JP2001182843A - 開閉バルブ - Google Patents
開閉バルブInfo
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- JP2001182843A JP2001182843A JP2000117725A JP2000117725A JP2001182843A JP 2001182843 A JP2001182843 A JP 2001182843A JP 2000117725 A JP2000117725 A JP 2000117725A JP 2000117725 A JP2000117725 A JP 2000117725A JP 2001182843 A JP2001182843 A JP 2001182843A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バルブボディとアクチュエータとの分解が簡
単な開閉バルブを提供すること。 【解決手段】 本発明の開閉バルブ５１００は、アクチ
ュエータ１０とバルブボディ５２とが組み立て可能なも
のであって、そのアクチュエータ１０には組み立ての際
にバルブボディ５２に対して外側から嵌合する筒状の嵌
合部材２２が設けられ、その嵌合部材２２及びバルブボ
ディ５２の一方に設けられた凸状部８２，８２…が他方
に設けられた凹状部２７，２７…に入り込んで、組み立
てられたアクチュエータ１０とバルブボディ５２とをロ
ックする。
単な開閉バルブを提供すること。 【解決手段】 本発明の開閉バルブ５１００は、アクチ
ュエータ１０とバルブボディ５２とが組み立て可能なも
のであって、そのアクチュエータ１０には組み立ての際
にバルブボディ５２に対して外側から嵌合する筒状の嵌
合部材２２が設けられ、その嵌合部材２２及びバルブボ
ディ５２の一方に設けられた凸状部８２，８２…が他方
に設けられた凹状部２７，２７…に入り込んで、組み立
てられたアクチュエータ１０とバルブボディ５２とをロ
ックする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータと
バルブボディとが分解可能な開閉バルブに関し、特に分
解を簡単にした開閉バルブに関する。
バルブボディとが分解可能な開閉バルブに関し、特に分
解を簡単にした開閉バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】開閉バルブは、例えば図８に示すよう
に、ポート１０２，１０３が形成されたバルブボディ１
０１にアクチュエータ１１０が一体に固定され、そのア
クチュエータ１１０の往復運動を伝達するロッド１１１
下端に固定された弁体１０５が、弁座面１０６に当接・
離間して弁の開閉を行うように構成されている。そし
て、そのアクチュエータ１１０には、例えばエアシリン
ダやソレノイドが使用され、そのアクチュエータ本体１
１２が、上方からねじ込まれたボルト１２１，１２１…
によってバルブボディ１０１へ固定されて、一個の開閉
バルブ１００が形成されている。
に、ポート１０２，１０３が形成されたバルブボディ１
０１にアクチュエータ１１０が一体に固定され、そのア
クチュエータ１１０の往復運動を伝達するロッド１１１
下端に固定された弁体１０５が、弁座面１０６に当接・
離間して弁の開閉を行うように構成されている。そし
て、そのアクチュエータ１１０には、例えばエアシリン
ダやソレノイドが使用され、そのアクチュエータ本体１
１２が、上方からねじ込まれたボルト１２１，１２１…
によってバルブボディ１０１へ固定されて、一個の開閉
バルブ１００が形成されている。
【０００３】こうした開閉バルブ１００は、例えばポー
ト１０２，１０３がガス管に接続されて、ガスライン上
に配管される。図９は、開閉バルブ１００の配管部分を
示した断面図であって、図９（ａ）は、管の半径方向断
面図であり、図９（ｂ）は、ポート及び管の軸方向断面
図である。ポート１０２（１０３）と管１３０とは、図
９（ｂ）に示すように管内にセンタリング１２３がはめ
込まれて同軸上に配置され、センタリング１２３外周に
嵌合したＯリング１２４を両フランジ１０２ａ，１３０
ａで挟み込み、更にその両フランジをまたいだクランプ
１２５ａ，１２５ｂによって図９（ａ）に示すように挟
み込んで固定されている。
ト１０２，１０３がガス管に接続されて、ガスライン上
に配管される。図９は、開閉バルブ１００の配管部分を
示した断面図であって、図９（ａ）は、管の半径方向断
面図であり、図９（ｂ）は、ポート及び管の軸方向断面
図である。ポート１０２（１０３）と管１３０とは、図
９（ｂ）に示すように管内にセンタリング１２３がはめ
込まれて同軸上に配置され、センタリング１２３外周に
嵌合したＯリング１２４を両フランジ１０２ａ，１３０
ａで挟み込み、更にその両フランジをまたいだクランプ
１２５ａ，１２５ｂによって図９（ａ）に示すように挟
み込んで固定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た開閉バルブ１００は、メンテナンスなどのために分解
する必要があるが、前述した従来の開閉バルブ１００の
ような構造のものは、分解が容易でなく、配管箇所によ
っては非常に困難なこともあった。即ち、図９に示すよ
うに配管した開閉バルブ１００は、センタリング１２３
がポート１０２（１０３）及び管１３０内に強くはめ込
まれ、ガスライン上からバルブ自体を簡単に取り外しで
きないようになっている。そのため、開閉バルブ１００
の分解は、配管した状態のままで行われることが多い。
ところが、従来の開閉バルブ１００は、アクチュエータ
本体１１２をバルブボディ１０１に固定したボルト１２
１，１２１…を取り外すのに工具が必要であるため、特
に開閉バルブ１００の配管箇所が狭いところでは、工具
が入らないこともあって分解を非常に困難にしていた。
た開閉バルブ１００は、メンテナンスなどのために分解
する必要があるが、前述した従来の開閉バルブ１００の
ような構造のものは、分解が容易でなく、配管箇所によ
っては非常に困難なこともあった。即ち、図９に示すよ
うに配管した開閉バルブ１００は、センタリング１２３
がポート１０２（１０３）及び管１３０内に強くはめ込
まれ、ガスライン上からバルブ自体を簡単に取り外しで
きないようになっている。そのため、開閉バルブ１００
の分解は、配管した状態のままで行われることが多い。
ところが、従来の開閉バルブ１００は、アクチュエータ
本体１１２をバルブボディ１０１に固定したボルト１２
１，１２１…を取り外すのに工具が必要であるため、特
に開閉バルブ１００の配管箇所が狭いところでは、工具
が入らないこともあって分解を非常に困難にしていた。
【０００５】そこで本発明は、かかる課題を解決すべ
く、バルブボディとアクチュエータとの分解が簡単な開
閉バルブを提供することを目的とする。
く、バルブボディとアクチュエータとの分解が簡単な開
閉バルブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、出力軸による
軸方向の往復運動を行うアクチュエータと、流路を構成
するバルブボディとが組み立て可能なものであって、バ
ルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出力軸先端
には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成された弁座
に対して弁体が当接・離間することによって弁の開閉を
行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエータには、組
み立ての際にバルブボディに対して外側から嵌合する筒
状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材又はバルブボデ
ィの一方に設けられた凸状部が他方に設けられた凹状部
に入り込んで、組み立てられたアクチュエータとバルブ
ボディとをロックすることを特徴とする。よって、本発
明の開閉バルブによれば、嵌合部材及びバルブボディの
一方に設けられた凸状部を他方に設けられた凹状部から
取り出すようにしてアクチュエータをバルブボディから
外すだけで分解が可能となる。
軸方向の往復運動を行うアクチュエータと、流路を構成
するバルブボディとが組み立て可能なものであって、バ
ルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出力軸先端
には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成された弁座
に対して弁体が当接・離間することによって弁の開閉を
行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエータには、組
み立ての際にバルブボディに対して外側から嵌合する筒
状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材又はバルブボデ
ィの一方に設けられた凸状部が他方に設けられた凹状部
に入り込んで、組み立てられたアクチュエータとバルブ
ボディとをロックすることを特徴とする。よって、本発
明の開閉バルブによれば、嵌合部材及びバルブボディの
一方に設けられた凸状部を他方に設けられた凹状部から
取り出すようにしてアクチュエータをバルブボディから
外すだけで分解が可能となる。
【０００７】また、本発明は、出力軸による軸方向の往
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、バルブボディ
内に挿入されたアクチュエータの出力軸先端には弁体が
設けられ、バルブボディ内に形成された弁座に対して弁
体が当接・離間することによって弁の開閉を行う開閉バ
ルブにおいて、前記アクチュエータは、組み立ての際に
バルブボディに対して外側から嵌合するように設けられ
た筒状の嵌合部材に、筒状のガイド部材がスライド可能
にはめ合わされ、その嵌合部材に穿設された複数のテー
パ孔に装填された球体が、ガイド部材によって外側から
押さえ付けられるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された球体がバルブボディに形成
されたロック穴に入り込んで、組み立てられたアクチュ
エータとバルブボディとをロックすることを特徴とす
る。
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、バルブボディ
内に挿入されたアクチュエータの出力軸先端には弁体が
設けられ、バルブボディ内に形成された弁座に対して弁
体が当接・離間することによって弁の開閉を行う開閉バ
ルブにおいて、前記アクチュエータは、組み立ての際に
バルブボディに対して外側から嵌合するように設けられ
た筒状の嵌合部材に、筒状のガイド部材がスライド可能
にはめ合わされ、その嵌合部材に穿設された複数のテー
パ孔に装填された球体が、ガイド部材によって外側から
押さえ付けられるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された球体がバルブボディに形成
されたロック穴に入り込んで、組み立てられたアクチュ
エータとバルブボディとをロックすることを特徴とす
る。
【０００８】よって、本発明の開閉バルブによれば、組
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
球体をロック穴に入れ、それとともにガイド部材をスラ
イドさせて球体を外側から押さえ付けてロックする。一
方、分解する際には、ガイド部材をスライドさせて球体
の押さえ付けを外せば、容易にロックが解除されて嵌合
部材をバルブボディから抜くことができ、アクチュエー
タの分解が簡単に行うことができる。
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
球体をロック穴に入れ、それとともにガイド部材をスラ
イドさせて球体を外側から押さえ付けてロックする。一
方、分解する際には、ガイド部材をスライドさせて球体
の押さえ付けを外せば、容易にロックが解除されて嵌合
部材をバルブボディから抜くことができ、アクチュエー
タの分解が簡単に行うことができる。
【０００９】また、本発明は、出力軸による軸方向の往
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、ベローズに覆
われてバルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出
力軸の先端には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成
された弁座に対して弁体が当接・離間することによって
弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエー
タには、組み立ての際にバルブボディに対して外側から
嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材には
上下２段に穿設された複数のテーパ孔に球体が装填さ
れ、その嵌合部材に対してスライド可能にはめ合わされ
た筒状のガイド部材が、上下にスライドすることによっ
て上下２段に装填された球体を交互にテーパ孔内に外側
から押さえ付けるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された下方の球体は、バルブボデ
ィに形成されたロック穴に入り込んで組み立てられたア
クチュエータとバルブボディとをロックし、ガイド部材
によって嵌合部材の内側へ突き出された上方の球体は、
ベローズに接続された筒状のベローズアダプタの外周の
段部が引っかけられることを特徴とする 。
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、ベローズに覆
われてバルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出
力軸の先端には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成
された弁座に対して弁体が当接・離間することによって
弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエー
タには、組み立ての際にバルブボディに対して外側から
嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材には
上下２段に穿設された複数のテーパ孔に球体が装填さ
れ、その嵌合部材に対してスライド可能にはめ合わされ
た筒状のガイド部材が、上下にスライドすることによっ
て上下２段に装填された球体を交互にテーパ孔内に外側
から押さえ付けるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された下方の球体は、バルブボデ
ィに形成されたロック穴に入り込んで組み立てられたア
クチュエータとバルブボディとをロックし、ガイド部材
によって嵌合部材の内側へ突き出された上方の球体は、
ベローズに接続された筒状のベローズアダプタの外周の
段部が引っかけられることを特徴とする 。
【００１０】よって、本発明の開閉バルブによれば、組
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
下方の球体をロック穴に入れ、それとともにガイド部材
をスライドさせて下方の球体を外側から押さえ付けてロ
ックする。一方、分解する際には、ガイド部材をスライ
ドさせて下方の球体の押さえ付けを外せば、容易にロッ
クが解除されて嵌合部材をバルブボディから抜くことが
でき、アクチュエータの分解が簡単に行うことができ
る。また、分解の際には、上方の球体が外側から押さえ
付けられ、その内側に突出した球体にベローズアダプタ
が引っかけられ、アクチュエータやベローズなどを一体
にバルブボディから分解させることができる。
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
下方の球体をロック穴に入れ、それとともにガイド部材
をスライドさせて下方の球体を外側から押さえ付けてロ
ックする。一方、分解する際には、ガイド部材をスライ
ドさせて下方の球体の押さえ付けを外せば、容易にロッ
クが解除されて嵌合部材をバルブボディから抜くことが
でき、アクチュエータの分解が簡単に行うことができ
る。また、分解の際には、上方の球体が外側から押さえ
付けられ、その内側に突出した球体にベローズアダプタ
が引っかけられ、アクチュエータやベローズなどを一体
にバルブボディから分解させることができる。
【００１１】本発明は、出力軸による軸方向の往復運動
を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブボディ
とが組み立て可能なものであって、バルブボディ内に挿
入されたアクチュエータの出力軸先端には弁体が設けら
れ、バルブボディ内に形成された弁座に対して弁体が当
接・離間することによって弁の開閉を行う開閉バルブに
おいて、前記アクチュエータは、組み立ての際にバルブ
ボディに対して外側から嵌合するように設けられた筒状
の嵌合部材に、筒状のガイド部材がスライド可能にはめ
合わされ、その嵌合部材に穿設された複数のテーパ孔に
装填された球体が、ガイド部材によって外側から押さえ
付けられるものであって、ガイド部材によって嵌合部材
の内側へ突き出された球体がバルブボディに形成された
環状のロック溝に入り込んで、組み立てられたアクチュ
エータとバルブボディとをロックすることを特徴とす
る。
を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブボディ
とが組み立て可能なものであって、バルブボディ内に挿
入されたアクチュエータの出力軸先端には弁体が設けら
れ、バルブボディ内に形成された弁座に対して弁体が当
接・離間することによって弁の開閉を行う開閉バルブに
おいて、前記アクチュエータは、組み立ての際にバルブ
ボディに対して外側から嵌合するように設けられた筒状
の嵌合部材に、筒状のガイド部材がスライド可能にはめ
合わされ、その嵌合部材に穿設された複数のテーパ孔に
装填された球体が、ガイド部材によって外側から押さえ
付けられるものであって、ガイド部材によって嵌合部材
の内側へ突き出された球体がバルブボディに形成された
環状のロック溝に入り込んで、組み立てられたアクチュ
エータとバルブボディとをロックすることを特徴とす
る。
【００１２】よって、本発明の開閉バルブによれば、組
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
球体をロック溝に入れ、それとともにガイド部材をスラ
イドさせて球体を外側から押さえ付けてロックする。そ
の際、嵌合部材に内側に隠れるロック溝に球体を入れる
必要があるが、ロック溝が環状に形成されているため、
球体の位置を調整することなく嵌合部材をバルブボディ
に簡単に嵌合させることができる。一方、分解する際に
は、ガイド部材をスライドさせて球体の押さえ付けを外
せば、容易にロックが解除されて嵌合部材をバルブボデ
ィから抜くことができ、アクチュエータの分解が簡単に
行うことができる。
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
球体をロック溝に入れ、それとともにガイド部材をスラ
イドさせて球体を外側から押さえ付けてロックする。そ
の際、嵌合部材に内側に隠れるロック溝に球体を入れる
必要があるが、ロック溝が環状に形成されているため、
球体の位置を調整することなく嵌合部材をバルブボディ
に簡単に嵌合させることができる。一方、分解する際に
は、ガイド部材をスライドさせて球体の押さえ付けを外
せば、容易にロックが解除されて嵌合部材をバルブボデ
ィから抜くことができ、アクチュエータの分解が簡単に
行うことができる。
【００１３】また、本発明は、出力軸による軸方向の往
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、ベローズに覆
われてバルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出
力軸の先端には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成
された弁座に対して弁体が当接・離間することによって
弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエー
タには、組み立ての際にバルブボディに対して外側から
嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材には
上下２段に穿設された複数のテーパ孔に球体が装填さ
れ、その嵌合部材に対してスライド可能にはめ合わされ
た筒状のガイド部材が、上下にスライドすることによっ
て上下２段に装填された球体を交互にテーパ孔内に外側
から押さえ付けるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された下方の球体は、バルブボデ
ィに形成された環状のロック溝に入り込みんで組み立て
られたアクチュエータとバルブボディとをロックし、ガ
イド部材によって嵌合部材の内側へ突き出された上方の
球体は、ベローズに接続された筒状のベローズアダプタ
の外周の段部が引っかけられることを特徴とする。
復運動を行うアクチュエータと、流路を構成するバルブ
ボディとが組み立て可能なものであって、ベローズに覆
われてバルブボディ内に挿入されたアクチュエータの出
力軸の先端には弁体が設けられ、バルブボディ内に形成
された弁座に対して弁体が当接・離間することによって
弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、前記アクチュエー
タには、組み立ての際にバルブボディに対して外側から
嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、その嵌合部材には
上下２段に穿設された複数のテーパ孔に球体が装填さ
れ、その嵌合部材に対してスライド可能にはめ合わされ
た筒状のガイド部材が、上下にスライドすることによっ
て上下２段に装填された球体を交互にテーパ孔内に外側
から押さえ付けるものであって、ガイド部材によって嵌
合部材の内側へ突き出された下方の球体は、バルブボデ
ィに形成された環状のロック溝に入り込みんで組み立て
られたアクチュエータとバルブボディとをロックし、ガ
イド部材によって嵌合部材の内側へ突き出された上方の
球体は、ベローズに接続された筒状のベローズアダプタ
の外周の段部が引っかけられることを特徴とする。
【００１４】よって、本発明の開閉バルブによれば、組
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
下方の球体をロック溝に入れ、それとともにガイド部材
をスライドさせて下方の球体を外側から押さえ付けてロ
ックする。一方、分解する際には、ガイド部材をスライ
ドさせて下方の球体の押さえ付けを外せば、容易にロッ
クが解除されて嵌合部材をバルブボディから抜くことが
でき、アクチュエータの分解が簡単に行うことができ
る。また、分解の際には、上方の球体が外側から押さえ
付けられ、その内側に突出した球体にベローズアダプタ
が引っかけられ、アクチュエータやベローズなどを一体
にバルブボディから分解させることができる。
み立ての際には、嵌合部材をバルブボディにはめ込んで
下方の球体をロック溝に入れ、それとともにガイド部材
をスライドさせて下方の球体を外側から押さえ付けてロ
ックする。一方、分解する際には、ガイド部材をスライ
ドさせて下方の球体の押さえ付けを外せば、容易にロッ
クが解除されて嵌合部材をバルブボディから抜くことが
でき、アクチュエータの分解が簡単に行うことができ
る。また、分解の際には、上方の球体が外側から押さえ
付けられ、その内側に突出した球体にベローズアダプタ
が引っかけられ、アクチュエータやベローズなどを一体
にバルブボディから分解させることができる。
【００１５】また、本発明の開閉バルブは、前記嵌合部
材が、嵌合方向に形成されたスリット溝を備え、バルブ
ボディに突設された突起を当該スリット溝に入れてバル
ブボディへ嵌合させるものであることを特徴とする。よ
って、本発明の開閉バルブによれば、嵌合部材を当該ス
リット溝に突起を入れるようにしてバルブボディへ嵌合
させれば、ロック穴の場合には、その位置を探さずに球
体を入れることができ、またロック溝の場合には、嵌合
後の嵌合部材の回転防止になる。
材が、嵌合方向に形成されたスリット溝を備え、バルブ
ボディに突設された突起を当該スリット溝に入れてバル
ブボディへ嵌合させるものであることを特徴とする。よ
って、本発明の開閉バルブによれば、嵌合部材を当該ス
リット溝に突起を入れるようにしてバルブボディへ嵌合
させれば、ロック穴の場合には、その位置を探さずに球
体を入れることができ、またロック溝の場合には、嵌合
後の嵌合部材の回転防止になる。
【００１６】また、本発明の開閉バルブは、前記嵌合部
材に螺合され、球体をテーパ孔内に押さえ付けたガイド
部材の抜け止め防止のためのカラーを有することを特徴
とする。よって、本発明の開閉バルブによれば、カラー
によって安定したロック状態を維持することができ、ま
た嵌合部材に螺合させたカラーの位置決めも簡単で、紛
失のおそれもない。
材に螺合され、球体をテーパ孔内に押さえ付けたガイド
部材の抜け止め防止のためのカラーを有することを特徴
とする。よって、本発明の開閉バルブによれば、カラー
によって安定したロック状態を維持することができ、ま
た嵌合部材に螺合させたカラーの位置決めも簡単で、紛
失のおそれもない。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る開閉バルブの
一実施の形態について図面を参照して説明する。図１及
び図２は、第１実施の形態の開閉バルブを示した断面図
であり、特に図１はバルブボディとアクチュエータとが
固定された状態を示し、図２はバルブボディとアクチュ
エータとが分解可能な状態を示したものである。本実施
の形態の開閉バルブ１は、半導体製造ラインの排気系に
配管される真空排気バルブを例に挙げたものであり、特
にアクチュエータにはエアシリンダ１０を用いたもので
ある。開閉バルブ１のバルブボディ２は、円筒形の下方
端に縮径した出力ポート３が同軸に突設し、側面部には
入力ポート４が軸線と直交方向に突設して形成されてい
る。そして、そのバルブボディ２内には、出力ポート３
へ連続する平坦な環状の面が弁座面５として形成されて
いる。
一実施の形態について図面を参照して説明する。図１及
び図２は、第１実施の形態の開閉バルブを示した断面図
であり、特に図１はバルブボディとアクチュエータとが
固定された状態を示し、図２はバルブボディとアクチュ
エータとが分解可能な状態を示したものである。本実施
の形態の開閉バルブ１は、半導体製造ラインの排気系に
配管される真空排気バルブを例に挙げたものであり、特
にアクチュエータにはエアシリンダ１０を用いたもので
ある。開閉バルブ１のバルブボディ２は、円筒形の下方
端に縮径した出力ポート３が同軸に突設し、側面部には
入力ポート４が軸線と直交方向に突設して形成されてい
る。そして、そのバルブボディ２内には、出力ポート３
へ連続する平坦な環状の面が弁座面５として形成されて
いる。
【００１８】一方、エアシリンダ１０は、シリンダ１１
内にピストン１２が上下方向に摺動自在に装填され、そ
のピストン１２によってシリンダ１１が上下２室に分割
され、ピストン１２下方の加圧室にはシリンダ１１に形
成された吸排気ポート１３が連通している。また、ピス
トン１２にはロッド１５が同軸上に一体に固定され、同
時に上下動するよう構成されている。円筒形状のシリン
ダ１１にはロッド１５を案内する貫通孔１６が形成さ
れ、その貫通孔１６を貫いてロッド１５がバルブボディ
２内にまで進入している。貫通孔１６内にはブシュがは
め込まれ、ロッド１５がスムーズに摺動するように嵌挿
され、また貫通孔１６内はシールリングによて圧縮エア
が漏れるのを防止するよう構成されている。
内にピストン１２が上下方向に摺動自在に装填され、そ
のピストン１２によってシリンダ１１が上下２室に分割
され、ピストン１２下方の加圧室にはシリンダ１１に形
成された吸排気ポート１３が連通している。また、ピス
トン１２にはロッド１５が同軸上に一体に固定され、同
時に上下動するよう構成されている。円筒形状のシリン
ダ１１にはロッド１５を案内する貫通孔１６が形成さ
れ、その貫通孔１６を貫いてロッド１５がバルブボディ
２内にまで進入している。貫通孔１６内にはブシュがは
め込まれ、ロッド１５がスムーズに摺動するように嵌挿
され、また貫通孔１６内はシールリングによて圧縮エア
が漏れるのを防止するよう構成されている。
【００１９】バルブボディ２内にまで延設されたロッド
１５の先端にはベローズ組立７が固定され、そこには弁
座面５に対して当接・離間するシール用のＯリング６が
保持されている。そして、そのロッド１５に連結された
ベローズ組立７とシリンダ１１との間にはスプリング８
が装填され、ベローズ組立７、ロッド１５及びピストン
１２が常時下方に付勢され、この開閉バルブ１は、Ｏリ
ング６が常時弁座面５に当接するノーマルクローズ型を
なして構成されている。
１５の先端にはベローズ組立７が固定され、そこには弁
座面５に対して当接・離間するシール用のＯリング６が
保持されている。そして、そのロッド１５に連結された
ベローズ組立７とシリンダ１１との間にはスプリング８
が装填され、ベローズ組立７、ロッド１５及びピストン
１２が常時下方に付勢され、この開閉バルブ１は、Ｏリ
ング６が常時弁座面５に当接するノーマルクローズ型を
なして構成されている。
【００２０】また、このロッド２１及びスプリング８を
覆うようにベローズ２０が設けられている。ベローズ２
０は、下端がベローズ組立７に、上端がベローズアダプ
タ２１に接続され、これらが一体のものとして形成され
ている。ベローズアダプタ２１は、上端が広がるように
して段差が形成された円筒状の部材である。更に具体的
には、バルブボディ２内にほぼ隙間無くはまり込むよう
な外径の円筒であって、外周には環状の溝が形成され、
そこに装填されたＯリング２６によってバルブボディ２
との間から流体が漏れないようにシールしている。ま
た、ベローズアダプタ２１は、上端の段差部分がバルブ
ボディ２とシリンダ１１とに挟み込まれるようになって
いる。
覆うようにベローズ２０が設けられている。ベローズ２
０は、下端がベローズ組立７に、上端がベローズアダプ
タ２１に接続され、これらが一体のものとして形成され
ている。ベローズアダプタ２１は、上端が広がるように
して段差が形成された円筒状の部材である。更に具体的
には、バルブボディ２内にほぼ隙間無くはまり込むよう
な外径の円筒であって、外周には環状の溝が形成され、
そこに装填されたＯリング２６によってバルブボディ２
との間から流体が漏れないようにシールしている。ま
た、ベローズアダプタ２１は、上端の段差部分がバルブ
ボディ２とシリンダ１１とに挟み込まれるようになって
いる。
【００２１】開閉バルブ１は、このようなベローズアダ
プタ２１を挟み込み、図示するように組み合わされたバ
ルブボディ２とシリンダ１１とが連結されて一体のもの
となっている。そのロック手段として、本実施の形態で
はカプラー式を採用している。即ち、本実施の形態の開
閉バルブ１は、バルブボディ２とシリンダ１１との接合
位置に、上下２段に鋼球３１，３１…，３２，３２…を
保持するリング２２が配置され、そのリング２２の外周
にはめ込んだリングガイド２３を上下させることによっ
て、両者を固定及び分解するよう構成したものである。
ここで、図３は、ロック手段を構成する部材を示した図
であり、ベローズアダプタ２１、リング２２及びリング
ガイド２３の断面と、バルブボディ２の側面を示してい
る。
プタ２１を挟み込み、図示するように組み合わされたバ
ルブボディ２とシリンダ１１とが連結されて一体のもの
となっている。そのロック手段として、本実施の形態で
はカプラー式を採用している。即ち、本実施の形態の開
閉バルブ１は、バルブボディ２とシリンダ１１との接合
位置に、上下２段に鋼球３１，３１…，３２，３２…を
保持するリング２２が配置され、そのリング２２の外周
にはめ込んだリングガイド２３を上下させることによっ
て、両者を固定及び分解するよう構成したものである。
ここで、図３は、ロック手段を構成する部材を示した図
であり、ベローズアダプタ２１、リング２２及びリング
ガイド２３の断面と、バルブボディ２の側面を示してい
る。
【００２２】先ずバルブボディ２は、上端部外周が図１
に示すようにリング２２をはめ込むことができるように
段部が形成され、そこには８個のロック穴２７，２７…
が形成されている。ロック穴２７，２７…は、バルブボ
ディ２の内側に縮径したテーパ状の有底穴であって、同
一円周上に均等な間隔で形成されている。なお、ロック
穴２７，２７…を、バルブボディ２を貫通した孔とする
ことに何ら問題はない。次に、ベローズアダプタ２１
は、前述したようにバルブボディ２内にはめ込むことが
可能な円筒状のものであって、その上端の段差部分の外
周面には、バルブボディ２上端の面取り部２ａとでテー
パ溝２８（図１参照）を形成するように、上方への傾斜
面をもった段部２１ａが形成されている。
に示すようにリング２２をはめ込むことができるように
段部が形成され、そこには８個のロック穴２７，２７…
が形成されている。ロック穴２７，２７…は、バルブボ
ディ２の内側に縮径したテーパ状の有底穴であって、同
一円周上に均等な間隔で形成されている。なお、ロック
穴２７，２７…を、バルブボディ２を貫通した孔とする
ことに何ら問題はない。次に、ベローズアダプタ２１
は、前述したようにバルブボディ２内にはめ込むことが
可能な円筒状のものであって、その上端の段差部分の外
周面には、バルブボディ２上端の面取り部２ａとでテー
パ溝２８（図１参照）を形成するように、上方への傾斜
面をもった段部２１ａが形成されている。
【００２３】次いで、リング２２は、前述したようにバ
ルブボディ２の段差部分にはめ込むことが可能な円筒部
材であり、上下２段に８個の保持孔３３，３３…，３
４，３４…が形成されている。その保持孔３３，３３…
と保持孔３４，３４…とは、共に同一円周上に均等な間
隔で穿設され、鋼球３１，３１…，３２，３２…（図１
参照）が内側に抜けない程度に縮径したテーパ状の貫通
孔である。そして、このリング２２は、内側に張り出し
たフランジが形成され、図１に示すようにそこに圧入し
た平行ピン２９によってシリンダ１１に対して位置決め
される。更に、リングガイド２３は、そのようなリング
２２にはめ合わすことができる内径寸法の円筒状部材で
あり、その内周面には環状のテーパ溝３０が形成されて
いる。
ルブボディ２の段差部分にはめ込むことが可能な円筒部
材であり、上下２段に８個の保持孔３３，３３…，３
４，３４…が形成されている。その保持孔３３，３３…
と保持孔３４，３４…とは、共に同一円周上に均等な間
隔で穿設され、鋼球３１，３１…，３２，３２…（図１
参照）が内側に抜けない程度に縮径したテーパ状の貫通
孔である。そして、このリング２２は、内側に張り出し
たフランジが形成され、図１に示すようにそこに圧入し
た平行ピン２９によってシリンダ１１に対して位置決め
される。更に、リングガイド２３は、そのようなリング
２２にはめ合わすことができる内径寸法の円筒状部材で
あり、その内周面には環状のテーパ溝３０が形成されて
いる。
【００２４】そして、これらはシリンダ１１などととも
に組み立てられ、図４に示す駆動部ユニット５０が構成
される。駆動部ユニット５０は、リング２２が平行ピン
２９の圧入によってシリンダ１１に固定され、そのシリ
ンダ１１に対して下からはめ合わされたベローズアダプ
タ２１は、リング２２の鋼球３１，３１…に段部２１ａ
（図３参照）が引っかけられ、抜け落ちないように保持
されている。即ち、図４に示す駆動部ユニット５０を取
り外した状態では、リングガイド２３によって押さえ付
けられた鋼球３１，３１…がリング２２の内側から突き
出て、ベローズアダプタ２１の抜けが防止しされてい
る。鋼球３１，３１…，３２，３２…は、リング２２の
保持孔３３，３３…，３４，３４…に外側から入れら
れ、外側にはめ込まれたリングガイド２３によって脱落
しないように保持されている。なお、下方の保持孔３
４，３４…に入れられた鋼球３２，３２…は、図４に示
す状態でもリングガイド２３によって外側への脱落が防
止されている。
に組み立てられ、図４に示す駆動部ユニット５０が構成
される。駆動部ユニット５０は、リング２２が平行ピン
２９の圧入によってシリンダ１１に固定され、そのシリ
ンダ１１に対して下からはめ合わされたベローズアダプ
タ２１は、リング２２の鋼球３１，３１…に段部２１ａ
（図３参照）が引っかけられ、抜け落ちないように保持
されている。即ち、図４に示す駆動部ユニット５０を取
り外した状態では、リングガイド２３によって押さえ付
けられた鋼球３１，３１…がリング２２の内側から突き
出て、ベローズアダプタ２１の抜けが防止しされてい
る。鋼球３１，３１…，３２，３２…は、リング２２の
保持孔３３，３３…，３４，３４…に外側から入れら
れ、外側にはめ込まれたリングガイド２３によって脱落
しないように保持されている。なお、下方の保持孔３
４，３４…に入れられた鋼球３２，３２…は、図４に示
す状態でもリングガイド２３によって外側への脱落が防
止されている。
【００２５】次に、開閉バルブ１の動作及び分解につい
て説明する。開閉バルブ１は、通常ベローズ組立７がス
プリング８によって下方へ付勢され、Ｏリング６が弁座
面５に当接して閉弁状態になっている。そして、吸排気
ポート１３から圧縮エアが供給されると、ピストン１２
が下方から加圧されて上昇し、それによってベローズ組
立７が持ち上げられ、Ｏリング６が弁座面５から離間し
て開弁状態になる。逆に、ピストン１２を上方へ加圧し
ていた圧縮エアをシリンダ１１から排出すれば、再びス
プリング８によってＯリング６が弁座面５に押し当てら
れて閉弁状態になる。こうした弁の開閉によってポート
３，４間を通る流体の流れが制御される。このとき流体
は、ベローズ２０によってシリンダ１１側へ漏れること
はなく、またベローズアダプタ２１に保持されたＯリン
グ２６によって外部に漏れることもない。
て説明する。開閉バルブ１は、通常ベローズ組立７がス
プリング８によって下方へ付勢され、Ｏリング６が弁座
面５に当接して閉弁状態になっている。そして、吸排気
ポート１３から圧縮エアが供給されると、ピストン１２
が下方から加圧されて上昇し、それによってベローズ組
立７が持ち上げられ、Ｏリング６が弁座面５から離間し
て開弁状態になる。逆に、ピストン１２を上方へ加圧し
ていた圧縮エアをシリンダ１１から排出すれば、再びス
プリング８によってＯリング６が弁座面５に押し当てら
れて閉弁状態になる。こうした弁の開閉によってポート
３，４間を通る流体の流れが制御される。このとき流体
は、ベローズ２０によってシリンダ１１側へ漏れること
はなく、またベローズアダプタ２１に保持されたＯリン
グ２６によって外部に漏れることもない。
【００２６】続いて、開閉バルブの分解について説明す
る。本実施の形態の開閉バルブ１では、例えばＯリング
６やベローズ２０が劣化した場合に、これらを交換する
ために分解が必要になる。分解には、バルブボディ２か
ら図４に示す駆動部ユニット５０の取り外しを行う。開
閉バルブ１は、組み立てられた通常の使用状態では図１
に示すように、ベローズアダプタ２１がバルブボディ２
内にはめ込まれ、駆動部ユニッ５０がバルブボディ２と
一体になっている。このとき、リング２２がバルブボデ
ィ２の外周にはめ込まれ、そこに保持された下段の鋼球
３２，３２…がリングガイド２３によって外側から押さ
え付けられてバルブボディ２のロック穴２７，２７…内
に入り込んでいる。そのため、鋼球３２，３２…が、バ
ルブボディ２から駆動部ユニット５０が外れないように
するロックの役目を果たしている。更に、このとき鋼球
３２，３２…を押さえているリングガイド２３が外れな
いように、上方には取り外し可能なカラー３５がリング
２２にはめ込まれ、下方にはストッパリング３６がリン
グ２２に設けられている。
る。本実施の形態の開閉バルブ１では、例えばＯリング
６やベローズ２０が劣化した場合に、これらを交換する
ために分解が必要になる。分解には、バルブボディ２か
ら図４に示す駆動部ユニット５０の取り外しを行う。開
閉バルブ１は、組み立てられた通常の使用状態では図１
に示すように、ベローズアダプタ２１がバルブボディ２
内にはめ込まれ、駆動部ユニッ５０がバルブボディ２と
一体になっている。このとき、リング２２がバルブボデ
ィ２の外周にはめ込まれ、そこに保持された下段の鋼球
３２，３２…がリングガイド２３によって外側から押さ
え付けられてバルブボディ２のロック穴２７，２７…内
に入り込んでいる。そのため、鋼球３２，３２…が、バ
ルブボディ２から駆動部ユニット５０が外れないように
するロックの役目を果たしている。更に、このとき鋼球
３２，３２…を押さえているリングガイド２３が外れな
いように、上方には取り外し可能なカラー３５がリング
２２にはめ込まれ、下方にはストッパリング３６がリン
グ２２に設けられている。
【００２７】次に、開閉バルブ１を分解する場合、即ち
バルブボディ２から駆動部ユニット５０を取り外す場合
には、先ず図１に示す状態からカラー３５を外し、図２
に示すようにリングガイド２３を上方にスライドさせ
る。本実施の形態では、このリングガイド２３のスライ
ドだけで、バルブボディ２から図４に示す駆動部ユニッ
ト５０の分解が可能となる。具体的には、作業者がリン
グガイド２３を上方に引き上げれば、鋼球３１，３１
…，３２，３２…を保持孔３３，３３…，３４，３４…
内で転がせながら、そのリングガイド２３を図２に示す
位置にまで移動させることができる。そのため、鋼球３
２，３２…は、リングガイド２３による押さえから開放
される。そして、作業者が図２に示す状態から更にリン
グガイド２３を引き上げれば、リング２２を引っかけて
駆動部ユニット５０をバルブボディ２から取り外すこと
ができる。
バルブボディ２から駆動部ユニット５０を取り外す場合
には、先ず図１に示す状態からカラー３５を外し、図２
に示すようにリングガイド２３を上方にスライドさせ
る。本実施の形態では、このリングガイド２３のスライ
ドだけで、バルブボディ２から図４に示す駆動部ユニッ
ト５０の分解が可能となる。具体的には、作業者がリン
グガイド２３を上方に引き上げれば、鋼球３１，３１
…，３２，３２…を保持孔３３，３３…，３４，３４…
内で転がせながら、そのリングガイド２３を図２に示す
位置にまで移動させることができる。そのため、鋼球３
２，３２…は、リングガイド２３による押さえから開放
される。そして、作業者が図２に示す状態から更にリン
グガイド２３を引き上げれば、リング２２を引っかけて
駆動部ユニット５０をバルブボディ２から取り外すこと
ができる。
【００２８】一方、この駆動部ユニット５０をバルブボ
ディ２へ組み付ける場合には、バルブボディ２内にベロ
ーズアダプタ２１をはめ込むようにして駆動部ユニット
５０を押し込んでいく。図２に示すようにバルブボディ
２の上端にベローズアダプタ２１が付き当たるまで押し
込んだところで、駆動部ユニット５０を回転させるなど
してロック穴２７，２７…へ鋼球３２，３２…を落とし
て位置決めする。そして、リングガイド２３を図１に示
すように下方へスライドさせて鋼球３２，３２…がロッ
ク穴２７，２７…から抜け出ないように押さえ込み、バ
ルブボディ２と駆動部ユニット５０との組み付けを完了
する。
ディ２へ組み付ける場合には、バルブボディ２内にベロ
ーズアダプタ２１をはめ込むようにして駆動部ユニット
５０を押し込んでいく。図２に示すようにバルブボディ
２の上端にベローズアダプタ２１が付き当たるまで押し
込んだところで、駆動部ユニット５０を回転させるなど
してロック穴２７，２７…へ鋼球３２，３２…を落とし
て位置決めする。そして、リングガイド２３を図１に示
すように下方へスライドさせて鋼球３２，３２…がロッ
ク穴２７，２７…から抜け出ないように押さえ込み、バ
ルブボディ２と駆動部ユニット５０との組み付けを完了
する。
【００２９】このような開閉バルブ１によれば、リング
ガイド２３を引き上げるだけでロックを外し、駆動部ユ
ニット５０をバルブボディ２から取り外すことができる
ようになり、工具を使用することなく開閉バルブ１の分
解を簡単に行うことが可能となった。従って、工具を入
れることが困難な狭い装置内部でも簡単に開閉バルブ１
を分解することができるようになった。また、本実施の
形態の駆動部ユニット５０は、ベローズアダプタ２１を
鋼球３３１，３１…によって保持するだけなので、その
ベローズアダプタ２１と一体のベローズ２０の取り替え
も簡単に行うことができる。
ガイド２３を引き上げるだけでロックを外し、駆動部ユ
ニット５０をバルブボディ２から取り外すことができる
ようになり、工具を使用することなく開閉バルブ１の分
解を簡単に行うことが可能となった。従って、工具を入
れることが困難な狭い装置内部でも簡単に開閉バルブ１
を分解することができるようになった。また、本実施の
形態の駆動部ユニット５０は、ベローズアダプタ２１を
鋼球３３１，３１…によって保持するだけなので、その
ベローズアダプタ２１と一体のベローズ２０の取り替え
も簡単に行うことができる。
【００３０】また、図１に示す組立状態では鋼球３２，
３２…のみが、一方図２に示す分解可能状態では鋼球３
１，３１…のみがリングガイド２３によって内側へ押さ
え付けられるようになっている。そのため、各状態でリ
ングガイド２３による反力が鋼球３１，３１…と鋼球３
２，３２…とで分散せず、図１に示す組立状態では鋼球
３２，３２…によるロックを確実に行うことができ、図
２に示す分解可能状態では鋼球３１，３１…によってベ
ローズアダプタ２１を確実に保持することができる。
３２…のみが、一方図２に示す分解可能状態では鋼球３
１，３１…のみがリングガイド２３によって内側へ押さ
え付けられるようになっている。そのため、各状態でリ
ングガイド２３による反力が鋼球３１，３１…と鋼球３
２，３２…とで分散せず、図１に示す組立状態では鋼球
３２，３２…によるロックを確実に行うことができ、図
２に示す分解可能状態では鋼球３１，３１…によってベ
ローズアダプタ２１を確実に保持することができる。
【００３１】次に、本発明に係る開閉バルブの第２実施
の形態について図面を参照して説明する。図５及び図６
は、本実施の形態の開閉バルブを示した断面図であり、
特に図５はバルブボディとアクチュエータとが固定され
た状態を示し、図６はバルブボディとアクチュエータと
が分解可能な状態を示したものである。本実施の形態の
開閉バルブ５１も、前記第１実施の形態と同様に半導体
製造ラインの排気系に配管される真空排気バルブであ
り、ほぼ同様に構成されたものである。従って、同様の
構成については適宜第１実施の形態のものを参照しなが
ら説明する。開閉バルブ５１は、バルブボディ５２とエ
アシリンダ６０とを一体にしたものでり、入力ポート５
３と出力ポート５４との間の弁座面５５に弁体部を当接
・離間させるようにしたものである。
の形態について図面を参照して説明する。図５及び図６
は、本実施の形態の開閉バルブを示した断面図であり、
特に図５はバルブボディとアクチュエータとが固定され
た状態を示し、図６はバルブボディとアクチュエータと
が分解可能な状態を示したものである。本実施の形態の
開閉バルブ５１も、前記第１実施の形態と同様に半導体
製造ラインの排気系に配管される真空排気バルブであ
り、ほぼ同様に構成されたものである。従って、同様の
構成については適宜第１実施の形態のものを参照しなが
ら説明する。開閉バルブ５１は、バルブボディ５２とエ
アシリンダ６０とを一体にしたものでり、入力ポート５
３と出力ポート５４との間の弁座面５５に弁体部を当接
・離間させるようにしたものである。
【００３２】エアシリンダ６０は、シリンダ６１内にピ
ストン６２が摺動自在に装填され、下方の加圧室にはシ
リンダ６１に形成された吸排気ポート６３が連通してい
る。ピストン６２にはロッド６４が同軸上に一体に固定
され、そのロッド６４が貫通孔６５を貫いてバルブボデ
ィ５２内にまで進入している。ロッド６４の先端にはベ
ローズ組立６６が固定され、そこには弁座面５５に対し
て当接・離間するＯリング６７が保持されている。この
開閉バルブ５１も、ベローズ組立６６とシリンダ６１と
の間にスプリング６８がはめ込まれ、Ｏリング６７が常
時弁座面５５に当接するノーマルクローズ型である。
ストン６２が摺動自在に装填され、下方の加圧室にはシ
リンダ６１に形成された吸排気ポート６３が連通してい
る。ピストン６２にはロッド６４が同軸上に一体に固定
され、そのロッド６４が貫通孔６５を貫いてバルブボデ
ィ５２内にまで進入している。ロッド６４の先端にはベ
ローズ組立６６が固定され、そこには弁座面５５に対し
て当接・離間するＯリング６７が保持されている。この
開閉バルブ５１も、ベローズ組立６６とシリンダ６１と
の間にスプリング６８がはめ込まれ、Ｏリング６７が常
時弁座面５５に当接するノーマルクローズ型である。
【００３３】開閉バルブ５１は、ロッド６４及びスプリ
ング６８を覆ったベローズ７０が設けられ、その下端が
ベローズ組立６６に、上端がベローズアダプタ７１に接
続され、これらが一体のものとして形成されている。ベ
ローズアダプタ７１は、上端のフランジ部に段差が形成
された円筒状の部材であり、特にバルブボディ５２内に
ほぼ隙間無くはまり込むような外径寸法であって、その
外周にはシール用のＯリング７２が装填されている。そ
して、そうしたベローズアダプタ７１は、上端のフラン
ジ部が図示するようにバルブボディ５２とシリンダ６１
とに挟み込まれるようになっている。
ング６８を覆ったベローズ７０が設けられ、その下端が
ベローズ組立６６に、上端がベローズアダプタ７１に接
続され、これらが一体のものとして形成されている。ベ
ローズアダプタ７１は、上端のフランジ部に段差が形成
された円筒状の部材であり、特にバルブボディ５２内に
ほぼ隙間無くはまり込むような外径寸法であって、その
外周にはシール用のＯリング７２が装填されている。そ
して、そうしたベローズアダプタ７１は、上端のフラン
ジ部が図示するようにバルブボディ５２とシリンダ６１
とに挟み込まれるようになっている。
【００３４】開閉バルブ５１は、このようなベローズア
ダプタ７１を挟み込んで図示するように組み合わされた
バルブボディ５２とシリンダ６１とが連結されて一体の
ものとなっている。そのロック手段として、本実施の形
態でもカプラー式を採用している。本実施の形態の開閉
バルブ５１は、バルブボディ５２とシリンダ６１との接
合位置に、上下２段に鋼球８１，８１…，８２，８２…
を保持するリング７３が配置され、そのリング７３の外
周にはめ込んだリングガイド７４を上下させることによ
って、両者を固定及び分解するよう構成したものであ
る。ここで、図７は、バルブボディ５２の上端部とリン
グ７３を示した側面図である。
ダプタ７１を挟み込んで図示するように組み合わされた
バルブボディ５２とシリンダ６１とが連結されて一体の
ものとなっている。そのロック手段として、本実施の形
態でもカプラー式を採用している。本実施の形態の開閉
バルブ５１は、バルブボディ５２とシリンダ６１との接
合位置に、上下２段に鋼球８１，８１…，８２，８２…
を保持するリング７３が配置され、そのリング７３の外
周にはめ込んだリングガイド７４を上下させることによ
って、両者を固定及び分解するよう構成したものであ
る。ここで、図７は、バルブボディ５２の上端部とリン
グ７３を示した側面図である。
【００３５】本実施の形態では、リング７３をはめ込む
バルブボディ５２の段部にテーパを有するロック溝５６
が環状に形成されている。一方、リング７３は、そのバ
ルブボディ５２の段差部分にはめ込むことが可能な円筒
部材であり、上端に雄ネジ８５が形成されている。リン
グ７３は、バルブボディ５２に対して一義的にはめ込む
ことができるように、バルブボディ５２の突起５７に対
するスリット溝８６が切られている。また、リング７３
には、第１実施の形態と同様に上下２段に８個の保持孔
８３，８３…，８４，８４…が同一円周上に均等に形成
され、テーパによって鋼球８１，８１…，８２，８２…
（図６参照）が内側に抜けないようになっている。そし
て、このリング７３はシリンダ６１と一体となるように
嵌合され、バルブボディ５２に対して一緒に取り外しが
できるように構成されている。
バルブボディ５２の段部にテーパを有するロック溝５６
が環状に形成されている。一方、リング７３は、そのバ
ルブボディ５２の段差部分にはめ込むことが可能な円筒
部材であり、上端に雄ネジ８５が形成されている。リン
グ７３は、バルブボディ５２に対して一義的にはめ込む
ことができるように、バルブボディ５２の突起５７に対
するスリット溝８６が切られている。また、リング７３
には、第１実施の形態と同様に上下２段に８個の保持孔
８３，８３…，８４，８４…が同一円周上に均等に形成
され、テーパによって鋼球８１，８１…，８２，８２…
（図６参照）が内側に抜けないようになっている。そし
て、このリング７３はシリンダ６１と一体となるように
嵌合され、バルブボディ５２に対して一緒に取り外しが
できるように構成されている。
【００３６】次に、ベローズアダプタ７１は、前述した
ようにバルブボディ５２内にはめ込むことが可能な円筒
状のものであって、その上端のフランジ部の外周面に
は、図５に示すようにバルブボディ５２上端の面取り部
５２ａ（図７参照）とでテーパ溝７５を形成する段部が
形成されている。ベローズアダプタ７１、リング７３及
びリングガイド７４は、シリンダ６１などと一体に組み
立てられ、図４に示す第１実施の形態の駆動部ユニット
５０と同様の駆動部ユニットが構成されている。
ようにバルブボディ５２内にはめ込むことが可能な円筒
状のものであって、その上端のフランジ部の外周面に
は、図５に示すようにバルブボディ５２上端の面取り部
５２ａ（図７参照）とでテーパ溝７５を形成する段部が
形成されている。ベローズアダプタ７１、リング７３及
びリングガイド７４は、シリンダ６１などと一体に組み
立てられ、図４に示す第１実施の形態の駆動部ユニット
５０と同様の駆動部ユニットが構成されている。
【００３７】駆動部ユニットは、図５に示すようにリン
グ７３がシリンダ６１と一体に嵌合し、そのリング７３
に対して下からはめ合わされたベローズアダプタ７１が
鋼球８１，８１…に引っかけられ、抜け落ちないように
保持されている。即ち、駆動部ユニットを取り外した状
態では、リングガイド７４によって押さえ付けられた鋼
球８１，８１…がリング７３の内側から突き出て（図６
参照）ベローズアダプタ７１の抜けが防止されている。
鋼球８１，８１…，８２，８２…は、リング７３の保持
孔８３，８３…，８４，８４…に外側から入れられ、外
側にはめ込まれたリングガイド７４によって脱落しない
ように保持されている。
グ７３がシリンダ６１と一体に嵌合し、そのリング７３
に対して下からはめ合わされたベローズアダプタ７１が
鋼球８１，８１…に引っかけられ、抜け落ちないように
保持されている。即ち、駆動部ユニットを取り外した状
態では、リングガイド７４によって押さえ付けられた鋼
球８１，８１…がリング７３の内側から突き出て（図６
参照）ベローズアダプタ７１の抜けが防止されている。
鋼球８１，８１…，８２，８２…は、リング７３の保持
孔８３，８３…，８４，８４…に外側から入れられ、外
側にはめ込まれたリングガイド７４によって脱落しない
ように保持されている。
【００３８】次に、開閉バルブ５１の動作及び分解につ
いて説明する。開閉バルブ５１は、通常ベローズ組立６
６がスプリング６８によって下方へ付勢され、Ｏリング
６７が弁座面５５に当接して閉弁状態になっている。そ
して、吸排気ポート６３から圧縮エアが供給されると、
ピストン６２が下方から加圧されて上昇し、それによっ
てベローズ組立６６が持ち上げられ、Ｏリング６７が弁
座面５５から離間して開弁状態になる。逆に、ピストン
６２を上方へ加圧していた圧縮エアをシリンダ６１から
排出すれば、再びスプリング６８によってＯリング６７
が弁座面５５に押し当てられて閉弁状態になる。こうし
た弁の開閉によってポート５３，５４間を通る流体の流
れが制御される。このとき流体は、ベローズ７０によっ
てシリンダ６１側へ漏れることはなく、またベローズア
ダプタ７１に保持されたＯリング７６によって外部に漏
れることもない。
いて説明する。開閉バルブ５１は、通常ベローズ組立６
６がスプリング６８によって下方へ付勢され、Ｏリング
６７が弁座面５５に当接して閉弁状態になっている。そ
して、吸排気ポート６３から圧縮エアが供給されると、
ピストン６２が下方から加圧されて上昇し、それによっ
てベローズ組立６６が持ち上げられ、Ｏリング６７が弁
座面５５から離間して開弁状態になる。逆に、ピストン
６２を上方へ加圧していた圧縮エアをシリンダ６１から
排出すれば、再びスプリング６８によってＯリング６７
が弁座面５５に押し当てられて閉弁状態になる。こうし
た弁の開閉によってポート５３，５４間を通る流体の流
れが制御される。このとき流体は、ベローズ７０によっ
てシリンダ６１側へ漏れることはなく、またベローズア
ダプタ７１に保持されたＯリング７６によって外部に漏
れることもない。
【００３９】続いて、開閉バルブの分解について説明す
る。分解には、バルブボディ５２からエアシリンダ６０
などからなる駆動部ユニットの取り外しを行う。開閉バ
ルブ５１は、組み立てられた通常の使用状態では図５に
示すように、ベローズアダプタ７１がバルブボディ５２
内にはめ込まれている。このとき、リング７３がバルブ
ボディ５２の外周にはめ込まれ、そこに保持された下段
の鋼球８２，８２…がリングガイド７４によって外側か
ら押さえ付けられてバルブボディ５２のロック溝５６内
に入り込んでいる。そのため、鋼球８２，８２…が、バ
ルブボディ５２から駆動部ユニットが外れないようにし
ている。このとき、鋼球８２，８２…を押さえているリ
ングガイド７４が外れてしまわないように、上方にはカ
ラー７６が、下方にはストッパリング７７がリング７３
に設けられている。カラー７６は、内周面に雌ネジが形
成され、リング７３の雄ネジ８５（図７参照）に螺合し
たものである。
る。分解には、バルブボディ５２からエアシリンダ６０
などからなる駆動部ユニットの取り外しを行う。開閉バ
ルブ５１は、組み立てられた通常の使用状態では図５に
示すように、ベローズアダプタ７１がバルブボディ５２
内にはめ込まれている。このとき、リング７３がバルブ
ボディ５２の外周にはめ込まれ、そこに保持された下段
の鋼球８２，８２…がリングガイド７４によって外側か
ら押さえ付けられてバルブボディ５２のロック溝５６内
に入り込んでいる。そのため、鋼球８２，８２…が、バ
ルブボディ５２から駆動部ユニットが外れないようにし
ている。このとき、鋼球８２，８２…を押さえているリ
ングガイド７４が外れてしまわないように、上方にはカ
ラー７６が、下方にはストッパリング７７がリング７３
に設けられている。カラー７６は、内周面に雌ネジが形
成され、リング７３の雄ネジ８５（図７参照）に螺合し
たものである。
【００４０】次に、開閉バルブ５１を分解する場合、即
ちバルブボディ５２からエアシリンダ６０などを取り外
す場合には、先ず図５に示す状態から図６に示すように
カラー７６を回して上昇させ、リングガイド７４を上方
にスライドさせる。このリングガイド７４のスライドだ
けで、バルブボディ５２からエアシリンダ６０等からな
る駆動部ユニットの分解が可能となる。具体的には、作
業者がリングガイド７４を上方に引き上げると、鋼球８
１，８１…，８２，８２…を保持孔８３，８３…，８
４，８４…内で転がせながら、リングガイド７４を図６
に示す位置にまで移動させることができる。そのため、
鋼球８２，８２…は、リングガイド７４の押さえから開
放される。そして、作業者が更にリングガイド７４を引
き上げれば、リング７３を引っかけてエアシリンダ６０
やベローズ７０など（駆動部ユニット）を一体にバルブ
ボディ５２から取り外すことができる。
ちバルブボディ５２からエアシリンダ６０などを取り外
す場合には、先ず図５に示す状態から図６に示すように
カラー７６を回して上昇させ、リングガイド７４を上方
にスライドさせる。このリングガイド７４のスライドだ
けで、バルブボディ５２からエアシリンダ６０等からな
る駆動部ユニットの分解が可能となる。具体的には、作
業者がリングガイド７４を上方に引き上げると、鋼球８
１，８１…，８２，８２…を保持孔８３，８３…，８
４，８４…内で転がせながら、リングガイド７４を図６
に示す位置にまで移動させることができる。そのため、
鋼球８２，８２…は、リングガイド７４の押さえから開
放される。そして、作業者が更にリングガイド７４を引
き上げれば、リング７３を引っかけてエアシリンダ６０
やベローズ７０など（駆動部ユニット）を一体にバルブ
ボディ５２から取り外すことができる。
【００４１】一方、これをバルブボディ５２へ組み付け
る場合には、バルブボディ５２内側にはベローズアダプ
タ７１を、その外側にはリング７３をはめ込む。その
際、リング７３のスリット溝８６をバルブボディ５２の
突起５７の位置に合わせるようにしてはめ込む（図７参
照）。このとき、図６に示すようにバルブボディ５２の
上端にベローズアダプタ７１が付き当たるまで押し込ん
だところで、ロック溝５６へ鋼球８２，８２…が落ち
る。そして、リングガイド７４を図５に示すように下方
へスライドさせれば、鋼球８２，８２…がロック溝５６
から抜け出ないように押さえ付けられ、バルブボディ５
２への組み付けが完了する。
る場合には、バルブボディ５２内側にはベローズアダプ
タ７１を、その外側にはリング７３をはめ込む。その
際、リング７３のスリット溝８６をバルブボディ５２の
突起５７の位置に合わせるようにしてはめ込む（図７参
照）。このとき、図６に示すようにバルブボディ５２の
上端にベローズアダプタ７１が付き当たるまで押し込ん
だところで、ロック溝５６へ鋼球８２，８２…が落ち
る。そして、リングガイド７４を図５に示すように下方
へスライドさせれば、鋼球８２，８２…がロック溝５６
から抜け出ないように押さえ付けられ、バルブボディ５
２への組み付けが完了する。
【００４２】よって、こうした開閉バルブ５１によれ
ば、第１実施形態と同様、リングガイド７４を引き上げ
るだけでロックを外し、駆動部ユニットをバルブボディ
５２から取り外すことができるようになり、工具を使用
することなく開閉バルブ５１の分解を簡単に行うことが
可能となった。従って、工具を入れることが困難な狭い
装置内部でも簡単に開閉バルブ５１を分解することがで
きるようになった。また、本実施の形態の駆動部ユニッ
トは、ベローズアダプタ７１を鋼球８１，８１…によっ
て保持するだけなので、そのベローズアダプタ７１と一
体のベローズ２０の取り替えも簡単に行うことができ
る。
ば、第１実施形態と同様、リングガイド７４を引き上げ
るだけでロックを外し、駆動部ユニットをバルブボディ
５２から取り外すことができるようになり、工具を使用
することなく開閉バルブ５１の分解を簡単に行うことが
可能となった。従って、工具を入れることが困難な狭い
装置内部でも簡単に開閉バルブ５１を分解することがで
きるようになった。また、本実施の形態の駆動部ユニッ
トは、ベローズアダプタ７１を鋼球８１，８１…によっ
て保持するだけなので、そのベローズアダプタ７１と一
体のベローズ２０の取り替えも簡単に行うことができ
る。
【００４３】また、図５に示す組立状態では鋼球８２，
８２…のみが、一方図６に示す分解可能状態では鋼球８
１，８１…のみがリングガイド７４によって内側へ押さ
え付けられるようになっている。そのため、各状態でリ
ングガイド７４による反力が鋼球８１，８１…と鋼球８
２，８２…とで分散せず、図５に示す組立状態では鋼球
８２，８２…によるロックを確実に行うことができ、図
６に示す分解可能状態では鋼球８１，８１…によってベ
ローズアダプタ７１を確実に保持することができる。
８２…のみが、一方図６に示す分解可能状態では鋼球８
１，８１…のみがリングガイド７４によって内側へ押さ
え付けられるようになっている。そのため、各状態でリ
ングガイド７４による反力が鋼球８１，８１…と鋼球８
２，８２…とで分散せず、図５に示す組立状態では鋼球
８２，８２…によるロックを確実に行うことができ、図
６に示す分解可能状態では鋼球８１，８１…によってベ
ローズアダプタ７１を確実に保持することができる。
【００４４】更に、本実施の形態では、スリット溝８６
をバルブボディ５２の突起５７に合わせてはめ込むた
め、駆動部ユニットの組み立て位置が一義的に決まって
いるが、そうしたスリット溝８６を設けない場合でも、
バルブボディ５２のロック溝５６に鋼球８２，８２…を
入れるようにしたので、第１実施の形態のように組み立
て時に隠れてしまうロック穴２７，２７…に入れるため
の調整が必要なく、単にバルブボディ５２にリング７３
をはめ込むだけで、鋼球８２，８２…をロック溝５６に
入れ込むことができる。また、開閉バルブ５１は、組み
立て状態でスリット溝８６に突起５７が入っているた
め、駆動部ユニットの回転を防止した位置決めを行うこ
とができる。
をバルブボディ５２の突起５７に合わせてはめ込むた
め、駆動部ユニットの組み立て位置が一義的に決まって
いるが、そうしたスリット溝８６を設けない場合でも、
バルブボディ５２のロック溝５６に鋼球８２，８２…を
入れるようにしたので、第１実施の形態のように組み立
て時に隠れてしまうロック穴２７，２７…に入れるため
の調整が必要なく、単にバルブボディ５２にリング７３
をはめ込むだけで、鋼球８２，８２…をロック溝５６に
入れ込むことができる。また、開閉バルブ５１は、組み
立て状態でスリット溝８６に突起５７が入っているた
め、駆動部ユニットの回転を防止した位置決めを行うこ
とができる。
【００４５】なお、本発明は、前記実施に形態のものに
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
開閉バルブの一例として真空排気バルブを挙げて説明し
たが、これ以外の構成のものであってもよい。また、第
１実施の形態では、リング２２にも第２実施の形態のリ
ング２２と同様にスリット溝８６を設けるようにしても
よい。こうしてリング７３をバルブボディ２に対して一
義的にはめ込むようにすれば、鋼球３２，３２…を簡単
にロック穴２７に入れることができる。即ち、駆動部ユ
ニット５０をバルブボディ２へ簡単に組み付けることが
できる。
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
開閉バルブの一例として真空排気バルブを挙げて説明し
たが、これ以外の構成のものであってもよい。また、第
１実施の形態では、リング２２にも第２実施の形態のリ
ング２２と同様にスリット溝８６を設けるようにしても
よい。こうしてリング７３をバルブボディ２に対して一
義的にはめ込むようにすれば、鋼球３２，３２…を簡単
にロック穴２７に入れることができる。即ち、駆動部ユ
ニット５０をバルブボディ２へ簡単に組み付けることが
できる。
【００４６】
【発明の効果】本発明は、組み立ての際にバルブボディ
に対して外側から嵌合する筒状の嵌合部材がアクチュエ
ータに設けられ、その嵌合部材及びバルブボディの一方
に設けられた凸状部が他方に設けられた凹状部に入り込
んで、組み立てられたアクチュエータとバルブボディと
をロックするようにしたので、バルブボディとアクチュ
エータとの分解が簡単な開閉バルブを提供することが可
能となった。
に対して外側から嵌合する筒状の嵌合部材がアクチュエ
ータに設けられ、その嵌合部材及びバルブボディの一方
に設けられた凸状部が他方に設けられた凹状部に入り込
んで、組み立てられたアクチュエータとバルブボディと
をロックするようにしたので、バルブボディとアクチュ
エータとの分解が簡単な開閉バルブを提供することが可
能となった。
【図１】本発明に係る開閉バルブの第１実施の形態を示
したバルブボディとアクチュエータとが固定された状態
の断面図である。
したバルブボディとアクチュエータとが固定された状態
の断面図である。
【図２】本発明に係る開閉バルブの第１実施の形態を示
したバルブボディとアクチュエータとが分解可能な状態
の断面図である。
したバルブボディとアクチュエータとが分解可能な状態
の断面図である。
【図３】開閉バルブ５１のロック手段を構成する部材を
示した図である。
示した図である。
【図４】開閉バルブ５１の駆動部ユニットを示した断面
図である。
図である。
【図５】本発明に係る開閉バルブの第２実施の形態を示
したバルブボディとアクチュエータとが固定された状態
の断面図である。
したバルブボディとアクチュエータとが固定された状態
の断面図である。
【図６】本発明に係る開閉バルブの第２実施の形態を示
したバルブボディとアクチュエータとが分解可能な状態
の断面図である。
したバルブボディとアクチュエータとが分解可能な状態
の断面図である。
【図７】バルブボディ５２の一部とリング７３とを示し
た側面図である。
た側面図である。
【図８】従来の開閉バルブを示した一部断面の側面図で
ある。
ある。
【図９】開閉バルブの配管部分を示した断面図である。
【符号の説明】 １ 開閉バルブ ２ バルブボディ １０ エアシリンダ ２２ リング ２３ リングガイド ２７ ロック穴 ８１，８２ 鋼球 ８３，８４ 保持孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｋ 41/10 Ｆ１６Ｋ 41/10
Claims (7)
- 【請求項１】 出力軸による軸方向の往復運動を行うア
クチュエータと、流路を構成するバルブボディとが組み
立て可能なものであって、バルブボディ内に挿入された
アクチュエータの出力軸先端には弁体が設けられ、バル
ブボディ内に形成された弁座に対して弁体が当接・離間
することによって弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、 前記アクチュエータには、組み立ての際にバルブボディ
に対して外側から嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、
その嵌合部材又はバルブボディの一方に設けられた凸状
部が他方に設けられた凹状部に入り込んで、組み立てら
れたアクチュエータとバルブボディとをロックすること
を特徴とする開閉バルブ。 - 【請求項２】 出力軸による軸方向の往復運動を行うア
クチュエータと、流路を構成するバルブボディとが組み
立て可能なものであって、バルブボディ内に挿入された
アクチュエータの出力軸先端には弁体が設けられ、バル
ブボディ内に形成された弁座に対して弁体が当接・離間
することによって弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、 前記アクチュエータは、組み立ての際にバルブボディに
対して外側から嵌合するように設けられた筒状の嵌合部
材に、筒状のガイド部材がスライド可能にはめ合わさ
れ、その嵌合部材に穿設された複数のテーパ孔に装填さ
れた球体が、ガイド部材によって外側から押さえ付けら
れるものであって、ガイド部材によって嵌合部材の内側
へ突き出された球体がバルブボディに形成されたロック
穴に入り込んで、組み立てられたアクチュエータとバル
ブボディとをロックすることを特徴とする開閉バルブ。 - 【請求項３】 出力軸による軸方向の往復運動を行うア
クチュエータと、流路を構成するバルブボディとが組み
立て可能なものであって、ベローズに覆われてバルブボ
ディ内に挿入されたアクチュエータの出力軸の先端には
弁体が設けられ、バルブボディ内に形成された弁座に対
して弁体が当接・離間することによって弁の開閉を行う
開閉バルブにおいて、 前記アクチュエータには、組み立ての際にバルブボディ
に対して外側から嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、
その嵌合部材には上下２段に穿設された複数のテーパ孔
に球体が装填され、その嵌合部材に対してスライド可能
にはめ合わされた筒状のガイド部材が、上下にスライド
することによって上下２段に装填された球体を交互にテ
ーパ孔内に外側から押さえ付けるものであって、ガイド
部材によって嵌合部材の内側へ突き出された下方の球体
は、バルブボディに形成されたロック穴に入り込んで組
み立てられたアクチュエータとバルブボディとをロック
し、ガイド部材によって嵌合部材の内側へ突き出された
上方の球体は、ベローズに接続された筒状のベローズア
ダプタの外周の段部が引っかけられることを特徴とする
開閉バルブ。 - 【請求項４】 出力軸による軸方向の往復運動を行うア
クチュエータと、流路を構成するバルブボディとが組み
立て可能なものであって、バルブボディ内に挿入された
アクチュエータの出力軸先端には弁体が設けられ、バル
ブボディ内に形成された弁座に対して弁体が当接・離間
することによって弁の開閉を行う開閉バルブにおいて、 前記アクチュエータは、組み立ての際にバルブボディに
対して外側から嵌合するように設けられた筒状の嵌合部
材に、筒状のガイド部材がスライド可能にはめ合わさ
れ、その嵌合部材に穿設された複数のテーパ孔に装填さ
れた球体が、ガイド部材によって外側から押さえ付けら
れるものであって、ガイド部材によって嵌合部材の内側
へ突き出された球体がバルブボディに形成された環状の
ロック溝に入り込んで、組み立てられたアクチュエータ
とバルブボディとをロックすることを特徴とする開閉バ
ルブ。 - 【請求項５】 出力軸による軸方向の往復運動を行うア
クチュエータと、流路を構成するバルブボディとが組み
立て可能なものであって、ベローズに覆われてバルブボ
ディ内に挿入されたアクチュエータの出力軸の先端には
弁体が設けられ、バルブボディ内に形成された弁座に対
して弁体が当接・離間することによって弁の開閉を行う
開閉バルブにおいて、 前記アクチュエータには、組み立ての際にバルブボディ
に対して外側から嵌合する筒状の嵌合部材が設けられ、
その嵌合部材には上下２段に穿設された複数のテーパ孔
に球体が装填され、その嵌合部材に対してスライド可能
にはめ合わされた筒状のガイド部材が、上下にスライド
することによって上下２段に装填された球体を交互にテ
ーパ孔内に外側から押さえ付けるものであって、 ガイド部材によって嵌合部材の内側へ突き出された下方
の球体は、バルブボディに形成された環状のロック溝に
入り込みんで組み立てられたアクチュエータとバルブボ
ディとをロックし、ガイド部材によって嵌合部材の内側
へ突き出された上方の球体は、ベローズに接続された筒
状のベローズアダプタの外周の段部が引っかけられるこ
とを特徴とする開閉バルブ。 - 【請求項６】 請求項２乃至請求項５のいずれかに記載
の開閉バルブにおいて、 前記嵌合部材は、嵌合方向に形成されたスリット溝を備
え、バルブボディに突設された突起を当該スリット溝に
入れてバルブボディへ嵌合させるものであることを特徴
とする開閉バルブ。 - 【請求項７】 請求項２乃至請求項６のいずれかに記載
の開閉バルブにおいて、 前記嵌合部材に螺合され、球体をテーパ孔内に押さえ付
けたガイド部材の抜け止め防止のためのカラーを有する
ことを特徴とする開閉バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000117725A JP4126143B2 (ja) | 1999-10-13 | 2000-04-19 | 開閉バルブ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29118399 | 1999-10-13 | ||
| JP11-291183 | 1999-10-13 | ||
| JP2000117725A JP4126143B2 (ja) | 1999-10-13 | 2000-04-19 | 開閉バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001182843A true JP2001182843A (ja) | 2001-07-06 |
| JP4126143B2 JP4126143B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=26558435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000117725A Expired - Fee Related JP4126143B2 (ja) | 1999-10-13 | 2000-04-19 | 開閉バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4126143B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100458183C (zh) * | 2005-06-15 | 2009-02-04 | Smc株式会社 | 先导式二通换向阀 |
| JP2019513948A (ja) * | 2016-04-11 | 2019-05-30 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 能動的に冷却される真空隔離弁 |
| KR200491125Y1 (ko) * | 2018-12-11 | 2020-02-24 | 주식회사 동양에프앤씨 | 공압 제어 글로브 밸브 |
-
2000
- 2000-04-19 JP JP2000117725A patent/JP4126143B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100458183C (zh) * | 2005-06-15 | 2009-02-04 | Smc株式会社 | 先导式二通换向阀 |
| JP2019513948A (ja) * | 2016-04-11 | 2019-05-30 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 能動的に冷却される真空隔離弁 |
| US11054058B2 (en) | 2016-04-11 | 2021-07-06 | Mks Instruments, Inc. | Actively cooled vacuum isolation valve |
| KR200491125Y1 (ko) * | 2018-12-11 | 2020-02-24 | 주식회사 동양에프앤씨 | 공압 제어 글로브 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4126143B2 (ja) | 2008-07-30 |
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