TWI383104B - Vacuum valve - Google Patents

Description

真空閥

本發明係有關於一種被配置於處理室和真空泵之間、調整處理室的真空壓力用的真空閥。

例如，在半導體製造裝置的CVD裝置中，對於真空容器的反應室內的晶圓，從反應室的入口供給由構成薄膜材料的元素所構成的材料氣體的同時，藉由從反應室的出口以真空泵排氣，將反應室內保持在真空狀態被進行。材料氣體的排氣速度係，例如，藉由蝴蝶式比例閥被控制，蝴蝶式比例閥係無法完全遮斷配管。因此，與蝴蝶式比例閥連續的ON-OFF式的真空閥被配置，進行配管內的流體的完全遮斷。

第10圖係，被記載於專利文獻1的真空閥100的剖面圖。

例如，被記載於專利文獻1的真空閥100係，活塞111被收納於汽缸110，構成驅動部。活塞111係，經由驅動軸112而被連結至閥體113。閥體113係，與被設置於閥室123的內壁的閥座124抵接或分離般，被內設於本體120的閥室123。閥體113係，保持構件114藉由固定螺絲130被固定於伸縮囊115的下端部115b，環狀密封構件117可彈性變形地被裝著於在伸縮囊115的下端部115b和保持構件114之間被形成的鳩尾溝116。伸縮囊115係，上端部115a在汽缸110的汽缸接頭141和本體120之間被挾持，下端部115b被連結至驅動軸112，對應於閥體113的移動、在閥室123內伸縮。

活塞111係，保持無摩擦件118。無摩擦件118係，將汽缸110的內部空間氣密地區分為一次室119A和二次室119B。真空閥100係，藉由被縮設於一次室119A的壓縮彈簧126，得到將閥體113壓接於閥座124、將環狀密封構件117密著於閥座124的閥閉止力。真空閥100係，從未圖示的操作泵供給操作空氣至二次室119B，藉由對抗壓縮彈簧126、將活塞111朝上方移動，將閥體113從閥座124分離，本體120的第一埠121和第二埠122作為流路聯繫。

真空閥100係，將環狀密封構件125和伸縮囊115的上端部115a和汽缸接頭141在被熔接於本體120的連結部128上重疊，藉由未圖示的螺栓獎本體120和汽缸接頭141連結。環狀密封構件125係，在上端部115a和連結部128之間被壓碎，防止外界氣體侵入至本體120。

又，將上述真空閥100在CVD裝置使用的情形，作用氣體固化而在流路內被附著生成物。生成物係，在反應室將膜形成於晶圓時，作為異物而混入至膜，有使製品的良率惡化的疑慮。因此，真空閥100係，將加熱器127捲繞於本體120而使接觸氣體部變溫，抑制生成物的發生。

然而，在真空閥100方面，鳩尾溝116和環狀密封構件117之間的間隙或伸縮囊115的凹陷部分等，為作用氣體容易滯留的場所。此類的場所係，即使藉由加熱器127被加熱，生成物容易附著。因此，真空閥100係，有頻繁地進行伸縮囊115的洗淨、或環狀密封構件117的交換、加熱器127的交換等的保養的必要。

在真空閥100的保養時、活塞111在汽缸110內迴轉的話，無摩擦件118被扭轉而有產生皺折的疑慮。皺折進入無摩擦件118的話，從此部份破損而有產生洩漏的疑慮。真空閥100係，將迴轉停止銷129向外突出般設置於活塞111，在被形成於汽缸110的窗110a將所定的間隙開啟而配置。設置間隙係，用以防止在真空閥100的動作、迴轉停止銷129接觸於汽缸110而產生滑動抵抗。然而，設置間隙的狀態下、進行真空閥100的分解、組裝的話，活塞111在汽缸110內迴轉，有皺析產生於無摩擦件118的疑慮。在此，在真空閥100的分解、組裝時，在迴轉停止銷129和窗110a之間安裝間隙除去構件140，阻止活塞111的迴轉。

[專利文獻1]日本特開2000-163136號公報

然而，真空閥100係，阻止活塞111的迴轉、防止無摩擦件118的扭轉的物件的構造複雜。亦即，活塞111的迴轉停止構造係，將安裝於活塞111的迴轉停止銷129、以不阻礙迴轉停止銷129的上下動的方式被形成在汽缸110的窗110a、以及在真空閥100的分解時被配置於迴轉停止銷129和窗110a之間的間隙除去構件140作為必要，零件數目多。又，真空閥100係，在分解時需要裝卸間隙除去構件140，分解作業的手續複雜。

本發明係為了解決上述問題點，將提供活塞的迴轉停止構造簡單化、分解作業容易的真空閥作為目的。

有關本發明的真空閥係，具有下述般的構成。

(1)有關本發明的一樣態，真空閥包括：具備閥座的本體、與上述閥座抵接或分離的閥體、以及賦予驅動力於上述閥體的驅動部，其中上述驅動部包括：連結至上述閥體的驅動軸、連結至上述驅動軸且與上述閥體相反側的活塞、具備收納上述活塞的活塞室的汽缸、以及被保持於上述活塞而將上述活塞室區分的無摩擦件；上述活塞係，具有突出於移動方向的突起部或凹部；上述汽缸係，在與上述突起部或上述凹部相對的面，在分解時與上述突起部或上述凹部嵌合而將上述活塞的迴轉停止的迴轉停止部被形成。

(2)在記載於(1)的發明中，上述活塞係，在上述真空閥被使用時、在上述閥體可移動的範圍、使上述突起部或上述凹部不被嵌合於上述迴轉停止部般，被固定於上述驅動軸係較佳地。

(3)在記載於(1)或(2)的發明中，在上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部的方向、具有將上述活塞偏壓的偏壓構件係較佳地。

(4)在記載於(3)的發明中，在將上述驅動部和上述本體的連結解除時，藉由上述偏壓構件的偏壓力，上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部係較佳地。

上述真空閥係，包括：具備閥座的本體、與閥座抵接或分離的閥體、以及賦予驅動力於閥體的驅動部；其中驅動部包括：連結至閥體的驅動軸、連結至驅動軸且與閥體相反側的活塞、具備收納活塞的活塞室的汽缸、以及被保持於活塞而將活塞室區分的無摩擦件；活塞係，具有突出於移動方向的突起部或凹部；汽缸係，在與突起部或凹部相對的面，在分解時與突起部或凹部嵌合而進行活塞的迴轉停止的迴轉停止部被形成。此類的真空閥係，由於活塞的突起部或凹部嵌合於被形成於汽缸的迴轉停止部而被迴轉停止，沒有僅在迴轉停止被使用的零件。又，因為在分解時，不需將其他零件裝卸而防止活塞的迴轉，所以真空閥的分解作業步驟簡單。藉此，根據上述真空閥的話，活塞的迴轉停止構造簡單，可容易地進行分解作業。

在上述真空閥中，活塞係，在真空閥被使用時、在閥體可移動的範圍、使突起部或凹部不被嵌合於迴轉停止部般，被固定於驅動軸。此類的真空閥係，在使用時、突起部或凹部從迴轉停止部脫離，在閥體移動時、不會產生突起部或凹部與迴轉停止部干涉而作動不良。

在上述真空閥中，因為在突起部或凹部嵌合於迴轉停止部的方向、具有將活塞偏壓的偏壓構件，所以藉由偏壓構件的偏壓力、可將突起部或凹部被簡單地嵌合於迴轉停止部。

上述真空閥係，在將驅動部和本體的連結解除時，藉由偏壓構件的偏壓力，突起部或凹部嵌合於迴轉停止部，所以在分解時、可使突起部或凹部被自動地嵌合於迴轉停止部。

以下有關本發明的真空閥的較佳實施例，參考圖式詳細說明。

(第一實施例)

<真空閥的全體構成>

第1圖係為真空閥1的下面圖。第2圖係為第1圖的AA剖面圖。

真空閥1係，具備驅動部2和閥部3。驅動部2和閥部3係，藉由四根螺栓5被連結，構成真空閥1的外觀。

如第2圖所示般，閥部3係，被內設於本體40。本體40係，第一埠41和第二埠42經由閥室43連通。在閥室43的內面，閥座44被形成。在閥室43方面，閥體19以可與閥座44抵接或分離的方式被設置。在本體40的閥室43方面，作為隔壁的一例子的伸縮囊25依據閥體19的動作可伸縮地被配設。連結部4係，藉由熔接等被固定於本體40的上端開口部外周，以挾持伸縮囊25的上端部25a的方式，使本體40被連結至驅動部2的汽缸10。

另一方面，驅動部2係，經由驅動軸17連結至閥體19，將驅動力賦予至閥體19。驅動軸17係，可滑動地被保持於被設置於汽缸10的軸承18，在圖中上下方向往復運動。汽缸10係，活塞室13被形成於蓋11和汽缸接頭12之間，活塞14被收納於此活塞室13。蓋11和汽缸接頭12係，經由無摩擦件按壓件16將無摩擦件15的外緣部挾持。無摩擦件按壓件16係，也完成使蓋11和汽缸接頭12同軸的角色。無摩擦件15係，被保持於活塞14，將活塞室13區分為一次室13A和二次室13B。一次室13A係，經由蓋11的上端開口部11a被開放至大氣。二次室13B係，與被形成於汽缸接頭12的操作埠12b連通，使操作氣體被供給排氣。

驅動軸17係，上端部被配置於活塞室13內而被連結至活塞14，下端部被配置於閥室43內而被連結至閥體19。在汽缸接頭12和閥體19之間，作為偏壓構件的一個例子的壓縮彈簧20被縮設，閥體19係經常賦予朝閥座方向的力。藉此，真空閥1係，對應於二次室13B的內壓和壓縮彈簧20的彈力的平衡而將活塞14移動，使閥體19與閥座44抵接或分離。又，真空閥1係，未圖示的加熱器被內設於驅動軸17的中空部，藉由加熱器的熱、將伸縮囊25或閥體19、本體40等的接觸氣體部加熱而抑制生成物的產生般。

<活塞的具體構成>

活塞14係，具備活塞盤21和活塞本體22。活塞盤21係，具備驅動軸17被插通的圓筒部21b。在圓筒部21b的內周面方面，與被形成於驅動軸17的上端部外周的陽螺絲螺合的陰螺絲被形成。圓筒部21b係，在無摩擦件15和活塞本體22被插通，而被定位。活塞本體22係，利用固定螺絲23而被固定於活塞盤21，在與活塞盤21之間挾持無摩擦件15。

第3圖係為表示從閥部3被分離的驅動部2和伸縮囊25的剖面圖。

活塞14係，突起部21a在壓縮彈簧20將閥體19偏壓的方向上突出而被設置。在本實施例中，由於真空閥1係為經常關閉形式(normal close type)，在活塞盤21的閥座側端面，將突起部21a突出於閥座方向般設置。又，在本實施例中，將兩個突起部21a在藉由挾持驅動軸17而相對的位置設置。

汽缸10係，在與突起部21a相對的活塞室13的內壁(閥座側內壁)，嵌合於突起部21a而進行活塞14的迴轉停止的迴轉停止部12a被形成。迴轉停止部12a係，比突起部21a的數目多，在汽缸接頭12的圓周方向以等間隔被設置。迴轉停止部12a的數目比突起部21a的數目多係，為了容易組裝驅動部2。活塞盤21係，在與突起部21a被設置的面相反的面，裝著O形環24用的裝著溝被形成。O形環24係，在裝著溝內被壓碎，將活塞盤21和活塞本體22之間密封。

如第2圖所示般，真空閥1係，閥體19抵接於閥座44時，使突起部21a不被嵌合於迴轉停止部12a般，活塞14被固定於驅動軸17。

<閥體的具體構成>

如第1圖及第2圖所示般，閥體19係，作為保持構件的一例子的閥盤26被固定在被設置於伸縮囊25的下端部的伸縮囊盤25b(閥體本體的一例子)，環狀密封構件28被裝著在被形成於閥盤26和伸縮囊盤25b之間的鳩尾溝45。伸縮囊25係，將金屬作為材質，將上端部25a和伸縮囊盤25b以蛇腹部25c連結而被構成。

第4圖係，為第2圖的X部擴大剖面圖。

伸縮囊25係，上端部25a沒有間隙地被嵌合於連結部4的嵌合部4a，相對於本體40被定位。上端部25a係，在與嵌合部4a相對的面，裝著環狀密封構件29用的密封溝30被形成。環狀密封構件29係，與密封溝30的內壁和嵌合部4a的內壁密著而密封。防止外界氣體侵入本體40。在上端部25a的外周緣，在伸縮囊25的軸方向厚度變大的肉厚部25d被設置。肉厚部25d係，在將上端部25a嵌合於連結部4時，具有從連結部4突出至汽缸10側的厚度。肉厚部25d係，嵌合於被設置於汽缸接頭12的下端部的定位段差部12c，使伸縮囊25相對於汽缸接頭12定位。因此，本體40和汽缸10係，經由連結部4和伸縮囊25被配合位置。

在肉厚部25d從連結部4突出的部份方面，作為凹部的一個例子的掛溝31被形成。由於藉由被嵌合於掛溝31的工具、利用槓桿的原理、以小的力將上端部25a從連結部4拉上來，掛溝31係，在將上端部25a嵌合於嵌合部4a時、在對應於連結部4的上端部的位置被形成。掛溝31係，沿著肉厚部25d的外周面以環狀被形成。

如第2圖所示般，伸縮囊盤25b係，被螺設於驅動軸17的下端部。伸縮囊25係，將壓縮彈簧20以蛇腹部25c覆蓋般被配置於閥室43，從壓縮彈簧20或滑動部份產生的微粒不會被供給至流路內。

伸縮囊盤25b係，閥座側端面被平坦化，收納閥盤26用的收納凹部32以圓形被形成。伸縮囊盤25b係，圓柱部25e在閥座相反側端面被突設，可形成固定螺絲27或作為押出構件的一個例子的押出螺絲37螺合的螺孔般被厚度加大。在收納凹部32的內壁方面，定位凹部33以環狀被形成。固定螺絲27螺合的螺孔係，在圓周方向以等間隔被形成，環狀密封構件28被均等地壓碎般。又，押出螺絲37螺合的螺孔係，相對於伸縮囊盤25b偏心而被形成。押出螺絲37係，相對於伸縮囊盤25b將閥盤26傾斜般抬起，用以使環狀密封構件28容易剝下。在本實施例中，固定螺絲27或押出螺絲37螺合的螺孔係，在定位凹部33上被形成。

閥盤26係，成為具有可收納於收納凹部32的厚度的圓板形。閥盤26係，嵌合於定位凹部33而將閥盤26對於伸縮囊盤25b定位用的凸部34，以環狀被突設於伸縮囊側端面。

第5圖係為第2圖的Y部擴大剖面圖。

閥盤26係，在與伸縮囊盤25b抵接的面，收納押出螺絲37的頭部的凹部26a被形成，在收納凹部32的底面抵接、在閥盤26的外周面和收納凹部32的內周面之間形成鳩尾溝45。閥盤26係，將賦予迴轉力至押出螺絲37的工具插入用的貫通孔26b，與凹部26a在同軸上被形成。貫通孔26b係，以比凹部26a的內徑尺寸及押出螺絲37的頭部外形尺寸直徑小的方式被形成，押出螺絲37可與凹部26a的內壁抵接般被進行。

<保養方法>

其次，說明有關上述真空閥1的保養方法。

首先，壓縮彈簧20的彈簧力不作用於閥座44般，施加操作空氣於操作埠12b，在將閥體19從閥座44離開的狀態下，將螺栓5從真空閥1拆下。之後，將操作空氣從操作埠12b排出。依據操作空氣的排出，壓縮彈簧20伸長，使閥體19被抵接於閥座44。由於螺栓5被拆下，壓縮彈簧20係，更持續伸張，將汽缸10從本體40上壓，使迴轉停止部12a被自動地嵌合於突起部21a。藉此，活塞14係對於汽缸10無法迴轉。藉由活塞盤21被迴轉停止，螺合於活塞盤21的驅動軸17的迴轉被阻止。將本體40和閥盤26拆下之後，將伸縮囊25對於驅動軸17被迴轉，從驅動軸17拆下、洗淨。又，環狀密封構件28、29等被交換。

保養完成後，以與上述相反的步驟，將真空閥1組裝。直到將驅動部2藉由連結部4安裝於本體40之前，突起部21a嵌合於迴轉停止部12a。因此，無摩擦件15係，在分解時或組裝時、扭轉力不被施加，難以產生皺折。

真空閥1係，將驅動部2藉由連結部4安裝於本體40而完成組裝的話，藉由壓縮彈簧20、成為閥體19抵接於閥座44而成為閥閉狀態。此時，活塞盤21的突起部21a不與汽缸10的迴轉停止部12a嵌合般、活塞14從活塞室13的內壁被抬起。亦即，活塞14的迴轉停止被自動地解除。

又，在真空閥1的分解時，由於環狀密封構件29在上端部25a和連結部4從上下方向被挾入而固著，即使拆下螺栓5，連結部4附著於上端部25a。在此狀態下，無法將伸縮囊25洗淨而將環狀密封構件29交換。

在此類的場合方面，將扁平頭起子(minus driver)等的工具插入掛溝31，利用槓桿的原理而將上端部25a從連結部4上移。藉此，環狀密封構件29從連結部4或上端部25a剝去，連結部4和伸縮囊25分離。

又，環狀密封構件28固著於閥盤26和伸縮囊盤25b的話，即使將固定螺絲27拆下，無法使閥盤26從伸縮囊盤25b被分離而交換環狀密封構件28。

在此情形方面，在閥盤26的貫通孔26b，將六角板手或起子等的泛用工具插入而被嵌合於押出螺絲37，將押出螺絲37從伸縮囊盤25b被突出般被迴轉。這樣的話，藉由押出螺絲37的推進力、閥盤26從伸縮囊盤25b上浮般被押出，環狀密封構件28的固著被解除。

<作用效果>

上述真空閥1係包括：具備閥座44的本體40、與閥座44抵接或分離的閥體19、以及賦予驅動力於閥體19的驅動部2；其中驅動部2包括：連結至閥體19的驅動軸17、連結至驅動軸17且與閥體19相反側的活塞14、具備收納活塞14的活塞室13的汽缸10、以及被保持於活塞14而將活塞室13區分的無摩擦件15；在真空閥1中，活塞14係，具有突出於移動方向的突起部21a；汽缸10係，在與突起部21a相對的面，與突起部21a嵌合而進行活塞14的迴轉停止的迴轉停止部12a被形成。此類的真空閥1係，由於活塞14的突起部21a嵌入於被形成於汽缸10的迴轉停止部12a而被迴轉停止，不需要僅在迴轉停止被使用的零件。又，因為在分解時，不需將其他零件拆裝來防止活塞14的迴轉，所以真空閥1的分解作業步驟簡單。藉此，根據上述真空閥1的話，活塞14的迴轉停止構造簡單，可容易地進行分解作業。

在上述真空閥1中，活塞14係，在真空閥1被使用時、在閥體19可移動的範圍、使突起部21a不被嵌合於迴轉停止部12a般，被固定於驅動軸17。此類的真空閥1係，在使用時、突起部21a從迴轉停止部12a避開，在閥體移動時、不會產生突起部21a與迴轉停止部12a干涉而作動不良。

在上述真空閥1，因為具有在突起部21a嵌合於迴轉停止部12a的方向、將活塞14偏壓的壓縮彈簧20，所以藉由壓縮彈簧20的偏壓力、可將突起部21a簡單地被嵌合於迴轉停止部12a。

上述真空閥1係，在將驅動部2和本體40的連結解除時，藉由壓縮彈簧20的偏壓力，突起部21a嵌合於迴轉停止部12a，所以在分解時、可將突起部21a自動地被嵌合於迴轉停止部12a。

(第二實施例)

其次，參考圖示說明本發明的第二實施例。第6圖係為有關本發明的第二實施例的真空閥1A的剖面圖。

第二實施例的真空閥1A係，主要為驅動部2和閥部3的連結構造與第一實施例不同。藉此，在此，將與第一實施例不同的點作為中心說明。又，與第一實施例相同的構成，在圖式中賦予與第一實施例相同的符號，適當地省略說明。

汽缸10係，閉鎖構件62和蓋63被安裝於圓筒狀的汽缸本體61，使活塞68被裝填而活塞室13B被形成。汽缸本體61係，與活塞室13B連通般、操作埠61a被形成。在活塞68方面，驅動軸17藉由螺絲66被固定。驅動軸17係，在本體64內突出，在閥體19藉由螺絲67被連結，將驅動部2的驅動力傳達至閥體19。驅動軸17的滑動部份係，在伸縮囊65被覆蓋，微粒不被供給至流路般。

本體64係，連結部64a在上端開口部被一體成形。伸縮囊65係，具備上端部65a(隔壁的一例子)和伸縮囊盤65b(閥體本體的一例子)和蛇腹部65c。本體64係，上端部65a經由環狀密封構件29嵌合於連結部64a，藉由未圖示的螺栓被連結至在上端部65a被重疊的驅動部2。在連結部64a和上端部65a之間，藉由環狀密封構件29被密封，流體不會漏到本體64的內和外般被進行。上端部65a係，上端部從連結部64a朝驅動部2側突出，掛溝31在此突出的部份的外周面以環狀被形成。

此類的真空閥1A係，在保養時，環狀密封構件29固著於連結部64a和上端部65a的話，無法分解。此情形，將未圖示的螺栓拆下而將驅動部2從本體64拆下後，將汎用工具插入掛溝31，利用槓桿的原理將上端部65a從連結部64a上抬，可解除固著。藉此，根據真空閥1A的話，即使環狀密封構件29固著於上端部65a和連結部64a，可容易地將上端部65a和連結部64a分離而分解。

又，本發明係，不限定在上述實施例，可有各種應用。

(1)例如，在上述實施例中，將掛溝31以環狀形成，但在伸縮囊25、65的上端部25a、65a將掛溝31部份地形成於一處或多處也可。

(2)例如，如第8圖所示般，在伸縮囊25的肉厚部25d從連結部4突出的部份設置環狀凸部25g，在汽缸接頭12的下端部形成嵌合於環狀凸部25g而對於伸縮囊25將汽缸接頭12定位用的定位段差部12e也可。此情形，形成將工具掛於環狀凸部25g的一部份用的凹部25h，與上述實施例的掛溝31相同，將經由密封構件29而固著的伸縮囊25和本體40分離般也可。

(3)例如，在上述實施例中，將押出螺絲37作為押出構件的一例子。相對地，將押出構件可搖動地設置於伸縮囊盤25b，將押出構件的一端藉由工具的頂端按壓時、押出構件的另一端將閥盤26從伸縮囊盤25b突出般也可。在此情形，在對應於閥盤26的押出構件的一端的部份，形成插入工具的貫通孔26b也可。

(4)又，在上述實施例中，將收納押出構件的凹部26a在閥盤26形成，但在伸縮囊盤25b形成凹部也可。

(5)又，例如，將設置於伸縮囊盤25b側的凸部、與被設置於閥盤26的凹部嵌合，將閥盤26對於伸縮囊盤25b定位也可。又，在伸縮囊盤25b和閥盤26的任一個上，均不形成定位用的凹凸也可。

(6)例如，在上述實施例中，真空閥1、1A為經常關閉形式，但為經常開啟(open)形式也可。

(7)例如，在上述實施例中，驅動部2只收納一個活塞14、68，但收納兩個以上的活塞14、68也可。

(8)例如，在上述實施例中，藉由壓縮彈簧20的彈力和二次室13B的內壓的平衡而將閥體19驅動。相對地，例如，在第6圖所示的蓋63具有閉鎖功能，將操作空氣供給排氣的操作埠連通至一次室13A和二次室13B般分別設置於汽缸10，藉由一次室13A和二次室13B的壓力平衡而驅動閥體19般，省略壓縮彈簧20也可。

(9)例如，在上述實施例中，將伸縮囊25作為隔壁的一例，但如第7圖的真空閥1B般，將不具備蛇腹部25c的隔壁51在驅動部2和本體40(連結部4)之間挾持般也可。此情形，將隔壁51和驅動軸17之間藉由密封構件52密封，防止流體在本體40和驅動部2之間洩漏係所希望的。又，將閥體本體54螺設於驅動軸17的下端部，將閥盤26安裝於閥體本體54的收納凹部32，構成閥體19也可。

(10)例如，在上述實施例中，在活塞14設置突起部21a，在汽缸10設置凹狀的迴轉停止部12a。相對地，如第7圖所示般，在活塞14A的活塞盤21A設置凹部21d，在構成汽缸10A的汽缸接頭12A的對應於凹部21d的場所分別將迴轉停止部12d突設也可。在此情形，將驅動部2從本體40拆下的話，藉由壓縮彈簧53的偏壓力，活塞14A移動而將凹部21d自動地嵌合於迴轉停止部12d，可進行迴轉停止。

(11)例如，在上述實施例中，將壓縮彈簧20配置於本體40內，但如第7圖所示般，將壓縮彈簧53(偏壓構件的一個例子)配設於汽缸10的一次室13A也可。

(12)例如，如第9圖所示般，將推拔部34a設置於凸部34的外周面和內周面而將凸部34頂端變細，藉由在定位凹部33滑動接觸於凸部34的面設置對應於凸部34的推拔部33a，凸部34從定位凹部33容易拆下也可。此情形，不受到凸部34和定位凹部33的嵌合長度的影響，可將閥盤26從伸縮囊盤25b被分離。

(13)例如，即使將固定螺絲27和押出螺絲37的配置和上述實施例變化(例如，將押出螺絲37配置於伸縮囊盤25b的中心等)，與上述實施例相同，藉由押出螺絲37的推進力可將閥盤26從伸縮囊盤25b抬起而分離。

1、1B．．．真空閥

2．．．驅動部

10．．．汽缸

12a、12d．．．迴轉停止部

13‧‧‧活塞室

14‧‧‧活塞

15‧‧‧無摩擦件

17‧‧‧驅動軸

20‧‧‧壓縮彈簧(偏壓構件的一個例子)

21a‧‧‧突起部

21d‧‧‧凹部

第1圖係為表示有關本發明的第一實施例的真空閥的下面圖；

第2圖係為第1圖的AA剖面圖；

第3圖係為表示從閥部被分離的驅動部和伸縮囊的剖面圖；

第4圖係為第2圖的X部擴大剖面圖；

第5圖係為第2圖的Y部擴大剖面圖；

第6圖係為表示有關本發明的第二實施例的真空閥的剖面圖；

第7圖係為真空閥的變形例；

第8圖係為表示凹部的一例的圖示；

第9圖係為凸部和定位凹部的變形例；以及

第10圖係為被記載於專利文獻1的真空閥的剖面圖。

1．．．真空閥

2．．．驅動部

3．．．閥部

4．．．連結部

10．．．汽缸

11．．．蓋

11a．．．上端開口部

12．．．汽缸接頭

12a．．．迴轉停止部

12b．．．操作埠

13．．．活塞室

13A．．．一次室

13B．．．二次室

14．．．活塞

15．．．無摩擦件

16．．．無摩擦件按壓件

17．．．驅動軸

18．．．軸承

19．．．閥體

20．．．壓縮彈簧

21．．．活塞盤

21a．．．突起部

21b．．．圓筒部

22．．．活塞本體

23、27．．．固定螺絲

24．．．O形環

25．．．伸縮囊

25a．．．上端部

25b．．．伸縮囊盤

25c．．．蛇腹部

25d．．．肉厚部

25e．．．圓柱部

26．．．閥盤

28、29．．．環狀密封構件

31．．．掛溝

32．．．收納凹部

33．．．定位凹部

34．．．凸部

37．．．押出螺絲

40．．．本體

41．．．第一埠

42．．．第二埠

43．．．閥室

44．．．閥座

45．．．鳩尾溝

Claims (4)

1. 一種真空閥，包括：具備閥座的本體、與上述閥座抵接或分離的閥體、以及賦予驅動力於上述閥體的驅動部，其中上述驅動部包括：連結至上述閥體的驅動軸、連結至上述驅動軸且與上述閥體相反側的活塞、具備收納上述活塞的活塞室的汽缸、以及被保持於上述活塞而將上述活塞室區分的無摩擦件；其中上述活塞係，具有突出於移動方向的突起部或凹部；上述汽缸係，在與上述突起部或上述凹部相對的面，在分解時與上述突起部或上述凹部嵌合而將上述活塞的迴轉停止的迴轉停止部被形成。
2. 如申請專利範圍第1項所述之真空閥，其中上述活塞係，在上述真空閥被使用時、在上述閥體可移動的範圍內、使上述突起部或上述凹部不被嵌合於上述迴轉停止部般，被固定於上述驅動軸。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之真空閥，其中在上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部的方向、具有將上述活塞偏壓的偏壓構件。
4. 如申請專利範圍第3項所述之真空閥，其中在將上述驅動部和上述本體的連結解除時，藉由上述偏壓構件的偏壓力，上述突起部或上述凹部嵌合於上述迴轉停止部。