CN101737502B - 真空阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种活塞的制动结构简单、分解作业容易的真空阀。真空阀(1)包括具有阀座(44)的阀壳(40)、与阀座(44)抵接或从阀座分开的阀芯(19)、及对阀芯(19)施加驱动力的驱动部(2)，驱动部(2)包括与阀芯(19)连接的驱动轴(17)、连接在驱动轴(17)的与阀芯(19)相反的一侧的活塞(14)、具有收纳活塞(14)的活塞室(13)的气缸(10)、及被活塞(14)保持并划分活塞室(13)的波形隔膜(15)，其中，活塞(14)具有在移动方向上突出的突起部(21a)，气缸(10)在与突起部(21a)相对的面上形成有分解时与突起部(21a)嵌合而进行活塞(14)的制动的制动部(12a)。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种配置于处理室和真空泵之间、用于调节处理室的真空压力的真空阀。 

背景技术

例如，在半导体制造装置的CVD装置中，通过对作为真空容器的反应室内的薄片从反应室的入口供给包括构成薄膜材料的元素的材料气体，并且用真空泵自反应室的出口排气，由此进行将反应室内保持在真空状态的工作。材料气体的排气速度例如由蝶式比例阀来控制，但蝶式比例阀不能完全截止配管。因此，和蝶式比例阀串联配置ON-OFF式的真空阀，进行配管内的流体的完全截止。 

图10是专利文献1所记载的真空阀100的剖面图。 

例如，专利文献1所记载的真空阀100，在气缸110内收纳有活塞111，构成驱动部。活塞111经由驱动轴112连接在阀芯113上。阀芯113以与设置在阀室123的内壁的阀座124抵接或分开的方式设于阀壳120的阀室123内。阀芯113为：保持部件114用固定螺栓130固定在波纹管115的下端部115b上，环状密封部件117可弹性变形地安装在波纹管115的下端部115b和保持部件114之间所形成的燕尾槽116内。波纹管115，其上端部115a被夹持在气缸110的气缸接头141和阀壳120之间，下端部115b连接在驱动轴112上，与阀芯113的移动对应地在阀室123内进行伸缩。 

活塞111对波形隔膜118进行保持。波形隔膜118将气缸110的内部空间气密地划分为一次室119A和二次室119B。真空阀100通过 压缩设置于一次室119A的压缩弹簧126将阀芯113按压在阀座124上，从而得到使环状密封部件117与阀座124贴紧的阀关闭力。真空阀100从未图示的操作端口向二次室119B供给操作空气，使活塞111抵抗压缩弹簧126向上方移动，由此使阀芯113自阀座124分离，阀壳120的第一端口121和第二端口122作为流路连接。 

真空阀100为：在被焊接于阀壳120上的连接部128上层叠环状密封部件125、波纹管115的上端部115a和气缸接头141，利用未图示的螺栓将阀壳120和气缸接头141连接在一起。环状密封部件125被压扁在上端部115a和连接部128之间，以防止外部气体侵入阀壳120。 

但是，在CVD装置中使用上述真空阀100时，因作用气体固化而使生成物附着在流路内。担心在反应室，在薄片上形成膜时，生成物有可能作为异物混入膜内而使产品的成品率变差。因此，真空阀100将加热器127卷曲在阀壳120内而使接气部变暖，抑制生成物的产生。 

但是，就真空阀100而言，存在燕尾槽116和环状密封部件117之间的间隙及波纹管115的凹进部分等容易滞留作用气体的部位。在这种情况下，即使利用加热器127加热，生成物也容易附着。因此，真空阀100需要频繁地进行波纹管115的清洗、环状密封部件117的更换、加热器127的更换等维护。 

担心如果在真空阀100的维护时活塞111在气缸110内旋转，则波形隔膜118就被扭而产生褶皱。担心波形隔膜118中含有褶皱时，自该部分破损而产生泄漏。真空阀100在活塞111上以向外突出的方式设置制动销129，向气缸110上形成的窗口110a打开规定的空隙而配置。设有空隙是为了防止在真空阀100的动作中，制动销129与气缸110接触而产生滑动阻力。但是，担心在进行设置了空隙的真空阀100的分解、组装时，活塞111在气缸110内旋转，在波形隔膜118中产生褶皱。于是，在进行真空阀100的分解、组装时，在制动销129和窗口110a之间安装空隙消除部件140，来阻止活塞111的旋转。

专利文献1：(日本)特开2000-163136号公报 

但是，对于真空阀100来说，虽然阻止了活塞111的旋转并防止了波形隔膜118被扭，但其结构比较复杂。即，活塞111的制动结构需要安装在活塞111上的制动销129、和以不阻碍制动销129的上下动的方式在气缸110上形成的窗口110a、分解真空阀100时配置于制动销129和窗口110a之间的空隙消除部件140，部件数量多。并且，真空阀100分解时需要装卸空隙消除部件140，分解作业的工序比较复杂。 

发明内容

本发明是为了解决上述问题点而开发的，目的在于提供活塞的制动结构简单、分解作业容易的真空阀。 

本发明的真空阀具有如下构成。 

本发明的第(1)方面提供一种真空阀，包括：具有阀座的阀壳；与所述阀座抵接或从所述阀座分开的阀芯；及向所述阀芯施加驱动力的驱动部，所述驱动部包括：与所述阀芯连接的驱动轴；连接在所述驱动轴的与所述阀芯相反的一侧的活塞；具有收纳所述活塞的活塞室的气缸；及被所述活塞保持并划分所述活塞室的波形隔膜，所述真空阀的特征在于，所述活塞具有在移动方向上突出的突起部或凹部，所述气缸在与所述突起部或凹部相对的面上形成有真空阀分解时与所述突起部或所述凹部嵌合而进行所述活塞的制动的制动部。 

本发明第(2)方面的真空阀，其在本发明第(1)方面的基础上，优选以使用所述真空阀时在所述阀芯可移动的范围内不会使所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方式将所述活塞固定于所述驱动轴上。 

本发明第(3)方面的真空阀，其在本发明第(1)或(2)方面的基础上，优选具有在所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方向上对所述活塞施力的施力部件。 

本发明第(4)方面的真空阀，其在本发明第(3)方面的基础上，优选解除了所述驱动部和所述阀壳的连接时，所述突起部或所述凹部借助于所述施力部件的施力与所述制动部嵌合。 

上述真空阀包括：具有阀座的阀壳；与阀座抵接或从阀座分开的阀芯；及给予阀芯驱动力的驱动部，驱动部包括：与阀芯连接的驱动轴；连接在驱动轴的与阀芯相反的一侧的活塞；具有收纳活塞的活塞室的气缸；及被活塞保持并划分活塞室的波形隔膜，其中，活塞具有在移动方向上突出的突起部或凹部，气缸在与突起部或凹部相对的面上形成有分解时与突起部或凹部嵌合而进行活塞的制动的制动部。这种真空阀由于活塞的突起部或凹部与气缸内形成的制动部嵌合来进行制动，因此不仅用于制动的部件。另外，分解时不必装卸其他部件就可以防止活塞的旋转，所以真空阀的分解作业工序简单。由此，根据上述真空阀，活塞的制动结构简单，能够容易地进行分解作业。 

上述真空阀中，以使用真空阀时在阀芯可移动的范围内不会使突起部或凹部与制动部嵌合的方式将活塞固定于驱动轴上。这种真空阀在使用时突起部或凹部偏离制动部，阀芯移动时不会发生突起部或凹部与制动部干涉而产生动作不良的情况。 

上述真空阀中具有在突起部或凹部与制动部嵌合的方向上对活塞施力的施力部件，所以可以使用施力部件的施力使突起部或凹部与制动部简单地嵌合。 

上述真空阀在解除了驱动部和阀壳的连接时，突起部或凹部借助 于施力部件的施力与制动部嵌合，所以分解时，能够使突起部或凹部与制动部自动地嵌合。 

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的真空阀的仰视图； 

图2是图1的AA剖面图； 

图3是表示从阀部分离后的驱动部和波纹管的剖面图； 

图4是图2的X部放大剖面图； 

图5是图2的Y部放大剖面图； 

图6是本发明第二实施方式的真空阀的剖面图； 

图7是真空阀的变形例； 

图8是表示凹部的一例； 

图9是凸部和定位凹部的变形例； 

图10是专利文献1所记载的真空阀的剖面图。 

标号说明 

1，1B  真空阀 

2驱动部 

10气缸 

12a，12d  制动部 

13活塞室 

14活塞 

15波形隔膜 

17阀轴 

20压缩弹簧(施力部件的一例) 

21a  突起部 

21d凹部 

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的真空阀的最佳实施方式详细地进行说 明。 

(第一实施方式) 

<真空阀的整体构成> 

图1是真空阀1的仰视图。图2是图1的AA剖面图。 

真空阀1具有驱动部2和阀部3。驱动部2和阀部3由四条螺栓5连接，构成真空阀1的外观。 

如图2所示，阀部3设于阀壳40内。阀壳40的第一端口41和第二端口42经由阀室43而连通。在阀室43的内面形成有阀座44。在阀室43内设有阀芯19，该阀芯19可与阀座44抵接或从阀座44分开。在阀壳40的阀室43内配设有作为隔壁的一例的波纹管25，该波纹管25随着阀芯19的动作可进行伸缩。连接部4通过焊接等固定在阀壳40的上端开口部外周，夹着波纹管25的上端部25a，使阀壳40与驱动部2的气缸10连接。 

另一方面，驱动部2经由驱动轴17与阀芯19连接，给予阀芯19驱动力。驱动轴17被设置于气缸10中的轴承18可滑动地保持，沿着图中上下方向进行往复运动。气缸10在盖11和气缸接头12之间形成有活塞室13，该活塞室13中收纳有活塞14。盖11和气缸接头12经由波形隔膜压板16夹持波形隔膜15的外缘部。波形隔膜压板16还起到使盖11和气缸接头12成为同轴的作用。波形隔膜15被活塞14保持，将活塞室13划分为一次室13A和二次室13B。一次室13A经由盖11的上端开口部11a向大气开放。二次室13B与形成于气缸接头12上的操作端口12b连通，进行操作空气的供给、排气。 

驱动轴17的上端部配置在活塞室13内并与活塞14连接，下端部配置于阀室43内并与阀芯19连接。在气缸接头12和阀芯19之间压缩设置有作为施力部件的一例的压缩弹簧20，总是给予阀芯19向阀座 方向的力。由此，真空阀1根据二次室13B的内压和压缩弹簧20的弹性力的平衡使活塞14移动，使阀芯19与阀座44抵接或从阀座44离开。并且，真空阀1在驱动轴17的中空部内设有未图示的加热器，借助于加热器的热量来加热波纹管25、阀芯19、及阀壳40等的接气部，从而抑制生成物的产生。 

<活塞的具体构成> 

活塞14具备活塞盘21和活塞主体22。活塞盘21具备供驱动轴17插通的圆筒部21b。在圆筒部21b的内周面形成有与形成于驱动轴17的上端部外周的外螺纹螺合的内螺纹。圆筒部21b插通波形隔膜15和活塞主体22而被定位。活塞主体22用固定螺栓23固定在活塞盘21上，在活塞主体与活塞盘21之间夹持有波形隔膜15。 

图3是表示从阀部3分离后的驱动部2和波纹管25的剖面图。 

活塞14沿压缩弹簧20对阀芯19施力的方向突出设置有突起部21a。在本实施方式中，真空阀1是常闭型阀，因此在活塞盘21的阀座侧端面上以向阀座方向突出的方式设有突起部21a。另外，在本实施方式中，将两个突起部21a设置于隔着驱动轴17而相对的位置。 

气缸10在与突起部相对的活塞室13的内壁(阀座侧内壁)上形成有与突起部21a嵌合而进行活塞14的制动的制动部12a。制动部12a比突起部21a的数量多，沿气缸接头12的圆周方向等间隔设置。制动部12a之所以比突起部21a数量多，是为了容易地进行驱动部2的装配。活塞盘21在其设有突起部21a的面的相反的面上形成有用于安装O型圈24的安装槽。O型圈24被压扁在安装槽内，将活塞盘21和活塞主体22之间密封。 

如图2所示，真空阀1是以在阀芯19与阀座44抵接时不会使突起部21a与制动部12a嵌合的方式，将活塞14固定在驱动轴17上。 

<阀芯的具体构成> 

如图1及图2所示，阀芯19的构成为，作为保持部件的一例的阀盘26固定在设置于波纹管25的下端部的波纹管盘25b(阀芯阀壳的一例)，阀盘26和波纹管盘25b之间所形成的燕尾槽45内安装了环状密封部件28。波纹管25是以金属为材质，用波纹部25c连接上端部25a和波纹管盘25b而构成。 

图4是图2的X部放大剖面图。 

波纹管25的上端部25a与连接部4的嵌合部4a无间隙嵌合，从而相对于阀壳40被定位。上端部25a在其与嵌合部4a相对的面上形成有用于安装环状密封部件29的密封槽30。环状密封部件29与密封槽30的内壁和嵌合部4a的内壁贴紧而进行密封，防止外部气体侵入阀壳40内。在上端部25a的外周缘设有在波纹管25的轴方向上壁较厚的壁厚部25d。壁厚部25d具有当上端部25a与连接部4嵌合后时，从连接部4向气缸10侧突出的厚度。壁厚部25d与设置于气缸接头12的下端部的定位阶梯部12c嵌合，将波纹管25相对于气缸接头12定位。因而，阀壳40和气缸10经由连接部4和波纹管25而对合位置。 

在壁厚部25d的自连接部4突出的部分上形成有作为凹部的一例的卡槽31。为了通过嵌合在卡槽31上的工具利用杠杆原理来以较小的力将上端部25a自连接部4提起，卡槽31形成于将上端部25a嵌合于嵌合部4a时与连接部4的上端部对应的位置。卡槽31沿壁厚部25d的外周面形成环状。 

如图2所示，波纹管盘25b螺合设置于驱动轴17的下端部。波纹管25以用波纹部25c覆盖压缩弹簧20的方式配置于阀室43内，从压缩弹簧20及滑动部分产生的粒子不会被供给到流路内。 

波纹管盘25b的阀座侧端面平坦，用于收纳阀盘26的收纳凹部32形成为圆形。波纹管盘25b在与阀座相反的一侧端面突出设置有圆柱部25e，壁厚设定为能够形成固定螺栓27及作为推压部件的一例的推压螺栓37螺合的螺栓孔。在收纳凹部32的内壁，定位凹部33形成为环状。固定螺栓27螺合的螺栓孔沿圆周方向等间隔形成，使得环状密封部件28均等地被压扁。而且，推压螺栓37螺合的螺栓孔相对于波纹管盘25b偏心形成。这是为了推压螺栓37使阀盘26相对于波纹管盘25b倾斜而推顶起来，从而容易剥离环状密封部件28。在本实施方式中，固定螺栓27及推压螺栓37螺合的螺栓孔形成在定位凹部33上。 

阀盘26制成具有可被收纳凹部32收纳的厚度的圆板形。阀盘26在波纹管侧端面以环状突出设置有用于与定位凹部33嵌合而将阀盘26相对于波纹管盘25b进行定位的凸部34。 

图5是图2的Y部放大剖面图。 

在阀盘26与波纹管盘25b抵接的面上形成有收纳推压螺栓37的头部的凹部26a，与收纳凹部32的底面抵接而在阀盘26的外周面和收纳凹部32的内周面之间形成有燕尾槽45。阀盘26使用于供赋予推压螺栓37回转力的工具插入的贯通孔26b和凹部26a在同轴上形成。贯通孔26b的直径形成为比凹部26a的内径尺寸及推压螺栓37的头部外形尺寸小，使推压螺栓37能够与凹部26a的内壁抵接。 

<维护方法> 

接着，对上述真空阀1的维护方法进行说明。 

首先，向操作端口12b加入操作空气，以使压缩弹簧20的弹力不会作用于阀座44上，在使阀芯19离开阀座44的状态下，将螺栓5从真空阀1上卸下。其后，从操作端口12b将操作空气排出。随着操作空气的排出，压缩弹簧20伸长，使阀芯19与阀座44抵接。由于螺栓 5已被卸下，压缩弹簧20进一步伸长，将气缸10自阀壳40推上去，使制动部12a与突起部21a自动地嵌合。由此，活塞14变为不会相对气缸10旋转。通过阻止活塞盘21旋转，与活塞盘21螺合的驱动轴17的旋转被阻止。卸下阀壳40和阀盘26后，使波纹管25相对于驱动轴17旋转，从而自驱动轴17上卸下并进行清洗。另外，更换环状密封部件28，29等。 

维护完成之后，按照和上述相反的顺序装配真空阀1。在通过连接部4将驱动部2安装到阀壳40上之前，突起部21a与制动部12a嵌合。因此，波形隔膜15在分解时及装配时都不会被施加扭转力，不易产生褶皱。 

在通过连接部4将驱动部2安装到阀壳40上而完成装配时，阀芯19借助于压缩弹簧20与阀座44抵接，真空阀1成为闭阀状态。这时，活塞14自活塞室13的内壁被举起，以使活塞盘21的突起部21a不再与气缸10的制动部12a嵌合。即，活塞14的制动被自动解除。 

但是，在真空阀1分解时，环状密封部件29被上端部25a和连接部4沿上下方向夹持而被固定，因此即使卸下螺栓5，连接部4也会附着在上端部25a上。在该状态下，不能清洗波纹管25且不能更换环状密封部件29。 

在这种情况下，将一字槽螺钉旋具等工具插入维护卡槽31，利用杠杆原理将上端部25a自连接部4举起。由此，从连接部4或上端部25a剥下环状密封部件29，连接部4和波纹管25分离。 

另外，环状密封部件28固定在阀盘26和波纹管盘25b上时，即使卸下固定螺栓27，也不会使阀盘26自波纹管盘25b分离，不能更换环状密封部件28。 

在这种情况下，将六角扳手、旋具等通用工具插入阀盘26的贯通孔26b而与推压螺栓37嵌合并旋转，以使推压螺栓37自波纹管盘25b突出。这样，利用推压螺栓37的推进力使得阀盘26从波纹管盘25b浮起而被推出，从而解除环状密封部件28的固定。 

<作用效果> 

上述真空阀1包括具有阀座44的阀壳40、与阀座44抵接或从阀座44分开的阀芯19、及对阀芯19施加驱动力的驱动部2，驱动部2包括与阀芯19连接的驱动轴17、连接在驱动轴的和与阀芯19相反一侧的活塞14、具备收纳活塞14的活塞室13的气缸10、被活塞14保持并划分活塞室13的波形隔膜15，其中，活塞14具有在移动方向上突出的突起部21a，气缸10在与突起部21a相对的面上形成有与突起部21a嵌合而进行活塞14的制动的制动部12a。这种真空阀1由于是活塞14的突起部21a与形成于气缸10上的制动部12a嵌合而进行制动，因此没有仅用于制动的部件。另外，分解时不必装卸其它部件就防止活塞14的旋转，所以真空阀1的分解作业工序简单。由此，根据上述真空阀1，活塞14的旋转制动结构简单，可以容易地进行分解作业。 

在上述真空阀1中，活塞14被固定在驱动轴17上，以使在使用真空阀1时，在阀芯19可移动的范围内不会使突起部21a与制动部12a嵌合。这样的真空阀1在使用时突起部21a偏离制动部12a，从而阀芯移动时不会因突起部21a与制动部12a干涉而产生动作不良。 

上述真空阀1具有在突起部21a与制动部12a嵌合的方向上对活塞14施力的压缩弹簧20，所以可以借助于压缩弹簧20的作用力使突起部21a与制动部12a简单地嵌合。 

上述真空阀1在解除了驱动部2和阀壳40的连接时，是借助于压缩弹簧20的作用力使突起部21a与制动部12a嵌合，所以在分解时可以使突起部21a自动地与制动部12a嵌合。 

(第二实施方式) 

接着，参照附图对本发明的第二实施方式进行说明。图6是本发明第二实施方式的真空阀1A的剖面图。 

第二实施方式的真空阀1A主要是驱动部2和阀部3的连接结构和第一实施方式不同。由此，这里以和第一实施方式不同的方面为中心进行说明。另外，对于和第一实施方式同样的构成，在附图中标注和第一实施方式相同的标号，并适当省略说明。 

气缸10的构成为，在圆筒状的气缸阀壳61上安装有闭锁部件62和盖63，且装填有活塞68而形成活塞室13B。气缸阀壳61形成有操作端口61a，以与活塞室13B连通。在活塞68上通过螺栓66固定有驱动轴17。驱动轴17向阀壳64内突出并用螺栓67连接在阀芯19上，向阀芯19传递驱动部2的驱动力。驱动轴17的滑动部分被波纹管65覆盖，粒子不会供给到流路中。 

阀壳64在上端开口部一体成形有连接部64a。波纹管65具备上端部65a(隔壁的一例)、波纹管盘65b(阀芯阀壳的一例)和波纹部65c。阀壳64在连接部64a上经由环状密封部件29嵌合有上端部65a，且用未图示的螺栓与层叠在上端部65a的驱动部2连接。连接部64a和上端部65a之间被环状密封部件29密封，流体不会在阀壳64的内和外泄漏。上端部65a自连接部64a向驱动部2侧突出，在该突出的部分的外周面形成有环状的卡槽31。 

这种真空阀1A在进行维护时，环状密封部件29固定在连接部64a和上端部65a上时，不能分解。这时，卸下未图示的螺栓而将驱动部2从阀壳64上卸下之后将通用工具插入卡槽31，利用杠杆原理将上端部65a自连接部64a举起，则可以解除固定。由此，根据真空阀1A，即使环状密封部件29固定在上端部65a和连接部64a上，也可以容易地 使上端部65a和连接部64a分离而进行分解。 

另外，本发明并不仅限于上述实施方式，可以有各种应用。 

(1)例如，上述实施方式中是使卡槽31形成为环状，但在波纹管25，65的上端部25a，65a也可以局部性地在一处或多处形成卡槽31。 

(2)例如，如图8所示，也可以在波纹管25的壁厚部25d自连接部4突出的部分上设置环状凸部25g，在气缸接头12的下端部形成有与环状凸部25g嵌合、用于相对于波纹管25对气缸接头12定位的定位阶梯部12e。这时，在环状凸部25g的一部分上形成用于卡住工具的凹部25h，和上述实施方式的卡槽31同样地，将经由密封部件29固定的波纹管25和阀壳40分离。 

(3)例如，在上述实施方式中是以推压螺栓37为推压部件的一例。与此相对，也可以将推压部件可摆动地设在波纹管盘25b上，当用工具的前端推压推压部件的一端时，推压部件的另一端则将阀盘26从波纹管盘25b推出。在该情况下，也可以在阀盘26的与推压部件的一端对应的部分形成供工具插入的贯通孔26b。 

(4)另外，上述实施方式中是在阀盘26上形成收纳推压部件的凹部26a，但也可以在波纹管盘25b上形成凹部。 

(5)另外，例如，也可以使设于波纹管盘25b侧的凸部和设于阀盘26的凹部嵌合，而将阀盘26相对于波纹管盘25b定位。另外，也可以不在波纹管盘25b和阀盘26的任一个上形成定位用的凹凸。 

(6)例如，上述实施方式中，真空阀1，1A是常闭阀，但也可以是常开阀。 

(7)例如，上述实施方式中，驱动部2仅收纳一个活塞14，68，但也可以收纳两个以上的活塞14，68。 

(8)例如，上述实施方式是借助于压缩弹簧20的弹力和二次室13B的内压的平衡使阀芯19驱动。与此相对，例如也可以使图6所示的盖63具有闭锁功能，且在气缸10上以使一次室13A和二次室13B 连通的方式分别设置供给排出操作空气的操作端口，利用一次室13A和二次室13B的压力平衡来驱动阀芯19而省掉压缩弹簧20。 

(9)例如，上述实施方式中，将波纹管25作为隔壁的一例，但也可以如图7所述的真空阀1B那样，在驱动部2和阀壳40(连接部4)之间夹持不具有波纹部25c的隔壁51。这种情况下，理想的是用密封部件52将隔壁51和驱动轴17之间密封，防止流体在阀壳40和驱动部2之间泄漏的问题。另外，也可以在驱动轴17的下端部螺合设置阀芯阀壳54，将阀盘26安装在阀芯阀壳54的收纳凹部32而构成阀芯19。 

(10)例如，上述实施方式中，在活塞14上设有突起部21a，在气缸10上设有凹状的制动部12a。与此相对，也可以如图7所示的那样，在活塞14A的活塞盘21A上设置凹部21d，且在与构成气缸10的气缸接头12A的凹部21d对应的部位分别突出设置制动部12d。在这种情况下，将驱动部2从阀壳40上卸下时，活塞14A也可以借助于压缩弹簧53的作用力移动而使凹部21d与制动部12d自动地嵌合而进行制动。 

(11)例如，上述实施方式中是将压缩弹簧20配置于阀壳40内，但是也可以如图7所示那样，将压缩弹簧53(施力部件的一例)配设于气缸10的一次室13A内。 

(12)例如，如图9所示，也可以在凸部34的外周面和内周面设置锥度34a而将凸部34制成前端尖细，在定位凹部33的与凸部34滑接的面上设置与凸部34相对应的锥度33a，由此，凸部34容易自定位凹部33偏离。这时，不受凸部34和定位凹部33的嵌合长度的影响，就可以使阀盘26自波纹管盘25b分离开。 

(13)例如，即使对上述实施方式中固定螺栓27和推压螺栓37的配置进行改变，(例如使推压螺栓37位于波纹管盘25b的中心等)，也可以和上述实施方式一样，借助于推压螺栓37的推进力将阀盘26从波纹管盘25b举起而分离。 

Claims (4)

1.一种真空阀，包括：具有阀座的阀壳；与所述阀座抵接或从所述阀座分开的阀芯；及向所述阀芯施加驱动力的驱动部，所述驱动部包括：与所述阀芯连接的驱动轴；连接在所述驱动轴的与所述阀芯相反的一侧的活塞；具有收纳所述活塞的活塞室的气缸；及被所述活塞保持而划分所述活塞室的波形隔膜，所述真空阀的特征在于，

所述活塞具有在移动方向上突出的突起部或凹部，

所述气缸在与所述突起部或凹部相对的面上形成有真空阀分解时与所述突起部或所述凹部嵌合而进行所述活塞的制动的制动部。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述活塞以使用所述真空阀时在所述阀芯可移动的范围内不会使所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方式固定于所述驱动轴上。

3.如权利要求1或权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

具有在所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方向上对所述活塞施力的施力部件。

4.如权利要求3所述的真空阀，其特征在于，

在解除了所述驱动部和所述阀壳的连接时，所述突起部或所述凹部借助于所述施力部件的作用力与所述制动部嵌合。

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