JP2012071270A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布装置は、塗布液を吐出するノズルと、基板に対して、ノズルを移動させるノズル移動機構と、ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と、塗布液をノズルに供給するためにノズルに接続され、ノズル移動機構によるノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、塗布液供給部からノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、塗布液供給部からノズルに通じる塗布液流路の開度を調節する開度調節部と、流量測定部の測定結果に基づいて、開度調節部を制御する開度調節制御部とを備える。開度調節制御部は、ノズルが移動して、基板の表面に塗布液を吐出する際、開度調節部を、ノズルの停止中に調節した開度を維持するように制御する。
【選択図】図1
Description
<1.1.全体構成>
図1は、第1実施形態に係る塗布装置1の概略を示した平面図である。また図2は、塗布装置1の概略を示した正面図である。全図中のX方向、Y方向、及び、Z方向は、それぞれ後述する主走査方向に沿った方向、該X方向に直交する水平方向、及び、鉛直方向(上下方向)となっている。
図7は、塗布装置1の塗布動作を示した流れ図である。なお、以下の説明においては、特にことわりのない限り、塗布装置1の各構成要素の動作は、制御部8によって制御されるものとする。また、塗布処理を開始する前に、塗布装置1への基板100の搬送や、基板保持部10上への基板の載置、さらには、塗布処理可能な所定位置への基板100の移動は、既に完了しているものとする。
図8は、ノズル23から吐出される塗布液の吐出量の経時変化を示した図である。なお、同図に示したグラフの横軸は、基板100全体に塗布処理が行われたときの時間を示している。また縦軸は、ノズル23から吐出される塗布液の単位時間当たりの吐出量(以下、単に「吐出量」とも称する。)を示している。
以上、実施形態の詳細について説明したが様々な変形が可能である。
10 基板保持部
100 基板
11 基板移動機構
17,18 受液部
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 加圧タンク
241a 配管
241b 分岐管
26 供給管群
61 電空レギュレーター
62 マスフローコントローラー
621 マスフローメーター
622 コントロールバルブ
623 バルブ制御部
64 接続チューブ
8 制御部
Claims (6)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
塗布液を吐出するノズルと、
基板に対して、前記ノズルを移動させるノズル移動機構と、
前記ノズルに前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記塗布液を前記ノズルに供給するために前記ノズルに接続され、前記ノズル移動機構による前記ノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、
前記塗布液供給部から前記ノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、
前記塗布液供給部から前記ノズルに通じる塗布液流路の開度を調節する開度調節部と、
前記流量測定部の測定結果に基づいて、前記開度調節部を制御する開度調節制御部と、
を備え、
前記開度調節制御部は、
前記ノズルが移動して、前記基板の表面に前記塗布液を吐出する際、前記開度調節部を、前記ノズルの停止中に調節した開度を維持するように制御する塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記流量測定部は、前記塗布液供給部から接続チューブまでの前記塗布液流路内を通過する前記塗布液の流量を測定する塗布装置。 - 請求項1または2に記載の塗布装置において、
前記開度調節部は、
前記塗布液流路の途中に設けられるバルブ、を含み、
前記バルブにより、前記塗布液流路の開度が調節される塗布装置。 - 基板に対してノズルを移動させつつ、塗布液供給部からノズルの移動に応じて変形する接続チューブを介して前記ノズルに塗布液を供給して、前記ノズルから塗布液を吐出し、前記基板の表面に前記塗布液を塗布する塗布方法において、
(a) 前記塗布液供給部から前記ノズルにつながる塗布液流路内を通過する、前記塗布液の流量を測定する工程と、
(b) 前記ノズルが停止している間、前記(a)工程にて測定される流量値に基づいて、前記塗布液流路の開度を調節する工程と、
(c) 前記(b)工程にて調節された開度を維持しつつ、前記ノズルが移動して前記基板の表面に向けて前記塗布液を吐出する工程と、
を含む塗布方法。 - 請求項4に記載の塗布方法において、
前記(a)工程は、
(a-1) 前記塗布液供給部から前記接続チューブまでの塗布液流路内を通過する塗布液の流量を測定する工程、
を含む塗布方法。 - 請求項4または5に記載の塗布方法において、
前記(b)工程は、
(b-1) 前記塗布液流路の途中に設けられたバルブを制御することによって、前記開度を調節する工程、
を含む塗布方法。
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Cited By (6)
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DE102012224491A1 (de) | 2012-01-10 | 2013-07-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Abgasreglungssystem für einen Fahrzeugverbrennungsmotor |
JP2014057930A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布装置の動作方法 |
CN104370471A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-02-25 | 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 | 镀膜液均布器 |
KR101503590B1 (ko) | 2012-09-28 | 2015-03-17 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 도포액 유량의 조절 방법 및 도포 장치 |
CN104722448A (zh) * | 2013-12-18 | 2015-06-24 | 日东电工株式会社 | 涂布装置和涂布膜的制造方法 |
JP6007281B1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-10-12 | 日東電工株式会社 | 塗工装置及び塗工膜の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007117891A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP2009131735A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP2010201318A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 流量設定方法および塗布装置 |
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2010
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007117891A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP2009131735A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP2010201318A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 流量設定方法および塗布装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012224491A1 (de) | 2012-01-10 | 2013-07-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Abgasreglungssystem für einen Fahrzeugverbrennungsmotor |
JP2014057930A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布装置の動作方法 |
KR101503589B1 (ko) * | 2012-09-19 | 2015-03-17 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 도포 장치 및 도포 장치의 동작 방법 |
KR101503590B1 (ko) | 2012-09-28 | 2015-03-17 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 도포액 유량의 조절 방법 및 도포 장치 |
CN104722448A (zh) * | 2013-12-18 | 2015-06-24 | 日东电工株式会社 | 涂布装置和涂布膜的制造方法 |
JP2015116534A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 日東電工株式会社 | 塗工装置及び塗工膜の製造方法 |
KR20150071623A (ko) * | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도포 시공 장치 및 도포 시공막의 제조 방법 |
KR102169997B1 (ko) | 2013-12-18 | 2020-10-26 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 도포 시공 장치 및 도포 시공막의 제조 방법 |
CN104370471A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-02-25 | 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 | 镀膜液均布器 |
JP6007281B1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-10-12 | 日東電工株式会社 | 塗工装置及び塗工膜の製造方法 |
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