JP2015066501A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】廃棄される塗布液の量を低減しつつ、塗布効率を向上する技術を提供する。【解決手段】複数のノズル３１は、主走査方向に所定の間隔を空けて配列された第一ノズル群３１Ａと、該第一ノズル群３１Ａに対して、基板９の主面に平行であって、副走査方向に間隔を隔てて配列された第二ノズル群３１Ｂを含む。ピッチ調整機構３は、第一ノズル群３１Ａのノズル３１を保持するスライドコマ３２Ａ、第二ノズル群３１Ｂのノズル群のノズル３１を保持するスライドコマ３２Ｂ、副走査方向の一方側からスライドコマ３２Ａ，３２Ｂｎｉ当接するロッド３５２と、副走査方向の他方側からスライドコマ３２Ａ，３２Ｂをロッド３５２へと付勢するノズル付勢機構３４、および、ロッド３５２の副走査方向の位置を調整する駆動機構３５１とを備えている。【選択図】図３

Description

この発明は、基板に塗布液を塗布する技術に関する。

近年、有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料を利用した有機ＥＬ表示装置の開発が行われている。例えば、高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」という。）に対して、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および、絶縁膜の形成による封止が順次行われる。

有機ＥＬ表示装置の製造において、正孔輸送液または有機ＥＬ液を基板に塗布する装置として、特許文献１に示されるものが知られている。この種の塗布装置では、流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動することによって、基板上に流動性材料をストライプ状に塗布する。

特許文献１の塗布装置では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｇ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が３本のノズルから吐出され、基板上の塗布領域に予め形成されている隔壁間の３つの溝に塗布される。

当該装置では、３本のノズルが保持部材により一体的に保持されている。そして、基板に垂直な支持軸を中心として当該保持部材を回動することによって、３本のノズルの副走査方向におけるピッチを変動させることができる。これによって、有機ＥＬ液の塗布ピッチが調整される。

また、特許文献２の塗布装置では、塗布液を塗布するノズルの取付誤差や製造誤差などによって、ノズル間ピッチが不均一になっている場合に、ノズル間ピッチを均一化するためのピッチ調整機構が設けられている。

当該装置では、各ノズルが、副走査方向に移動可能なスライダに搭載されている。そして、ピッチ調整機構が、各スライダを副走査方向に移動させることによって、各ノズルを個別に移動させることができる。これによって、各ノズルの副走査方向に関するノズル間ピッチの調整が行われている。

特開２００３−０１０７５５号公報 特開２００８−１５５１３８号公報

ところで、ノズルの数を増やすことによって、一度の主走査方向の移動で多数のストライプ線を形成することができ、塗布時間を短縮できる。しかしながら、複数のノズルが、主走査方向に移動する際、基板の塗布対象領域に到達する前から塗布液を吐出し続けるため、主走査方向にノズルの数を増やすと、ノズルが基板の塗布領域に到達するまでの距離が長くなってしまい、廃棄される塗布液が増大してしまう。

このような問題に対処するため、主走査方向に並ぶノズルの間隔を狭くすることが考えられる。しかしながら、特許文献２に記載のようなピッチ調整機構を設けた場合には、その機構自体のサイズを小さくすることに限界があるため、主走査方向のノズル間隔を狭くすることは容易ではないという問題がある。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、廃棄される塗布液の量を低減しつつ、塗布効率を向上する技術を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、第１の態様は、基板に塗布液が塗布される塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板に向けて塗布液を連続的に吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルが取り付けられるノズル取付部と、前記基板の主面に平行な主走査方向に前記複数のノズルを前記ノズル取付部と共に前記基板に対して相対的に移動させる主走査機構と、前記基板の前記主面に平行であって、前記主走査方向に交差する副走査方向に前記複数のノズルおよび前記ノズル取付部を前記基板に対して相対的に移動させる副走査機構と、前記複数のノズルを前記副走査方向に移動させることによって、前記副走査方向に関して互いに隣接する２つの前記ノズル間の距離を調整するピッチ調整機構とを備え、前記複数のノズルは、前記主走査方向に所定の間隔を空けて配列された第一ノズル群と、該第一ノズル群に対して、前記副走査方向に所定の間隔を空けて配列された第二ノズル群を含む。

また、第２の態様は、第１の態様に係る塗布装置において、前記ピッチ調整機構は、副走査方向に移動可能に前記ノズルを保持するノズル保持部と、前記副走査方向の一方側から前記ノズル保持部に当接するノズル当接部と、前記副走査方向の他方側から前記ノズル保持部を前記ノズル当接部へと付勢するノズル付勢機構と、前記ノズル当接部の前記副走査方向の位置を調整する駆動機構とを備えている。

また、第３の態様は、第２の態様に係る塗布装置において、前記第一ノズル群のノズルを保持する前記ノズル保持部の各々に当接する前記ノズル当接部材が、前記前記第二ノズル群のノズルを保持する隣接した２つのノズル保持部間に配されている。

また、第４の態様は、第２の態様に係る塗布装置において、前記付勢部材が、前記第一ノズル群および前記第二ノズル群の前記ノズルを保持する２つの前記ノズル保持部の間を接続する弾性部材を含む。

また、第５の態様は、第２の態様に係る塗布装置において、前記ノズル付勢機構は、前記第一ノズル群の前記ノズル、および、前記第二ノズル群の２つの前記ノズルをそれぞれ保持する２つの前記ノズル保持部に対して、挟まれた状態で当接する楔型当接部材と、前記楔型当接部材を、前記２つのノズル保持部の間に向けて移動させる移動機構とを含む。

また、第６の態様は、第２の態様に係る塗布装置において、前記ノズル付勢機構は、前記第一ノズル群の前記ノズル、および、前記第二ノズル群の前記ノズルをそれぞれ保持する２つの前記ノズル保持部の間に配されたマグネット体、を含み、前記２つの前記ノズル保持部は、前記マグネット体に対して反発する磁極を有する磁性部を有する。

第１の態様によると、第一ノズル群に対して、副走査方向に間隔を隔てて第二ノズル群を配列することによって、主走査方向における両端のノズルの距離を短くすることができる。このため、連続的に塗布液を吐出しつつ、ノズルを基板の塗布領域に到達させるまでに廃棄される塗布液の量を軽減できる。しかも、ノズルの数を増やすことで、塗布効率を向上することができる。

第２の態様によると、副走査方向におけるノズル間隔の調整を行うことができるため、塗布精度を向上することができる。

第３の態様によると、第二ノズル群のノズル保持部の間を通るノズル保持部によって、駆動機構から離れた位置にある第一ノズル群のノズル保持部の位置調整を行うことができる。

第４の態様によると、１つの弾性部材によって、２つのノズル保持部を、それぞれに当接するノズル当接部に向けて付勢することができる。

第５の態様によると、１つの楔型部材によって、２つのノズル保持部を、それぞれに当接するノズル当接部に向けて付勢することができる。

第６の態様によると、１つのマグネット体によって、２つのノズル保持部を、それぞれに当接するノズル当接部に向けて付勢することができる。

第１実施形態に係る塗布装置の平面図である。 第１実施形態に係る塗布装置の正面図である。 塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。 第２実施形態に係る塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。 第３実施形態に係る塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。 第３実施形態に係るノズル付勢機構の概略側面図である。 第４実施形態に係る塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。 第５実施形態に係る塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。 第６実施形態に係る塗布ヘッドが備えるノズル取付部の概略平面図である。

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置１について、図面を参照しつつ説明する。なお、図面においては、理解容易のため、各部の寸法や数が必要に応じて誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、図１および以降の各図においては、説明の便宜のため、Ｘ方向およびこれに直交するＹ方向を水平方向とし、鉛直方向をＺ方向とするＸＹＺ直交座標系が示されている。ただし、これらの各方向は、各要素の配置関係を限定する趣旨のものではない。

＜１． 第１実施形態＞
＜１．１． 構成および機能＞
図１は第１実施形態に係る塗布装置１の平面図である。また、図２は、第１実施形態に係る塗布装置１の正面図である。

塗布装置１は、有機ＥＬ液、正孔輸送材料または正孔注入材料などの流動性材料を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造するための装置として構成されている。なお、塗布装置１では、有機ＥＬ液、正孔輸送材料、正孔注入材料などの複数の塗布液を用いることが可能である。

この塗布装置１は、主として、基板９を水平に保持するステージ１０と、ステージ１０を移動させるステージ移動機構２０と、ステージ１０に保持された基板９の上面に塗布液を塗布するための塗布ヘッド３０と、塗布ヘッド３０に塗布液を供給する塗布液供給機構４０と、塗布ヘッド３０を移動させるヘッド移動機構５０とを備える。また、塗布装置１は、塗布装置１が備える各部と電気的に接続されて、これらの各部の動作を制御する制御部２とを備えている。

ステージ１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板９を水平姿勢に載置して保持する。また、ステージ１０は、基板９よりもサイズが小さい。ステージ１０の上面には複数の吸引孔（図示省略）が形成されている。これらの吸引孔は真空ポンプ等に接続されており、該真空ポンプを動作させることで、ステージ１０上に基板９を載置したときには、吸引孔の吸引圧により基板９はステージ１０の上面に吸着され固定的に保持される。また、ステージ１０は、その内部にヒータによる加熱機構（図示省略）を備える。そして、ステージ１０上に載置された基板９を所定の温度に加熱することができる。

ステージ移動機構２０は、ステージ１０を基板９の主面に対して平行な所定の方向（すなわち、図１中のＹ方向であり、以下、「副走査方向」と称する）に水平移動させる。ステージ移動機構２０は、ステージ１０を回転させる回転機構２４と、ステージ１０を回転可能に支持する支持プレート２３と、支持プレート２３を水平に支持する基台２１と、基台２１を副走査方向に移動させる副走査機構２２とを有している。回転機構２４、副走査機構２２は、制御部２と電気的に接続されており、制御部２からの指示に応じてステージ１０を移動させる。

回転機構２４は、ステージ１０の内部に取り付けられた回転子により構成されたモータを有している。また、ステージ１０の中央部下面側と支持プレート２３との間には回転軸受機構が設けられている。そのため、モータを動作させると、回転子がＺ軸周りの回転方向に駆動し、回転軸受機構の回転軸を中心としてステージ１０が所定角度の範囲内で回転する。

副走査機構２２は、支持プレート２３を下方から支持する基台２１の下面に取り付けられたリニアモータ２２１と、副走査方向に延びる一対のガイドレール２２２とを有している。このため、リニアモータ２２１を駆動させると、ガイドレール２２２に沿って基台２１およびステージ１０が副走査方向に移動する。

塗布ヘッド３０は、複数のノズル３１を備えている。塗布ヘッド３０は、ステージ１０に保持された基板９の上面に向けて有機ＥＬ材料を含む塗布液を連続的に吐出する。換言すると、塗布ヘッド３０は塗布液を液柱の状態（連続流体とも言う）で吐出するための吐出機構である。

本実施形態では、複数のノズル３１は、塗布ヘッド３０において、２列に並べられている。より詳細には、複数のノズル３１は、基板９の主面に平行であって副走査方向に垂直な方向（すなわち、図１中のＹ方向に垂直なＸ方向であり、以下、「主走査方向」と称する）に所定の間隔を空けて配列された第一ノズル群３１Ａの列と、該第一ノズル群３１Ａの各ノズル３１に対して、副走査方向に所定の間隔を空けて配列された第二ノズル群３１Ｂの列と、を形成するように配置されている。

本実施形態では、第一ノズル群３１Ａおよび第二ノズル群３１Ｂのそれぞれにおいて、主走査方向に隣接する２本のノズル３１，３１の間の副走査方向に関する距離が、基板９の塗布領域９１（図１中において破線で囲んで示す。）上にあらかじめ形成されている主走査方向に延びる隔壁間のピッチ（以下、「隔壁ピッチ」と称する）の３倍に等しくなるように調整されている。なお、このピッチを調整するピッチ調整機構３については、後述する塗布ヘッド３０の説明において詳述する。

塗布液供給機構４０は、主として、有機ＥＬ材料を含む塗布液を貯留する塗布液貯留部４１と、塗布液を塗布ヘッド３０まで供給する供給管４２と、塗布液貯留部４１から塗布液を送出するためのポンプ（図示省略）とを備える。供給管４２は一方端が塗布液貯留部４１と連通接続しており、他方端は各ノズル３１に一対一で対応するように分岐され各ノズル３１に接続されている。

ヘッド移動機構５０は、一対のガイド部材５１と、ガイド部材５１に対して摺動可能に配設されるスライダ５２と、一対のガイド部材５１の両端部近傍に配設され、Ｚ軸方向を向く軸を中心に回転可能な一対のプーリ５３と、プーリ５３に巻回された無端状の同期ベルト５４とを備える。

スライダ５２は、エア供給源（図示省略）から一定圧力のエアが供給されることで、ガイド部材５１に対して非接触状態で係合しつつ主走査方向に移動可能に支持される。また、スライダ５２の一端は、同期ベルト５４に固定されている。一方、スライダ５２の他端には、塗布ヘッド３０が固定されている。このため、モータ（図示省略）の駆動により同期ベルト５４を時計回りあるいは反時計回りに回転させることで、塗布ヘッド３０を（−Ｘ）方向または（＋Ｘ）方向に往復移動させることができる。この時、スライダ５２はガイド部材５１に対して非接触状態で支持されているため、塗布ヘッド３０の往復移動を、高速かつ滑らかなものとすることが可能となる。

ヘッド移動機構５０が、塗布ヘッド３０を主走査方向に移動させる主走査機構となる。なお、ヘッド移動機構５０は、制御部２と電気的に接続されており、制御部２からの指示に応じて塗布ヘッド３０を移動させる。

そして、塗布ヘッド３０の主走査方向への移動が完了するごとに、基板９を保持するステージ１０を副走査方向に移動させることにより、基板９の表面の塗布領域９１に対して塗布液の塗布を実行する。なお、塗布ヘッド３０の主走査時には、受液部１２の近傍にて加速または減速が完了し、基板９の上方においては、塗布ヘッド３０は、例えば、毎秒３〜５ｍ程度の一定速度で移動する。

制御部２は、各種の演算処理を実行しつつ、塗布装置１が備える各部の動作を制御する。制御部２は、例えば各種演算処理を行うＣＰＵ、ブートプログラム等を記憶するＲＯＭ、演算処理の作業領域となるＲＡＭ、プログラムや各種のデータファイルなどを記憶するハードディスクなどの記憶部、各種表示を行うディスプレイ、キーボード、および、マウスなどの入力部、ＬＡＮ等を介してデータ通信機能を有するデータ通信部、等を有するコンピュータによって構成される。コンピュータにインストールされたプログラムにしたがつてコンピュータが動作することにより、当該コンピュータが塗布装置１の制御部２として機能する。なお、制御部２において実現される各機能部は、コンピュータが所定のプログラムを実行することによって実現されてもよいし、専用のハードウェアによって実現されてもよい。また、制御部２において実現される各機能部は、複数台のコンピュータにより実現されてもよい。

また、この塗布装置１は、基板９上に形成されたアライメントマーク（図示省略）を撮像して検出するための左右一対の撮像部１１を備える。この一対の撮像部１１には、各々、ＣＣＤカメラが配設されている。そして、撮像部１１で検出されたアライメントマークの位置に基づき、基板９の位置合わせが行なわれる。

また、塗布ヘッド３０の往復移動方向（Ｘ方向）に関してステージ１０の両側には、塗布ヘッド３０におけるノズル３１からの塗布液を受ける一対の受液部１２が配設されている。塗布ヘッド３０は、基板９に対する塗布処理を行っていない間（待機している間）も、塗布液を連続的に吐出している。受液部１２は、この間に吐出される塗布液を受けるための機構であり、その内部に多孔性部材を備えるため塗布ヘッド３０から吐出された塗布液が周囲に液跳ねすることを防ぐことができる。

塗布ヘッド３０の構成について、図３を参照しつつ詳細に説明する。図３は、塗布ヘッド３０が備えるノズル取付部３４の概略平面図である。塗布ヘッド３０は、基板９に向けて塗布液を連続的に吐出する複数のノズル３１が取り付けられるノズル取付部３４を備えている。

複数のノズル３１のそれぞれは、略直方体形状のスライドコマ３２Ａ，３２Ｂ（ノズル保持部）に保持されている。スライドコマ３２Ａは、第一ノズル群３１Ａのノズル３１を保持し、スライドコマ３２Ｂは、第二ノズル群３１Ｂのノズル３１を保持する。スライドコマ３２Ａ，３２Ｂには、ノズル３１を挿通し、保持するための挿入孔がＺ軸方向に向かって貫通形成されている。各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂは、ノズル取付部３４に形成された複数の案内溝３４２１のそれぞれに嵌め込まれている。各案内溝３４２１は、Ｙ軸方向に直線状に延びている。スライドコマ３２Ａ，３２Ｂは、その案内溝３４２１の延びる方向に沿って直線移動可能とされている。

ノズル取付部３４において、複数の案内溝３４２１は、Ｘ軸方向に一定間隔を空けて二列に配されている。−Ｙ側にある一方列の複数の案内溝３４２１には、ノズルコマ３２Ａが収容されており、＋Ｙ側にある他方列の複数の案内溝３４２１には、ノズルコマ３２Ｂが収容されている。図３に示される例では、ノズルコマ３２Ａが収容されている案内溝３４２１は、Ｘ軸方向に関して、ノズルコマ３２Ｂを収容する２つの隣り合う案内溝３４２１，３４２１の中間位置に配されている。

案内溝３４２１の底面には、Ｙ軸方向に延びる開口部３４２２が形成されている。開口部３４２２は、ノズル３１の先端部を基板９に向けて突出させるための開口として機能する。また、案内溝３４２１の＋Ｙ側内壁面には、＋Ｙ方向に向かって貫通する貫通孔３４２５が形成されている。貫通孔３４２５には、後述する位置調整機構３５のロッド３５２（ノズル当接部）が挿通される。

ノズル取付部３４の＋Ｙ側には、位置調整機構３５が設けられている。位置調整機構３５は、案内溝３４２１に収容された各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの案内溝３４２１に沿った位置（つまり、Ｙ軸方向における位置）を調整する。位置調整機構３５は、アクチュエータ３５１（駆動機構）と、該アクチュエータ３５１から延びる複数のロッド３５２とを備えている。

各ロッド３５２は、案内溝３４２１の＋Ｙ側の内壁面に形成された貫通孔３４２５に挿通されている。各ロッド３５２の先端部は、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの＋Ｙ側の側面部に固定されている。ロッド３５２の後端部は、アクチュエータ３５１と連結されている。アクチュエータ３５１が制御部２からの命令に従って駆動し、ロッド３５２をＹ軸方向に沿って前方あるいは後方に移動させることで、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの位置が調整される。スライドコマ３２Ａ，３２Ｂは、ノズル３１を保持しているため、位置調整機構３５がスライドコマ３２Ａ，３２Ｂの位置を調整することによって、各ノズル３１の位置が調整されることとなる。

図３に示されるように、第一ノズル群３１Ａのノズル３１を保持するスライドコマ３２Ａに接続されたロッド３５２は、Ｘ方向に隣接した第二ノズル群３１Ｂの隣接した２つのノズル３１，３１保持するスライドコマ３２Ｂ，３２Ｂの間の位置に配されている。塗布ヘッド３０の小型化を図るため、隣接するスライドコマ３２Ｂ，３２Ｂ間の距離（換言すると、スライドコマ３２Ｂ，３２Ｂが収容されている案内溝３４２１，３４２１の形成間隔）は、第一ノズル群３１Ａを保持するスライドコマ３２Ａ一つ分の幅よりも狭くなっている。本実施形態では、隣接するスライドコマ３２Ｂ，３２Ｂ間にスライドコマ３２Ａよりも細いロッド３５２を配して、アクチュエータ３５１の動力を伝達する。これによって、アクチュエータ３５１から遠い位置に配された第一ノズル群３１Ａのノズル３１を保持する各スライドコマ３２Ａの位置調整を、有効に行うことができる。

ノズル取付部３４の−Ｙ側には、ノズル付勢機構３３が設けられている。ノズル付勢機構３３は、複数のロッド３３１と、各ロッド３３１を＋Ｙ側に付勢する付勢アクチュエータ３３２を備えている。付勢アクチュエータ３３２は、各ロッド３３１に対応する複数のエアシリンダと、これら複数のエアシリンダの圧力を制御するレギュレータなどで構成することができる。

ノズル付勢機構３３によって、各ノズル３１は、＋Ｙ側に移動する力を受けている。これに逆らうようにして、位置調整機構３５が各ノズル３１を−Ｙ側に押し返すことによって、隣り合うノズル３１，３１のＹ軸方向に関するピッチが調整されることとなる。このように、本実施形態では、ノズル付勢機構３３、ノズル取付部３４および位置調整機構３５によって、ピッチ調整機構３が構成されている。

また、図示を省略するが、塗布ヘッド３０には、ピッチ調整機構３によってＹ軸方向の位置が調整された各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂを固定するためのロック機構が設けられている。ロック機構は、例えば特許文献２に記載のものを採用することができる。すなわち、ロック機構としては、各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの側部に、各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂを押圧してノズル取付部３４に押しつけるものが採用可能である。また特許文献２には、当該ロックを解除するロック解除機構についても記載されており、当該技術を本願にも適用することができる。いうまでもないが、ロック機構およびロック解除機構は、特許文献２に記載のものに限定されるものではなく、これに類似する技術を採用することができる。

以上のように、本実施形態では、副走査方向の位置が調整可能な複数のノズル３１を、２列に配列することによって、１列に並べたときよりも、主走査方向の両端にあるノズル３１，３１間の距離を短くすることができる。これにより、塗布ヘッド３０を受液部１２から基板９の塗布領域９１に到達するまでに、複数のノズル３１から塗布液を連続吐出することで廃棄される塗布液の量を効果的に低減することができる。したがって、基板製造のコストダウンを図ることができる。しかも、ノズル３１を増やすことによって、主走査方向の移動回数を減らすことができる。このため、塗布効率を向上することができる。

なお、本実施形態では、ノズルコマ３２Ａ，３２Ｂを案内溝３４２１に沿って移動させることで、ノズル３１を副走査方向に直線移動させている。しかし、この構成は一例にすぎない。すなわち、ノズル３１を安定的に副走査方向に移動できるのであれば、どのような構成が採用されてもよい。また、ノズル３１を、副走査方向に沿う方向にのみに移動させるのではなく、主走査方向の成分を持つ方向に移動可能としてもよい。

＜２． 第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。なお、以降の説明において、既に説明した要素と同様の機能を有する要素については、同じ符号またはアルファベットを追加した符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。

図４は、第２実施形態に係る塗布ヘッド３０Ａが備えるノズル取付部３４Ａの概略平面図である。本実施形態の塗布ヘッド３０Ａは、ノズル取付部３４Ａにおいて、Ｙ軸方向に延びる案内溝３４２１ＡがＸ軸方向に所定の間隔を空けて等間隔に複数形成されている。そして各案内溝３４２１Ａの内部には、第一ノズル群３１Ａを保持するスライドコマ３２Ａおよび第二ノズル群３１Ｂを保持するスライドコマ３２Ｂが、弾性部材３３Ａ（例えばコイルバネ等）によって連結された状態で収容されている。弾性部材３３Ａは、圧縮された状態にあり、スライドコマ３２Ａおよびスライドコマ３２Ｂを互いに離間させる方向に付勢するノズル付勢機構として機能する。

また、ノズル取付部３４Ａの＋Ｙ側には、第一ノズル群３１Ａのノズル３１を保持するスライドコマ３２Ａの副走査方向の位置を調整するための、位置調整機構３５Ａが設けられている。位置調整機構３５Ａは、位置調整機構３５とほぼ同様の構成を備えている。詳細には、位置調整機構３５Ａは、アクチュエータ３５１Ａ、および、一方端が該アクチュエータ３５１Ａに接続されており、他方端がスライドコマ３２Ａに接続されている複数のロッド３５２Ａを備えている。

また、ノズル取付部３４Ａの−Ｙ側には、第二ノズル群３１Ｂのノズル３１を保持するスライドコマ３２Ｂの副走査方向の位置を調整するための、位置調整機構３５Ｂが設けられている。位置調整機構３５Ｂは、位置調整機構３５とほぼ同様の構成を備えている。詳細には、位置調整機構３５Ｂは、アクチュエータ３５１Ｂ、および、一方端がアクチュエータ３５１Ｂに接続されており他方端がスライドコマ３２Ｂに接続されている複数のロッド３５２Ｂを備えている。

アクチュエータ３５１Ａ，３５１Ｂのそれぞれは、アクチュエータ３５１と同様に、複数のロッド３５２Ａ，３５２Ｂを前方または後方に移動させることによって、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂを副走査方向に沿って移動させる。

このように、本実施形態では、第１実施形態におけるノズル付勢機構３３の代わりに、弾性部材３３Ａを用いることで、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂを位置調整機構３５のロッド３５２Ａ，３５２Ｂに付勢している。つまり、本実施形態では、弾性部材３３Ａ、ノズル取付部３４、および位置調整機構３５Ａ，３５Ｂによって、隣り合うノズル３１，３１間のピッチを調整するピッチ調整機構３Ａが構成されている。このような構成の塗布ヘッド３０Ａを採用した場合においても、第１実施形態に係る塗布ヘッド３０と同様に、塗布時における塗布液の廃棄量を低減しつつ、ノズル３１の数を増やして塗布効率を向上することができる。

＜３． 第３実施形態＞
図５は、第３実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｂが備えるノズル取付部３４Ａの概略平面図である。また、図６は、第３実施形態に係るノズル付勢機構３３Ｂの概略側面図である。本実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｂのピッチ調整機構３Ｂは、ピッチ調整機構３Ａとほぼ類似した構成を備えているが、弾性部材３３Ａの代わりにノズル付勢機構３３Ｂを備えている点で、ピッチ調整機構３Ａとは相違する。

ノズル付勢機構３３Ｂは、副走査方向に並ぶスライドコマ３２Ａ，３２Ｂの間に挟まれた状態でこれらに当接する楔型当接部材３３３と、先端が楔型当接部材３３３に接続されているロッド３３４と、ロッド３３４の基端部に接続されたシリンダ３３５とを備えている。なお、図５に示される図では、ノズル付勢機構３３Ｂのうち、楔型当接部材３３３のみを図示しており、ロッド３３４およびシリンダ３３５の図示を省略している。

シリンダ３３５は、不図示の固定手段によって、ノズル取付部３４Ａに対して固定された位置に配置可能とされている。そしてロッド３３４は、シリンダ３３５からノズル取付部３４Ａに向かう−Ｚ方向に延びている。シリンダ３３５は、例えば制御部２からの命令にしたがって動作することによって、その動力をロッド３３４に伝達し、楔型当接部材３３３を下方に押したり、あるいは、上方に引き上げたりする。これによって、楔型当接部材３３３が、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの間の位置に向かって移動する。また、図示を省略するが、ノズル付勢機構３３Ｂは、楔型当接部材３３３，ロッド３３４およびシリンダ３３５を一体的にＹ軸方向に沿って移動させる移動機構を備えている。

楔型当接部材３３３は、断面視略三角形を形成している。より詳細には、楔型当接部材３３３は、図６に示されるように、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂに当接する当接面３３ＳＡ，３３ＳＢ間の幅が、−Ｚ方向に向かうにつれて次第に小さくなっている、このため、シリンダ３３５の動力が伝達されて、楔型当接部材３３３が−Ｚ方向に押し下げられることによって、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂがそれぞれ離間する方向に付勢されることとなる。このようにスライドコマ３２Ａ，３２Ｂを付勢しておくことによって、位置調整機構３５Ａ，３５Ｂによる、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの副走査方向における位置調整を良好に行うことができる。

このようなノズル付勢機構３３Ｂを備えたピッチ調整機構３Ｂを塗布ヘッド３０Ｂに採用した場合であっても、第１実施形態に係る塗布ヘッド３０および第２実施形態に係る塗布ヘッド３０Ａと同様に、塗布液の廃棄量を低減しつつ、ノズル３１の数を増やして塗布効率を向上することができる。

なお、楔型当接部材３３３は、必ずしも断面視三角形でなくてもよい。楔型当接部材３３３は、少なくとも、楔型当接部材３３３がスライドコマ３２Ａ，３２Ｂに向かうにしたがって、Ｙ軸方向（副走査方向）の幅が小さくなるように変化する部分を有しておればよい。

＜４． 第４実施形態＞
図７は、第４実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｃが備えるノズル取付部３４Ａの概略平面図である。塗布ヘッド３０Ｃは、第２実施形態に係る塗布ヘッド３０Ａとほぼ同様の構成を備えているが、ノズル付勢機構３３Ｃとしてマグネット体３３６が採用されている。

より詳細には、第一ノズル群３１Ａのノズル３１と、第二ノズル群３１Ｂのノズル３１を保持する２つのスライドコマ３２Ａ，３２Ｂの間に、マグネット体３３６がそれぞれ配されている。そして、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂのうち、マグネット体３３６に対向する面には、マグネット体３３６に対して反発する磁極を持った磁性体３３７が取り付けられている。この磁性体３３７によって、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂが、離間する方向に付勢される。このため、位置調整機構３５Ａ，３５Ｂによって、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂの副走査方向における位置調整を良好に行うことができる。

このようなノズル付勢機構３３Ｃを備えたピッチ調整機構３Ｃを採用した塗布ヘッド３０Ｃの場合であっても、第１〜第３実施形態に係る塗布ヘッド３０，３０Ａ，３０Ｂと同様に、塗布液の廃棄量を低減しつつ、ノズル３１の数を増やして塗布効率を向上することができる。

＜５． 第５実施形態＞
上記実施形態２に係る塗布ヘッド３０Ａでは、各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂが、付勢アクチュエータ３３２からの付勢力を受けることによって、ロッド３５２に向けて付勢され、アクチュエータ３５１からの押圧力を受けて位置調整されている。しかしながら、付勢力を発生させる機構を、付勢アクチュエータ３３２とは異なる機構で実現することも考えられる。

図８は、第５実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｄが備えるノズル取付部３４Ｂの概略平面図である。ノズル取付部３４Ｂには、ノズル取付部３４Ａと同様に、Ｙ軸方向に延びる複数の案内溝３４２１が２列形成されており、一方列の複数の案内溝３４２１には、ノズルコマ３２Ａが収容され、他方列の複数の案内溝３４２１には、ノズルコマ３２Ｂが収容されている。ただし、塗布ヘッド３０Ｄでは、ノズルコマ３２Ａ，３２Ｂを付勢するノズル付勢機構が、付勢アクチュエータ３３２ではなく、弾性部材３３Ｄによって構成されている。

より詳細には、ノズルコマ３２Ａは、ノズル取付部３４Ｂの−Ｙ側に設けられた位置調整機構３５Ａのアクチュエータ３５１Ａから、ロッド３５２Ａを介して、副走査方向の位置を調整するための押圧力を受ける。そして、ノズルコマ３２Ａの＋Ｙ側側面と、案内溝３４２１の＋Ｙ側内壁面に両端が固定された弾性部材３３Ｄによって、ノズルコマ３２Ａがロッド３５２Ａに向けて付勢されている。また、ノズルコマ３２Ｂは、ノズル取付部３４Ｂの＋Ｙ側に設けられた位置調整機構３５Ｂのアクチュエータ３５１Ｂから、ロッド３５２Ｂを介して、副走査方向の位置を調整するための押圧力を受ける。そしてノズルコマ３２Ｂの−Ｙ側側面と、案内溝３４２１の−Ｙ側側面に両端が固定された弾性部材３３Ｄによって、ノズルコマ３２Ｂがロッド３５２Ｂに向けて付勢されている。すなわち、本実施形態では、弾性部材３３Ｄ、ノズル取付部３４Ｂおよび位置調整機構３５Ａ，３５Ｂによって、複数のノズル３１の副走査方向のピッチ調整を行うピッチ調整機構３Ｄが構成されている。

このように、本実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｄによっても、主走査方向の両端にあるノズル３１，３１間の距離を短くすることができるため、塗布液を連続吐出したときに廃棄される塗布液の量を低減しつつ、ノズル３１の数を増やすことができる。また、本実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｄの場合、図３に示される塗布ヘッド３０Ａのように、アクチュエータ３５１Ａ，３５１Ｂの動力を伝達するロッド３５１Ａ，３５１Ｂを、Ｘ軸方向に隣り合うノズルコマ３２Ａ，３２Ａ間またはノズルコマ３２Ｂ，３２Ｂ間に配する必要がない。このため、隣り合うノズルコマ３２Ａ，３２Ａまたはノズルコマ３２Ｂ，３２Ｂ間の距離をより短縮することできる。

なお、弾性部材３３Ｄの代わりに、ノズル付勢機構３３Ｂのように楔型当接部材３３３を利用したもの、あるいは、ノズル付勢機構３３Ｃのように磁石３３６を利用したものを適用することも考えられる。

また、本実施形態では、複数のノズルコマ３２Ａ、および、複数のノズルコマ３２Ｂを、別々のアクチュエータ３５１Ａ，３５１Ｂで押圧するように構成されている。しかしながら、例えばアクチュエータ３５１Ａ，３５１Ｂのどちらか一方のみでノズルコマ３２Ａ，３２Ｂを押圧する構成も考えられる。例えば、図示を省略するが、アクチュエータ３５１Ａのみでノズルコマ３２Ａ，３２Ｂを押圧する構成とした場合、アクチュエータ３５１Ａからノズルコマ３２Ｂに向けて、Ｘ軸方向に隣り合うノズルコマ３２Ａ，３２Ａの間を通るようにロッドを延ばせばよい。そして、ノズルコマ３２Ｂを付勢する弾性部材３３Ｄの両端を、ノズルコマ３２Ｂの＋Ｙ側側面および案内溝３４２１の＋Ｙ側内壁面に取り付ければよい。

＜６．第６実施形態＞
図９は、第６実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｅが備えるノズル取付部３４Ｃの概略平面図である。上記第５実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｄでは、ノズル付勢機構である弾性部材３３Ｄが、案内溝３４２１の内壁面とスライドコマ３２Ａまたは３２Ｂの側面とに固定されている。これに対して、第６実施形態に係る塗布ヘッド３０Ｅでは、スライドコマ３２Ａ・アクチュエータ３５１Ｂ間、および、スライドコマ３２Ｂ・アクチュエータ３５１Ａ間を接続する弾性部材３３Ｅが用いられている。

より詳細には、スライドコマ３２Ａが収容される案内溝３４２１の＋Ｙ側内壁面には、＋Ｙ方向に貫通する貫通孔３４２７が形成されている。これらの貫通孔３４２７には、一方端がスライドコマ３２Ａに接続され、他方端がアクチュエータ３５１Ｂに接続されている弾性部材３３Ｅが挿通されている。

また、スライドコマ３２Ｂが収容される案内溝３４２１の−Ｙ側内壁面には、―Ｙ方向に貫通する貫通孔３４２７が形成されている。これらの貫通孔３４２７には、一方端がスライドコマ３２Ｂに接続され、他方端がアクチュエータ３５１Ａに接続されている弾性部材３３Ｅが挿通されている。

本実施形態では、弾性部材３３Ｅに蓄えられた弾性力によって、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂがそれぞれロッド３４２Ａ，３４２Ｂに向けて付勢される。この状態で、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂが、それぞれアクチュエータ３５１Ａ，３５１Ｂからの押圧力を受けることによって、副走査方向における位置調整（ピッチ調整）が行われる。すなわち、本実施形態では、弾性部材３３Ｅ、ノズル取付部３４Ｃ、および位置調整機構３５Ａ，３５Ｂによって、複数のノズル３１の副走査方向のピッチ調整を行うピッチ調整機構３Ｅが構成されている。

なお、各弾性部材３３Ｅは、スライドコマ３２Ａ，３２Ｂを、それぞれ案内溝３４２１の＋Ｙ側端部（内壁面）および−Ｙ側端部（内壁面）に当接するまで付勢できるように、副走査方向に十分な長さを有している。

弾性部材３３Ｅと、スライドコマ３２Ａまたは３２Ｂとの間の接続は、解除できるようにしてもよい。この場合、ピッチ調整後に、図示を省略するロック機構によって、各案内溝３４２１に対するスライドコマ３２Ａ，３２Ｂの位置を固定し、その後、アクチュエータ３５１Ａおよび３５１Ｂが、−Ｙ方向および＋Ｙ方向へそれぞれ移動する。これによって、弾性部材３３Ｅが各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂから離間し、各スライドコマ３２Ａ，３２Ｂに対する付勢力が解除される。これによって、ノズル３１の位置をより一層安定化させることができる。

この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。また、上記各実施形態で説明した各要素は、相互に矛盾しない限り、適宜組み合わせたり、あるいは適宜省略したりすることができる。

１ 塗布装置
１０ ステージ
１２ 受液部
２ 制御部
２０ ステージ移動機構
２２ 副走査機構
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ ピッチ調整機構
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ 塗布ヘッド
３１ ノズル
３１Ａ 第一ノズル群
３１Ｂ 第二ノズル群
３２Ａ，３２Ｂ スライドコマ（ノズル保持部）
３３，３３Ｂ，３３Ｃ ノズル付勢機構
３３Ａ，３３Ｄ，３３Ｅ 弾性部材（ノズル付勢機構）
３３１ ロッド
３３２ 付勢アクチュエータ
３３３ 楔型当接部材
３３４ ロッド
３３５ シリンダ
３３６ マグネット体
３３７ 磁性体
３４，３４Ａ，３４Ｂ ノズル取付部
３４２１，３４２１Ａ 案内溝
３５，３５Ａ，３５Ｂ 位置調整機構
３５１，３５１Ａ，３５１Ｂ アクチュエータ
３５２，３５２Ａ，３５２Ｂ ロッド（ノズル当接部）
５０ ヘッド移動機構
９ 基板
９１ 塗布領域

Claims (6)

1. 基板に塗布液が塗布される塗布装置であって、
   基板を保持する基板保持部と、
   前記基板に向けて塗布液を連続的に吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルが取り付けられるノズル取付部と、
   前記基板の主面に平行な主走査方向に前記複数のノズルを前記ノズル取付部と共に前記基板に対して相対的に移動させる主走査機構と、
   前記基板の前記主面に平行であって、前記主走査方向に交差する副走査方向に前記複数のノズルおよび前記ノズル取付部を前記基板に対して相対的に移動させる副走査機構と、
   前記複数のノズルを前記副走査方向に移動させることによって、前記副走査方向に関して互いに隣接する２つの前記ノズル間の距離を調整するピッチ調整機構と、
   を備え、
   前記複数のノズルは、前記主走査方向に所定の間隔を空けて配列された第一ノズル群と、該第一ノズル群に対して、前記副走査方向に所定の間隔を隔てて配列された第二ノズル群を含む、塗布装置。
2. 請求項１に記載の塗布装置において、
   前記ピッチ調整機構は、
   副走査方向に移動可能に前記ノズルを保持するノズル保持部と、
   前記副走査方向の一方側から前記ノズル保持部に当接するノズル当接部と、
   前記副走査方向の他方側から前記ノズル保持部を前記ノズル当接部へと付勢するノズル付勢機構と、
   前記ノズル当接部の前記副走査方向の位置を調整する駆動機構と、
   を備えている、塗布装置。
3. 請求項２に記載の塗布装置において、
   前記第一ノズル群のノズルを保持する前記ノズル保持部の各々に当接する前記ノズル当接部材が、前記前記第二ノズル群のノズルを保持する隣接した２つのノズル保持部間に配されている、塗布装置。
4. 請求項２に記載の塗布装置において、
   前記付勢部材が、前記第一ノズル群および前記第二ノズル群の前記ノズルを保持する２つの前記ノズル保持部の間を接続する弾性部材を含む、塗布装置。
5. 請求項２に記載の塗布装置において、
   前記ノズル付勢機構は、
   前記第一ノズル群の前記ノズル、および、前記第二ノズル群の２つの前記ノズルをそれぞれ保持する２つの前記ノズル保持部に対して、挟まれた状態で当接する楔型当接部材と、
   前記楔型当接部材を、前記２つのノズル保持部の間に向けて移動させる移動機構と、
   を含む、塗布装置。
6. 請求項２に記載の塗布装置において、
   前記ノズル付勢機構は、
   前記第一ノズル群の前記ノズル、および、前記第二ノズル群の前記ノズルをそれぞれ保持する２つの前記ノズル保持部の間に配されたマグネット体、を含み、
   前記２つの前記ノズル保持部は、前記マグネット体に対して反発する磁極を有する磁性部を有する、塗布装置。

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