JP4607919B2 - ガントリー型作業装置 - Google Patents

Description

本発明は、フレームの延伸方向に移動可能な作業ヘッドを有するガントリー型の作業装置に関し、より詳細には、前記作業ヘッドのメンテナンス作業を容易にする人が進入可能な通路を有する作業装置に関する。
なお、本明細書における「液材」には、溶剤、水溶液といった低粘度の液体から、グリス、接着材といった粘稠状体に至る広範な粘性範囲に含まれる液体材料のことであり、フィラー、固体粒子を含む液体材料を含み、銀ペースト、半田ペーストといったペースト状の流動体が含まれる。
また、本明細書における「吐出」には、液材をノズルから離間する前にワークに接触させるタイプの吐出および液材をノズルから離間した後にワークに接触させるタイプの吐出が含まれる。

ワークが載置されるテーブルと、作業ヘッドを有するフレーム（ビームまたはガントリーフレームとも言う。）を有する作業装置があり、一般にガントリー型作業装置と呼ばれる。作業ヘッドと相対動するワークに対して所望の作業を行うためのガントリー型の作業装置としては、例えば、液晶表示パネルの製造におけるシール剤を塗布する装置、太陽電池パネルのパターニング装置、半導体デバイスの欠陥検査装置等がある。
この種の装置は、ワークの大型化に伴い装置本体そのものが大型化される傾向にあり、例えば、第８世代と呼ばれる液晶表示パネル用のガラス基板のサイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍであり、作業装置はこれを載置できるワークテーブルを備える必要がある。

門型構造のガントリー型液材塗布装置としては、例えば特許文献１に、ペーストパターンが形成される基板を保持する基板保持機構が一方方向にのみ移動可能に保持され、基板上にペーストを塗布する塗布ヘッドをそれぞれ備え、前記塗布ヘッドを前記基板の移動方向に対して直角方向に移動可能に構成したヘッド支持機構を２組設け、一方のヘッド支持機構は架台に固定し、他方のヘッド支持機構は前記基板の移動方向に移動可能に構成する装置が開示されている。

また、特許文献２には、テーブル上に搭載した基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画するペースト塗布機において、基板のペーストパターンが塗布描画される面に平行な面内で一方向に移動可能で、かつこの一方向とは異なる方向に伸延するフレームと、フレームに配列されて、フレームの伸延方向に移動可能にリニアモータが設けられ、かつペースト収納筒とこのペースト収納筒に充填されたペーストを吐出するペースト吐出口を有するノズルとが設けられた複数の塗布ヘッドと、ペースト吐出口がテーブルに搭載された基板に対向する範囲内で、テーブルに対してフレームを移動させるとともに、フレームに対して複数の塗布ヘッドを移動させながら、複数の塗布ヘッドのペースト吐出口からペーストを吐出させる制御をする制御手段とを備え、複数の塗布ヘッドによって基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画する構成の装置が開示されている。
特許第３７０１８８２号公報 特開２００３−２２５６０６号公報

特許文献に例示される装置のように、作業ヘッドがフレームの内側に取り付けられたガントリー型装置では、フレームを移動する作業ヘッドが常に架台の内側に位置するため、作業ヘッドをメンテナンスするためには、作業者が手を大きく伸ばしたりして作業を行う必要がある。特に、フレームに複数のヘッドを有するマルチヘッドタイプの装置においては、架台の外からは作業ヘッドに手が届かないものもあり、メンテナンスのために架台上に乗り上がったり、フレーム等に掴まったり、テーブル上に手をつくなど、クリーン性の観点から好ましくない体勢で作業を行わざるを得ない場合もあった。また、このような作業を行うことは、高精度に組み立てられた装置の精度を下げる原因にもなる。
しかも、架台上にはワークが載置されるテーブル等が配置されるため、作業者がその付近ないしはその上方でメンテナンス作業を行うことは好ましくない。特に、高いクリーン度が要求される装置においては、テーブル付近等でのメンテナンスは好ましくなく、場合によってはテーブル等にシート等を被せて作業を行わなくてはならなかった。

また、装置本体がカバー内に配置される場合には、より課題は深刻であった。メンテナンスに際しては、カバー内に作業者が上半身を乗り入れてメンテナンスを行う必要があるが、作業性が悪く、クリーンな環境を要する装置内にほこりやゴミといったパーティクルや人体から生じる発塵物を持ち込むため好ましくなく、また、メンテナンス作業中に工具等の接触や落下によりテーブル等を破損させるという問題もあった。
しかも、メンテナンス時に生じたパーティクルがカバー内に滞留してしまい、かえってクリーン性が損なわれるという問題もあった。

ところで、大型の作業装置においては、搬送の容易性を実現することも解決すべき課題である。例えば、第８世代のガラス基板よりも大きな筐体を有する作業装置などは、トラック等での搬送が難しく、搬送する際に分解しなくてはならない場合があった。しかしながら、作業装置は一つの場所で利用するものであり、分解して移動することを前提とするもではなく、分解には非常に多くの時間と労力が必要であった。特に、精密な作業を行う装置においては、その組み立て作業も精密に行わなくてはならず、十分な精度を確保するための調整作業には高度な技術が必要とされ、しかも、その組立には、クレーン等の重機を要する場合があった。

上記課題を鑑み、本発明は、作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる、作業装置を提供することを目的とする。

発明者は、巨大な架台により作業性が損なわれていることから、架台の不要部分に通路を設けることで、作業性を改善できるとの仮定のもと、本発明の創作をなした。架台に設ける通路の態様として、横断型と縦断型も検討したが、筐体の強度や搬送性を考慮した結果、コの字形状が最適であることを想到した。コの字形状の架台であれば、通路が無い部分で構造強度を高めることができるし、通路に梁を設けることで、進入性を損なわない範囲で補強も可能である。
架台に通路を設けることの意義は、作業装置をカバーで覆う構成において、より顕著なものとなる。一方で、通路内に進入することにより、作業者自身からパーティクル等が生ずるという問題がある。そこで、作業者が進入するメンテナンスエリアとワーク用のテーブルの位置するエリアとを壁面で遮断することで、かかる課題の解決を図った。

すなわち、第１の発明は、作業者が進入可能な第一の方向に延出された通路を有する架台と、前記架台の上方で第一の方向と異なる第二の方向に延伸されたフレームと、前記通路を含む架台上を第一の方向に移動自在に構成されたテーブルと、前記テーブルと対向してフレームに配設され、第二の方向に移動自在の作業ヘッドとを備え、前記テーブルと前記作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記通路は、前記フレームの下方まで延出されており、前記テーブルは、前記架台上の通路と重ならない位置まで移動できることを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記架台は、通路を除く上面から下面を貫通する複数の孔を有する格子構造からなることを特徴とする。
第４の発明は、第１ないし３のいずれかの発明において、前記通路に進入するための開口扉と、前記架台上に設けられた作業装置を覆う方形状のカバーとを備えることを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記フレームは、作業ヘッドを覆うヘッドカバーを備え、該ヘッドカバーは、その上端部が、前記カバーの天井の近傍に位置する高さに構成されることを特徴とする。
第６の発明は、第５の発明において、前記ヘッドカバーは、その上面が通路と反対側に下る斜面で構成されることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記作業ヘッドは、ノズルの先端から液材を吐出する液材吐出ヘッドであることを特徴とする。
第８の発明は、第７の発明において、前記通路の終端部に、前記架台と独立した架台に配設された秤量器が設置されることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし８のいずれかの発明において、前記フレームは、複数の作業ヘッドが配設されることを特徴とする。
第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記フレームは、第一の方向に移動自在に構成されることを特徴とする。

本発明によれば、作業装置の作業ヘッドのメンテナンスが容易となり、しかも、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる。
また、構造上、筐体サイズを抑えることができるため、搬送性も良好である。

本発明を実施するための最良の形態の作業装置は、作業者が進入可能な第一の方向に延出された通路を有する架台と、前記架台の上方で第一の方向と異なる第二の方向に延伸されたフレームと、前記通路を含む架台上を第一の方向に移動自在に構成されたテーブルと、前記テーブルと対向してフレームに配設され、第二の方向に移動自在の作業ヘッドと、フレームおよび作業ヘッドを覆うヘッドカバーと、前記通路の端部に設けられた開口扉と、架台上に設けられた作業装置を覆う方形状のカバーとを備え、前記テーブルと前記作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記ヘッドカバーは、その上端部が、前記カバーの天井の近傍に位置する高さに構成されることを特徴とする。

最良の形態の本発明は、ワーク上に作業をする場合、第一方向の作業位置の調整はテーブルを移動することで行い、第二方向の作業位置の調整は複数の作業ヘッドを所望の間隔を保持したまま移動することで行うよう構成される。例えば、ワーク上に所望のパターンを複数同時描画する作業に好適である。かかる構成では、テーブルを第一の方向にのみ移動自在に構成すればよく、必要な駆動源を減らすことができるため、筐体サイズの増大を抑えることができる。すなわち、架台のサイズをテーブルの幅より若干広く構成すればよいため、従来のテーブルを第一および第二の方向に移動自在とする構造と比べ、筐体サイズをコンパクトに構成することが可能である。

前記作業ヘッドは、リニアモータや回転モータ等の駆動源により、位置制御することが可能である。
作業ヘッドとしては、例えば、エアー圧力によって貯留容器に貯留された液材を加圧してノズル先端から吐出された液材をワークに付着させて塗布する吐出装置、貯留容器に貯留された液材の上方に貯留容器の内壁面に密着して摺動するプランジャーを急速に移動停止させることにより、ノズル先端から液材を離間させた後にワーク表面に塗布する飛滴装置、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置などである。同種の装置を複数配設してもよいし、異なる種類の装置を組み合わせて配設してしてもよい。

また、フレームが移動するタイプの作業装置においては、カバーの内部に作業者が進入しなくとも作業が可能なように、移動したフレームの対向位置に開口扉を設け、作業性を高めてもよい。
また、複数のフレームを備える構成においては、全てのフレームに対して作業ができる長さの通路を設ける必要がある。

以上の構成を有する本発明の最良の形態の装置は、例えば、液晶パネル製造工程において、液晶漏出を防止するシール材の塗布に用いられる。ガラス基板から複数枚のパネルを作成する、いわゆる多面取り工法においては、一枚のガラス基板から、例えば、４面（２×２）、９面（３×３）、２０面（４×５）等、複数のパネルが作成されるが、ここではパネル単位にシール材による長方形パターンが描画形成される。例えば、４×５のパネルを一枚のガラス基板から作成する場合には、５つの塗布ヘッドを配設し、１行目の５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画し、１行目の塗布が終了した後は、２行目以降の塗布位置に塗布ヘッドを移動し、同様に５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画する。
但し、本発明の技術思想は、上記のような塗布装置に限定されず、いわゆるガントリー型の作業装置であれば適用可能である。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。

《構造》
本実施例の液材塗布装置は、図１に示すように、ワークが載置されるテーブル１２を有するコの字形状の架台１と、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断するフレーム３とを備える。以下では、説明の便宜上、図１の扉３１側を前方または正面といい、テーブル１２側を後方または背面という場合がある。

フレーム３の前方の面には、ヘッドスライダベース４が配設されており、ヘッドスライダベース４にはヘッドスライダ５を介して複数の作業ヘッド６がＸ方向に移動自在に取り付けられている。
作業ヘッド６は、液体を吐出するノズルを有する塗布ヘッドである。作業ヘッド６は、図示しない公知の駆動手段により、Ｚ方向に移動自在に構成されている。各作業ヘッド６は、それぞれ独立して移動することが可能である。
テーブル１２は、通路１０と平行に設けられたＹスライダベース８によりＹ方向に移動自在に構成されている。なお、テーブル１２に、ワークをθ軸方向に移動させて所定の角度に位置決めするためのθ回転手段を設けてもよい。

Ｘ方向およびＹ方向のスライダベースとしては、リニアモータ用マグネットおよび直動ガイドを備える構成が例示されるが、この構成に限定されず、例えば、スライダベースにモータとモータに連動して回転するボールねじを備え、スライダーにボールねじの回転に連動して直進移動するナットを備える構成としてもよい。

本実施例の架台１は、その前方にメンテナンス用の空間である通路１０を備えている。通路１０は、架台１の長手方向の略中央位置まで延出されており、作業ヘッド６の直下まで形成されている。メンテナンス作業者は、扉３１を開き通路１０に進入することで、フレーム３に対して、前方または下方からメンテナンス作業を行うことが可能である。通路１０の下面には、補強のための梁が渡される場合があるが、作業者の進入を阻害するものではない。
架台１の下方部には、図示しない通信用ソケットが設けられており、ネットワークケーブルを介してＰＣ等の外部端末と接続することにより、装置の遠隔操作を可能としている。携帯型の専用端末をネットワーク接続して遠隔操作を行ってもよいし、無線ＬＡＮ等の通信手段を搭載して無線により遠隔操作できるようにしてもよい。
また、架台１は、上方から見ると格子状に構成されており、上方に設置されたファンからのダウンフローにより、パーティクル等が除去されやすい構造になっている。

通路１０の終端部には、秤量器１３が複数台設けられている。秤量器１３の台数は、作業ヘッド６の数やコスト等の要素によって決まる設計事項であるが、作業ヘッド６と同数設けられていることが好ましい。
秤量器１３は、架台１と別途に設けられた秤量器用の架台１１に配設されており、秤量器用の架台１１は架台１と分離して床面に設置される（図２参照）。秤量器１３は、作業時においてはテーブル１２の下方に位置するが、図１に示すようにメンテナンス時においてはテーブル１２が後方へ移動することにより、露出された状態となる。
なお、秤量器１３には、テーブル１２と干渉しないように、予め小型の皿やカップ等を配置しておくことが好ましい。

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、作業ヘッド６は、Ｚ方向移動手段によって上昇した位置（待避位置）に移動しており、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部が、図示しないＹスライダベース８を可動してテーブル１２を移動し、ヘッドスライダ５を可動して作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動手段により作業ヘッド６を下降させ、ワークと作業ヘッド６を相対移動させてワークへの液材塗布を行う。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。作業ヘッド６の移動完了後、背面から自動搬送機がワークを搬出する。

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、扉３１を開いて通路１０内に作業者が進入することにより行う。このとき、テーブル１２は、作業ヘッド６と対向しない位置まで後方に移動している。通路１０の上方は、空間となっているため、作業者は立って作業を行うことも可能である。

本実施例の液材塗布装置は、カバー３０およびヘッドカバー７０を有する点で、実施例１の液材塗布装置と相違する。以下では、説明の便宜上、図３の扉３１側を前方または正面といい、テーブル１２側を後方または背面という場合がある。
図３は、フレーム３にヘッドカバー７０が装着された、本実施例の液材塗布装置の斜視図である。ヘッドカバー７０の上端はカバー３０の天井近傍に位置しており、ヘッドカバー７０の前方の面が、フレーム３の背面側のエリア（クリーン保持エリア）へのパーティクルの侵入を防ぐ内壁としての役割をする。
ヘッドカバー７０の上面は、頂上から後方側へ向かう斜面になっている。上から下への空気の流れ（ダウンフロー）を大きく変えることが無いようにするための形状である。上面を斜面形状とすることで、途中で渦が発生したり、下まで流れが到達しないなどの問題を防ぐことができる。
ヘッドカバー７０の背面は平面となっており、クリーン保持エリアへのパーティクルの進入を防いでいる。また、ヘッドカバー７０と架台１とのクリアランスはテーブル１２の移動を妨げない距離となっている。ヘッドカバー７０の上端とカバー３０の天井との距離およびヘッドカバー７０の下端と架台１との距離をどの程度にするかは設計事項であり、フレーム３自体の形状を工夫してもよい。
ヘッドカバー７０の前面および側面の作業ヘッド６が位置する空間は、その３方向が板状の透明部材で覆われている。前面の中央部には、ヘッド用扉７１が３つのヒンジ７２を介して配設されており、上方に跳ね上げて開くことが可能である。なお、本実施例では側面の透明部材を開閉することができないが、側面の透明部材を開閉可能とするかは、設計事項である。

本実施例の液材塗布装置は、図４〜図８に示すように、方形状のカバー３０内に配置される。
カバー３０は、ゴミやほこりがワークに付着するのを防ぐための閉空間であり、背面にはワークを搬入出するための開口部３４が、正面には観音開きする一対の扉３２と、通路１０内に進入するための扉３１が設けられている。
また、カバー３０の正面には、非常停止ボタン３７と図示しない主制御部を操作するための操作パネル３８が設けられており、カバー３０を構成する各パネルのうち、一対の取手が設けられているものは開閉することができる。

図９は本実施例の液材塗布装置の平面図であり、図１０は図９のＡ−Ａ’断面図、図１１は図９のＢ−Ｂ’断面図、図１２は図９のＣ−Ｃ’断面図である。通路１０は、Ａ−Ａ’線の手前まで延出されており、図１１を見ると分かるように、断面がＵ字形状となるよう構成されている。通路１０が設けられていない架台１のＣ−Ｃ’線の部分は、架台１の構造強度を高める役割をしている。
図９では、テーブル１２が後方位置に位置しているが、作業時にはテーブル１２を前方に移動することができ、図１３の位置まで移動可能である。

本実施例では、フレーム３より背面側に図示しないファン機構を設け、上部から下部に向かってクリーンなエアーを常流させている。これによりほこり等の不要物がカバー３０の下部から外部に排出されるため、カバー３０内に不要物が残留せず、常にクリーンな環境下で塗布作業が行うことができる。この際、空気清浄機を併用すること、或いは、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）等のフィルターを介して外気を作業エリアに取り込むことが好ましい。
また、フレーム３より背面側のエリア（クリーン保持エリア）をフレーム７０より正面側のエリアと比べ陽圧とすることにより、前者のエリアから後者のエリアへ向かうエアの流れを形成することができる。この流れが、メンテナンス時に発生したパーティクルがテーブルの位置するフレーム３よりクリーン保持エリアに進入することを防ぐ役割をする。

また、カバー３０の好ましい態様としては、ＳＵＳやアルミフレーム等による金属枠に金属製の壁または透過性の樹脂等の壁で構成されるものが例示される。樹脂製の壁は、クリア（無色透明）、黄、濃茶、赤、ダークグレー、スモーク（灰色）の場合など様々であるが、使用する液材の用途（例えば、紫外線を嫌う場合等）に応じて最適なものを選択して利用することができる。図１４のハッチングした部分が透明ないしは半透明の箇所である。

実施例１同様に、架台１の下方部には、図示しない通信用ソケットが設けられており、遠隔操作が可能である。操作パネル３８より操作を行うこともできるが、正面または側面の扉やパネルを開いてのメンテナンス作業中に、操作パネル３８を操作することは困難であるため、遠隔操作が効果的である。

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面の開口部３４からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、作業ヘッド６は、Ｚ方向移動手段によって上昇した位置（待避位置）に移動しており、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部が、図示しないＹスライダベース８を可動してテーブル１２を移動し、ヘッドスライダ５を可動して作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動手段により作業ヘッド６を下降させ、ワークと作業ヘッド６を相対移動させてワークへの液材塗布を行う。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。作業ヘッド６の移動完了後、開口部３４より自動搬送機がワークを搬出する。

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、扉３１を開いて通路１０内に作業者が進入することにより行う。このとき、テーブル１２は、作業ヘッド６と対向しない位置まで後方に移動している。通路１０の上方は、空間となっているため、作業者は立って作業を行うことも可能である。必要に応じてヘッド用扉７１を開くことで、より容易に作業を行うことが可能である。
通路１０に進入することにより、作業ヘッド６が容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
メンテナンス作業を終えたら、ヘッド用扉７１を閉め、通路１０から退出し、扉３１を閉じる。メンテナンス作業によりパーティクルの発生することが想定されるため、一定の待機時間の経過後に作業を再開するのが好ましい。
なお、この待機時間に作業ヘッド６から吐出される液体材料の量精度調整を行うことで、時間を効率的に利用することができる。メンテナンス作業時は、テーブル１２が後方に移動しており、秤量器１３が露わになっているため、量精度調整の作業に好適である。

本発明は、液材吐出ヘッド以外の作業ヘッドを搭載した作業装置にも適用することができる。例えば、ワーク上に塗布されたＵＶ接着剤を硬化させるためのＵＶ光源を有するＵＶ照射ヘッド、または、ワーク表面の汚れ、傷若しくは液材により描画された塗布線の良否を判定・検査するためのセンサ類若しくはＣＣＤ等のカメラを具備した検査ヘッドを搭載した作業装置が挙げられる。
また、ドリル等の刃具を有する加工装置を具備した加工ヘッドを搭載した作業装置にも適用可能である。

実施例１に係る液材塗布装置の斜視図である。 実施例１に係る液材塗布装置の底面図である。 実施例２に係る液材塗布装置の斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着した状態の斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着した状態の正面図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着した状態の背面図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着した状態の左側面図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着した状態の右側面図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着し、テーブルを後方位置とした状態の平面図である。 図９のＡ−Ａ’断面図である。 図９のＢ−Ｂ’断面図である。 図９のＣ−Ｃ’断面図である。 実施例２に係る液材塗布装置にカバーを装着し、テーブルを前方位置とした状態の平面図である。 図４の透明部を説明するための正面図である。

符号の説明

１ 架台
２ 支持体
３ フレーム
４ ヘッドスライダベース
５ ヘッドスライダ
６ 作業ヘッド
８ テーブルスライダベース
１０ 通路
１２ テーブル
１３ 秤量器
３０ カバー
３１〜３３ 扉
３４ 開口部
３５ スピーカー
３６ モニター
３７ 非常停止ボタン
３８ 操作パネル
３９ 表示灯
７０ ヘッドカバー
７１ ヘッド用扉
７２ ヒンジ

Claims (10)

1. 作業者が進入可能な第一の方向に延出された通路を有する架台と、
   前記架台の上方で第一の方向と異なる第二の方向に延伸されたフレームと、
   前記通路を含む架台上を第一の方向に移動自在に構成されたテーブルと、
   前記テーブルと対向してフレームに配設され、第二の方向に移動自在の作業ヘッドとを備え、
   前記テーブルと前記作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置。
2. 前記通路は、前記フレームの下方まで延出されており、
   前記テーブルは、前記架台上の通路と重ならない位置まで移動できることを特徴とする請求項１の作業装置。
3. 前記架台は、通路を除く上面から下面を貫通する複数の孔を有する格子構造からなることを特徴とする請求項１または２の作業装置。
4. 前記通路に進入するための開口扉と、前記架台上に設けられた作業装置を覆う方形状のカバーとを備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの作業装置。
5. 前記フレームは、作業ヘッドを覆うヘッドカバーを備え、該ヘッドカバーは、その上端部が、前記カバーの天井の近傍に位置する高さに構成されることを特徴とする請求項４の作業装置。
6. 前記ヘッドカバーは、その上面が通路と反対側に下る斜面で構成されることを特徴とする請求項５の作業装置。
7. 前記作業ヘッドは、ノズルの先端から液材を吐出する液材吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかの作業装置。
8. 前記通路の終端部に、前記架台と独立した架台に配設された秤量器が設置されることを特徴とする請求項７の作業装置。
9. 前記フレームは、複数の作業ヘッドが配設されることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかの作業装置。
10. 前記フレームは、第一の方向に移動自在に構成されることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかの作業装置。