KR20010082028A - 펌프, 어큐뮬레이터 등의 유체기기 - Google Patents

펌프, 어큐뮬레이터 등의 유체기기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 2종류 이상의 약액을 펌프의 내부에서 신속히 균일한 농도로 교반혼합할 수 있도록 한 유체기기에 관한 것으로서,
펌프본체(1)의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막(7)이 펌프본체(1)의 내벽(4a)과의 사이에 액실(9)을 형성하도록 구비되고, 펌프본체(1)의 내벽(4a)에는 흡입구(18) 및 토출구(19)가 설치되며, 흡입구(18)의 입구측에는 2종류 이상의 각 약액의 공급관(5A, 5B)을 합류하도록 배관접속하고, 흡입구(18)의 출구부(18a)는 펌프본체(1)의 내벽(4a)으로부터 액실(9)내로 돌출하도록 고정된 흡입용 역행방지밸브(20)의 돌출선단부의 측면에 설치함으로써 액실(9)내의 원주벽(9a)을 향하여 2종류 이상의 약액을 분출하도록 개구하고 있으며, 따라서 펌프본체(1)에 따로 따로 공급되어 오는 2액 이상의 약액은 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 액실(9)내의 원주벽(9a)을 따라서 선회하고, 이 선회에 의해 액실(9)내에서 신속하고 균일하게 교반혼합되는 것을 특징으로 한다.

Description

펌프, 어큐뮬레이터 등의 유체기기{FLUID APPARATUS SUCH AS PUMP, ACCUMULATOR, ETC}
본 발명은 벨로즈식 펌프, 다이어프램식 펌프, 또는 어큐뮬레이터 등의 유체기기에 관한 것이다.
예를 들면 반도체제조장치에 있어서의 IC나 액정의 표면세정 등의 각종 처리시에 약액의 순환이나 이송 등에 사용되는 펌프는, 펌프의 동작에 의하여 파티클의 발생이 없는 벨로즈식 펌프나 다이어프램식 펌프가 사용되고 있다(예를 들면 일본국 특허 공개공보91-179184호). 또 사용되는 약액은 종류가 다른 2액 이상의 혼합액이 많고, 이 혼합액은 2액 이상을 개개의 약액탱크로부터 혼합탱크나 처리조에 이송하고 순환함으로써 혼합되거나, 따로 따로의 약액펌프에 의하여 처리조에 주입되는 것으로 혼합되고 있었다.
그러나 이와 같은 2액 이상의 혼합액을 사용하는 경우 혼합액의 농도가 균일하고 일정한 것이 중요한데, 2액 이상을 균일하게 혼합할 때에 액을 일정시간에 걸쳐서 순환시키는 것으로 혼합하는 데는 시간이 지나치게 오래 걸리는 것으로, 이 점의 개선이 요망되고 있다. 또 교반탱크를 별도 설치하면 약액순환라인이 대규모화하여 바람직하지 않다.
본 발명의 목적은 상기 요구에 부응하기 위해 이루어진 것으로, 펌프나 어큐뮬레이터 내부의 액실에서 2액 이상의 약액의 교반혼합기능을 발휘할 수 있도록 하며, 따라서 신속하고 균일한 혼합액이 얻어진다는 펌프나 어큐뮬레이터 등의 유체기기를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 관련되는 유체기기를 도면을 참조로 하여 설명한다. 여기에서 도면 중의 부호를 참조한 것은 발명의 내용의 이해를 돕기 위함이며, 그 내용을 도시예의 것에 한정할 의도는 아니다.
본 발명에 관련되는 유체기기는 도 1에 예시하는 바와 같이 펌프본체(1)의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막(7)이 펌프본체(1)의 내벽과의 사이에 액실(9)을 형성하도록 구비되는 동시에, 펌프본체(1)의 액실(9)을 향하는 내벽(4a)에 흡입구(18) 및 토출구(19)가 설치되어 있으며, 상기 격막(7)의 왕복운동에 의해 흡입구(18)로부터 액실(9)내로 종류가 다른 2액 이상의 액체를 흡입하는 행정과 액실(9)내의 액체를 토출구(19)로부터 토출하는 행정을 번갈아 실시하도록 되어 있는 왕복운동펌프로 이루어지는 유체기기이며, 상기 흡입구(18)의 액실(9)을 향하는 출구부(18a)가 상기 액실(9)내의, 상기 축선방향과는 다른 방향에 있는 내주벽(9a)을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있고, 상기 흡입구(18)의 입구부측에 2액 이상의 각 액체의 공급관(5A, 5B)이 합류하도록 배관접속되어 있는 것이다.
이 경우에 있어서, 상기와 같이 흡입구(18)의 입구부측에 2액 이상의 각 액체의 공급관(5A, 5B)을 합류하도록 배관접속한다는 펌프로의 2액 이상의 공급수단에 대신하여, 도 7에 예시하는 바와 같이 펌프본체(1)에 2액 이상의 각 액체의 유입로(5)를 개별로 설치하고, 각 유입로(5)의 출구측을 상기 흡입구(18)의 입구측에서 합류하도록 해당 입구측에 연통형성해도 좋다.
상기 흡입구(18)의 출구부(18a)는 펌프본체(1)의 액실(9)을 향하는 내벽(4a)으로부터 액실(9)내로 돌출하도록 고정된 흡입용 역행방지밸브(20)의 돌출선단부의 측면에 설치할 수 있다.
이와 같이 구성된 유체기기에 따르면, 흡입구(18)의 출구부(18a)가 액실(9)내의 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 2액 이상의 흡입액을 분출하도록 개구되어 있기 때문에 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 분출하는 2액 이상의 흡입액은 액실(9)의 내주를 따라서 선회하고, 이 선회작용에 의해 2액 이상의 흡입액이 교반되는 효과를 발휘한다. 따라서 펌프에 따로 따로 공급되어 오는 2종류 이상의 액체도 액실(9)내에서 균일하게 교반혼합되게 된다.
또 본 발명에 관련되는 유체기기는 도 5에 예시하는 바와 같이 어큐뮬레이터본체(25)의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막(29)이 이것의 내측에 종류가 다른 2액 이상의 액체가 유입하는 액실(31)을, 외측에 공기실(32)을 각각 형성하도록 구비되는 동시에, 어큐뮬레이터본체(25)의 액실(31)을 향하는 내벽(28a)에 유입구(23) 및 유출구(24)가 설치되어 있으며, 상기 액실(31)내의 액압에 대하여 공기실(32)내의 공기압에 의해서 밸런스하도록 되어 있는 어큐뮬레이터로 이루어지는 유체기기이며, 상기 유입구(23)의 액실(31)을 향하는 출구부(23a)가 상기 액실(31)내의, 상기 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있고, 상기 유입구(23)의 입구부측에 종류가 다른 2액 이상의 각 액체의 공급관(5A, 5B)이 합류하도록 배관접속되어 있는 것이다.
이 경우에 있어서, 상기와 같이 유입구(23)의 입구부측에 2액 이상의 각 액체의 공급관(5A, 5B)을 합류하도록 배관접속한다는 어큐뮬레이터로의 2액 이상의 공급수단에 대신하여, 어큐뮬레이터본체(25)에 2액 이상의 각 액체의 유입로(33)를 개별로 설치하고, 각 유입로(33)의 출구측을 상기 흡입구의 입구측에서 합류하도록 해당 입구측에 연통형성해도 좋다.
상기 유입구(23)의 출구부(23a)는 어큐뮬레이터본체(25)의 액실(31)을 향하는 내벽으로부터 액실(31)내로 돌출하도록 고정된 토출용 역행방지밸브(21)의 돌출선단부의 측면에 설치할 수 있다.
이와 같이 유입구(23)의 출구부(23a)가 액실(31)내의 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 2액 이상의 유입액을 분출하도록 개구되어 있으면 유입구(23)의 출구부(23a)로부터 분출하는 2액 이상의 유입액은 액실(31)의 내주를 따라서 선회하고, 이 선회작용에 의해 2액 이상의 흡입액이 교반되는 효과를 발휘한다. 따라서 어큐뮬레이터에 따로 따로 공급되어 오는 2종류 이상의 액체도 액실내에서 균일하게 교반혼합되게 된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 왕복운동펌프의 종단정면도.
도 2는 도 1에 나타내는 왕복운동펌프의 흡입행정에서의 액의 흐름상태를 나타내는 단면도.
도 3은 도 1에 나타내는 왕복운동펌프의 토출행정에서의 액의 흐름상태를 나타내는 단면도.
도 4는 도 3에 있어서의 H-H선단면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예의 왕복운동펌프와 어큐뮬레이터의 종단정면도.
도 6은 도 5에 나타내는 어큐뮬레이터의 압력자동조정기구의 확대종단정면도.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예의 왕복운동펌프를 도 4에 대응하여 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명의 제 4 실시예의 왕복운동펌프의 주요부종단정면도.
도 9는 어큐뮬레이터의 압력자동조정기구의 다른 변형예를 나타내는 확대종단정면도.
도 10은 도 9에 나타내는 압력자동조정기구의 평면도.
도 11은 도 10에 있어서의 F-F선단면도.
도 12는 도 9에 나타내는 압력자동조정기구의 급기밸브의 단면도.
도 13은 도 9에 나타내는 압력자동조정기구의 배기밸브의 단면도.
도 14는 도 9에 있어서의 G-G선단면도.
도 15A는 어큐뮬레이터의 벨로즈내의 유체압이 상승했을 때의 압력자동조정기구의 급기밸브 및 배기밸브의 작동도.
도 15B는 어큐뮬레이터의 벨로즈내의 유체압이 상승했을 때의 압력자동조정기구의 가이드샤프트 및 가이드슬리브의 작동도.
도 16A는 어큐뮬레이터의 벨로즈내의 유체압이 저하했을 때의 압력자동조정기구의 급기밸브 및 배기밸브의 작동도.
도 16B는 어큐뮬레이터의 벨로즈내의 유체압이 저하했을 때의 압력자동조정기구의 가이드샤프트 및 가이드슬리브의 작동도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 펌프본체 4a: 내벽
5, 33: 유입로 5A, 5B: 공급관
7, 29: 격막 9, 31: 액실
9a: 원주벽 10, 32: 공기실
18: 흡입구 18a: 출구부
19: 토출구 20: 흡입용 역행방지밸브
21: 토출용 역행방지밸브 23: 유입구
24: 유출구 25: 어큐뮬레이터본체
A: 어큐뮬레이터 P: 왕복운동펌프
도 1은 본 발명에 관련되는 유체기기로서 왕복운동펌프에 적용한 경우의 한 실시예를 나타낸다.
도 1에 있어서, 왕복운동펌프의 펌프본체(1)는 상단이 상벽(2)에서 막힌 원통상의 케이싱(3)과, 이 케이싱(3)의 개방하단을 기밀상으로 막는 저벽체(4)를 갖고 이루어진다. 그 저벽체(4)에 액체의 유입로(5) 및 유출로(6)가 형성되어 있다. 유입로(5)의 입구부(5a)측에는 종류가 다른 2액 이상의 각 액체의 공급관(5A, 5B, …)이 합류하도록 배관접속되어 있다.
케이싱(3)내에는 그 축선(B)방향을 따라서 신축변형 가능한 유저(有底)원통상의 벨로즈로 이루어지는 격막(7)이 축선(B)을 세로로 하여 설치되어 있다. 이 격막(7)은 내열성, 내약품성이 우수한 PTFE(폴리4불화에틸렌), PFA(퍼플로로알콕시) 등의 불소수지로 성형되고, 그 하단개구둘레틀부(7a)를 환상 고정판(8)에 의해 저벽체(4)의 상측면에 기밀상으로 누름고정함으로써 펌프본체(1)의 내부공간이 격막(7) 내측의 액실(9)과 격막(7) 외측의 공기실(10)로 격리된다.
펌프본체(1)에는 격막(7)을 구동신축운동시키는 왕복구동장치(22)가 구비된다. 이 왕복구동장치(22)는 펌프본체(1)의 상벽(2)의 상면측에 실린더(11)를 이것의 축선이 격막(7)의 축선(B)과 일치하도록 형성하고, 실린더(11)내를 왕복운동하는 피스톤(12)을 상벽(2)을 관통하는 피스톤로드(13)로 격막(7)의 폐쇄상단부(7b)의 중앙부와 연결하고 있다. 그리고 압축기 등의 가압공기공급장치(도시 생략)로부터 송급되는 가압공기가 실린더(11) 및 상벽(2)에 각각 형성한 공기구멍(14, 15)을 통하여 실린더(11)의 내부와 공기실(10)에 번갈아 공급되도록 되어 있다. 즉 실린더(11)에는 근접센서(16a, 16b)가 부착되는 한편 피스톤(12)에 센서감지부재(17)가 부착되고, 피스톤(12)의 왕복운동에 동반하여센서감지부재(17)가 근접센서(16a, 16b)에 번갈아 근접함으로써 가압공기공급장치로부터 송급되는 가압공기의 실린더(11)내로의 공급과 공기실(10)로의 공급이 자동적으로 번갈아 전환되도록 구성하고 있다. 이 피스톤(12)의 왕복운동에 동반하여 격막(7)이 구동신축운동한다.
펌프본체(1)의 저벽체(4)의 액실(9)을 향하는 내벽(4a)에는 흡입구(18) 및 토출구(19)가 각각 설치된다. 흡입구(18)는 상기 유입로(5)의 출구측에, 토출구(19)는 상기 유출로(6)의 입구측에 각각 연통하도록 설치된다. 흡입구(18)에는 흡입용 역행방지밸브(20)가, 유출로(6)의 출구단에는 토출용 역행방지밸브(21)가 각각 설치되어 있다.
그리고 상기 흡입구(18)의 출구부(18a)는 액실(9)내의, 축선(B)방향과는 다른 방향에 있는 원주벽(9a), 즉 도시예에서는 벨로즈로 이루어지는 격막(7)의 내주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구된다.
구체적으로는 흡입구(18)의 출구부(18a)는 내벽(4a)으로부터 액실(9)내로 돌출하도록 저벽체(4)에 고정된 흡입용 역행방지밸브(20)의 돌출선단부의 측면에 개구되어 있다. 즉 흡입용 역행방지밸브(20)는 통상의 밸브케이싱(201)과 상하의 볼밸브체(202a, 202b)로 이루어지고, 밸브케이싱(201)은 이것의 축선(D)을 세로로 하여 유입로(5)의 출구측과 연통하도록 저벽체(4)에 고정되어 있다.
이렇게 하여 상기 흡입구(18)의 출구부(18a)가 밸브케이싱(201) 상단의 측면에 개구되어 있다. 그런 경우에는 밸브케이싱(201)내의 상하의 밸브시트(211, 213)에 상하의 볼밸브체(202a, 202b)가 자중에 의해 밀착하여 유입로(5)로부터의액체의 역류를 방지한다. 액체의 흡입시에는 볼밸브체(202a, 202b)가 밸브시트(211, 213)로부터 각각 윗쪽으로 떨어져서 밸브를 열고, 유입로(5)로부터의 액체가 밸브케이싱(201)의 내주와 볼밸브체(202a, 202b)의 사이를 지나서 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 액실(9)내의 원주벽(9a)을 향하여 분출된다.
이 때 흡입구(18)의 출구부(18a)는 흡입액을 액실(9)내의, 축선(B)방향과는 다른 방향에 있는 원주벽(9a)을 향하여 분출하도록 개구되어 있기 때문에 해당 출구부(18a)로부터 분출되는 액체는 도 2, 도 3 및 도 4에 그 흐름방향을 화살표 S로 나타내는 바와 같이 액실(9)내의 원주벽(9a)을 따라서 선회하고, 이 선회작용에 의해 액실(9)내에서 균일하게 교반혼합된다. 도 2는 격막(7)을 신장시켜서 액체를 흡입하는 행정의 상태를, 도 3은 격막(7)을 수축시켜서 액체를 토출하는 행정의 상태를 나타내고 있으며, 도 4는 도 2에 있어서의 H-H선단면도이다. 또한 도 2 및 도 3에서는 흡입용 역행방지밸브(20)로서 밸브케이싱(201)내에 볼밸브체(202)를 1개만 구비하는 것이 나타내어져 있다.
덧붙여서 종래의 이 종류의 펌프의 흡입구(18)의 출구부는 흡입용 역행방지밸브(20)의 돌출선단부의 단면(20a)에 개구되고, 격막(7)의 축선(B)방향(왕복운동방향)과 평행한 방향으로 흡입액을 액실(9)내로 분출하도록 개구되어 있다. 이 때문에 흡입구(18)의 출구부로부터의 분출액은 격막(7)의 폐쇄상단부(7b)에 닿은 후 그대로 토출구(19)를 향하여 유출하기 때문에 액실(9)내에서는 교반작용을 얻기 어려워서 충분히 혼합할 수 없었다.
다음으로 상기 구성의 왕복운동펌프의 동작에 대하여 설명한다.
지금 압축기 등의 가압공기공급장치(도시 생략)로부터 가압공기를 실린더(11)의 내부에 공기구멍(14)을 통하여 공급하면 피스톤(12)은 도 1의 x방향으로 상승하고, 격막(7)이 동일방향으로 신장동작함으로써 공급관(5A, 5B)으로부터 따로 따로 유입로(5)에 들어 오는 종류가 다른 2종류 이상의 액체를 흡입용 역행방지밸브(20)를 거쳐서 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 액실(9)내의 원주벽(9a)을 향하여 분출한다. 이 때 상기와 같이 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 분출하는 흡입액은 액실(9)내의 원주벽(9a)을 따라서 선회류를 일으키고, 이 선회작용에 의해 액실(9)내에서 교반된다. 따라서 공급관(5A, 5B)으로부터 따로 따로 유입로(5)에 들어 오는 2종류 이상의 액체도 액실(9)내에서 균일하고 신속하게 교반혼합되게 된다.
상기 가압공기를 공기실(10)내에 공기구멍(15)을 통하여 공급해서 공기구멍(14)으로부터 배기하면 피스톤(12)은 도 1의 y방향으로 하강하고, 격막(7)이 동일방향으로 수축동작하여 액실(9)내의 혼합액을 선회시켜서 다시 교반하면서 토출구(19)로부터 토출한다. 이와 같이 실린더(11)내의 피스톤(12)의 왕복운동에 의하여 격막(7)이 신축왕복운동함으로써 흡입구(18)로부터의 흡입행정과 토출구(19)로의 토출행정을 번갈아 반복하여 소정의 왕복운동펌프작용이 실시된다.
도 5는 본 발명에 관련되는 유체기기로서 왕복운동펌프(P)의 맥동을 감소하는 어큐뮬레이터(A)에 적용한 경우의 실시예를 나타낸다.
왕복운동펌프(P) 자체에 대해서는 도 1의 왕복운동펌프의 구조와 대략 똑같기 때문에 동일부재에 동일부호를 붙임으로써 그 설명을 생략한다.
어큐뮬레이터(A)의 어큐뮬레이터본체(25)는 상단이 상벽(26)으로 막힌 원통상의 케이싱(27)과, 이 케이싱(27)의 개방하단을 기밀상으로 막는 저벽체(28)를 갖고 이루어진다.
케이싱(27)내에 그 축선(C)방향을 따라서 신축변형 가능한 유저원통상의 벨로즈로 이루어지는 격막(29)이 축선(C)을 세로로 하여 설치되어 있다. 이 격막(29)의 하단개구부둘레틀부(29a)는 환상 고정판(30)에 의해 저벽체(28)의 상측면에 기밀상으로 누름고정함으로써 어큐뮬레이터본체(25)의 내부공간이 격막(29) 내측의 액실(31)과 격막(29) 외측의 공기실(32)로 격리된다.
어큐뮬레이터본체(25)의 저벽체(28)에는 액체의 유입로(33) 및 유출로(34)가 형성된다. 저벽체(28)의 액실(31)을 향하는 내벽(28a)에는 유입구(23) 및 유출구(24)가 각각 유입로(33)의 출구측 및 유출로(34)의 입구측에 연통하도록 설치되어 있다. 유입로(33)의 입구측은 상기 왕복운동펌프(P)의 유출로(6)의 출구측에 이음매(65)를 통하여 연통상으로 배관접속된다.
그리고 상기 유입구(23)의 출구부(23a)는 액실(31)내의, 축선(C)방향과는 다른 방향에 있는 원주벽(31a), 즉 도시예에서는 벨로즈로 이루어지는 격막(29)의 내주벽을 향하여 유입액을 분출하도록 개구된다.
구체적으로는 유입구(23)의 출구부(23a)는 내벽(28a)으로부터 액실(31)내로 돌출하도록 저벽체(28)에 고정된 토출용 역행방지밸브(21)의 돌출선단부의 측면에 개구되어 있다. 즉 토출용 역행방지밸브(21)는 상기 흡입용 역행방지밸브(20)의 구조와 같은 구조를 갖는 것이다. 토출용 역행방지밸브(21)는 통상의밸브케이싱(220)과 상하의 볼밸브체(221a, 221b)로 이루어지고, 밸브케이싱(220)은 이것의 축선(G)을 세로로 하여 저벽체(28)에 고정되어 있다.
이렇게 하여 상기 유입구(23)의 출구부(23a)가 밸브케이싱(220) 상단의 측면에 개구되어 있다. 그런 경우에는 밸브케이싱(221a)내의 상하의 밸브시트(230, 232)에 상하의 볼밸브체(221a, 221b)가 자중에 의해 밀착하여 왕복운동펌프(P)의 유출로(6)로부터의 혼합액의 역류를 방지한다. 혼합액의 액실(31)로의 토출시에는 볼밸브체(221a, 221b)가 밸브시트(230, 232)로부터 각각 윗쪽으로 떨어져서 밸브를 열고, 왕복운동펌프(P)로부터의 혼합액이 밸브케이싱(220)의 내주와 볼밸브체(221a, 221b)의 사이를 지나서 밸브케이싱(220)의 유입구(23)의 출구부(23a)로부터 액실(31)내의 원주벽(31a)을 향하여 분출된다.
이 때 유입구(23)의 출구부(23a)는 유입액을 액실(31)내의, 축선(C)방향과는 다른 방향에 있는 원주벽(31a)을 향하여 분출하도록 개구되어 있기 때문에 유입구(23)로부터 분출되는 혼합액은 액실(31)내의 원주벽(31a)을 따라서 선회하고, 이 선회에 의해 액실(31)내에서 다시 교반된다.
도 6에 나타내는 바와 같이 어큐뮬레이터(A)의 상기 케이싱(27)의 상벽(26)의 외면중앙부근에는 공기출입구(35)를 형성하고, 이 공기출입구(35)내에 플랜지(36)부착의 밸브케이스(37)를 끼워맞추는 동시에, 플랜지(36)를 상벽(26)의 외측에 볼트(38) 등으로 착탈 가능하게 체결고정하고 있다.
밸브케이스(37)에는 급기구(39)와 배기구(40)를 평행하게 나란히 형성하고 있다. 급기구(39)에는 상기 액실(31)의 용량이 소정 범위를 넘어서 증대했을 때상기 공기실(32)내로 이송액의 최대압력값 이상의 압력의 공기를 공급하여 공기실(32)내의 밀봉압을 상승시키는 자동급기밸브기구(41)가 설치된다. 배기구(40)에는 액실(31)의 용량이 소정 범위를 넘어서 감소했을 때 공기실(32)내로부터 배기하여 해당 공기실(32)내의 밀봉압을 하강시키는 자동배기밸브기구(42)가 설치된다.
다음으로 상기 구성의 왕복운동펌프(P) 및 어큐뮬레이터(A)의 동작에 대하여 설명한다.
지금 압축기 등의 가압공기공급장치(도시 생략)로부터 가압공기를 실린더(11)의 내부에 공기구멍(14)을 통하여 공급하면 피스톤(12)은 도 1의 x방향으로 상승하고, 격막(7)이 동일방향으로 신장동작함으로써 공급관(5A, 5B)으로부터 따로 따로 유입로(5)에 들어 오는 종류가 다른 2종류 이상의 액체를 흡입용 역행방지밸브(20)를 거쳐서 흡입구(5)의 출구부(18a)로부터 액실(9)내의 원주벽(9a)을 향하여 분출한다. 이 때 흡입구(18)의 출구부(18a)로부터 분출하는 흡입액은 액실(9)내의 원주벽(9a)을 따라서 선회류를 일으키고, 이 선회에 의해 액실(9)내에서 교반되기 때문에 공급관(5A, 5B)으로부터 따로 따로 유입로(5)에 들어 오는 2종류 이상의 액체도 액실(9)내에서 균일하고 신속하게 교반혼합되게 된다.
상기 가압공기를 공기실(10)내에 공기구멍(15)을 통하여 공급해서 공기구멍(14)으로부터 배기하면 피스톤(12)은 도 1의 y방향으로 하강하고, 격막(7)이 동일방향으로 수축동작하여 액실(9)내의 혼합액을 선회시켜서 다시 교반하면서 토출구(19)로부터 토출한다. 이와 같이 실린더(11)내의 피스톤(12)의 왕복운동에의하여 격막(7)이 신축왕복운동함으로써 흡입구(18)로부터의 흡입행정과 토출구(19)로의 토출행정을 번갈아 반복하여 소정의 왕복운동펌프작용이 실시된다. 이와 같은 왕복운동펌프(P)의 작동에 의해 혼합액이 소정의 부위를 향하여 송급되면 왕복운동펌프토출압은 산부(山部)와 곡부(谷部)의 반복에 의한 맥동을 발생시킨다.
여기에서 왕복운동펌프(P)에 있어서의 액실(9)내로부터 토출구(19), 유출로(6)를 거쳐서 토출되는 혼합액은 어큐뮬레이터(A)의 유입로(33)를 거쳐서 토출용 역행방지밸브(21)의 유입구(23)의 출구부(23a)로부터 액실(31)내의 원주벽(31a)을 향하여 분출되고, 이 액실(31)에 일시적으로 저류된 후 유출구(24)로부터 유출로(34)로 유출된다. 이 때 이송혼합액의 토출압이 토출압곡선의 산부에 있는 경우 이송혼합액은 액실(31)의 용량을 증대하도록 격막(29)을 신장변형시키기 때문에 그 압력이 흡수된다. 이 때 액실(31)로부터 유출되는 이송혼합액의 유량은 왕복운동펌프(P)로부터 송급되어 오는 유량보다도 적어진다.
상기와 같이 유입구(23)의 출구부(23a)로부터의 이송혼합액은 액실(31)내의 원주벽(31a)을 향하여 분출되기 때문에 이 혼합액은 액실(31)내의 원주벽(31a)을 따라서 선회류를 일으키고, 이 선회에 의해 액실(31)내에서 다시 교반된다. 따라서 왕복운동펌프(P)의 유출로(6)로부터의 이송혼합액은 액실(31)내에서 더욱 균일하게 교반혼합되어 순환되게 된다.
또 상기 이송혼합액의 토출압이 토출압곡선의 곡부에 다다르면 어큐뮬레이터(A)의 격막(29)의 신장변형에 동반하여 압축된 공기실(32)내의 밀봉압보다도 이송혼합액의 압력이 낮아지기 때문에 격막(29)은 수축변형한다. 이 때 왕복운동펌프(P)로부터 액실(31)내로 유입하는 이송혼합액의 유량보다도 액실(31)로부터 유출하는 유량이 많아진다. 이 반복동작, 즉 액실(31)의 용량변화에 의해서 상기 맥동이 흡수되어 저감되게 된다.
한편 왕복운동펌프(P)로부터의 토출압이 하강변동하면 이송혼합액에 의해서 액실(31)의 용량이 감소하여 격막(29)이 크게 수축변형하게 된다. 이 격막(29)의 수축변형량이 소정 범위(F)를 넘으면 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 수축방향(b)으로의 이동에 동반하여 자동배기밸브기구(42)의 슬라이더(56)가 열림용 스프링(58)의 탄성지지작용에 의해 격막(29)의 수축방향(b)으로 이동하고, 슬라이더(56)의 폐쇄단부(56a)의 내면이 배기밸브막대(53)의 플랜지부(52)에 걸어맞추어진다. 이에 따라서 배기밸브막대(53)가 b방향으로 이동하여 배기밸브체(51)가 배기구(40)를 열기 때문에 공기실(32)내의 밀봉공기가 배기구(40)로부터 대기 중으로 배출되어 공기실(32)내의 밀봉압이 저하한다. 따라서 격막(29)의 스트로크(F)를 넘어서의 수축변형량이 규제되어 액실(31)의 용량이 과도하게 감소하는 것이 억제된다. 그리고 공기실(32)내의 밀봉압의 감소에 동반하여 격막(29)이 기준위치(S)를 향해서 신장하기 때문에 슬라이더(56)가 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)에서 눌려서 a방향으로 이동하면서 열림용 스프링(58)을 압축시키고, 배기밸브체(51)가 닫힘용 스프링(57)의 탄성지지작용으로 다시 배기구(40)를 닫는다. 이에 따라서 공기실(32)내의 밀봉압이 조정상태로 고정된다. 그 결과 왕복운동펌프(P)의 액실(9)로부터의 토출압의 변동에 관계 없이 맥동을 효율적으로 흡수하여 맥동폭이 작게 억제되게 된다.
도 7은 또 다른 실시예를 나타내고 있으며, 이 실시예에서는 펌프본체(1)에 종류가 다른 2액 이상의 각 액체의 유입로(5)를 개별로 설치하고, 각 유입로(5)의 출구측은 단일한 흡입구(18)의 입구측에서 합류하도록 해당 입구측에 연통형성하고, 각 유입로(5)의 입구측에 각 액체의 공급관(5A, 5B)을 각각 접속하도록 되어 있으며, 이 점이 도 1∼도 4에 나타내는 실시예와 같이 단일한 유입로(5)의 입구측에 대하여 각 액체의 공급관(5A, 5B)을 합류하도록 접속배관한 것과는 달라 있으며, 그 이외의 구성은 제 1 실시예의 것과 똑같기 때문에 동일부재에 동일부호를 붙임으로써 그 설명을 생략한다.
도 5의 어큐뮬레이터(A)에서는 왕복운동펌프(P)를 통하여 복수종류액체의 공급관(5A, 5B)을 유입로(33)의 입구측에 합류하기 위해 배관접속하고 있는데, 이에 대신하여 어큐뮬레이터본체(25)의 유입로(33)의 입구측에 직접 복수종류액체의 공급관(5A, 5B)을 합류하기 위해 배관접속하는 경우도 있다.
각 실시예에서는 왕복운동펌프(P)에 있어서 흡입구(18)의 출구부(18a)가 흡입용 역행방지밸브(20)의 돌출선단부의 측면에 형성되어 있는데, 도 8에 나타내는 바와 같이 흡입구(18)의 출구부(18a)는 펌프본체(1)의 내벽(4a) 자체에 액실(9)내의 원주벽(9a)을 향하여 액을 분출하도록 경사윗방향으로 개구하는 것이어도 좋다. 또 어큐뮬레이터(A)에 있어서도 유출구(24)의 출구부(23a)는 토출용 역행방지밸브(21)의 돌출선단부의 측면에 형성하는 것에 대신하여 어큐뮬레이터본체(25)의 내벽(28a) 자체에 액실(31)내의 원주벽(31a)을 향하여 액을 분출하도록 경사윗방향으로 개구하는 것이어도 좋다.
상기 실시예의 어큐뮬레이터(A)에서는 공기실(32)에 자동급기밸브기구(41) 및 자동배기밸브기구(42)로 이루어지는 압력자동조정기구를 부착하고 있는데, 이 압력자동조정기구로서는 도 9∼도 16에 나타내는 바와 같은 구성의 것을 채용할 수도 있다.
즉 압력자동조정기구는 도 9에 나타내는 바와 같이 어큐뮬레이터(A)의 케이싱(27)의 상벽(26)의 중앙부근에 개구(35)를 형성하고, 이 개구(35)내에 급배기밸브내장의 밸브케이스(37)를 끼워맞추는 동시에, 이 밸브케이스(37)의 후단외주에 부착한 플랜지(36)를 상벽(26)에 볼트 등으로 착탈 가능하게 체결고정하고, 한편 격막(29)의 공기실(32)에 면하는 폐쇄상단부(29b)의 중심부에는 급배기밸브제어판체(70)를 상기 밸브케이스(37)와 대향하도록 맞닿음배치한다.
도 10에 나타내는 바와 같이 밸브케이스(37)의 전단면에는 급기구(39)와 배기구(40)를 나란히 형성하고 있다. 급기구(39)에는 상기 액실(31)의 용량이 소정 범위를 넘어서 증대했을 때 상기 공기실(32)내로 이송액의 최대압력값 이상의 압력의 공기를 공급하여 해당 공기실(32)내의 밀봉압을 상승시키는 자동급기밸브기구(41)가 설치된다. 배기구(40)에는 액실(31)의 용량이 소정 범위를 넘어서 감소했을 때 공기실(32)내로부터 배기하여 해당 공기실(32)내의 밀봉압을 하강시키는 자동배기밸브기구(42)가 설치된다.
자동급기밸브기구(41)는 도 9에 나타내는 바와 같이 밸브케이스(37)의 후단면에 암나사구멍부(171)를 급기구(39)와 연통하도록 형성하고, 이 암나사구멍부(171)에 급기밸브체(44) 및 이것과 일체의 밸브막대(49)를 홀딩하는급기밸브홀더(172)를 O링(73)을 통하여 비틀어넣음고정하고 있다. 급기밸브홀더(172)는 암나사구멍부(171)에 비틀어 넣어지는 전측단부에 급기밸브실(43)을 형성하는 동시에, 급기밸브실(43)의 내저(內底)에 밸브시트(46)를 형성하고, 뒷측단부에는 밸브막대끼워통함구멍(74)을 급기밸브실(43)과 동축심상에서 연통하도록 형성하고 있다. 또한 급기밸브홀더(172)의 뒷측단부의 외주에는 급기밸브실(43)과 공기실(32)을 밸브막대끼워통함구멍(74)을 통하여 연통시키는 연통구멍(75)을 복수개 설치하고 있다. 이와 같이 연통구멍(75)을 설치함으로써 공기실(32)의 압력변화에 대한 응답성을 향상할 수 있다.
급기밸브홀더(172)는 급기밸브실(43)에 급기밸브(36)를 그 축선방향을 따라서 이동 자유롭게 내장하는 동시에 밸브막대끼워통함구멍(74)에 밸브막대(49)를 끼워통하고 있다. 밸브막대(49)의 후단부는 급기밸브홀더(172)의 후방으로 돌출시키고 있다. 밸브막대끼워통함구멍(74)은 밸브막대(49)의 외경보다도 큰 내경으로 밸브막대(49)와의 사이에 연통간격을 형성하는 직경이 큰 구멍부(74a)와 밸브막대(49)의 외경보다 약간 크고 밸브막대(49)와 거의 간격 없이 서로 스치는 안내구멍부(74b)를 갖는 단부착상으로 형성되어 있다. 급기밸브체(44)는 이것의 밸브막대(49)가 안내구멍부(74b)에서 슬라이딩안내됨으로써 급기밸브실(43)내를 그 축선방향으로 곧바로 이동할 수 있다.
급기밸브실(43)내에서 급기밸브체(44)가 스프링(45)에 의해 항상 밸브시트(46)에 밀착하는 닫힘위치가 되도록 탄성지지되어 있다. 급기밸브체(44)는 밸브시트(46)에 대하여 O링(76)을 통해서 기밀상으로 접촉한다. 그 O링(76)은도 12에 나타내는 바와 같이 급기밸브체(44)의 후단면의 모서리부에 형성한 원호홈(77)에 끼워 넣어지는 것으로 어긋남방지상으로 장착되어 있다.
상기 격막(29)이 기준위치에 있는 상태에 있어서, 배기밸브체(51)는 배기구(40)를 닫는 동시에 배기밸브막대(53) 후단의 플랜지(53a)는 슬리브(84)의 폐쇄단부(84a)의 내면으로부터 소정 스트로크만큼 이간하고 있다.
한편 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 중심부에 맞닿음배치되는 급배기밸브제어판체(70)는 원판형상으로 형성하고, 그 전면에 급기밸브막대눌러내림부(85)를 오목설치하는 동시에, 배기밸브막대견인부(86)를 구성하는 슬리브(84)를 급기밸브막대눌러내림부(85)에 나란히 끼워맞춤고정하고 있다. 슬리브(84)의 전단부에는 상기 배기밸브막대(53)의 외경보다 약간 크고 해당 밸브막대(53)와 거의 간격 없이 서로 스치는 안내구멍부(84a)를 형성하고, 이 안내구멍부(84a)에 상기 배기밸브막대(53)의 플랜지(53a)부착의 후단부를 슬라이딩 자유롭고, 또한 빠짐방지상으로 끼워통하여 연결한다. 배기밸브막대(53)는 안내구멍부(84a)에서 슬라이딩안내됨으로써 그 축선방향으로 곧바로 이동할 수 있다. 또한 슬리브(84)는 급배기밸브제어판체(70)에 일체로 형성할 수도 있다.
이 급배기밸브제어판체(70)의 급기밸브막대눌러내림부(85)와 급기밸브홀더(172)의 후단부의 사이 및 슬리브(84)와 배기밸브막대홀더(79)의 후단면의 사이에는 각각 압축코일스프링으로 이루어지는 스프링(87)이 급기밸브막대(49) 및 배기밸브막대(53)의 각각의 외주를 둘러싸도록 개재되고, 이 스프링(87, 87)에 의해 급배기밸브제어판체(70)가 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의중심부를 향하여 누름탄성지지되어 있다.
또 도 11에 나타내는 바와 같이 급배기밸브제어판체(70)와 밸브케이스(37)는 격막(29)의 신축방향과 평행한 1개, 보다 바람직하게는 복수개의 가이드샤프트(88)로 연결한다. 가이드샤프트(88)는 이것의 전단부를 밸브케이스(37)의 후단면에 와셔(89a)를 통하여 너트(89)로 조임고정하고, 플랜지(88a)부착 후단부를 급배기밸브제어판체(70)의 전단면에 매설고정한 가이드슬리브(90)에 빠짐고정상으로, 또한 그 축선방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워통하여 연결한다. 가이드슬리브(90)의 전단부에는 가이드샤프트(88)와 거의 간격 없이 서로 스치는 안내구멍부(90a)를 형성하고, 이 안내구멍부(90a)에 가이드샤프트(88)의 후단부를 끼워통함으로써 급배기밸브제어판체(70)는 가이드샤프트(88)의 안내하에서 격막(29)의 신축방향과 평행하게 곧바로 이동할 수 있다.
또한 가이드슬리브(90)는 급배기밸브제어판체(70)에 일체로 형성할 수도 있다.
다음으로 상기 구성의 자동급배기밸브기구(41, 42)의 작동에 대하여 설명한다.
상기 왕복운동펌프(P)로부터의 토출압이 상승변동하면 이송액에 의하여 액실(31)의 용량이 증대하고, 액실(31)내의 유체압력이 공기실(32)내의 압력을 극복하여 격막(29)이 신장변형한다. 이 격막(29)의 신장변형에 동반하여 도 15A, 도 15B에 나타내는 바와 같이 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 중심부에서 급배기밸브제어판체(70)를 밸브케이스(37)의 방향으로 민다. 이에 따라 그때까지 스프링(45)으로 폐(閉)상태에 있었던 급기밸브체(44)는 급배기밸브제어판체(70)의 급기밸브막대눌러내림부(85)에서 급기밸브막대(49)의 후단부가 눌러짐으로써 개(開)상태로 되고, 압축공기가 급기구(39)를 통하여 공기실(32)내로 공급되어 공기실(32)내의 밀봉압이 상승한다. 그리고 공기실(32)내의 밀봉압의 상승에 동반하여 격막(29)이 수축한다. 그러면 급배기밸브제어판체(70)의 급기밸브막대눌러내림부(85)가 급기밸브막대(49)의 후단부를 누르지 않게 되어 스프링(45), 공기실(32)내의 압축공기압에 의해서 급기밸브체(44)가 폐상태로 되고, 액실(31)내의 유체압과 균형을 맞춘다. 또한 격막(29)이 소정의 스트로크 이상으로 신장하면 그 폐쇄상단부(29b)가 어큐뮬레이터(A)의 케이싱(27)의 공기실(32)내로 튀어나온 스토퍼벽(29a)에 닿고, 이에 따라 격막(29)의 과잉에 신장변형이 규제되어, 그 파손을 방지할 수 있다.
한편 왕복운동펌프(P)로부터의 토출압이 하강변동하면 이송액에 의하여 액실(31)의 용량이 감소하고, 공기실(32)내의 압력이 액실(31)내의 유체압력을 극복하여 격막(29)이 수축변형한다. 이 격막(29)의 수축변형에 동반하여, 도 16A, 도 16B에 나타내는 바와 같이 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 수축방향으로의 이동에 동반하여 급배기밸브제어판체(70)는 스프링(87)에 의한 탄성지지력을 받으면서 동일방향으로 이동하고, 급배기밸브제어판체(70)의 배기밸브막대견인부(86)와 연결하고 있는 배기밸브막대(53)가 동일방향으로 견인되고, 배기밸브체(51)가 개상태로 되기 때문에 공기실(32)내의 압축공기를 배기구(40)로부터 대기 중으로 배출하여 공기실(32)내의 밀봉압이 저하한다. 그리고 공기실(32)내의 밀봉압의 감소에 동반하여 격막(29)이 신장한다. 그러면 급배기밸브제어판체(70)가 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 중심부에서 눌리고, 배기밸브체(51)가 스프링(81)의 탄성지지작용으로 배기구(40)를 닫는다. 이에 따라서 공기실(32)내의 밀봉압이 조정상태로 고정된다.
이와 같이 격막(29)내에 유체압력이 가해졌을 때 그 압력과 균형을 맞추기까지 압축공기를 흡입, 배출함으로써 왕복운동펌프(P)로부터의 토출압의 변동에 관계 없이 맥동을 효율적으로 흡수하여 맥동폭이 작게 억제되게 된다.
상기와 같이 밸브케이스(37)내에 분리독립하여 구비된 급기밸브체(44)와 배기밸브체(51)는 격막(29)의 신축에 따라서 급배기밸브제어판체(70)상의 급기밸브막대눌러내림부(85)와 배기밸브막대견인부(86)를 통하여 밸브열림제어된다. 그 급배기밸브제어판체(70)는 격막(29)의 폐쇄상단부(29b)의 중심부에 항상 맞닿음배치되어 있기 때문에 급기밸브체(44)와 배기밸브체(51)가 밸브케이스(37)내에서 분리독립하여 병렬배치되어 있어도 격막(29)에 편하중을 가하는 일은 없고, 격막(29)은 항상 밸브케이스(37)의 축선X-X방향으로 곧바로 신축변형하여 급배기밸브체(44, 51)의 개폐작동의 응답성을 향상해서 맥동저감성능을 확보할 수 있다. 또 가이드샤프트(88)의 가이드작용에 의해 급배기밸브제어판체(70)를 항상 안정되고 확실하게 평행이동시킬 수 있기 때문에 급배기밸브체(44, 51)가 해당 급배기밸브제어판체(70)를 통하여 격막(29)의 신축에 대응하는 개폐작동을 충실히 실시하게 된다.
상기 실시예의 어큐뮬레이터(A)에서는 공기실(32)에 자동급기밸브기구(41) 및 자동배기밸브기구(42)로 이루어지는 압력자동조정기구를 부착하고 있는데, 공기실(32)은 공기출입용의 개구(35)만 있으면 좋고, 압력자동조정기구는 반드시 필요로 하는 것은 아니다. 그 압력조정은 수동으로 실시하는 것이어도 좋다.
각 실시예에서는, 왕복운동펌프(P)의 격막(7) 및 어큐뮬레이터(A)의 격막(290은 각각의 축선(B, C)을 세로(수직)로 하여 설치되어 있는데, 그 밖에 왕복운동펌프(P)의 격막(7) 및 어큐뮬레이터(A)의 격막(29)은 각각의 축선(B, C)을 가로(수평)로 하는 타입의 왕복운동펌프(P)나 어큐뮬레이터(A)에도 똑같이 적용할 수 있는 것은 말할 것도 없다.
또 왕복운동펌프(P)의 흡입용 역행방지밸브(20) 및 토출용 역행방지밸브(21)는 각각 볼탄성지지용 스프링을 이용하지 않고 볼밸브체(202, 221)에 의한 자중폐지기구를 채용하고 있기 때문에 슬러리 등의 침전물질을 포함하는 액을 사용하는 경우도 침전물질이 각각의 역행방지밸브(20, 21)의 내부에 체류하거나 응집하는 것을 방지할 수 있어서 유리한데, 이에 한정되지 않고 볼탄성지지용 스프링을 이용하는 기구의 흡입용 역행방지밸브(20) 및 토출용 역행방지밸브(21)이어도 좋다.
흡입용 역행방지밸브(20) 및 토출용 역행방지밸브(21)는 각각 상기 실시예와 같이 볼밸브체(202, 221)를 상하 2단으로 구비하여 이중폐지구조로 되어 있으면 확실한 이송액의 정량보냄을 보증할 수 있어서 유리하다. 그러나 그와 같은 구조에 한정되는 것은 아니고 단일한 볼밸브체(202, 221)를 구비하는 것이어도 좋다(도 2 참조).
또한 왕복운동펌프(P)의 격막(7), 어큐뮬레이터(A)의 격막(29)은 각각 벨로즈에 한정되지 않고 다이어프램으로 구성되는 것이어도 좋다.
명세서, 청구범위, 도면 및 요약서를 포함하는 2000년 2월 14일자로 출원된 일본 특허출원 제 2000-34838호의 전체공개내용이 참고로 본 명세서에 통합되었다.

Claims (8)

  1. 펌프본체의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막이 펌프본체의 내벽과의 사이에 액실을 형성하도록 구비되는 동시에, 펌프본체의 상기 액실을 향하는 내벽에 흡입구 및 토출구가 설치되어 있으며, 상기 격막의 왕복운동에 의해 상기 흡입구로부터 상기 액실내로 종류가 다른 2액 이상의 액체를 흡입하는 행정과, 상기 액실내의 액체를 토출구로부터 토출하는 행정을 번갈아 실시하도록 되어 있는 왕복운동펌프로 이루어지는 유체기기에 있어서,
    상기 흡입구의 액실을 향하는 출구부가 상기 액실내의, 상기 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있으며,
    상기 흡입구의 입구부측에 2액 이상의 각 액체의 공급관이 합류하도록 배관접속되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  2. 펌프본체의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막이 펌프본체의 내벽과의 사이에 액실을 형성하도록 구비되는 동시에, 펌프본체의 상기 액실을 향하는 내벽에 흡입구 및 토출구가 설치되어 있으며, 상기 격막의 왕복운동에 의해 상기 흡입구로부터 상기 액실내로 종류가 다른 2액 이상의 액체를 흡입하는 행정과, 상기 액실내의 액체를 토출구로부터 토출하는 행정을 번갈아 실시하도록 되어 있는 왕복운동펌프로 이루어지는 유체기기에 있어서,
    상기 흡입구의 액실을 향하는 출구부가 상기 액실내의, 상기 축선방향과는다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있으며,
    펌프본체에 2액 이상의 각 액체의 유입로가 개별로 설치되고, 각 유입로의 출구측이 상기 흡입구의 입구측에서 합류하도록 해당 입구측에 연통형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입구의 액실을 향하는 출구부가 펌프본체의 상기 액실을 향하는 내벽으로부터 액실내로 돌출하도록 고정된 흡입용 역행방지밸브의 돌출선단부의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡입구의 액실을 향하는 출구부가 펌프본체의 상기 액실을 향하는 내벽으로부터 액실내로 돌출하도록 고정된 흡입용 역행방지밸브의 돌출선단부의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  5. 어큐뮬레이터본체의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막이 이것의 내측에 종류가 다른 2액 이상의 액체가 유입하는 액실을, 외측에 공기실을 각각 형성하도록 구비되는 동시에, 어큐뮬레이터본체의 상기 액실을 향하는 내벽에 유입구 및 유출구가 설치되어 있으며, 상기 액실내의 액압에 대하여 공기실내의 공기압에 의해서 균형을 맞추도록 되어 있는 어큐뮬레이터로 이루어지는 유체기기에 있어서,
    상기 유입구의 액실을 향하는 출구부가 상기 액실내의, 상기 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있으며,
    상기 유입구의 입구부측에 종류가 다른 2액 이상의 각 액체의 공급관이 합류하도록 배관접속되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  6. 어큐뮬레이터본체의 내부에, 축선방향으로 왕복운동하는 벨로즈, 다이어프램 등의 격막이 이것의 내측에 종류가 다른 2액 이상의 액체가 유입하는 액실을, 외측에 공기실을 각각 형성하도록 구비되는 동시에, 어큐뮬레이터본체의 상기 액실을 향하는 내벽에 유입구 및 유출구가 설치되어 있으며, 상기 액실내의 액압에 대하여 공기실내의 공기압에 의해서 균형을 맞추도록 되어 있는 어큐뮬레이터로 이루어지는 유체기기에 있어서,
    상기 유입구의 액실을 향하는 출구부가 상기 액실내의, 상기 축선방향과는 다른 방향에 있는 원주벽을 향하여 흡입액을 분출하도록 개구되어 있으며,
    어큐뮬레이터본체에 2액 이상의 각 액체의 유입로가 개별로 설치되고, 각 유입로의 출구측이 상기 유입구의 입구측에서 합류하도록 해당 입구측에 연통형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 유입구의 액실을 향하는 출구부가 어큐뮬레이터본체의 상기 액실을 향하는 내벽으로부터 액실내로 돌출하도록 고정된 토출용 역행방지밸브의 돌출선단부의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 유입구의 액실을 향하는 출구부가 어큐뮬레이터본체의 상기 액실을 향하는 내벽으로부터 액실내로 돌출하도록 고정된 토출용 역행방지밸브의 돌출선단부의 측면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체기기.
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