KR20210032586A - 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법 - Google Patents

증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

증착 마스크가 제공된다. 일 실시예에 따른 증착 마스크는 제1 오픈부를 포함하는 프레임; 상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 및 평면상 상기 제2 오픈부 내에 배치되고 상기 제1 부분과 물리적으로 분리된 제2 부분을 포함하는 오픈 시트; 및 상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 제2 부분과 중첩 배치된 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 포함한다.

Description

증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법{MASK FOR DEPOSITION, METHOD OF FABRICATING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING FOR DISPLAY DEVICE USING THE MASK FOR DEPOSITION}
본 발명은 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법 및 증착 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치 중 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다.
이러한 유기 발광 표시 장치는 서도 대향되는 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 포함한다. 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착 방법이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 증착 마스크의 제조 공정 효율이 개선된 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 제조 공정 효율이 개선된 증착 마스크의 제조 방법으로 제조된 증착 마스크를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 상기한 증착 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 증착 마스크는 제1 오픈부를 포함하는 프레임; 상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 및 평면상 상기 제2 오픈부 내에 배치되고 상기 제1 부분과 물리적으로 분리된 제2 부분을 포함하는 오픈 시트; 및 상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 제2 부분과 중첩 배치된 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 포함한다.
상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 연결될 수 있다.
상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 직접 연결될 수 있다.
상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 레이저를 통해 용접될 수 있다.
상기 프레임의 테두리 상에 배치된 서스 부재를 더 포함하고, 상기 서스 부재는 상기 프레임과 연결될 수 있다.
상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 오픈 시트는 제1 두께를 갖고, 상기 오픈 시트의 일면을 기준으로 상기 메탈 시트는 제2 두께를 갖고, 상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 서스 부재는 제3 두께를 갖되, 상기 제3 두께는 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합보다 클 수 있다.
상기 제3 두께의 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합의 차는 600μm이상일 수 있다.
상기 서스 부재는 상기 프레임과 용접될 수 있다.
상기 제2 부분의 평면 형상은 원형일 수 있다.
상기 메탈 연결부는 상기 프레임과 직접 연결되고, 용접될 수 있다.
상기 메탈 연결부는 통 형상을 갖고, 상기 메탈 메쉬부는 메쉬 형상을 가질 수 있다.
상기 메탈 메쉬부는 일 방향을 따라 연장된 제1 라인, 및 상기 일 방향과 교차하는 타 방향을 따라 연장된 제2 라인을 포함할 수 있다.
상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분의 사이에 배치된 연결용 패턴을 더 포함하고, 상기 연결용 패턴은 상기 메탈 메쉬부 및 상기 제2 부분과 직접 연결될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 증착 마스크는 제1 오픈부를 포함하는 프레임; 상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 포함하는 오픈 시트; 및 상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 메탈 연결부와 인접하고 상기 제2 오픈부와 중첩 배치된 메탈 메인부를 포함하는 메탈 시트를 포함하되, 상기 메탈 메인부는 메탈 메쉬부, 및 평면상 상기 메탈 메쉬부에 의해 둘러싸인 증착 블락킹부를 포함한다.
상기 프레임의 테두리 상에 배치된 서스 부재를 더 포함하고, 상기 서스 부재는 상기 프레임과 연결될 수 있다.
상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 오픈 시트는 제1 두께를 갖고, 상기 오픈 시트의 일면을 기준으로 상기 메탈 시트는 제2 두께를 갖고, 상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 서스 부재는 제3 두께를 갖되, 상기 제3 두께는 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합보다 크고, 상기 제3 두께의 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합의 차는 600μm이상일 수 있다.
상기 증착 블락킹부의 평면 형상은 원형일 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법은 적어도 하나의 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 평면상 상기 오픈부 내에 배치된 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 연결하는 제3 부분을 포함하는 오픈 시트를 준비하는 단계; 상기 오픈 시트 상에 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 배치하는 단계; 및 상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분을 용접하고 상기 오픈 시트로부터 상기 제3 부분을 제거하는 단계를 포함한다.
상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분을 용접하는 단계, 및 상기 오픈 시트로부터 상기 제3 부분을 제거하는 단계는 각각 레이저를 이용하여 수행될 수 있다.
상기 또 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 오픈부를 포함하는 프레임, 상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 및 평면상 상기 제2 오픈부 내에 배치되고 상기 제1 부분과 물리적으로 분리된 제2 부분을 포함하는 오픈 시트, 및 상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 제2 부분과 중첩 배치된 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 포함하는 증착 마스크를 준비하는 단계; 및 상기 메탈 메쉬부와 갭을 두고 대상 기판을 배치하고, 증착 물질을 상기 오픈부, 및 상기 메탈 메쉬부를 통해 상기 대상 기판에 증착하여 상기 제2 부분과 중첩하는 영역에 대응되는 제3 오픈부를 포함하는 증착막을 형성한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 증착 마스크에 의하면 증착 마스크의 공정 효율이 개선된 증착 마스크의 제조 방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 증착 마스크의 제조 방법에 의하면 공정 효율이 개선될 수 있다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 의하면 공정 효율이 개선될 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 평면 배치도이다.
도 2는 도 1의 프레임의 평면 배치도이다.
도 3은 도 1의 오픈 시트의 평면 배치도이다.
도 4는 도 1의 메탈 시트의 평면 배치도이다.
도 5는 도 1의 V-V' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 6은 도 1의 VI-VI' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 도 1의 VII-VII' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 8은 도 4의 A 영역을 확대한 평면도이다.
도 9는 도 4의 B 영역을 확대한 평면도이다.
도 10은 도 7의 C 영역을 확대한 단면도이다.
도 11은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 12 내지 도 15는 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이다.
도 16은 도 15의 D 영역을 확대한 평면도이다.
도 17, 및 도 18은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이다.
도 19는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 일 공정 단계의 평면 배치도이다.
도 20은 도 19의 XX- XX' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 21은 도 19의 XXI- XXI' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 22는 메탈 시트와 대상 기판의 갭(gap)에 따른 증착된 막을 보여주는 표이다.
도 23은 다른 실시예에 따른 증착 마스크의 평면 배치도이다.
도 24는 또 다른 실시예에 따른 증착 마스크의 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 도면을 참조하여 일 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 평면 배치도이고, 도 2는 도 1의 프레임의 평면 배치도이고, 도 3은 도 1의 오픈 시트의 평면 배치도이고, 도 4는 도 1의 메탈 시트의 평면 배치도이고, 도 5는 도 1의 V-V' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 6은 도 1의 VI-VI' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 7은 도 1의 VII-VII' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 8은 도 4의 A 영역을 확대한 평면도이고, 도 9는 도 4의 B 영역을 확대한 평면도이고, 도 10은 도 7의 C 영역을 확대한 단면도이다. 도 4는 설명의 편의를 위해 제2 부분(250)을 도시하였다.
일 실시예에 따른 증착 마스크는 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 및 스마트 워치, 워치 폰, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 네비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기뿐만 아니라 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷 등의 표시 장치에 적용되는 유기물층이나 무기물층을 증착하는 증착 공정에 사용될 수 있다. 예를 들어, 증착 마스크는 유기발광 표시장치의 유기 발광층이나 정공주입/수송층, 전자주입/수송층 등의 유기물 박막을 증착하는 데에 사용될 수 있고, 기타 유기막, 무기막, 금속 패턴 등을 증착하는 데에 사용될 수도 있다. 증착 마스크는 대상 기판에 형성될 박막의 패턴과 동일한 패턴의 개구부를 가지는 오픈 마스크(Open Mask)일 수 있다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 증착 마스크(1)는 프레임(100), 프레임(100) 상에 배치된 오픈 시트(200), 및 오픈 시트(200) 상에 배치된 메탈 시트(300)를 포함한다. 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)는 프레임(100) 상에 배치된 서스 부재(400)를 더 포함할 수 있다.
우선, 도 1 및 도 2를 참조하면 프레임(100)은 제1 오픈부(OP1)를 포함할 수 있다. 프레임(100)은 오픈 시트(200), 및 메탈 시트(300)를 고정하는 역할을 할 수 있다. 프레임(100)은 오픈 시트(200), 및 메탈 시트(300)와 연결되고 나아가 직접 연결될 수 있다. 예를 들어 프레임(100)은 오픈 시트(200), 및 메탈 시트(300)와 각각 용접을 통해 서로 연결될 수 있다. 프레임(100)은 중앙에 제1 오픈부(OP1)가 형성된 사각틀 형상을 가질 수 있다. 프레임(100)은 각각, 소정의 폭을 가지며 일 방향으로 연장된 양 단변틀, 및 상기 일 방향과 교차하는 타 방향을 따라 연장된 양 장변틀을 포함할 수 있다.
상기 양 단변틀, 및 상기 양 장변틀은 평면상 제1 오픈부(OP1)를 완전히 둘러쌀 수 있다.
프레임(100)은 강성이 큰 금속 재료, 예를 들어 스테인리스 강 등의 금속을 포함하여 이루어질 수 있다.
오픈 시트(200)는 프레임(100) 상에 배치될 수 있다. 오픈 시트(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 부분(210), 및 제1 부분(210)에 의해 평면상 둘러싸인 제2 오픈부(OP2)를 포함할 수 있다. 제2 오픈부(OP2)는 복수개일 수 있다. 복수의 제2 오픈부(OP2)는 상기 일 방향, 및 상기 타 방향을 따라 배열될 수 있다. 제1 부분(210)은 복수의 제2 오픈부(OP2)를 평면상 완전히 둘러쌀 수 있다. 제1 부분(210)의 평면 형상은 격자 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도면에서는 제2 오픈부(OP2)가 상기 일 방향을 따라 5개가 배치되고, 상기 타 방향을 따라 2개가 배치된 것으로 예시되었지만, 제2 오픈부(OP2)의 상기 일 방향 및 상기 타 방향으로의 개수는 이에 제한되는 것은 아니다.
오픈 시트(200)는 제1 부분(210)과 물리적으로 분리되고 평면상 제2 오픈부(OP2)의 내에 배치된 제2 부분(250)을 더 포함할 수 있다. 제1 부분(210)과 제2 부분(250)은 동일층에 배치되고, 동일한 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
제2 오픈부(OP2)의 평면 형상은 후술하는 바와 같이 제2 오픈부(OP2)를 통해 증착되는 상기 표시 장치의 증착막의 평면 형상과 대응될 수 있다. 상기 증착막의 평면 형상은 대체로 상기 표시 장치의 평면 형상에 대응될 수 있다. 상기 표시 장치의 평면 형상은 모서리가 각진 직사각형 형상이 적용될 수 있지만, 이에 제한되지 않고 모서리가 둥근 직사각형, 정사각형, 원형, 타원형, 또는 기타 다각형 형상이 적용될 수 있음은 물론이다.
제2 부분(250)의 평면 형상은 도 3에 도시된 바와 같이 원형으로 적용될 수 있다. 제2 부분(250)은 상기 표시 장치의 증착막의 증착 공정 시, 제2 부분(250)에 대응되는 해당 영역에 상기 증착막의 홀을 형성하는 역할을 할 수 있다. 상기 표시 장치는 상기 증착막의 홀과 대응되는 센서를 포함할 수 있다. 상기 센서는 상기 표시 장치의 패널의 하부에 배치되면서 상기 증착막의 홀과 대응되는 패널 하부 센서(Under Panel Sensor, UPS) 또는 패널 하부 카메라(Under Panel Camera, UPC)일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
일 실시예에 따른 증착 마스크(1)는 제2 부분(250)이 제1 부분(210)과 물리적으로 분리되면서 상기 증착막의 홀을 형성하는 역할을 함으로써 상기 표시 장치의 증착막 증착 공정 시, 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하거나, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하지 않을 수 있다.
해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하면 공정 시간, 및 공정 비용이 증가할 수 있다.
해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하면, 상기 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인될 수 있어 표시 불량을 야기할 수 있다.
다만, 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)는 상술한 제2 부분(250)을 포함하여 하나의 오픈 마스크만으로도 해당 증착막의 홀을 형성할 수 있으며, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인되는 것을 미연에 방지할 수 있다.
제1 부분(210)과 분리된 제2 부분(250)은 메탈 시트(300)와 연결될 수 있다.
메탈 시트(300)는 금속 물질을 포함할 수 있다.
메탈 시트(300)는 도 1, 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 일 방향을 따라 연장된 라인 형상을 가질 수 있다.
메탈 시트(300)는 프레임(100)에 연결되는 메탈 연결부(310), 및 메탈 연결부(310)와 인접 배치된 메탈 메쉬부(350)를 포함할 수 있다. 메탈 연결부(310)는 프레임(100), 및 프레임(100)의 제1 오픈부(OP1)와 중첩 배치되고 오픈 시트(200)의 제1 부분(210)과 중첩 배치될 수 있다.
메탈 메쉬부(350)는 오픈 시트(200)의 제2 오픈부(OP2), 및 제2 오픈부(OP2)와 인접한 제1 부분(210)의 일부와 중첩 배치될 수 있고, 도 9에 도시된 바와 같이 제2 부분(250)과 중첩 배치될 수 있다.
메탈 연결부(310)는 통 형상을 갖고 메탈 메쉬부(350)는 메쉬 형상을 가질 수 있다.
상술한 바와 같이, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)은 상호 물리적으로 분리되는데, 제2 부분(250)은 메탈 메쉬부(350)에 연결되어 고정될 수 있다. 제2 부분(250)는 메탈 메쉬부(350)와 직접 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 부분(250)은 메탈 메쉬부(350)와 용접되어 직접 연결될 수 있다. 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)의 용접은 레이저를 통해 이루어질 수 있다.
도 8을 참조하면, 메탈 메쉬부(350)는 상기 타 방향을 따라 연장된 제1 라인(L1), 및 상기 일 방향을 따라 연장된 제2 라인(L2)을 포함할 수 있다. 제1 라인(L1), 및 제2 라인(L2)은 각각 복수개일 수 있다. 복수의 제1 라인(L1)은 상기 일 방향을 따라 배열될 수 있고, 복수의 제2 라인(L2)은 상기 타 방향을 따라 배열될 수 있다.
제1 라인(L1)은 복수의 제2 라인(L2)들과 얽혀 연장될 수 있고, 제2 라인(L2)은 복수의 제1 라인(L1)들과 얽혀 연장될 수 있다. 예를 들어, 제1 라인(L1)은 복수의 제2 라인(L2) 중 어느 하나의 하부로 연장되고 상기 복수의 제2 라인(L2) 중 어느 하나와 인접한 다른 하나의 상부로 연장되는 방식으로 복수의 제2 라인(L2)들과 상호 얽혀 연장될 수 있다. 마찬가지로, 제2 라인(L2)은 복수의 제1 라인(L1) 중 어느 하나의 하부로 연장되고 상기 복수의 제1 라인(L1) 중 어느 하나와 인접한 다른 하나의 상부로 연장되는 방식으로 복수의 제1 라인(L1)들과 상호 얽혀 연장될 수 있다.
메탈 메쉬부(350)는 복수의 제1 라인(L1), 및 복수의 제2 라인(L2)이 얽혀있는 메쉬 형상을 갖고, 상기 메쉬 형상에 의해 둘러싸인 영역은 메쉬 오픈부일 수 있다. 상기 메쉬 오픈부를 통해 상기 증착 물질이 통과할 수 있고, 복수의 제1 라인(L1), 및 복수의 제2 라인(L2)이 배치된 영역을 통해서는 상기 증착 물질이 통과할 수 없을 수 있다.
서스 부재(400)는 프레임(100)의 양 단변틀들 상에 배치될 수 있다. 도면에서는 서스 부재(400)가 2개로서, 각각 프레임(100)의 양 단변틀들 상에 배치된 경우만 예시하지만, 이에 제한되지 않고 서스 부재(400)는 1개일 수 있고, 3개이상일 수 있다.
서스 부재(400)는 메탈 메쉬부(350)와 후술할 대상 기판의 사이에 소정의 갭(Gap)을 유지하는 역할을 할 수 있다. 즉, 서스 부재(400)는 메탈 메쉬부(350)와 상기 대상 기판 사이에 소정의 갭을 유지할 수 있는 두께를 가질 수 있다.
서스 부재(400)는 프레임(100)의 상기 양 단변틀들 상에 직접 연결될 수 있다. 서스 부재(400)는 예를 들어, 프레임(100)의 상기 양 단변틀들 상에 직접 용접되는 등 연결되어 고정될 수 있다. 이로 인해, 상기 대상 기판에 증착 공정을 진행할 때, 서스 부재(400) 상에 위치하는 상기 대상 기판이 유동하는 서스 부재(400)에 의해 함께 유동하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
서스 부재(400)는 스테인리스강을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 메탈 메쉬부(350)와 상기 대상 기판 사이에 소정의 갭을 유지할 정도의 강성을 갖고 프레임(100)에 용접할 수 있는 물질이면 제한이 없다.
도 5, 및 도 6을 참조하면, 프레임(100)의 일 단변틀(도 1의 상측 단변틀), 및 타 단변틀(도 1의 하측 단변틀)은 제1 오픈부(OP1)를 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다.
프레임(100) 상에는 오픈 시트(200)가 배치될 수 있다. 제1 부분(210)은 프레임(100)의 일면 상에 배치되고 프레임(100)의 일면에 직접 배치되고 제1 오픈부(OP1)와 중첩 배치될 수 있다.
도 5, 및 도 6에서 제1 부분(210)은 서로 분리된 것으로 보이지만, 실제로는 상술한 바와 같이 평면상 일체로 연결된 격자 형상을 가질 수 있다.
도 5, 및 도 6 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 부분(210)들의 사이에는 제2 오픈부(OP2)가 정의될 수 있다. 평면상 제2 오픈부(OP2)는 제1 오픈부(OP1)의 내부에 배치될 수 있다.
상술한 바와 같이 오픈 시트(200)는 제2 오픈부(OP2) 내에 배치된 제2 부분(250)을 더 포함할 수 있고, 제2 부분(250)은 제1 부분(210)과 동일층에 배치되고 동일한 물질을 포함할 수 있다.
오픈 시트(200) 상에는 메탈 시트(300)가 배치될 수 있다. 메탈 시트(300)의 메탈 메쉬부(350)는 제2 오픈부(OP2), 및 제1 오픈부(OP1)에 중첩 배치될 수 있다. 메탈 메쉬부(350)는 제2 오픈부(OP2)보다 더 연장되어 제1 부분(210)과 부분적으로 중첩 배치될 수 있다.
메탈 시트(300)는 오픈 시트(200) 상에 직접 배치될 수 있다. 메탈 시트(300)의 메탈 메쉬부(350)는 오픈 시트(200)의 제1 부분(210), 및 제2 부분(250)에 직접 배치될 수 있다. 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)은 상술한 바와 같이 용접 등의 공정을 거쳐 직접 연결될 수 있다. 즉 제2 부분(250)은 제1 부분(210)과 물리적으로 분리되지만, 메탈 메쉬부(350)와 직접 용접됨으로써 고정될 수 있다.
서스 부재(400)는 프레임(100)의 양 단변틀들 상에 각각 배치될 수 있다.
오픈 시트(200)는 제1 두께(t1)를 가질 수 있고, 메탈 시트(300)는 제2 두께(t2)를 가질 수 있고, 서스 부재(400)는 제3 두께(t3)를 가질 수 있고, 제3 두께(t3)에서 제1 두께(t1)와 제2 두께(t2)의 총합의 차이는 제4 두께(t4)일 수 있다.
제1 두께(t1)는 예를 들어, 약 100μm 내지 약 200μm일 수 있고, 제2 두께(t2)는 예를 들어, 약 20μm 내지 약 40μm일 수 있다.
제3 두께(t3)는 제1 두께(t1)와 제2 두께(t2)의 총합보다 클 수 있다. 이로 인해, 서스 부재(400) 상에 배치될 상기 대상 기판과 메탈 시트(300) 간에 소정의 갭을 유지할 수 있게 된다.
제3 두께(t3)는 제4 두께(t4)를 고려하여 설정될 수 있다.
제3 두께(t3)는 제4 두께(t4)가 약 600μm이상이 되는 범위에서 설정될 수 있다. 제3 두께(t3), 및 상기 대상 기판과 메탈 시트(300) 간에 소정의 갭에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
도 7을 참조하면, 프레임(100) 중 도 1의 프레임(100)의 상기 양 장변틀이 예시된다.
메탈 연결부(310)는 프레임(100)에 연결될 수 있다. 메탈 연결부(310)는 제1 부분(210)의 단차로 인해, 일부 두께 방향으로 휘면서 프레임(100)과 연결될 수 있다. 메탈 연결부(310)는 제1 부분(210)에 직접 연결될 수 있다. 예를 들어, 메탈 연결부(310)는 제1 부분(210)에 용접 등의 방식으로 직접 연결될 수 있다.
도 10을 참조하면 메탈 메쉬부(350)는 제2 부분(250)에 직접 연결될 수 있다. 메탈 메쉬부(350)는 상술한 복수의 제1 라인(L1)들, 및 제2 라인(L2)들을 포함할 수 있다. 메탈 메쉬부(350)는 도 10에 도시된 바와 같이 복수의 패턴들이 제2 부분(250)에 직접 연결될 수 있다. 상기 복수의 패턴들은 복수의 제1 라인(L1)들, 및 복수의 제2 라인(L2)들 중 적어도 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같이 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)는 제2 부분(250)이 제1 부분(210)과 물리적으로 분리되면서 상기 증착막의 홀을 형성하는 역할을 함으로써 상기 표시 장치의 증착막 증착 공정 시, 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하거나, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하지 않을 수 있다.
해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하면 공정 시간, 및 공정 비용이 증가할 수 있다. 또한, 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하면, 상기 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인될 수 있어 표시 불량을 야기할 수 있다.
다만, 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)는 상술한 제2 부분(250)을 포함하여 하나의 오픈 마스크만으로도 해당 증착막의 홀을 형성할 수 있으며, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인되는 것을 미연에 방지할 수 있다.
이하, 상술한 증착 마스크의 제조 방법에 대해 설명하기로 한다. 상술한 실시예와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 11은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법을 나타낸 순서도이고, 도 12 내지 도 15는 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이고, 도 16은 도 15의 D 영역을 확대한 평면도이고, 도 17, 및 도 18은 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이다.
우선, 도 11 및 도 12를 참조하면, 적어도 하나의 오픈부를 둘러싸는 제1 부분(210), 평면상 상기 오픈부 내에 배치된 제2 부분(250a), 및 제1 부분(210)과 제2 부분(250a)을 연결하는 제3 부분(270)을 포함하는 오픈 시트(200a)를 준비(S10)한다. 오픈 시트(200a)의 하부 상에는 도 1 및 도 2에서 상술한 프레임(100)이 더 배치될 수 있다.
제3 부분(270)은 제2 부분(250a)과 제1 부분(210)의 사이에 배치되어 제2 부분(250a)과 제1 부분(210)을 연결하는 역할을 할 수 있다. 제3 부분(270)은 제2 부분(250a), 및 제1 부분(210)과 동일층에 배치되고 동일한 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
제2 부분(250a)은 제3 부분(270)에 의해 제1 부분(210)과 연결된다는 점을 제외하면 도 1, 및 도 3에서 상술한 제2 부분(250)과 동일한 바 중복 설명은 생략하기로 한다.
제3 부분(270)은 제2 부분(250a)의 일측과 제1 부분(210)을 연결하고 제2 부분(250a)의 상기 일측의 다른 측인 타측과 제1 부분(210)을 연결할 수 있다.
제3 부분(270)은 제2 오픈부(OP2)의 내부에 배치될 수 있다.
즉, 제2 부분(250a)은 제3 부분(270)에 의해 제1 부분(210)과 물리적으로 연결될 수 있다.
이어서, 도 11, 및 도 13을 참조하면, 오픈 시트(200a) 상에 메탈 메쉬부(350)를 포함하는 메탈 시트(300a)를 배치(S20)한다.
메탈 시트(300a)는 메탈 메쉬부(350)의 각각 일측 및 타측에 배치되고 메탈 메쉬부(350)의 각각 상기 일측 및 상기 타측과 연결된 메탈 연결부(310a)를 포함할 수 있다.
오픈 시트(200a) 상에 메탈 시트(300a)를 배치하는 단계(S20)는 메탈 시트(300a)를 상기 일 방향을 따라 인장시킨 후 오픈 시트(200a) 상에 배치하는 단계를 포함할 수 있다. 이로 인해, 메탈 시트(300a)의 메탈 메쉬부(350)가 쳐지는 등의 현상을 미연에 방지할 수 있다.
도 14를 참조하면, 오픈 시트(200a) 상에 메탈 시트(300a)를 배치(S20)한 후, 메탈 시트(300a)의 메탈 메쉬부(350)의 각각 상기 일측 및 상기 타측과 연결된 메탈 연결부(310a)를 프레임(100)과 용접(Welding)하는 단계를 더 포함할 수 있다.
메탈 연결부(310a)를 프레임(100)과 용접(Welding)하는 단계는 레이저를 이용하여 수행될 수 있다. 예를 들어, 메탈 연결부(310a)과 프레임(100) 상에 상기 레이저를 조사하여 메탈 연결부(310a)와 프레임(100)을 적어도 일부 용융시켜 메탈 연결부(310a)와 프레임(100)을 직접 용접시킬 수 있다.
상기 레이저를 조사하는 단계에서 상기 레이저는 스팟(spot) 레이저일 수 있다. 즉, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 스팟 레이저는 상기 타 방향을 따라 일정한 간격을 두고 메탈 연결부(310a)와 프레임(100)을 조사하여 용접시킬 수 있다. 도 14에서는 메탈 연결부(310a)와 프레임(100)의 용접된 부분들은 상기 타 방향을 따라 배열된 것으로 예시되었지만, 이에 제한되지 않고 상기 일 방향을 따라 배열될 수도 있고, 상기 타 방향 및 상기 일 방향을 따라 함께 배열될 수도 있다. 또한, 도면에서는 메탈 연결부(310a)와 프레임(100)의 용접된 부분이 각각 프레임(100)의 일 단변틀측에서 6개, 및 타 단변틀측에서 6개인 것으로 예시되었지만, 용접된 부분의 개수는 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 상기 일 단변틀측과 상기 타 단변틀측에서의 용접된 부분의 개수는 서로 상이할 수 있음은 물론이다.
이후, 메탈 연결부(310a)의 프레임(100)과 용접된 부분의 외측에 배치된 부분들은 제거될 수 있다. 메탈 연결부(310a)의 프레임(100)과 용접된 부분의 외측에 배치된 부분들이 제거되면 메탈 연결부(310a)의 끝단은 프레임(100)의 끝단과 정렬될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
이어서, 도 15를 참조하면, 프레임(100), 오픈 시트(200a), 및 메탈 시트(300a)를 플립핑(flipping)한다.
즉, 도 14를 기준으로 프레임(100), 오픈 시트(200a), 및 메탈 시트(300a)의 적층 순서를 바꿀 수 있다. 이로 인해, 메탈 시트(300a), 오픈 시트(200a), 및 프레임(100)의 적층 순서를 가질 수 있다.
프레임(100)의 제1 오픈부(OP1), 및 오픈 시트(200a)의 제2 오픈부(OP2)내에서 오픈 시트(200a)의 제2 부분(250a), 및 제3 부분(270)이 외부로 노출될 수 있다.
이어서, 도 11, 도 14, 및 도 16을 참조하면, 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 연결(S30)한다. 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 연결하는 단계(S30)는 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 직접 연결하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 직접 연결하는 단계는 예를 들어, 제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 용접하는 단계를 포함할 수 있다.
제2 부분(250)과 메탈 메쉬부(350)를 용접하는 단계는 레이저를 이용하여 수행될 수 있다. 상기 레이저는 스팟(spot) 레이저일 수 있다. 즉, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 스팟 레이저는 상기 무작위 방향으로 일정한 간격을 두고 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)을 조사하여 용접시킬 수 있다. 도 16에서는 도면에서는 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)의 용접된 부분이 4개인 것으로 예시되었지만, 용접된 부분의 개수는 이에 제한되는 것은 아니다.
이어서, 도 11, 도 14, 도 17, 및 도 18을 참조하면, 제3 부분(270)을 오픈 시트(200b)로부터 제거(S30)한다.
제3 부분(270)을 오픈 시트(200b)로부터 제거하는 단계(S30)는 레이저를 이용하여 수행될 수 있다. 상기 레이저는 스팟(spot) 레이저일 수 있다. 즉, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 레이저는 제1 부분(210)과 제3 부분(270)의 경계와 제3 부분(270)과 제2 부분(250)의 경계에 조사되어 제3 부분(270)을 오픈 시트(200b)로부터 제거할 수 있다.
이로 인해, 도 9, 및 도 18과 같이 제2 부분(250)은 메탈 메쉬부(350)와 직접 연결된 상태일 수 있다.
이하, 상술한 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법에 대해 설명하기로 한다. 상술한 실시예들과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 19는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 일 공정 단계의 평면 배치도이고, 도 20은 도 19의 XX- XX' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 21은 도 19의 XXI- XXI' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 22는 메탈 시트와 대상 기판의 갭(gap)에 따른 증착된 막을 보여주는 표이다.
도 19 내지 도 22를 참조하면, 일 실시예에 따른 증착용 마스크(1)를 준비한다.
상술한 바와 같이 증착용 마스크(1)는 제1 오픈부(OP1)를 포함하는 프레임(100), 프레임(100)의 제1 오픈부(OP1) 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부(OP2)를 둘러싸는 제1 부분(210), 및 평면상 제2 오픈부(OP2) 내에 배치되고 제1 부분(210)과 물리적으로 분리된 제2 부분(250)을 포함하는 오픈 시트(200), 및 오픈 시트(200) 상에 배치되고 프레임(100)과 연결되는 메탈 연결부(310), 및 제2 부분(250)과 중첩 배치된 메탈 메쉬부(350)를 포함하는 메탈 시트(300)를 포함할 수 있다.
이어서, 증착용 마스크(1)의 상부에 대상 기판(500)을 배치한다.
대상 기판(500)은 증착 물질(DPMa)이 증착용 마스크(1)를 통해 증착되는 증착 기판일 수 있다.
대상 기판(500)은 유리, 또는 석영 등의 리지드 물질을 포함하는 리지드 기판일 수 있지만, 이에 제한되지 않고 플렉시블한 물질을 포함하는 플렉시블 기판일 수 있다.
대상 기판(500)은 평면상 직사각형 형상일 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고 대상 기판(500)은 평면 형상으로 정사각형, 원형, 타원형, 또는 기타 다각형이 적용될 수 있다.
증착용 마스크(1)의 상부에 대상 기판(500)을 배치하는 단계는 대상 기판(500)은 서스 부재(400)와 직접 접하도록 배치될 수 있다.
상술한 바와 같이 오픈 시트(200)는 제1 두께(t1)를 가질 수 있고, 메탈 시트(300)는 제2 두께(t2)를 가질 수 있고, 서스 부재(400)는 제3 두께(t3)를 가질 수 있고, 제3 두께(t3)에서 제1 두께(t1)와 제2 두께(t2)의 총합의 차이는 제4 두께(t4)일 수 있다.
제1 두께(t1)는 예를 들어, 약 100μm 내지 약 200μm일 수 있고, 제2 두께(t2)는 예를 들어, 약 20μm 내지 약 40μm일 수 있다.
제3 두께(t3)는 제1 두께(t1)와 제2 두께(t2)의 총합보다 클 수 있다. 이로 인해, 서스 부재(400) 상에 배치될 상기 대상 기판과 메탈 시트(300) 간에 소정의 갭을 유지할 수 있게 된다. 제3 두께(t3)는 제4 두께(t4)를 고려하여 설정될 수 있다. 제3 두께(t3)는 제4 두께(t4)가 약 600μm이상이 되는 범위에서 설정될 수 있다.
증착 물질(DPMa)은 증착용 마스크(1)의 하부로부터 증착용 마스크(1)로 제공될 수 있다. 증착 물질(DPMa)은 제1 오픈부(도 1의 'OP1' 참조), 및 제2 오픈부(도 1의 'OP2' 참조)를 통해 대상 기판(500)에 증착될 수 있다.
더욱 구체적으로 설명하면, 증착 물질(DPMa)은 증착용 마스크(1)의 하부로부터 증착용 마스크(1)로 제공될 때, 제1 오픈부(OP1)를 제외한 영역에서는 프레임(100)에 의해 상부 방향으로 제공될 수 없다. 즉, 제1 오픈부(OP1)로 진행되는 증착 물질(DPMa)만이 오픈 시트(200)로 제공될 수 있다.
오픈 시트(200)로 제공된 증착 물질(DPMa) 중, 제2 오픈부(OP2)를 제외한 영역에서는 오픈 시트(200)의 제1 부분(210), 및 제2 부분(250)으로 인해 메탈 시트(300)로 제공될 수 있다. 즉, 제1 오픈부(OP1)를 통과한 증착 물질(DPMa) 중 제2 오픈부(OP2)로 진행되는 증착 물질(DPMa)만이 메탈 시트(300)로 제공될 수 있다.
메탈 시트(300)로 제공된 증착 물질(DPMa) 중, 메탈 시트(300)의 상술한 제1 라인(L1), 및 제2 라인(L2)이 형성하는 메탈 오픈부를 제외한 영역에서는 메탈 시트(300)의 제1 라인(L1), 및 제2 라인(L2)으로 인해 대상 기판(500)으로 제공될 수 없다. 즉, 상기 오픈 시트(200)를 통과한 증착 물질(DPMa) 중 상기 메탈 오픈부로 진행되는 증착 물질(DPMa)만이 대상 기판(500)으로 제공될 수 있다.
즉, 제1 오픈부(OP1), 제2 오픈부(OP2), 상기 메탈 오픈부로 진행되는 증착 물질(DPMa)만이 대상 기판(500)으로 제공되어 증착막(DPM)이 형성될 수 있다. 증착막(DPM)은 내부에 제3 오픈부(OP3)를 더 포함할 수 있다. 증착막(DPM) 중 제3 오픈부(OP3)를 제외한 영역은 대체로 제1 오픈부(OP1), 제2 오픈부(OP2), 및 상기 메탈 오픈부와 대응될 수 있다.
증착막(DPM)의 제3 오픈부(OP3)는 오픈 시트(200)의 제2 부분(250)과 대체로 중첩 배치되고 대응될 수 있다.
나아가. 도시되지 않았지만, 증착막(DPM)은 제1 라인(L1), 및 제2 라인(L2)에 대응되는 패턴 또는 제4 오픈부를 더 포함할 수 있다.
메탈 시트(300)의 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이에는 상기한 갭이 존재할 수 있다. 상기 갭이 크면, 상기 오픈 시트(200)를 통과한 증착 물질(DPMa) 중 상기 메탈 오픈부로 진행되는 증착 물질(DPMa)만이 대상 기판(500)으로 제공되더라도 실질적으로 메탈 메쉬부(350)의 제1 라인(L1), 및 제2 라인(L2)에 대응되는 증착막(DPM)의 패턴 또는 제4 오픈부의 시인이 적어질 수 있다. 이에 대한 설명은 도 22를 참조하여 설명된다.
도 22를 참조하면, 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭에 따른 반사 모드와 투과 모드에서 각각의 증착막(DPM)의 평면 형상을 도시한다. 반사 모드는 증착막(DPM)의 하부에서 광을 조사하여 증착막(DPM)을 촬영한 것이고, 투과 모드는 증착막(DPM)의 상부에서 광을 조사하여 증착막(DPM)을 촬영한 것이다. 반사 모드에서, 상대적으로 어두운 부분은 증착막(DPM)의 상기 패턴 또는 상기 제4 오픈부이고, 상대적으로 밝은 부분은 증착막(DPM) 중 상기 패턴 또는 상기 제4 오픈부가 비배치된 부분이며, 투과 모드에서 상대적으로 밝은 부분은 증착막(DPM)의 상기 패턴 또는 상기 제4 오픈부이고, 상대적으로 어두운 부분은 증착막(DPM) 중 상기 패턴 또는 상기 제4 오픈부가 비배치된 부분이다.
도 22에 도시된 바와 같이 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭이 0μm, 50μm…, 600μm로 커질수록 반사 모드에서 상기 상대적으로 어두운 부분이 잘 시인되지 않고 투과 모드에서 상기 상대적으로 밝은 부분이 잘 시인되지 않는 것을 확인할 수 있다.
일 실시예에 따른 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭은 약 500μm 내지 2000μm 일 수 있다. 바람직하게 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭은 약 600μm 내지 1000μm 일 수 있다. 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭은 약 600μm 이상이면 증착막(DPM)의 상기 패턴 또는 제4 오픈부가 사용자의 육안으로 잘 식별되지 않을 수 있고, 메탈 메쉬부(350)와 대상 기판(500) 사이의 갭은 약 1000μm이하이면, 증착 마스크(1), 및 대상 기판(500)을 포함하는 증착 장치가 커져 공간상 제약 측면에서 증착 공정이 원활히 수행되지 않는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면 상술한 바와 같이 증착 마스크(1)의 제2 부분(250)이 제1 부분(210)과 물리적으로 분리되면서 상기 증착막의 홀을 형성하는 역할을 함으로써 상기 표시 장치의 증착막 증착 공정 시, 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하거나, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하지 않을 수 있다. 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 복수의 증착 마스크를 사용하면 공정 시간, 및 공정 비용이 증가할 수 있다. 해당 증착막의 홀을 형성하기 위해 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재, 예컨대 실대 등을 사용하면, 상기 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인될 수 있어 표시 불량을 야기할 수 있다.
다만, 증착 마스크(1)를 이용하는 표시 장치의 제조 방법에 의하면 상술한 제2 부분(250)을 포함하여 하나의 오픈 마스크만으로도 해당 증착막의 홀을 형성하여 공정 효율을 높일 수 있고, 제2 부분(250)과 제1 부분(210)을 연결하는 연결 부재에 의해 상기 증착막에 암선 등이 시인되는 것을 미연에 방지하여 표시 불량을 원천적으로 차단할 수 있다.
이하, 상술한 증착 마스크(1)의 다른 실시예들에 대해 설명하기로 한다. 상술한 실시예와 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 23은 다른 실시예에 따른 증착 마스크의 평면 배치도이다.
도 23을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 마스크(2)는 오픈 시트(200_1)가 제1 부분(210) 만을 포함하고, 제2 부분을 포함하지 않는다는 점에서 도 1, 도 3, 및 도 4에 따른 증착 마스크(1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 증착 마스크(2)는 오픈 시트(200_1)가 제1 부분(210) 만을 포함하고, 제2 부분을 포함하지 않을 수 있다. 본 실시예에 따른 증착 마스크(2)는 메탈 시트(300_1)가 증착 블락킹부(355)를 더 포함할 수 있다. 증착 블락킹부(355)는 평면상 메탈 시트(300_1)의 메탈 메쉬부(350_1)에 의해 둘러싸일 수 있다.
증착 블락킹부(355)는 도 1, 도 3, 및 도 4에서 상술한 오픈 시트(200)의 제2 부분(250)과 실질적으로 동일한 역할을 할 수 있다. 증착 블락킹부(355)는 제2 부분(250)과 적층 구조에서 다른 층에 배치되지만 평면상 동일 위치에 형성될 수 있다.
증착 블락킹부(355)는 메탈 메쉬부(350_1)와 연결되고 동일층에 배치되며 동일한 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
증착 블락킹부(355)는 도 1, 도 3, 및 도 4에서 상술한 제2 부분(250)의 예시된 평면 형상과 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 24는 또 다른 실시예에 따른 증착 마스크의 단면도이다.
도 24를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 마스크(3)는 메탈 메쉬부(350)와 오픈 시트(200)의 제2 부분(250)의 사이에 연결용 패턴(SWM)을 더 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 증착 마스크(1)와 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 증착 마스크(3)는 메탈 메쉬부(350)와 오픈 시트(200)의 제2 부분(250)의 사이에 연결용 패턴(SWM)을 더 포함할 수 있다. 연결용 패턴(SWM)은 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)의 사이에 배치되고 각각 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)과 연결될 수 있다. 연결용 패턴(SWM)은 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)의 사이에 배치되고 각각 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)과 직접 연결될 수 있다. 연결용 패턴(SWM)은 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)의 사이에 배치되고 각각 메탈 메쉬부(350)와 제2 부분(250)과 용접 등의 방식을 통해 직접 연결될 수 있다.
연결용 패턴(SWM)의 평면 형상은 제2 부분(250)의 평면 형상과 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
연결용 패턴(SWM)의 평면상 크기는 제2 부분(250)의 평면상 크기와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 연결용 패턴(SWM)의 평면상 크기는 제2 부분(250)의 평면상 크기보다 작을 수 있다. 연결용 패턴(SWM)의 평면상 크기가 제2 부분(250)의 평면상 크기보다 작음으로써 연결용 패턴(SWM)에 의해 증착 물질(DPMa)의 진행이 방해되는 것을 미연에 방지하여 원하는 크기, 및 형상의 증착막(DPM)을 형성할 수 있다.
연결용 패턴(SWM)의 각각 메탈 메쉬부(350) 및 제2 부분(250)과의 용접 방식 등에 대해서는 상술한 바 자세한 설명은 이하 생략하기로 한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 증착 마스크
100: 프레임
200: 오픈 시트
300: 메탈 시트
400: 서스 부재
500: 대상 기판

Claims (20)

  1. 제1 오픈부를 포함하는 프레임;
    상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 및 평면상 상기 제2 오픈부 내에 배치되고 상기 제1 부분과 물리적으로 분리된 제2 부분을 포함하는 오픈 시트; 및
    상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 제2 부분과 중첩 배치된 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 포함하는 증착 마스크.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 연결된 증착 마스크.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 직접 연결된 증착 마스크.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 메탈 메쉬부와 레이저를 통해 용접된 증착 마스크.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 프레임의 테두리 상에 배치된 서스 부재를 더 포함하고, 상기 서스 부재는 상기 프레임과 연결된 증착 마스크.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 오픈 시트는 제1 두께를 갖고, 상기 오픈 시트의 일면을 기준으로 상기 메탈 시트는 제2 두께를 갖고, 상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 서스 부재는 제3 두께를 갖되, 상기 제3 두께는 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합보다 큰 증착 마스크.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제3 두께의 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합의 차는 600μm이상인 증착 마스크.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 서스 부재는 상기 프레임과 용접된 증착 마스크.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 부분의 평면 형상은 원형인 증착 마스크.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 메탈 연결부는 상기 프레임과 직접 연결되고, 용접된 증착 마스크.
  11. 제2 항에 있어서,
    상기 메탈 연결부는 통 형상을 갖고, 상기 메탈 메쉬부는 메쉬 형상을 갖는 증착 마스크.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 메탈 메쉬부는 일 방향을 따라 연장된 제1 라인, 및 상기 일 방향과 교차하는 타 방향을 따라 연장된 제2 라인을 포함하는 증착 마스크.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분의 사이에 배치된 연결용 패턴을 더 포함하고, 상기 연결용 패턴은 상기 메탈 메쉬부 및 상기 제2 부분과 직접 연결된 증착 마스크.
  14. 제1 오픈부를 포함하는 프레임;
    상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 포함하는 오픈 시트; 및
    상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 메탈 연결부와 인접하고 상기 제2 오픈부와 중첩 배치된 메탈 메인부를 포함하는 메탈 시트를 포함하되,
    상기 메탈 메인부는 메탈 메쉬부, 및 평면상 상기 메탈 메쉬부에 의해 둘러싸인 증착 블락킹부를 포함하는 증착 마스크.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 프레임의 테두리 상에 배치된 서스 부재를 더 포함하고, 상기 서스 부재는 상기 프레임과 연결된 증착 마스크.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 오픈 시트는 제1 두께를 갖고, 상기 오픈 시트의 일면을 기준으로 상기 메탈 시트는 제2 두께를 갖고, 상기 프레임의 일면을 기준으로, 상기 서스 부재는 제3 두께를 갖되, 상기 제3 두께는 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합보다 크고, 상기 제3 두께의 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 총합의 차는 600μm이상인 증착 마스크.
  17. 제14 항에 있어서,
    상기 증착 블락킹부의 평면 형상은 원형인 증착 마스크.
  18. 적어도 하나의 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 평면상 상기 오픈부 내에 배치된 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 연결하는 제3 부분을 포함하는 오픈 시트를 준비하는 단계;
    상기 오픈 시트 상에 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 배치하는 단계; 및
    상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분을 용접하고 상기 오픈 시트로부터 상기 제3 부분을 제거하는 단계를 포함하는 증착 마스크 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 메탈 메쉬부와 상기 제2 부분을 용접하는 단계, 및 상기 오픈 시트로부터 상기 제3 부분을 제거하는 단계는 각각 레이저를 이용하여 수행되는 증착 마스크 제조 방법.
  20. 제1 오픈부를 포함하는 프레임,
    상기 프레임의 상기 제1 오픈부 상에 배치되고 적어도 하나의 제2 오픈부를 둘러싸는 제1 부분, 및 평면상 상기 제2 오픈부 내에 배치되고 상기 제1 부분과 물리적으로 분리된 제2 부분을 포함하는 오픈 시트, 및
    상기 오픈 시트 상에 배치되고 상기 프레임과 연결되는 메탈 연결부, 및 상기 제2 부분과 중첩 배치된 메탈 메쉬부를 포함하는 메탈 시트를 포함하는 증착 마스크를 준비하는 단계; 및
    상기 메탈 메쉬부와 갭을 두고 대상 기판을 배치하고, 증착 물질을 상기 오픈부, 및 상기 메탈 메쉬부를 통해 상기 대상 기판에 증착하여 상기 제2 부분과 중첩하는 영역에 대응되는 제3 오픈부를 포함하는 증착막을 형성하는 표시 장치의 제조 방법.
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