KR20120008559A - 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치 - Google Patents

정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치 Download PDF

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고영욱
장승일
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Abstract

본 발명은 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치에 관한 발명으로서 에칭액과 물을 비율에 맞도록 공급하는 제어부, 제어부에 연결되고, 파이프 모양의 내부에 좌, 우로 비틀려 있는 정적혼합기를 포함하고 있는 혼합부, 혼합부가 연결되어 혼합액이 에칭을 원하는 기판에 공급되도록 하는 챔버를 포함하고 있어 에칭액과 물이 균일하게 혼합되도록 하는 에칭액 공급장치에 관한 발명이다.

Description

정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치{Etching liquid supplier using the static mixer}
본 발명은 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 식각할 때 사용되는 에칭액의 혼합 비율은 기판의 식각정도를 결정하는 매우 중요한 결정인자로서 이를 알맞게 배합하고 농도가 어디에서나 일정하도록 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electroluminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)와 같은 평판디스플레이들은 슬림화, 경량화가 추구되므로 이러한 평판디스플레이들을 사용하고자 하는 수요가 증가함에 따라 가볍고 얇은 평판디스플레이의 제조가 요구되고 있다.
평판 디스플레이용 TFT기판은 평판 디스플레이가 제조되기 위한 필수적인 구성품으로 글라스 등의 기판면에 폴리 실리콘 박막을 형성하는 작업이 수행되어야 한다. 그러나 자연환경에서 상기 폴리 실리콘 박막의 상면에는 수 Å의 자연산화막이 형성되게 되며, 이러한 자연산화막의 존재는 제품의 신뢰도를 떨어뜨리며, 추후 파티클 등의 오염원 등이 발생하여 불량율을 높이는 문제를 야기한다.
이러한 자연산화막과 폴리 실리콘 박막 상면에 있는 파티클들을 제거하기 위하여 에칭공정을 수행하게 되고 에칭공정은 에칭액이 챔버 안으로 공급되고 평판 디스플레이 기판이 챔버 안으로 삽입되어 일정한 압력, 일정한 농도의 에칭액이 기판의 평면에 균일하게 분사되게 된다. 이 때 공급되는 에칭액의 물과 조합되는 비율이 식각을 원하는 두께, 기판의 크기 등 여러 인자들에 의해서 조절이 가능해야 하고 에칭액의 농도가 일정해야 하며 균일하게 기판의 표면에 분사되어야 한다. 그렇지 못한 경우에는 기판의 표면이 불균일하게 되어 불량을 야기하게 된다.
에칭액의 농도가 균형을 이루도록 하는 농도조절장치 등이 부착되거나 공정에 추가되는 경우에는 생산단가가 상승하게 되며, 생산공정의 지연 등의 문제를 야기하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공정을 추가하지 않고 에칭액의 농도를 일정하게 하여 균일하게 기판에 분사할 수 있도록 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치를 제공함에 있다.
또한, 공급되는 에칭액의 농도를 실시간으로 모니터링을 하여 농도상의 변화가 발생하는 경우 자동으로 에칭액 공급을 중단하여 기판의 손상을 막을 수 있는 에칭액공급장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 에칭하는 공정을 수행하는 챔버에 에칭액을 공급하는 에칭액공급장치에 있어서, 파이프 형태의 양 끝에 유입구, 배출구를 구비하고 내부에 에칭액과 물을 혼합하여 균일한 혼합액을 생성하도록 설치된 정적혼합기를 포함하는 혼합부; 상기 혼합부의 유입구와 연결되어 있으며 에칭액을 공급하는 에칭액 공급부; 상기 혼합부의 유입구와 연결되어 있으며 물을 공급하는 물 공급부; 상기 에칭액 공급부와 물 공급부에서 각각 공급하는 에칭액과 물의 공급량을 조절하기 위하여 상기 에칭액공급부와 물 공급부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하고 상기 혼합부의 배출구는 상기 챔버에 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 혼합부의 배출구와 상기 챔버 사이에 연결장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 혼합부 내부의 정적혼합기는 1개 이상의 엘리먼트로 구성되어 있으며 각각의 엘리먼트는 시계방향 내지는 반시계방향으로 비틀려진 형상을 하고, 각각의 엘리먼트의 비틀림 방향을 달리하는 엘리먼트의 연속된 연결로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 챔버 상단에 상기 정적혼합기가 포함된 혼합부의 배출구가 연결되어 노즐이 있는 챔버 상부 파이프에 물과 혼합된 에칭액이 공급되도록 하는 것을 특징으로 하며 상기 연결장치가 상기 챔버의 상단에 연결되어 노즐이 있는 챔버 상부 파이프에 물과 혼합된 에칭액이 공급되도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합부는 상기 챔버의 상단에 수직으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하며, 상기 혼합부의 유입구에 상기 혼합부에 남아 있는 혼합액을 제거하기 위한 흡입장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 혼합부의 유입구에 상기 혼합부에 남아 있는 혼합액을 완전히 소모하도록 하기 위해 에어콤프레셔를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 혼합부의 배출구에 농도감지센서가 포함되어 있으며 상기 농도감지센서는 상기 제어부에 연결되어 설정농도와 다른 농도의 에칭액이 공급될 경우 이를 감지하여 상기 제어부에서 에칭액의 공급을 중단하도록 에칭액 공급부와 물 공급부를 제어하는 것을 특징으로 하고 상기 혼합부 내의 상기 정적혼합기는 내산성 있는 재질로 되어 있음을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 공급되는 에칭액의 농도를 조절할 수 있으며, 다른 공정을 추가하거나 농도제어장치 등을 별도로 설치하지 않고 에칭액의 공급 과정에서 정적혼합기장치를 이용하여 물과 에칭액의 설정된 농도에 따른 혼합이 균일하게 이루어지게 할 수 있으며, 에칭액 공급후 농도를 변화시킬 경우에도 에칭액 정적혼합기장치에 남아 있을 수 있는 다른 농도의 에칭액을 제거하기 위해서 흡입장치를 구비하여 공급되는 에칭액의 농도와 설정 농도가 일치하도록 하였으며 공급 도중에 에칭액의 농도가 자칫 변하게 되면 이를 감지하여 제어부에서 에칭액 공급을 중단시킴으로서 기판을 보호할 수 있는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치가 제공된다.
도1은 본 발명인 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도2는 연결장치가 있는 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도3은 정적혼합기와 혼합부의 실제 촬영도이다.
도4는 정적혼합기의 측면도 및 유체의 흐름을 나타낸 도면이다.
도5는 정적혼합기의 각 엘리먼트를 통과했을 때 혼합정도를 나타낸 도면이다.
도6은 엘리먼트가 각각 4, 8, 14, 20개 결합되어 있을 때의 혼합정도를 나타내는 도면이다.
도7은 혼합부와 챔버사이에 연결장치를 포함하는 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도8은 상기 혼합부에 흡입장치가 구비된 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도9는 농도감지센서를 장착한 에칭액공급장치의 개략도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
본 발명은 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치에 대한 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도1은 본 발명인 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도1에 도시된 바와 같이 본 발명인 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치는 기판 에칭공정을 수행하는 챔버(300)에 에칭액을 공급하는 에칭액공급장치에 있어서, 파이프 형태의 양 끝에 유입구(120), 배출구(130)를 구비하고 내부에 에칭액과 물을 혼합하여 균일한 혼합액을 생성하도록 설치된 정적혼합기(110)를 포함하는 혼합부(100); 상기 혼합부(100)의 유입구(120)와 연결되어 있으며 에칭액을 공급하는 에칭액 공급부(500); 상기 혼합부의 유입구(120)와 연결되어 있으며 물을 공급하는 물 공급부(510); 상기 에칭액 공급부(500)와 물 공급부(510)에서 각각 공급하는 에칭액과 물의 공급량을 조절하기 위하여 상기 에칭액공급부(500)와 물 공급부(510)를 제어하는 제어부(200)를 포함하는 것을 특징으로 하고 상기 혼합부(100)의 배출구(130)는 상기 챔버(300)에 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 제어부(200)는 에칭액을 공급하는 에칭액 공급부(500)와 물을 공급하는 물 공급부(510)가 연결되어 있어 에칭액의 농도를 증가/감소할 수 있도록 제어하는 장치이다. 에칭액 공급부(500)와 물 공급부(510)에 공급조절펌프(미도시)가 설치되어 있어 상기 제어부는 공급조절펌프를 제어하고 설정된 농도에 맞추어 공급되는 유량을 조절하게 된다.
상기 혼합부(100)는 직경이 수 Cm 내외인 긴 파이프 형태를 하고 있으며 에칭액과 같은 산성용액에 부식되지 않는 재질로 되어 있다. 파이프 내부에는 정적혼합기(110)가 있으며 상기 혼합부(100)의 배출구(130)가 상기 챔버(300)와 연결되어 있다. 상기 챔버(300)와 연결될 때 공급되는 에칭액이 상기 혼합부(100) 특히 상기 정적혼합기(110)의 내부에 남아 있지 않도록 하기 위해서 챔버(300)에 수직으로 결합되는 것이 바람직하다.
상기 챔버(300)는 기판에 에칭액이 실제 공급되는 곳으로서 기판을 수직으로 고정시키는 고정대와 상기 혼합부(100)에서 공급되는 소정 농도의 에칭액을 기판에 직접 분사하게 되는 챔버(300)의 상측에 위치한 노즐을 구비한 분사 파이프가 있다.
상기 제어부(200)는 상기 에칭액과 물 공급부에 설치되어 있는 상기 공급조절펌프를 조절할 수 있도록 유선 또는 무선으로 연결되어 있다. 상기 제어부(200)에서 에칭액과 물의 공급을 조절하여 유체가 공급될 경우 상기 공급조절펌프가 동작을 하고 상기 혼합부(100)의 상기 정적혼합기(110)에 유체가 도달하게 되면 에칭액과 물의 균일한 혼합을 위해서 유체는 좌우방향으로 요동치며 혼합되는 과정을 거치게 되고, 상기 혼합부(100)의 배출구(130)에 연결되어 있는 상기 챔버(300)에 도달하게 된다.
상기 챔버(300)에 도달하게 된 에칭액은 노즐을 통해서 기판으로 분사된다. 에칭액의 공급이 중단되면 상기 혼합부(100) 내부에 남아 있을 수 있는 에칭액은 수직으로 높여 있는 상기 혼합부(100)의 수직배치 특성상 상기 챔버(300)로 흘러내리게 된다.
도2은 정적혼합기(110)와 혼합부(100)의 실제 촬영도이다.
도3는 정적혼합기(110)의 측면도 및 유체의 흐름을 나타낸 도면이다.
상기 혼합부(100)의 내부에 있는 상기 정적혼합기(110)는 긴 파이프 형태의 상기 혼합부(100) 내경과 일치하는 직경을 갖고 회전하거나 요동하지 않도록 고정되어 있다.
상기 정적혼합기(110)는 에칭액에 의한 부식을 막기 위해서 산성용액에 부식되지 않는 재질로 만들어졌으며 바람직하게는 테프론 코팅이 되어 있는 것을 특징으로 한다, 상기 정적혼합기(110)는 다수의 엘리먼트(112)로 구성되어 있으며 상기 엘리먼트(112)는 직사각형 판모양의 짧은 모서리 양쪽이 서로 반대방향으로 비틀려진 형태로 되어 있으며 각 엘리먼트(112)를 엇갈리도록 배치하여 결합시킨 것이 정적혼합기(110)이다.
이하 정적혼합기(110)에 의해서 혼합되는 유체의 흐름을 살펴보면,
첫 번째 엘리먼트에 유입되는 유체는 절반으로 나누어지고, 절반의 유체는 두 번째 엘리먼트에서 다시 절반으로 나누어지면서 다른 쪽에서 통과한 유체의 절반과 합쳐지게 되며, 두 번째 엘리먼트를 통과한 유체는 다시 세번째 엘리먼트에서 절반으로 나누어지고 두 번째 엘리먼트 다른 쪽에서 통과한 유체의 절반과 합쳐지게 된다. 유체의 회전에 대해서 살펴보면
유체는 엘리먼트(112)의 비틀린 방향에 맞춰 흐르게 되는데 유체가 첫 번째 엘리먼트를 통과할 때 유체의 절반은 시계방향으로 흐르고 다른 절반은 반시계방향으로 회전하면서 흐르게 된다. 첫 번째 엘리먼트를 통과한 유체는 두 번째 엘리먼트에서 다시 반으로 나누어지고 절반은 시계방향, 나머지 절반은 반시계방향으로 흐르게 된다. 이러한 과정을 계속 반복하면서 서로 다른 종류의 유체가 섞임을 반복하게 되면서 농도가 일정하게 될 수 있다.
도4는 정적혼합기(110)의 각 엘리먼트(112)를 통과했을 때 혼합정도를 나타낸 도면이다.
도5은 엘리먼트(112)가 각각 4, 8, 14, 20개 결합되어 있을 때의 혼합정도를 나타내는 도면이다.
도4에서 보는 바와 같이 step1은 첫번째 엘리먼트를 통과했을 때의 두 유체의 혼합정도를 나타내고, step2는 두번째 엘리먼트를 통과했을 때의 혼합정도를 나타낸다. 이렇게 엘리먼트를 통과한 각각의 유체는 step10에 도달했을 때에는 대체로 채도가 균일하게 되는 것으로 보아 일정한 농도를 갖는 혼합용액으로 볼 수 있다.
도5에서는 어두운 색의 면적비율이 엘리먼트(112) 수가 증가할수록 감소하게 되고 일정한 색을 갖게 됨을 알 수 있다. 엘리먼트(112)의 수가 증가할수록 유체의 혼합도는 증가하여 일정한 농도를 가질 수 있으나 너무 많은 수의 엘리먼트(112)의 구성은 혼합부(100)의 길이를 증가시키게 되고 유체의 통과시간이 길어짐으로 인해서 공정 소요시간이 길어지게 된다. 또한 엘리먼트(112)로 유입되는 유체의 압력과 엘리먼트(112)를 통과하여 챔버에서 노즐을 통해 분사되는 유체의 압력이 다르므로 엘리먼트(112)의 길이, 개수, 두께 등의 변화에 의한 노즐에서의 압력을 보정해야 할 필요가 있다. 바람직하게는 공급되는 유체의 점성도 내지는 친수성, 소수성 용액인지 여부 등 유체의 특성을 모두 고려하여 엘리먼트의 개수와 길이 등을 결정해야 한다.
전술한 제1실시예에서는 상기 혼합부(100)와 상기 챔버(300)가 직접 연결되어 있었으나 제2실시예에서는 상기 혼합부(100)와 상기 챔버(300) 사이에 연결장치(400)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 제1실시예에 개시된 내용과 중복되는 구성 및 작동에 관한 설명은 생략하기로 한다.
도6은 혼합부(100)와 챔버(300)사이에 연결장치(400)를 포함하는 에칭액 공급장치의 개략도이다.
도6을 참고하면 앞서 제1실시예에서도 설명한 바와 같이 혼합을 원하는 유체의 특성에 따라 적합한 엘리먼트(112)를 구비한 정적혼합기(110)를 사용함이 바람직하므로 상기 혼합부(100)를 공급되는 유체의 종류에 따라서 교체가 용이하도록 해야 하며, 부착시에 외부와 완전히 밀폐되도록 해야 한다.
상기 연결장치(400)는 상기 챔버(300)의 상부와 고정되어 결합되어 있으며 상기 혼합부(100)의 배출구와는 착탈이 가능하도록 결합부재(410)가 있다. 연결장치(400)의 연결부위에는 고무패킹과 같은 유동성이 있는 밀착부재(미도시)가 있음이 바람직하다. 상기 혼합부(100)의 유입구와 상기 제어부(200) 사이에도 착탈이 가능하도록 하는 상기 결합부재(410)가 포함되어 있다.
전술한 제1, 2실시예에서는 상기 혼합부(100)와 상기 챔버(300) 또는 상기 혼합부(100)와 상기 연결장치(400)가 서로 수직으로 연결되어 상기 혼합부(100) 내부에 남아 있을 혼합유체(소정 농도의 에칭액)를 제거하는 방법으로 실시하고 있으나 제3실시예에서는 상기 혼합부(100)의 배출구(130)와 상기 챔버(300) 또는 상기 혼합부(100)의 배출구(130)와 상기 연결장치(400)가 수직이 아닌 각도로 결합되어 있을 경우에 상기 혼합부(100) 내부 유체를 제거하는 방법으로 흡입장치(600)를 구비한 경우와 일정한 공기를 공급하는 에어콤프레셔(700)를 구비한 경우를 살펴본다.
이하 제1, 2실시예에 개시된 내용과 중복되는 구성 및 작동에 관한 설명은 생략하기로 한다.
도7은 상기 혼합부(100)에 흡입장치(600)가 구비된 에칭액 공급장치의 개략도이다.
상기 흡입장치(600)는 혼합부(100) 내부에 있는 에칭액을 흡입하여 제거하는 장치로서 상기 혼합부(100)의 유입구(120) 측부에 설치되고 외부와 밀폐되도록 설치되며, 흡입장치(600)의 작동시에는 상기 제어부(200)에 의해 공급조절펌프(미도시)는 자동으로 멈추게 된다.
도8은 상기 혼합부(100)에 에어콤프레셔(700)가 구비된 에칭액 공급장치의 개략도이다.
상기 혼합부(100) 내부에 에칭액을 제거하는 방법으로 상기 혼합부(100)의 끝단에 에어콤프레셔(700)가 설치되어있고 소정의 공기압에 의해서 기판의 에칭 정도가 변형되지 않도록 하는 미세압력을 상기 에어콤프레셔(700)에서 공급하게 되고 혼합부 내부에 에칭액이 남아 있지 않도록 한다. 상기 제어부(200)에 의해서 에칭액 공급부(120)와 물 공급부(130)에서 유체의 공급이 중단이 되면 유체공급시의 압력과 동일한 압력의 공기압을 상기 에어콤프레셔(700)에서 공급하게 되면 상기 혼합부(100)에 남아 있는 유체를 공급하게 된다.
전술한 제3실시예에서는 혼합부(100) 내부 유체를 제거하는 방법에 대한 실시의 구체적인 예를 살펴보았으며, 제4실시예에서는 상기 혼합부(100)와 상기 챔버(300) 사이에 농도감지 센서(150)를 장착하고 이를 상기 제어부(200)에 연결하여 설정농도와 다른 농도의 에칭액이 공급될 경우 이를 감지하여 상기 제어부(200)에서 에칭액의 공급을 중단하는 실시에 대한 구체적 예를 살펴본다.
제3실시예에 개시된 내용과 중복되는 구성 및 작동에 관한 설명은 생략하기로 한다.
도9는 농도감지센서(150)를 장착한 에칭액공급장치의 개략도이다.
상기 혼합부(100)의 배출구(130) 또는 상기 연결장치(400)에 유체의 농도를 측정하기 위한 센서가 장착이 되고 상기 농도감지센서(150)는 상기 제어부(200)와 연결되어 있으며, 상기 농도감지센서(150)는 센서에 유체가 닿게 되면 순간 미세한 전류를 흘려보내고 이 전류에 의한 저항값 등을 상기 제어부(200)에서 자동으로 계산하여 기 설정된 농도와 대응하는 저항값이 매칭이 되지 않는 경우 상기 제어부(200)에서 에칭액 공급부(120)의 공급펌프와, 물 공급부(130)의 공급펌프의 작동을 중단시키고 상기 챔버(300)에 유체가 공급되지 않도록 한다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 혼합부 110 정적혼합기
112 엘리먼트 120 혼합부 유입구
130 혼합부 배출구 150 농도감지센서
200 제어부 300 챔버
400 연결장치 410 결합부재
500 에칭액공급부 510 물공급부
600 흡입장치 700 에어콤프레셔

Claims (10)

  1. 기판 에칭 공정을 수행하는 챔버에 에칭액을 공급하는 에칭액공급장치에 있어서,
    파이프 형태의 양 끝에 유입구, 배출구를 구비하고 내부에 에칭액과 물을 혼합하여 균일한 혼합액을 생성하도록 설치된 정적혼합기를 포함하는 혼합부;
    상기 혼합부의 유입구와 연결되어 있으며 에칭액을 공급하는 에칭액 공급부;
    상기 혼합부의 유입구와 연결되어 있으며 물을 공급하는 물 공급부;
    상기 에칭액 공급부와 물 공급부에서 각각 공급하는 에칭액과 물의 공급량을 조절하기 위하여 상기 에칭액 공급부와 물 공급부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하고 상기 혼합부의 배출구는 상기 챔버에 연결된 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부의 배출구와 상기 챔버 사이에 연결장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부 내부의 정적혼합기는 1개 이상의 엘리먼트로 구성되어 있으며 각각의 엘리먼트는 시계방향 내지는 반시계방향으로 비틀려진 형상을 하고, 각각의 엘리먼트의 비틀림 방향을 달리하는 엘리먼트의 연속된 연결로 구성되는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 상단에 상기 정적혼합기가 포함된 혼합부의 배출구가 연결되어 노즐이 있는 챔버 상부 파이프에 물과 혼합된 에칭액이 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 연결장치가 상기 챔버의 상단에 연결되어 노즐이 있는 챔버 상부 파이프에 물과 혼합된 에칭액이 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부는 상기 챔버의 상단에 수직으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부의 유입구에 상기 혼합부에 남아 있는 혼합액을 제거하기 위한 흡입장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부의 유입구에 상기 혼합부에 남아 있는 혼합액을 완전히 소모하도록 하기 위해 에어콤프레셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부의 배출구에 농도감지센서가 포함되어 있으며 상기 농도감지센서는 상기 제어부에 연결되어 설정농도와 다른 농도의 에칭액이 공급될 경우 이를 감지하여 상기 제어부에서 에칭액의 공급을 중단하도록 에칭액 공급부와 물 공급부를 제어하는 것을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치
  10. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부 내의 상기 정적혼합기는 내산성 있는 재질로 되어 있음을 특징으로 하는 정적혼합기를 이용한 에칭액 공급장치.
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