JP2004225866A - 高圧自動バルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】ボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキンの長寿命化を図る。
【解決手段】ボディ12内に高圧流体を導入する高圧室13を設けると共に、それに連通する入口ポート14及び出口ポート15を設ける。入口ポート14側にシート部16を設けて、ニードル18のヘッド部22によってその入口ポート14を開閉するように構成する。ニードル18が挿通される貫通孔17に合成樹脂(PEEK)製のバックシート部材19を取付け、その穴部19aの開口部の周囲に、ニードル18が開放位置に移動された際にヘッド部22の後部のテーパ面22cが密着するバックシート部25を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】ボディ12内に高圧流体を導入する高圧室13を設けると共に、それに連通する入口ポート14及び出口ポート15を設ける。入口ポート14側にシート部16を設けて、ニードル18のヘッド部22によってその入口ポート14を開閉するように構成する。ニードル18が挿通される貫通孔17に合成樹脂(PEEK)製のバックシート部材19を取付け、その穴部19aの開口部の周囲に、ニードル18が開放位置に移動された際にヘッド部22の後部のテーパ面22cが密着するバックシート部25を設ける。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ニードルの駆動により高圧流体の流通及び流通停止の制御を行う高圧自動バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば高圧とされた超純水を用いて半導体を洗浄する洗浄装置には、高圧流体(超純水)の流通及び流通停止の制御を行うための高圧自動バルブが設けられる。図4及び図5は、この種の従来の高圧自動バルブの構成を示している。即ち、ボディ1には、内部に高圧流体Lが導入される高圧室2が形成され、また、その高圧室2に連通して、図で下方に延びる入口ポート3が設けられると共に、図で左方に延びる出口ポート4が設けられている。このとき、出口ポート4の高圧室2側の開口部には凹状の曲面をなすシート部5が設けられている。
【0003】
一方、ボディ1の高圧室2の図で右側には、図で右方に延びて貫通孔6が設けられ、この貫通孔6には、ニードル7が進退方向(図で左右方向)に移動可能に挿通されている。このニードル7は、丸棒状をなすと共に、その先端に高圧室2内に配置されるヘッド部7aを有しており、図示しない駆動機構(エアピストン等)により、前記ヘッド部7aの先端面が前記シート部5に密着して出口ポート4を閉塞する閉塞位置(図4参照)と、そこから後退して出口ポート4を開放する開放位置(図5参照)との間を移動されるようになっている。
【0004】
また、前記貫通孔6は、図で左端部側が前記ニードル7に対応した(ニードル7が摺動する)内径とされ、その右側に径大部が形成されている。このとき、その径大部内には、その内周面と前記ニードル7との間をシールするためのリング状のパッキン8が、ボディ1にねじ込まれるパッキン押え9により固定された状態で設けられる。この場合、前記パッキン8は、例えば4枚が重ねられた状態で設けられている。
【0005】
これにて、高圧室2内には、入口ポート3を通して常に高圧流体Lが導入され、バルブOFF時には、図4に示すように、ニードル7が閉塞位置に位置されてヘッド部7aが出口ポート4を閉塞し、高圧流体Lの流通が停止される。バルブON時には、図5に示すように、ニードル7が開放位置に位置されて出口ポート4が開放し、高圧流体Lが出口ポート4を通って流通されるようになっている。また、パッキン8により、貫通孔6とニードル7との間の隙間からの高圧流体Lの漏れが防止されるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、バルブOFF時、ON時にかかわらず、常に高圧室2内には高圧流体Lが導入されていて高圧とされているので、パッキン8部には常に高圧がかかり、そのためパッキン8の寿命が短くなる不具合があった。尚、これに伴い、パッキン8の枚数を多く要し、パッキン押え9についても大形で強度の高いものとして、強固にボディ1に取付ける必要があり、コスト面やスペース面での不利を生じていた。
【0007】
また、バルブの使用中に、もしパッキン8が寿命に達するようなことがあると、バルブOFF時、ON時にかかわらず、高圧室2内が高圧に保たれているため、激しい液漏れ(貫通孔6からの高圧流体Lの外部への噴出)が生ずるようになり、二次的なトラブルが発生する虞もあった。
【0008】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキンの長寿命化を図ることができる高圧自動バルブを提供するにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1の高圧自動バルブは、高圧室に高圧流体を導入する入口ポート側にシート部を設けて、ニードルのヘッド部によってその入口ポートを開閉するように構成し、これと共に、ニードルが挿通される貫通孔の高圧室側の開口部部分にバックシート部を設け、ニードルが開放位置に移動された際にヘッド部の後部面がそのバックシート部に密着するように構成したものである。
【0010】
これによれば、バルブOFF時つまりニードルの閉塞位置では、入口ポートが閉塞されて高圧室内に高圧流体が導入されないので、高圧室に圧力がかかることはなく、ひいてはボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキン部分にも高圧がかかることがなくなる。一方、バルブON時つまりニードルの開放位置では、ニードルのヘッド部の後部面が貫通孔の開口部周囲のバックシート部に密着して閉鎖するようになり、以て、高圧室内が高圧となってもパッキン部分に高圧がかかることがなくなる。
【0011】
これにて、バルブOFF時、ON時においては、パッキン部分に高圧が作用することがなくなり、パッキン部分に高圧が作用するのは、開放位置と閉塞位置との間でニードルの位置が切替わる一瞬のみとなる。従って、パッキンの負荷を大幅に軽減することができ、この結果、パッキンの長寿命化を図ることができる。また、バルブの使用中にパッキンが寿命に達するようなことがあっても、液漏れが生ずるのは、上記したニードルの位置が切替わる一瞬のみとなるので、激しく液漏れすることがなくなり、液漏れに伴う大きなトラブルを未然に防止することができる。
【0012】
このとき、上記したバックシート部を、ボディに取付けられた合成樹脂製の部材から構成することができる(請求項2の発明)。この場合、一般に、ニードル(ひいてはヘッド部の後部面)が硬質な金属(例えばステンレス)から構成される事情があっても、バックシート部が比較的軟質であるため、ヘッド部の後部面との間の密着性(シート性)が良くなり、ニードルの開放位置における貫通孔の閉鎖をより確実に行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施例について、図1ないし図3を参照しながら説明する。これら図1〜図3は、本実施例に係る高圧自動バルブ11の要部の構成を示すもので、それぞれ、バルブOFF時、バルブON時、バルブON/OFF切替えの瞬間の様子を示している。
【0014】
ここで、高圧自動バルブ11のボディ12は、例えば共にステンレス製のボディ主部12aとその図で左側の連結部12bとをボルト締め(図示せず)により連結して構成され、内部に高圧流体Lが導入される高圧室13を有している。また、このボディ12には、前記高圧室13に連通して、該高圧室13の図で左壁部から左方に延びる入口ポート14が設けられていると共に、該高圧室13の底部から下方に延びる出口ポート15が設けられている。
【0015】
このとき、前記入口ポート14の高圧室13側の開口部の周囲には、凹状の曲面状をなすシート部16が設けられている。さらに、このボディ12の図で高圧室13の右側の壁部には、前記入口ポート14(シート部16)に対向して、高圧室13から右方に延びる貫通孔17が設けられている。尚、図示はしないが、前記入口ポート14には、例えば半導体洗浄用の超純水等の高圧流体Lの供給源(高圧ポンプ等)が接続され、前記出口ポート15には、次段階の機器(例えば洗浄装置等)が接続されるようになっている。
【0016】
そして、前記ボディ12の貫通孔17部分には、ニードル18が、その外周に、合成樹脂製の部材であるバックシート部材19、パッキン20、パッキン押え21を介した状態で、進退方向(図で左右方向)に移動可能に挿通される。そのうち前記ニードル18は、例えばステンレスからなり丸棒状をなす棒状部の先端に、前記高圧室13内に配置されるヘッド部22を有して構成されている。
【0017】
このヘッド部22は、詳細には、前記棒状部の先端部に一体に設けられた受け部22aに、前記入口ポート14を開閉するための開閉部材22bを例えばかしめ結合により保持させて構成されている。前記開閉部材22bは、合成樹脂、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂からなり、先端面が球面状に形成されている。また、ヘッド部22の後部面(受け部22aの外面)はテーパ面22cとされている。
【0018】
前記パッキン20は、合成樹脂から、半径方向の断面がく字状に屈曲された如きリング状に構成され、この場合2枚が重ねられた状態で、前記貫通孔17の外側の開口部側(図で右側)に固定されたパッキン押え21によって押えられて前記貫通孔17の中間部分に配置されている。このパッキン20の外周は貫通孔17の内周面に密着し、前記ニードル18は、このパッキン20の穴部(及びパッキン押え21の穴部)の内周部を摺動するようになっている。尚、前記パッキン押え21の外周面部には、Oリング23が設けられ、前記貫通孔17の内周面との間が液密にシールされるようになっている。
【0019】
さて、前記バックシート部材19は、この場合、合成樹脂例えばPEEKからなり、前記ニードル18が挿通(摺動)される穴部19aを有するほぼ円筒状(円柱状)をなしている。このバックシート部材19は、その外周に形成された雄ねじ部が、前記貫通孔17の内周面に形成された雌ねじ部にねじ込まれることにより、貫通孔17の内側(高圧室13側)の開口部部分を塞ぐように設けられる。このとき、バックシート部材19の外周面部には、Oリング24が設けられ、前記貫通孔17の内周面との間が液密にシールされるようになっている。そして、このバックシート部材19の穴部19aの高圧室13側開口部の周囲には、凹状の曲面状とされたバックシート部25が設けられている。
【0020】
上記したニードル18は、その基端側が、ボディ12の外側にて図示しない駆動機構(例えばエアピストン)に接続されており、該駆動機構によって、前記ヘッド部22(開閉部材22b)の先端面が前記シート部16に密着して入口ポート14を閉塞する閉塞位置(図1参照)と、該ヘッド部22がシート部16から後退して入口ポート14を開放する開放位置(図2参照)との間を移動されるようになっている。
【0021】
すなわち、バルブOFF時には、駆動機構によりニードル18が閉塞位置に位置され、バルブON時に、駆動機構によりニードル18が開放位置に移動されるようになっているのである。そしてこのとき、バルブON時つまりニードル18の開放位置では、図2に示すように、前記ヘッド部22の後部面(テーパ面22c)が、バックシート部材19のバックシート部25に密着し、バックシート部材19の穴部19aを閉塞するようになっている。
【0022】
次に、上記構成の作用について述べる。上記した高圧自動バルブ11においては、バルブOFF時には、図1に示すように、ニードル18が閉塞位置に位置され、そのヘッド部22がシート部16に密着することにより入口ポート14が閉塞され、高圧流体Lの流通が停止される。
【0023】
この状態では、高圧室13内に高圧流体Lが導入されないので、高圧室13内に圧力がかかることはなく、ひいてはボディ12の貫通孔17とニードル18との間をシールするためのパッキン20部分にも高圧がかかることがなくなる。尚、金属(ステンレス)製のシート部16に対して、比較的軟質な合成樹脂製のヘッド部22(開閉部材22b)を押付けることにより、それらの間の密着性(シート性)が良くなり、入口ポート14の閉鎖をより確実に行うことができるのである。
【0024】
一方、バルブON時には、図2に示すように、駆動機構によりニードル18が後退されて開放位置に移動され、入口ポート14が開放されて高圧流体Lが高圧室13内に導入され、出口ポート15から排出されようになり、以て高圧流体Lの流通が行われる。
【0025】
このときには、高圧室13内が高圧となるが、上述のように、ニードル18のヘッド部22のテーパ面22cが、バックシート部材19のバックシート部25に密着して穴部19aを閉鎖するようになり、以て、高圧室13内が高圧となっても高圧流体Lが貫通孔17へ漏れてパッキン20部分に高圧がかかることはない。この場合も、比較的軟質な合成樹脂製のバックシート部材19のバックシート部25に、金属製のテーパ面22cを押付けるので、それらの間の密着性(シート性)が良くなり、穴部19aの閉鎖を確実に行うことができるのである。
【0026】
これにて、バルブOFF時、ON時においては、パッキン20部分に高圧が作用することがなくなり、パッキン20部分に高圧が作用するのは、図3に示すような、開放位置と閉塞位置との間でニードル18の位置が切替わる瞬間のみとなる。従って、従来例で述べたような常時パッキン8に高圧が作用しているものと異なり、パッキン20の負荷を大幅に軽減することができる。これに伴い、パッキン20の重ね枚数も、従来の4枚から2枚に低減することができた。
【0027】
また、もし、使用中にパッキン20が寿命に達するような(破損する)ことがあった場合でも、高圧室2内が常時高圧に保たれているため激しい液漏れが生じていた従来のものと異なり、液漏れが生ずるのは、上記したニードル18の位置が切替わる一瞬のみとなるので、激しく液漏れすることがなくなり、液漏れに伴う大きなトラブルを未然に防止することができるのである。
【0028】
このように本実施例によれば、ボディ12の貫通孔17とニードル18との間をシールするためのパッキン20の大幅な長寿命化を図ることができるという優れた効果を奏する。ちなみに、本発明者らの実施した耐久性試験によれば、従来例で述べたバルブのパッキン8の寿命が、ニードルのストローク数で約25万回であったのに対し、本実施例の高圧自動バルブ11では、パッキン20の寿命が、ニードルのストローク数で約100万回となり、約4倍もの長寿命化を図ることができたのである。
【0029】
また、本実施例によれば、使用中にパッキン20が寿命に達した場合でも液漏れに伴う大きなトラブル(二次災害等)を未然に防止することができる。さらに、特に本実施例では、バックシート部25を、ボディ12に別体として取付けられた合成樹脂製のバックシート部材19から構成したので、ヘッド部22のテーパ面22cとの間の密着性(シート性)が良くなり、ニードル18の開放位置における貫通孔17(穴部19a)の閉鎖をより確実に行うことができるといったメリットも得ることができる。
【0030】
尚、上記実施例では、バックシート部25を、合成樹脂製のバックシート部材19に設けるようにしたが、ボディ12に一体に設けるようにすることも可能である。この場合、バックシート部の材質とニードルのヘッド部の後部面の材質とは、合成樹脂と金属との組合せとすることが好ましいが、同種の材料から構成しても良い。上記実施例では、金属としてステンレス、合成樹脂としてPEEKを採用したが、材料の種類としてはそれらに限定されるものではない。
【0031】
その他、本発明の高圧自動バルブの用途としても、半導体の洗浄用に限定されるものではなく、各種の高圧ポンプユニットなど、様々な用途に利用でき、また、高圧流体の種類としても、その用途に応じて様々なものに適用することができ、さらには、ボディの形状、パッキンの形状や枚数などについても、種々の変形が可能であるなど、本発明は要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明にて明らかなように、本発明の高圧自動バルブによれば、高圧室に高圧流体を導入する入口ポート側にシート部を設けて、ニードルのヘッド部によってその入口ポートを開閉するように構成し、これと共に、ニードルが挿通される貫通孔の高圧室側の開口部の周囲にバックシート部を設け、ニードルが開放位置に移動された際にヘッド部の後部面がそのバックシート部に密着するように構成したので、ボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキンの長寿命化を図ることができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、高圧自動バルブの要部のバルブOFF時における縦断面図
【図2】バルブON時における縦断面図
【図3】バルブON/OFF切替えの瞬間における縦断面図
【図4】従来例を示す図1相当図
【図5】図2相当図
【符号の説明】
図面中、11は高圧自動バルブ、12はボディ、13は高圧室、14は入口ポート、15は出口ポート、16はシート部、17は貫通孔、18はニードル、19はバックシート部材、20はパッキン、22はヘッド部、22cはテーパ面(後部面)、25はバックシート部、Lは高圧流体を示す。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ニードルの駆動により高圧流体の流通及び流通停止の制御を行う高圧自動バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば高圧とされた超純水を用いて半導体を洗浄する洗浄装置には、高圧流体(超純水)の流通及び流通停止の制御を行うための高圧自動バルブが設けられる。図4及び図5は、この種の従来の高圧自動バルブの構成を示している。即ち、ボディ1には、内部に高圧流体Lが導入される高圧室2が形成され、また、その高圧室2に連通して、図で下方に延びる入口ポート3が設けられると共に、図で左方に延びる出口ポート4が設けられている。このとき、出口ポート4の高圧室2側の開口部には凹状の曲面をなすシート部5が設けられている。
【0003】
一方、ボディ1の高圧室2の図で右側には、図で右方に延びて貫通孔6が設けられ、この貫通孔6には、ニードル7が進退方向(図で左右方向)に移動可能に挿通されている。このニードル7は、丸棒状をなすと共に、その先端に高圧室2内に配置されるヘッド部7aを有しており、図示しない駆動機構(エアピストン等)により、前記ヘッド部7aの先端面が前記シート部5に密着して出口ポート4を閉塞する閉塞位置(図4参照)と、そこから後退して出口ポート4を開放する開放位置(図5参照)との間を移動されるようになっている。
【0004】
また、前記貫通孔6は、図で左端部側が前記ニードル7に対応した(ニードル7が摺動する)内径とされ、その右側に径大部が形成されている。このとき、その径大部内には、その内周面と前記ニードル7との間をシールするためのリング状のパッキン8が、ボディ1にねじ込まれるパッキン押え9により固定された状態で設けられる。この場合、前記パッキン8は、例えば4枚が重ねられた状態で設けられている。
【0005】
これにて、高圧室2内には、入口ポート3を通して常に高圧流体Lが導入され、バルブOFF時には、図4に示すように、ニードル7が閉塞位置に位置されてヘッド部7aが出口ポート4を閉塞し、高圧流体Lの流通が停止される。バルブON時には、図5に示すように、ニードル7が開放位置に位置されて出口ポート4が開放し、高圧流体Lが出口ポート4を通って流通されるようになっている。また、パッキン8により、貫通孔6とニードル7との間の隙間からの高圧流体Lの漏れが防止されるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、バルブOFF時、ON時にかかわらず、常に高圧室2内には高圧流体Lが導入されていて高圧とされているので、パッキン8部には常に高圧がかかり、そのためパッキン8の寿命が短くなる不具合があった。尚、これに伴い、パッキン8の枚数を多く要し、パッキン押え9についても大形で強度の高いものとして、強固にボディ1に取付ける必要があり、コスト面やスペース面での不利を生じていた。
【0007】
また、バルブの使用中に、もしパッキン8が寿命に達するようなことがあると、バルブOFF時、ON時にかかわらず、高圧室2内が高圧に保たれているため、激しい液漏れ(貫通孔6からの高圧流体Lの外部への噴出)が生ずるようになり、二次的なトラブルが発生する虞もあった。
【0008】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキンの長寿命化を図ることができる高圧自動バルブを提供するにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1の高圧自動バルブは、高圧室に高圧流体を導入する入口ポート側にシート部を設けて、ニードルのヘッド部によってその入口ポートを開閉するように構成し、これと共に、ニードルが挿通される貫通孔の高圧室側の開口部部分にバックシート部を設け、ニードルが開放位置に移動された際にヘッド部の後部面がそのバックシート部に密着するように構成したものである。
【0010】
これによれば、バルブOFF時つまりニードルの閉塞位置では、入口ポートが閉塞されて高圧室内に高圧流体が導入されないので、高圧室に圧力がかかることはなく、ひいてはボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキン部分にも高圧がかかることがなくなる。一方、バルブON時つまりニードルの開放位置では、ニードルのヘッド部の後部面が貫通孔の開口部周囲のバックシート部に密着して閉鎖するようになり、以て、高圧室内が高圧となってもパッキン部分に高圧がかかることがなくなる。
【0011】
これにて、バルブOFF時、ON時においては、パッキン部分に高圧が作用することがなくなり、パッキン部分に高圧が作用するのは、開放位置と閉塞位置との間でニードルの位置が切替わる一瞬のみとなる。従って、パッキンの負荷を大幅に軽減することができ、この結果、パッキンの長寿命化を図ることができる。また、バルブの使用中にパッキンが寿命に達するようなことがあっても、液漏れが生ずるのは、上記したニードルの位置が切替わる一瞬のみとなるので、激しく液漏れすることがなくなり、液漏れに伴う大きなトラブルを未然に防止することができる。
【0012】
このとき、上記したバックシート部を、ボディに取付けられた合成樹脂製の部材から構成することができる(請求項2の発明)。この場合、一般に、ニードル(ひいてはヘッド部の後部面)が硬質な金属(例えばステンレス)から構成される事情があっても、バックシート部が比較的軟質であるため、ヘッド部の後部面との間の密着性(シート性)が良くなり、ニードルの開放位置における貫通孔の閉鎖をより確実に行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施例について、図1ないし図3を参照しながら説明する。これら図1〜図3は、本実施例に係る高圧自動バルブ11の要部の構成を示すもので、それぞれ、バルブOFF時、バルブON時、バルブON/OFF切替えの瞬間の様子を示している。
【0014】
ここで、高圧自動バルブ11のボディ12は、例えば共にステンレス製のボディ主部12aとその図で左側の連結部12bとをボルト締め(図示せず)により連結して構成され、内部に高圧流体Lが導入される高圧室13を有している。また、このボディ12には、前記高圧室13に連通して、該高圧室13の図で左壁部から左方に延びる入口ポート14が設けられていると共に、該高圧室13の底部から下方に延びる出口ポート15が設けられている。
【0015】
このとき、前記入口ポート14の高圧室13側の開口部の周囲には、凹状の曲面状をなすシート部16が設けられている。さらに、このボディ12の図で高圧室13の右側の壁部には、前記入口ポート14(シート部16)に対向して、高圧室13から右方に延びる貫通孔17が設けられている。尚、図示はしないが、前記入口ポート14には、例えば半導体洗浄用の超純水等の高圧流体Lの供給源(高圧ポンプ等)が接続され、前記出口ポート15には、次段階の機器(例えば洗浄装置等)が接続されるようになっている。
【0016】
そして、前記ボディ12の貫通孔17部分には、ニードル18が、その外周に、合成樹脂製の部材であるバックシート部材19、パッキン20、パッキン押え21を介した状態で、進退方向(図で左右方向)に移動可能に挿通される。そのうち前記ニードル18は、例えばステンレスからなり丸棒状をなす棒状部の先端に、前記高圧室13内に配置されるヘッド部22を有して構成されている。
【0017】
このヘッド部22は、詳細には、前記棒状部の先端部に一体に設けられた受け部22aに、前記入口ポート14を開閉するための開閉部材22bを例えばかしめ結合により保持させて構成されている。前記開閉部材22bは、合成樹脂、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)樹脂からなり、先端面が球面状に形成されている。また、ヘッド部22の後部面(受け部22aの外面)はテーパ面22cとされている。
【0018】
前記パッキン20は、合成樹脂から、半径方向の断面がく字状に屈曲された如きリング状に構成され、この場合2枚が重ねられた状態で、前記貫通孔17の外側の開口部側(図で右側)に固定されたパッキン押え21によって押えられて前記貫通孔17の中間部分に配置されている。このパッキン20の外周は貫通孔17の内周面に密着し、前記ニードル18は、このパッキン20の穴部(及びパッキン押え21の穴部)の内周部を摺動するようになっている。尚、前記パッキン押え21の外周面部には、Oリング23が設けられ、前記貫通孔17の内周面との間が液密にシールされるようになっている。
【0019】
さて、前記バックシート部材19は、この場合、合成樹脂例えばPEEKからなり、前記ニードル18が挿通(摺動)される穴部19aを有するほぼ円筒状(円柱状)をなしている。このバックシート部材19は、その外周に形成された雄ねじ部が、前記貫通孔17の内周面に形成された雌ねじ部にねじ込まれることにより、貫通孔17の内側(高圧室13側)の開口部部分を塞ぐように設けられる。このとき、バックシート部材19の外周面部には、Oリング24が設けられ、前記貫通孔17の内周面との間が液密にシールされるようになっている。そして、このバックシート部材19の穴部19aの高圧室13側開口部の周囲には、凹状の曲面状とされたバックシート部25が設けられている。
【0020】
上記したニードル18は、その基端側が、ボディ12の外側にて図示しない駆動機構(例えばエアピストン)に接続されており、該駆動機構によって、前記ヘッド部22(開閉部材22b)の先端面が前記シート部16に密着して入口ポート14を閉塞する閉塞位置(図1参照)と、該ヘッド部22がシート部16から後退して入口ポート14を開放する開放位置(図2参照)との間を移動されるようになっている。
【0021】
すなわち、バルブOFF時には、駆動機構によりニードル18が閉塞位置に位置され、バルブON時に、駆動機構によりニードル18が開放位置に移動されるようになっているのである。そしてこのとき、バルブON時つまりニードル18の開放位置では、図2に示すように、前記ヘッド部22の後部面(テーパ面22c)が、バックシート部材19のバックシート部25に密着し、バックシート部材19の穴部19aを閉塞するようになっている。
【0022】
次に、上記構成の作用について述べる。上記した高圧自動バルブ11においては、バルブOFF時には、図1に示すように、ニードル18が閉塞位置に位置され、そのヘッド部22がシート部16に密着することにより入口ポート14が閉塞され、高圧流体Lの流通が停止される。
【0023】
この状態では、高圧室13内に高圧流体Lが導入されないので、高圧室13内に圧力がかかることはなく、ひいてはボディ12の貫通孔17とニードル18との間をシールするためのパッキン20部分にも高圧がかかることがなくなる。尚、金属(ステンレス)製のシート部16に対して、比較的軟質な合成樹脂製のヘッド部22(開閉部材22b)を押付けることにより、それらの間の密着性(シート性)が良くなり、入口ポート14の閉鎖をより確実に行うことができるのである。
【0024】
一方、バルブON時には、図2に示すように、駆動機構によりニードル18が後退されて開放位置に移動され、入口ポート14が開放されて高圧流体Lが高圧室13内に導入され、出口ポート15から排出されようになり、以て高圧流体Lの流通が行われる。
【0025】
このときには、高圧室13内が高圧となるが、上述のように、ニードル18のヘッド部22のテーパ面22cが、バックシート部材19のバックシート部25に密着して穴部19aを閉鎖するようになり、以て、高圧室13内が高圧となっても高圧流体Lが貫通孔17へ漏れてパッキン20部分に高圧がかかることはない。この場合も、比較的軟質な合成樹脂製のバックシート部材19のバックシート部25に、金属製のテーパ面22cを押付けるので、それらの間の密着性(シート性)が良くなり、穴部19aの閉鎖を確実に行うことができるのである。
【0026】
これにて、バルブOFF時、ON時においては、パッキン20部分に高圧が作用することがなくなり、パッキン20部分に高圧が作用するのは、図3に示すような、開放位置と閉塞位置との間でニードル18の位置が切替わる瞬間のみとなる。従って、従来例で述べたような常時パッキン8に高圧が作用しているものと異なり、パッキン20の負荷を大幅に軽減することができる。これに伴い、パッキン20の重ね枚数も、従来の4枚から2枚に低減することができた。
【0027】
また、もし、使用中にパッキン20が寿命に達するような(破損する)ことがあった場合でも、高圧室2内が常時高圧に保たれているため激しい液漏れが生じていた従来のものと異なり、液漏れが生ずるのは、上記したニードル18の位置が切替わる一瞬のみとなるので、激しく液漏れすることがなくなり、液漏れに伴う大きなトラブルを未然に防止することができるのである。
【0028】
このように本実施例によれば、ボディ12の貫通孔17とニードル18との間をシールするためのパッキン20の大幅な長寿命化を図ることができるという優れた効果を奏する。ちなみに、本発明者らの実施した耐久性試験によれば、従来例で述べたバルブのパッキン8の寿命が、ニードルのストローク数で約25万回であったのに対し、本実施例の高圧自動バルブ11では、パッキン20の寿命が、ニードルのストローク数で約100万回となり、約4倍もの長寿命化を図ることができたのである。
【0029】
また、本実施例によれば、使用中にパッキン20が寿命に達した場合でも液漏れに伴う大きなトラブル(二次災害等)を未然に防止することができる。さらに、特に本実施例では、バックシート部25を、ボディ12に別体として取付けられた合成樹脂製のバックシート部材19から構成したので、ヘッド部22のテーパ面22cとの間の密着性(シート性)が良くなり、ニードル18の開放位置における貫通孔17(穴部19a)の閉鎖をより確実に行うことができるといったメリットも得ることができる。
【0030】
尚、上記実施例では、バックシート部25を、合成樹脂製のバックシート部材19に設けるようにしたが、ボディ12に一体に設けるようにすることも可能である。この場合、バックシート部の材質とニードルのヘッド部の後部面の材質とは、合成樹脂と金属との組合せとすることが好ましいが、同種の材料から構成しても良い。上記実施例では、金属としてステンレス、合成樹脂としてPEEKを採用したが、材料の種類としてはそれらに限定されるものではない。
【0031】
その他、本発明の高圧自動バルブの用途としても、半導体の洗浄用に限定されるものではなく、各種の高圧ポンプユニットなど、様々な用途に利用でき、また、高圧流体の種類としても、その用途に応じて様々なものに適用することができ、さらには、ボディの形状、パッキンの形状や枚数などについても、種々の変形が可能であるなど、本発明は要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明にて明らかなように、本発明の高圧自動バルブによれば、高圧室に高圧流体を導入する入口ポート側にシート部を設けて、ニードルのヘッド部によってその入口ポートを開閉するように構成し、これと共に、ニードルが挿通される貫通孔の高圧室側の開口部の周囲にバックシート部を設け、ニードルが開放位置に移動された際にヘッド部の後部面がそのバックシート部に密着するように構成したので、ボディの貫通孔とニードルとの間をシールするためのパッキンの長寿命化を図ることができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、高圧自動バルブの要部のバルブOFF時における縦断面図
【図2】バルブON時における縦断面図
【図3】バルブON/OFF切替えの瞬間における縦断面図
【図4】従来例を示す図1相当図
【図5】図2相当図
【符号の説明】
図面中、11は高圧自動バルブ、12はボディ、13は高圧室、14は入口ポート、15は出口ポート、16はシート部、17は貫通孔、18はニードル、19はバックシート部材、20はパッキン、22はヘッド部、22cはテーパ面(後部面)、25はバックシート部、Lは高圧流体を示す。
Claims (2)
- 高圧流体が導入される高圧室並びにその高圧室に連通する入口ポート及び出口ポートを有するボディと、
前記入口ポートの前記高圧室側の開口部の周囲に設けられたシート部と、
前記ボディに前記入口ポートと対向する位置に設けられた貫通孔と、
この貫通孔を貫通して進退方向に移動可能に設けられ先端に前記高圧室内に配置されるヘッド部を有するニードルと、
このニードルを前記ヘッド部の先端面が前記シート部に密着して前記入口ポートを閉塞する閉塞位置と該ヘッド部が該シート部から後退して該入口ポートを開放する開放位置との間を移動させる駆動機構と、
前記貫通孔と前記ニードルとの間をシールするパッキンと、
前記貫通孔の前記高圧室側の開口部部分に設けられ前記ニードルの開放位置で前記ヘッド部の後部面が密着するバックシート部とを具備してなる高圧自動バルブ。 - 前記バックシート部は、前記ボディに取付けられた合成樹脂製の部材から構成されていることを特徴とする請求項1記載の高圧自動バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003017312A JP2004225866A (ja) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | 高圧自動バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003017312A JP2004225866A (ja) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | 高圧自動バルブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004225866A true JP2004225866A (ja) | 2004-08-12 |
Family
ID=32904495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003017312A Pending JP2004225866A (ja) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | 高圧自動バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004225866A (ja) |
-
2003
- 2003-01-27 JP JP2003017312A patent/JP2004225866A/ja active Pending
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Legal Events
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