CN108296086A - 喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置及涂布装置，一方面可以利用喷嘴清扫构件来执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面可以抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。本发明的喷嘴清扫构件通过相对于从设置于前端的喷出口喷出涂布液的喷嘴相对地移动，而刮除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴清扫构件包括：树脂制的对向部，在喷嘴的两侧面相对向；以及橡胶制的抵接部，设置于喷嘴的两侧面的各自的前端之间，抵接于喷出口形成开口的喷嘴的前端面。

Description

喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置

技术领域

本发明涉及一种对液晶显示装置用玻璃基板、半导体圆片(wafer)、等离子体显示面板(plasma display panel，简称：PDP)用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、聚酰亚胺前体薄膜的支撑用的玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板(以下简称为“基板”)从喷嘴的喷出口喷出涂布液而进行涂布的涂布装置、去除附着于所述喷嘴的喷出口的涂布液的喷嘴清扫构件以及利用喷嘴清扫构件清扫喷嘴的喷嘴清扫装置。

背景技术

先前，已知有利用从设置于前端的喷出口喷出涂布液的狭缝喷嘴，将涂布液涂布于基板上的涂布装置。并且，在专利文献1的涂布装置中，设置有去除附着于狭缝喷嘴上的涂布液的擦拭单元。所述擦拭单元是使用具有与狭缝喷嘴的前端部的形状相对应的V字状的槽的清扫构件来清扫狭缝喷嘴。更具体而言，一边使狭缝喷嘴的前端部抵接于清扫构件的V字槽，一边使清扫构件沿狭缝喷嘴移动。通过这样使清扫构件滑动至狭缝喷嘴，可以刮除附着于狭缝喷嘴上的涂布液。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-200614号公报

发明内容

发明所要解决的问题

如上所述从狭缝喷嘴去除涂布液是为了从狭缝喷嘴的喷出口稳定地喷出涂布液而执行。特别是当涂布液多余地附着于喷出口开口的狭缝喷嘴的前端面时，容易对从喷出口的涂布液的喷出产生影响。因此，为了稳定地喷出涂布液，重要的是使清扫构件牢固地装配于狭缝喷嘴的前端面。但是，当使清扫构件牢固地装配于喷嘴时清扫构件的磨损会加剧，从而有可能产生频繁地更换清扫构件的需要。即，当为了稳定地喷出涂布液而想要确实地去除涂布液时，会产生频繁地出现清扫构件的更换而使运营成本增大之类的问题。

本发明是鉴于所述问题而完成的，目的在于一方面能够利用喷嘴清扫构件执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面能够抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。

解决问题的手段

本发明的喷嘴清扫构件是通过相对于喷嘴相对地移动而刮除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，喷嘴清扫构件包括：树脂制的对向部，在喷嘴的两侧面相对向；以及橡胶制的抵接部，设置于喷嘴的两侧面的各自的前端之间，抵接于喷出口形成开口的喷嘴的前端面。

本发明的喷嘴清扫装置去除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，所述喷嘴清扫装置包括：所述喷嘴清扫构件；支撑部，对喷嘴清扫构件进行支撑；以及驱动部，通过对支撑部进行驱动，而使喷嘴清扫构件相对于喷嘴移动。

本发明的涂布装置包括：喷嘴，从设置于前端的喷出口喷出涂布液；以及所述喷嘴清扫装置。

如上所述构成的本发明(喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置)的清扫对象即喷嘴包括：两侧面；以及前端面，设置于所述两侧面各自的前端之间，并且喷出口开口。与此相对，喷嘴清扫构件包括在喷嘴的两侧面相对向的对向部、以及抵接于喷嘴的前端面的抵接部。因此，通过使喷嘴清扫构件相对于喷嘴滑动，可以利用喷嘴清扫构件的对向部刮除附着于喷嘴的两侧面的涂布液，并且利用喷嘴清扫构件的抵接部刮除附着于喷嘴的前端面的涂布液。

并且，喷嘴清扫构件的对向部为树脂制，所以几乎不会产生伴随着喷嘴的清扫的磨损。再者，这种树脂制的对向部不产生弹性变形，所以不会紧密地装配于喷嘴的两侧面。但是，喷嘴的两侧面的涂布液附着量本来就少，而且只要能够去除至其不会滴落到喷嘴的前端面的程度即可。因此，关于附着于喷嘴的两侧面的涂布液，只要预先利用树脂性的对向部加以去除，便可以抑制对从喷嘴喷出涂布液所造成的影响。与此相对，喷嘴清扫构件的抵接部为橡胶制。因此，能够紧密地装配于喷嘴的前端面，确实地去除附着于喷嘴的前端面的涂布液，实现从喷嘴稳定地喷出涂布液。再者，这种橡胶制的抵接部可能伴随着喷嘴的清扫而磨损。但是，在抵接部所抵接的喷嘴的前端面上，存在涂布液大量附着的倾向，所述涂布液作为润滑剂而发挥作用，所以抵接部的磨损缓慢地进展。并且，当抵接部磨损至不堪使用的程度时，只要仅更换所述抵接部即可，不需要更换喷嘴清扫构件自身。这样一来，一方面可以利用喷嘴清扫构件来执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面可以抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。

并且，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：还包括具有将对向部形成于侧边部的槽的树脂制的本体，抵接部安装于槽的底部。在所述构成中，当抵接部产生了磨损时，只要相对于本体更换抵接部即可，本体自身可以继续使用。因此，能够有效地抑制运营成本。

这时，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：抵接部相对于槽的底部可拆装。由此，可以简单地执行抵接部相对于本体的更换操作。

并且，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：本体对涂布液具有斥液性。由此，为了能够抑制附着于本体上的涂布液的量，可以抑制喷嘴清扫构件的清扫频率。

具体而言，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：本体由聚四氟乙烯或相对于涂布液的接触角大于聚四氟乙烯的树脂所形成。由此，能够以相对于涂布液具有斥液性的方式形成喷嘴清扫构件的本体。

并且，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：在刮除附着于喷嘴上的涂布液时，抵接部与限制构件接触，所述喷嘴具有通过对喷出口局部地堵塞而对喷出口之中喷出涂布液的范围进行限制的限制构件。由此，可以确实地去除附着于限制构件上的涂布液。

并且，也可以如下方式构成喷嘴清扫构件：刮除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴喷出包含聚酰亚胺前体及溶剂的涂布液。这种包含聚酰亚胺前体的涂布液与例如光阻剂用的涂布液等相比具有更高的粘度，所以特别需要从喷嘴的前端面确实地去除。与此相对，根据本发明，利用装配于喷嘴的前端面的橡胶制的抵接部，可以从喷嘴的前端面确实地去除涂布液。另一方面，由于涂布液具有高粘度，所以难以产生涂布液从喷嘴的两侧面滴落至前端面的情况。因此，从喷嘴的两侧面去除涂布液只要通过树脂制的对向部来执行便足够。

发明的效果

如上所述，根据本发明，可以利用喷嘴清扫构件来执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，并且可以抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的涂布装置的立体图。

图2是示意性地表示图1所示的涂布装置的侧视图。

图3是概略性地表示图1所示的涂布装置的各部的配置的俯视图。

图4是示意性地表示狭缝喷嘴的立体图。

图5是示意性地表示图4的狭缝喷嘴的分解构造的立体图。

图6是示意性地表示喷嘴清扫装置的一例的立体图。

图7是示意性地表示喷嘴清扫装置中用作喷嘴清扫构件的刮板的一例的图。

图8是示意性地表示图7的刮板与狭缝喷嘴的关系的图。

符号的说明

1：涂布装置

2：狭缝喷嘴(喷嘴)

2a：前端部

2d：前端面

3：基板

4：平台

5：涂布处理部

6：喷嘴清扫装置

6A：去除单元

6B：驱动单元(驱动部)

6C：洗涤单元

21：喷出口

23、25：喷嘴主体

23a、25a：下端部

23b、25b：上端部

23c、25c：侧面(两侧面)

23d、25d：喷嘴主体的底面

27：喷嘴垫片(限制构件)

31：表面

41：保持面

51：喷嘴支撑体

51a：支撑构件

51b：升降机构

52、624：导轨

53：狭缝喷嘴移动部

54：线性马达

54a：定子

54b：动子

55：线性编码器

55a：刻度部

55b：检测部

61：刮板(喷嘴清扫构件)

62：支撑部

64：螺栓

100：控制部

271：上边部

272：侧边部

272d：侧边部的底面

273：间隔部

273d：间隔部的底面

510：安装部位

611：本体

612：被支撑部

613：延伸设置部

614：V字槽

615、616：对向部

618：抵接部

621：升降部

622：柱部

623：底座部

625：施压构件

651：辊

652：环形带

A1、A2：侧面开口

A3：上表面开口

CV：空腔

Dc：清扫方向

F：流路

Fa：横孔部

Fb：纵孔部

RA：喷嘴调整区域

RT：涂布区域

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的涂布装置的立体图。并且，图2是示意性地表示图1所示的涂布装置的侧视图。此外，图3是概略性地表示图1所示的涂布装置的各部的配置的俯视图。再者，在图1、图2、图3及以后的各图中，为了阐明它们的方向关系，适当标注将Z方向设为垂直方向，将XY平面设为水平面的XYZ正交坐标系，并且根据需要夸张或简化地描绘各部的尺寸或数量。并且，在图2及图3中，省略了喷嘴支撑体等的一部分的构成。

涂布装置1是使用狭缝喷嘴2在基板3的表面31上涂布涂布液的被称为狭缝涂布机的涂布装置。涂布液分别包含聚酰亚胺前体即聚酰胺酸(polyamide acid；polyamic acid)作为溶质，包含N-甲基-2-吡咯烷酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，简称：NMP)作为溶剂。并且，基板3是俯视时具有矩形形状的玻璃基板。再者，在本说明书中，所谓“基板3的表面31”是指基板3的两主面之中涂布涂布液之侧的主面。

涂布装置1包括能够以水平姿势吸附保持基板3的平台4、利用狭缝喷嘴2对保持于平台4上的基板3实施涂布处理的涂布处理部5、对狭缝喷嘴2实施清洁(cleaning)处理的喷嘴清扫装置6、以及对所述各部进行控制的控制部100。

平台4由具有大致长方体的形状的花岗岩等石材所构成，在其上表面(+Z侧)之中的-Y侧，具有加工成大致水平的平坦面而保持基板3的保持面41。在保持面41上分散地形成有未图示的多个真空吸附口。通过利用这些真空吸附口吸附基板3，而在涂布处理时将基板3水平地保持于规定的位置。再者，基板3的保持形态并不限定于此，例如也可以构成为机械地保持基板3。并且，在平台4上比保持面41所占有的区域更靠+Y侧的位置上设置有喷嘴调整区域RA，在所述喷嘴调整区域RA内配置有后文详述的喷嘴清扫单元6。

涂布处理部5包括对狭缝喷嘴2进行支撑的喷嘴支撑体51。所述喷嘴支撑体51包括在平台4的上方沿X方向平行地延伸设置的支撑构件51a、以及对支撑构件51a从X方向上的两侧进行支撑而使支撑构件51a升降的两个升降机构51b。支撑构件51a是由碳纤维强化树脂等构成，具有矩形的截面的棒构件。所述支撑构件51a的下表面成为狭缝喷嘴2的安装部位510，支撑构件51a将狭缝喷嘴2可拆装地支撑于安装部位510。再者，作为用于将狭缝喷嘴2相对于支撑构件51a的安装部位510而拆装的机构，可以适当使用闩锁(latch)或螺钉等各种紧固机构。

两个升降机构51b连结于支撑构件51a的长度方向上的两端部，分别具有交流电(alternating current，简称：AC)伺服马达及滚珠螺杆等。利用这些升降机构51b，使支撑构件51a及固定于其上的狭缝喷嘴2沿垂直方向(Z方向)升降，对在狭缝喷嘴2的下端开口的喷出口21与基板3的间隔，即，对喷出口21相对于基板3的相对高度进行调整。再者，支撑构件51a的垂直方向上的位置虽然例如省略了图示，但是可以通过线性编码器(linearencoder)来检测，所述线性编码器包括设置于升降机构51b的侧面的刻度(scale)部、以及与所述刻度部相对向地设置于狭缝喷嘴2的侧面等的检测传感器。

如上所述构成的喷嘴支撑体51如图1所示，具有沿X方向架设于平台4的左右两端部的跨越保持面41的跨接构造。涂布处理部5包括使所述喷嘴支撑体51沿Y方向移动的狭缝喷嘴移动部53。狭缝喷嘴移动部53作为使作为跨接构造体的喷嘴支撑体51与支撑于其上的狭缝喷嘴2，相对于保持于平台4上的基板3沿Y方向相对移动的相对移动元件而发挥作用。具体而言，狭缝喷嘴移动部53分别在±X侧，具有在Y方向上引导狭缝喷嘴2的移动的导轨(guide rail)52、作为驱动源的线性马达54、以及用于对狭缝喷嘴2的喷出口21的位置进行检测的线性编码器55。

两个导轨52分别设置于平台4的X方向上的两端部，并且以包含设置有喷嘴调整区域RA及保持面41的区间的方式在Y方向上延伸设置。而且，两个导轨52分别在Y方向上引导两个升降机构51b的移动。并且，两个线性马达54分别设置于平台4的两侧，是具有定子54a及动子54b的AC无铁芯线性马达(coreless linear motor)。定子54a沿Y方向设置于平台4的X方向上的侧面。另一方面，动子54b固定设置于升降机构51b的外侧。两个线性马达54分别通过所述定子54a与动子54b之间所产生的磁力，沿Y方向对两个升降机构51b进行驱动。

并且，各线性编码器55分别包含刻度部55a及检测部55b。刻度部55a沿Y方向设置在固定设置于平台4上的线性马达54的定子54a的下部。另一方面，检测部55b固定设置于升降机构51b上所固定设置的线性马达54的动子54b的更外侧，与刻度部55a相对向而配置。线性编码器55基于刻度部55a与检测部55b的相对位置关系，对Y方向上的狭缝喷嘴2的喷出口21的位置进行检测。

如上所述构成的狭缝喷嘴移动部53通过在Y方向上对喷嘴支撑体51进行驱动，可以使狭缝喷嘴2在喷嘴调整区域RA的上方与保持于平台4上的基板3的上方之间移动。而且，涂布装置1通过一边从狭缝喷嘴2的喷出口21喷出涂布液，一边使狭缝喷嘴2相对于基板3相对移动，而在基板3的表面31形成涂布层。再者，涂布液的涂布并非对基板3的整个面执行，而是如图3所示，对基板3之中规定的涂布区域RT选择性地涂布涂布液。因此，从在狭缝喷嘴2的移动区间之中基板3的涂布区域RT的上方区间移动的喷出口21喷出涂布液。并且，相对于基板3，设定有相互分割而成的两个涂布区域RT。因此，如后所述，狭缝喷嘴2的喷出口21之中喷出涂布液的范围限制在与各涂布区域RT相对应的范围内。

并且，在涂布装置1与外部搬运机构的基板3的交接期间(基板3的搬入及搬出时间)等在平台4上未进行涂布处理的期间，狭缝喷嘴2在从基板3的保持面41向+Y侧偏离的喷嘴调整区域RA内进行避让(图1所示的状态)。而且，喷嘴清扫单元6对位于喷嘴调整区域RA的狭缝喷嘴2执行清洁处理。所述喷嘴清扫装置6的详细情况将接在狭缝喷嘴2的说明之后描述。

图4是示意性地表示狭缝喷嘴的立体图，图5是示意性地表示图4的狭缝喷嘴的分解构造的立体图。狭缝喷嘴2包括两个喷嘴主体23、喷嘴主体25、以及从Y方向夹于所述喷嘴主体23、喷嘴主体25之间的喷嘴垫片(nozzle shim)27。喷嘴主体23、喷嘴主体25分别在X方向上以相同的宽度延伸设置，在YZ截面中具有梯形状的下端部23a、下端部25a及矩形状的上端部23b、上端部25b。喷嘴主体23、喷嘴主体25的内侧(喷嘴垫片27侧)的面分别是与ZX平面平行的平面。另一方面，喷嘴主体23、喷嘴主体25的下端部23a、下端部25a的外侧(喷嘴垫片27的相反侧)的侧面23c、侧面25c分别是以越朝向下方越靠近喷嘴垫片27的方式倾斜的倾斜面。因此，由喷嘴主体23、喷嘴主体25的下端部23a、下端部25a构成的狭缝喷嘴2的前端部2a(喷嘴凸缘(nozzle lip)部)具有尖端越向下方越细的形状。

并且，在各喷嘴主体23、喷嘴主体25中，从侧面23c及侧面25c各自的前端(下端)向内侧(喷嘴垫片27侧)水平地延伸设置有底面23d、底面25d。所述喷嘴主体23、喷嘴主体25的底面23d、底面25d齐平地排列，构成狭缝喷嘴2的前端面2d。并且，在喷嘴主体23、喷嘴主体25的底面23d、底面25d之间，与X方向平行的狭缝状的喷出口21形成开口。如上所述，侧面23c及侧面25c分别相当于本发明的“喷嘴的侧面”，在侧面23c的前端与侧面25c的前端之间水平地延伸设置并且喷出口21开口的前端面2d相当于本发明的“喷嘴的前端面”。

在喷嘴主体25的内侧的面上，形成有涂布液的流路F。所述流路F包括与X方向平行地延伸设置的横孔部Fa、以及从横孔部Fa的中央与Z方向平行地延伸设置的纵孔部Fb。而且，横孔部Fa的X方向上的两端在喷嘴主体25的两侧面打开而分别构成侧面开口A1、侧面开口A2，纵孔部Fb的上端在喷嘴主体25的上表面打开而构成上表面开口A3。

喷嘴垫片27具有以与喷嘴主体23、喷嘴主体25相同的宽度在X方向上延伸设置的平板形状的上边部271。此外，喷嘴垫片27包括从上边部271的两端向Z方向下方延伸设置的平板形状的侧边部272、以及在两侧边部272之间从上边部271向Z方向下方延伸设置的平板形状的间隔部273。各侧边部272、间隔部273及喷嘴主体23、喷嘴主体25在Z方向上具有相同的高度，各侧边部272的底面272d、间隔部273的底面273d与狭缝喷嘴2的前端面2d齐平地排列。

上边部271的下方且各侧边部272与间隔部273之间的区域作为狭缝喷嘴2的空腔CV而发挥作用。对各空腔CV的上端进行规定的上边部271位于比流路F的横孔部Fa更上方的位置，各空腔CV与流路F的横孔部Fa连通。因此，从侧面开口A1、侧面开口A2中的一个或两个供给的涂布液在各空腔CV内扩散。而且，从朝向外侧打开的各空腔CV的下端喷出涂布液。所述两个空腔CV是对应于两个涂布区域RT而设置，各空腔CV具有与相对应的涂布区域RT(图3)在X方向上相同的宽度。如上所述，喷嘴垫片27作为通过对喷出口21局部地堵塞，而对喷出口21之中喷出涂布液的范围进行限制的限制构件而发挥作用。

而且，为了从具备所述构成的狭缝喷嘴2去除多余的涂布液，喷嘴清扫装置6对狭缝喷嘴2执行清洁处理。接着，关于所述喷嘴清扫装置6的构成及动作，一边并用图6、图7及图8，一边进行详述。

图6是示意性地表示喷嘴清扫装置的一例的立体图。并且，图7是示意性地表示喷嘴清扫装置中用作喷嘴清扫构件的刮板的一例的图。此外，图8是示意性地表示图7的刮板与狭缝喷嘴的关系的图。喷嘴清扫装置6包括通过朝向沿狭缝喷嘴2的前端部2a的清扫方向Dc伴随着刮板61移动而去除附着于前端部2a的涂布液的去除单元6A、以及对去除单元6A在清扫方向Dc上进行驱动的驱动单元6B。在这里，清扫方向Dc是朝向与X方向的箭头为相反方向的一边且与X方向平行的方向，驱动单元6B能够使去除单元6A朝向X方向往返移动。

并且，喷嘴清扫装置6包括在通过对刮板61进行密闭而形成的密闭空间的内部洗涤刮板61的洗涤单元6C(图3)。所述洗涤单元6C是通过对擦拭附着于狭缝喷嘴2的前端部2a的涂布液而加以去除的刮板61，在所述密闭空间内供给洗涤液而冲走附着于刮板61上的涂布液的单元。作为洗涤液，可以使用涂布液的溶剂(在此处的示例中为NMP)。作为所述洗涤单元6C，例如可以使用日本专利特开2014-176812号公报中所记载的单元。

去除单元6A主要包括滑动至狭缝喷嘴2的前端部2a的刮板61、以及对刮板61进行支撑的支撑部62。再者，在图6中，表示了去除单元6A位于比狭缝喷嘴2的清扫方向Dc的上游侧端部更靠清扫方向Dc的上游侧的位置上时狭缝喷嘴2及去除单元6A的构成。

如图7所示，刮板61包括能够利用支撑部62进行支撑的本体611。刮板61的本体611例如是利用聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，简称：PTFE)等树脂一体地形成的硬质体。所述树脂制的本体611对涂布液具有斥液性。而且，本体611的中央部成为被支撑部62支撑的被支撑部612。本体611具有从被支撑部612延伸设置的延伸设置部613，在所述延伸设置部613的上端，形成有V字型的槽即V字槽614。V字槽614具有与狭缝喷嘴2的前端部2a相对应的形状，在V字槽614的各侧边部形成有沿侧面23c倾斜的对向部615及沿侧面25c倾斜的对向部616。此外，刮板61包括安装于本体611的V字槽614的底部的抵接部618。所述抵接部618是由橡胶形成的弹性体，加工成沿狭缝喷嘴2的前端面2d的平坦形状。再者，将抵接部618安装于本体611是通过利用粘接剂将抵接部618粘接于本体611来实现。

如上所述构成的刮板61如图6所示是两根紧固金属零件，例如通过螺栓(bolt)64而拆装自如地固定于支撑部62。所述支撑部62包括能够在Z方向上升降的升降部621、以及朝向Z方向立设于升降部621的上表面的柱部622。而且，将刮板61紧固于柱部622的上端。更具体而言，刮板61的被支撑部612加工成可卡合于柱部622的上端部的形状。而且，刮板61在一边将所述V字槽614朝向狭缝喷嘴2侧，一边相对于沿X方向延伸设置的狭缝喷嘴2以规定的倾斜角度θ(例如，50度)倾斜的状态下，紧固于柱部622的上端部。

并且，支撑部62在如上所述固定有刮板61的升降部621的下方具有底座部623。而且，升降部621被底座部623可升降地支撑着。即，在支撑部62，设置有从底座部623的上表面沿Z方向立设的导轨624、以及设置于底座部623与升降部621之间的施压构件625(例如，压缩弹簧)。而且，一边由导轨624在Z方向上引导升降部621的移动，一边由施压构件625相对于底座部623对升降部621朝向上方施压。因此，固定于升降部621上的刮板61被施压构件625的施压力向上方施压。

并且，支撑部62的底座部623安装于驱动单元6B。所述驱动单元6B包括在X方向上配置在狭缝喷嘴2的两外侧的一对辊651、辊651、以及架设于辊651、辊651上的环形带(endless belt)652，在环形带652的上表面安装有支撑部62的底座部623。所述驱动单元6B使辊651、辊651旋转而对环形带652的上表面朝向X方向进行驱动，并且伴随着支撑部62使刮板61朝向X方向移动。

如上所述构成的喷嘴清扫装置6通过相对于狭缝喷嘴2的前端部2a使刮板61在清扫方向Dc上滑动，而从狭缝喷嘴2的前端部2a刮除涂布液(清洁处理)。执行所述清洁处理的目的是例如单纯地去除附着于狭缝喷嘴2上的多余的涂布液，或者在涂布处理开始前调整狭缝喷嘴2的喷出口21上的涂布液的状态。当因为后者的目的而执行清洁处理时，从狭缝喷嘴2的喷出口21喷出若干涂布液之后执行清洁处理。

在清洁处理中，刮板61的抵接部618通过施压构件625的施压力而对狭缝喷嘴2的前端面2d及喷嘴垫片27(的底面)进行按压。这时，即使因为狭缝喷嘴2的组装精度等，而在狭缝喷嘴2的前端面2d与喷嘴垫片27之间产生有若干的阶差，刮板61的抵接部618也会通过弹性变形而与狭缝喷嘴2的前端面2d及喷嘴垫片27密接。由此，可以利用抵接部618来确实地刮除附着于所述狭缝喷嘴2的前端面2d及喷嘴垫片27上的涂布液。并且，刮板61的对向部615、对向部616分别与狭缝喷嘴2的侧面23c、侧面25c接触或空开若干的余隙(clearance)而相对向。因此，可以利用对向部615、对向部616来刮除附着于狭缝喷嘴2的侧面23c、侧面25c上的涂布液。

如以上所述在本实施方式中，作为清扫对象的狭缝喷嘴2包括两侧面23c、侧面25c、以及设置于所述两侧面23c、侧面25c各自的前端之间并且喷出口21开口的前端面2d。与此相对，刮板61包括与喷嘴的两侧面23c、侧面25c相对向的对向部615、对向部616，以及抵接于狭缝喷嘴2的前端面2d的抵接部618。因此，通过使刮板61相对于狭缝喷嘴2滑动，可以利用刮板61的对向部615、对向部616刮除附着于狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c的涂布液，并且利用刮板61的抵接部618刮除附着于狭缝喷嘴2的前端面2d的涂布液。

并且，刮板61的对向部615、对向部616为树脂制，所以几乎不会产生伴随着狭缝喷嘴2的清扫的磨损。再者，这种树脂制的对向部615、对向部616不会弹性变形，所以并不紧密地装配于狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c。但是，狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c的涂布液的附着量本来就少，而且只要能够去除至其不会滴落至狭缝喷嘴2的前端面2d的程度即可。因此，关于附着于狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c的涂布液，只要预先利用树脂性的对向部615、对向部616加以去除，便可以抑制对从狭缝喷嘴2喷出涂布液所造成的影响。与此相对，刮板61的抵接部618为橡胶制。因此，能够紧密地装配于狭缝喷嘴2的前端面2d，确实地去除附着于狭缝喷嘴2的前端面2d上的涂布液，实现从狭缝喷嘴2稳定地喷出涂布液。再者，这种橡胶制的抵接部618会伴随着狭缝喷嘴2的清扫而磨损。但是，在抵接部618所抵接的狭缝喷嘴2的前端面2d上，存在涂布液大量附着的倾向，所述涂布液作为润滑剂而发挥作用，所以抵接部618的磨损缓慢地进展。并且，当抵接部618磨损至不堪使用时，只要仅更换所述抵接部618即可，不需要更换刮板61自身。这样一来，可以一方面利用刮板61来执行适合于从狭缝喷嘴2稳定地喷出涂布液的清扫，一方面抑制伴随着刮板61的更换而产生的运营成本。

再者，抵接部618的更换只要从本体611去除经磨损的抵接部618，利用粘接剂将新的抵接部618粘接于本体611即可。并且，所述更换操作既可以由涂布装置1的用户来进行，也可以通过涂布装置1的制造商的服务来进行。

而且，针对刮板61的磨损的问题，也可以考虑如下应对措施：通过在狭缝喷嘴2与刮板61之间供给漂洗(rinse)液等作为润滑剂，来抑制刮板61的磨损。但是，漂洗液混合于从狭缝喷嘴2的喷出口21喷出的涂布液中，有可能使涂布液的粘度改变，而使基板3上的涂布液的涂布状态变得不稳定，或者漂洗液的消耗量增大。另一方面，根据本实施方式，在不会产生所述问题的方面也存在优点。

并且，以如下方式构成有刮板61：设置有包含将对向部615、对向部616形成于侧边部的V字槽614的树脂制的对向部616，在V字槽614的底部安装有抵接部618。在所述构成中，当抵接部618产生了磨损时，针对本体611，只要更换抵接部618即可，本体611自身可以继续使用。因此，能够有效抑制运营成本。

并且，本体611对涂布液具有斥液性。因此，为了能够抑制附着于本体611上的涂布液的量，可以抑制洗涤单元6C中的刮板61的清扫频率。

并且，狭缝喷嘴2具有通过对喷出口21进行局部堵塞，而对喷出口21之中喷出涂布液的范围进行限制的喷嘴垫片27。对此，在清洁处理中，刮板61的抵接部618与狭缝喷嘴2的喷嘴垫片27接触。由此，也可以确实地去除附着于喷嘴垫片27上的涂布液。

此外，狭缝喷嘴2的涂布液包含聚酰亚胺前体及溶剂。这种包含聚酰亚胺前体的涂布液与例如光阻剂用的涂布液等相比具有更高的粘度，所以特别需要从狭缝喷嘴2的前端面2d确实地去除。与此相对，根据本实施方式，通过装配于狭缝喷嘴2的前端面2d的橡胶制的抵接部618，可以从狭缝喷嘴2的前端面2d确实地去除涂布液。另一方面，由于涂布液具有高粘度，所以难以产生涂布液从狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c滴落至前端面2d的情况。因此，从狭缝喷嘴2的两侧面23c、侧面25c去除涂布液只要通过树脂制的对向部615、对向部616来执行便足够。

如上所述在所述实施方式中，涂布装置1相当于本发明的“涂布装置”的一例，喷嘴清扫装置6相当于本发明的“喷嘴清扫装置”的一例，刮板61相当于本发明的“喷嘴清扫构件”的一例，支撑部62相当于本发明的“支撑部”的一例，驱动单元6B相当于本发明的“驱动部”的一例，对向部615、对向部616相当于本发明的“对向部”的一例，抵接部618相当于本发明的“抵接部”的一例，本体611相当于本发明的“本体”的一例，狭缝喷嘴2相当于本发明的“喷嘴”的一例，喷出口21相当于本发明的“喷出口”的一例，侧面23c、侧面25c相当于本发明的“两侧面”的一例，前端面2d相当于本发明的“前端面”的一例，喷嘴垫片27相当于本发明的“限制构件”的一例。

再者，本发明并不限定于所述实施方式，只要不脱离其主旨，除了所述方式以外还可以进行各种变更。例如，在所述实施方式中，是利用粘接剂将抵接部618粘接于刮板61的本体611上。但是，也可以相对于刮板61的本体611，具体而言，相对于V字槽614的底部可拆装地构成抵接部618。由此，可以简单地执行抵接部618相对于本体611的更换操作。再者，使抵接部618相对于本体611可拆装的具体机构可以想到各种。例如，只要通过在本体611上设置卡合突起，另一方面，在抵接部618上设置卡合孔，使这些卡合突起与卡合孔相互卡合，而使抵接部618相对于本体611可拆装即可。或者，也可以利用螺钉等紧固机构。

并且，构成本体611的树脂的种类并不限于聚四氟乙烯。因此，也可以利用例如相对于涂布液的接触角大于聚四氟乙烯的其它种类的树脂来构成本体611。这时，本体611具有对涂布液的斥液性，所以能够抑制洗涤单元6C中的刮板61的本体611的清扫频率。

并且，也不需要本体611具有对涂布液的斥液性。因此，也可以利用对涂布液不具有斥液性的其它种类的树脂来构成本体611。

并且，狭缝喷嘴2的前端面2d不需要为平面，也可以具有微小的阶差。特别是在所述实施方式中，抵接于狭缝喷嘴2的前端面2d的刮板61的抵接部618为橡胶制，所以即使在狭缝喷嘴2的前端面2d上存在阶差，通过所述抵接部618产生弹性变形，也可以密接于前端面2d。因此，可以从狭缝喷嘴2的前端面2d确实地去除涂布液。

并且，在所述实施方式中，例示了对分割而成的两个涂布区域RT涂布涂布液的情况。但是，所述刮板61也可以对将涂布液涂布于单个涂布区域RT的狭缝喷嘴2有效地执行清洁处理。

并且，对向部615、对向部616是一体地形成于树脂制的本体611上。但是，也可以如下方式构成刮板61：在由与树脂不同的物质构成的本体上，安装树脂制的对向部615、对向部616及橡胶制的抵接部618。

并且，抵接部618的形状并不限于平坦形状。例如，也可以抵接部618的两端抵达至V字槽614的侧边部的方式，在Y方向上延伸设置抵接部618。这时，可以使抵接部618密接于狭缝喷嘴2的侧面23c、侧面25c之中与前端部分即前端面2d邻接的部分，而从所述前端部分确实地去除涂布液。

并且，能够用作涂布液的液体并不限于包含聚酰亚胺前体及NMP的液体。因此，可以使用成为耐蚀刻被膜的光阻液、彩色滤光片用光阻液、包含硅、纳米金属油墨(nanometal ink)或导电性材料的浆料(浆糊)等各种涂布液。

此外，关于成为涂布对象的基板3，也可以使用液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、PDP用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用软性基板、有机EL用基板等各种基板。

[产业上的可利用性]

本发明可以应用于对从喷出口喷出涂布液的喷嘴进行清扫的所有喷嘴清扫技术。

Claims (9)

1.一种喷嘴清扫构件，通过相对于喷嘴相对地移动而刮除附着于所述喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，所述喷嘴清扫构件的特征在于包括：

树脂制的对向部，在所述喷嘴的两侧面相对向；以及

橡胶制的抵接部，设置于所述喷嘴的所述两侧面的各自的前端之间，抵接于所述喷出口形成开口的所述喷嘴的前端面。

2.根据权利要求1所述的喷嘴清扫构件，其特征在于还包括：

树脂制的本体，具有将所述对向部形成于侧边部的槽；并且

所述抵接部安装于所述槽的底部。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清扫构件，其特征在于：所述抵接部相对于所述槽的底部可拆装。

4.根据权利要求2或3所述的喷嘴清扫构件，其特征在于：所述本体对所述涂布液具有斥液性。

5.根据权利要求4所述的喷嘴清扫构件，其特征在于：所述本体由聚四氟乙烯或相对于所述涂布液的接触角大于聚四氟乙烯的树脂所形成。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的喷嘴清扫构件，其特征在于：

刮除附着于所述喷嘴上的涂布液，所述喷嘴包含通过对所述喷出口进行局部堵塞而对所述喷出口之中喷出所述涂布液的范围进行限制的限制构件，

所述抵接部与所述限制构件接触。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的喷嘴清扫构件，其特征在于：刮除附着于所述喷嘴上的所述涂布液，所述喷嘴喷出包含聚酰亚胺前体及溶剂的所述涂布液。

8.一种喷嘴清扫装置，去除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，所述喷嘴清扫装置的特征在于包括：

权利要求1至7中任一项所述的喷嘴清扫构件；

支撑部，对所述喷嘴清扫构件进行支撑；以及

驱动部，通过对所述支撑部进行驱动，而使所述喷嘴清扫构件相对于所述喷嘴移动。

9.一种涂布装置，其特征在于包括：

喷嘴，从设置于前端的喷出口喷出涂布液；以及

权利要求8所述的喷嘴清扫装置。