JP6244039B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Description
<1.1. 構成および機能>
図1は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略平面図である。また、図2は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略正面図である。なお、図2においては、マスク機構6の図示を省略している。図3は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略側面図である。
図8は、第1実施形態に係る塗布装置1における塗布処理の流れを示す図である。なお、特に断らない限り、塗布装置1の動作は、制御部10によって制御されるものとする。
図9は、第2実施形態に係るプレート部材61cを示す概略斜視図である。プレート部材61cは、上プレート部71と、下プレート部81とで構成されている。上プレート部71が下プレート部81の上側に載置されることによって、プレート部材61cが構成されている。図10は、第2実施形態に係る上プレート部71の一部を拡大して示す概略平面図である。
5 有機EL塗布機構
6 マスク機構
10 制御部
21 ステージ(保持部)
23 平行移動テーブル
26 ステージ移動機構
50 ノズルユニット
51 ノズル移動機構
52a,52b,52c 塗布ノズル
61,61a,61b,61c プレート部材
611,613 溝(凹部)
612,612a 凸バンク部
614 エッジ溝
62,63 プレート保持部
64 吸引機構
641 吸引口
65 送風機構
651 送風口
66 洗浄液供給部
71,71a,71b 上プレート部
711,711a,711b 貫通孔
712 溝
713 凸バンク部
714 エッジ溝
81,81a,81b 下プレート部
810a,810b 張り出す部分
811,812,813 溝(凹部)
82 側壁部
821 貫通孔
P 基板
Claims (10)
- 基板に流動性材料が塗布されていない非塗布領域を形成する塗布装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板の主面に向けて流動性材料を吐出する吐出部と、
前記吐出部を、前記保持部に保持された基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
長手方向に延びる凹部を有する1以上のプレート部材と、
前記プレート部材を前記基板と前記吐出部との間の位置に保持するプレート保持部と、
前記プレート部材の表面に吐出された前記流動性材料を吸引する吸引口を有する吸引機構と、
を備え、
前記凹部が、前記プレート部材の表面に形成され、該プレート部材の長手方向であり、前記移動機構による前記吐出部の相対的な移動方向と直交する方向に沿って延び、底面を有する溝である、塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
前記溝が前記プレート部材の表面に互いに平行に複数、形成されている、塗布装置。 - 請求項2に記載の塗布装置であって、
前記複数の溝のうち、隣り合う2つの前記溝の間に介在する凸バンク部の表面に、撥水性処理が施されている、塗布装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材は、
前記溝が複数、形成されている下プレート部と、
前記下プレート部の上部に配されており、前記下プレート部に形成されている前記複数の溝に対応する位置に複数の貫通孔が形成されている上プレート部と、
を含み、
前記下プレート部における、前記上プレート部の長手方向の一方側端部から張り出す部分に、前記吸引機構の前記吸引口が配されている、塗布装置。 - 請求項4に記載の塗布装置であって、
前記上プレート部に、長手方向に沿って延びる複数の溝が形成されており、前記複数の溝の内部に、前記複数の貫通孔が形成されている、塗布装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート保持部は、前記基板から浮かせた状態で前記プレート部材を保持する、塗布装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材の前記凹部にエアを吹き送る送風機構、
をさらに備える、塗布装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材の前記凹部に、洗浄液を供給する洗浄液供給部、
をさらに備える、塗布装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記流動性材料が、有機EL液、正孔輸送材料または正孔注入材料である、塗布装置。 - 基板に流動性材料が塗布されていない非塗布領域を形成する塗布方法であって、
(a)基板を保持する保持工程と、
(b)長手方向に延びる凹部を有する1以上のプレート部材を、前記基板の上側に配するプレート部材配置工程と、
(c)前記保持工程にて保持された前記基板の主面に向けて吐出部から流動性材料を吐出させつつ、該吐出部を、保持部に保持された基板および前記プレート部材に対して、相対的に移動させる移動工程と、
(d)前記プレート部材の表面に吐出された前記流動性材料を吸引する吸引工程と、
を含み、
前記凹部が、前記プレート部材の表面に形成され、該プレート部の長手方向であり、前記移動機構による前記吐出部の相対的な移動方向と直交する方向に沿って延び、底面を有する溝である、塗布方法。
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