KR101578368B1 - 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터 - Google Patents

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KR101578368B1 KR1020140172646A KR20140172646A KR101578368B1 KR 101578368 B1 KR101578368 B1 KR 101578368B1 KR 1020140172646 A KR1020140172646 A KR 1020140172646A KR 20140172646 A KR20140172646 A KR 20140172646A KR 101578368 B1 KR101578368 B1 KR 101578368B1
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박호윤
김선용
이충한
구자현
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주식회사 디엠에스
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Abstract

본 발명은 노즐립을 세정하기 위한 블레이드를 상기 노즐립의 표면에 정확하고 빠르게 설치할 수 있으면서도 상기 노즐립에 대한 세정력을 높일 수 있는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 클리너 본체; 상기 클리너 본체에 결합되는 제1 블레이드 지지부재를 갖는 블레이드 지지유닛; 후단은 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되며, 선단은 약액을 토출한 이후의 노즐립의 표면에 묻어 있는 약액을 긁어내기 위하여 상기 노즐립의 표면에 접촉되는 제1 블레이드를 갖는 블레이드유닛; 상기 클리너 본체에 구비되어 상기 제1 블레이드 지지부재를 이동시키면서 상기 제1 블레이드의 선단과 상기 노즐립의 표면 사이의 상대위치를 조절하는 제1 각도조절부재를 갖는 각도조절유닛; 그리고, 상기 제1 블레이드 지지부재와 상기 제1 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재의 이동시 상기 제1 블레이드의 선단이 상기 노즐립의 표면에 평행하게 접촉되도록 상기 제1 블레이드의 폭방향 회전중심이 되는 제1 서포트 핀부재를 갖는 서포트 핀유닛을 포함하는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터를 제공한다.

Description

노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터{Apparatus for cleaning nozzle lip and Slit coater using the same}
본 발명은 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노즐립을 세정하기 위한 블레이드를 상기 노즐립의 표면에 정확하고 빠르게 설치할 수 있으면서도 상기 노즐립에 대한 세정력을 높일 수 있는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조 공정은 각종 약액을 기판면에 도포하는 코팅공정을 포함하며, 상기 코팅공정에 사용되는 코팅장치로는 슬릿노즐(Slit nozzle)을 갖는 슬릿코터(slit coater)가 주로 사용된다.
상기 슬릿코터는 상기 슬릿노즐을 통하여 약액을 토출하면서 상기 기판의 일측에서 타측을 향하여 순차적으로 이동함으로써 상기 약액을 상기 기판면에 도포하게 된다.
상기 슬릿코터는 상기 기판면에 약액을 균일하게 도포하여야 하는데, 이를 위해서는 상기 기판면에 상기 약액을 도포한 후 일정시점에서 상기 슬릿노즐의 노즐립(nozzle lip)에 묻어 있는 약액을 제거해주야 하는 작업이 반드시 필요하게 된다.
상기 노즐립에 묻어 있는 약액을 제거해주기 위하여 상기 슬릿코터에는 노즐립 클리너가 구비되며, 상기 노즐립 클리너에는 상기 노즐립에 묻어있는 상기 약액을 긁어내기 위한 복수 개의 블레이드들이 구비되어 있다.
이때, 상기 블레이드들의 선단은 상기 노즐립의 표면에 평행하게 접촉되어야 하는데, 종래에는 상기 블레이드들의 선단이 상기 노즐립의 표면에 평행하게 접촉하도록 세팅하는데 너무 많은 시간과 노력이 투여되는 문제점이 있다.
또한, 상기 노즐립 클리너가 고속으로 이동하면서 상기 약액을 긁어내는 경우에는 어느 하나의 블레이드에 의하여 상기 노즐립에서 분리된 약액이 해당 블레이드를 타고 넘어와 다른 블레이드에 영향을 주게 되어 세정불량이 발생하는 문제 점이 있다.
대한민국 등록특허공보 10-1328730호(발명의 명칭: 슬릿 코터, 공고일: 2013년 11월 11일)
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 블레이드의 선단이 노즐립의 표면과 빠르고 정확하게 평행을 이루면서 접촉되도록 하여 장비의 가동율을 향상시킬 수 있는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 다른 과제는 노즐립 클리너의 세정력을 높여 제품생산시간을 줄일 수 있는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 또 다른 과제는 어느 하나의 블레이드에 의하여 노즐립의 표면으로부터 분리된 약액이 다른 블레이드에 영향을 미치지 않도록 함으로써 세정불량을 방지할 수 있는 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿 코터를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 클리너 본체; 상기 클리너 본체에 결합되는 제1 블레이드 지지부재를 갖는 블레이드 지지유닛; 후단은 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되며, 선단은 약액을 토출한 이후의 노즐립의 표면에 묻어 있는 약액을 긁어내기 위하여 상기 노즐립의 표면에 접촉되는 제1 블레이드를 갖는 블레이드유닛; 상기 클리너 본체에 구비되어 상기 제1 블레이드 지지부재를 이동시키면서 상기 제1 블레이드의 선단과 상기 노즐립의 표면 사이의 상대위치를 조절하는 제1 각도조절부재를 갖는 각도조절유닛; 그리고, 상기 제1 블레이드 지지부재와 상기 제1 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재의 이동시 상기 제1 블레이드의 선단이 상기 노즐립의 표면에 평행하게 접촉되도록 상기 제1 블레이드의 폭방향 회전중심이 되는 제1 서포트 핀부재를 갖는 서포트 핀유닛을 포함하는 노즐립 클리너를 제공한다.
상기 제1 블레이드는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 블레이드 체결부와, 상기 블레이드 체결부에서 연장형성되는 블레이드 헤드를 포함하고, 상기 제1 서포트 핀부재는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 핀체결부와, 상기 핀체결부에서 연장형성되면서 상기 블레이드 헤드의 일부영역을 지지하는 핀지지부를 포함할 수 있다.
상기 노즐립 클리너는 상기 제1 블레이드와 상기 제1 서포트 핀부재를 상기 제1 블레이드 지지부재에 동시에 결합시키기 위한 제1 결합부재를 갖는 결합유닛을 더 포함하며, 상기 핀 지지부의 폭은 상기 블레이드 헤드의 폭보다 작은 값을 가질 수 있다.
상기 핀체결부에는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 상기 제1 서포트 핀부재의 결합위치가 가변될 수 있도록 하기 위한 체결위치 가변영역이 형성될 수 있다.
상기 핀지지부의 폭은 상기 핀체결부의 폭보다 작으며, 상기 핀지지부는 상기 핀체결부 폭방향의 중심영역에서 연장형성될 수 있다.
상기 제1 서포트 핀부재의 길이는 상기 제1 블레이드의 길이보다 짧으며, 상기 제1 서포트 핀부재의 강도는 상기 제1 블레이드의 강도보다 큰 값을 가질 수 있다.
상기 블레이드 헤드에 의하여 상기 노즐립의 표면으로부터 분리된 약액이 상기 블레이드 체결부로 넘어가는 것을 방지하기 위하여 상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부보다 큰 폭을 가지면서 상기 블레이드 체결부의 하부방향으로 단차지게 형성될 수 있다.
상기 블레이드 헤드의 하부영역 중 적어도 일부분은 이웃하는 다른 블레이드들과의 간섭을 방지하기 위하여 모따기된 형상을 가질 수 있다.
상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부에서 연장되는 헤드 후방부와, 상기 헤드 후방부에서 연장형성되되 상기 블레이드 헤드의 선단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 표면이 경사지게 형성되는 헤드 전방부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 블레이드의 다른 실시 형태로, 상기 제1 블레이드는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 블레이드 체결부와, 상기 블레이드 체결부에서 연장형성되는 블레이드 헤드를 포함하고, 상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부에서 연장되는 헤드 후방부와, 상기 헤드 후방부에서 연장형성되는 헤드 전방부와, 상기 헤드 후방부와 상기 헤드 전방부의 경계영역에서 상기 블레이드 헤드의 표면으로부터 돌출된 헤드돌기를 포함할 수 있다.
상기 제1 각도조절부재는 상기 제1 블레이드 지지부재의 후방에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재의 후면을 가압하면서 상기 제1 블레이드 지지부재를 이동시키되, 상기 제1 서포트 핀부재의 폭방향 중심을 기준으로 상하로 각각 배치될 수 있다.
상기 클리너 본체는 베이스 블럭과, 상기 베이스 블럭의 양측에 배치되는 제1 측면블럭 및 제2 측면블럭을 포함하고, 상기 제1 측면블럭에는 상기 제1 각도조절부재가 삽입되어 관통하는 2열 이상의 관통홀이 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 본 발명은 약액이 도포될 기판이 놓여지는 작업대; 상기 기판의 상면에 약액을 도포하기 위한 노즐과, 상기 노즐의 상부영역을 잡아주는 노즐홀더를 갖는 노즐유닛; 상기 노즐유닛을 이동시키기 위한 노즐이동유닛; 상술한 노즐립 클리너; 상기 노즐립 클리너를 상기 노즐의 길이방향을 따라 이동시키는 클리너 이동유닛; 상기 노즐립 클리너를 세정하기 위한 클리너 세정유닛; 그리고, 적어도 일부분이 상기 노즐립 클리너 및 상기 클리너 세정유닛의 하부에 배치되어 상기 노즐립 클리너에 의하여 분리되는 약액과 상기 클리너 세정유닛에서 배출되는 세정액이 수용되는 버킷유닛을 포함하는 슬릿 코터를 제공한다.
본 발명에 따른 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿코터의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 블레이드의 선단이 노즐립의 표면에 평행하게 접촉되도록 상기 블레이드의 폭방향 회전중심이 되는 서포트 핀부재를 설치함으로써 상기 블레이드를 정확하고 빠르게 상기 노즐립의 표면에 설치할 수 있는 이점이 있다. 이로 인하여, 노즐립 클리너에 구비된 블레이드들의 세팅시간을 줄여 장비의 가동율을 향상시킬 수 있게 된다.
둘째, 블레이드의 헤드가 블레이드 체결부보다 큰 폭을 가지면서 상기 블레이드 체결부의 하부방향으로 단차지게 형성됨으로 인하여, 상기 블레이드 헤드에 의하여 노즐립의 표면으로부터 분리된 약액이 상기 블레이드 체결부로 넘어가는 것을 방지할 수 있게 되는 이점이 있다.
특히, 상기 약액이 고점도를 가지고, 상기 블레이드가 고속으로 운전되는 경우라 하더라도 제1 블레이드에 의하여 분리된 약액이 이웃하여 배치되는 다른 블레이드들로 떨어지지 않게 되어 상기 노즐립에 대한 세정불량을 방지할 수 있게 되고, 이로 인하여 제품 생산시간을 줄일 수 있는 이점이 있다.
셋째, 블레이드 헤드의 선단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 표면이 경사지게 가공되도록 하여 노즐립의 표면과 접촉되는 블레이드의 선단이 날카롭게 형성함으로써 상기 노즐립의 표면에 대한 세정력을 높일 수 있는 이점이 있다.
넷째, 블레이드 지지부재의 후면을 가압하면서 상기 블레이드 지지부재를 이동시키는 각도조절부재를 상하 2열 이상으로 배치함으로써 상기 블레이드의 설치각도를 보다 정확하고 쉽게 조절할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 슬릿 코터의 일 실시 예를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 슬릿 코터에 구비된 노즐과 노즐립 클리너를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 노즐립의 표면에 노즐립 클리너가 설치된 상태를 나타낸 정면도이다.
도 4는 도 2의 노즐립 클리너의 요부를 확대하여 나타낸 사시도 이다.
도 5는 도 4의 노즐립 클리너에 구비된 제1 블레이드의 평면도이다.
도 6은 도 4의 노즐립 클리너에 구비된 클리너 본체에 제1 블레이드, 제1 블레이드 지지부재 및 제1 서포트 핀부재가 결합된 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6의 제1 블레이드 지지부재, 제1 서포트 핀부재 및 제1 블레이드가 결합된 상태를 나타낸 평면도이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1 내지 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 노즐립 클리너 및 이를 이용한 슬릿코터의 일 실시 예를 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 슬릿코터는 작업대(1), 노즐유닛(100), 노즐이동유닛(2), 노즐립 클리너(200), 클리너 이동유닛(4), 클리너 세정유닛(5), 버킷유닛(3) 및 대기챔버(6)를 포함한다.
구체적으로, 상기 작업대(1)에는 약액이 도포될 기판이 놓여지게 되고, 상기 노즐유닛(100)은 상기 기판의 상면을 이동하면서 상기 약액을 상기 기판에 도포하게 된다.
상기 노즐유닛(100)은 상기 기판의 상면에 약액을 도포하기 위한 노즐(110)과, 상기 노즐(110)의 상부영역을 잡아주는 노즐홀더(120)를 포함한다.
상기 노즐(110)은 상기 노즐홀더(120)에 결합되는 노즐본체(111)와, 상기 노즐본체(111)의 하부영역으로 돌출되어 약액을 분사하는 노즐립(113)을 포함한다.
상기 노즐이동유닛(2)은 상기 노즐홀더(120)의 양측에 설치되어 상기 노즐홀더(120)를 이동시킴으로써 상기 노즐(110)을 이동시키게 된다.
상기 노즐립 클리너(200)는 상기 노즐립(113)에 묻어있는 약액을 제거하기 위한 것으로서, 상기 노즐립 클리너의 블레이드들은 상기 노즐립(113)의 표면에 접촉된 상태에서 상기 약액을 긁어 내게 된다. 상기 노즐립 클리너(200)의 구조에 대해서는 추후 구체적으로 설명한다.
상기 클리너 이동유닛(4)은 상기 노즐립 클리너(200)를 상기 노즐(110)의 길이방향을 따라 이동시키게 된다. 즉, 상기 노즐(110)은 정지된 상태로 유지되고 있는 상황에서 상기 클리너 이동유닛(4)이 상기 노즐립 클리너(200)를 이동시킴으로써 상기 노즐립 클리너(200)가 상기 노즐립(113)에 묻어 있는 약액을 제거하게 된다.
상기 클리너 세정유닛(5)은 상기 노즐립(113)에 묻어있는 약액을 제거하는 과정에 사용되었던 상기 노즐립 클리너(200)를 세정하게 된다.
또한, 상기 버킷유닛(3)은 적어도 일부분이 상기 노즐립 클리너(200) 및 상기 클리너 세정유닛(5)의 하부에 배치된다. 상기 버킷유닛(3)에는 상기 노즐립 클리너(200)에 의하여 분리되는 약액과 상기 클리너 세정유닛(5)에서 배출되는 세정액이 수용된다.
상기 대기챔버(6)는 상기 노즐(110)이 사용되기 전에 수용되는 장소이며, 상기 노즐(110)이 사용되지 않을 때 상기 노즐의 약액분출구가 건조되는 것을 방지하기 위하여 상기 대기챔버(6)에는 항상 세정액이 담겨져 있다.
도 2 내지 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 노즐립 클리너의 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
상기 노즐립 클리너(200)는 클리너 본체(210), 상기 클리너 본체(210)의 후방영역에 배치되는 샤워유닛(220), 상기 클리너 본체(210)의 내측면에 결합되는 블레이드 지지유닛, 상기 블레이드 지지유닛에 결합되는 블레이드 유닛, 상기 블레이드 유닛에 구비된 블레이드들의 설치각도를 조절하기 위한 각도조절유닛, 상기 블레이드의 선단과 노즐립의 표면이 평행을 이루도록 하기 위한 서포트 핀유닛, 상기 서포트 핀유닛과 상기 블레이드유닛을 상기 블레이드 지지유닛에 결합시키기 위한 결합유닛(미도시)을 포함한다.
상기 클리너 본체(210)는 상기 클리너 이동유닛(4)에 의하여 이동하게 되며, 상기 클리너 본체(210)에는 상기 블레이드유닛, 블레이드 지지유닛, 상기 각도조절유닛, 상기 서포트 핀유닛 및 상기 샤워유닛(220)이 장착된다.
구체적으로, 상기 클리너 본체(210)는 베이스블럭(215)과, 상기 베이스블럭(215)의 양측면에 배치되는 제1 측면블럭(211) 및 제2 측면블럭(213)을 포함한다. 상기 제1 측면블럭(211)은, 도 3을 기준으로, 상기 베이스블럭(215)의 좌측에 배치되고, 상기 제2 측면블럭(213)은 상기 베이스블럭(215)의 우측에 배치된다.
상기 베이스블럭(215)과, 상기 제1 측면블럭(211) 및 상기 제2 측면블럭(213)은 일체로 형성되며, 상기 제1 측면블럭(211)의 내측면과 상기 제2 측면블럭(213)의 내측면은 상기 베이스블럭(215)의 상면에 대하여 상부방향으로 경사지게 형성되어 있다.
상기 블레이드 지지유닛은 상기 제1 측면블럭(211)의 내측면에 배치되는 제1 블레이드 지지부재(230)와, 상기 제2 측면블럭(213)의 내측면에 배치되는 제2 블레이드 지지부재(23)와, 상기 베이스블럭(215)의 상면에 배치되는 제3 블레이드 지지부재(26)를 포함한다.
상기 제1 블레이드 지지부재(230)는 상기 블레이드유닛의 제1 블레이드(250)를 지지하게 되고, 상기 제2 블레이드 지지부재(23)는 상기 블레이드유닛의 제2 블레이드(25)를 지지하게 되고, 상기 제3 블레이드 지지부재(26)는 상기 블레이드유닛의 제3 블레이드(28)를 지지하게 된다.
상기 제1 블레이드 지지부재(230)와 상기 제2 블레이드 지지부재(23)의 구조는 실질적으로 동일하므로, 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 한하여 설명하면 다음과 같다.
상기 제1 블레이드 지지부재(230)는 상기 제1 측면블럭(211)의 내측면에 결합되는 제1 지지부(231)와, 상기 제1 지지부(231)에서 연장형성되며 상기 제1 블레이드(250)의 하부영역과 결합되는 제2 지지부(233)를 포함한다.
상기 제1 지지부(231)에는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)를 상기 제1 측면블럭(211)의 내측면에 결합시키기 위한 별도의 체결부재(미도시)가 삽입되는 제1 체결홀(미도시)이 형성되어 있다.
상기 제2 지지부(233)는 상기 제1 지지부(231)에 대하여 상부방향으로 경사지게 형성되어 있으며, 상기 제2 지지부(233)에는 상기 결합유닛의 제1 결합부재(미도시)가 결합되기 위한 제2 체결홀(233a)이 형성되어 있다.
상기 제1 결합부재는 상기 제1 블레이드(250)와, 상기 서포트 핀유닛의 제1 서포트 핀부재(240)를 동시에 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합시키게 된다.
구체적으로, 상기 제1 결합부재는 상기 제1 블레이드의 체결슬릿(251a)과 상기 제1 서포트 핀부재의 체결위치 가변영역(245)을 관통하면서 상기 제2 체결홀(233a)에 체결됨으로써 상기 제1 블레이드의 후방과 상기 제1 서포트 핀부재(240)의 후방영역을 상기 상기 제2 지지부(233)에 결합시키게 된다.
한편, 상기 블레이드 유닛은 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합되는 제1 블레이드(250)와, 상기 제2 블레이드 지지부재(23)에 결합되는 제2 블레이드(25)와, 상기 제3 블레이드 지지부재(26)에 결합되는 제3 블레이드(28)를 포함한다.
상기 제1 블레이드(250)의 선단은 상기 노즐립의 제1 측면(113a)에 접촉되고, 상기 제2 블레이드(25)의 선단은 상기 노즐립의 제2 측면(113b)에 접촉되고, 상기 제3 블레이드(28)의 선단은 상기 노즐립의 약액토출구를 형성하는 노즐팁(미도시)에 접촉된다.
상기 제1 블레이드(250)와 상기 제2 블레이드(25)는 서로 빗각으로 설치되며, 상기 제3 블레이드(28)는 상부방향으로 경사지게 배치된다.
상기 제1 블레이드(250)는 상기 노즐립의 제1 측면(113a)에 묻어 있는 약액을 긁어내고, 상기 제2 블레이드(25)는 상기 노즐립의 제2 측면(113b)에 묻어 있는 약액을 긁어내고, 상기 제3 블레이드(28)는 상기 노즐팁에 묻어 있는 약액을 긁어 내게 된다.
상기 제1 블레이드(250)와 상기 제2 블레이드(25)는 실질적으로 동일한 구조를 가지므로, 상기 제1 블레이드(250)에 한하여 설명한다.
상기 제1 블레이드(250)의 후단은 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합되며, 선단은 약액을 토출한 이후의 노즐립의 표면, 즉 노즐립의 제1 측면(113a)에 묻어 있는 약액을 긁어내기 위하여 상기 노즐립의 제1 측면(113a)에 접촉된다.
구체적으로, 도 5를 참조하면, 상기 제1 블레이드(250)는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합되는 블레이드 체결부(251)와, 상기 블레이드 체결부(251)에서 연장형성되는 블레이드 헤드(253)를 포함한다.
상기 블레이드 체결부(251)에는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 결합을 위한 체결슬릿(251a)이 형성되어 있다.
상기 블레이드 헤드(253)는 상기 블레이드 체결부(251)에서 연장되는 헤드 후방부(253a)와, 상기 헤드 후방부(253a)에서 연장형성되는 헤드 전방부(253b)를 포함한다.
특히, 도 5의 (a)의 I-I의 단면도인 도 5의 (b)를 참조하면, 상기 헤드 전방부(253b)는 상기 블레이드 헤드(253)의 선단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 표면이 경사지게 형성된다.
본 실시 예에서 상기 헤드 전방부(253b)는 면취가공을 통하여 가공되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 다양한 방법으로 가공될 수 있다.
상기 헤드 전방부(253b)는 상기 노즐립(113)의 표면에 접촉되는 부분으로서 상기 헤드 전방부(253b)의 끝단, 즉 상기 블레이드 헤드의 선단이 날카로울수록 상기 노즐립의 제1 측면(113a)에 묻어있는 약액을 보다 효율적으로 제거할 수 있게 되어 상기 노즐립에 대한 세정력을 높일 수 있게 된다.
또한, 상기 헤드 전방부의 하부영역(253d)은 이웃하는 다른 블레이드들, 즉 제2 블레이드(25)의 헤드 전방부 및 제3 블레이드(28)의 헤드 전방부와의 간섭을 방지하기 위하여 모따기된 형상을 가진다.
통상적으로 블레이드 헤드의 하단부는 상기 노즐립(113)의 하단면보다 낮은 위치에 배치되는데, 상기 블레이드 헤드(253)의 하단부가 모따기된 형상을 가지지 않게 되면 이웃하는 다른 블레이드들의 블레이드 헤드 하단부와 간섭을 일으키게 된다.
상기 헤드 전방부(253b)의 모따기된 형상은 도 5에 도시된 바와 같이, 일직선의 형태를 가질 수 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 라운드진 형상을 가질 수도 있을 것이다.
물론, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 제3 블레이드(28)의 헤드 전방부도 면취가공되어, 상기 제3 블레이드(28)의 선단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 경사지게 형성될 수 있다.
일반적으로, 고점도의 약액이 노즐립의 표면으로부터 분리되면 상기 약액의 자중에 의하여 블레이드의 하부방향으로 떨어지게 되는데, 상기 블레이드의 이동속도가 빨라지게 되면, 상기 약액은 상기 블레이드의 하부방향으로 떨어지지 않고, 상기 블레이드의 길이방향을 따라 이동되면서 상기 블레이드와 이웃하게 배치되는 다른 블레이드들의 상부로 떨어지면서 세정불량을 일으키게 된다.
이를 방지하기 위하여, 본 발명에 구비된 상기 블레이드 헤드(253)의 폭은 종래의 블레이드 헤드의 폭 보다 크게 형성됨으로써 상기 노즐립(113)에서 분리된 약액이 상기 제1 블레이드(250)의 하부방향으로 떨어지는 공간을 더 확보할 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 상기 블레이드 헤드(253)는 상기 블레이드 체결부(251)보다 큰 폭을 가지면서 상기 블레이드 체결부(251)의 하부방향으로 단차지게 형성됨으로써 상기 약액이 상기 블레이드 헤드(253)에서 상기 블레이드 체결부(251)로 넘어가는 것을 보다 효율적으로 방지하게 된다.
구체적으로, 상기 블레이드 헤드(253)의 폭이 상기 블레이드 체결부(251)의 폭 보다 크게 형성되되, 상기 블레이드 헤드(253)의 하부영역이 상기 블레이드 체결부(251)의 하부영역보다 하부로 연장되면서 단차진 영역(253c)을 형성됨으로써 상기 약액의 점성이 크다고 하더라도 상기 노즐립(113)의 표면에서 분리된 약액은 자중에 의하여 상기 블레이드 헤드(253)의 표면을 따라 하부방향으로 이동한 후 상기 제1 블레이드(250)의 하부로 떨어지거나, 상기 블레이드 헤드(253)의 하부영역을 타고 이동하다가 상기 블레이드 체결부(251)의 하부영역으로 올라가지 못하고 상기 블레이드 헤드(253)의 하부로 떨어지게 된다.
결과적으로,상기 블레이드 체결부(251)의 폭은 종래 블레이드 체결부의 폭과 동일하게 유지하면서 상기 블레이드 헤드(253)의 폭은 종래 블레이드 헤드의 폭보다 증가시킴으로써 상기 블레이드 체결부(251)와 체결되는 부속 구성품들의 크기를 그대로 유지할 수 있게 되어 장비를 소형화할 수 있으면서도 상기 블레이드 헤드(253)에 의하여 분리된 약액이 상기 블레이드 체결부(251)로 넘어가지 않게 된다. 이로 인하여, 이웃하여 배치되는 다른 블레이드들, 즉 제2 블레이드(25)와 제3 블레이드(28)를 오염시키지 않게 됨으로써 상기 노즐립에 대한 세정불량을 방지할 수 있게 되어 제품 생산시간을 줄일 수 있게 된다.
물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 블레이드 헤드(253)는 상기 블레이드 체결부에서 연장되는 헤드 후방부와, 상기 헤드 후방부에서 연장형성되는 헤드 전방부와, 상기 헤드 후방부와 상기 헤드 전방부의 경계영역에서 상기 블레이드 헤드의 표면으로부터 돌출되는 헤드돌기(미도시)를 포함하여 구성될 수도 있을 것이다.
상기 헤드 전방부에 의하여 상기 노즐립의 표면으로부터 분리된 약액은 상기 블레이드의 이동시 상기 헤드돌기와 부딪히게 되면서 상기 헤드 후방부로 이동하지 못하고 상기 블레이드의 하부로 떨어지게 된다.
한편, 상기 각도조절유닛은 상기 클리너 본체(210)에 구비되어 상기 제1 블레이드 지지부재(230)를 이동시키는 제1 각도조절부재(270)와, 상기 클리너 본체(210)에 구비되어 상기 제2 블레이드 지지부재(23)를 이동시키는 제2 각도조절부재(미도시)를 포함한다.
상기 제1 각도조절부재(270)와 상기 제2 각도조절부재는 실질적으로 동일한 구조를 가지므로, 상기 제1 각도조절부재(270)에 한하여 설명한다.
상기 제1 각도조절부재(270)는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 후방에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 후면을 가압함으로써 상기 제1 블레이드 지지부재(230)를 이동시키면서 상기 제1 블레이드(250)의 선단과 상기 노즐립(113)의 표면 사이의 상대위치를 조절하게 된다.
상기 제1 각도조절부재(270)는 상기 제1 측면블럭(211)을 관통하면서 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재(230)를 가압하게 된다.
구체적으로, 상기 제1 각도조절부재(270)는 상기 제1 서포트 핀부재(240)의 폭방향 중심을 기준으로 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 상부영역을 가압하기 위한 상부 각도조절부재(273)와, 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 하부영역을 가압하기 위한 하부 각도조절부재(271)를 포함한다.
여기서, 상기 제1 측면블럭(211)에는 상기 상부 각도조절부재(273)가 삽입되어 관통하는 제1 관통홀(211a)과, 상기 하부 각도조절부재(271)가 삽입되어 관통하는 제2 관통홀(211b)을 포함하는 2열 이상의 관통홀이 형성되어 있다.
상기 각도조절부재가 블레이드 지지부재를 가압하여 블레이드의 설치각도를 조절하기 위하여 상하 2열 이상으로 배치함으로써 상기 블레이드의 설치각도를 보다 정확하고 쉽게 조절할 수 있게 된다.
한편, 상기 서포트 핀유닛은 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 상면에 배치되는 제1 서포트 핀부재(240)와, 상기 제2 블레이드 지지부재(23)의 상면에 배치되는 제2 서포트 핀부재(24)를 포함한다.
상기 제1 서포트 핀부재(240)는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)와 상기 제1 블레이드(250) 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 이동시 상기 제1 블레이드(250)의 선단이 상기 노즐립(113)의 표면에 평행하게 접촉되도록 상기 제1 블레이드(250)의 폭방향 회전중심이 된다.
상기 제1 서포트 핀부재(240)와 상기 제2 서포트 핀부재(24)는 실질적으로 동일한 구조를 가지므로, 상기 제1 서포트 핀부재(240)에 한하여 설명한다.
상기 제1 서포트 핀부재(240)는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합되는 핀체결부(241)와, 상기 핀체결부(241)에서 연장형성되면서 상기 블레이드 헤드(253)의 일부영역을 지지하는 핀지지부(243)를 포함한다.
상기 핀체결부(241)에는 상기 제1 블레이드 지지부재(230)에 결합되는 상기 제1 서포트 핀부재(240)의 결합위치가 가변될 수 있도록 하기 위한 체결위치 가변영역(245)이 형성되어 있다.
본 실시 예에서는 상기 체결위치 가변영역(245)이 하나의 장공홀의 형태로 구비되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 일정 간격으로 배치되는 복수 개의 홀형태로 구비될 수도 있고, 일정길이를 갖는 슬릿형태로 구비될 수도 있을 것이다.
상기 핀지지부(243)의 폭은 상기 핀체결부(241)의 폭보다 작으며, 상기 핀지지부(243)는 상기 핀체결부 폭방향의 중심영역에서 연장형성될 수 있다. 또한, 상기 핀지지부(243)의 폭은 상기 블레이드 헤드(253)의 폭보다 작은 값을 가진다.
물론, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 핀지지부(243)와 핀체결부(241)는 동일한 폭을 가지되, 상기 블레이드 헤드(253)의 폭보다 작은 폭을 가질 수도 있을 것이다.
상기 핀지지부(243)의 폭이 상기 블레이드 헤드(253)의 폭보다 작은 값을 가짐으로써 상기 핀지지부(243)는 상기 블레이드 헤드의 폭방향 회전중심이 된다.
구체적으로, 도 7을 참조하면, 도 7에 도시된 A영역에 해당하는 블레이드 헤드의 표면이 노즐립의 표면에 밀착되어 접촉되어 있는 반면, 상기 블레이드 헤드(253)의 나머지 영역은 상기 노즐립(113)의 표면으로부터 떨어져 있는 경우, 즉 상기 제1 블레이드(250)의 선단이 노즐립(113)의 표면에 평행하게 접촉되어 있지 않는 경우에, 사용자는 상기 제1 블레이드(250)의 선단과 상기 노즐립(113)의 표면이 평행을 이루도록 하기 위하여 먼저 상기 하부 각도조절부재(271)를 밀면서 상기 제1 블레이드 지지부재(230)의 일부영역, 즉 제2 지지부(233)의 하부영역을 가압하게 된다.
또한, 사용자는 상기 제1 지지부(231)의 제1 체결홀(미도시)에 결합되는 체결부재를 조절하면서 상기 제1 블레이드 지지부재(230)가 상기 제1 측면블럭(211)에 대하여 이동될 수 있도록 한다.
그러면, 상기 제2 지지부(233)의 하부영역은 상기 핀체결부(241)의 하부영역 후면과 상기 블레이드 체결부(251)의 하부영역 후면을 동시에 가압하게 된다.
또한, 상기 블레이드 체결부(251)의 하부영역과 연장형성되는 상기 블레이드 헤드(253)의 하부영역은 도 7의 지면으로부터 들려 올려지는 방향으로 힘을 받게 된다.
이때, 상기 핀지지부(243)는 상기 블레이드 헤드(253)를 지지하면서 상기 블레이드 헤드(253)의 폭방향 회전중심이 되고, 상기 블레이드 헤드(253)의 상부영역은 상기 핀지지부(243)를 중심으로 도 7의 지면 내측방향으로 힘을 받으면서 회전하게 된다.
결과적으로, 상기 핀지지부(243)는 상기 블레이드 헤드(253)의 후면을 가압하면서 상기 블레이드 헤드(253)가 상기 노즐립(113)의 표면에 탄성복원력을 가지면서 눌려지도록 함과 동시에 상기 블레이드 헤드(253)의 폭방향의 회전중심이 되면서 상기 제1 블레이드(250)의 선단과 상기 노즐립(113)의 표면이 쉽게 평행을 이룰 수 있도록 하는 역할을 하게 된다.
즉, 상기 핀지지부(243)는 상기 제1 블레이드(250)의 폭방향에 대하여 지렛대와 같은 역할을 하면서 상기 제1 블레이드(250)의 선단과 상기 노즐립(113)의 표면이 평행이 되도록 도와주게 된다.
여기서, 상기 제1 서포트 핀부재(240)의 길이는 상기 제1 블레이드(250)의 길이보다 짧으며, 상기 제1 서포트 핀부재(240)의 강도는 상기 제1 블레이드(250)의 강도보다 큰 값을 가질 수 있다.
상기 제1 서포트 핀부재(240)의 강도가 상기 제1 블레이드(250)의 강도보가 큰 값을 가짐으로써 상기 제1 블레이드(250)가 상기 노즐립 표면에 탄성복원력을 가지면서 안정적으로 눌려진 상태를 유지하면서 장착될 수 있게 된다.
예를 들면, 상기 제1 서포트 핀부재(240)는 스테인레스스틸로 제작되고, 상기 제1 블레이드(250)는 수지로 제작될 수 있다.
물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 서포트 핀부재는 일정한 길이의 폭을 갖는 블레이드가 설치되는 노즐립 클리너에도 적용될 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 서포트 핀부재는 상기 각도조절부재가 상기 블레이드 지지부재의 후면 중앙에 일렬로 배치되는 경우에도 적용될 수 있다. 즉, 상기 블레이드의 선단이 상기 노즐립의 표면에 평행하게 배치되어 있지 않은 상태에서 상기 각도조절부재가 상기 블레이드 지지부재의 중앙 후면을 가압하게 되면, 상기 서포트 핀부재의 핀지지부는 상기 블레이드의 폭방향 회전중심이 되면서 상기 블레이드의 선단과 노즐립의 표면이 평행을 이룰 수 있도록 도와 주는 역할을 하게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.
1: 작업대 2: 노즐이동유닛
3: 버킷유닛 4: 클리너 이동유닛
5: 클리너 세정유닛 6: 대기챔버
100: 노즐유닛 110: 노즐
111: 노즐본체 113: 노즐립
120: 노즐홀더 200: 노즐립 클리너
210: 클리너 본체 211: 제1 측면블럭
220: 샤워유닛 230: 제1 블레이드 지지부재
240: 제1 서포트 핀부재 241: 핀체결부
243: 핀지지부 245: 체결위치 가변영역
250: 제1 블레이드 251: 블레이드 체결부
253: 블레이드 헤드 270: 제1 각도조절부재

Claims (13)

  1. 클리너 본체;
    상기 클리너 본체에 결합되는 제1 블레이드 지지부재를 갖는 블레이드 지지유닛;
    후단은 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되며, 선단은 약액을 토출한 이후의 노즐립의 표면에 묻어 있는 약액을 긁어내기 위하여 상기 노즐립의 표면에 접촉되는 제1 블레이드를 갖는 블레이드유닛;
    상기 클리너 본체에 구비되어 상기 제1 블레이드 지지부재를 이동시키면서 상기 제1 블레이드의 선단과 상기 노즐립의 표면 사이의 상대위치를 조절하는 제1 각도조절부재를 갖는 각도조절유닛; 그리고,
    상기 제1 블레이드 지지부재와 상기 제1 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재의 이동시 상기 제1 블레이드의 선단이 상기 노즐립의 표면에 평행하게 접촉되도록 상기 제1 블레이드의 폭방향 회전중심이 되는 제1 서포트 핀부재를 갖는 서포트 핀유닛을 포함하는 노즐립 클리너.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 블레이드는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 블레이드 체결부와, 상기 블레이드 체결부에서 연장형성되는 블레이드 헤드를 포함하고,
    상기 제1 서포트 핀부재는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 핀체결부와, 상기 핀체결부에서 연장형성되면서 상기 블레이드 헤드의 일부영역을 지지하는 핀지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 블레이드와 상기 제1 서포트 핀부재를 상기 제1 블레이드 지지부재에 동시에 결합시키기 위한 제1 결합부재를 갖는 결합유닛을 더 포함하며,
    상기 핀 지지부의 폭은 상기 블레이드 헤드의 폭보다 작은 값을 가지는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 핀체결부에는 상기 제1 블레이드 지지부재에 결합되는 상기 제1 서포트 핀부재의 결합위치가 가변될 수 있도록 하기 위한 체결위치 가변영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 핀지지부의 폭은 상기 핀체결부의 폭보다 작으며, 상기 핀지지부는 상기 핀체결부 폭방향의 중심영역에서 연장형성되는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제1 서포트 핀부재의 길이는 상기 제1 블레이드의 길이보다 짧으며, 상기 제1 서포트 핀부재의 강도는 상기 제1 블레이드의 강도보다 큰 값을 가지는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 블레이드 헤드에 의하여 상기 노즐립의 표면으로부터 분리된 약액이 상기 블레이드 체결부로 넘어가는 것을 방지하기 위하여 상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부보다 큰 폭을 가지면서 상기 블레이드 체결부의 하부방향으로 단차지게 형성되는 것을 특징으로 노즐립 클리너.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 블레이드 헤드의 하부영역 중 적어도 일부분은 이웃하는 다른 블레이드들과의 간섭을 방지하기 위하여 모따기된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부에서 연장되는 헤드 후방부와, 상기 헤드 후방부에서 연장형성되되 상기 블레이드 헤드의 선단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 표면이 경사지게 형성되는 헤드 전방부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 블레이드 헤드는 상기 블레이드 체결부에서 연장되는 헤드 후방부와, 상기 헤드 후방부에서 연장형성되는 헤드 전방부와, 상기 헤드 후방부와 상기 헤드 전방부의 경계영역에서 상기 블레이드 헤드의 표면으로부터 돌출된 헤드돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 각도조절부재는 상기 제1 블레이드 지지부재의 후방에 배치되어 상기 제1 블레이드 지지부재의 후면을 가압하면서 상기 제1 블레이드 지지부재를 이동시키되, 상기 제1 서포트 핀부재의 폭방향 중심을 기준으로 상하로 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 클리너 본체는 베이스 블럭과, 상기 베이스 블럭의 양측에 배치되는 제1 측면블럭 및 제2 측면블럭을 포함하고,
    상기 제1 측면블럭에는 상기 제1 각도조절부재가 삽입되어 관통하는 2열 이상의 관통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐립 클리너.
  13. 약액이 도포될 기판이 놓여지는 작업대;
    상기 기판의 상면에 약액을 도포하기 위한 노즐과, 상기 노즐의 상부영역을 잡아주는 노즐홀더를 갖는 노즐유닛;
    상기 노즐유닛을 이동시키기 위한 노즐이동유닛;
    제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 노즐립 클리너;
    상기 노즐립 클리너를 상기 노즐의 길이방향을 따라 이동시키는 클리너 이동유닛;
    상기 노즐립 클리너를 세정하기 위한 클리너 세정유닛; 그리고,
    적어도 일부분이 상기 노즐립 클리너 및 상기 클리너 세정유닛의 하부에 배치되어 상기 노즐립 클리너에 의하여 분리되는 약액과 상기 클리너 세정유닛에서 배출되는 세정액이 수용되는 버킷유닛을 포함하는 슬릿 코터.
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