストン部が前記ピストン室に収納される第2ピストン部材と、を含み、
前記弁体が前記弁座に当接している場合に、前記第1ピストン部材と前記第2ピストン部材との間に隙間が形成されるものであり、
前記弁開閉検知機構は、
前記第1ピストン部材が前記ピストン室内において前記弁座側に移動した場合に係止される係止位置を弁部の全閉状態として検知するものである
ことを特徴とする制御弁。 - 請求項1に記載する制御弁において、
前記第1ピストン部材は、前記ピストン部を収納する凹部が形成され、
前記凹部の内周面と前記ピストン部の外周面との間にシール部材が配置されている
ことを特徴とする制御弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する制御弁において、
前記第1ピストン部材を前記弁座側に付勢する第1付勢部材と、
前記第2ピストン部材を前記弁座側に付勢する第2付勢部材と、
前記バルブ本体に開設され、前記第1ピストン部材の前記弁座側の端面に作用する操作エアを給排気する操作ポートと、
を有することを特徴とする制御弁。 - 請求項3に記載する制御弁において、
前記第1付勢部材は、前記第2付勢部材より付勢力が小さい
ことを特徴とする制御弁。
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- 2007-02-28 JP JP2007048895A patent/JP4860506B2/ja active Active
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