KR100901884B1 - 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치 - Google Patents

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이수용
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주식회사 나래나노텍
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Abstract

본 발명은 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 개시한다.
본 발명에 따른 약액 펌핑 장치는 내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 상기 하우징의 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하고, 상기 약액은 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되는 것을 특징으로 한다.
약액 펌핑 장치, 약액 공급 장치

Description

약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치{A Pumping Device of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same}
본 발명은 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 예를 들어 글래스와 같은 기재(基材) 상에 포토 레지스트액, 스피니언 글라스액(Spinion glass solution), 폴리이미드 수지액(Polyimide solution), 순수(pure water), 현상액, 에칭액, 유기 용제, 및 도액(coating liquids) 등과 같은 화학 약액(이하 "약액"이라 함)의 정량 토출이 가능하고, 유지 보수가 용이하며, 이물 및 기포 발생이 최소화되는 구조를 구비한 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크, 다층 배선기판, PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재 상에 약액을 공급하여야 한다. 이러한 약액을 공급하기 위해서는 탄성변형이 가능한 튜브와 아코디언 형상의 벨로우즈를 구비한 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치가 사용된다.
상술한 종래 기술의 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치는 2001년 12월 12일자로 "약액공급 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원번호 제 10-2001-0078429호 출원되어, 2003년 6월 25일자로 공개된 대한민국 공개특허 제 2003-0048515호(이하 "공개특허 제515호"라 함)에 구체적으로 예시되어 있다.
도 1a는 상술한 공개특허 제515호에 개시된 종래 기술의 약액 공급 장치의 일부 일부 정단면도이다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술의 약액 공급 장치(100)는 펌프부(11)와 펌프 구동부(12)를 구비한다. 펌프부(11)는 탄성부재에 의해 형성되어 직경 방향으로 탄성팽창 수축이 가능한 가요성 튜브(13), 및 가요성 튜브(13) 외측에 배치되며, 탄성부재에 의해 형성되고, 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(14)를 구비하고 있다. 가요성 튜브(13)의 양쪽 단부에는 어댑터부(15,16)가 부착되고, 일측 어댑터부(15)에는 공급 유로(17)가 접속되고, 공급 유로(17)는 약액을 수용하는 약액 탱크(18)에 접속되어 있다. 타측 어댑터부(16)에는 토출 유로(19)가 접속되고, 토출 유로(19)는 약액을 토출 및 도포하는 노즐 장치(20)에 접속되어 있다. 공급 유로(17)에는 공급 유로(17)를 개폐하기 위한 공급측 개폐밸브(21)가 설치되며, 토출 유로(19)에는 토출 유로(19)를 개폐하기 위한 토출측 개폐밸브(22)가 설치되어 있다. 각각의 개폐밸브(21, 22)로서 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.
한편, 벨로우즈(14)는 축방향 중앙부의 작동 디스크부(23), 작동 디스크부(23)에 일체로 형성되며 제 1 유효직경(d)을 갖는 소형 벨로우즈부(24), 상기 작동 디스크부(23)를 통하여 상기 소형 벨로우즈부(24)와 일체로 형성되고, 소형 벨 로우즈부(24)의 유효직경(d) 보다도 큰 내경의 제 2 유효직경(D)을 갖는 대형 벨로우즈부(25)를 구비한다. 즉, 대형 벨로우즈부(25)는 소형 벨로우즈부(24) 보다 큰 단면적을 갖는다. 여기서, 제 1 및 제 2 유효직경(d,D)은 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 팽창 및 수축 시에 각각의 벨로우즈(24,25)의 평균 내경을 의미한다.
벨로우즈(14)의 양쪽 단부에는 고정 디스크부(26,27)가 일체로 형성되어 있고, 대형 벨로우즈부(25) 측의 고정 디스크부(26)는 가요성 튜브(13)를 통하여 어댑터부(15)에 고정되고, 소형 벨로우즈부(24) 측의 고정 디스크부(27)는 가요성 튜브(13)를 통하여 어댑터부(16)에 고정되어 있다.
가요성 튜브(13)는 공급될 약액이 예를 들어 포토 레지스트액인 경우 약액과 반응하지 않도록, 예를 들어 불소수지인 테프론(Teflon)에 의해 형성되고, 어댑터부(15,16)도 동종의 재질로 형성되어 있다. 또한, 벨로우즈(14)도, 동종의 수지재료에 의해, 디스크부(23,26,27)와 벨로우즈부(24,25)가 일체로 되어 형성되어 있다. 만일, 가요성 튜브(13)와 벨로우즈(14)를 일체로 형성하는 경우에는 어댑터부(15,16)의 사용이 불필요하다. 벨로우즈(14)는 금속제로 형성될 수도 있다.
벨로우즈(14)는 각각의 고정 디스크부(26,27)의 일측면에서 지지대(28)에 부착된다. 구체적으로, 고정 디스크부(26)는 고정 브라켓(31)에 의해 지지대(28)에 부착되며, 고정 디스크부(27)는 고정 브라켓(32)에 의해 지지대(28)에 부착된다.
벨로우즈(14)는 축방향 중앙부의 작동 디스크부(23)를 축방향으로 변위시킴으로써, 펌프 동작이 행해지도록 되어 있고, 작동 디스크부(23)에 끼워진 작동 브 라켓(33)은, 지지대(28)에 벨로우즈(14)와 평행하게 연장되어 회전 가능하게 부착된 볼 나사축(34)에 나사 결합된 볼 너트(ball nut)(35)로 연결되어 있다. 볼 너트(35)는 지지대(28)에 설치된 가이드 레일(36)에 대하여 접동(摺動) 가능하도록 접촉되어 있고, 볼 나사축(34)의 회전에 의해 축방향으로 구동되도록 되어 있다. 볼 나사축(34)을 회전 구동하기 위해, 지지대(28)에 부착된 모터(37)의 샤프트에 고정된 풀리(38)와, 볼 나사축(34)에 고정된 풀리(39) 사이에는 벨트(41)가 장착되어 있다.
가요성 튜브(13)와 벨로우즈(14) 사이의 공간이 펌프실(42)을 구성하며, 펌프실(42) 내에는 액체 등의 비압축성매체인 간접액(43)이 충전되어 있다. 따라서, 벨로우즈(14)를 중앙 부분의 작동 디스크부(23)에서 축방향으로 탄성 변형하면, 벨로우즈(14)의 전체 길이는 변하지 않으며, 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 내측 체적이 변화하게 된다. 이러한 방식으로 간접액(43)을 통해 가요성 튜브(13)가 직경방향으로 팽창 또는 수축함으로써 가요성 튜브(13)는 펌프 동작을 하게 된다.
도 1b는 도1a에 도시된 따른 종래 기술의 약액 공급 장치의 2-2선을 따른 단면도이다. 도 1b를 참조하면, 가요성 튜브(13)는 원호상(圓弧狀)부와 평탄부를 가지는 타원 모양의 단면을 가진다. 펌프실(42)의 체적이 변화하면, 주로 평탄부가 탄성 변형하여 벨로우즈(14) 내측의 체적변화에 대응하여 가요성 튜브(13)가 소정의 양만 탄성 변형하게 된다. 가요성 튜브(13)의 단면은 원형 혹은 다른 단면 형상을 가질 수도 있다.
도 1c 및 도 1d는 도 1a에 도시된 종래 기술의 약액 공급 장치에 사용되는 벨로우즈의 펌프 동작을 도시한 단면도이다.
도 1a 내지 도 1d를 참조하면, 작동 디스크부(23)가 벨로우즈(14)의 축방향의 대략 중앙의 위치에 있는 상태를 중립 상태로 하면, 이러한 중립 상태로부터 모터(37)에 의해 작동 디스크부(23)를 소형 벨로우즈부(24) 측으로 변위시키면(즉, 작동 디스크부(23)를 상방향으로 이동시키면), 벨로우즈(14)의 전체로서 소경부가 짧게 되고, 대경부가 길게 되므로, 벨로우즈(14) 내측의 체적이 커진다. 즉, 대형 벨로우즈부(25)가 소형 벨로우즈부(24) 보다 축방향의 단위변위량 당 체적 변화가 크기 때문에 벨로우즈(14) 내의 체적이 변화한다. 즉, 가요성 튜브(13)는 도 1d에 도시된 바와 같이 직경 방향으로 팽창하여 그 내부의 체적이 커져, 약액 탱크(18) 내의 약액이 가요성 튜브(13) 내에 흡입된다. 이 경우, 공급측 개폐밸브(21)의 작동에 의해 공급 유로(17)가 개방되고, 토출측 개폐밸브(22)의 작동에 의해 토출 유로(19)는 폐쇄된다. 한편, 작동 디스크부(23)를 대형 벨로우즈부(25) 측으로 변위시키면(즉, 작동 디스크부(23)를 하방향으로 이동시키면), 벨로우즈(14)의 전체로는 대경부가 짧아지고, 소경부가 길어지게 되므로, 벨로우즈(14) 내 측의 체적이 작아지게 된다. 그 결과, 가요성 튜브(13) 내의 약액은 노즐 장치(20)로 토출된다. 이 경우, 공급측 개폐밸브(21)의 작동에 의해 공급 유로(17)는 폐쇄되고, 토출측 개폐밸브(22)의 작동에 의해 토출 유로(19)는 개방된다.
상술한 종래 기술의 약액 공급 장치(100)에서는 가요성 튜브(13)와 벨로우즈(14)를 사용하여 체적변화에 따른 펌프 동작에 의해 약액의 유입 및 토출을 통한 약액 공급이 이루어진다.
그러나, 상술한 종래 기술의 약액 공급 장치(100)는 다음과 같은 문제가 발생한다.
1. 가요성 튜브(13)의 탄성을 이용한 단면 형상 변화에 따른 체적 변화에 의해 약액의 공급이 이루어지므로, 압력 변화에 따른 가요성 튜브(13)의 체적 변화량을 정밀하게 제어하는 것이 어려우며, 그에 따라 공급되는 약액의 양을 정밀하게 제어하는 것이 어렵다. 따라서, 약액의 정밀한 정량 도포가 어렵다는 문제가 발생한다.
2. 종래 기술의 약액 공급 장치(100)를 설치할 경우, 수지 재질의 벨로우즈(14)는 좌우 평탄도를 매우 정밀하게 조정하기 위해 통상적으로 2 내지 3 시간의 장시간의 설치 시간이 소요되는 문제가 발생한다.
3. 펌프 구동부(12)를 이용하여 펌핑 동작을 행하기 위해서는 벨로우즈(14)의 축방향 중앙부에 작동 디스크부(23), 및 작동 디스크부(23)에 연결되는 작동 브라켓(33)가 필수적으로 사용되어야 하므로, 구조가 복잡하다는 문제가 있었다.
4. 가요성 튜브(13) 및 벨로우즈(14)의 체적 변화를 이용하므로, 약액의 공급시 약액의 가요성 튜브(13) 내에서의 이동 속도가 일정하지 않아 바람직하지 않은 리플(ripples) 및 그에 따른 기포가 발생할 가능성이 높아, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높다.
5. 약액 공급 장치(100)의 세정(cleaning), 또는 부품의 수리 또는 교체 등과 같은 유지 보수 시에 펌프부(11)와 펌프 구동부(12)를 분리 및 결합하기 위해서 는 3개의 부품인 고정 브라켓(31,32) 및 작동 브라켓(33)을 분리 및 결합하여야 하므로, 약액 공급 장치(100)의 유지 보수가 복잡하고, 시간이 많이 걸린다는 문제점이 있었다.
6. 종래 기술에 따른 수지 재질의 가요성 튜브(13)는 직경방향으로 탄성 변형하므로, 지속적으로 사용하는 경우 탄성 변형에 따른 피로도에 의해 펌프부(11)의 수명으로 알려진 대략 100만회 정도 후에는 사용이 불가능하여 고가의 펌프부(11)를 교체하여야 한다. 따라서, 더 긴 수명의 펌프부가 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 종래 기술의 약액 공급 장치에 사용되는 가요성 튜브(13) 대신 실질적으로 가로 방향의 체적 변화가 없으며, 축방향으로 신축 가능한 튜브 및 상기 튜브의 외측에 금속 재질의 벨로우즈를 사용하되 튜브 및 벨로우즈가 축방향으로 동시에 이동하도록 함으로써, 약액의 정밀한 정량 펌핑 및 정량 도포가 이루어지고, 리플(ripples) 및 그에 따른 기포가 발생할 가능성이 실질적으로 없으며, 약액 공급 장치(100)의 유지 보수가 용이한 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 약액 펌핑 장치에 있어서, 내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 상기 하우징의 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하고, 상기 약액은 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되는 약액 펌핑 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 약액 공급 장치에 있어서, 내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 상기 하우징의 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하는 약액 펌핑 장치; 및 상기 약액 펌핑 장치에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하는 구동부재를 포함하고, 상기 약액은 상기 구동부재에 의해 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되는 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 약액 공급 장치에 있어서, 내부 공간을 가지 며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하는 약액 펌핑 장치; 및 상기 약액 펌핑 장치에 연결되고, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하며, 또한 상부 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구를 구비하는 구동부재를 포함하고, 상기 약액은 상기 구동부재에 의해 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 선입 선출 방식으로 토출되는 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 신축가능한 튜브는 테플론과 같은 수지 재질이므로 압력 변화에 따른 튜브의 직경 방향 변화가 실질적으로 없으며, 축방향의 길이만이 변하므로 체적 변화량을 정밀하게 제어하는 것이 용이하다. 따라서, 공급되는 약액의 토출량을 정밀하게 제어하여 정량 도포가 용이해진다.
2. 벨로우즈가 금속 재질로 이루어져 좌우 평탄도의 정밀 조정에 소요되는 시간이 현저하게 줄어든다.
3. 구동부재가 튜브와 벨로우즈의 축방향과 동일한 방향에 위치되므로 약액 공급 장치의 전체 구조가 간단하다.
4. 튜브의 직경 방향의 체적이 실질적으로 변화하지 않으므로 약액의 공급시 약액의 튜브 내에서의 이동 속도가 실질적으로 일정하여 바람직하지 않은 리플(ripples) 및 그에 따른 기포가 발생할 가능성 및 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 낮아진다.
5. 약액 공급 장치의 세정(cleaning), 또는 부품의 수리 또는 교체 등과 같은 유지 보수 시에 약액 펌핑 장치의 제 2 고정부재(226)와 구동부재(212)의 고정 브라켓(215)만을 분리 및 결합하면 되므로, 약액 공급 장치의 유지 보수가 간단해지고, 유지 보수에 요구되는 시간이 상당히 줄어든다.
6. 수지 재질의 가요성 튜브(213)는 축방향으로만 변형되고 직경방향으로는 변형되지 않으므로, 약액 펌핑장치의 수명이 종래 기술에 비해 상당히 길어진다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.
도 2a는 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 도시한 단면도이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(200)는 약액 펌핑 장치(211), 및 상기 약액 펌핑 장치(211)에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치(211)를 구동하는 구동부재(212)를 포함한다. 이하에서는 약액 펌핑 장치(211) 및 약액 펌핑 장치(211)를 구동하는 구동부재(212)의 구체적인 구성을 상세히 기술한다.
다시 도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치(211)는 축방향으로 신축 가능한 튜브(213), 및 상기 튜브(213) 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈(214)로 구성되어 있다. 신축 가능한 튜브(213)는 예를 들어, 외부 주름(outer crease)을 구비한다. 이러한 신축 가능한 튜브(213)의 양쪽 단부에는 제 1 어댑터부(207) 및 제 2 어댑터부(209)가 형성되어 있다. 제 1 어댑터부(207)의 상부에는 하우징이 제공된다. 하우징은 제 1 하우징 부재(상부 하우징 부재)(202) 및 제 2 하우징 부재(하부 하우징 부재)(204)로 구성된다. 제 1 하우징 부재(202) 및 제 2 하우징 부재(204)는 클램프(206)에 의해 기밀 상태로 결합된다. 본 발명의 실시예서는 하우징이 제 1 하우징 부재(202) 및 제 2 하우징 부재(204)로 구성되는 것으로 예시되어 있지만, 당업자라면 제 1 하우징 부재(202) 및 제 2 하우징 부재(204)가 일체로 형성될 수 있으며, 이 경우 클램프(206)의 사용이 불필요하다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 제 1 어댑터부(207)는 제 2 하우징 부재(204)의 하단에 결합된다. 또한, 제 1 하우징 부재(202)의 일측에는 약액이 공급되는 공급 유입구(210a)가 제공되고, 공급 유입구(210a)는 약액을 수용하는 약액 탱크(218a)에 연결된다. 제 1 하우징 부재(202)의 상부 일측에는 약액이 토출되는 토출구(219)가 제공되고, 토출구(219)는 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치(220)에 연결된다. 공급 유입구(210a)와 약액 탱크(218a) 사이에는 공급 유입구(210a)를 개폐하기 위한 공급 개폐밸브(221a)가 제 공되며, 토출구(219)와 노즐 장치(220) 사이에는 토출구(219)를 개폐하기 위한 토출 개폐밸브(222)가 제공된다. 공급 개폐밸브(221a) 및 토출 개폐밸브(222)는 선택 사양으로 반드시 사용되어야 하는 것은 아니다. 또한, 공급 개폐밸브(221a) 및 토출 개폐밸브(222)는 각각 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.
아울러, 제 1 하우징 부재(202)의 상부 중앙부에는 선택 사양으로 환기 부재(ventilation element)(230)가 제공될 수 있다. 환기 부재(230)는 약액 교체시 또는 약액 펌핑 장치(211)의 세정 시에 주입될 수 있는 기체(예를 들어 공기 등)와 같은 가스(gas)를 배출시키도록 설계된 것이다. 그러나, 환기 부재(230)는 제 1 하우징 부재(202)의 상부 중앙부에 형성되는 대신 예를 들어 토출구(219)와 노즐 장치(220) 사이의 소정 위치에 형성될 수도 있다. 또한, 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에서는, 토출구(219)가 제 1 하우징 부재(202)의 상부 일측에 제공되고, 환기 부재(230)가 제 1 하우징 부재(202)의 상부 중앙부에 제공되는 것으로 기술되어 있지만, 당업자라면 토출구(219)가 제 1 하우징 부재(202)의 상부 중앙부에 제공되고, 환기 부재(230)가 제 1 하우징 부재(202)의 상부 일측에 제공되는 것도 가능하다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
한편, 벨로우즈(214)는 벨로우즈부(224), 상기 벨로우즈부(224)의 일측 단부와 일체로 형성되는 제 1 고정 부재(227) 및 상기 벨로우즈부(224)의 타측 단부와 일체로 형성되는 제 2 고정 부재(226)로 구성된다. 제 1 고정 부재(227)는 튜 브(213)의 제 1 어댑터부(207)와 함께 제 2 하우징 부재(204)의 하부면에 고정 결합된다. 또한, 제 2 고정 부재(226)는 튜브(213)의 제 2 어댑터부(209)와 함께 약액 펌핑 장치(211)를 구동하는 구동부재(212)의 고정 브라켓(215)에 고정 결합된다.
구동부재(212)는 피스톤 하우징(232), 상기 피스톤 하우징(232) 내에서 이동 가능한 피스톤 부재(217), 및 피스톤 부재(217)를 구동시키는 구동 모터(228)로 구성된다. 이러한 피스톤 방식(piston-type)의 구동 부재(212)는 통상적인 것으로 예를 들어 도 1a에 도시된 바와 같은 펌프 구동부(12)가 본 발명의 구동부재(212) 대신 사용될 수 있다는 것은 당업자에게 자명하다.
다시 도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(200)의 대안적인 실시예에서는, 약액이 공급되는 공급 유입구(210a)가 사용되는 대신 약액이 공급되는 공급 유입구(210b)가 구동부재(212)의 피스톤 하우징(232) 상부 일측에 제공될 수 있다. 이러한 대안적인 실시예에서는, 약액이 선입선출(FIFO: first-in and first-out)되는 장점을 갖는다. 좀 더 구체적으로, 공급 유입구(210a)가 사용되는 경우, 공급 유입구(210a)를 통해 먼저 유입된 약액이 토출구(219)를 통해 토출되지 못하고 튜브(213)의 내부 공간(203) 중 제 2 어댑터부(209) 근처에서 계속 잔류할 가능성이 존재한다. 이 경우, 잔류 약액이 침전되거나, 심한 경우 응고되는 현상이 발생할 수 있다. 또한, 피스톤 부재(217)의 지속적인 이동에 따라 상술한 침전 또는 응고된 잔류 약액으로부터 작은 입자(small particles) 형태의 이물질(foreign matter)이 생성될 수 있다. 이러한 이물질은 토출구(219)를 통해 노즐 장치(220) 내로 유입되어 기재(基材) 상에 토출될 수 있으며, 이 경우 최종 생산된 제품의 품질이 열화되거나 또는 고장의 원인이 될 수 있다. 따라서, 대안적인 실시예와 같이, 구동부재(212)의 피스톤 하우징(232) 상부 일측에 제공되는 공급 유입구(210b)가 사용되는 경우에는 약액이 선입선출(FIFO)되므로, 상술한 약액의 잔류로 인한 침전 또는 응고 및 그에 따른 이물질 생성 등의 문제가 발생할 가능성이 현저하게 줄어든다는 장점이 달성된다.
상술한 대안적인 실시예에서는, 약액이 공급되는 공급 유입구(210b)가 약액을 수용하는 약액 탱크(218b)에 연결된다. 공급 유입구(210b)와 약액 탱크(218b) 사이에는 공급 유입구(210b)를 개폐하기 위한 공급 개폐밸브(221b)가 제공된다. 공급 개폐밸브(221b)는 공급 개폐밸브(221a)와 마찬가지로 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.
도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에서는, 튜브(213)는 수지 재질로 형성되어, 약액이 튜브(213)의 내부 공간(203)을 통과하더라도 측방향(즉, 직경방향)으로 실질적으로 팽창 또는 수축하지 않는다. 여기서, 수지 재질은 구체적으로 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나일 수 있다. 또한, 벨로우즈부(225)는 예를 들어 스테인리스와 같은 비탄성 금속 재질로 형성되며, 구동부재(212)의 동작에 따라 절첩될 수 있다.
도 2b는 본 발명에 따른 튜브의 압축 및 팽창시의 상태를 도시한 단면도이고, 도 2c는 본 발명에 따른 벨로우즈의 압축 및 팽창시의 상태를 도시한 단면도이 다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 구동 모터(228)에 의해 피스톤 부재(217)가 이동하면, 튜브(213)와 벨로우즈(214)가 동시에 축방향으로 변위되어, 약액의 펌핑 동작이 행해진다. 좀 더 구체적으로, 구동 모터(228)에 의해 피스톤 부재(217)가 좌측 방향(하방향)으로 이동하면, 공급 개폐밸브(221a) 또는 공급 개폐밸브(221b)가 개방되어, 약액이 약액 탱크(218a) 또는 약액 탱크(218b)로부터 공급 유입구(210a) 또는 공급 유입구(210b)를 통해 튜브(213)의 내부 공간(203) 내로 유입된다. 그 후, 공급 개폐밸브(221a) 또는 공급 개폐밸브(221b)가 폐쇄된다. 그 후, 구동 모터(228)에 의해 피스톤 부재(217)가 우측 방향(상방향)으로 이동하면, 토출 개폐밸브(222)가 개방되어 약액이 토출구(219)를 통해 노즐 장치(220)로 토출된다. 그 후, 토출 개폐밸브(222)가 폐쇄되고, 구동 모터(228)에 의해 피스톤 부재(217)가 좌측 방향(하방향)으로 이동하면서 상술한 동작이 반복되어, 약액의 공급 및 토출 동작(즉, 약액의 펌핑 동작)이 이루어진다.
상술한 약액의 펌핑 동작을 위해 구동 모터(228)에 의해 피스톤 부재(217)가 좌측 방향(하방향) 및 우측 방향(상방향)으로 반복적으로 이동하면, 본 발명의 실시예에 따른 튜브(213)와 벨로우즈(214)는 도 2b 및 도 2c에 도시된 바와 같이 동시에 축방향을 따라 신장 및 수축된다. 따라서, 튜브(213)와 벨로우즈(214)가 신장되면, 튜브(213)의 부피가 커져 내부 압력이 낮아지면서 약액이 튜브(213)의 내부 공간(203) 내로 유입되고, 튜브(213)와 벨로우즈(214)가 수축되면, 튜브(213)의 부피가 작아져 내부 압력이 높아지면서 약액이 튜브(213)의 내부 공간(203)에서 하우 징의 내부 공간(205)을 거쳐 토출구(219)를 통해 토출된다.
한편, 튜브(213)와 벨로우즈(214) 사이의 공간(242)에는 비압축성매체인 간접액(243)이 충전되어 있다. 간접액(243)은 튜브(213)의 신축에 따른 내부 압력 변화가 발생하더라도 튜브(213)가 직경 방향으로 체적 변화가 발생하지 않도록 튜브(213)의 내부 압력과 튜브(213)과 벨로우즈(214) 사이의 공간(242) 내의 압력 균형을 유지하는 기능을 한다.
또한, 본 발명의 실시예에서는, 튜브(213)와 벨로우즈(214)가 신축되는 경우, 벨로우즈(214)는 간접액(243)이 어느 한 방향으로 쏠릴 경우 벨로우즈(214)가 신장 또는 수축시에 축방향에서 벗어나는 것을 방지하기 위해 벨로우즈(214)의 외부에 복수의 가이드 부재(228a,228b)를 추가로 구비할 수 있다. 도 2a에 도시된 실시예에서는, 벨로우즈(214)가 2개의 가이드 부재(228a,228b)를 구비하는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 벨로우즈(214)가 3개 이상의 가이드 부재를 구비하거나 또는 원통 모양의 일체형 가이드 부재를 구비할 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 도 2c(가이드 부재(228b)만이 도시되어 있음)에 도시된 바와 같이, 벨로우즈(214)가 최대로 수축된 경우, 가이드 부재(228a,228b)의 상부 단부는 제 1 고정 부재(227)의 하부면에 접촉되는 것으로 도시되어 있다. 그러나, 당업자라면 벨로우즈(214)가 최대로 수축된 경우에도 가이드 부재(228a,228b)의 상부 단부는 제 1 고정 부재(227)의 하부면에 접촉되지 않고 약간의 갭(gap)을 가질 수도 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(200)에서는, 약액 펌핑 장치(211)의 튜브(213)와 벨로우즈(214)가 구동부재(212)에 의해 구동되어 가요성 튜브(13)와 벨로우즈(214)가 축방향으로 동시에 신장(팽창) 또는 수축(압축)됨으로써 펌핑 동작이 이루어진다. 또한, 종래 기술과는 달리 본 발명에 따른 약액 공급 장치(200)는 간접액(243)에 의해 벨로우즈 부재(224)의 내측 체적을 변화시켜 가요성 튜브(13)를 직경방향으로 팽창 또는 수축시킴으로써 펌핑 동작을 행하는 것이 아니라, 오히려 튜브(213)가 직경 방향으로 체적 변화가 발생하지 않도록 튜브(213)의 내부 압력과 튜브(213)와 벨로우즈(214) 사이의 공간(242) 내의 압력 균형을 유지하는 기능을 한다.
도 2a 내지 도 2c에 도시된 상술한 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치(211) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(200)는 수평 방향으로 놓여진 상태로 사용되는 것으로 예시적으로 기술하고 있지만, 당업자라면 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치(211) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(200)가 수직 방향 또는 임의의 경사각으로 놓인 상태로 사용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 종래 기술의 약액 공급 장치의 일부 일부 정단면도이다.
도 1b는 도1a에 도시된 따른 종래 기술의 약액 공급 장치의 2-2선을 따른 단면도이다.
도 1c 및 도 1d는 도 1a에 도시된 종래 기술의 약액 공급 장치에 사용되는 벨로우즈의 펌프 동작을 도시한 단면도이다.
도 2a는 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 도시한 단면도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 신축 가능한 튜브의 압축 및 팽창시의 상태를 도시한 단면도이다.
도 2c는 본 발명에 따른 벨로우즈의 압축 및 팽창시의 상태를 도시한 단면도이다.

Claims (27)

  1. 약액 펌핑 장치에 있어서,
    내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브;
    상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈;
    상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액;
    상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징;
    상기 하우징의 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 및
    상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구
    를 포함하고,
    상기 약액은 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되는
    약액 펌핑 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,
    상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는
    약액 펌핑 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 튜브는 일측 단부에 제 1 어댑터부가 형성되고, 타측 단부에 제 2 어댑터부가 형성되며,
    상기 벨로우즈는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부의 일측 단부와 일체로 형성되는 제 1 고정 부재, 및 상기 벨로우즈부의 타측 단부와 일체로 형성되는 제 2 고정 부재로 구성되고,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 하우징의 하부면에 고정 결합되는
    약액 펌핑 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 튜브는 수지 재질로 이루어지고, 상기 벨로우즈부는 비탄성 금속 재질로 이루어지는 약액 펌핑 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 수지 재질은 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나이고, 상기 비탄성 금속 재질은 스테인리스인 약액 펌핑 장치.
  6. 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징은 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재로 구성되고,
    상기 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재는 클램프에 의해 기밀 상태로 결합되며,
    상기 약액 공급 유입구는 상기 제 1 하우징 부재의 일측에 제공되고,
    상기 약액 토출구는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되며,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 제 2 하우징 부재의 하부면에 고정 결합되는
    약액 펌핑 장치.
  7. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 벨로우즈는 외부에 상기 벨로우즈가 신장 또는 수축시 축방향에서 벗어나는 것을 방지하기 위한 복수의 가이드 부재 또는 원통 모양의 일체형 가이드 부재를 추가로 구비하는 약액 펌핑 장치.
  8. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배 출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 펌핑 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 펌핑 장치.
  10. 약액 공급 장치에 있어서,
    내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 상기 하우징의 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하는 약액 펌핑 장치; 및
    상기 약액 펌핑 장치에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하는 구동부재
    를 포함하고,
    상기 약액은 상기 구동부재에 의해 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으 로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 토출되는
    약액 공급 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,
    상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는
    약액 공급 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 튜브는 일측 단부에 제 1 어댑터부가 형성되고, 타측 단부에 제 2 어댑터부가 형성되며,
    상기 벨로우즈는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부의 일측 단부와 일체로 형성되는 제 1 고정 부재, 및 상기 벨로우즈부의 타측 단부와 일체로 형성되는 제 2 고정 부재로 구성되며,
    상기 구동부재는 상부에 고정 브라켓을 구비한 피스톤 하우징, 상기 피스톤 하우징 내에서 이동 가능한 피스톤 부재, 및 상기 피스톤 부재를 구동시키는 구동 모터로 구성되고,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 하우징의 하부면에 고정 결합되며,
    상기 제 2 어댑터부 및 상기 제 2 고정 부재는 각각 상기 피스톤 하우징의 상기 고정 브라켓에 고정 결합되는
    약액 공급 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 튜브는 수지 재질로 이루어지고, 상기 벨로우즈부는 비탄성 금속 재질로 이루어지는 약액 공급 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 수지 재질은 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나이고, 상기 비탄성 금속 재질은 스테인리스인 약액 공급 장치.
  15. 제 12항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징은 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재로 구성되고,
    상기 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재는 클램프에 의해 기밀 상태로 결합되며,
    상기 약액 공급 유입구는 상기 제 1 하우징 부재의 일측에 제공되고,
    상기 약액 토출구는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되며,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 제 2 하우징 부재의 하부면에 고정 결합되는
    약액 공급 장치.
  16. 제 10항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 벨로우즈는 외부에 상기 벨로우즈가 상기 구동 부재에 의해 신장 또는 수축시 축방향에서 벗어나는 것을 방지하기 위한 복수의 가이드 부재 또는 원통 모양의 일체형 가이드 부재를 추가로 구비하는 약액 공급 장치.
  17. 제 10항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
  18. 제 15항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
  19. 약액 공급 장치에 있어서,
    내부 공간을 가지며 또한 축방향으로 신축 가능한 튜브; 상기 튜브의 외측에 배치되며, 축방향으로 신축 가능한 절첩방식(foldable type)의 벨로우즈; 상기 튜브 및 상기 벨로우즈 사이에 충전되는 간접액; 상기 튜브의 일측 및 상기 벨로우즈의 일측 상부에 제공되는 하우징; 및 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고, 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구를 포함하는 약액 펌핑 장치; 및
    상기 약액 펌핑 장치에 연결되고, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하며, 또한 상부 일측에 제공되고, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구를 구비하는 구동부재
    를 포함하고,
    상기 약액은 상기 구동부재에 의해 상기 튜브 및 상기 벨로우즈가 축방향으로 동시에 신장 및 수축됨으로써 상기 약액 공급 유입구로 유입된 후 상기 약액 토출구로 선입 선출 방식으로 토출되는
    약액 공급 장치.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,
    상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는
    약액 공급 장치.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 튜브는 일측 단부에 제 1 어댑터부가 형성되고, 타측 단부에 제 2 어댑터부가 형성되며,
    상기 벨로우즈는 벨로우즈부, 상기 벨로우즈부의 일측 단부와 일체로 형성되는 제 1 고정 부재, 및 상기 벨로우즈부의 타측 단부와 일체로 형성되는 제 2 고정 부재로 구성되며,
    상기 구동부재는 상부에 고정 브라켓을 구비한 피스톤 하우징, 상기 피스톤 하우징 내에서 이동 가능한 피스톤 부재, 및 상기 피스톤 부재를 구동시키는 구동 모터로 구성되고,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 하우징의 하부면에 고정 결합되며,
    상기 제 2 어댑터부 및 상기 제 2 고정 부재는 각각 상기 피스톤 하우징의 상기 고정 브라켓에 고정 결합되는
    약액 공급 장치.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 튜브는 수지 재질로 이루어지고, 상기 벨로우즈부는 비탄성 금속 재질로 이루어지는 약액 공급 장치.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 수지 재질은 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나이고, 상기 비탄성 금속 재질은 스테인리스인 약액 공급 장치.
  24. 제 21항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징은 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재로 구성되고,
    상기 제 1 하우징 부재 및 제 2 하우징 부재는 클램프에 의해 기밀 상태로 결합되며,
    상기 약액 토출구는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 어느 하나에 제공되고,
    상기 제 1 어댑터부 및 상기 제 1 고정 부재는 각각 상기 제 2 하우징 부재의 하부면에 고정 결합되는
    약액 공급 장치.
  25. 제 19항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 벨로우즈는 외부에 상기 벨로우즈가 상기 구동 부재에 의해 신장 또는 수축시 축방향에서 벗어나는 것을 방지하기 위한 복수의 가이드 부재 또는 원통 모양의 일체형 가이드 부재를 추가로 구비하는 약액 공급 장치.
  26. 제 19항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 하우징의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
  27. 제 24항에 있어서,
    상기 약액 펌핑 장치는 상기 제 1 하우징 부재의 상부 일측 또는 상부 중앙부 중 다른 하나, 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.
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