JP2002089737A - 真空排気弁 - Google Patents
真空排気弁Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L59/00—Thermal insulation in general
- F16L59/06—Arrangements using an air layer or vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/36—Valve members
- F16K1/38—Valve members of conical shape
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16K1/32—Details
- F16K1/52—Means for additional adjustment of the rate of flow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 弁開度を段階的に大きくして、真空チャンバ
内の気体の乱流を防止することができる真空排気弁を提
供する。 【解決手段】 チャンバポート５とポンプポート６とを
結ぶ流路中に位置する弁座７および流路を開閉する弁体
９と、弁体９にシャフト１０を介して連結されたピスト
ン１２および圧力流体が供給される圧力室４ａを有し、
流体圧によるピストン１２の往復動によって弁体９を開
閉させる弁駆動部と、シャフト１０を弁体９が閉じる方
向に付勢する弾性部材２２，２３と、圧力室４ａに圧力
流体を導入する操作ポート２８と、弁体９の外周部に、
これを閉じる方向に縮径する複数のテーパ面９ａ，９ｂ
が連続して形成されてなる。
内の気体の乱流を防止することができる真空排気弁を提
供する。 【解決手段】 チャンバポート５とポンプポート６とを
結ぶ流路中に位置する弁座７および流路を開閉する弁体
９と、弁体９にシャフト１０を介して連結されたピスト
ン１２および圧力流体が供給される圧力室４ａを有し、
流体圧によるピストン１２の往復動によって弁体９を開
閉させる弁駆動部と、シャフト１０を弁体９が閉じる方
向に付勢する弾性部材２２，２３と、圧力室４ａに圧力
流体を導入する操作ポート２８と、弁体９の外周部に、
これを閉じる方向に縮径する複数のテーパ面９ａ，９ｂ
が連続して形成されてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバと真
空ポンプとの間に接続して真空チャンバ内を真空圧に減
圧するために使用される真空排気弁に関する。
空ポンプとの間に接続して真空チャンバ内を真空圧に減
圧するために使用される真空排気弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空排気弁は、真空チャ
ンバに接続されるチャンバポートおよび真空ポンプに接
続されるポンプポートを結ぶ流路中に弁座および流路を
開閉する弁体と、この弁体にシャフトを介して連結され
たピストンおよび圧力流体が供給される圧力室とを有
し、流体圧によるピストンの移動によって弁体を移動さ
せ、チャンバポートおよびポンプポートを結ぶ流路を開
き、真空チャンバ内の気体を真空ポンプで排気し、真空
チャンバの内圧を真空圧に下げるものである。
ンバに接続されるチャンバポートおよび真空ポンプに接
続されるポンプポートを結ぶ流路中に弁座および流路を
開閉する弁体と、この弁体にシャフトを介して連結され
たピストンおよび圧力流体が供給される圧力室とを有
し、流体圧によるピストンの移動によって弁体を移動さ
せ、チャンバポートおよびポンプポートを結ぶ流路を開
き、真空チャンバ内の気体を真空ポンプで排気し、真空
チャンバの内圧を真空圧に下げるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の真空
排気では、真空排気弁を開けると、図５に示すように、
大気圧や高圧の状態にある真空チャンバ内の気体が急激
に排気されるため、真空チャンバ内で気体の乱流が生
じ、真空チャンバ内壁等に付着したパーティクルが巻き
上げられてワーク、例えばウエハに付着したり、ウエハ
が移動しウエハのセット位置がずれたりするという問題
点がある。
排気では、真空排気弁を開けると、図５に示すように、
大気圧や高圧の状態にある真空チャンバ内の気体が急激
に排気されるため、真空チャンバ内で気体の乱流が生
じ、真空チャンバ内壁等に付着したパーティクルが巻き
上げられてワーク、例えばウエハに付着したり、ウエハ
が移動しウエハのセット位置がずれたりするという問題
点がある。
【０００４】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、弁開度
を段階的に大きくして、真空チャンバ内の気体の乱流を
防止することができる真空排気弁を提供することにあ
る。本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
されたものであって、その目的とするところは、弁開度
を段階的に大きくして、真空チャンバ内の気体の乱流を
防止することができる真空排気弁を提供することにあ
る。本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、真空チャンバに接続されるチャンバポート
と、真空ポンプに接続されるポンプポートと、上記チャ
ンバポートと上記ポンプポートとを結ぶ流路中に位置す
る弁座および上記流路を開閉する弁体と、上記弁体にシ
ャフトを介して連結されたピストンおよび圧力流体が供
給される圧力作用室を有し、流体圧による上記ピストン
の往復動によって上記弁体を開閉させる弁駆動部と、上
記シャフトを上記弁体が閉じる方向に付勢する弾性部材
と、上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポー
トと、を具備した真空排気弁において、上記弁体の外周
部に、上記弁体を閉じる方向に縮径する複数のテーパ面
が連続して形成されたことを特徴としている。
本発明は、真空チャンバに接続されるチャンバポート
と、真空ポンプに接続されるポンプポートと、上記チャ
ンバポートと上記ポンプポートとを結ぶ流路中に位置す
る弁座および上記流路を開閉する弁体と、上記弁体にシ
ャフトを介して連結されたピストンおよび圧力流体が供
給される圧力作用室を有し、流体圧による上記ピストン
の往復動によって上記弁体を開閉させる弁駆動部と、上
記シャフトを上記弁体が閉じる方向に付勢する弾性部材
と、上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポー
トと、を具備した真空排気弁において、上記弁体の外周
部に、上記弁体を閉じる方向に縮径する複数のテーパ面
が連続して形成されたことを特徴としている。
【０００６】また、本発明は、真空チャンバに接続され
るチャンバポートと、真空ポンプに接続されるポンプポ
ートと、上記チャンバポートと上記ポンプポートとを結
ぶ流路中に位置する弁座および上記流路を開閉する弁体
と、上記弁体にシャフトを介して連結されたピストンお
よび圧力流体が供給される圧力作用室を有し、流体圧に
よる上記ピストンの往復動によって上記弁体を開閉させ
る弁駆動部と、上記シャフトを上記弁体が閉じる方向に
付勢する弾性部材と、上記圧力作用室に上記圧力流体を
導入する操作ポートと、を具備した真空排気弁におい
て、上記弁体の外周部が曲面状に形成されたことを特徴
としている。
るチャンバポートと、真空ポンプに接続されるポンプポ
ートと、上記チャンバポートと上記ポンプポートとを結
ぶ流路中に位置する弁座および上記流路を開閉する弁体
と、上記弁体にシャフトを介して連結されたピストンお
よび圧力流体が供給される圧力作用室を有し、流体圧に
よる上記ピストンの往復動によって上記弁体を開閉させ
る弁駆動部と、上記シャフトを上記弁体が閉じる方向に
付勢する弾性部材と、上記圧力作用室に上記圧力流体を
導入する操作ポートと、を具備した真空排気弁におい
て、上記弁体の外周部が曲面状に形成されたことを特徴
としている。
【０００７】従って、本発明では、弁体の外周部に、そ
の閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して有す
るので、弁体は弁座との間隔を段階的に大きくしながら
開口し、排気量が緩速的に増加するため、真空チャンバ
内の気体の乱流が回避される。また、弁体の外周部が曲
面状に形成されたことでも、弁体は弁座との間隔を徐々
に大きくしながら開口されるので、排気量が緩速的に増
加され、真空チャンバ内の気体の乱流の発生を防げる。
の閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して有す
るので、弁体は弁座との間隔を段階的に大きくしながら
開口し、排気量が緩速的に増加するため、真空チャンバ
内の気体の乱流が回避される。また、弁体の外周部が曲
面状に形成されたことでも、弁体は弁座との間隔を徐々
に大きくしながら開口されるので、排気量が緩速的に増
加され、真空チャンバ内の気体の乱流の発生を防げる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。図１は、本発明の一実施の形態に係る真空排気弁
の閉状態を示す断面図、図２は、本発明の一実施の形態
に係る真空排気弁における弁体移動量と排気量との特性
図、図３および図４は、本発明の他の実施の形態に係る
真空排気弁における弁体の要部断面図である。
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。図１は、本発明の一実施の形態に係る真空排気弁
の閉状態を示す断面図、図２は、本発明の一実施の形態
に係る真空排気弁における弁体移動量と排気量との特性
図、図３および図４は、本発明の他の実施の形態に係る
真空排気弁における弁体の要部断面図である。
【０００９】図１に示す真空排気弁は、略円筒状の弁ボ
ディ１を有し、この弁ボディ１の軸線方向後端部にはこ
れを塞ぐようにカバー３が固着され、先端部には真空チ
ャンバ（図示略す）に接続するためのチャンバポート５
が形成され、弁ボディ１の軸線方向と直交する方向には
真空ポンプ（図示略す）に接続するためのポンプポート
６が開設され、弁ボディ１の内部には、チャンバポート
５とポンプポート６とを結ぶ流路を開閉する弁機構が設
けられている。
ディ１を有し、この弁ボディ１の軸線方向後端部にはこ
れを塞ぐようにカバー３が固着され、先端部には真空チ
ャンバ（図示略す）に接続するためのチャンバポート５
が形成され、弁ボディ１の軸線方向と直交する方向には
真空ポンプ（図示略す）に接続するためのポンプポート
６が開設され、弁ボディ１の内部には、チャンバポート
５とポンプポート６とを結ぶ流路を開閉する弁機構が設
けられている。
【００１０】弁機構は、軸線方向に往復動して両ポート
５，６を結ぶ流路中の弁座７を開閉する弁体９と、圧縮
空気等の圧力流体の作用により作動して弁体９を駆動す
るピストン１２と、弁体９およびピストン１２を相互に
連結するシャフト１０とを有している。ピストン１２
は、弁ボディ１のカバー３よりに形成されたシリンダ２
内のシリンダ室４に往復動自在に配設され、弁体９の外
周部には、弁座７との気密性を保つシール部材８が装着
され、弁体９のシール部材８より先端側の外周部には、
弁体９を閉じる方向に縮径する複数のテーパ面９ａ，９
ｂが連続して形成されている。
５，６を結ぶ流路中の弁座７を開閉する弁体９と、圧縮
空気等の圧力流体の作用により作動して弁体９を駆動す
るピストン１２と、弁体９およびピストン１２を相互に
連結するシャフト１０とを有している。ピストン１２
は、弁ボディ１のカバー３よりに形成されたシリンダ２
内のシリンダ室４に往復動自在に配設され、弁体９の外
周部には、弁座７との気密性を保つシール部材８が装着
され、弁体９のシール部材８より先端側の外周部には、
弁体９を閉じる方向に縮径する複数のテーパ面９ａ，９
ｂが連続して形成されている。
【００１１】シャフト１０の先端部は、弁体９の中央部
に嵌入されシャフト押え１６によって抜脱しないように
固定され、シャフト１０の後端部は、シリンダ２の隔壁
部である台座２ａを、ガイドブッシュ１７を介して気密
かつ摺動自在に貫通され、ピストン１２の中央部に押え
板２０を介して固定ナット１３によって気密に締着され
ている。なお、図中、１２ａは、ピストン１２の後端部
に形成された凹部であり、固定ナット１３は凹部１２ａ
内でシャフト１０の後端部に螺合されている。
に嵌入されシャフト押え１６によって抜脱しないように
固定され、シャフト１０の後端部は、シリンダ２の隔壁
部である台座２ａを、ガイドブッシュ１７を介して気密
かつ摺動自在に貫通され、ピストン１２の中央部に押え
板２０を介して固定ナット１３によって気密に締着され
ている。なお、図中、１２ａは、ピストン１２の後端部
に形成された凹部であり、固定ナット１３は凹部１２ａ
内でシャフト１０の後端部に螺合されている。
【００１２】ピストン１２は、その外周部にシリンダ２
の内壁に気密に摺接するパッキン１４およびガイドリン
グ１５を有しており、ピストン１２と台座２ａとの間に
区画形成された圧力室４ａは、シリンダ２の上壁に開設
された操作ポート２８に連通し、操作ポート２８から圧
力室４ａに圧力流体が供給されると、ピストン１２がカ
バー３側に移動し、弁体９が開くようになっている。
の内壁に気密に摺接するパッキン１４およびガイドリン
グ１５を有しており、ピストン１２と台座２ａとの間に
区画形成された圧力室４ａは、シリンダ２の上壁に開設
された操作ポート２８に連通し、操作ポート２８から圧
力室４ａに圧力流体が供給されると、ピストン１２がカ
バー３側に移動し、弁体９が開くようになっている。
【００１３】弁ボディ１の内部には、弁体９に装着され
たバネ座２１と台座２ａとの間に、弁体９を閉鎖方向に
付勢する第1および第２のスプリング２２，２３が縮設
され、弁ボディ１の内壁片と台座２ａ間に挟着されたベ
ローズホルダ２５と弁体９との間にシャフト１０、第1
および第２のスプリング２２，２３を内包するベローズ
２４が設けられている。なお、図中、１１は、シャフト
１０と第1および第２のスプリング２２，２３との間に
介在し、第1および第２のスプリング２２，２３の伸縮
を案内するバネガイドであり、１８は、シャフト１０と
台座２ａとの間の気密を保つパッキンである。また、１
９は、シャフト１０とピストン１２との気密を保つシー
ル部材であり、２６は、弁ボディ１とベローズホルダ２
５との間の気密を保つシール部材である。さらに、２７
は、ベローズ２４内を外部に連通する呼吸ポート、２９
は、シリンダ室４を外部に連通する呼吸孔である。
たバネ座２１と台座２ａとの間に、弁体９を閉鎖方向に
付勢する第1および第２のスプリング２２，２３が縮設
され、弁ボディ１の内壁片と台座２ａ間に挟着されたベ
ローズホルダ２５と弁体９との間にシャフト１０、第1
および第２のスプリング２２，２３を内包するベローズ
２４が設けられている。なお、図中、１１は、シャフト
１０と第1および第２のスプリング２２，２３との間に
介在し、第1および第２のスプリング２２，２３の伸縮
を案内するバネガイドであり、１８は、シャフト１０と
台座２ａとの間の気密を保つパッキンである。また、１
９は、シャフト１０とピストン１２との気密を保つシー
ル部材であり、２６は、弁ボディ１とベローズホルダ２
５との間の気密を保つシール部材である。さらに、２７
は、ベローズ２４内を外部に連通する呼吸ポート、２９
は、シリンダ室４を外部に連通する呼吸孔である。
【００１４】真空排気弁は、以上の如く構成されている
ので、通常、弁体９は、第1および第２のスプリング２
２，２３の弾発力によってチャンバポート５とポンプポ
ート６とを結ぶ流路を閉鎖しており、この状態では真空
ポンプを運転しても真空チャンバ内の気体はチャンバポ
ート５からポンプポート６へと排出されない。
ので、通常、弁体９は、第1および第２のスプリング２
２，２３の弾発力によってチャンバポート５とポンプポ
ート６とを結ぶ流路を閉鎖しており、この状態では真空
ポンプを運転しても真空チャンバ内の気体はチャンバポ
ート５からポンプポート６へと排出されない。
【００１５】いま、操作ポート２８から圧力室４ａに圧
縮空気等の圧力流体が徐々に加圧されながら供給される
と、圧力室４ａ内の流体圧が上昇し、ピストン１２は、
第1および第２のスプリング２２，２３の弾発力に抗し
て、その後端面がカバー３に当接する位置まで移動す
る。この場合、弁体９の外周部に複数のテーパ面９ａ，
９ｂが形成されているので、弁体９の移動に伴って弁体
９と弁座７との間隔が段階的に拡大し、排気量が段階的
に増加するため、急激な排気が抑制され真空チャンバ内
の気体の乱流が回避される。
縮空気等の圧力流体が徐々に加圧されながら供給される
と、圧力室４ａ内の流体圧が上昇し、ピストン１２は、
第1および第２のスプリング２２，２３の弾発力に抗し
て、その後端面がカバー３に当接する位置まで移動す
る。この場合、弁体９の外周部に複数のテーパ面９ａ，
９ｂが形成されているので、弁体９の移動に伴って弁体
９と弁座７との間隔が段階的に拡大し、排気量が段階的
に増加するため、急激な排気が抑制され真空チャンバ内
の気体の乱流が回避される。
【００１６】次に、真空チャンバが所要の真空度になる
と、圧力室４ａ内の圧力流体が操作ポート２８から排出
され、弁体９が第1および第２のスプリング２２，２３
の付勢力で復帰し、チャンバポート５とポンプポート６
とを結ぶ流路が閉鎖される。
と、圧力室４ａ内の圧力流体が操作ポート２８から排出
され、弁体９が第1および第２のスプリング２２，２３
の付勢力で復帰し、チャンバポート５とポンプポート６
とを結ぶ流路が閉鎖される。
【００１７】このように、本実施の形態の真空排気弁で
は、弁体９の外周部に、その閉じる方向に縮径する複数
のテーパ面９ａ，９ｂが連続して形成されたので、図２
に示すように、弁体９は、その移動に伴って弁座７との
間隔を段階的に大きくしながら開口され、排気量を緩速
的に増加させる。これにより、真空チャンバ内の気体の
乱流の発生を防止することができ、真空排気を安定的に
行なうことができ、乱流に伴うパーティクルの巻き上げ
を防止することができる。
は、弁体９の外周部に、その閉じる方向に縮径する複数
のテーパ面９ａ，９ｂが連続して形成されたので、図２
に示すように、弁体９は、その移動に伴って弁座７との
間隔を段階的に大きくしながら開口され、排気量を緩速
的に増加させる。これにより、真空チャンバ内の気体の
乱流の発生を防止することができ、真空排気を安定的に
行なうことができ、乱流に伴うパーティクルの巻き上げ
を防止することができる。
【００１８】以上、本発明の実施の形態の真空排気弁に
ついて詳述したが、本発明は、上記実施の形態記載の真
空排気弁に限定されるものではなく、本発明の特許請求
の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲
で、設計において種々の変更ができるものである。たと
えば、図３に示すように、弁体９の外周部に、その閉じ
る方向に縮径する３つのテーパ面９ｃ，９ｄ，９ｅを形
成する他、４つ以上の多数のテーパ面を連続して形成し
てもよく、また、図４に示すように、弁体９の外周部に
曲面９ｆを形成することでも、同様の効果を期待するこ
とができる。
ついて詳述したが、本発明は、上記実施の形態記載の真
空排気弁に限定されるものではなく、本発明の特許請求
の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲
で、設計において種々の変更ができるものである。たと
えば、図３に示すように、弁体９の外周部に、その閉じ
る方向に縮径する３つのテーパ面９ｃ，９ｄ，９ｅを形
成する他、４つ以上の多数のテーパ面を連続して形成し
てもよく、また、図４に示すように、弁体９の外周部に
曲面９ｆを形成することでも、同様の効果を期待するこ
とができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明の真空排気弁によれば、弁体の外周部に複数のテーパ
面が形成されたことで、弁体は弁座との間隔を段階的に
大きくしながら開口し、排気量を緩速的に増加させるた
め、真空チャンバ内の気体の乱流を防止することができ
る。また、弁体の外周部が曲面状に形成されたことで
も、弁体は弁座との間隔を徐々に大きくしながら開口さ
れるので、排気量が緩速的に増加され、真空チャンバ内
の気体の乱流の発生を防止することができる。従って、
パーティクルの巻き上げが防止され、パーティクルがワ
ークに付着したり、ウエハの位置がずれるなどの不具合
を回避することができる。
明の真空排気弁によれば、弁体の外周部に複数のテーパ
面が形成されたことで、弁体は弁座との間隔を段階的に
大きくしながら開口し、排気量を緩速的に増加させるた
め、真空チャンバ内の気体の乱流を防止することができ
る。また、弁体の外周部が曲面状に形成されたことで
も、弁体は弁座との間隔を徐々に大きくしながら開口さ
れるので、排気量が緩速的に増加され、真空チャンバ内
の気体の乱流の発生を防止することができる。従って、
パーティクルの巻き上げが防止され、パーティクルがワ
ークに付着したり、ウエハの位置がずれるなどの不具合
を回避することができる。
【図１】本発明の一実施の形態である真空排気弁の閉状
態を示す断面図。
態を示す断面図。
【図２】本発明の一実施の形態である真空排気弁におけ
る弁体移動量と排気量との特性図。
る弁体移動量と排気量との特性図。
【図３】本発明の他の実施の形態である真空排気弁にお
ける弁体の要部断面図。
ける弁体の要部断面図。
【図４】本発明の他の実施の形態である真空排気弁にお
ける弁体の要部断面図。
ける弁体の要部断面図。
【図５】従来の真空排気弁における弁体移動量と排気量
との特性図。
との特性図。
１ 弁ボディ ２ シリンダ ２ａ 台座 ３ カバー ４ シリンダ室 ４ａ 圧力室 ５ チャンバポート ６ ポンプポート ７ 弁座 ８，１９，２６ シール部材 ９ 弁体 ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ テーパ面 ９ｆ 曲面 １０ シャフト １１ バネガイド １２ ピストン １３ 固定ナット １４ パッキン １５ ガイドリング １６ シャフト押え １７ ガイドブッシュ １８ パッキン ２０ 押え板 ２１ バネ座 ２２ 第1のスプリング ２３ 第２のスプリング ２４ ベローズ ２５ ベローズホルダ ２７ 呼吸ポート ２８ 操作ポート ２９ 呼吸孔
Claims (2)
- 【請求項１】真空チャンバに接続されるチャンバポート
と、 真空ポンプに接続されるポンプポートと、 上記チャンバポートと上記ポンプポートとを結ぶ流路中
に位置する弁座および上記流路を開閉する弁体と、 上記弁体にシャフトを介して連結されたピストンおよび
圧力流体が供給される圧力作用室を有し、流体圧による
上記ピストンの往復動によって上記弁体を開閉させる弁
駆動部と、 上記シャフトを上記弁体が閉じる方向に付勢する弾性部
材と、 上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート
と、 を具備した真空排気弁において、 上記弁体の外周部に、上記弁体を閉じる方向に縮径する
複数のテーパ面が連続して形成されたことを特徴とする
真空排気弁。 - 【請求項２】真空チャンバに接続されるチャンバポート
と、 真空ポンプに接続されるポンプポートと、 上記チャンバポートと上記ポンプポートとを結ぶ流路中
に位置する弁座および上記流路を開閉する弁体と、 上記弁体にシャフトを介して連結されたピストンおよび
圧力流体が供給される圧力作用室を有し、流体圧による
上記ピストンの往復動によって上記弁体を開閉させる弁
駆動部と、 上記シャフトを上記弁体が閉じる方向に付勢する弾性部
材と、 上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート
と、 を具備した真空排気弁において、 上記弁体の外周部が曲面状に形成されたことを特徴とす
る真空排気弁。
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