KR100948629B1 - 개선된 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 약액 펌핑 장치에 있어서,내부 공간이 형성되며, 하우징 베이스 부재를 구비하는 하우징;상기 하우징의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구;상기 하우징의 상부에 제공되며, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구;상기 하우징의 내부에 제공되며, 상기 내부 공간 사이에서 이동가능한 피스톤; 및상기 피스톤과 일체로 형성되는 벨로우즈 및 벨로우즈 베이스 부재를 포함하고,상기 하우징 베이스 부재와 상기 벨로우즈 베이스 부재는 상기 내부 공간을 기밀 상태로 유지하도록 체결되며,상기 일체로 형성되는 상기 피스톤, 상기 벨로우즈 및 상기 벨로우즈 베이스 부재는 수지 재질로 이루어지는약액 펌핑 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는약액 펌핑 장치.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 수지 재질은 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나인 약액 펌핑 장치.
- 제 1항, 제 2항 및 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재로 구성되고,상기 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재는 클램프에 의해 기밀 상태로 결합되며,상기 약액 공급 유입구는 상기 제 2 하우징 부재의 하부 일측에 제공되고,상기 약액 토출구는 상기 제 1 하우징 부재의 상부에 제공되는약액 펌핑 장치.
- 제 1항, 제 2항 및 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 약액 펌핑 장치는 상기 하우징의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 펌핑 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 약액 펌핑 장치는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 펌핑 장치.
- 약액 공급 장치에 있어서,내부 공간이 형성되며, 하우징 베이스 부재를 구비하는 하우징; 상기 하우징의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 상기 하우징의 상부에 제공되며, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 하우징의 내부에 제공되며, 상기 내부 공간 사이에서 이동가능한 피스톤; 및 상기 피스톤과 일체로 형성되는 벨로우즈 및 벨로우즈 베이스 부재를 포함하는 약액 펌핑 장치; 및상기 약액 펌핑 장치에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하는 구동부재를 포함하고,상기 약액은 상기 구동부재에 의해 상기 피스톤 및 상기 벨로우즈가 축방향을 따라 왕복 이동함으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되며,상기 일체로 형성되는 상기 피스톤, 상기 벨로우즈 및 상기 벨로우즈 베이스 부재는 수지 재질로 이루어지는약액 공급 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는약액 공급 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 구동부재는프레임;상기 프레임 내에서 이동 가능한 피스톤 로드; 및상기 프레임에 착탈 가능하게 고정 장착되며, 상기 피스톤 로드를 구동시키는 구동 모터로 구성되고,상기 하우징 베이스 부재와 상기 벨로우즈 베이스 부재는 상기 내부 공간을 기밀 상태로 유지하도록 복수의 제 1 체결 부재에 의해 상기 프레임의 상부에 체결되고,상기 피스톤 로드는 상부에 제공되는 제 2 체결부재에 의해 상기 피스톤의 하부에 형성된 체결부에 체결됨으로써 상기 피스톤과 고정 결합되는약액 공급 장치.
- 제 10항에 있어서,상기 구동부재는상기 프레임의 일측에 제공되는 선형 이동 부재를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
- 제 11항에 있어서,상기 선형 이동 부재는상기 프레임의 일측에 고정 장착되는 리니어 가이드 부재;상기 리니어 가이드 부재 상에 제공되는 선형 이송 부재; 및상기 선형 이송 부재와 상기 피스톤 로드를 고정 방식으로 연결하는 연결부재로 이루어지는약액 공급 장치.
- 삭제
- 제 8항에 있어서,상기 수지 재질은 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나인 약액 공급 장치.
- 제 8항 내지 제 12항 및 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재로 구성되고,상기 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재는 클램프에 의해 기밀 상태로 결합되며,상기 약액 공급 유입구는 상기 제 2 하우징 부재의 하부 일측에 제공되고,상기 약액 토출구는 상기 제 1 하우징 부재의 상부에 제공되는약액 공급 장치.
- 제 8항 내지 제 12항 및 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 약액 공급 장치는 상기 하우징의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
- 제 15항에 있어서,상기 약액 펌핑 장치는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 펌핑 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090071724A KR100948629B1 (ko) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | 개선된 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100948629B1 true KR100948629B1 (ko) | 2010-03-18 |
Family
ID=42183577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100948629B1 (ko) |
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