JP7377904B2 - ダイヤフラムポンプ - Google Patents

Description

本発明は、対象液を吸引して吐出するためのダイヤフラムポンプに関する。

上記ダイヤフラムポンプは、送液室（ポンプ室）と作動室（作動油室）とを仕切るダイヤフラムを、作動室に接続された液体シリンダのシリンダ本体内で摺動する加圧プランジャーにより操作し、加圧プランジャーの復動により、送液室側が減圧されることによりダイヤフラムが復動側である作動室側へ変形する。これにより、搬送する対象液が吸引口を通して送液室へ吸引される。この対象液の吸引後、前記とは反対に加圧プランジャーの往動により、作動室側が加圧されることによりダイヤフラムが往動側である送液室側へ変形する。これにより、吸引された対象液が送液室から吐出口を通して排出される（例えば特許文献１参照）。

ところで、ダイヤフラムが、製品不良や経年劣化等により破損してしまうことがある。ダイヤフラムが破損してしまうと、対象液に作動室の作動油がコンタミしてしまい、対象液が汚染されてしまうという不都合があった。

また、加圧プランジャーの復動により作動室が負圧になったときに、作動室の作動油に溶け込んでいる空気が膨張して気泡となることがある。そうなると、加圧プランジャーが往復動しても、作動室の気泡が膨張、収縮するだけで、作動油の圧力がダイヤフラムに十分に伝わらず、対象液の送液性能が低下するという不都合があった。

特開２００２－７０７４７号公報（図１参照）

本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、ダイヤフラムの破損により対象液が汚染されるというリスク回避ができ、しかも送液性能を確保することができるダイヤフラムポンプを提供する。

本発明のダイヤフラムポンプは、前述の課題解決のために、対象液を吸引して吐出することで送液するポンプ部と、該ポンプ部を送液駆動させる駆動部と、を備え、前記ポンプ部は、前記対象液を吸引する吸引部と吸引した対象液を吐出する吐出部とを備える送液室と、作動液が充填される作動室と、前記送液室と前記作動室との間に位置し、中間液が充填される中間室と、前記送液室と前記中間室との間を封止する接液ダイヤフラムと、前記中間室と前記作動室との間を封止する作動ダイヤフラムと、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムを各室が容積変化するように往復動させる作動機構と、を備え、該作動機構は、前記作動ダイヤフラムに接続されて前記駆動部の駆動により往復動する作動部と、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムとを連結する連結部と、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方を往復動の方向における吸引側へ付勢する付勢部と、を備えていることを特徴としている。

かかる構成によれば、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムとが連結部で連結され、接液ダイヤフラム及び作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方を往復動の方向における吸引側へ付勢部で付勢することによって、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムとを各室が容積変化するように往復動させることができる。また、付勢部の付勢力により作動室と中間室を加圧するので、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムの復動時にも、作動室及び中間室が負圧になることを抑制することができる。よって、作動室の作動油に溶け込んでいる空気が膨張して気泡になることを防止して、送液性能を確保することができる。また、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムの２枚のダイヤフラムを備えているので、接液ダイヤフラムが破損して中間室の中間液が送液室へ流れたとしても、中間液を送液室に流れても問題にならない液にしておけば、送液室での汚染の問題は発生しない。また、作動ダイヤフラムが破損すると、作動油が中間室へ流れるだけで、送液室への作動油の移動を接液ダイヤフラムで阻止することができる。

また、本発明のダイヤフラムポンプは、前記連結部が、前記中間室に配置され、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムの中央部同士を連結するように構成されていてもよい。

上記のように、連結部で、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムの中央部同士を連結することによって、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムの変形を中央部から径方向外側にかけてスムーズに行うことができる。

また、本発明のダイヤフラムポンプは、前記付勢部が、前記送液室の圧力＜前記中間室の圧力＜前記作動室の圧力の関係となるように付勢してもよい。

上記のように、付勢部を、前記送液室の圧力＜前記中間室の圧力＜前記作動室の圧力の関係となるように付勢しておけば、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムの往復動をスムーズに行うことができる。

また、本発明のダイヤフラムポンプは、前記送液室の圧力、前記中間室の圧力、前記作動室の圧力のうちの少なくとも該中間室の圧力に基づいて、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方の破損を検知する破損検知手段を備えていてもよい。

接液ダイヤフラム及び作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方が破損することによって、中間室の圧力が変動する。この圧力の変動に基づいて接液ダイヤフラム及び作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方が破損したことを検知することができる。

また、本発明のダイヤフラムポンプは、前記破損検知手段が、前記中間室の圧力と前記送液室の圧力又は前記作動室の圧力との圧力関係に基づいて前記作動ダイヤフラムの破損を検知してもよい。

作動ダイヤフラムが破損すると、中間室の圧力が変動するので、中間室の圧力と送液室の圧力との圧力関係、又は中間室の圧力と作動室の圧力との圧力関係に基づいて、作動ダイヤフラムの破損を検知することができる。

また、本発明のダイヤフラムポンプは、前記破損検知手段が、前記中間室の圧力と前記送液室の圧力又は前記作動室の圧力との圧力関係に基づいて前記接液ダイヤフラムの破損を検知してもよい。

接液ダイヤフラムが破損すると、中間室の圧力が変動するので、中間室の圧力と送液室の圧力との関係、又は中間室の圧力と作動室の圧力との圧力関係に基づいて、接液ダイヤフラムの破損を検知することができる。

本発明によれば、接液ダイヤフラムと作動ダイヤフラムとを連結し、少なくとも一方のダイヤフラムを吸引側へ付勢することによって、ダイヤフラムの破損により対象液が汚染されるというリスク回避ができ、しかも送液性能を確保することができるダイヤフラムポンプを提供することができる。

ダイヤフラムポンプの正面図である。 ダイヤフラムポンプの縦断正面図である。 ダイヤフラムポンプの一部省略した縦断側面図である。 ダイヤフラムポンプの駆動部の縦断正面図である。 ダイヤフラムポンプの駆動部の横断平面図である。 ダイヤフラムポンプの要部の縦断面図である。 接液ダイヤフラム及び作動ダイヤフラムの動作を示す拡大図である。 正常時の３つの室の時間に対する圧力を示すグラフである。 作動ダイヤフラムが破損した場合の３つの室の時間に対する圧力を示すグラフである。 接液ダイヤフラムが破損した場合の３つの室の時間に対する圧力を示すグラフである。 接液ダイヤフラム又は作動ダイヤフラムの破損を検知するためのブロック図である。

以下、油圧式のダイヤフラムポンプを、図面に基づいて説明する。

図１に、ダイヤフラムポンプの正面図、図２に、ダイヤフラムポンプの縦断正面図を示し、図３に、ダイヤフラムポンプの一部省略した縦断側面図を示している。ダイヤフラムポンプは、対象液を吸引して吐出することで送液する２つのポンプ部１，１と、ポンプ部１，１を送液駆動させる駆動部２（図４参照）と、を備えている。尚、この実施形態では、脈動防止のために２つのポンプ部１，１を設けているが、１つのポンプ部１のみを設けて実施してもよい。

図２及び図３に示すように、一方（左側）のポンプ部１は、対象液を吸引する吸引部３と、吸引した対象液を吐出する吐出部４とを備える送液室５と、作動液が充填される作動室６と、送液室５と作動室６との間に位置し、中間液が充填される中間室７と、送液室５と中間室７との間を封止する外形が円形状の接液ダイヤフラム８と、中間室７と作動室６との間を封止する外形が円形状の作動ダイヤフラム９と、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９を各室が容積変化するように往復動させる作動機構１０と、を備えている。尚、他方（右側）のポンプ部１は、対象液を吐出するタイミングが異なるだけで一方（左側）のポンプ部１と同一構成であるため、一方（左側）のポンプ部１についてのみ説明する。

送液室５は、接液ダイヤフラム８の往復動により対象液を吸引して吐出するための部屋である。作動室６は、中間室７に対して作動ダイヤフラム９で隔絶され、かつ、作動ダイヤフラム９を往動側となる中間室７側へ変形させるための作動液（作動油）が供給される部屋である。中間室７は、中間液が充填され、送液室５に対して接液ダイヤフラム８で隔絶され、かつ、作動室６に対して作動ダイヤフラム９で隔絶され、作動ダイヤフラム９が損傷して作動液が中間室７へ移動しても、接液ダイヤフラム８で送液室５への作動液が移動することを防止するための部屋である。中間液は、搬送する対象液と同一の液であってもよいし、接液ダイヤフラム８が損傷して中間液が送液室５へ移動しても送液室５が汚染されることがない液で構成されることが好ましい。

作動機構１０は、作動ダイヤフラム９に接続されて駆動部２（図４参照）の駆動により往復動する作動部である棒状のロッド１１と、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９とを連結する連結部１２と、作動ダイヤフラム９を往復動の方向における吸引側（復動側）へ付勢する付勢部としての引張コイルスプリング１３と、を備えている。尚、付勢部としては、引張コイルスプリング１３の他、板バネや弾性体等であってもよい。

連結部１２は、中間室７内に配置され、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９の中央部同士を連結する。具体的には、連結部１２は、両端部にそれぞれネジ孔が形成されたナット部材から構成されている。したがって、図６に示すように、ナット部材１２の一端部のネジ孔１２Ａに接液ダイヤフラム８の中央部に作動室６側へ突出するように設けられた第１ネジ１４に螺合させ、ナット部材１２の他端部のネジ孔１２Ｂに作動ダイヤフラム９の中央部に送液室５側へ突出するように設けられた第２ネジ１５に螺合させることによって、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９の中央部同士を連結している。また、作動ダイヤフラム９の中央部に作動室６側へ突出する第３ネジ１６が設けられており、この第３ねじ１６が、ロッド１１の先端部１１Ａに形成されたネジ孔１１ａに螺合されている。よって、ロッド１１が軸方向の一方（送液室５側）へ移動することにより、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９とを送液室５側へ移動（往動）させる。これに対して、ロッド１１が軸方向の他方（作動室６側）へ移動することにより、接液ダイヤフラム８と作動ダイヤフラム９とを作動室６側へ移動（復動）させる。

作動室６内には、ロッド１１に取り付けられた安全弁１７を収容するための作動液制限室１８が形成されている。作動液制限室１８には、安全弁１７に対応するように弁座１９が形成されている。

また、作動室６及び作動液制限室１８内の作動液（作動油）に混入したガス（例えば空気）を適切に排出するためのガス排出機構２０が設けられている。

また、図３に示すように、送液室５の下方には、送液を案内するための吸引管部３１と、吸引管部３１から分岐した２つの吸引経路３２，３３の吸引側端部に一対の吸引側逆止弁３４，３５と、を有する前記吸引部３を備えている。送液室５の上方には、吸引したそれぞれの送液を排出するための一対の排出側逆止弁４１，４２と、一対の吐出側逆止弁４１，４２から排出された送液を合流して吐出させるための吐出管部４３と、を有する前記吐出部４を備えている。図示していないが、吸引管部３１には、送液を供給するための供給管が接続され、吐出管部４３には、吐出される送液を受け取って所定位置まで搬送するための搬送管が接続される。

駆動部２は、図４及び図５に示すように、作動室６，６へ供給するための作動液を貯留する貯留部であるタンク２１と、接液ダイヤフラム８，８及び作動ダイヤフラム９，９を往復動させるために適切なタイミングでタンク２１内の作動液を作動室６，６へ供給する駆動力供給部２２と、この駆動力供給部２２を構成する偏心カム２３を駆動させる電動モータ２４と、この電動モータ２４からの回転力を駆動力伝達軸２５に伝えるためのギヤ部２６と、を備えている。

駆動力供給部２２は、前述した電動モータ２４からの回転力が伝達される前記駆動力伝達軸２５と、この駆動力伝達軸２５に取り付けられた前記偏心カム２３と、この偏心カム２３の動きに応じて往復動する一対のピストン部２７，２８と、一方の第１ピストン部２７内のベアリング２９の内輪で支持される第１回動軸３６と、他方の第２ピストン部２８内のベアリング３０の内輪で支持される第２回動軸３７と、第２ピストン部２８内にて第１ピストン部２７と第２ピストン部２８とを適切に付勢して、各ピストン部２７，２８内に設けられている各回動軸３６，３７を偏心カム２３に接触させるべく機能する付勢手段としてのコイルスプリング（図示せず）と、これらの各要素を内包している前記タンク２１であるケーシング部と、を備えている。

そして、駆動力供給部２２においては、ケーシング部２１の内壁とピストン部２７，２８との間に発生する密閉空間に、作動液が充填されている。そして、ピストン部２７，２８の往復動によって、タンク２１内の作動液（作動油）を作動室６，６（図２参照）へ供給する供給状態とタンク２１側へ戻す戻し状態とを現出することができる。

また、図４及び図５に示すように、ケーシング部２１の左右両端には、蓋体３８，３９が設けられている。これら蓋体３８，３９には、作動室６，６へ供給するための配管部４０，４１が接続されている。そして、タンク（ケーシング部）２１内の作動液が、各ピストン部２７，２８の端部から、配管部４０，４１を介して、各作動ダイヤフラム９，９（図２参照）に至るまでの間に形成される空間内に充填されている。

従って、各ピストン部２７，２８の動きに応じてタンク２１内の作動流体を加圧する、又は減圧することによって、各配管部４０，４１を介して作動液が流通する。この作動液によって、作動ダイヤフラム９，９が往復動するとともに作動ダイヤフラム９，９に連結部１２により連結された接液ダイヤフラム８，８が同じように往復動する。

次に、前述のように構成されたダイヤフラムポンプを用いて、対象液を定量ずつ吸引して搬送する動作について説明する。

まず、電動モータ２４を駆動し、その駆動力が駆動力伝達軸２５に伝達される。この伝達された駆動力により、偏心カム２３を回転させる。この偏心カム２３の回転により、第１及び第２ピストン部２７，２８を往復動させる。

第１及び第２ピストン部２７，２８の往復動により、所定方向に移動させる所定の圧力が作動液に作用する。一方のピストン部２７が往動側へ移動すると、タンク２１から一方の作動ダイヤフラム９の作動室６への経路が加圧され、他方のピストン部２８は復動側へ移動して、タンク２１から他方の作動ダイヤフラム９の作動室６への経路が減圧される。これにより、一方の作動ダイヤフラム９の作動室６に、タンク２１からの作動液（作動油）が供給される一方、他方の作動ダイヤフラム９の作動室６内の作動液（作動油）がタンク２１内に戻されることになる。また、一方のピストン部２７が復動側へ移動して前記経路が減圧されると、一方の作動ダイヤフラム９の作動室６内の作動液（作動油）がタンク２１側へ戻される。これにより、一方の作動ダイヤフラム９が、図７の２点鎖線で示す位置から図７の実線で示すように作動室６側へ付勢部１３の付勢力により変形する。これにより、作動ダイヤフラム９と連結されている接液ダイヤフラム８が作動室６側へ同じように変形し（図７の２点鎖線で示す位置から図７の実線で示す位置まで変形し）、吸引側逆止弁３４，３５を開放させ（吐出側逆止弁４１，４２は閉じた状態で）、対象液を接液ダイヤフラム８が変形した分の所定量だけ送液室５へ吸引する（取り込む）。

続いて、一方のピストン部２７が復動側から往動側へ移動して前記経路が加圧されると、一方の作動ダイヤフラム９が、図７の実線で示す位置から２点鎖線で示す位置に位置するように、作動室６側から送液室５側へ付勢部１３の付勢力に抗して変形する。これにより、作動ダイヤフラム９と連結されている接液ダイヤフラム８が送液室５側へ同じように変形し（図７の実線で示す位置から２点鎖線で示す位置まで変形し）、吐出側逆止弁４１，４２を開放させ（吸引側逆止弁３４，３５は閉じた状態で）、対象液を吐出して所定の場所まで搬送する。

付勢部１３は、送液室５内の圧力＜中間室７内の圧力＜作動室６内の圧力の関係となるように付勢する。これは、付勢部１３の付勢力が中間室７及び作動室６に加わることによって、中間室７及び作動室６が加圧されて、送液室５の圧力よりも中間室７及び作動室６の圧力が高くなる。また、作動室６に作動ダイヤフラム９の張力が加わるため、中間室７内の圧力よりも作動室６内の圧力が高くなる。これら圧力の関係を図８に横軸の時間に対して縦軸に３つの室、作動室６の圧力を点線４４で、中間室７の圧力を実線４５で、送液室５の圧力を２点鎖線４６でそれぞれ示している。図８では、作動室６に作動ダイヤフラム９の張力が加わることで、作動室６の最大値付近の圧力が、中間室７の最大値付近の圧力よりも少し高くなっている。具体的には、送液室５内の圧力、中間室７内の圧力、作動室６内の圧力のうちの少なくとも１つの圧力、具体的には、図１１に示すように、送液室５の圧力を検出する第１圧力センサ４７、中間室７の圧力を検知する第２圧力センサ４８、作動室６の圧力を検知する第３圧力センサ４９と、これら圧力センサ４７，４８，４９のうちの少なくとも第２圧力センサ４８から検出された中間室７の圧力に基づいて、接液ダイヤフラム８及び作動ダイヤフラム９のうちの少なくとも一方の破損を検知する破損検知手段５０と、を備えている。破損検知手段５０は、図示していない制御部に備えている。

図９のグラフには、作動ダイヤフラム９が破損した場合の３つの室、作動室６の圧力を点線４４で、中間室７の圧力を実線４５で、送液室５の圧力を２点鎖線４６でそれぞれ示している。グラフでは、作動ダイヤフラム９が破損すると、中間室７と作動室６とが仕切の無い連通した状態となるため、作動室６の最大値付近の高い圧力とこれに対応する中間室７の最大値付近の低い圧力との差が小さくなり、ほぼ同一の圧力になっていることが分かる。したがって、第２圧力センサ４８から検出される圧力値と第３圧力センサ４９から検出される圧力値とを比較し、それらの差（作動室６の最大値付近の圧力値と中間室７の最大値付近の圧力値の差）が予め設定された設定値（作動ダイヤフラム９が破損していない正常時の作動室６の最大値付近の圧力値と中間室７の最大値付近の圧力値の差よりも小さい値に設定される第２の閾値）以下になると、破損検知手段５０はダイヤフラム９の破損を検知する。要するに、破損検知手段５０は、中間室７内の圧力と作動室６の圧力との圧力関係に基づいて作動ダイヤフラム９の破損を検知している。

これとは別の検知として、中間室７内の圧力と送液室５内の圧力とを比較し、それらの差（実際には、中間室７の最大値付近の圧力値とこれに対応する時間の送液室５の圧力値の差）が予め設定された設定値（作動ダイヤフラム９が破損していない正常時の中間室７の最大値付近の圧力値とそれに対応する時間の送液室５の圧力値の差よりも小さい値に設定される第１の閾値）以上になると、作動ダイヤフラム９が破損したことを破損検知手段５０が検知してもよい。尚、第１閾値と第２閾値とを同一の大きさに設定しておけば、どちらの場合で検知した場合でも、検知タイミングを一致させることができるが、異なるように設定してもよい。要するに、破損検知手段５０は、中間室７内の圧力と送液室５内の圧力との圧力関係に基づいて作動ダイヤフラム９の破損を検知している。

図１０のグラフには、接液ダイヤフラム８が破損した場合の３つの室、作動室６の圧力を点線４４で、中間室７の圧力を実線４５で、送液室５の圧力を２点鎖線４６でそれぞれ示している。グラフでは、接液ダイヤフラム８が破損すると、中間室７と送液室５とが仕切の無い連通した状態となるため、中間室７と送液室５との圧力差が小さくなり、ほぼ同一の圧力になっていることが分かる。したがって、中間室７内の圧力と送液室５内の圧力とを比較し、第１圧力センサ４７から検出される圧力値と第２圧力センサ４８から検出される圧力値とを比較し、その差が予め設定された設定値（接液ダイヤフラム８が破損していない正常時の中間室７の圧力値と送液室５の圧力値の差よりも小さい値に設定される第３の閾値）以下になると、破損検知手段５０は接液ダイヤフラム８が破損したことを検知する。要するに、破損検知手段５０は、中間室７内の圧力と送液室５内の圧力との圧力関係に基づいて接液ダイヤフラム８の破損を検知している。

これとは別の検知として、中間室７内の圧力と作動室６内の圧力とを比較し、第２圧力センサ４８から検出される圧力値と第３圧力センサ４９から検出される圧力値とを比較し、その差が予め設定された設定値（接液ダイヤフラム８が破損していない正常時の中間室７の最大値付近の圧力値と作動室６の最大値付近の圧力値の差よりも小さい値に設定される第４の閾値）以上になると、破損検知手段５０は接液ダイヤフラム８が破損したことを検知してもよい。要するに、破損検知手段５０は、中間室７内の圧力と作動室６内の圧力との圧力関係に基づいて接液ダイヤフラム８の破損を検知している。尚、第３閾値と第４閾値とを同一の大きさに設定しておけば、どちらの場合で検知した場合でも、検知タイミングを一致させることができるが、異なるように設定してもよい。

また、第２圧力センサ４８のみから検出される中間室７の圧力値の変動を検出することにより、接液ダイヤフラム８又は作動ダイヤフラム９が破損したことを検知してもよい。つまり、接液ダイヤフラム８が破損すると、中間室７の圧力値が下がるので、中間室７の圧力が設定した設定圧力値以上下がったことを第２圧力センサ４８から検出される圧力値に基づいて接液ダイヤフラム８が破損したことを破損検知手段５０が検知してもよい。また、作動ダイヤフラム９が破損すると、中間室７の最大値付近の圧力値が上がるので、中間室７の圧力が設定した設定圧力値以上上がったことを第２圧力センサ４８から検出される圧力値に基づいて作動ダイヤフラム９が破損したことを破損検知手段５０が検知してもよい。

前記接液ダイヤフラム８又は作動ダイヤフラム９が破損したことを破損検知手段５０が検出すると、ブザーやランプあるいは音声装置等の警報装置を作動させる、又は電光掲示板やモニター等の表示手段により接液ダイヤフラム８又は作動ダイヤフラム９が破損したことを表示して、破損したことを作業者等に報知するように構成してもよい。また、前記報知すると同時に、ダイヤフラムポンプの作動を停止する強制停止手段を設けることが好ましい。

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

前記実施形態では、作動ダイヤフラム９を吸引側へ付勢する付勢部１３を設けたが、接液ダイヤフラム８を吸引側へ付勢する付勢部を設けてもよいし、接液ダイヤフラム８及び作動ダイヤフラム９の両方を吸引側へ付勢する付勢部を設けてもよい。

１…ポンプ部、２…駆動部、３…吸引部、４…吐出部、５…送液室、６…作動室、７…中間室、８…接液ダイヤフラム、９…作動ダイヤフラム、１０…作動機構、１１…ロッド（作動部）、１１Ａ…先端部、１１ａ…ネジ孔、１２…連結部（ナット部材）、１２Ａ，１２Ｂ…ネジ孔、１３…引張コイルスプリング（付勢部）、１４…第１ネジ、１５…第２ネジ、１６…第３ネジ、１７…安全弁、１８…作動液制限室、１９…弁座、２０…ガス排出機構、２１…タンク（ケーシング部）、２２…駆動力供給部、２３…偏心カム、２４…電動モータ、２５…駆動力伝達軸、２６…ギヤ部、２７，２８…ピストン部、２９，３０…ベアリング、３１…吸引管部、３２，３３…吸引経路、３４，３５…吸引側逆止弁、３６，３７…回動軸、３８，３９…蓋体、４０，４１…配管部、４１，４２…排出側逆止弁、４１，４２…吐出側逆止弁、４３…吐出管部、４４…点線、４５…実線、４６…２点鎖線、４７，４８，４９…圧力センサ、５０…破損検知手段

Claims (4)

1. 対象液を吸引して吐出することで送液するポンプ部と、該ポンプ部を送液駆動させる駆動部と、を備え、
   前記ポンプ部は、前記対象液を吸引する吸引部と吸引した対象液を吐出する吐出部とを備える送液室と、
   作動液が充填される作動室と、
   前記送液室と前記作動室との間に位置し、中間液が充填される中間室と、
   前記送液室と前記中間室との間を封止する接液ダイヤフラムと、
   前記中間室と前記作動室との間を封止する作動ダイヤフラムと、
   前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムを各室が容積変化するように往復動させる作動機構と、を備え、
   該作動機構は、前記作動ダイヤフラムに接続されて前記駆動部の駆動により往復動する作動部と、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムとを連結する連結部と、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方を往復動の方向における吸引側へ付勢する付勢部と、を備え、
   前記送液室の圧力、前記中間室の圧力、前記作動室の圧力のうちの少なくとも該中間室の圧力に基づいて、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方の破損を検知する破損検知手段を備え、
   前記破損検知手段は、前記中間室の圧力と前記送液室の圧力又は前記作動室の圧力との圧力関係に基づいて前記作動ダイヤフラムの破損を検知することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
2. 対象液を吸引して吐出することで送液するポンプ部と、該ポンプ部を送液駆動させる駆動部と、を備え、
   前記ポンプ部は、前記対象液を吸引する吸引部と吸引した対象液を吐出する吐出部とを備える送液室と、
   作動液が充填される作動室と、
   前記送液室と前記作動室との間に位置し、中間液が充填される中間室と、
   前記送液室と前記中間室との間を封止する接液ダイヤフラムと、
   前記中間室と前記作動室との間を封止する作動ダイヤフラムと、
   前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムを各室が容積変化するように往復動させる作動機構と、を備え、
   該作動機構は、前記作動ダイヤフラムに接続されて前記駆動部の駆動により往復動する作動部と、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムとを連結する連結部と、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方を往復動の方向における吸引側へ付勢する付勢部と、を備え、
   前記送液室の圧力、前記中間室の圧力、前記作動室の圧力のうちの少なくとも該中間室の圧力に基づいて、前記接液ダイヤフラム及び前記作動ダイヤフラムのうちの少なくとも一方の破損を検知する破損検知手段を備え、
   前記破損検知手段は、前記中間室の圧力と前記送液室の圧力又は前記作動室の圧力との圧力関係に基づいて前記接液ダイヤフラムの破損を検知することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
3. 前記連結部は、前記中間室に配置され、前記接液ダイヤフラムと前記作動ダイヤフラムの中央部同士を連結するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイヤフラムポンプ。
4. 前記付勢部は、前記送液室の圧力＜前記中間室の圧力＜前記作動室の圧力の関係となるように付勢することを特徴とする請求項１～３のうちのいずれか１項に記載のダイヤフラムポンプ。