JP2010201318A - 流量設定方法および塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、直列供給工程および流量計測調整工程を含む。直列供給工程は、支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの１つから吐出させる。流量計測調整工程は、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。
【選択図】図８

Description

本発明は、流量設定方法および塗布装置に関し、より特定的には、複数のノズルから塗布液を吐出して塗布する塗布装置の流量設定方法および塗布装置に関する。

従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧して、ノズルから吐出される。

上記塗布装置では、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布する場合、製造効率を上げるために、赤色、緑色、および青色の何れか１つの有機ＥＬ材料を同時に複数のノズルから吐出して塗布することが一般的である。例えば、上記特許文献１で開示された塗布装置を用いて単色の有機ＥＬ材料を同時に複数のノズルから吐出する場合、単一の供給源に貯留された塗布液（例えば、赤色の有機ＥＬ材料）を複数のノズルへ分岐して供給し、それぞれのノズルから基板上に同時に塗布することによって、複数の位置に同時に塗布液を塗布する方法がある。

図１４は、単一の供給源１０１から複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎへ分岐して供給する塗布装置の一例を示すブロック図である。図１４において、供給源１０１に貯留された塗布液は、ポンプ１０２で増圧され、フィルタ１０３を介してマニホールド（分岐管）１０４に供給される。マニホールド１０４は、複数のノズル系統（ａ系統〜ｎ系統とする）の配管が接続されており、供給された塗布液をａ系統〜ｎ系統の配管へそれぞれ流動させる。

マニホールド１０４からａ系統に分岐して流動する塗布液は、流量制御バルブ１０５ａによってａ系統を流動する流量が制御され、その流量が流量計１０６ａによって監視される。そして、ａ系統に分岐して流動する塗布液は、ノズル１０８ａに内蔵されたフィルタ１０９ａを介して当該ノズル１０８ａの先端部から吐出される。また、マニホールド１０４から他のｂ系統〜ｎ系統にそれぞれ分岐して流動する塗布液についても、ａ系統と同様に流動する。すなわち、マニホールド１０４からｂ系統〜ｎ系統にそれぞれ分岐して流動する塗布液は、流量制御バルブ１０５ｂ〜１０５ｎによってｂ系統〜ｎ系統を流動する流量がそれぞれ制御され、それらの流量が流量計１０６ｂ〜１０６ｎによってそれぞれ監視される。そして、ｂ系統〜ｎ系統に分岐して流動するそれぞれの塗布液は、ノズル１０８ｂ〜１０８ｎに内蔵されたフィルタ１０９ｂ〜１０９ｎを介して当該ノズル１０８ｂ〜１０８ｎの先端部からそれぞれ吐出される。

特開２００６−２０５０２４号公報

ここで、ノズルから正確な流量の塗布液を吐出するためには、ノズルから吐出される塗布液の実吐出流量を計測して管理する必要がある。例えば、ノズルから吐出される塗布液の実吐出流量は、当該ノズルから所定の容器内に塗布液を吐出させ、単位吐出時間に対する当該容器内の塗布液重量（例えば、ミリグラム／分）によって秤量される。そして、実流量計測時の流量計の値と実吐出流量計測結果との関係を用いて、以降の塗布作業中の塗布流量が管理される。例えば、ノズルから塗布液を吐出させている時の流量計の値がＸ１、Ｘ２、およびＸ３であり、その実吐出流量がそれぞれＹ１、Ｙ２、およびＹ３であるとする。このとき、図１５に示すような流量計の値と実吐出流量との関係式が導かれる。そして、塗布作業において実吐出流量Ｙｐでノズルから塗布液を塗布させたい場合、導かれた関係式に基づいて実吐出流量Ｙｐに対応する流量計の値Ｘｐを算出し、流量計が当該値Ｘｐを維持するようにノズルへの流量を制御する。

しかしながら、図１４に示したような複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎから同時に塗布液を吐出する塗布装置の場合、ノズル系統毎に上述した実吐出流量の計測を行って上記関係式をそれぞれ導くことが必要となる。また、高精度な関係式を導き出す場合、１つのノズル系統に対して流量が異なる複数ポイントの実吐出流量の計測を行う必要がある。また、当該塗布装置において塗布する塗布液を変更（例えば、赤色の有機ＥＬ材料から緑色の有機ＥＬ材料に変更）する場合、当該塗布液変更後にも実吐出流量の秤量が必要となるため、塗布装置の流量管理工数が増大する。また、塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなると、容器内に吐出した塗布液中の溶媒が蒸発することによって実吐出流量が変動することがあり、正確な実吐出流量の計測が困難となることがある。

それ故に、本発明の目的は、各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、直列供給工程および流量計測調整工程を含む。直列供給工程は、支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの１つから吐出させる。流量計測調整工程は、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。

第２の発明は、上記第１の発明において、選択供給工程および実流量計測工程を、さらに含む。選択供給工程は、供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する。実流量計測工程は、選択供給工程で選択支管にのみ塗布液を供給している状態において、当該選択支管に設けられた支管流量計測手段による計測結果と当該選択支管のノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する。流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、選択支管に設けられた支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果が調整される。

第３の発明は、上記第１の発明において、支管流量計測手段のうち、少なくとも１つは、支管を流動する塗布液の質量流量を計測する。流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、質量流量を計測する支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果が調整される。

第４の発明は、上記第１の発明において、選択供給工程および実流量計測工程を、さらに含む。選択供給工程は、供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する。実流量計測工程は、選択供給工程で選択支管にのみ塗布液を供給している状態において、本管を流動する塗布液流量を計測する本管流量計測手段による計測結果と当該選択支管のノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する。流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果が調整される。

第５の発明は、上記第１の発明において、本管には、当該本管を流動する塗布液の質量流量を計測する本管流量計測手段が設けられる。流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果が調整される。

第６の発明は、上記第１〜第５の発明の何れか１つにおいて、支管流量計測手段による塗布液流量の計測結果に応じて当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節する支管流量調節手段が、複数の支管それぞれに設けられる。直列供給工程では、支管流量計測手段および支管流量調整手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの１つから吐出させる。流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に塗布液を供給している状態において、支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果に基づいて、所定の流量に対応した支管流量調整手段の調節目標となる目標流量値がそれぞれ設定される。

第７の発明は、上記第６の発明において、流量計測調整工程では、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に塗布液を供給している状態において、基準となる基準流量値と支管流量計測手段が示す流量値との間の関係式がそれぞれ導かれ、当該関係式に基づいて所定の流量を示す当該基準流量値に対応する当該支管流量計測手段の流量値が目標流量値に設定される。

第８の発明は、上記第７の発明において、流量計測調整工程では、塗布装置で使用する塗布液の種別毎に関係式が導かれて目標流量値が設定される。

第９の発明は、上記第６の発明において、直列供給工程では、供給する塗布液流量が直列に接続された支管流量調整手段の何れか１つによって基準流量値が所定の流量となるように調節され、他の支管流量調整手段による流量調節が全開にされる。流量計測調整工程では、供給する塗布液流量を支管流量調整手段の何れか１つが基準流量値を所定の流量に調節した状態で支管流量計測手段がそれぞれ示す流量値がそれぞれの目標流量値に設定される。

第１０の発明は、上記第９の発明において、流量計測調整工程では、塗布装置で使用する塗布液の種別毎に目標流量値が設定される。

第１１の発明は、上記第１の発明において、複数の支管には、当該支管の間をそれぞれ連結する連結管が設けられる。直列供給工程では、複数の支管のうちの１つに供給源から塗布液を供給し、連結管を介して他の支管に当該供給液を順次流動させた後に、当該塗布液の流動において最も下流となる支管に設けられたノズルから当該塗布液を吐出させる。

第１２の発明は、複数のノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置である。塗布装置は、単一の供給源、複数のノズル、本管、複数の支管、複数の支管流量計測手段、連結管、および制御部を備える。単一の供給源は、塗布液を貯留する。複数のノズルは、塗布液を吐出する。本管は、供給源から塗布液を供給する。複数の支管は、本管から供給される塗布液を分流して、複数のノズルへそれぞれ供給する。複数の支管流量計測手段は、支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液流量を計測する。連結管は、支管における支管流量計測手段の下流側と他の支管における支管流量計測手段の上流側とを連結する。制御部は、支管流量計測手段がそれぞれ計測した塗布液流量の計測結果を調整する。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。

第１３の発明は、上記第１２の発明において、制御部は、供給源から本管へ供給された塗布液が複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給され、他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、当該選択支管に設けられた支管流量計測手段による計測結果と当該選択支管のノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、選択支管に設けられた支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する。

第１４の発明は、上記第１２の発明において、複数の支管流量計測手段のうち、少なくとも１つは、支管を流動する塗布液の質量流量を計測する質量流量計である。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、質量流量計が計測する塗布液流量を基準として、他の支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する。

第１５の発明は、上記第１２の発明において、本管流量計測手段を、さらに備える。本管流量計測手段は、本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液流量を計測する。制御部は、供給源から本管へ供給された塗布液が複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給され、他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、本管流量計測手段による計測結果と当該選択支管のノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する。

第１６の発明は、上記第１２の発明において、質量流量計を、さらに備える。質量流量計は、本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の質量流量を計測する。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、質量流量計が計測する塗布液流量を基準として、支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する。

第１７の発明は、上記第１２〜第１６の発明の何れか１つにおいて、複数の支管流量調節手段を、さらに備える。複数の支管流量調節手段は、支管にそれぞれ設けられ、支管流量計測手段による塗布液流量の計測結果に応じて当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節する。制御部は、支管および連結管を介して複数の支管流量計測手段および支管流量調節手段がそれぞれ直列に接続され、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調節手段に塗布液が供給されて、当該供給された塗布液がノズルの１つから吐出される状態において、支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果に基づいて、所定の流量に対応した支管流量調整手段の調節目標となる目標流量値をそれぞれ設定する。

第１８の発明は、上記第１２の発明において、バルブを、さらに備える。バルブは、支管にそれぞれ設けられ、制御部の制御に応じて支管を流動する塗布液を連結管へ流動させるか当該支管のノズルへ流動させるかを切り替える。制御部は、複数の支管のうちの１つに供給源から塗布液を供給し、バルブを切り替えて連結管を介して他の支管に当該供給液を順次流動させた後に、当該塗布液の流動において最も下流となる支管に設けられたノズルから当該塗布液を吐出させることによって、複数の支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続する。

上記第１の発明によれば、並列に接続された複数の支管流量計測手段が直列に接続されることによって、１回の塗布液の流動によって全ての支管流量計測手段の調整が可能となる。例えば、複数系統にそれぞれ設けられた支管流量計測手段毎に行っていた調整作業の時間が１系統分の時間に短縮することができ、調整作業のために塗布液を流動させる量も大幅に削減することができる。

上記第２の発明によれば、並列に接続された複数の支管流量計測手段のうち、１つの支管流量計測手段の流量計測値を基準として他の支管の支管流量計測手段が校正される。したがって、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して校正することが不要となる。例えば、塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても基準となる支管流量計測手段の流量計測値に基づいて他の支管の支管流量計測手段が校正されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて支管流量計測手段の校正が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の校正が可能であり、換算作業等も不要となる。また、従来のように実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。

上記第３の発明によれば、並列に接続された複数の支管流量計測手段のうち、質量流量を計測する支管流量計測手段の流量計測値を基準として他の支管の支管流量計測手段が校正される。したがって、実吐出流量を秤量して校正する作業が不要となる。また、塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても質量流量を計測する支管流量計測手段の流量計測値に基づいて他の支管の支管流量計測手段が校正されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて支管流量計測手段の校正が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の校正が可能であり、換算作業等も不要となる。

上記第４の発明によれば、本管に設けられた本管流量計測手段の流量計測値を基準として支管流量計測手段が校正される。したがって、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して校正することが不要となる。例えば、塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても基準となる本管流量計測手段の流量計測値に基づいて支管流量計測手段が校正されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて支管流量計測手段の校正が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の校正が可能であり、換算作業等も不要となる。また、従来のように実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。

上記第５の発明によれば、本管を流動する塗布液の質量流量を計測する本管流量計測手段の流量計測値を基準として支管流量計測手段が校正される。したがって、実吐出流量を秤量して校正する作業が不要となる。また、塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても質量流量を計測する本管流量計測手段の流量計測値に基づいて支管流量計測手段が校正されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて支管流量計測手段の校正が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の校正が可能であり、換算作業等も不要となる。

上記第６の発明によれば、並列に接続された複数の支管流量計測手段および支管流量調整手段の組が直列に接続されることによって、１回の塗布液の流動によって支管それぞれの目標流量値をそれぞれ設定することができる。例えば、複数系統にそれぞれ設けられた支管流量計測手段および支管流量調整手段毎に行っていた調整作業の時間が１系統分の時間に短縮することができ、調整作業のために塗布液を流動させる量も大幅に削減することができる。

上記第７の発明によれば、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して関係式をそれぞれ導くことが不要となる。例えば、塗布装置において塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても基準流量値に基づいて支管の目標流量値が設定されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて目標流量値の設定が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の目標流量値の設定が可能であり、換算作業等も不要となる。

上記第８の発明によれば、特性の異なる塗布液を使用する場合においても、使用する塗布液に応じた関係式が設定されるため、使用する塗布液に応じた正確な目標流量値が設定可能となる。

上記第９の発明によれば、塗布液の流量を実際の塗布作業において吐出する吐出流量に合致させて目標流量値の設定が可能であるため、実作業に合わせたピンポイントの流量管理が可能となり、さらに流量管理工数が削減される。

上記第１０の発明によれば、特性の異なる塗布液を使用する場合においても、使用する塗布液に応じた正確な目標流量値が設定可能となる。

上記第１１の発明によれば、複数の支管を連結管で接続することによって、並列に接続された複数の支管流量計測手段を容易に直列に接続することができる。

また、本発明の塗布装置によれば、上述した流量設定方法と同様の効果を得ることができる。

本発明の一実施形態に係る塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図 本発明の一実施形態に係る供給部５４の概略構成を示すブロック図 図１の塗布装置１の制御機能を示すブロック図 図１の塗布装置１における流量設定手順の一例を示すフローチャート 図４のステップＳ８２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 図４のステップＳ８３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 実流量計測モード処理における配管の接続状態の一例を示す図 支管流量設定モード処理における配管の接続状態の一例を示す図 塗布処理における配管の接続状態の一例を示す図 実吐出流量Ｒと流量計測値Ｆとの関係式の一例を示すグラフ 流量計測値Ｆと流量計測値ｆとの関係式の一例を示すグラフ 使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定された関係式の一例を示す図 支管流量設定モード中と塗布作業中とにおける各流量制御バルブ５４６および支管流量計５４７の状態の一例を示す図 従来の単一の供給源１０１から複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎへ分岐して供給する塗布装置の一例を示すブロック図 従来の流量計の値と実吐出流量との関係式の一例を示す図

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置１について説明する。説明を具体的にするために、塗布装置１が有機ＥＬ材料を溶解した溶液を塗布液として用いる有機ＥＬデバイスを製造する塗布装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。なお、本明細書における有機ＥＬ材料は、有機層（発光層、電荷輸送層、および電荷注入層等のうちで有機物を含む層）を形成する材料であり、例えば、有機層を形成する材料のうちで溶媒に可溶な材料である。塗布装置１は、有機ＥＬ材料を含む塗布液を、ステージ上に載置された被塗布体（例えば、ガラス基板）上に所定のパターン形状で塗布することによって有機層を形成して有機ＥＬデバイスを製造するものである。図１（ａ）は、塗布装置１の要部概略構成を示す平面図である。図１（ｂ）は、塗布装置１の要部概略構成を示す正面図である。なお、塗布装置１は、上述したように有機ＥＬ材料を含む塗布液を複数種類用いるが、それらの代表として発光層を形成する有機ＥＬ材料を溶解した溶液を塗布液（以下、有機ＥＬ材料を含む塗布液と記載することがある）として用いる例として説明する。

図１（ａ）および図１（ｂ）において、塗布装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１と、ノズルユニット５０と、液受部５３Ｌおよび５３Ｒとを有している。ノズル移動機構部５１は、ガイド部材５１１が図示Ｘ軸方向に延設されており、ノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に移動させる。ノズルユニット５０は、例えば赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を含む塗布液を吐出する複数のノズル５２（図１では、３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃのみ図示）を並設した状態で保持する。なお、図１においては、３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃのみを図示した塗布装置１を示したが、塗布装置１にはさらに多くのノズル５２を並設してノズルユニット５０で保持することが可能である。塗布装置１には、ｎ本（例えば、１０〜２０本）のノズル５２（以下、ノズル５２ａ〜５２ｎとする）を並設することが可能であり、この場合、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を含む塗布液をノズル５２ａ〜５２ｎから吐出する。また、各ノズル５２ａ〜５２ｎへは、単一の供給源５４１（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を含む塗布液が供給される。このように、複数のノズル５２から同じ色の有機ＥＬ材料を含む塗布液が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液がノズル５２ａ〜５２ｎから吐出される例を用いる。

基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料を含む塗布液が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構や基板Ｐの吸着機構や受け渡しピン機構等が設けられている。

有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて水平に固定される。平行移動テーブル２３の下面には、ガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の水平移動も可能になる。

受け渡しピン機構を介してステージ２１上に基板Ｐを載置し、当該基板Ｐを吸着固定して、平行移動テーブル２３が有機ＥＬ塗布機構５の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布をノズル５２ａ〜５２ｎから受ける位置となる。そして、制御部３（図３参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｎから所定流量の有機ＥＬ材料を含む塗布液を吐出させる。また、ノズル５２ａ〜５２ｎのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を含む塗布液を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｌ）の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｒ）の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｎから有機ＥＬ材料を含む塗布液を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液が基板Ｐ上にストライプ状の塗布列として形成される。

次に、図２を参照して、塗布装置１における塗布液の供給部５４の概略構成について説明する。なお、図２は、塗布装置１の供給部５４の概略構成を示すブロック図である。

図２において、塗布装置１は、供給部５４を備えている。供給部５４は、単一の供給源５４１から供給される塗布液（例えば、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液）を供給途中（マニホールド５４４）で複数に分岐させて複数のノズル５２ａ〜５２ｎ（ノズルユニット５０）に供給する。ここで、供給部５４において、供給源５４１から塗布液を複数に分岐するまでの供給配管を本管と記載し、塗布液を複数に分岐してからノズル５２ａ〜５２ｎに供給するまでの供給配管をそれぞれ支管と記載し、各支管間を連結する配管を連結管と記載する。

供給部５４は、供給源５４１、加圧部５４２、フィルタ５４３、マニホールド５４４、複数の第１の開閉バルブ５４５ａ〜５４５ｎ、複数の流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎ、複数の支管流量計５４７ａ〜５４７ｎ、および複数の第２の開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎを備えている。また、供給部５４は、支管間をそれぞれ連結する連結管に第３の開閉バルブ５４９ａｂ〜５４９ｍｎを備えている。供給源５４１は、塗布装置１で塗布する有機ＥＬ材料を含む塗布液を貯留しており、例えば、柔軟性を有するパック内に当該有機ＥＬ材料を含む塗布液を貯留している。加圧部５４２は、制御部３から出力される動作信号Ｃｐ（図３参照）に応じて、供給源５４１を加圧することによって、供給源５４１に貯留された有機ＥＬ材料を含む塗布液を取り出して本管中へ流動させる。フィルタ５４３は、本管中を流動する有機ＥＬ材料を含む塗布液中の異物を除去する。そして、本管を流動した有機ＥＬ材料を含む塗布液は、マニホールド（多岐管）５４４に供給される。

マニホールド５４４は、本管から供給された有機ＥＬ材料を含む塗布液を複数（例えば、１０〜２０本）の支管に分岐する。ここで、マニホールド５４４が分岐する複数の支管は、それぞれノズル５２ａ〜５２ｎに接続されており、以下の説明においてはノズル５２ａ〜５２ｎに接続されるそれぞれの支管をａ系統支管〜ｎ系統支管として記載する。

第１の開閉バルブ５４５ａは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ１ａ（図３参照）に応じて、マニホールド５４４からａ系統支管への流路を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をａ系統支管へ供給または停止する。流量制御バルブ５４６ａは、制御部３から出力される動作信号Ｃｆａ（図３参照）に応じて、ａ系統支管を流動する有機ＥＬ材料を含む塗布液の流量を制御する。支管流量計５４７ａは、ａ系統支管における有機ＥＬ材料を含む塗布液の流量を検出して、流量情報Ｉｆａ（図３参照）を制御部３へ出力する。なお、後述により明らかとなるが、制御部３が流量情報Ｉｆａに基づいて目標流量値ｆａｃとなるように動作信号Ｃｆａを生成して流量制御バルブ５４６ａの動作を制御するため、制御部３、流量制御バルブ５４６ａ、および支管流量計５４７ａを合わせてマスフローコントローラとして機能する。そして、目標流量値ｆａｃは、塗布作業における流量制御バルブ５４６ａの調節目標となる。

第２の開閉バルブ５４８ａは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ２ａ（図３参照）に応じて、ａ系統支管からノズル５２ａへの流路を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をノズル５２ａへ供給または停止する。そして、ノズル５２ａは、第２の開閉バルブ５４８ａを介してａ系統支管から有機ＥＬ材料を含む塗布液の供給を受けて、その先端部から液柱状態の有機ＥＬ材料を含む塗布液を吐出する。なお、ノズル５２ａは、ａ系統支管から供給された有機ＥＬ材料を含む塗布液中の異物を除去するためのフィルタ５２１ａ（図示せず）を有している。

他のｂ系統支管〜ｎ系統支管も、ａ系統支管と同様の構成部を有している。すなわち、第１の開閉バルブ５４５ｂ〜５４５ｎは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ１ｂ〜Ｃｖ１ｎに応じて、それぞれマニホールド５４４からｂ系統支管〜ｎ系統支管への流路を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をｂ系統支管〜ｎ系統支管へ供給または停止する。また、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎは、それぞれ制御部３から出力される動作信号Ｃｆｂ〜Ｃｆｎに応じて、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管を流動する有機ＥＬ材料を含む塗布液の流量を制御する。支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎは、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管における有機ＥＬ材料を含む塗布液の流量を検出して、それぞれ流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎを制御部３へ出力する。したがって、他のｂ系統支管〜ｎ系統支管についても、制御部３が流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎに基づいてそれぞれ目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃとなるように動作信号Ｃｆｂ〜Ｃｆｎを生成して流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎの動作を制御するため、制御部３、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎ、および支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎをそれぞれ合わせてそれぞれマスフローコントローラとして機能する。そして、目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃも、それぞれ塗布作業における流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎの調節目標となる。

また、第２の開閉バルブ５４８ｂ〜５４８ｎは、それぞれ制御部３から出力される動作信号Ｃｖ２ｂ〜Ｃｖ２ｎに応じて、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をノズル５２ｂ〜５２ｎへ供給または停止する。そして、ノズル５２ｂ〜５２ｎは、それぞれ第２の開閉バルブ５４８ｂ〜５４８ｎを介してｂ系統支管〜ｎ系統支管から有機ＥＬ材料を含む塗布液の供給を受けて、それらの先端部から液柱状態の有機ＥＬ材料を含む塗布液を吐出する。なお、ノズル５２ｂ〜５２ｎも、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管から供給された有機ＥＬ材料を含む塗布液中の異物を除去するためのフィルタ５２１ｂ〜５２１ｎ（図示せず）を有している。なお、供給源５４１からノズル５２ａ〜５２ｎに至るそれぞれの配管は、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、テフロン（登録商標）等を材料とする管部材が用いられる。

また、ａ系統支管〜ｎ系統支管には、それぞれの支管間を連結する連結管が設けられている。具体的には、支管流量計５４７ａおよび第２の開閉バルブ５４８ａの間となるａ系統支管と、第１の開閉バルブ５４５ｂおよび流量制御バルブ５４６ｂの間となるｂ系統支管とを連結するａ−ｂ系統支管連結管が設けられている。そして、ａ−ｂ系統支管連結管には、第３の開閉バルブ５４９ａｂが設けられる。第３の開閉バルブ５４９ａｂは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ３ａｂ（図３参照）に応じて、ａ系統支管からｂ系統支管への連結管を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をａ系統支管からｂ系統支管へ供給または停止する。

他のｂ系統支管〜ｎ系統支管も、ａ−ｂ系統支管連結管と同様の連結管を有している。すなわち、支管流量計５４７ｂおよび第２の開閉バルブ５４８ｂの間となるｂ系統支管と、第１の開閉バルブ５４５ｃおよび流量制御バルブ５４６ｃの間となるｃ系統支管とを連結するｂ−ｃ系統支管連結管が設けられている。そして、ｂ−ｃ系統支管連結管には、第３の開閉バルブ５４９ｂｃが設けられる。第３の開閉バルブ５４９ｂｃは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ３ｂｃに応じて、ｂ系統支管からｃ系統支管への連結管を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をｂ系統支管からｃ系統支管へ供給または停止する。また、支管流量計５４７ｃおよび第２の開閉バルブ５４８ｃの間となるｃ系統支管と、第１の開閉バルブ５４５ｄおよび流量制御バルブ５４６ｄの間となるｄ系統支管とを連結するｃ−ｄ系統支管連結管が設けられている。そして、ｃ−ｄ系統支管連結管には、第３の開閉バルブ５４９ｃｄが設けられる。第３の開閉バルブ５４９ｃｄは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ３ｃｄに応じて、ｃ系統支管からｄ系統支管への連結管を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をｃ系統支管からｄ系統支管へ供給または停止する。そして、ｄ系統支管〜ｍ系統支管の間にも同様の連結管および第３の開閉バルブ５４９ｄｅ〜５４９ｌｍが設けられ、支管流量計５４７ｍおよび第２の開閉バルブ５４８ｍの間となるｍ系統支管と、第１の開閉バルブ５４５ｎおよび流量制御バルブ５４６ｎの間となるｎ系統支管とを連結するｍ−ｎ系統支管連結管が設けられている。そして、ｍ−ｎ系統支管連結管には、第３の開閉バルブ５４９ｍｎが設けられる。第３の開閉バルブ５４９ｍｎは、制御部３から出力される動作信号Ｃｖ３ｍｎに応じて、ｍ系統支管からｎ系統支管への連結管を開閉して有機ＥＬ材料を含む塗布液をｍ系統支管からｎ系統支管へ供給または停止する。なお、ｎ系統支管とａ系統支管とを連結する連結管は、本実施形態の塗布装置１では設けられていない。

次に、図３を参照して、塗布装置１における制御機能の概略構成について説明する。なお、図３は、塗布装置１の制御機能を示すブロック図である。

図３において、塗布装置１は、上述した各構成部を制御する制御部３を備えている。例えば、制御部３は、一般的なコンピュータシステムで構成され、内蔵されるコンピュータが用いるハードディスクやメモリ等の記憶媒体やユーザが計測結果等を入力する入力装置を有している。制御部３は、加圧部５４２、第１の開閉バルブ５４５ａ〜５４５ｎ、流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎ、第２の開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎ、第３の開閉バルブ５４９ａｂ〜５４９ｍｎ、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。特に、制御部３は、動作信号Ｃｐを出力することによって、加圧部５４２の動作を制御する。制御部３は、動作信号Ｃｖ１ａ〜Ｃｖ１ｎをそれぞれ出力することによって、第１の開閉バルブ５４５ａ〜５４５ｎの動作を制御する。制御部３は、動作信号Ｃｆａ〜Ｃｆｎをそれぞれ出力することによって、流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎの動作を制御する。制御部３は、動作信号Ｃｖ２ａ〜Ｃｖ２ｎをそれぞれ出力することによって、第２の開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎの動作を制御する。そして、制御部３は、動作信号Ｃｖ３ａｂ〜Ｃｖ３ｍｎをそれぞれ出力することによって、第３の開閉バルブ５４９ａｂ〜５４９ｍｎの動作を制御する。

また、制御部３は、支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎがそれぞれ出力する支管流量を示す流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎをそれぞれ取得する。そして、ａ系統支管〜ｎ系統支管それぞれに設定された目標流量（目標流量値ｆａｃ〜ｆｎｃ）となるように、流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎに応じて流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎの動作を制御する。

ここで、一例として、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されていることがある。この場合、有機ＥＬ材料を含む塗布液としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料を含む塗布液が用いられる。

ノズルユニット５０は、各ノズル５２ａ〜５２ｎの塗布ピッチ間隔を調整することができる。ノズルユニット５０には、各ノズル５２ａ〜５２ｎが、図１中のＸ軸方向に関して略直線状に離れて配列されるとともに図１中のＹ軸方向に僅かにずれて配置される。隣接する２本のノズル５２間のＹ軸方向に対する距離は、所望する塗布列の間隔に対応するように調整される。例えば、基板Ｐの表面に予め形成されているストライプ状の溝間ピッチの数倍（例えば、３倍など）に等しくされる。また、このような溝がない場合も、所望するストライプ状の塗布列の間隔に対応するように、ノズル５２のＹ軸方向ピッチが同様に調整される。

上述したノズル５２のＹ軸方向ピッチを調整する構成は、様々考えられる。例えば、ノズル５２ａ〜５２ｎがそれぞれＹ軸方向（副走査方向）へ移動可能に構成することによって、各ノズル５２のＹ軸方向ピッチを調整することが可能となる。他の例として、ノズルユニット５０を所定の鉛直方向支持軸周りに回動自在に支持し、制御部３の制御によって当該支持軸周りにノズルユニット５０を回動させることで、塗布ピッチ間隔を調整することができる。

制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに塗布列を形成する方向（例えば、基板Ｐに上記溝が形成されている場合、当該溝の方向）が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに塗布列を形成する一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。

上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２ａ〜５２ｎから有機ＥＬ材料を含む塗布液の吐出開始を供給部５４に指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の塗布列の各ポイントにおける有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料を含む塗布液が吐出されるように、ノズル５２ａ〜５２ｎの移動速度に応じてその塗布量を制御しており、支管流量計５４７ａ〜５４７ｎからの流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎをそれぞれフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上に有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布列を形成するために、有機ＥＬ材料を含む塗布液を基板Ｐ上に吐出しながらノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２ａ〜５２ｎから吐出される赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液が同時に基板Ｐ上に吐出され、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布列が形成されていく。

制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して基板Ｐの他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｎからの有機ＥＬ材料を含む塗布液の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布が複数の塗布列（例えば、１０〜２０列分の塗布列）に対して同時に行われる。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を含む塗布液を各ノズル５２ａ〜５２ｎから吐出しているので、３列毎に１列の塗布列を塗布対象とした例えば合計１０〜２０列分の塗布列に有機ＥＬ材料を含む塗布液が塗布される。

次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸正方向に所定距離だけピッチ送りして、次に塗布対象となる塗布列への有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｎからの有機ＥＬ材料を含む塗布液の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次の塗布列への有機ＥＬ材料を含む塗布液の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液が塗布された塗布列が形成される。

次に、図４〜図９を参照して、一実施形態に係る塗布装置１の流量設定手順の一例について説明する。なお、図４は、当該塗布装置１の流量設定手順の一例を示すフローチャートである。図５は、図４のステップＳ８２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。図６は、図４のステップＳ８３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。図７は、実流量計測モード処理における配管の接続状態の一例を示す図である。図８は、支管流量設定モード処理における配管の接続状態の一例を示す図である。図９は、塗布処理における配管の接続状態の一例を示す図である。

図４において、制御部３は、加圧部５４２を動作させて供給源５４１に貯留された有機ＥＬ材料を含む塗布液を本管中へ流動させ（ステップＳ８０）、処理を次のステップに進める。例えば、制御部３は、加圧部５４２を作動させる動作信号Ｃｐを加圧部５４２へ出力して、当該加圧部５４２を加圧動作させる。

次に、制御部３は、実流量Ｒと基準となる支管流量計５４７（例えば、複数の支管流量計５４７のうち、ａ系統支管の支管流量計５４７ａ）の流量計測値Ｆとの間の関係式が設定済みか否かを判断する（ステップＳ８１）。例えば、制御部３は、塗布装置１が使用する塗布液の種別毎に、実流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの間の関係式を設定し、搭載された記憶媒体に当該関係式を記憶している。そして、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されていない場合、次のステップＳ８２に処理を進める。一方、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されている場合、次のステップＳ８３に処理を進める。

ステップＳ８２において、制御部３は、実流量計測モード処理を行い、次のステップに処理を進める。以下、図５を参照して、実流量計測モード処理の詳細な動作について説明する。

図５において、制御部３は、実流量（実吐出流量）を計測する支管、すなわち基準となる支管流量計５４７が接続された支管（例えば、ａ系統支管）を選択し、吐出流量範囲を設定して（ステップＳ９１）、処理を次のステップに進める。ここで、上記吐出流量範囲とは、塗布装置１がこれから使用する塗布液を塗布する際に可能性がある吐出流量の範囲を示している。

次に、制御部３は、上記ステップＳ９１で選択された対象の支管に直列に設けられた第１の開閉バルブ５４５（例えば、ａ系統の第１の開閉バルブ５４５ａ）および第２の開閉バルブ５４８（例えば、ａ系統の第２の開閉バルブ５４８ａ）を全開にして、他の開閉バルブを全閉にし（ステップＳ９２）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、基準となる支管流量計５４７（例えば、ａ系統の支管流量計５４７ａ）の流量計測値Ｆが上記吐出流量範囲内の任意の値となるように、基準となる支管流量計５４７と同じ支管の流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を動作させ（ステップＳ９３）、処理を次のステップに進める。このステップＳ９３の動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料を含む塗布液が上記ステップＳ９１で選択された対象の支管（例えば、ａ系統の支管）のみに流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ａ）から吐出される状態となる。具体的には、上記ステップＳ９１でａ系統支管が選択されている場合、有機ＥＬ材料を含む塗布液は、図７の太線で示すように流動する。すなわち、供給源５４１からマニホールド５４４に流動した有機ＥＬ材料を含む塗布液は、第１の開閉バルブ５４５ａを介して、流量制御バルブ５４６ａおよび支管流量計５４７ａへ流動し、第２の開閉バルブ５４８ａを介してノズル５２ａへ流動する流路が形成される。なお、図７では、実流量計測モード処理において有機ＥＬ材料を含む塗布液が流動しない支管や連結管については、破線で記載している。

次に、制御部３は、秤量によって計測された実吐出流量Ｒおよびそのときの基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆ（例えば、支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａ）を取得し（ステップＳ９４）、処理を次のステップに進める。例えば、塗布装置１のユーザは、上記ステップＳ９３の動作状態において、塗布液を吐出しているノズル５２から吐出している塗布液を秤量し、実吐出流量Ｒを計測する。例えば、ノズル５２から吐出される塗布液の実吐出流量Ｒは、当該ノズル５２から所定の容器内に塗布液を吐出させ、単位吐出時間に対する当該容器内の塗布液重量（例えば、ミリグラム／分）によって秤量される。そして、ユーザは、制御部３の入力装置を介して、計測した実吐出流量Ｒを入力する。なお、そのときの基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆについては、当該支管流量計５４７から出力される流量情報Ｉｆを用いて自動的に制御部３が取得してもいいし、ユーザが入力装置を介して入力してもかまわない。

次に、制御部３は、実流量計測が終了したか否かを判断する（ステップＳ９５）。例えば、上記ステップＳ９３およびステップＳ９４で行う実吐出流量Ｒの秤量は、上記吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）に対応して行われる。上記ステップＳ９５において、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイント全てに対応して行われた場合、次のステップＳ９６に処理を進める。一方、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイントの何れかに対して行われていない場合、上記ステップＳ９３に戻って、上記吐出流量範囲内における他の値に対する処理を行う。

ステップＳ９６において、制御部３は、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの関係式を設定して記憶媒体に記憶して、当該サブルーチンによる処理を終了する。以下、図１０を参照して、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの関係式について説明する。なお、図１０は、実吐出流量Ｒの秤量結果から得られる上記関係式の一例を示すグラフである。

図１０は、横軸を基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆおよび縦軸を実吐出流量Ｒとし、実吐出流量Ｒの秤量結果をプロットしている。具体的には、上記ステップＳ９３およびステップＳ９４の処理によって、基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ１のときに秤量された実吐出流量がＲ１である。また、基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ２のときに秤量された実吐出流量がＲ２である。また、基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ３のときに秤量された実吐出流量がＲ３である。そして、これら３つのプロット点（点Ｆ１−Ｒ１、点Ｆ２−Ｒ２、点Ｆ３−Ｒ３）を通る近似曲線（例えば、直線）が、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの関係式として導かれる。例えば、上記関係式は、
Ｒ＝Ａ＊Ｆ＋Ｂ
で示される。ここで、ＡおよびＢは、それぞれ上記プロット点から導かれる定数である。塗布装置１では、このような関係式が使用する塗布液の種別毎にそれぞれ設定されて記憶される。

図４に戻り、上記ステップＳ８２の実流量計測モード処理の後、制御部３は、支管流量設定モード処理を行い（ステップＳ８３）、次のステップに処理を進める。以下、図６を参照して、支管流量設定モード処理の詳細な動作について説明する。

図６において、制御部３は、支管流量を設定する吐出流量範囲を設定して（ステップＳ１０１）、処理を次のステップに進める。ここで、上記吐出流量範囲とは、上記ステップＳ９１で説明した範囲と同様であり、各支管を介して、塗布装置１がこれから使用する塗布液を塗布する際に可能性がある吐出流量の範囲を示している。

次に、制御部３は、第１の開閉バルブ５４５ａ、第２の開閉バルブ５４８ｎ、および全ての第３の開閉バルブ（すなわち、第３の開閉バルブ５４９ａｂ〜５４９ｍｎ）を全開にし、他の開閉バルブ（すなわち、第１の開閉バルブ５４５ｂ〜５４５ｎ、第２の開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｍ）を全閉にし（ステップＳ１０２）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、上記ステップＳ８２の実流量計測モード処理において基準となった支管以外の支管に設けられている流量制御バルブ５４６（例えば、ｂ系統〜ｎ系統の流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎ）をそれぞれ全開にして（ステップＳ１０３）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆ（例えば、支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａ）が上記吐出流量範囲内の任意の値となるように、当該支管の流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を動作させ（ステップＳ１０４）、処理を次のステップに進める。このステップＳ１０４の動作によって、本管中に流動している有機ＥＬ材料を含む塗布液は、各支管に設けられている流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎおよび支管流量計５４７ａ〜５４７ｎを全て通った後に、ｎ系統支管に接続されたノズル５２ｎから吐出される。具体的には、上記ステップＳ１０２〜ステップＳ１０４のバルブ開閉処理によって、有機ＥＬ材料を含む塗布液は、図８の太線で示すように流動する。すなわち、供給源５４１からマニホールド５４４に流動した有機ＥＬ材料を含む塗布液は、第１の開閉バルブ５４５ａを介して、流量制御バルブ５４６ａおよび支管流量計５４７ａへ流動し、ａ系統支管とｂ系統支管とを連結する連結管を介してｂ系統支管へ流動する。そして、ｂ系統支管へ流動した有機ＥＬ材料を含む塗布液は、流量制御バルブ５４６ｂおよび支管流量計５４７ｂへ流動し、ｂ系統支管とｃ系統支管とを連結する連結管を介してｃ系統支管へ流動する。その後、有機ＥＬ材料を含む塗布液は、ｃ〜ｍ系統支管に設けられた流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｍおよび支管流量計５４７ｃ〜５４７ｍにも同様に流動した後、ｍ系統支管とｎ系統支管とを連結する連結管を介してｎ系統支管へ流動する。そして、最終的にｎ系統支管へ流動した有機ＥＬ材料を含む塗布液は、流量制御バルブ５４６ｎおよび支管流量計５４７ｎを介して、ノズル５２ｎへ流動する流路が形成される。なお、図８においても、支管流量設定モード処理において有機ＥＬ材料を含む塗布液が流動しない支管や連結管については、破線で記載している。

次に、制御部３は、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆおよび他の支管流量計５４７の流量計測値ｆをそれぞれ取得し（ステップＳ１０５）、処理を次のステップに進める。例えば、制御部３は、ステップＳ１０４の状態で出力される基準となる支管流量計５４７ａの流量情報Ｉｆａを用いて流量計測値Ｆを取得し、他の支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎの流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎを用いて流量計測値ｆｂ〜ｆｎをそれぞれ取得する。

次に、制御部３は、支管流量設定が終了したか否かを判断する（ステップＳ１０６）。例えば、上記ステップＳ１０４およびステップＳ１０５で行う支管流量設定も、上述した実吐出流量Ｒの秤量と同様に、上記吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）に対応して行われる。上記ステップＳ１０６において、制御部３は、支管流量設定が上記複数ポイント全てに対応して行われた場合、次のステップＳ１０７に処理を進める。一方、制御部３は、支管流量設定が上記複数ポイントの何れかに対して行われていない場合、上記ステップＳ１０４に戻って、上記吐出流量範囲内における他の値に対する処理を行う。

ステップＳ１０７において、制御部３は、全ての開閉バルブを全閉にし、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆと他の支管流量計５４７の流量計測値ｆとの関係式をそれぞれ設定して記憶媒体に記憶して（ステップＳ１０８）、当該サブルーチンによる処理を終了する。以下、図１１を参照して、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆと他の支管流量計５４７の流量計測値ｆとの関係式について説明する。なお、図１１は、上記ステップＳ１０４およびステップＳ１０５の測定結果からそれぞれ得られる上記関係式の一例を示すグラフである。

図８は、横軸を他の支管流量計５４７の一例である支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂおよび縦軸を基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとし、上記ステップＳ１０４およびステップＳ１０５の測定結果をプロットしている。具体的には、上記ステップＳ１０４およびステップＳ１０５の処理によって、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ１のときに基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ１である。また、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ２のときに基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ２である。また、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ３のときに基準となる支管流量計５４７の流量計測値がＦ３である。そして、これら３つのプロット点（点ｆｂ１−Ｆ１、点ｆｂ２−Ｆ２、点ｆｂ３−Ｆ３）を通る近似曲線（例えば、直線）が、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式として導かれる。例えば、上記関係式は、
Ｆ＝Ｃｂ＊ｆｂ＋Ｄｂ
で示される。ここで、ＣｂおよびＤｂは、それぞれ上記プロット点から導かれるｂ系統の定数である。塗布装置１では、このような関係式が他の支管流量計５４７毎に、使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定されて記憶される。

図４に戻り、上記ステップＳ８３の支管流量設定モード処理の後、制御部３は、後述する塗布作業（ステップＳ８５）で用いる吐出流量に対する各支管の目標流量値ｆｃを設定し（ステップＳ８４）、処理を次のステップに進める。以下、図１０〜図１２を参照して、目標流量値ｆｃについて説明する。なお、図１２は、使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定された関係式の一例を示す図である。

制御部３は、上記ステップＳ８０〜ステップＳ８３の処理によって、図１２に示すような関係式を設定している。図１２では、制御部３が使用する塗布液ｑ〜ｔに対してそれぞれ設定して記憶した関係式の一例を示している。例えば、塗布液ｑに対して、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７（図１２では、一例として支管流量計５４７ａ）の流量計測値Ｆとの関係式は、
Ｒ＝Ａｑ＊Ｆ＋Ｂｑ
で設定されている。ここで、ＡｑおよびＢｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定された上記定数ＡおよびＢを示している。また、塗布液ｑに対して、支管流量計５４７ａの流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式は、
Ｆ＝Ｃｂｑ＊ｆｂ＋Ｄｂｑ
で設定されている。ここで、ＣｂｑおよびＤｂｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定されたｂ系統の定数である。また、塗布液ｑに対して、支管流量計５４７ａの流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｃの流量計測値ｆｃとの関係式は、
Ｆ＝Ｃｃｑ＊ｆｃ＋Ｄｃｑ
で設定されている。ここで、ＣｃｑおよびＤｃｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定されたｃ系統の定数である。また、他のｄ系統〜ｎ系統における支管流量計５４７ｄ〜５４７ｎの流量計測値ｆｄ〜ｆｎについてもｂ系統およびｃ系統と同様に、塗布液ｑにおける支管流量計５４７ａの流量計測値Ｆとの関係式が設定されている。

制御部３は、上述した関係式を適宜組み合わせて上記吐出流量に対する各支管の目標流量値ｆｃを設定する。説明を具体的にするために、塗布作業におけるｂ系統のノズル５２ｂからの吐出流量が実吐出流量Ｒｐとした場合の目標流量値ｆｃについて説明する。例えば、図１０に示すように、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの関係式Ｒ＝Ａ＊Ｆ＋Ｂを用いて、実吐出流量Ｒｐに対応する基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆｐが導かれる。そして、図１１に示すように、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式Ｆ＝Ｃｂ＊ｆｂ＋Ｄｂを用いて、流量計測値Ｆｐに対応する支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂｐが導かれる。つまり、これらの関係式から明らかなように、ｂ系統のノズル５２ｂから実吐出流量Ｒｐで塗布液を吐出したい場合、ｂ系統を流動する当該塗布液の目標流量値ｆｂｃを上記流量計測値ｆｂｐに設定すればいいことになる。したがって、吐出流量Ｒｐで吐出する場合のｂ系統の目標流量値ｆｂｃは、

で設定される。また、上述したように各関係式が塗布液の種別毎に設定されている。したがって、塗布液ｑを吐出流量Ｒｐで吐出する場合のｂ系統の目標流量値ｆｂｃｑは、

で設定される。

図４に戻り、上記ステップＳ８４の各支管の目標流量値ｆｃを設定した後、制御部３は、当該目標流量値ｆｃを用いて被塗布体（例えば、ガラス基板）に対する塗布作業を行う（ステップＳ８５）。この塗布作業において、制御部３は、全ての第１の開閉バルブ５４５ａ〜５４５ｎおよび全ての第２の開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎを全開にし、全ての第３の開閉バルブ５４９ａｂ〜５４９ｍｎを全閉にする。また、制御部３は、ａ系統の支管流量計５４７ａから出力される流量情報Ｉｆａを用いて、当該支管流量計５４７ａが示す流量計測値ｆａが目標流量値ｆａｃとなるように、流量制御バルブ５４６ａを制御する。このように目標流量値ｆａｃは、流量制御バルブ５４６ａの流量調節目標となる。また、制御部３は、ｂ系統の支管流量計５４７ｂから出力される流量情報Ｉｆｂを用いて、当該支管流量計５４７ｂが示す流量計測値ｆｂが目標流量値ｆｂｃとなるように、流量制御バルブ５４６ｂを制御する。このように目標流量値ｆｂｃは、流量制御バルブ５４６ｂの流量調節目標となる。さらに、制御部は他の系統の支管も同様に、支管流量計５４７ｃ〜５４７ｎから出力される流量情報Ｉｆｃ〜Ｉｆｎを用いて、当該支管流量計５４７ｃ〜５４７ｎが示す流量計測値ｆｃ〜ｆｎがそれぞれの目標流量値ｆｃｃ〜ｆｎｃとなるように、流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｎを制御する。このように目標流量値ｆｃｃ〜ｆｎｃは、それぞれ流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｎの流量調節目標となる。

そして、当該塗布作業中において、制御部３は、支管流量の再設定の要否（ステップＳ８６）および塗布作業を終了するか否か（ステップＳ８７）を判断する。例えば、制御部３は、塗布装置１で使用する塗布液を交換する場合や支管流量を確認する定期管理（例えば、日常管理）時期が到来した場合等において、支管流量の再設定が必要であると判断する（ステップＳ８６でＹｅｓ）。そして、制御部３は、支管流量の再設定が必要と判断した場合、上記ステップＳ８１に戻って処理を繰り返す。また、制御部３は、支管流量の再設定が不要で塗布作業を継続する場合（ステップＳ８６およびステップＳ８７が何れもＮｏ）、上記ステップＳ８５に戻って処理を繰り返す。一方、制御部３は、塗布作業を終了する場合（ステップＳ８７でＹｅｓ）、加圧部５４２による加圧を停止させて（ステップＳ８８）、当該フローチャートによる処理を終了する。

上述した実施形態に係る流量設定方法では、実吐出流量の秤量計測を用いて基準となる支管流量計５４７（例えば、支管流量計５４７ａ）を測定し、その値付けを行うことによって校正して、基準となる支管流量計５４７を塗布装置１内の標準器として取り扱っている。そして、この標準器（例えば、支管流量計５４７ａ）を用いて他の支管流量計５４７をさらに校正することによって、段階的な校正体系を確立して、塗布装置１内に設置された多数の流量計の流量管理を行っている。

このように、上述した実施形態に係る塗布装置は、並列に接続された複数の支管流量計が連結管を介して直列に接続されることによって、１回の塗布液の流動によって全ての支管流量計の校正が可能となる。具体的には、複数系統にそれぞれ設けられた支管流量計毎に行っていた校正作業の時間が１系統分の時間に短縮することができ、校正作業のために塗布液を流動させる量も大幅に削減することができる。また、上述した実施形態においては、並列に接続された複数の支管流量計のうち、１つの支管流量計の流量計測値を基準として他の支管の目標流量値が設定される。したがって、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して関係式をそれぞれ導くことが不要となる。例えば、当該塗布装置において塗布する塗布液を変更（例えば、赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液から緑色の有機ＥＬ材料を含む塗布液に変更）する場合、当該塗布液変更後であっても基準となる支管流量計の流量計測値に基づいて他の支管の目標流量値が設定されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて目標流量値の設定が可能であるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の目標流量値の設定が可能であり、換算作業等も不要となる。また、従来のように塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。

なお、上述した実施形態では、吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）をプロットして各種関係式を導いているが、１つのポイントのみをプロットして関係式を導いてもかまわない。例えば、導く関係式が必ず所定の原点（例えば、（０，０））を通る直線となることを仮定すれば、１つのポイントをプロットするだけで関係式を導くことが可能となる。この場合、関係式を導くための実吐出流量Ｒの秤量や支管流量設定が１つのポイントに対応して行うだけとなるため、さらに塗布装置の流量管理工数が削減される。

また、上述した実施形態では、実流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの間の関係式が未設定の場合に、実流量計測モード処理を行う例を示したが、他の態様によって実流量計測モード処理を行ってもかまわない。例えば、実流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの間の関係式が設定済みであっても、定期的に当該関係式を再設定するために実流量計測モード処理を行ってもかまわない。これによって、実流量計測モード処理によって設定される関係式の信頼性が高まり、より正確な流量管理を行うことが可能となる。

上述した実施形態では、実流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの間の関係式を塗布液毎に設定する一例を示したが、当該関係式を設定せずに上述した実流量計測モード処理を行わなくてもかまわない。この場合、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆを基準として他の支管流量計５４７が値付けされることになるが、実吐出流量の秤量計測値を基準とした値付けではないために、厳密には一般的な校正とは異なる管理となる。したがって、各支管流量計５４７には、上述した流量設定方法のような絶対評価ではなく、流量計測値Ｆを基準とした相対評価が行われることになる。しかしながら、このような相対評価であっても、流量計測値Ｆを基準とした各支管流量計５４７の流量計測値ｆのバラツキや変動を検出することは可能であり、これらの要因を排除した目標流量値を設定することによって各ノズル５２ａ〜５２ｎで均一な吐出流量での塗布作業が可能となる。

また、基準となる支管流量計５４７が質量流量計等で構成される場合も、上述した実流量計測モード処理が不要となる。例えば、基準となる支管流量計５４７（例えば、支管流量計５４７ａ）がコリオリ式質量流量計等で構成される場合は、上述した実流量計測モード処理による実吐出流量の秤量計測値を基準とした値付けが不要となる。したがって、基準となる支管流量計５４７が質量流量計等で構成される場合は、上述した実流量計測モード処理を行うことなく、他の支管流量計５４７に対して、上述した流量設定方法のような絶対評価が可能となる。

また、上述した支管流量設定においては、塗布作業において用いられる吐出流量範囲内における複数ポイントに対応して行われたが、他のポイントを用いて支管流量の設定を行ってもかまわない。例えば、上記ステップＳ８５における塗布作業における各系統のノズル５２からの吐出流量が全て同じ実吐出流量Ｒｐに予め決定されている場合は、塗布作業における吐出流量（すなわち、実吐出流量Ｒｐ）に応じて支管流量設定を行ってもかまわない。以下、支管流量設定における他の例について説明する。

この場合、上記ステップＳ９３における処理において、制御部３は、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆ（例えば、支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａ）が塗布作業における吐出流量（すなわち、実吐出流量Ｒｐ）に応じた値となるように、当該支管流量計５４７が設けられた支管の流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を動作させる。

ここで、基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆと塗布作業における吐出流量との関係について説明する。上述したステップＳ８２の実流量計測モード処理において、実吐出流量Ｒと基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆとの関係式が設定されている。この関係式が図１０で示した一例であり、塗布作業における各系統のノズル５２からの吐出流量が実吐出流量Ｒｐであるとする。この場合、塗布作業における吐出流量（すなわち、実吐出流量Ｒｐ）に応じた基準となる支管流量計５４７の流量計測値はＦｐとなる。したがって、制御部３は、上記関係式を用いて、塗布作業における吐出流量に応じた基準となる支管流量計５４７の流量計測値Ｆｐを設定し、当該流量計測値Ｆｐを支管流量設定時の目標流量値として流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を動作させる。つまり、この動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料を含む塗布液が、連結管を介して直列に接続された各支管に流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ｎ）から吐出される状態となり、その塗布液および吐出流量が実際の塗布作業で用いられる塗布液および実吐出流量となる。そして、制御部３は、各支管の支管流量計５４７の流量計測値ｆを取得して、得られた流量計測値ｆを実際の塗布作業における各支管の目標流量値ｆｃにそれぞれ設定する。

図１３を参照して、上述した動作中における各流量制御バルブ５４６および支管流量計５４７の状態について説明する。なお、図１３は、上述した支管流量設定モード中と塗布作業中とにおける、各流量制御バルブ５４６および支管流量計５４７の状態の一例を示す図である。

図１３において、上述した支管流量設定モード処理で各支管の流量を設定しているとき、基準となる支管流量計５４７（図１３では、ａ系統支管の支管流量計５４７ａ）の流量計測値ＦがＦｐ（すなわち、実吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、当該支管流量計５４７が設けられた支管の流量制御バルブ５４６（図１３では、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）が制御動作している。また、他の系統支管の流量制御バルブ５４６（すなわち、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎ）が全開状態にある。そのとき、基準となる支管流量計５４７における流量計測値がＦｐを示し、他の系統支管の支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎにおける流量計測値ｆｂ〜ｆｎがそれぞれｆｂｐ〜ｆｎｐを示している。これら流量計測値ｆｂｐ〜ｆｎｐが、それぞれｂ系統〜ｎ系統支管における目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃに設定される。また、ａ系統の支管流量計５４７ａの流量計測値Ｆｐは、そのままａ系統支管における目標流量値ｆａｃに設定される。

一方、塗布作業においてａ系統〜ｎ系統支管全てから塗布液を吐出するとき、ａ系統支管の支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａが目標流量値ｆａｃ（すなわち、実吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ａ系統支管の流量制御バルブ５４６ａが制御動作している。また、ｂ系統支管の支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂが目標流量値ｆｂｃ（すなわち、実吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ｂ系統支管の流量制御バルブ５４６ｂが制御動作している。さらに、ｃ〜ｎ系統支管の支管流量計５４７ｃ〜５４７ｎの流量計測値ｆｃ〜ｆｎがそれぞれ目標流量値ｆｃｃ〜ｆｎｃ（すなわち、それぞれ実吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ｃ系統〜ｎ系統支管の流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｎが制御動作している。

このように、支管流量設定における他の例の塗布装置は、支管流量の調整作業をピンポイントの流量（すなわち、塗布作業で用いる塗布流量）を狙って行うことができるため、さらに塗布装置の流量管理工数が削減される。また、当該他の例の塗布装置は、基準となる支管流量計の流量計測値と他の支管流量計の流量計測値との間の関係式も不要となる。

また、上述した説明では、基準となる支管流量計５４７の一例として、ａ系統支管に設けられた支管流量計５４７ａを用いた。これは、並列に接続された複数の支管流量計５４７が連結管を介して直列に接続された場合に、有機ＥＬ材料を含む塗布液の流動に対して先頭となる支管流量計５４７を基準に設定した一例であるが、他の支管流量計５４７を基準としてもかまわない。例えば、連結管を介して複数の支管流量計５４７が直列に接続された場合に、有機ＥＬ材料を含む塗布液の流動に対して先頭とはならない支管流量計５４７（例えば、ｂ系統支管に設けられた支管流量計５４７ｂ）を基準に設定しても、同様の支管流量設定が可能となる。

具体的には、支管流量計５４７ｂを基準に設定する場合、上記ステップＳ１０３（図６）において、基準となった支管以外の支管に設けられている流量制御バルブ５４６（すなわち、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａおよびｃ系統〜ｎ系統の流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｎ）をそれぞれ全開にする。そして、上記ステップＳ１０４において、基準となる支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂを基準となる流量計測値Ｆとして取り扱って、当該ｂ系統支管の流量制御バルブ５４６ｂを動作させる。このようなバルブ開閉動作であっても、本管中に流動している有機ＥＬ材料を含む塗布液は、各支管に設けられている流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎおよび支管流量計５４７ａ〜５４７ｎを全て通った後に、ｎ系統支管に接続されたノズル５２ｎから吐出され、同様の支管流量設定が可能となる。

また、上述した支管流量設定モード処理においては、基準となる支管流量計５４７が設けられている支管の流量制御バルブ５４６が流量制御動作を行い、当該支管以外の支管に設けられている流量制御バルブ５４６をそれぞれ全開にしている。しかしながら、上述した支管流量設定モード処理において流量制御動作を行う流量制御バルブ５４６は、基準となる支管流量計５４７が設けられている支管以外の支管に設けられている流量制御バルブ５４６のうちの１つであってもかまわない。

また、上述した塗布装置１において、２つの第２の開閉バルブ５４８と第３の開閉バルブ５４９とを、１つの３方弁バルブで構成してもかまわない。具体的には、第２の開閉バルブ５４８および第３の開閉バルブ５４９の代わりに、各支管に設けられている支管流量計５４７の下流で連結管が接続されている部位に、制御部３によって流路が制御される３方弁バルブをそれぞれ設置する。そして、制御部３は、実流量計測モード処理中および塗布作業中においては、支管中を流動する塗布液を、そのまま当該支管に接続されているノズル５２へ流動させる。一方、制御部３は、支管流量計測モード処理中においては、各支管中を流動する塗布液を、それぞれ当該支管の支管流量計５４７の下流から分岐している連結管へ流動させることによって、他の支管へ流動させる。このように、第２の開閉バルブ５４８および第３の開閉バルブ５４９の代わりに、３方弁バルブで構成した場合、塗布装置１に設けるバルブ数を少なくすることができると共に、同様の校正作業が可能となる。

また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、一例として赤色の有機ＥＬ材料を含む塗布液を複数のノズル５２ａ〜５２ｎを用いて基板Ｐに塗布列を形成しているが、他の有機ＥＬ材料を含む塗布液を同時に基板Ｐに塗布してもかまわない。具体的には、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料を含む塗布液を、各色それぞれ複数のノズルを用いて同時に基板Ｐに塗布してもかまわない。この場合、塗布する塗布液の種類毎に本管および当該本管に接続する支管の組が設けられるため、各組毎（すなわち、塗布する塗布液の種類毎）に上述した連結管を設けて同様の校正作業をすれば、上述と同様の効果が得られることは言うまでもない。

また、上述した塗布装置１に、支管流量計５４７とは異なる基準流量計を設けてもかまわない。この場合、例えば、基準流量計をフィルタ５４３とマニホールド５４４との間の本管上に設置する。そして、基準流量計に対して、実流量計測モード処理において実吐出流量の秤量計測値を基準とした値付けを行い、以降の支管流量設定モード処理においては、基準流量計が示す値を基準となる流量計測値Ｆとして取り扱う。このように、本管に塗布液流量の基準となる基準流量計を設けても、同様の校正作業が可能となる。

また、上記基準流量計を質量流量計等で構成することによって、上述した実流量計測モード処理が不要となる。例えば、上記基準流量計がコリオリ式質量流量計等で構成される場合は、上述した実流量計測モード処理による実吐出流量の秤量計測値を基準とした上記基準流量計の値付けが不要となる。したがって、上記基準流量計が質量流量計等で構成される場合は、上述した実流量計測モード処理を行うことなく、支管流量計５４７に対して、上述した流量設定方法のような絶対評価が可能となる。

また、上述した実施形態では、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、ステージ２１をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させているが、本発明はこれに限らない。例えば、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、当該ノズルユニット５０をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動（つまり、有機ＥＬ塗布機構５がＹ軸方向へ移動）させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させてもかまわない。この場合、液受部５３は、有機ＥＬ塗布機構５と共にＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動する。

なお、上述した実施形態においては、発光層を形成する有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布装置１が基板Ｐに塗布する例を用いたが、赤色発光の高分子有機ＥＬ材料、緑色発光の高分子有機ＥＬ材料、および青色発光の高分子有機ＥＬ材料を含む塗布液をそれぞれ塗布できることは言うまでもない。また、本発明の塗布装置は、有機発光層材料の他に、正孔輸送層材料、正孔注入層材料、電子輸送層材料、および電子注入層材料等の他の有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布する場合にも用いることができる。

具体的には、上述した実施形態における塗布装置１が、赤、緑、および青色発光のうち、赤色発光の高分子有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布する場合、この塗布工程は、有機ＥＬデバイスを製造する途中工程である。有機ＥＬデバイスを製造する場合、正孔注入層材料塗布、正孔輸送材料（例えば、ＰＥＤＯＴ等）塗布、赤色発光の有機ＥＬ材料塗布、緑色発光の有機ＥＬ材料塗布、青色発光の有機ＥＬ材料塗布、電子輸送材料塗布、電子注入層材料塗布等の塗布工程があるが、本発明の塗布装置は、何れの塗布工程でも用いることができる。

また、上述した塗布装置１の各構成要素の形状、数、および設置位置等は、単なる一例に過ぎず他の形状、数、および設置位置であっても、本発明を実現できることは言うまでもない。

また、上述した実施形態では、被塗布体の一例としてガラス基板を用いたが、他の部材を被塗布体にすることもできる。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリカーボネート（ＰＣ）等で構成される柔軟性を有した基板を、塗布装置１の被塗布体にしてもかまわない。

また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料を含む塗布液等を塗布する有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。

以上、本発明を詳細に説明してきたが、上述の説明はあらゆる点において本発明の例示にすぎず、その範囲を限定しようとするものではない。本発明の範囲を逸脱することなく種々の改良や変形を行うことができることは言うまでもない。

本発明に係る流量設定方法および塗布装置は、塗布装置の流量管理を容易にすることができ、複数のノズルからそれぞれ塗布液を吐出する装置や当該装置の流量管理方法等として有用である。

１…塗布装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５２…ノズル
５２１、５４３…フィルタ
５３…液受部
５４…供給部
５４１…供給源
５４２…加圧部
５４４…マニホールド
５４５…第１の開閉バルブ
５４６…流量制御バルブ
５４７…支管流量計
５４８…第２の開閉バルブ
５４９…第３の開閉バルブ

Claims (18)

1. 単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法であって、
   前記支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給して、当該供給された塗布液を前記ノズルの１つから吐出させる直列供給工程と、
   前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する流量計測調整工程とを含む、流量設定方法。
2. 前記供給源から前記本管へ供給された塗布液を、前記複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する選択供給工程と、
   前記選択供給工程で前記選択支管にのみ塗布液を供給している状態において、当該選択支管に設けられた前記支管流量計測手段による計測結果と当該選択支管の前記ノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する実流量計測工程とを、さらに含み、
   前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給している状態において、前記選択支管に設けられた前記支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果が調整される、請求項１に記載の流量設定方法。
3. 前記支管流量計測手段のうち、少なくとも１つは、前記支管を流動する塗布液の質量流量を計測し、
   前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給している状態において、前記質量流量を計測する前記支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果が調整される、請求項１に記載の流量設定方法。
4. 前記供給源から前記本管へ供給された塗布液を、前記複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する選択供給工程と、
   前記選択供給工程で前記選択支管にのみ塗布液を供給している状態において、前記本管を流動する塗布液流量を計測する本管流量計測手段による計測結果と当該選択支管の前記ノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測する実流量計測工程とを、さらに含み、
   前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給している状態において、前記本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、前記支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果が調整される、請求項１に記載の流量設定方法。
5. 前記本管には、当該本管を流動する塗布液の質量流量を計測する本管流量計測手段が設けられ、
   前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液を供給している状態において、前記本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、前記支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果が調整される、請求項１に記載の流量設定方法。
6. 前記支管流量計測手段による塗布液流量の計測結果に応じて当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節する支管流量調節手段が、前記複数の支管それぞれに設けられ、
   前記直列供給工程では、前記支管流量計測手段および前記支管流量調整手段をそれぞれ直列に接続し、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に前記塗布液を供給して、当該供給された塗布液を前記ノズルの１つから吐出させ、
   前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に前記塗布液を供給している状態において、前記支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果に基づいて、前記所定の流量に対応した前記支管流量調整手段の調節目標となる目標流量値がそれぞれ設定される、請求項１乃至５の何れか１つに記載の流量設定方法。
7. 前記流量計測調整工程では、前記直列供給工程が前記直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調整手段に前記塗布液を供給している状態において、基準となる基準流量値と前記支管流量計測手段が示す流量値との間の関係式がそれぞれ導かれ、当該関係式に基づいて前記所定の流量を示す当該基準流量値に対応する当該支管流量計測手段の流量値が前記目標流量値に設定される、請求項６に記載の流量設定方法。
8. 前記流量計測調整工程では、前記塗布装置で使用する塗布液の種別毎に前記関係式が導かれて前記目標流量値が設定される、請求項７に記載の流量設定方法。
9. 前記直列供給工程では、供給する塗布液流量が直列に接続された前記支管流量調整手段の何れか１つによって前記基準流量値が前記所定の流量となるように調節され、他の前記支管流量調整手段による流量調節が全開にされ、
   前記流量計測調整工程では、供給する塗布液流量を前記支管流量調整手段の何れか１つが前記基準流量値を前記所定の流量に調節した状態で前記支管流量計測手段がそれぞれ示す流量値がそれぞれの前記目標流量値に設定される、請求項６に記載の流量設定方法。
10. 前記流量計測調整工程では、前記塗布装置で使用する塗布液の種別毎に前記目標流量値が設定される、請求項９に記載の流量設定方法。
11. 前記複数の支管には、当該支管の間をそれぞれ連結する連結管が設けられ、
    前記直列供給工程では、前記複数の支管のうちの１つに前記供給源から前記塗布液を供給し、前記連結管を介して他の支管に当該供給液を順次流動させた後に、当該塗布液の流動において最も下流となる支管に設けられた前記ノズルから当該塗布液を吐出させる、請求項１に記載の流量設定方法。
12. 複数のノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置であって、
    前記塗布液を貯留する単一の供給源と、
    前記塗布液を吐出する複数のノズルと、
    前記供給源から塗布液を供給する本管と、
    前記本管から供給される塗布液を分流して、前記複数のノズルへそれぞれ供給する複数の支管と、
    前記支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液流量を計測する複数の支管流量計測手段と、
    前記支管における前記支管流量計測手段の下流側と他の前記支管における前記支管流量計測手段の上流側とを連結する連結管と、
    前記支管流量計測手段がそれぞれ計測した塗布液流量の計測結果を調整する制御部とを備え、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する、塗布装置。
13. 前記制御部は、前記供給源から前記本管へ供給された塗布液が前記複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給され、他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、当該選択支管に設けられた前記支管流量計測手段による計測結果と当該選択支管の前記ノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測し、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、前記選択支管に設けられた前記支管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、他の前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する、請求項１２に記載の塗布装置。
14. 前記複数の支管流量計測手段のうち、少なくとも１つは、前記支管を流動する塗布液の質量流量を計測する質量流量計であり、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、前記質量流量計が計測する塗布液流量を基準として、他の前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する、請求項１２に記載の塗布装置。
15. 前記本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液流量を計測する本管流量計測手段を、さらに備え、
    前記制御部は、前記供給源から前記本管へ供給された塗布液が前記複数の支管から選択された１つの選択支管にのみ供給され、他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、前記本管流量計測手段による計測結果と当該選択支管の前記ノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係を計測し、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、前記本管流量計測手段が計測する塗布液流量を基準として、前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する、請求項１２に記載の塗布装置。
16. 前記本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の質量流量を計測する質量流量計を、さらに備え、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、前記質量流量計が計測する塗布液流量を基準として、前記支管流量計測手段における塗布液流量の計測結果を調整する、請求項１２に記載の塗布装置。
17. 前記支管にそれぞれ設けられ、前記支管流量計測手段による塗布液流量の計測結果に応じて当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節する複数の支管流量調節手段を、さらに備え、
    前記制御部は、前記支管および前記連結管を介して前記複数の支管流量計測手段および支管流量調節手段がそれぞれ直列に接続され、前記供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段および支管流量調節手段に前記塗布液が供給されて、当該供給された塗布液が前記ノズルの１つから吐出される状態において、前記支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果に基づいて、前記所定の流量に対応した前記支管流量調整手段の調節目標となる目標流量値をそれぞれ設定する、請求項１２乃至１６の何れか１つに記載の塗布装置。
18. 前記支管にそれぞれ設けられ、前記制御部の制御に応じて前記支管を流動する塗布液を前記連結管へ流動させるか当該支管の前記ノズルへ流動させるかを切り替えるバルブを、さらに備え、
    前記制御部は、前記複数の支管のうちの１つに前記供給源から前記塗布液を供給し、前記バルブを切り替えて前記連結管を介して他の支管に当該供給液を順次流動させた後に、当該塗布液の流動において最も下流となる支管に設けられた前記ノズルから当該塗布液を吐出させることによって、前記複数の支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続する、請求項１２に記載の塗布装置。

Images