JP5537223B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
前記圧力変動吸収機構は、前記ノズルと連通する塗布液の送液路と、当該塗布液の送液路に連通した状態で上方に立設され、その上端部が閉止された管状部材とを備えたT字型管路より構成される。
前記圧力変動吸収機構は、一端が前記塗布液供給管と連通しその他端が前記ノズルと連通する塗布液の流路と、その上部に開口部が形成されるとともに塗布液の貯留部を備えたチャンバーと、前記開口部に配設された弾性変形可能な薄膜とを備える。
11 基板移動機構
12 レール
13 基台
14 回転台
15 撮像部
16 試験塗布ステージ部
17 受液部
18 受液部
19 ノズルピッチ調整機構
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 塗布液貯留部
25 エア供給源
31 スライダ
32 貫通孔
33 プーリ
34 同期ベルト
61 ポンプ
62 マスフローコントローラ
63 電磁開閉弁
64 塗布液供給管
70 圧力変動吸収機構
71 送液路
72 管状部材
73 閉止部材
75 チャンバー
76 流路
77 貯留部
78 薄膜
81 管路
82 隔壁
83 管路
84 隔壁
85 軟質チューブ
86 外側チューブ
100 ガラス基板
Claims (7)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して塗布液を吐出する複数のノズルを有する塗布ヘッドと、
前記塗布ヘッドを、基板の表面に対して平行な主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、
前記基板保持部を、前記主走査方向と直交し、かつ、基板の表面に対して平行な副走査方向に、前記塗布ヘッドに対して相対的に移動させる副走査方向移動機構と、
貯留部に貯留された塗布液を圧送するためのポンプと、
前記ポンプに接続された分岐管と、
その一端が複数のマスフローコントローラを介して前記分岐管と接続され、前記塗布液貯留部から前記塗布ヘッドにおける各ノズルに対して塗布液を送液するための可撓性を有する複数の塗布液供給管と、
前記各ノズルと各塗布液供給管との間に配設され、そこを通過する塗布液の圧力変動を吸収する複数の圧力変動吸収機構と、を備え、
前記複数の圧力変動吸収機構は、前記塗布ヘッドに配設され、前記複数のノズルと一体となって主走査方向に往復移動することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記圧力変動吸収機構は、
前記ノズルと連通する塗布液の送液路と、当該塗布液の送液路に連通した状態で上方に立設され、その上端部が閉止された管状部材とを備えたT字型管路より構成される塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記圧力変動吸収機構は、
一端が前記塗布液供給管と連通しその他端が前記ノズルと連通する塗布液の流路と、
その上部に開口部が形成されるとともに塗布液の貯留部を備えたチャンバーと、
前記開口部に配設された弾性変形可能な薄膜と、
を備える塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記圧力変動吸収機構は、
前記ノズルと連通するとともに、その内圧により弾性変形する軟質チューブより構成される塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記圧力変動吸収機構は、
前記ノズルと連通された微小オリフィスを有する管路より構成される塗布装置。 - 請求項5に記載の塗布装置において、
前記圧力変動吸収機構がラビリンス構造を有する塗布装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の塗布装置において、
前記ノズルは、前記副走査方向に関して所定のピッチで複数個配設されており、前記塗布液供給管と前記圧力変動吸収機構は、各ノズルに対応して配設されるとともに、
前記複数の塗布液供給管は、各々、前記塗布液貯留部から塗布液を圧送するポンプとマスフローコントローラを介して連結されている塗布装置。
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