JP5705615B2 - 塗布装置および塗布液塗布方法 - Google Patents
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Description
前記塗布液を貯留する塗布液貯留部と、前記基板に対して塗布液を吐出するノズルと、前記塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液する管路と、前記管路に配設された流量計と、前記管路を流動する塗布液の流量を調節する流量制御バルブと、前記流量計を流動した塗布液を送液する前記管路から分岐した校正用支管と、前記校正用支管から排出された塗布液を受けるための、予め塗布液が貯留される容器と、前記校正用支管の先端に設けられ、前記容器に貯留された塗布液に浸漬する金属製の細管と、前記容器から離間して配置された前記容器用の蓋体と、前記容器およびそこに貯留された塗布液の重量を計測するための電子天秤と、前記塗布液の比重と、前記電子天秤により測定した塗布液の重量と、前記流量計が示す流量値とに基づいて、前記流量計の計測値を校正する制御部と、を備えたことを特徴とする。
11 基板移動機構
12 レール
13 基台
14 回転台
15 撮像部
16 試験塗布ステージ部
17 受液部
18 受液部
19 ノズルピッチ調整機構
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 塗布液供給部
25 エア供給源
31 スライダ
32 貫通孔
33 プーリ
34 同期ベルト
40 流量制御バルブ
41 塗布液貯留部
42 基準流量計
43 マニホールド
44 流量制御バルブ
45 支管流量計
46 開閉バルブ
51 開閉バルブ
52 校正部
53 容器
54 電子天秤
55 チャンバー
56 蓋体
57 金属製の細管
60 制御部
100 ガラス基板
Claims (6)
- 基板に対して塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記塗布液を貯留する塗布液貯留部と、
前記基板に対して塗布液を吐出するノズルと、
前記塗布液貯留部から前記ノズルに対して塗布液を送液する管路と、
前記管路に配設された流量計と、
前記管路を流動する塗布液の流量を調節する流量制御バルブと、
前記流量計を流動した塗布液を送液する前記管路から分岐した校正用支管と、
前記校正用支管から排出された塗布液を受けるための、予め塗布液が貯留される容器と、
前記校正用支管の先端に設けられ、前記容器に貯留された塗布液に浸漬する金属製の細管と、
前記容器から離間して配置された前記容器用の蓋体と、
前記容器およびそこに貯留された塗布液の重量を計測するための電子天秤と、
前記塗布液の比重と、前記電子天秤により測定した塗布液の重量と、前記流量計が示す流量値とに基づいて、前記流量計の計測値を校正する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記電子天秤および前記容器を収納するチャンバーをさらに備え、
前記蓋体は、連結部材を介して前記チャンバーと連結されることにより、前記容器と離間して配置される塗布装置。 - 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記塗布液を貯留する塗布液貯留部と、
前記塗布液を吐出する複数のノズルと、
前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を、前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、
前記本管に配設され、当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、
前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、
前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、
前記分岐部から分岐する校正用支管と、
前記本管に供給された塗布液が、前記校正用支管にのみに供給され他の支管への塗布液の供給が閉止された状態で、前記校正用支管から排出された塗布液を受けるための、予め塗布液が貯留される容器と、
前記校正用支管の先端に設けられ、前記容器に貯留された塗布液に浸漬する金属製の細管と、
前記容器から離間して配置された前記容器用の蓋体と、
前記容器およびそこに貯留された塗布液の重量を計測するための電子天秤と、
前記塗布液の比重と、前記電子天秤により測定した塗布液の重量と、前記基準流量計が示す流量値とに基づいて、前記基準流量計の計測値を校正する制御部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項3に記載の塗布装置において、
前記電子天秤および前記容器を収納するチャンバーをさらに備え、
前記蓋体は、連結部材を介して前記チャンバーと連結されることにより、前記容器と離間して配置される塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置を使用した塗布液塗布方法であって、
前記塗布液の比重と、前記電子天秤により測定した塗布液の重量と、前記流量計が示す流量値とに基づいて、前記流量計の校正を実行する校正工程と、
前記校正工程を実行した後の前記流量計が示す流量値に基づいて、前記流量制御バルブにより前記管路を流動する塗布液の流量を制御して、基板に塗布液を塗布する塗布工程と、
を備えたことを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項3または請求項4に記載の塗布装置を使用した塗布液塗布方法であって、
前記塗布液の比重と、前記電子天秤により測定した塗布液の重量と、前記基準流量計が示す流量値とに基づいて、前記基準流量計の校正を実行する校正工程と、
前記校正工程を実行した後の前記基準流量計が示す流量値に基づいて、前記流量制御バルブにより前記管路を流動する塗布液の流量を制御して、基板に塗布液を塗布する塗布工程と、
を備えたことを特徴とする塗布液塗布方法。
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