CN100432506C - 气体阀门 - Google Patents

Abstract

一种气体阀门，用以装设在一机台中。气体阀门包括一侧壁、一底板、一顶板、一密封元件、一滑动杆及一夹持件。侧壁具有一第一开口，底板连接于侧壁，底板具有一第二开口，顶板具有一第三开口，顶板连接于侧壁，顶板、侧壁及底板形成一空间。密封元件与第二开口相对应设置。滑动杆的一端连接于密封元件，另一端穿越第三开口并凸出于空间之外。滑动杆带动密封元件在空间内滑动，使得密封元件可密封或开启第二开口。夹持件设置在顶板上，用以夹持滑动杆，使得滑动杆与顶板之间维持一预设的角度。

Description

气体阀门

技术领域

本发明涉及一种气体阀门，特别是涉及一种活塞式气体阀门。。

背景技术

在日常生活或制造产业中，阀门的应用非常广泛。阀门可用以开启一通道，使得通道两端的气体或液体可相互流通；阀门也可用以封闭此通道，使得通道两端的气体或液体被隔绝。尤其是在半导体设备中，气体阀门的应用极为广泛，气体阀门可应用于半导体设备的反应室与抽气泵之间，用以开启或封闭反应室与抽气泵之间的通道，使得反应室之间形成真空状态或非真空状态。

参照图1，其表示传统的气体阀门的示意图。气体阀门301装设在一机台101中，并连接一抽气泵11和一反应室12。气体阀门301包括一壳体20和一密封组件40，壳体20具有一第一开口21a、一第二开口22a及一第三开口23a，第一开口21a设置于壳体20的一侧壁21，并与抽气泵11相通；第二开口22a设置于壳体20的一底板22，并与反应室12相通；第三开口23a设置于壳体20的一顶板23，并与第二开口22a的位置对应。密封组件40包括一密封元件41和一滑动杆42。密封元件41设置在壳体20的一内部空间24，并与第二开口22a相对应，滑动杆42的一端连接密封元件41，另一端穿越第三开口23a并凸出在空间24之外，滑动杆42带动密封元件41在空间24内滑动，使得密封元件41可密封或开启第二开口22a。

同时参照图2和图3，图2表示图1中当密封元件滑动至第二开口处的示意图。图3表示图2中滑动杆的正常滑动方向和倾斜后的示意图。传统气体阀门301在使用多次后常会造成滑动杆42倾斜，如图3所示，虚线为滑动杆42在未倾斜时的正常位置，此时滑动杆42与顶板23呈垂直状态；实线为使用多次后产生倾斜的滑动杆42，此时滑动杆42的中心线方向L42与顶板23的法线方向N形成一夹角θ。因此当倾斜的滑动杆42带动密封元件41下降至第二开口22a处时，密封元件41相对底板22倾斜，使得密封元件41不能顺利密合第二开口22a，如图2所示。这一故障将使得机台101不能正常运作，生产线必须因此停止，在重新定位滑动杆42使密封元件41可顺利密合第二开口22a后，生产线才能启动。这样不仅造成维修人力的浪费和维修时间成本的增加，也严重影响生产效率。

发明内容

因此，本发明的目的就在于提供一种气体阀门，利用滑动杆及密封组件搭配夹持件的设计，使得气体阀门在多次使用后，滑动杆的中心线方向与顶板的法线方向仍可维持平行，由此可使滑动杆顺利密封第二开口以维持机台的正常运作。这不仅减少了维修的人力和维修材料成本，还可维持良好的生产效率。

根据本发明的目的，提出一种气体阀门，装设在一机台中，用以达成机台的一真空状态或一非真空状态。气体阀门包括一壳体及一密封组件。壳体具有一第一开口、第二开口及一第三开口。第一开口与一抽气泵连通，第二开口与一反应室连通，第三开口与第二开口的位置对应并贯穿壳体。密封组件组装在壳体处，密封组件包括一密封元件、一滑动杆及一夹持件。密封元件设置在壳体的一内部空间中并与第二开口相对应。一滑动杆的一端连接于密封元件，另一端穿越第三开口并凸出于空间之外，滑动杆带动密封元件在空间内滑动，使得密封元件可密封或开启第二开口。夹持件设置在顶板上，用以夹持滑动杆，使得滑动杆与顶板之间维持一预设的角度。夹持件具有一内径，该内径实质上接近并略大于滑动杆的直径，并小于第三开口的直径。

为使本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易于理解，下面特举优选实施例，并配合附图进行详细说明。

附图说明

图1表示传统的气体阀门示意图；

图2表示图1中当密封元件滑动至第二开口处的示意图；

图3表示图2中滑动杆的正常滑动方向与倾斜后的示意图；

图4表示依照本发明的优选实施例的气体阀门示意图；

图5表示图4中当密封元件滑动至第二开口处的示意图；

图6表示图5中夹持件与滑动杆的示意图。

具体实施方式

参照图4，其表示依照本发明的优选实施例的气体阀门示意图。气体阀门30包括一壳体20和一密封组件40。壳体20包括一侧壁21、一底板22、一顶板23。密封组件40包括一密封元件41、一滑动杆42及一夹持件44。侧壁21具有一第一开口21a，底板22连接于侧壁21，底板22具有一第二开口22a，顶板23具有一第三开口23a，顶板23连接于侧壁21。顶板23、侧壁21及底板22形成一空间24。密封元件41与第二开口22a相对应设置。滑动杆42的一端连接于密封元件41，另一端穿越第三开口23a并凸出于空间24之外，滑动杆42带动密封元件41在空间24内滑动，使得密封元件41可密封或开启第二开口22a。夹持件44设置在顶板23上，用以夹持滑动杆42，使得滑动杆42与顶板23之间维持一预设的角度。

参照图5，其表示图4中当密封元件滑动至第二开口处的示意图。在本实施例中，滑动杆42为一等直径的圆柱体，当滑动杆42向上滑动时，可带动密封元件41向上滑动，此时密封元件41离开第二开口22a；当滑动杆42向下滑动时，可带动密封元件41向下滑动至第二开口22a处。密封元件41滑动至第二开口22a处时，滑动杆42由夹持件44与顶板23之间维持一预设的角度，使得密封元件可确实的密封第二开口22a。

参照图6，其表示图5中夹持件与滑动杆的示意图。夹持件44套接于滑动杆42，并设置在顶板23上。夹持件44设置的方式有很多种，在本实施例中是借助二螺丝60将夹持件44锁定在顶板23上。在实际应用时，夹持件44的内径D44约等于滑动杆42的直径D42，且夹持件44具有一定的厚度。通过夹持件44夹持滑动杆42，滑动杆42即使在多次使用后仍然不易倾斜，使得滑动杆42的中心线方向L42与顶板23的法线方向N维持平行。由此当滑动杆42带动密封元件41滑动至第二开口22a处时，密封元件41可平行底板22，并确实密封第二开口22a。另外，夹持件44是选用耐高温、不易碎裂且不易变形的材料，例如是金属铜或其合金。

气体阀门30可应用在二机构之间的气体通道，用以开启通道或关闭通道。在本实施例中，气体阀门30是以应用于一抽气泵11及一半导体机台的反应室12之间的气体阀门为例进行说明。第一开口21a与抽气泵11相通，第二开口22a与反应室12相通。在本实施例中抽气泵11不断进行抽气，当第二开口22a开启时，反应室12将被抽至真空状态。反之当第二开口22a封闭时，抽气泵11不能对反应室12抽气，此时可在反应室12注入外界气体，使反应室12回复到非真空状态。

另外，密封组件40还可包括一弹性体43，在本实施例中弹性体43以一弹簧为例进行说明。弹性体43设置在滑动杆42处，并位于顶板23与密封元件41之间。弹性体43用以提供一朝向第二开口22a的弹力，使得密封元件41可紧密地密封第二开口22a。

气体阀门30还包括一电磁阀70和一进气口70a。进气口70a设置在顶板23处，电磁阀70则用以控制滑动杆42下降或上升，使密封元件41可密封或开启第二开口22a。利用电磁阀70控制滑动杆42动作的方式有两种：一种控制方式是当电磁阀70开启进气口70a，并注入氮气N2时，将使滑动杆42上升，反之当电磁阀70停止注入氮气N2时将使滑动杆42下降。另一种控制方式则是停止注入氮气时滑动杆42上升，注入氮气时滑动杆42则下降。当然，具有普通技术知识的人员可理解，电磁阀70的实际动作方式并不在本发明的限制范围内。

另外，根据以上实施例，虽然夹持件44是以一环状体为例进行说明，但在实际应用时夹持件44可以是任意形状的物体，只要是能夹持滑动杆42，使滑动杆42在长时间使用下其中心线方向L42仍可以与顶板23的法线方向N维持平行即可，这些都不脱离本发明的技术范围。

虽然上述实施例的夹持件44以锁定于顶板23为例进行说明，但本发明的夹持件44也可以与顶板23一体成型。只要是利用一结构设计，使得滑动杆42在长时间使用下其中心线方向L42仍可以与顶板23的法线方向N维持平行即可，这些都不脱离本发明的技术范围。

本发明上述实施例所揭示的气体阀门，其以滑动杆及密封元件搭配夹持件的设计，使得气体阀门在长时间使用后，滑动杆的中心线方向与顶板的法线方向仍可维持平行。由此可顺利密封第二开口维持机台的正常运作，这不但减少了维修的人力和维修材料的成本，还维持了良好的生产效率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭示，但其并非用以限定本发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的构思和范围，可作出各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以后附的权利要求所界定。

Claims (9)

1.一种气体阀门，装设在一机台中，用以达成所述机台的一真空状态或一非真空状态，所述气体阀门包括一壳体和一密封组件，其中：

所述壳体，具有；

一第一开口，与一抽气泵连通；

一第二开口，与一反应室连通；和

一第三开口，与所述第二开口的位置对应并贯穿所述壳体；

所述密封组件，组装在所述壳体处，所述密封组件包括：

一密封元件，设置在所述壳体的一内部空间中并与所述第二开口相对应；

一滑动杆，一端连接于所述密封元件，另一端穿越所述第三开口并凸出于所述空间之外，所述滑动杆带动所述密封元件在所述空间内滑动，使得所述密封元件密封或开启所述第二开口；以及

一夹持件，设置在顶板上，用以夹持所述滑动杆，使得所述滑动杆与所述顶板之间维持一预设的角度，

其中所述夹持件具有一内径，该内径接近并略大于滑动杆的直径，所述内径小于所述第三开口的直径。

2.如权利要求1所述的气体阀门，其中当所述密封元件开启第二开口时，反应室内的气体自第二开口经由第一开口以抽气泵抽出至外界，使得反应室内形成真空状态。

3.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述气体阀门还具有一非真空阀，用以控制一通气口，当密封元件关闭第二开口时且非真空阀开启通气口时，外界的气体自通气口进入反应室内，使得反应室内形成非真空状态。

4.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述密封组件还包括一设置在滑动杆处的弹性体，该弹性体位于顶板与密封元件之间。

5.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述滑动杆为具有相同圆周直径的圆柱体。

6.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述夹持件的材料为一耐高温、不易碎裂且不易变形的材料。

7.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述夹持件的材料为一金属铜或其合金。

8.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述夹持件以一螺丝锁定在顶板上。

9.如权利要求1所述的气体阀门，其中所述夹持件与顶板一体成型。

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