KR19980042876U - 반도체 코팅장비의 펌프 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 코팅장비의 펌프에 관한 것으로, 종래에는 필터가 펌핑력을 직접 받음에도 불구하고, 그 코팅액의 점도가 높거나 또는 필터의 여과크기가 작은 경우에는 상기 필터가 부하를 지나치게 많이 받게 되어 손상될 우려가 있었으며, 이로 인해 상기 필터를 거쳐 분배되는 양이 적거나 또는 그 분배속도가 느리게 되어 웨이퍼에 코팅액이 일률적으로 배분되지 못하는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 상기 펌프로 코팅액을 유입하기 위한 흡입관을 필터의 입구와 연통시키고, 그 필터를 거치면서 필터링된 코팅액을 배출하기 위한 배출관을 필터의 출구와 연통되게 형성함으로써, 상기 필터가 가압력을 직접 받지 않게 되어 필터를 반영구적으로 사용할 수 있으며, 웨이퍼에 코팅액이 일률적으로 배분되는 효과가 있다.

Description

반도체 코팅장비의펌프

본 고안은 반도체 도포장비의 펌프에 관한 것으로, 특히 코팅액의 유량을 일정하게 유지하여 반영구적으로 사용할 수 있는 것과 아울러 정확하게 분배할 수 있는 반도체 코팅장비의 펌프에 관한 것이다.

종래의 반도체 도포장비에 있어서는 그 배관구조는 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 펌프(1)와, 그 펌프(1)와 연통되는 필터(2)와, 그 필터(2)와 연통되는 에어 오포레이티드 밸브(3)와, 그 에어 오퍼레이티드 밸브(Air Operated Valve)(3)와 연통되는 석 백 밸브(Suck Back Balve)(4)와, 그 석 백 밸브(4)와 연통되는 디스펜스 노즐(Dispense Nozzle)(5)로 구성되어 있다.

상기 필터(2)는 드레인관(2a)과 별도로 연통되고, 상기 에어 오포레이트 밸브(3)와 석 백 밸브(4)는 각각 작동 에어(6)와 연통되어 있다.

상기와 같이 구성된 반도체 도포장비 배관구조에서는, 상기 펌프(1)가 코팅액을펌핑하게 되면, 그 펌핑된 코팅액은 필터(2)에 의해 필터링되어 에어 오퍼레이티드 밸브(3)와 석 백 밸브(4)를 거쳐 디스펜스 노즐(5)에서 분사되는 것이었다.

이때, 상기 펌프는 주로 벨로우(Bellow)형과 다이아프램(Diaphram)형 등이 사용되고 있다.

먼저 벨로우 형은 도 2에 도시된 바와 같이, 펌프케이스(10)의 내부에 피스톤(11)이 직선왕복운동을 하도록 설치되고, 그 피스톤(11)은 서로 다른 방향으로 개폐되는 제1, 제2 체크밸브(12A,12B)가 구비된 벨로우(12)와 결합되는데, 상기 펌프케이스(10)의 양측에는 펌프가압관(10a)과 펌프팽창관(10b)이 각각 연통되어 있다.

상기와 같이 구성된 벨로우 형 펌프(10)는, 펌프팽창관(10b)으로 공기가 유입되면 그 유입된 공기의 양만큼 피스톤(11)이 도면의 B방향으로 밀려나면서 벨로우(12)가 팽창되고, 그 팽창되는 부피만큼 탱크(미도시)로부터 코팅액이 제1체크밸브(12a)를 열고 흡입되며, 이때 펌프가압관(10b)으로 공기가 유입되면 그 유입된 공기의 양만큼 피스톤(11)이 도면의 A방향으로 밀려나면서 벨로우(12)가 압축되고, 그 압축되는 부피만큼 벨로우(11) 내부의 코팅액이 제2 체크밸브(12b)를 열고 필터(미도시)를 향해 배출하게 되는 것이었다.

다음, 다이어프램 형은 도 3에 도시된 바와 같이, 펌프케이스(20)의 일측에 다이어프램 구동용 공기관(21)이 연통되고, 그 다이어프램 구동용 공기관(21)의 타측 수평선상에는 코팅액 흡입관(22)과 배출관(23)이 연통되며, 그 흡입관(22)과 배출관(23)에는 서로 다른 방향으로 개폐되는 제1, 제2 초크밸브(22a,23a)가 각각 설치되고, 그 중에서 배출관(23)은 상기 펌프케이스(20)에 내장된 필터(24)와 연통되며, 그 필터(24)의 일측에는 상기 다이어프램 구동용 공기관(21)의 탄부를 밀폐하는 다이어프램(25)이 설치되어 있다.

상기와 같은 다이어프램형 펌프(20)는, 상기 공기관(21)을 통해 공기가 배출되면 코팅액이 제1 체크밸브(22a)를 열고 흡입관(22)으로 코팅액이 펌프케이스(20)로 유입되었다가 상기 공기관(21)으로 공기가 유입되어 팽창되는 다이어프램(25)에 의해 팽창체적만큼 코팅액을 밀어나게 되는데, 이때 밀려나는 코팅액이 필터(24)를 거쳐 필터링되면서 제2 체크밸브(23a)를 열고 배출관(23)으로 분출되는 것이었다.

즉, 상기와 같은 벨로우형이나 다이어프램형은 모두 가압단 후방에 필터가 위치하여 그 필터가 직접 펌핑력을 받아 코팅액을 필터링하면서 분배하게 되는 것이었다.

그러나, 상기와 같이 필터가 펌핑력을 직접 받음에도 불구하고, 그 코팅액의 점도가 높거나 또는 필터(미도시, 24)의 여과크기가 작은 경우에는 상기 필터(미도시,24)가 부하를 지나치게 많이 받게 되어 손상될 우려가 있었으며, 이로 인해 상기 필터(미도시, 24)를 거쳐 분배되는 양이 적거나 또는 그 분배속도가 느리게 되어 웨이퍼에 코팅액이 일률적으로 배분되지 못하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기 필터를 반영구적으로 사용할 수 있으며, 웨이퍼에 코팅액이 일률적으로 배분되도록 하는 반도체 코팅장비의 펌프를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 반도체 코팅장비의 개략적인 구성을 보인 배관도.

도 2 및 도 3은 종래 반도체 코팅장비에 있어서, 각 펌프의 구성을 보인 종단면도.

도 4 및 도 5는 본 고안에 의한 반도체 코팅장비에 있어서, 각 펌프의 구성을 보인 종단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

30,60:펌프케이스43,62:필터

50:벨로우61:다이어프램

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 필터가 일체로 되는 반도체 코팅 장비의 펌프에 있어서, 상기 펌프로 코팅액을 유입하기 위한 흡입관을 필터의 입구와 연통시키고, 그 필터를 거치면서 필터링된 코팅액을 배출하기 위한 배출관을 필터의 출구와 연통되게 형성함을 특징으로 하는 반도체 코팅장비의 펌프가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 도포장비의 코팅액 펌프를 첨부도며에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

본 고안은 펌프와 필터가 일체형인 구조중에서 상기 필터가 압력을 받지 않도록 하여 필터에 걸리는 부하를 최소화하는 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이 벨로우를 사용하는 경우에는, 펌프케이스(30)와 필터케이스(40)의 사이에 벨로우(50)가 설치되는데, 그 벨로우(50)는 펌프케이스(30)의 내부에서 미끄럼운동을 하는 피스톤(31)과 피스톤 로드(32)로 연결되어 상기 필터케이스(40)의 내부압력을 변화시키도록 구성된다.

즉, 상기 펌프케이스(30)의 양측단, 정확하게는 피스톤(31)의 양측엔은 각각 피스톤(31)을 서로 다른 방향으로 이동시키기 위한 가압관(33)과 팽창관(34)이 형성되고, 그 피스톤(31)의 직선왕복운동에 의해 압축 및 팽창되는 필터케이스(40)의 양측에는 서로 다른 방향을 개폐하는 제1, 제2 체크밸브(41a,42a)가 각각 구비되는 흡입관(41)과 배출관(42)이 관통되어 그 중간부위에 필터(43)가 내장된다.

여기서, 상기 흡입관(41)은 필터(43)와 연통되고, 상기 배출관(42)은 필터케이스(40)와 연통된다.

상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 코팅액 펌프는, 먼저 팽창관(34)으로 공기가 공급되면 그 공기에 의해 상기 피스톤(31)이 밀려나면서 벨로우(50)를 팽창시키고, 그 팽창되는 벨로우(50)에 의해 상기 흡입관(41)에 장착된 제1 체크밸브(41a)가 열리면서 코팅액이 흡입되어 필터(43)를 거치면서 필터링이 수행되며, 반대로 상기 펌프케이스(30)의 가압관(33)으로 새로운 공기가 유입되어 피스톤(31)을 밀게 되면, 상기 벨로우(50)가 압축되면서 제1 체크배브(41a)는 닫고 대신에 제2 체크밸브(42a)를 열면서 필터링이 완료된 필터케이스(40) 내의 코팅액을 분출시키게 되는 것이다.

본 고안에 의한 코팅액 펌프를 다이어프램형에도 적용하여도 그 동작효과는 대동소이하다.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 펌프케이스(60)의 내부에 다이어프램 구동관(61a)과 연통되는 다이어프램(61)을 장착하고, 그 다이어프램(61)의 일측에는 필터(62)를 설치하며, 그 필터(62)의 상측에 서로 다른 방향을 개폐하는 제1, 제2 체크밸브(63a,64a)가 각각 구비되는 흡입관(63)과 배출관(64)이 형성된다.

상기와 같이 구성되는 다이어프램 형의 펌프에 있어서도, 먼저 다이어프램 구동관(61a)을 통해 상기 다이어프램(61)의 공기를 배출시키게 되면, 상기 제1 체크밸브(63a)가 열리는 동시에 제2 체크밸브(64a)가 닫히게 되어 결국 소정량의 코팅액이 필터(62)내로 유입되어 필터링되고, 반대로 상기 다이어프램(61)으로 공기를 불어넣게 되면 그 다이어프램(61)이 팽창되면서 필터링을 마친 필터(62) 내의 코팅액을 밀어내게 되는데, 이때는 제1 체크밸브(63a)는 닫히게 되고 대신 제2 체크밸브(64a)가 열리게 되는 것이다.

이상에 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 코팅장비의 펌프는, 상기 펌프로 코팅액을 유입하기 위한 흡입관을 필터의 입구와 연통시키고, 그 필터를 거치면서 필터링된 코팅액을 배출하기 위한 배출관을 필터의 출구와 연통되게 형성함으로써, 상기 필터가 가압력을 직접 받지 않게 되어 필터를 반영구적으로 사용할 수 있으며, 웨이퍼에 코팅액이 일률적으로 배분되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 필터가 일체로 반도체 코팅장비의 펌프에 있어서, 상기 펌프로 코팅액을 유입하기 위한 흡입관을 필터의 입구와 연통시키고, 그 필터를 거치면서 필터링된 코팅액을 배출하기 위한 배출관을 필터의 출구와 연통되게 형성함을 특징으로 하는 반도체 코팅장비의 펌프.